JP2006250346A - 動圧軸受の製造方法及び型 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 中心孔をもつ被加工物100’を用意し、被加工物100’の中心孔に型200を挿入する。空洞203に気体もしくは液体によって加圧し、型200を膨張させて、被加工物100’の中心孔と型200を密着させる。エッチャント(図示略)が、図中のA方向から図中のB方向へ溝202を流動し、流出口202bから流出する。このとき、前記エッチャントは、溝202部分において被加工物100’と接触してエッチングをおこない、溝202に沿った形状に動圧発生溝102を形成する。ステップS304では、空洞203への加圧を止めて型200を抜き取る。
【選択図】 図3
Description
(実施の形態1)
図1は本発明の実施の形態1にかかわる動圧軸受のスリーブ100の構成を示す図である。図1(a)は上面図、図1(b)は正面からの断面図である。
(実施の形態2)
図4は本発明の実施の形態2にかかわる型400の構成を示す図である。図4(a)は断面図、図3(b)は正面図、図3(c)は下面図である。
(実施の形態3)
図5は本発明の実施の形態3にかかわる動圧軸受のスリーブ500の製造方法を示す図である。
例えば濃度調整液として水を用いると、エッチャント濃度を低下させることができる。また、濃度調整液としてエッチャントを用いることで、流動中のエッチャントの劣化を抑えることができる。図5(b)は、実施の形態1における図3中のステップS303に相当する図である。前記エッチャントは、溝202部分において被加工物100’と接触してエッチングを行い、溝202に沿った形状に動圧発生溝502を形成する。濃度調整孔501と溝202の接続部近傍では、エッチャントの濃度が変化しているため、エッチングの速度が変化しており、動圧発生溝502の深さに変化を生じさせることができる。
101 内周面
102 動圧発生溝
200 型
201 外周面
202 溝
202a 流入口
202b 流出口
400 型
401 外周面
402 溝
402a、402b 流出口
402c 頂点
403 流入孔
404 連通孔
500 スリーブ
501 濃度調整孔
502 動圧発生溝
600 スリーブ
602 動圧発生溝
Claims (10)
- 動圧軸受に用いられるシャフトまたはスリーブの素材を被加工物とする動圧軸受の製造方法であって、
溝を有する型を作製する型作製工程と、前記型と前記被加工物を前記被加工物表面が前記溝を覆うように密着させる型密着工程と、前記溝と前記被加工物に囲まれた空間に前記被加工物をエッチングするエッチャントを流動させることにより、前記溝の形状を前記被加工物に転写する転写工程を含むことを特徴とする動圧軸受の製造方法。 - 前記型密着工程は、円柱形状を有する前記型が、円筒形状を有する前記被加工物に挿入される挿入工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の動圧軸受の製造方法。
- 前記型密着工程は、前記挿入工程の後に、前記型に設けた空洞を気体または液体を用いて加圧することで前記型を膨張させる膨張工程が行われることを特徴とする請求項2に記載の動圧軸受の製造方法。
- 前記型に設けた空洞内を減圧することで、前記型を縮小させる工程を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の動圧軸受の製造方法。
- 前記型密着工程は、円柱形状を有する前記被加工物が、円筒形状を有する前記型に挿入される挿入工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の動圧軸受の製造方法。
- 前記転写工程は、前記空間に接続する連通孔から導入される濃度調整液を用いて前記エッチャントの濃度を調整する濃度調整工程を有することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の動圧軸受の製造方法。
- 動圧軸受に用いられるシャフトまたはスリーブの素材を被加工物とし、前記被加工物を加工するために用いる動圧軸受形成用の型であって、
表面に溝を有し、前記被加工物に密着することで前記溝と前記被加工物に囲まれた空間を有することを特徴とする型。 - 内部に、前記被加工物と密着しない面と前記溝とが連通する連通孔を少なくとも1つ有することを特徴とする請求項7に記載の型。
- 内部に、前記被加工物と密着しない面へ開口する空洞を有することを特徴とする請求項7または8に記載の型。
- 樹脂製であることを特徴とする請求項7から9のいずれかに記載の型。
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JPH0388150A (ja) * | 1989-08-31 | 1991-04-12 | Sharp Corp | ディスク状記録担体 |
JPH07195449A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-01 | Fujitsu Ltd | ディスク用成形機 |
JP2001173657A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-26 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 流体軸受の製造方法及びこの方法により製造された流体軸受 |
JP2003039250A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-12 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 電解加工方法、並びに動圧軸受装置の製造方法及びその製造方法により製造された動圧軸受装置 |
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