JP2003036789A - 平面表示装置の製造方法 - Google Patents

平面表示装置の製造方法

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JP2003036789A
JP2003036789A JP2001221797A JP2001221797A JP2003036789A JP 2003036789 A JP2003036789 A JP 2003036789A JP 2001221797 A JP2001221797 A JP 2001221797A JP 2001221797 A JP2001221797 A JP 2001221797A JP 2003036789 A JP2003036789 A JP 2003036789A
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JP
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spacers
spacer
substrate
display device
manufacturing
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JP2001221797A
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Yoji Takezawa
洋治 竹澤
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Toshiba Corp
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Toshiba Corp
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  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】平面表示装置を容易にかつ高い精度で製造する
ことが可能な平面表示装置の製造方法を提供する。 【解決手段】フェースプレート2およびリアプレート1
間の間隔を保持するスペーサ10に磁性を持たせ、まず
スペーサ10を蛍光体層が形成されたフェースプレー
ト、蛍光体層を励起する電子放出素子が設けられたリア
プレート1のいずれか一方に対し、磁石15により吸着
して位置決め固定し、その後、他方のプレ−トと位置合
わせを行なって接合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、対向配置された
プレートとこれらのプレート間に設けられたスペーサと
を備えた平面表示装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、平面表示装置として用いられるフ
ィールド−エミッション−デバイス(FED)の一種と
して、表面導電型電子放出装置(以下、SEDと称す
る)の開発が進められている。
【0003】このSEDは、所定の隙間を置いて対向配
置されたフェースプレートおよびリアプレートを有し、
これらのプレートは、矩形枠状の側壁を介して周縁部を
互いに接合することにより真空外囲器を構成している。
フェースプレートの内面には3色の蛍光体層が形成さ
れ、リアプレートの内面には、蛍光体を励起する電子放
出源として、各画素毎に対応する多数のエミッタが配列
されている。各エミッタは、電子放出部、この電子放出
部に電圧を印加する一対の電極等で構成されている。ま
た、両プレート間には、プレート間の隙間を維持するた
め、多数の板状あるいは柱状のスペーサが配置されてい
る。
【0004】これらのスペ−サの形成方法としては、プ
レ−ト表面にスペ−サとなる部分以外の個所を必要高さ
分だけエッチング、ブラスト等によりプレ−ト表面を掘
り込むことによってスペ−サを形成する方法と、複数の
単独スペ−サを規則正しく所定の位置に位置決めし接着
剤等により固定して形成する方法などが考えられる。
【0005】またSEDにおいて、多数のエミッタは対
応する蛍光体層に対し所定の位置に正確に設けられてい
ることが必要となるが、上記スペ−サも各エミッタおよ
び蛍光体層に対して所定の位置に設けることが重要とな
る。そのため、フェースプレートおよびリアプレート
と、スペ−サとは互いに所定の位置関係に正確に位置合
わせされた状態で接合されなければならない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、フェー
スプレートまたはリアプレート上にスペ−サを設ける方
法として、プレ−ト表面を掘り込む方法と複数スペ−サ
を規則正しく整列して接着により固定させる方法がある
が、フェ−スプレ−トであれば蛍光体層を、リアプレ−
トであればエミッタをそれぞれ面上に成膜しなければな
らず、事前にスペ−サが形成された状態で各プレ−トに
蛍光体層またはエミッタを成膜することは非常に困難と
なる。
【0007】また、フラットなプレ−トに蛍光体層ある
いはエミッタを成膜することは容易であるが、複数の板
状または柱状のスペ−サを事前に成膜されたプレ−ト上
に接着剤により全数固定することは困難である。
【0008】さらにスペ−サの位置が部分的にでもずれ
ていると、形成された画像にスペ−サの影が映ってしま
う等の悪影響が出るため、複数のスペ−サが全ての位置
で正確に固定されていなければならない。
【0009】この発明は以上の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、平面表示装置を容易にかつ高い精度で
製造することが可能な平面表示装置の製造方法を提供す
ることにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、この発明に係る平面表示装置の製造方法は、第1基
板および第2基板をスペ−サにより一定間隔に接合して
なる表面表示装置を製造する方法において、まず、第1
基板および第2基板のいずれか一方の基板上に複数のス
ペ−サを固定させる手段として、磁性を有したスペ−
サ、または磁性を有したサポートに複数のスペ−サを整
列および固定したスペ−サユニットを、上記一方の基板
越しに磁力吸着により間接的に仮固定させる。次に、他
方の基板と上記スペ−サが仮固定された一方の基板とを
所定の位置になるよう位置決めし、両基板の接合を行な
う。そして、第1基板、第2基板およびスペ−サが接合
された後、上記基板およびスペ−サがしっかりと固定さ
れた状態で磁力吸着を解除する。
【0011】
【発明の実施の形態】以下図面を参照しながら、この発
明の実施の形態に係る平面表示装置の製造方法について
詳細に説明する。まず、本製造方法によって製造される
画像表示装置として、表面導電型電子放出装置(以下、
SEDと称する)の構成を説明する。図1および図2に
示すように、このSEDは、それぞれ矩形状のガラスか
らなるリアプレート1およびフェースプレート2を備
え、これらのプレートは所定の隙間を置いて対向配置さ
れている。そして、リアプレート1およびフェースプレ
ート2は、ガラスからなる矩形枠状の側壁3を介して周
縁部同志が接合され、偏平な矩形状の真空外囲器4を構
成している。
【0012】フェースプレート2の内面には蛍光体スク
リーン6が形成されている。この蛍光体スクリーン6
は、赤、青、緑の蛍光体層、および黒色着色層を並べて
構成されている。これらの蛍光体層はストライプ状ある
いはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリー
ン6上には、アルミニウム等からなるメタルバック7が
形成されている。なお、フェースプレート2と蛍光体ス
クリーン6との間に、例えばITOからなる透明導電膜
を設けてもよい。
【0013】リアプレート1の内面には、蛍光体スクリ
ーン6の蛍光体層を励起する電子放出源として、それぞ
れ電子ビームを放出する多数の電子放出素子8が設けら
れている。これらの電子放出素子8は、各画素毎に対応
して複数列および複数行に配列されている。各電子放出
素子8は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電
圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。ま
た、リアプレート1上には、電子放出素子8に電圧を印
加するための図示しない多数本の配線がマトリック状に
設けられている。
【0014】接合部材として機能するほぼ矩形枠状の側
壁3は、例えば、低融点ガラスからなるフリットガラス
9により、リアプレート1の周縁部およびフェースプレ
ート2の周縁部に封着され、フェースプレートおよびリ
アプレート同志を接合している。
【0015】そして、リアプレート1およびフェースプ
レート2の間には、これらプレート間の隙間を維持する
ため、それぞれ板状あるいは柱状に形成された多数のス
ペーサ10が配置され、磁性を有したスペ−ササポ−ト
11によって所定の位置に位置決めされている。このス
ペーササポ−ト11は板状あるいは網状に形成されてい
るとともに、リアプレ−ト1に設けられた電子放出素子
8と対向する位置に、電子ビームを通過させるための開
孔21がそれぞれ形成されている。なお、スペーササポ
ート11としては、例えば、アンバー材、Ni−Fe合
金等(材料を追記してください)等を用いることができ
る。
【0016】次に、以上の構造を有するSEDの製造方
法について説明する。図3のように、予めリアプレ−ト
1に電子放出素子8及び側壁3を設けて構成されたリア
プレ−トユニット12と、フェ−スプレ−ト2に蛍光体
スクリ−ン6およびメタルバック7を形成して構成され
たフェ−スプレ−トユニット13と、を用意する。ま
た、スペ−ササポ−ト11により複数のスペ−サ10を
それぞれ所定の位置関係に保持してなるスペ−サユニッ
ト14を用意する。スペーササポート11と各スペーサ
10とは、例えば、接着、圧着等によって固定する。
【0017】続いて、サポ−トユニット14とリアプレ
−トユニット12とが所定の位置に合うよう、これらを
互いに位置決めする。この際、リアプレ−トユニット1
2ではなく、フェ−スプレ−トユニット13とサポート
ユニット14とを互いに位置決めして合わせるようにし
ても良い。
【0018】次に、図4のように、支持板17上に複数
の磁石15が配置された固定ユニット16を用意し、こ
の固定ユニットにより、サポ−トユニット14が置かれ
たリアプレ−ト1の裏側からサポートユニット14全体
を磁力吸着し、リアプレートに対して所定の位置に仮固
定する。この際、各スペーサとリアプレート1との間を
接着剤等により部分的に仮接着してもよい。
【0019】そして、サポ−トユニット14およびリア
プレ−トユニット12が互いに仮固定された状態で、リ
アプレ−ト1およびフェ−スプレ−ト2が互いに所定の
位置関係となるように、双方または一方を移動させて位
置合わせを行う。上記の工程により、リアプレ−ト1、
フェ−スプレ−ト2、およびスペーサ10は、所定の相
対的位置に位置決めされる。
【0020】このようにリアプレ−ト1、フェ−スプレ
−ト2、およびスペーサ10が相互に位置決めした後、
真空雰囲気内でリアプレ−ト1およびフェ−スプレ−ト
2を加圧および加熱し、側壁3に塗られたフリットガラ
ス9を溶かして封着する。その後、冷却する事により溶
けたフリットガラス9が固まり、リアプレ−ト1、フェ
−スプレ−ト2、および側壁3が互いに接合される。こ
れにより、真空外囲器4を有したSEDが形成される。
【0021】接合後、SEDの内部は真空状態になるた
め、各スペーサ10はリアプレ−ト1とフェ−スプレ−
ト2とに挟まれる形となって大気圧により加圧固定され
る。そのため、スペーサ10は、固定ユニット16を外
した後も所定の位置に保持される。
【0022】以上のように構成されたSEDおよびその
製造方法によれば、リアプレートおよびフェースプレー
ト間の隙間を確保する為のスペ−サ10を容易に位置合
わせ及び固定することができる。また、プレートとスペ
−サとの直接的な接触部に接着剤を少量または全く使用
せずに済むため、電子放出素子および蛍光体スクリーン
の品質が安定する。更に、電子放出素子および蛍光体ス
クリ−ンに対するスペーサの位置精度が向上するため、
高画質のSEDを容易に製造することが可能となる。
【0023】なお、この発明は上述した実施の形態に限
定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能で
ある。例えば、製造工程において、サポートユニット
は、固定ユニットを用いて、リアプレート側に限らず、
フェースプレート側に仮固定してもよい。また、スペ−
サとしては、磁性体を用いてもよく、あるいは、熱膨張
を考慮してスペ−サをガラス等の非磁性材料で形成し、
その表面に磁性体材料を塗布したものを用いてもよい。
更に、この発明は、SEDに限らず、他の平面表示装置
にも適用することが可能である。
【0024】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明によれ
ば、基板およびスペーサを容易にかつ高い精度で位置決
めすることができ、高画質の平面表示装置を容易に製造
可能な平面表示装置の製造方法を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態に係る平面表示装置を示
す斜視図。
【図2】図1の線A−Aに沿った断面図。
【図3】上記平面表示装置の製造工程を示す断面図。
【図4】上記平面表示装置の製造工程を示す断面図。
【符号の説明】
1…リアプレート 2…フェースプレート 3…側壁 4…真空外囲器 6…蛍光体スクリーン 7…メタルバック 8…電子放出素子 9…フリットガラス 10…スペーサ 11…スペーササポート 14…サポ−トユニット 15…磁石 16…固定ユニット

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】対向配置された第1基板および第2基板
    と、これら第1および第2基板間に配置され第1および
    第2基板間の間隔を保持した複数のスペーサと、を備え
    た平面表示装置の製造方法において、 上記第1および第2基板のいずれか一方の基板上に上記
    複数のスペーサを配置した後、上記一方の基板の裏側か
    ら磁力により上記複数のスペーサを吸着して上記一方の
    基板上に仮固定し、 上記スペーサを仮固定した状態で、上記第1および第2
    基板を互いに接合することを特徴とする平面表示装置の
    製造方法。
  2. 【請求項2】上記スペーサを磁性体により形成し、磁石
    を用いて上記一方の基板の裏側から上記スペーサを磁力
    吸着して仮固定することを特徴とする請求項1に記載の
    平面表示装置の製造方法。
  3. 【請求項3】上記スペーサとして、非磁性体により形成
    されているとともに表面に磁性体材料が塗布されたスペ
    ーサを用い、磁石により上記一方の基板の裏側から上記
    スペーサを磁力吸着して仮固定することを特徴とする請
    求項1に記載の平面表示装置の製造方法。
  4. 【請求項4】上記複数のスペーサを、磁性を有したサポ
    ートにより支持し、磁石を用いて上記一方の基板の裏側
    から上記スペーサを磁力吸着して仮固定することを特徴
    とする請求項1に記載の平面表示装置の製造方法。
  5. 【請求項5】上記複数のスペーサを、磁性を有したサポ
    ートにより所定の位置に整列および固定した後、上記一
    方の基板の裏側から上記スペーサを磁力吸着して仮固定
    することを特徴とする請求項1に記載の平面表示装置の
    製造方法。
  6. 【請求項6】上記第1および第2基板を互いに接合して
    上記スペーサを第1および第2基板間に保持した後、上
    記磁力によるスペーサの吸着を解除することを特徴とす
    る請求項1ないし5のいずれか1項に記載の平面表示装
    置の製造方法。
  7. 【請求項7】対向配置された第1基板および第2基板
    と、これら第1および第2基板間に配置され第1および
    第2基板間の間隔を保持した複数のスペーサと、を備え
    た平面表示装置の製造方法において、 表面に蛍光体スクリーンが形成された第1基板と、上記
    蛍光体スクリーンを励起するための電子を放出する複数
    の電子放出素子が表面に設けられた第2基板と、を用意
    し、 上記第1および第2基板のいずれか一方の基板の表面上
    に上記複数のスペーサを配置した後、上記一方の基板の
    裏側から磁力により上記複数のスペーサを吸着して上記
    一方の基板上に仮固定し、 上記スペーサを仮固定した状態で、上記第1および第2
    基板を互いに接合することを特徴とする平面表示装置の
    製造方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100562021B1 (ko) 2004-07-01 2006-03-17 주식회사 에너솔 알루미늄 고분자 콘덴서 제조용 지그

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