JP2003039250A

JP2003039250A - 電解加工方法、並びに動圧軸受装置の製造方法及びその製造方法により製造された動圧軸受装置

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Publication number: JP2003039250A
Application number: JP2001228632A
Authority: JP
Inventors: Motoki Usui; 本基臼井; Toshimasa Kobayashi; 寿政小林
Original assignee: Nidec Sankyo Corp
Current assignee: Nidec Sankyo Corp
Priority date: 2001-07-27
Filing date: 2001-07-27
Publication date: 2003-02-12

Abstract

(57)【要約】【課題】簡易な構成で、高精度な凹部を安価に行うこ
とを可能とする。【解決手段】被加工物２３’の被加工表面に、動圧発
生用溝２３ａ，２３ｂの形状に対応した連通孔パターン
３３ｂを貫通形成したマスキング部材３３を密着させて
おき、そのマスキング部材３３と電極工具３５との間の
隙間に、電解液を流動させつつ供給して、上記マスキン
グ部材３３における連通孔パターン３３ｂの内部に電解
液を入り込ませて流動させてることによって電解加工を
行わせて、上記被加工物に密着させられたマスキング部
材の連通孔パターン内にのみ電解液を流動させ、上記連
通孔パターンに対応した形状の動圧発生用溝を被加工物
に対して容易かつ高精度に形成するようにしたもの。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電極工具と被加工
物とを電解液を介して対向配置して通電することによっ
て、被加工物の電解加工を行うようにした電解加工方法
及び動圧軸受用溝の製造方法及びその製造方法により製
造された動圧軸受装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電解加工は、電解溶出を被加工物の所要
の部位に集中することによって行われるものであるが、
例えば図１０に示されているような電解加工装置が従来
から知られている。図１０に示されている電解加工装置
では、ベース１上に絶縁物２を介して設置された治具３
に被加工物４が載置されているとともに、当該被加工物
４に近接するようにして電極工具５が対向配置されてい
る。そして、上記被加工物４が、図示を省略した電解加
工用電源の正極（＋極）側に接続され、電極工具５が負
極（−）側に接続されている。

【０００３】一方、外部側に蓄えられた電解液６は、電
解液供給手段としてのポンプ７によりフィルター８を介
して上記電極工具５と被加工物４との間の隙間に供給さ
れ、電極工具５と被加工物４との間に電解液６を流動さ
せながら両者間に通電が行われる。それによって被加工
物４が電気化学的に溶出していき、被加工物４の電解加
工が行われるようになっている。

【０００４】このとき、上記電極工具５には送り装置１
０が付設されており、被加工物４における加工の進行に
伴い電極工具５が被加工物４側に送り込まれていくこと
によって両者間に所定の加工間隙（平衡間隙）が維持さ
れ、結果的に、電極工具５の形状を反転した形状が被加
工物４に形成されるようになっている。電解加工によっ
て発生した気体は、ファン１１によって外部に排気され
る。また、ジュール熱により昇温された電解液中には種
々の電解生成物が含まれることとなるが、使用済みの電
解液１２は、遠心分離器１３を通して清浄化された後、
再び上述した電極工具５と被加工物４との間に供給され
るようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな一般の電解加工方法を用いて量産加工を行う工程に
は、以下のような問題がある。電極工具の幅に対して、被加工物の加工幅が大きく
なる傾向があり、しかもその加工幅にバラツキを生じや
すい。加工幅のバラツキを小さくするために、電極工具と
被加工物との間の隙間を小さくしていくと、電解液中に
存在する被加工物からの電解生成物などの各種パーティ
クルによって液詰まりを発生しやすくなり、加工不良を
招来することが多くなる。同様に、電極工具と被加工物との間の隙間を小さく
すると、電解液の流動が良好でなくなることから、加工
途中で電解液に劣化を生じやくすなり、電解液の入り口
側の加工量が深く、出口側に行くに従って加工深さが徐
々に浅くなってしまう。電解液や電解生成物の一部が被加工物に付着しやす
い。

【０００６】特に、潤滑流体の動圧を利用した動圧軸受
装置における動圧発生用溝の溝加工に電解加工を用いた
場合には、動圧特性に大きな影響を与える動圧発生用溝
の溝形状が必要な精度で得られなくなり、良好な動圧特
性が得られなくなってしまうとともに、生産性低下の原
因にもなる。また、加工後の製品に電解生成物や電解液
が付着したままになった場合には、動圧軸受装置により
支持される回転体の種類、例えばハードディスク駆動装
置（ＨＤＤ）などにおいては、ケミカルコンタミを発生
して使用不可能状態に至るおそれもある。

【０００７】そこで、本発明は、簡易な構成で、被加工
物を高精度かつ効率的に加工することができるようにし
た電解加工方法及び動圧軸受用溝の製造方法を提供する
ことを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１にかかる電解加工方法では、被加工物の被加
工表面上に、凹部の形状に対応した連通孔パターンを貫
通形成したマスキング部材を密着させておくとともに、
そのマスキング部材に前記電極工具を当接させるように
して押さえ込み、上記電極工具の液通路から上記マスキ
ング部材の連通孔パターンの内部側に供給した電解液
を、当該連通孔パターンの内部側のみにおいて一方向に
流動させながら電解加工を行わせるようにしている。こ
のような構成を有する電解加工方法によれば、被加工物
に対して供給された電解液が、当該被加工物に密着させ
られたマスキング部材の連通孔パターン内にのみ流動さ
せられることとなり、マスキング部材の板厚を大きくし
て被加工物と電極工具との間の隙間を広げて電解液の流
動性を向上させた場合でも、マスキング部材の連通孔パ
ターンに対応した形状の凹部が、被加工物に対して高精
度に形成されるようになっている。

【０００９】また、請求項２記載の電解加工方法では、
請求項１に加えて、マスキング部材の連通孔パターン
を、被加工物の外周縁部より半径方向外方側まで延設
し、その連通孔パターンの外方延設端部分から電解液を
排出するようにしていることから、電極工具から供給さ
れた電解液が、マスキング部材の連通孔パターンの内部
側を良好に流動していく。

【００１０】さらに、請求項３記載の電解加工方法で
は、請求項１に加えて、マスキング部材の少なくとも表
面部分に、絶縁性部材が設けられていることから、マス
キング部材における連通孔パターン以外の部分に対する
通電がほぼ完全に遮断されることとなり、凹部の形状が
一層高精度に形成されるようになっている。

【００１１】さらにまた、請求項４記載の電解加工方法
では、請求項１に加えて、電解液として、界面活性剤と
の混合液が用いられていることから、被加工物から溶出
した電解生成物などの各種パーティクルが、電解液中の
界面活性剤に吸収されて電解液の円滑な流動が確保され
るようになっている。

【００１２】さらに、請求項５記載の動圧軸受装置の製
造方法では、被加工物の被加工表面上に、動圧発生用溝
の形状に対応した連通孔パターンを貫通形成したマスキ
ング部材を密着させておくとともに、そのマスキング部
材に前記電極工具を当接させるようにして押さえ込み、
上記電極工具の液通路から上記マスキング部材の連通孔
パターンの内部側に供給した電解液を、当該連通孔パタ
ーンの内部側のみにおいて一方向に流動させながら電解
加工を行わせるようにしている。そして、このような構
成を有する動圧軸受装置の製造方法によれば、被加工物
に対して供給された電解液が、当該被加工物に密着させ
られたマスキング部材の連通孔パターン内にのみ流動さ
せられることとなり、マスキング部材の板厚を大きくし
て被加工物と電極工具との間の隙間を広げて電解液の流
動性を向上させた場合でも、マスキング部材の連通孔パ
ターンに対応した形状の動圧発生用溝が、被加工物に対
して高精度に形成されるようになっている。

【００１３】また、請求項６記載の動圧軸受装置の製造
方法では、請求項５に加えて、マスキング部材の連通孔
パターンを、被加工物の外周縁部より半径方向外方側ま
で延設し、その連通孔パターンの外方延設端部分から電
解液を排出するようにしていることから、電極工具から
供給された電解液が、マスキング部材の連通孔パターン
の内部側を良好に流動していく。

【００１４】さらに、請求項７記載の動圧軸受装置の製
造方法では、請求項５に加えて、マスキング部材の少な
くとも表面部分に、絶縁性部材が設けられていることか
ら、マスキング部材おける連通孔パターン以外の部分に
対する通電がほぼ完全に遮断されることとなり、動圧発
生用溝の形状が一層高精度に形成されるようになってい
る。

【００１５】さらにまた、請求項８記載の動圧軸受装置
の製造方法では、請求項５に加えて、電解液として、界
面活性剤の混合液が用いられていることから、被加工物
から溶出した電解生成物などの各種パーティクルが、電
解液中の界面活性剤に吸収されて電解液の円滑な流動が
確保されるようになっている。

【００１６】さらに、請求項９記載の動圧軸受装置で
は、請求項５乃至請求項８のいずかれに記載の動圧軸受
装置の製造方法により製造された軸部材又は軸受部材を
備えていることから、動圧軸受装置が高精度かつ効率的
に製造されるようになっている。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて詳細に説明するが、それに先立って、本発
明にかかる製造方法を適用する一例としてのハードディ
スク駆動装置（ＨＤＤ）の全体構造を説明しておく。

【００１８】図６に示されている軸回転のＨＤＤスピン
ドルモータの全体は、固定部材としてのステータ組１０
と、そのステータ組１０に対して図示上側から組み付け
られた回転部材としてのロータ組２０とから構成されて
いる。そのうちのステータ組１０は、図示を省略した固
定基台側にネジ止めされる固定フレーム１１を有してい
る。この固定フレーム１１は、軽量化を図るためにアル
ミ系金属材料から形成されているが、当該固定フレーム
１１の略中央部分に立設するようにして形成された環状
の軸受ホルダー１２の内周面側に、中空円筒状に形成さ
れた固定軸受部材としての軸受スリーブ１３が、圧入又
は焼嵌めによって上記軸受ホルダー１２に接合されてい
る。この軸受スリーブ１３は、小径の孔加工等を容易化
するためにリン青銅などの銅系材料から形成されてい
る。

【００１９】また、前記軸受ホルダー１２の外周取付面
には、電磁鋼板の積層体からなるステータコア１４が嵌
着されている。このステータコア１４に設けられた各突
極部には、駆動コイル１５がそれぞれ巻回されている。

【００２０】さらに、上記軸受スリーブ１３に設けられ
た中心孔内には、上述したロータ組２０を構成する回転
軸２１が回転自在に挿入されている。すなわち、上記軸
受スリーブ１３の内周壁部に形成された動圧面に対し
て、上記回転軸２１の外周面に形成された動圧面が、半
径方向に近接対向するように配置されており、それらの
微小隙間部分にラジアル動圧軸受部ＲＢが構成されてい
る。より詳細には、上記ラジアル動圧軸受部ＲＢにおけ
る軸受スリーブ１３側の動圧面と、回転軸２１側の動圧
面とは、数μｍの微少隙間を介して周状に対向配置され
ており、その微少隙間からなる軸受空間内に、潤滑オイ
ルや磁性流体やエアー等の潤滑流体が軸方向に連続する
ように注入又は介在されている。

【００２１】さらにまた、上記軸受スリーブ１３及び回
転軸２１の両動圧面の少なくとも一方側には、図示を省
略した例えばへリングボーン形状のラジアル動圧発生用
溝が、軸方向に２ブロックに分けられて環状に凹設され
ており、回転時に、当該ラジアル動圧発生用溝のポンピ
ング作用により潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その
潤滑流体の動圧によって、上記回転軸２１とともに後述
する回転ハブ２２がラジアル方向に、上記軸受スリーブ
１３に対して非接触状態で軸支持される構成になされて
いる。

【００２２】このとき、上記回転軸２１とともにロータ
組２０を構成している回転ハブ２２は、アルミ系金属か
らなる略カップ状部材からなり、当該回転ハブ２２の中
心部分に設けられた接合穴２２ａが、上記回転軸２１の
図示上端部分に対して圧入又は焼嵌めによって一体的に
接合されている。そして、この回転ハブ２２には、図示
を省略したクランパにより、磁気ディスク等の記録媒体
が固定されるようになっている。すなわち、上記回転ハ
ブ２２は、記録媒体ディスクを外周部に搭載する略円筒
状の胴部２２ｂを有しているとともに、その胴部２２ｂ
の図示下側の内周壁面側に、バックヨークを介して環状
駆動マグネット２２ｃが取り付けられている。上記環状
駆動マグネット２２ｃは、前述したステータコア１４の
外周側端面に対して環状に対向するように近接配置され
ている。

【００２３】一方、図７、図８及び図９にも示されてい
るように、前記回転軸２１の図示下端側の先端部分に
は、円盤状のスラストプレート２３がプレート固定ネジ
２４により固着されている。このスラストプレート２３
は、上述した軸受スリーブ１３の図示下端側の中心部分
に凹設された円筒状の窪み部１３ａ（図６参照）内に収
容されるように配置されていて、その軸受スリーブ１３
の窪み部１３ａ内において、上記スラストプレート２３
の図示上側面に設けられた動圧面が、軸受スリーブ１３
に設けられた動圧面に対して、軸方向に近接するように
対向配置されている。

【００２４】そして、上記スラストプレート２３の図示
上側の動圧面には、後述する電解加工方法によって、特
に図７に示されているようなヘリングボーン形状に形成
されたスラスト動圧発生溝２３ａが形成されていて、そ
のスラストプレート２３及び上記軸受スリーブ１３の両
動圧面どうしの対向隙間部分に、上側のスラスト動圧軸
受部ＳＢａが形成されている。

【００２５】さらにまた、上記スラストプレート２３の
図示下側の動圧面に近接するようにして、比較的大径の
円盤状部材からなるカウンタープレート１６が配置され
ている。このカウンタープレート１６は、上記軸受スリ
ーブ１３の下端側の開口部分を閉塞するように配置され
ていて、当該カウンタープレート１６の外周側部分が、
上記軸受スリーブ１３側に対して固定されている。

【００２６】そして、上記スラストプレート２３の図示
下側の動圧面には、後述する電解加工方法によって特に
図８に示されているようなヘリングボーン形状のスラス
ト動圧発生溝２３ｂが形成されていて、それによって、
図示下側のスラスト動圧軸受部ＳＢｂが形成されてい
る。

【００２７】このようにして軸方向に隣接して配置され
た一組のスラスト動圧軸受部ＳＢａ，ＳＢｂを構成して
いるスラストプレート２３側の両動圧面と、それに近接
対向する軸受スリーブ１３及びカウンタープレート１６
側の両動圧面とは、それぞれ数μｍの微少隙間を介して
軸方向に対向配置されているとともに、その微少隙間か
らなる軸受空間内に、オイルや磁性流体やエアー等の潤
滑流体が、前記スラストプレート２３の外周側通路を介
して軸方向に連続するように注入又は介在されていて、
回転時に、上述したスラストプレート２３に設けられた
スラスト動圧発生用溝２３ａ，２３ｂのポンピング作用
によって潤滑流体が加圧されて動圧を生じ、その潤滑流
体の動圧により、上述した回転軸２１及び回転ハブ２２
がスラスト方向に浮上した非接触の状態で軸支持される
ように構成されている。

【００２８】次に、上述したスラストプレート２３に対
して、スラスト動圧発生溝２３ａ，２３ｂを本発明によ
り製造するにあたって用いる電解加工装置の構造を説明
する。

【００２９】図１、図２、図３、図４及び図５に示され
ているように、本体ベース部３１上に取り付けられたワ
ーク支持治具３２の略中央部分には、ワーク装着用の凹
部が設けられており、そのワーク装着用凹部内に、前述
した被加工物としてのスラストプレート２３の素材（以
下、スラストプレート素材という。）２３’が、落とし
込まれるようにして略水平状態にて保持されている。

【００３０】また、上記スラストプレート素材２３’の
図示上側の表面上には、絶縁部材からなるマスキング部
材３３が密着するようにして装着されている。このマス
キング部材３３は、上記スラストプレート素材２３’の
外径より大径の比較的厚肉の板状部材からなり、当該マ
スキング部材３３の外周縁部分が、キャップ状部材３４
によって上記ワーク支持治具３２側に対して図示下方向
に押し付けられるようにして固定されている。

【００３１】このとき、特に図３及び図４に示されてい
るように、上記マスキング部材３３の中心部分には、後
述する電解液を受け入れる供給口３３ａが軸方向に貫通
するように形成されており、さらに、その供給口３３ａ
からは、前述したスラスト動圧発生溝２３ａ，２３ｂに
対応した形状を含む連通孔パターン３３ｂが、半径方向
外方に向かって放射状に延びるように形成されている。
それらの各連通孔パターン３３ｂは、軸方向に貫通する
ように形成されたものであるが、図４中に斜線を付した
前記スラスト動圧発生溝２３ａ，２３ｂに対応した部位
における外周縁部（図示破線）から、半径方向外方に向
かって更に延出するように設けられている。そして、そ
の半径方向外方における延出端部分に、後述する電解液
を外部に排出する排出口３３ｃになされている。

【００３２】このマスキング部材３３は、少なくとも表
面部分に絶縁性材料が形成されていれば良く、例えば、
薄厚のセラミック材や、ステンレス鋼板（ＳＵＳ）に対
して電着又はセラミックによるコーティングを施したも
の、或いは樹脂板などが用いられる。

【００３３】一方、上記マスキング部材３３の直上位置
には、当該マスキング部材３３に当接するようにして、
中空の棒状部材からなる電極工具３５が、略鉛直方向に
立設するように配置されている。この電極工具３５は、
上述した本体ベース部３１の上方位置に延在している本
体アーム部３６に固定されており、当該電極工具３５の
図示下端部分が、上記マスキング部材３３の図示上面側
に対して密着して軸方向下方に向かって押さえ込むよう
に配置されている。

【００３４】この電極工具３５側には、例えば、５Ｖ〜
１５Ｖ程度の出力電圧を有する直流電源の負極（−）が
接続されているとともに、上記直流電源の正極（＋極）
が、被加工物としてのスラストプレート素材２３’側に
接続されている。

【００３５】さらに、上記電極工具３５の中心部分に
は、軸方向に沿って液通路３５ａが貫通形成されてお
り、その液通路３５ａの図示下端側に設けられた出口部
が、上述したマスキング部材３３の供給口３３ａ内に開
口して両者が連通される構成になされている。このとき
の電解液としては、例えば、ＮaＮo₃ の３０重量％溶液
が用いられており、上記液通路３５ａの図示上端側か
ら、図示を省略した電解液供給手段（ポンプ）によって
電解液が送給された電解液が、上記マスキング部材３３
の供給口３３ａ内に送り込まれるように構成されてい
る。なお、上記電解液としては、３〜１０重量％のＫＯ
Ｈ、３〜１０重量％のＮaＯＨ、５〜１５重量％のＮa₂
Ｃo₃などを用いてもよい。

【００３６】この電極工具３５からマスキング部材３３
の中心部分に供給された電解液は、当該マスキング部材
３３に設けられた連通孔パターン３３ｂの内部側に流入
していき、半径方向外方側への一方向に向かって、前記
スラストプレート素材２３’の露出面上に接触しながら
流動していく。そのとき、前記電極工具３５とスラスト
プレート素材２３’との間に通電を行えば、スラストプ
レート素材２３’の電解液が接触した部位が、電気化学
的に溶出していくこととなって、当該スラストプレート
素材２３’の電解加工が行われる。

【００３７】このとき、上記マスキング部材３３の各連
通孔パターン３３ｂは、前記スラストプレート素材２
３’の半径方向外方側まで延在するように設けられてお
り、上記スラストプレート素材２３’の外周縁から更に
半径方向外方に向かって上記連通孔パターン３３ｂ内を
流動した電解液は、それらの各連通孔パターン３３ｂの
最外周部分に設けられた排出口３３ｃから外部に排出さ
れていき、図示を省略した受け皿に蓄えられた後に、再
循環されるようになっている（図１０参照）。

【００３８】さらに、前記電解液としては、界面活性剤
の混合液が用いられている。本実施形態における界面活
性剤は、非イオン性活性剤のアルキルエーテル系のもの
が使用されており、０．０３％体積比以上の添加量にな
されている。このような添加量にしたのは、例えば次の
表１のような実験結果に基づく。

【００３９】すなわち、次の表１には、内径５．０ｍ
ｍ、厚さ１２ｍｍのステンレス材（ＳＵＳ４２０）から
なる被加工素材に対して、界面活性剤の濃度を０％から
５％まで変化させながら各々６０秒間の電解加工を行
い、その電解加工後に電解液中に含まれている残留メタ
ルチップの概略数を表したものである。

【表１】

【００４０】この表１から、界面活性剤が０％体積比の
場合に比して、上述した０．０３％体積比以上の場合に
は、残留メタルチップ数が格段に減少しており、界面活
性剤が効率的に作用していることが解る。また、２％体
積比以上に設定した場合には、残留メタルチップ数はほ
とんど０になっている。一方、界面活性剤の体積比を５
％体積比以上に多くしても、加工自体の特性は変わらな
いから、２％体積比程度に設定することが好ましい。

【００４１】このような構成を有する動圧軸受装置の製
造方法によれば、被加工物としてのスラストプレート素
材２３’に供給される電解液が、当該スラストプレート
素材２３’に密着させられたマスキング部材３３の連通
孔パターン３３ｂ内にのみ流動させられることとなり、
マスキング部材３３の板厚を大きくしてスラストプレー
ト素材２３’と電極工具３５との間の隙間を広げて電解
液の流動性を向上させた場合でも、マスキング部材３３
の連通孔パターン３３ｂに対応した形状の動圧発生用溝
２３ａ，２３ｂが、スラストプレート素材２３’に対し
て高精度に形成されるようになっている。

【００４２】また、本実施形態における動圧軸受装置の
製造方法では、マスキング部材３３の連通孔パターン３
３ｂを、スラストプレート素材２３’の外周縁部より半
径方向外方側まで延設し、その連通孔パターン３３ｂの
外方延設端部分に設けられた排出口３３ｃから電解液を
排出するようにしていることから、電極工具３５から供
給された電解液が、マスキング部材３３の連通孔パター
ン３３ｂの内部側を良好に流動していくようになってい
る。

【００４３】さらに、本実施形態における動圧軸受装置
の製造方法では、マスキング部材３３が、絶縁性部材に
より形成されていることから、上記マスキング部材３３
における連通孔パターン３３ｂ以外の部分に対する通電
がほぼ完全に遮断されることとなり、動圧発生用溝２３
ａ，２３ｂの形状が一層高精度に形成されるようになっ
ている。

【００４４】さらにまた、本実施形態における動圧軸受
装置の製造方法では、電解液として、界面活性剤との混
合液が用いられていることから、被加工物としてのスラ
ストプレート素材２３’からの電解生成物などの各種パ
ーティクルが、電解液中の界面活性剤に吸収されて円滑
な流動が確保されるようになっている。

【００４５】以上、本発明者によってなされた発明の実
施形態を具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変形可能であることはいうまでもない。

【００４６】例えば、上述した実施形態では、電解液
を、中心側から半径方向外方に向かう一方向にって流動
させているが、それとは反対に、外方側から中心側に向
かう一方向に電解液を流動させたり、それら両方向に交
互に流動させたりすることも可能である。

【００４７】また、前述したスラスト動圧発生溝２３
ａ，２３ｂの半径方向中間部分における折曲頂部に相当
する位置に、電解液の供給口を配置しておき、そこから
内方・外方の双方に分岐するようにして両側に電解液を
流動させるようにすることも可能である。この場合に
は、軸受の内周側と外周側との双方に電解液の排出口を
設けておくこととなる。

【００４８】さらに、上述した実施形態は、ハードディ
スク駆動用モータ（ＨＤＤ）の動圧軸受装置に対して本
発明を適用したものであるが、その他の動圧軸受装置、
更には、多種多様な被加工物への電解加工方法に対して
も同様に適用することができる。

【００４９】

【発明の効果】以上述べたように、本発明の請求項１に
かかる電解加工方法は、被加工物の被加工表面上に、凹
部の形状に対応した連通孔パターンを貫通形成したマス
キング部材を密着させておくとともに、そのマスキング
部材に電極工具を当接させるようにして押さえ込み、上
記電極工具の液通路からマスキング部材の連通孔パター
ンの内部側に供給した電解液を、当該連通孔パターンの
内部側において一方向に流動させながら電解加工を行わ
せることによって、被加工物に対して供給した電解液
を、マスキング部材の連通孔パターン内にのみ流動させ
て、上記連通孔パターンに対応した形状の凹部を被加工
物に対して容易かつ高精度に形成するようにしたもので
あるから、簡易な構成で、高精度な電解加工を安価に行
うことでき、電解加工の実用性を大幅に向上させること
ができる。

【００５０】また、請求項２記載の電解加工方法は、請
求項１に加えて、マスキング部材の連通孔パターンを、
被加工物の外周縁部より半径方向外方側まで延設し、そ
の連通孔パターンの外方延設端部分から電解液を排出し
ていることから、電極工具から供給された電解液が、マ
スキング部材の連通孔パターンの内部側を良好に流動す
ることとなり、上述した効果をさらに向上させることが
できる。

【００５１】さらに、請求項３記載の電解加工方法は、
請求項１に加えて、マスキング部材の少なくとも表面部
分に絶縁性部材を設けて、マスキング部材における連通
孔パターン以外の部分に対する電解液への通電がほぼ完
全に遮断させて、凹部の形状を一層高精度に形成したも
のであるから、上述した効果をさらに向上させることが
できる。

【００５２】さらにまた、請求項４記載の電解加工方法
は、請求項１に加えて、電解液として界面活性剤との混
合液を用いて、電解液の円滑な流動を確保させたもので
あるから、上述した効果を一層高めることができる。

【００５３】さらに、請求項５記載の動圧軸受装置の製
造方法は、被加工物の被加工表面に、動圧発生用溝の形
状に対応した連通孔パターンを貫通形成したマスキング
部材を密着させておくとともに、そのマスキング部材に
電極工具を当接させるようにして押さえ込み、上記電極
工具の液通路からマスキング部材の連通孔パターンの内
部側に供給した電解液を、当該連通孔パターンの内部側
のみにおいて一方向に流動させながら電解加工を行わせ
ることによって、被加工物に対して供給した電解液を、
マスキング部材の連通孔パターン内にのみ流動させて、
上記連通孔パターンに対応した形状の動圧発生用溝を被
加工物に対して容易かつ高精度に形成するようにしたも
のであるから、簡易な構成で、高精度な動圧発生用溝を
安価に行うことでき、動圧軸受装置を極めて良好に製造
することができる。

【００５４】また、請求項６記載の動圧軸受装置の製造
方法は、請求項５に加えて、マスキング部材の連通孔パ
ターンを、被加工物の外周縁部より半径方向外方側まで
延設し、その連通孔パターンの外方延設端部分から電解
液を排出していることから、電極工具から供給された電
解液が、マスキング部材の連通孔パターンの内部側を良
好に流動することとなり、上述した効果をさらに向上さ
せることができる。

【００５５】さらに、請求項７記載の動圧軸受装置の製
造方法は、請求項５に加えて、マスキング部材の少なく
とも表面部分に絶縁性部材を設けて、マスキング部材に
おける連通孔パターン以外の部分に対する電解液への通
電がほぼ完全に遮断させて、動圧発生用溝の形状を一層
高精度に形成したものであるから、上述した効果をさら
に向上させることができる。

【００５６】さらにまた、請求項８記載の動圧軸受装置
の製造方法は、請求項５に加えて、電解液として界面活
性剤との混合液を用いて、電解液の円滑な流動を確保さ
せたものであるから、上述した効果を一層高めることが
できる。

【００５７】また、請求項９記載の動圧軸受装置は、請
求項５乃至請求項８のいずかれに記載の動圧軸受装置の
製造方法により製造された軸部材又は軸受部材を備えて
いることから、動圧軸受装置を高精度かつ効率的に製造
することができ、動圧軸受装置を極めて安価に得ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を実施するための電解加工装置の一例の
概略構造を表した正面断面説明図である。

【図２】図１に表した本発明を実施するための電解加工
装置の概略構造を表した側面断面説明図である。

【図３】図２中の要部を拡大して表したものであって、
図４中のIII−III線に沿った位置に相当する断面説明図
である。

【図４】図１、図２及び図３に表した電解加工装置に用
いられるマスキング部材の構造を表した平面説明図であ
る。

【図５】図１乃至図４に表した電解加工装置の使用状態
を表した装置要部の外観説明図である。

【図６】本発明の電解加工により製造された動圧軸受装
置を有する装置例としてのハードディスク駆動用モータ
（ＨＤＤ）の構造例を表した縦断面説明図である。

【図７】図６に表した動圧軸受装置に用いられているス
ラストプレートの構造例を表した底面説明図である。

【図８】図６に表した動圧軸受装置に用いられているス
ラストプレートの構造例を表した平面説明図である。

【図９】図７及び図８に表したスラストプレートの縦断
面説明図である。

【図１０】一般の電解加工装置の一例の概略構造を表し
た模式的な側面説明図である。

【符号の説明】

１０ステータ組２０ロータ組２１回転軸２２回転ハブ２３スラストプレート２３ａ，２３ｂスラスト動圧発生溝２３’ スラストプレート素材（被加工物）ＳＢａ，ＳＢｂスラスト動圧軸受部３１本体ベース部３２ワーク支持治具３３マスキング部材３３ａ電解液供給口３３ｂ孔連通孔パターン３３ｃ電解液排出口３４キャップ状部材３５電極工具３５ａ液通路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3C059 AA02 AB01 DA07 EC01 EC02 HA00 3J011 AA20 BA02 BA08 CA02 JA02 KA02 KA03 LA05 MA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被加工物と適宜の隙間をおいて電極工具
を対向配置し、その電極工具の内部側に設けられた液通
路を通して前記隙間内に電解液を供給して流動させなが
ら、前記被加工物と電極工具との間に適宜の通電を行わ
せることによって、上記被加工物の表面に対して所望の
形状の凹部を電解加工するようにした電解加工方法にお
いて、上記被加工物の被加工表面上に、前記凹部の形状に対応
した連通孔パターンを貫通形成したマスキング部材を密
着させておくとともに、そのマスキング部材に前記電極
工具を当接させるようにして押さえ込み、上記電極工具の液通路から上記マスキング部材の連通孔
パターンの内部側に供給した電解液を、当該連通孔パタ
ーンの内部側のみにおいて一方向に流動させながら電解
加工を行わせるようにしたことを特徴とする電解加工方
法。
【請求項２】前記マスキング部材の連通孔パターン
を、前記被加工物の外周縁部より半径方向外方側まで延
設し、その連通孔パターンの外方延設端部分から電解液を排出
するようにしたことを特徴とする請求項１記載の電解加
工方法。
【請求項３】前記マスキング部材の少なくとも表面部
分に、絶縁性部材が設けられていることを特徴とする請
求項１記載の電解加工方法。
【請求項４】前記電解液として、界面活性剤との混合
液が用いられていることを特徴とする請求項１記載の電
解加工方法。
【請求項５】潤滑流体の動圧を利用した動圧軸受装置
に用いられる軸部材又は軸受部材の素材を被加工物と
し、その被加工物に動圧発生用溝を形成する方法であっ
て、上記被加工物と適宜の隙間をおいて電極工具を対向配置
し、その電極工具の内部側に設けられた液通路を通して
前記隙間内に電解液を供給して流動させながら、前記被
加工物と電極工具との間に適宜の通電を行わせることに
よって、上記被加工物の表面に対して所望の形状の動圧
発生用溝を電解加工するようにした動圧軸受装置の製造
方法において、上記被加工物の被加工表面上に、前記動圧発生用溝の形
状に対応した連通孔パターンを貫通形成したマスキング
部材を密着させておくとともに、そのマスキング部材に
前記電極工具を当接させるようにして押さえ込み、上記電極工具の液通路から上記マスキング部材の連通孔
パターンの内部側に供給した電解液を、当該連通孔パタ
ーンの内部側のみにおいて一方向に流動させながら電解
加工を行わせるようにしたことを特徴とする動圧軸受装
置の製造方法。
【請求項６】前記マスキング部材の連通孔パターン
を、前記被加工物の外周縁部より半径方向外方側まで延
設し、その連通孔パターンの外方延設端部分から電解液を排出
するようにしたことを特徴とする請求項５記載の動圧軸
受装置の製造方法。
【請求項７】前記マスキング部材の少なくとも表面部
分に、絶縁性部材が設けられていることを特徴とする請
求項５記載の動圧軸受装置の製造方法。
【請求項８】前記電解液として、界面活性剤との混合
液が用いられていることを特徴とする請求項５記載の動
圧軸受装置の製造方法。
【請求項９】請求項５乃至請求項８のいずかれに記載
の動圧軸受装置の製造方法により製造された軸部材又は
軸受部材を備えていることを特徴とする動圧軸受装置。