JP2003036729A - Conductive material - Google Patents

Conductive material

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JP2003036729A
JP2003036729A JP2001219205A JP2001219205A JP2003036729A JP 2003036729 A JP2003036729 A JP 2003036729A JP 2001219205 A JP2001219205 A JP 2001219205A JP 2001219205 A JP2001219205 A JP 2001219205A JP 2003036729 A JP2003036729 A JP 2003036729A
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Japan
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conductive
conductive layer
layer
thin film
resin
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JP2001219205A
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Japanese (ja)
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Yoshiko Kitamura
佳子 北村
Takehiro Sasaki
武弘 佐々木
Susumu Kurishima
進 栗嶋
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Kimoto Co Ltd
Original Assignee
Kimoto Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive material maintaining high conductivity and improved in durability against abrasion, as a material of an apparatus in a clean room, especially as a material for a viewing window of a machine. SOLUTION: On one side of a transparent plastic film having an anchor coat if necessary, is formed a conductible layer containing conductive particles and an ionizing radiation cured resin, covered with an inorganic pellicle of silica or the like. The width of the inorganic pellicle is set so as to prevent reflection of visible light. With an adhesive layer on the other side of the plastic film, it is used to adhere to a material to be adhered to such as a glass material constituting the viewing window of the machine.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】この発明は各種基材に帯電防
止機能を付与するための導電性材料に関し、特にクリー
ンルーム等の構造材やクリーンルーム内で使用される機
器類用材料に好適な導電性材料に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive material for imparting an antistatic function to various base materials, and is particularly suitable as a structural material for a clean room or a material for equipment used in the clean room. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】工業用無塵室(クリーンルーム)等の微
粉を嫌う室内では、壁面や床面の構造材や室内に設置さ
れる機械の材料として、帯電防止処理が施された材料が
使用されている。このような材料として、例えば、合成
樹脂材に帯電防止フィルム(導電性フィルム)を貼着ある
いは熱圧着したものが広く用いられており、特に機械の
のぞき窓等の透明性が求められる用途用の導電性フィル
ムとしては、透明な基材の上に、ITO等の透明な導電
性フィラーをバインダー樹脂に分散させた導電層を設け
たものが用いられる。
2. Description of the Related Art In a room such as an industrial dust-free room (clean room) where fine powder is disliked, an antistatic material is used as a structural material for walls and floors and a machine material installed in the room. ing. As such a material, for example, a material in which an antistatic film (conductive film) is attached or thermocompression-bonded to a synthetic resin material is widely used, and particularly for applications where transparency such as a peep window of a machine is required. As the conductive film, a transparent substrate provided with a conductive layer in which a transparent conductive filler such as ITO is dispersed in a binder resin is used.

【0003】クリーンルーム用の導電性フィルムは、通
常の帯電防止フィルムに比べ、高い導電性が要求され、
導電性フィラー/樹脂比を高めることで所定の導電性を
得ている。しかしながら、導電性フィラー/樹脂比を高
めると、導電層の機械的強度、特に表面の耐擦傷性が低
下するという問題がある。
Conductive films for clean rooms are required to have higher conductivity than ordinary antistatic films.
A predetermined conductivity is obtained by increasing the conductive filler / resin ratio. However, if the ratio of the conductive filler / resin is increased, there is a problem that the mechanical strength of the conductive layer, especially the scratch resistance of the surface is lowered.

【0004】このような機械的強度の低下を防止するた
めに、導電層の樹脂として電離放射線硬化型樹脂を用い
ることや導電層と基材との間にハードコート層を設ける
ことが提案されており、屈曲性等の機械的強度について
は改善されている。しかし、導電層表面の耐擦傷性につ
いては、これら技術では充分な性能が得られていなかっ
た。
In order to prevent such a decrease in mechanical strength, it has been proposed to use an ionizing radiation curable resin as the resin of the conductive layer or to provide a hard coat layer between the conductive layer and the base material. However, the mechanical strength such as flexibility is improved. However, regarding the scratch resistance of the surface of the conductive layer, sufficient performance has not been obtained by these techniques.

【0005】一方、導電層の表面に耐擦傷性を付与する
ために、ハードコート層のような耐擦傷性のある層を設
けることが考えられるが、この場合には、導電性が損な
われる可能性が高い。
On the other hand, it is possible to provide a scratch-resistant layer such as a hard coat layer in order to impart scratch resistance to the surface of the conductive layer. In this case, the conductivity may be impaired. It is highly likely.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、高い
導電性を備えた導電性材料であって、耐擦傷性等の機械
的強度を改善した導電性材料を提供することを目的とす
る。また本発明は、高い透明性を有し、特にクリーンル
ーム内で使用される機械ののぞき窓など光透過性が要求
される用途に好適な導電性材料を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide a conductive material having high conductivity, which has improved mechanical strength such as scratch resistance. Another object of the present invention is to provide a conductive material having high transparency, which is particularly suitable for applications requiring light transmission such as a peep window of a machine used in a clean room.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明者らは、導電層上に形成する膜材料について
鋭意研究した結果、シリカ等の無機薄膜を設けることに
より、導電性や透明性を阻害することなく、導電層の機
械的強度を大幅に改善できること、またそのような無機
薄膜の膜厚を特定の範囲とすることにより、反射性を防
止することができ、機械類ののぞき窓として好適な導電
性材料が得られることを見出し本発明に至ったものであ
る。
In order to achieve the above object, the inventors of the present invention have earnestly studied about a film material formed on a conductive layer, and as a result, by providing an inorganic thin film such as silica, the conductivity and the transparency are improved. The mechanical strength of the conductive layer can be significantly improved without impairing the reflectivity, and the reflectivity can be prevented by setting the thickness of such an inorganic thin film within a specific range. The inventors of the present invention have found that a conductive material suitable for a window can be obtained and have reached the present invention.

【0008】即ち、本発明の導電性材料は、基材の上に
設けられ、導電性粒子を含む導電層と、前記導電層上に
形成された無機薄膜とを有することを特徴とするもので
ある。また本発明の導電性材料は、透明な基材の上に設
けられ、導電性粒子を含む透明導電層と、前記導電層上
に形成された無機薄膜とを有することを特徴とするもの
である。
That is, the conductive material of the present invention is characterized in that it is provided on a base material and has a conductive layer containing conductive particles and an inorganic thin film formed on the conductive layer. is there. Further, the conductive material of the present invention is characterized in that it is provided on a transparent substrate and has a transparent conductive layer containing conductive particles and an inorganic thin film formed on the conductive layer. .

【0009】また本発明の導電性材料は、前記無機薄膜
が、シリカから成ることを特徴とする。無機薄膜の厚み
は、好適には、0.01μm〜1.0μmである。さらに本発
明の導電性材料は、前記基材が、導電層との間に電離放
射線硬化型樹脂からなるアンカーコート層を有するもの
である。また本発明の導電性材料は、基材が、前記導電
層が設けられる面の反対面に粘着層を有するものであ
る。
Further, the conductive material of the present invention is characterized in that the inorganic thin film is made of silica. The thickness of the inorganic thin film is preferably 0.01 μm to 1.0 μm. Further, in the conductive material of the present invention, the base material has an anchor coat layer made of an ionizing radiation curable resin between the base material and the conductive layer. Further, in the conductive material of the present invention, the base material has an adhesive layer on the surface opposite to the surface on which the conductive layer is provided.

【0010】本発明の導電性材料は、導電層の上にシリ
カ等の無機薄膜を設けたことにより、導電性を阻害する
ことなく、導電層の機械的強度、特に耐擦傷性を向上す
ることができる。またこの無機薄膜の膜厚を所定の範囲
とすることにより、導電性材料が透明な場合にはその高
い透明性を維持しつつ、反射性を防止することができ
る。これにより、本発明の導電性材料を機械類ののぞき
窓用に適用したときに、内部を極めて見やすくすること
ができる。
The conductive material of the present invention is provided with an inorganic thin film such as silica on the conductive layer to improve the mechanical strength of the conductive layer, especially the scratch resistance, without impairing the conductivity. You can Further, by setting the thickness of this inorganic thin film within a predetermined range, when the conductive material is transparent, the high transparency can be maintained and the reflectivity can be prevented. Accordingly, when the conductive material of the present invention is applied to a peep window for machinery, the inside can be made extremely easy to see.

【0011】以下、本発明の導電性材料を詳述する。本
発明の導電性材料は、基本的な構成として、基材と、導
電層と、無機薄膜とを有する。本発明の導電性材料に使
用する基材としては、プラスチックフィルム、プラスチ
ック板、ガラス板等の基材を用いることができる。プラ
スチックフィルムとしては、例えば、ポリカーボネー
ト、ポリオレフィン、ポリエステル、ポリアクリレート
等のアクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリ
デン、トリアセチルセルロース等の樹脂からなるフィル
ムを使用することができる。プラスチック板としては、
ポリカーボネート、アクリル系樹脂、ポリ塩化ビニル等
からなる板を使用することができる。
The conductive material of the present invention will be described in detail below. The conductive material of the present invention has a base material, a conductive layer, and an inorganic thin film as a basic configuration. As the base material used for the conductive material of the present invention, a base material such as a plastic film, a plastic plate or a glass plate can be used. As the plastic film, for example, a film made of an acrylic resin such as polycarbonate, polyolefin, polyester or polyacrylate, or a resin such as polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride or triacetyl cellulose can be used. As a plastic plate,
A plate made of polycarbonate, acrylic resin, polyvinyl chloride or the like can be used.

【0012】本発明の導電性材料がフィルムである場合
には、上記材料のうち、特に耐溶剤性、耐熱性などの加
工性や透明性などの光学特性の観点からポリエステルフ
ィルムが好適である。基材の表面には、導電層あるいは
後述するアンカーコート層との接着性を改善する目的で
易接着処理を施してもよい。
When the conductive material of the present invention is a film, a polyester film is preferable among the above materials from the viewpoint of processability such as solvent resistance and heat resistance and optical characteristics such as transparency. The surface of the base material may be subjected to an easy adhesion treatment for the purpose of improving the adhesiveness to the conductive layer or the anchor coat layer described later.

【0013】基材の厚さは特に限定されないが、他の部
材に貼着するフィルムの場合、通常50μm〜300μm程
度とする。このような範囲とすることにより、取り扱い
性や他の部材への貼着時の作業性が良好となる。
The thickness of the substrate is not particularly limited, but in the case of a film attached to another member, it is usually about 50 μm to 300 μm. By setting it as such a range, the handling property and the workability at the time of sticking to other members will become favorable.

【0014】本発明の導電性材料において、導電層は基
材上に直接設けても良いが、好適には、基材と導電層と
の間に電離放射線硬化型樹脂を含むアンカーコート層を
設ける。アンカーコート層を設けることにより、機械的
強度を向上することができる。
In the conductive material of the present invention, the conductive layer may be directly provided on the base material, but preferably, an anchor coat layer containing an ionizing radiation curable resin is provided between the base material and the conductive layer. . By providing the anchor coat layer, the mechanical strength can be improved.

【0015】アンカーコート層を構成する電離放射線硬
化型樹脂は、電離放射線(紫外線または電子線)の照射
によって架橋硬化する樹脂で、具体的には、エポキシ系
アクリレート、ポリエステル系アクリレート、ポリウレ
タン系アクリレート、多価アルコール系アクリレート等
のアクリル基を有する樹脂、ポリチオールポリエン樹脂
等の光重合性プレポリマーを用いることができる。
The ionizing radiation curable resin constituting the anchor coat layer is a resin which is cross-linked and cured by irradiation with ionizing radiation (ultraviolet ray or electron beam), and specifically, epoxy-based acrylate, polyester-based acrylate, polyurethane-based acrylate, A resin having an acrylic group such as a polyhydric alcohol acrylate, or a photopolymerizable prepolymer such as a polythiol polyene resin can be used.

【0016】これらは単独でも使用可能であるが、架橋
硬化性、架橋硬化膜の硬度を向上させるために、光重合
性モノマーを加えることが好ましい。光重合性モノマー
としては、2−エチルヘキシルアクリレート、2−ヒド
ロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルア
クリレート、ブトキシエチルアクリレート等の単官能ア
クリルモノマー、1、6−ヘキサンジオールアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ジエチレ
ングリコールジアクリレート、ポリエチレングリコール
ジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸エステルネオペ
ンチルグリコールアクリレート等の2官能アクリルモノ
マー、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ト
リメチルプロパントリアクリレート、ペンタエリスリト
ールトリアクリレート等の多官能アクリルモノマー等の
1種若しくは2種以上が使用される。
Although these can be used alone, it is preferable to add a photopolymerizable monomer in order to improve the crosslinkability and the hardness of the crosslinked cured film. As the photopolymerizable monomer, a monofunctional acrylic monomer such as 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, butoxyethyl acrylate, 1,6-hexanediol acrylate, neopentyl glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate. One or two kinds of bifunctional acrylic monomers such as acrylate, polyethylene glycol diacrylate, hydroxypivalic acid ester neopentyl glycol acrylate, etc., and polyfunctional acrylic monomers such as dipentaerythritol hexaacrylate, trimethylpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, etc. The above is used.

【0017】アンカーコート層は、上述した光重合性プ
レポリマーおよび光重合性モノマーの他、紫外線照射に
より硬化させる場合には、光重合開始剤や紫外線増感剤
等を添加することが好ましい。さらにアンカーコート層
は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等、電離放射線硬化型
樹脂以外の樹脂を含有せしめてもよい。また上述した電
離放射線硬化型樹脂等の他に、UV吸収剤、光安定剤等の
添加剤を含有していてもよい。
In the anchor coat layer, in addition to the above-mentioned photopolymerizable prepolymer and photopolymerizable monomer, it is preferable to add a photopolymerization initiator, an ultraviolet sensitizer or the like when it is cured by ultraviolet irradiation. Further, the anchor coat layer may contain a resin other than an ionizing radiation curable resin such as an acrylic resin or an epoxy resin. Further, in addition to the above-mentioned ionizing radiation curable resin and the like, additives such as a UV absorber and a light stabilizer may be contained.

【0018】アンカーコート層は、上記光重合性プレポ
リマー、光重合性モノマー及び必要に応じて、光重合開
始剤や紫外線増感剤等を含む電離放射線硬化型樹脂塗料
を、基材上に塗布後、紫外線または電子線を照射するこ
とにより形成することができる。アンカーコート層の厚
みは特に限定されないが、好ましくは2μm以上、より
好ましくは4μm〜12μmとする。
For the anchor coat layer, an ionizing radiation curable resin coating material containing the above-mentioned photopolymerizable prepolymer, photopolymerizable monomer and, if necessary, a photopolymerization initiator, an ultraviolet sensitizer and the like is applied on a substrate. After that, it can be formed by irradiating with an ultraviolet ray or an electron beam. The thickness of the anchor coat layer is not particularly limited, but is preferably 2 μm or more, more preferably 4 μm to 12 μm.

【0019】導電層は、バインダー樹脂と導電性粒子と
を含む。バインダー樹脂としては、フェノール樹脂、ウ
レタン樹脂、不飽和ポリエステル、N−メチロール化ポ
リアクリルアミド等の熱硬化型樹脂やアンカーコート層
の樹脂として挙げた樹脂と同様の電離放射線硬化型樹脂
を用いることが好ましい。このような樹脂を用いること
により高い塗膜強度が得られる。特に、比較的低い温度
で層形成ができ、また耐擦傷性に優れる点で、電離放射
線硬化型樹脂または、以下述べるような、末端あるいは
側鎖にN−メチロール基を有するポリマーと末端あるい
は側鎖にカルボキシル基を有するポリマーとの混合ポリ
マーが好適である。
The conductive layer contains a binder resin and conductive particles. As the binder resin, it is preferable to use a thermosetting resin such as phenol resin, urethane resin, unsaturated polyester, or N-methylolated polyacrylamide, or an ionizing radiation curable resin similar to the resins mentioned as the resin for the anchor coat layer. . High coating strength can be obtained by using such a resin. In particular, from the viewpoint that a layer can be formed at a relatively low temperature and that it has excellent scratch resistance, an ionizing radiation curable resin or a polymer having an N-methylol group at the terminal or side chain as described below and the terminal or side chain are used. A mixed polymer with a polymer having a carboxyl group is preferable.

【0020】末端あるいは側鎖にN−メチロール基を有
するポリマーとしては、N−メチロール化アクリルアミ
ドと(メタ)アクリル酸エステルとの共重合体、N−メ
チロール化アクリルアミドとエチレン性不飽和二重結合
を有する化合物との共重合体等が挙げられる。(メタ)
アクリル酸エステルモノマーとしては、アクリル酸エチ
ル、アクリル酸ブチル、メタクリル酸メチルなどが挙げ
られ、エチレン性不飽和二重結合を有するモノマーとし
ては酢酸ビニル、スチレン等が挙げられる。
As the polymer having an N-methylol group at the terminal or side chain, a copolymer of N-methylol acrylamide and (meth) acrylic acid ester, N-methylol acrylamide and an ethylenically unsaturated double bond are used. Examples thereof include a copolymer with a compound having the same. (Meta)
Examples of the acrylate ester monomer include ethyl acrylate, butyl acrylate, methyl methacrylate and the like, and examples of the monomer having an ethylenically unsaturated double bond include vinyl acetate, styrene and the like.

【0021】末端あるいは側鎖にカルボキシル基を有す
るポリマーとしては、(メタ)アクリル酸と(メタ)ア
クリル酸エステルとの共重合体、(メタ)アクリル酸と
エチレン性不飽和二重結合を有する化合物との共重合体
などが挙げられる。
As the polymer having a carboxyl group at the terminal or side chain, a copolymer of (meth) acrylic acid and (meth) acrylic acid ester, a compound having (meth) acrylic acid and an ethylenically unsaturated double bond And copolymers thereof.

【0022】末端あるいは側鎖にN−メチロール基を有
するポリマーと、末端あるいは側鎖にカルボキシル基を
有するポリマーとの混合割合は、N−メチロール基とカ
ルボキシル基の比率が50:1〜1:20、好適には5:1〜
1:3となるような割合とするのが好ましい。このような
割合とすることで、比較的低温の加熱で導電層を硬化さ
せることが可能となる。
The mixing ratio of the polymer having an N-methylol group at the terminal or side chain and the polymer having a carboxyl group at the terminal or side chain is such that the ratio of the N-methylol group to the carboxyl group is 50: 1 to 1:20. , Preferably from 5: 1
The ratio is preferably 1: 3. With such a ratio, it becomes possible to cure the conductive layer by heating at a relatively low temperature.

【0023】導電性粒子としては、アルミニウム、亜鉛
等の金属微粉末、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、酸化
インジウム微粉末、酸化錫と酸化アンチモンとの混合微
粉末などの金属酸化物微粉末、酸化錫にアンチモンをド
ープしたもの等を用いることができる。また針状物質の
表面を金属または金属酸化物で被覆した針状導電性粒子
を用いてもよい。針状導電性粒子としては、針状チタン
酸カリウムの表面を、アルミニウム、クロム、銀、アン
チモン、インジウム、酸化アンチモンをドープした酸化
錫等で極めて薄く被覆したものが挙げられる。透明性が
要求される用途では、酸化錫或いは酸化錫と酸化アンチ
モンとの混合物などの酸化物微粉末が好適である。これ
らは単独で或いは2種以上を混合して用いることができ
る。
As the conductive particles, fine powder of metal such as aluminum and zinc, fine powder of metal oxide such as titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, fine powder of indium oxide, mixed fine powder of tin oxide and antimony oxide, For example, tin oxide doped with antimony can be used. In addition, needle-shaped conductive particles obtained by coating the surface of the needle-shaped substance with a metal or a metal oxide may be used. Examples of the acicular conductive particles include acicular potassium titanate whose surface is extremely thinly coated with aluminum, chromium, silver, antimony, indium, tin oxide doped with antimony oxide, or the like. For applications requiring transparency, fine oxide powders such as tin oxide or a mixture of tin oxide and antimony oxide are suitable. These may be used alone or in admixture of two or more.

【0024】導電性粒子の粒子径は、0.2μm以下であ
ることが好ましい。0.2μm以下の粒子を用いることに
より、可視光の散乱を抑え、透明性を確保することがで
きる。導電性粒子の添加量は、好ましくは導電層(導電
層を構成する材料全体)の50〜90重量%、より好ましく
は60〜85重量%とする。50重量%以上添加することによ
り、表面抵抗率を104〜109Ωにすることができ、極めて
高い帯電防止性が要求される用途に適用することができ
る。針状導電性粒子を用いた場合には、添加量が35重量
%程度以上でも上記表面抵抗率を得ることができる。ま
た90重量%以下とすることにより、塗膜の強度の低下を
防止し、透明性を保つことができる。
The particle diameter of the conductive particles is preferably 0.2 μm or less. By using particles of 0.2 μm or less, it is possible to suppress scattering of visible light and ensure transparency. The amount of the conductive particles added is preferably 50 to 90% by weight, more preferably 60 to 85% by weight, based on the conductive layer (the entire material constituting the conductive layer). By adding 50% by weight or more, the surface resistivity can be made 10 4 to 10 9 Ω, and it can be applied to applications requiring extremely high antistatic properties. When acicular conductive particles are used, the above surface resistivity can be obtained even if the amount of addition is about 35% by weight or more. Further, when the content is 90% by weight or less, the strength of the coating film can be prevented from lowering and the transparency can be maintained.

【0025】導電層は、導電性を損ねない範囲で、上述
したバインダー樹脂および導電性粒子の他に、UV吸収
剤、UV吸収性樹脂、光安定剤等の添加剤を含有せしめる
ことができる。
The conductive layer may contain additives such as a UV absorber, a UV absorbing resin, and a light stabilizer in addition to the binder resin and the conductive particles described above as long as the conductivity is not impaired.

【0026】導電層は、基材又は基材上に形成されたア
ンカーコート層の上に、導電性粒子を含むバインダー樹
脂塗料を塗布後、バインダー樹脂が熱硬化型樹脂の場合
には所定の温度(100℃〜150℃程度)で加熱硬化させる
ことにより、電離放射線硬化型樹脂の場合には紫外線ま
たは電子線を照射することにより形成することができ
る。導電層の厚みは好ましくは1.0μm〜5.0μm、より
好ましくは1.5μm〜3.0μmとなるようにする。
The conductive layer is formed by applying a binder resin coating containing conductive particles on a base material or an anchor coat layer formed on the base material, and then applying a predetermined temperature when the binder resin is a thermosetting resin. By heat-curing (about 100 ° C. to 150 ° C.), an ionizing radiation-curable resin can be formed by irradiation with ultraviolet rays or electron beams. The thickness of the conductive layer is preferably 1.0 μm to 5.0 μm, more preferably 1.5 μm to 3.0 μm.

【0027】無機薄膜は、導電層の導電性を損なうこと
なく導電層の耐擦傷性を改善するために、上述の導電層
上に設けるものである。このような無機薄膜を形成する
材料としては、比較的低屈折率物質であるSiの酸化物
やLi、Na、Mg、Al、Ca、La、Nd、Pb等
のフッ化物、比較的高屈折率物質であるTi、Cr、Z
r、Ni、Mo等の単体やTi、Zn、Y、Zr、I
n、Sn、Sb、Hf、Ta、Ce、Pr、Nd等の酸
化物等が挙げられる。特に、Siの酸化物(シリカ)等
の低屈折率物質を用いることにより、導電層表面の反射
率を下げ、導電性材料表面に反射防止性を付与すること
ができる。このように反射防止性を向上した導電性フィ
ルムは、機械ののぞき窓のように内部を透過して見る部
材に適用したときに、外部光の映りこみを防止し、内部
の視認を容易にすることができる。
The inorganic thin film is provided on the above-mentioned conductive layer in order to improve the scratch resistance of the conductive layer without impairing the conductivity of the conductive layer. Materials for forming such an inorganic thin film include oxides of Si, which are relatively low-refractive index materials, fluorides such as Li, Na, Mg, Al, Ca, La, Nd, and Pb, and relatively high refractive index. Materials Ti, Cr, Z
simple substance such as r, Ni, Mo, Ti, Zn, Y, Zr, I
Examples thereof include oxides of n, Sn, Sb, Hf, Ta, Ce, Pr, Nd and the like. In particular, by using a low-refractive index material such as Si oxide (silica), it is possible to reduce the reflectance on the surface of the conductive layer and impart antireflection property to the surface of the conductive material. In this way, the conductive film with improved anti-reflection property prevents external light from being reflected and facilitates internal visibility when applied to a member that sees through the inside, such as a peep window of a machine. be able to.

【0028】無機薄膜の厚みは、好ましくは0.01μm〜
1.0μm、より好ましくは0.05μm〜0.5μmの範囲とす
る。このような範囲で、導電層の導電性を損なうことな
く耐擦傷性を向上することができる。また光の反射防止
理論により、厚みdが次式を満たすときに、高い反射防
止性が得られる。 d=(a+1)λ/4n 式中、aは0又は正の偶数、λは反射を防止しようとす
る光の波長、nは無機薄膜の屈折率である。
The thickness of the inorganic thin film is preferably 0.01 μm to
The thickness is 1.0 μm, more preferably 0.05 μm to 0.5 μm. In such a range, the scratch resistance can be improved without impairing the conductivity of the conductive layer. Further, according to the theory of antireflection of light, when the thickness d satisfies the following equation, high antireflection property is obtained. d = (a + 1) λ / 4n In the formula, a is 0 or a positive even number, λ is the wavelength of light for which reflection is to be prevented, and n is the refractive index of the inorganic thin film.

【0029】無機薄膜がシリカ薄膜の場合、屈折率nは
1.40であるので、可視光の波長域(780nm〜380nm)に対
し、ほぼ0.15μm〜0.07μmの範囲とすることで反射防
止性を向上することができる。
When the inorganic thin film is a silica thin film, the refractive index n is
Since it is 1.40, the antireflection property can be improved by setting the range of approximately 0.15 μm to 0.07 μm with respect to the wavelength range of visible light (780 nm to 380 nm).

【0030】無機薄膜は、単層でもよいが、低屈折率材
料からなる層に高屈折率材料からなる層を、波長に応じ
た所定の膜厚となるように二層以上積層し、反射防止性
を向上させることも可能である。但し、導電性を阻害し
ないために、全体としての膜厚は、上述した範囲(1.0μ
m以下)とすることが好ましい。
The inorganic thin film may be a single layer, but two or more layers made of a material having a high refractive index and a layer made of a material having a high refractive index are laminated so as to have a predetermined film thickness according to the wavelength to prevent reflection. It is also possible to improve the property. However, in order not to impede conductivity, the overall film thickness should be within the above range (1.0 μm).
m or less) is preferable.

【0031】無機薄膜は、上述した材料を、真空蒸着
法、スパッタリング法、イオンプレーティング法などの
真空成膜法により成膜することにより、形成することが
できる。或いは、テトラエトキシシラン、テトラメトキ
シシラン、テトラトリエトキシシラン、メチルトリメト
キシシラン等のケイ素アルコキシドや、ジルコニアプロ
ポキシド、アルミニウムイソプロポキシド、チタンブド
キシド等のケイ素以外の金属アルコキシドを加水分解し
て調整した酸化ケイ素ゾル或いは金属酸化物ゾルを、ブ
レードコータ法、ロッドコータ法、グラビアコータ法等
の公知の塗布法で塗布することにより形成することもで
きる。
The inorganic thin film can be formed by forming the above-mentioned materials by a vacuum film forming method such as a vacuum vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method or the like. Alternatively, a silicon alkoxide such as tetraethoxysilane, tetramethoxysilane, tetratriethoxysilane, or methyltrimethoxysilane, or an oxidation prepared by hydrolyzing a metal alkoxide other than silicon such as zirconia propoxide, aluminum isopropoxide, or titanium budoxide. It can also be formed by applying a silicon sol or a metal oxide sol by a known coating method such as a blade coater method, a rod coater method or a gravure coater method.

【0032】本発明の導電性材料は、他の部材への貼着
を可能にするために、基材の裏面(導電層が形成されて
いる面と反対側の面)に粘着層や感熱接着剤層を設ける
ことができる。粘着層には、アクリル系粘着剤、シリコ
ーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等一般
に使用される粘着剤を使用することができる。また帯電
防止剤を含有する粘着剤を用いても良い。
The conductive material of the present invention has an adhesive layer or a heat-sensitive adhesive on the back surface of the base material (the surface opposite to the surface on which the conductive layer is formed) so that it can be attached to other members. An agent layer can be provided. For the pressure-sensitive adhesive layer, a commonly used pressure-sensitive adhesive such as an acrylic pressure-sensitive adhesive, a silicone pressure-sensitive adhesive, a urethane pressure-sensitive adhesive, a rubber pressure-sensitive adhesive can be used. Also, an adhesive containing an antistatic agent may be used.

【0033】以上のように構成される本発明の導電性材
料は、高い帯電防止性と耐擦傷性を備えているので、ク
リーンルームの構造材やクリーンルーム内で使用される
パレットや各種ケース等の材料に貼着して用いることが
できる他、その高い透明性と反射防止性を利用して、ク
リーンルーム内に設置される機械ののぞき窓用に好適で
ある。
Since the conductive material of the present invention constructed as described above has high antistatic property and scratch resistance, it is used as a structural material of a clean room, a pallet used in a clean room, various cases, and the like. In addition to being used by adhering to, it is suitable for a peep window of a machine installed in a clean room due to its high transparency and antireflection property.

【0034】[0034]

【実施例】以下、本発明の導電性材料を実施例に基づき
さらに説明する。尚、以下の実施例において、「部」は
特に断らない限り、重量部を意味するものとする。
EXAMPLES The conductive material of the present invention will be further described below based on examples. In the following examples, "parts" means "parts by weight" unless otherwise specified.

【0035】[実施例]ポリエステルフィルム(厚さ100μ
m)の片面に、下記処方の導電層用塗工液を塗布し、乾
燥後、紫外線(120W)を20秒照射し、厚さ2.8μmの導
電層を形成した。 <導電層用塗工液> ・二酸化錫−五酸化アンチモン 10.4部 ・電離放射線硬化型樹脂 3.3部 (固形分80重量%) (ユニディック17-813:大日本インキ化学工業社) ・光重合開始剤 0.08部 (イルガキュア184:チハ゛スヘ゜シャルティケミカルス゛社) ・プロピレングリコールモノメチルエーテル12.8部 ・トルエン 38.5部
[Example] Polyester film (thickness 100μ
m) was coated with a coating solution for conductive layer having the following formulation, dried and then irradiated with ultraviolet rays (120 W) for 20 seconds to form a conductive layer having a thickness of 2.8 μm. <Coating liquid for conductive layer> -Tin dioxide-antimony pentoxide 10.4 parts-Ionizing radiation curable resin 3.3 parts (solid content 80% by weight) (Unidick 17-813: Dainippon Ink and Chemicals, Inc.) -Photopolymerization initiator 0.08 part (Irgacure 184: Ciba Specialty Chemicals Co.)-Propylene glycol monomethyl ether 12.8 parts-Toluene 38.5 parts

【0036】この導電層の上に、テトラエトキシシラン
の加水分解液をブレードコータ法にて塗布・乾燥し、乾
燥厚0.1μmのシリカ薄膜を形成し、導電性フィルムを
得た。
A hydrolyzed solution of tetraethoxysilane was applied onto this conductive layer by a blade coater method and dried to form a silica thin film having a dry thickness of 0.1 μm to obtain a conductive film.

【0037】[比較例1]シリカ薄膜を形成しない以外は
実施例の導電性フィルムと同様に導電層を形成し、導電
性フィルムを得た。
Comparative Example 1 A conductive film was obtained by forming a conductive layer in the same manner as the conductive film of Example except that the silica thin film was not formed.

【0038】[比較例2]ポリエステルフィルム(厚さ100
μm)の片面に、実施例の導電性フィルムと同様に導電
層を形成し、さらにその上に、下記処方のハードコート
層用塗工液を塗布し、乾燥後、紫外線(120W)を10秒照
射し、厚さ2.0μmのUV硬化樹脂層を形成し、導電性
フィルムを得た。 <ハードコート層用塗工液> ・電離放射線硬化型樹脂 47部 (固形分80重量%) (ユニディック17-813:大日本インキ化学工業社) ・光重合開始剤 1.1部 (イルガキュア184:チハ゛スヘ゜シャルティケミカルス゛社) ・プロピレングリコールモノメチルエーテル34部 ・トルエン 34部
Comparative Example 2 Polyester film (thickness 100
(μm) on one side, a conductive layer is formed in the same manner as the conductive film of the example, and a hard coat layer coating solution having the following formulation is further applied onto the conductive layer, and after drying, ultraviolet rays (120 W) are applied for 10 seconds. Irradiation was performed to form a UV curable resin layer having a thickness of 2.0 μm to obtain a conductive film. <Coating liquid for hard coat layer> -Ionizing radiation curable resin 47 parts (solid content 80% by weight) (Unidick 17-813: Dainippon Ink and Chemicals, Inc.)-Photopolymerization initiator 1.1 parts (Irgacure 184) : Ciba Specialty Chemicals) ・ Propylene glycol monomethyl ether 34 parts ・ Toluene 34 parts

【0039】実施例及び比較例1、2で得られた各導電
性フィルムについて、下記の特性を評価、比較した。結
果を表1に示す。 耐擦傷性:#0000のスチールウールを用いて、面積1cm2
を荷重300gfで10往復した。その結果、傷が殆ど発生し
なかった場合を○、擦傷が発生した場合を△とした。 表面抵抗率(Ω):4329A HIGH RESISTANCE METER, 160
08A RESISTIVITY CELL(横河ヒューレットパッカード
社)を用いて測定(JIS-K6911) 全光線透過率(%):SMカラーコンピューターHGM
-2K(スガ試験機社)を用いて測定(JIS-K7105-198
1) ヘーズ値(%):SMカラーコンピューターHGM-2
K(スガ試験機社)を用いて測定(JIS-K7105-1981) 反射率(%):島津自記分光光度計(UV-31101
PC:島津製作所社)を用い、波長550nmにおける反射
率を測定
The following characteristics were evaluated and compared with respect to each conductive film obtained in Examples and Comparative Examples 1 and 2. The results are shown in Table 1. Scratch resistance: 1 cm 2 area with # 0000 steel wool
Was reciprocated 10 times with a load of 300 gf. As a result, the case where scars were scarcely generated was evaluated as ◯, and the case where scratches were generated was evaluated as Δ. Surface resistivity (Ω): 4329A HIGH RESISTANCE METER, 160
08A RESISTIVITY CELL (Yokogawa Hewlett-Packard Company) (JIS-K6911) Total light transmittance (%): SM color computer HGM
-Measured using 2K (Suga Test Instruments Co., Ltd.) (JIS-K7105-198
1) Haze value (%): SM color computer HGM-2
Measurement using K (Suga Test Instruments Co., Ltd.) (JIS-K7105-1981) Reflectance (%): Shimadzu spectrophotometer (UV-31101)
PC: Shimadzu Corporation) is used to measure the reflectance at a wavelength of 550 nm

【0040】[0040]

【表1】 [Table 1]

【0041】表1に示す結果からも明らかなように、導
電層上に無機薄膜を設けたことにより、耐擦傷性が向上
し、しかも表面抵抗率の上昇は少なく、十分な導電性が
得られることがわかった。一方、光線透過率、ヘーズ値
等の光学特性は無機薄膜を設けることにより向上し、特
に反射率については大幅に減少し、優れた反射防止性が
得られた。また無機薄膜の代わりにハードコート層を設
けた比較例2の導電性フィルムでは、耐擦傷性は向上し
たが、表面抵抗率が増加し、十分な導電性が得られなか
った。
As is clear from the results shown in Table 1, by providing the inorganic thin film on the conductive layer, the scratch resistance is improved, the surface resistivity is not increased so much, and sufficient conductivity is obtained. I understood it. On the other hand, the optical characteristics such as light transmittance and haze value were improved by providing the inorganic thin film, and in particular, the reflectance was significantly reduced, and excellent antireflection property was obtained. Further, in the conductive film of Comparative Example 2 in which the hard coat layer was provided instead of the inorganic thin film, the scratch resistance was improved, but the surface resistivity was increased, and sufficient conductivity was not obtained.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明によれば、基材上に設けられた導
電層の上に無機薄膜を設けたことにより、導電性を阻害
することなく大幅な耐擦傷性の向上を図ることができ
る。また無機薄膜の膜厚を所定の範囲にすることによ
り、反射防止性を高めることができる。本発明によれ
ば、帯電防止性、透明性、耐擦傷性、反射防止性に優
れ、クリーンルーム内に設置される機器や機械ののぞき
窓用に好適な導電性材料が提供される。
According to the present invention, by providing an inorganic thin film on a conductive layer provided on a substrate, it is possible to significantly improve scratch resistance without impairing conductivity. . Further, the antireflection property can be enhanced by setting the thickness of the inorganic thin film within a predetermined range. ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the electrically conductive material which is excellent in antistatic property, transparency, abrasion resistance, and antireflection property, and is suitable for the peep window of the apparatus or machine installed in a clean room is provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗嶋 進 埼玉県さいたま市鈴谷4丁目6番35号 株 式会社きもと技術開発センター内 Fターム(参考) 4F100 AA01C AA20C AA28 AA29 AH06 AK01D AK42 AR00E AT00A BA03 BA04 BA05 BA07 BA10A BA10C BA10E DE01B GB90 JB14D JG01 JG01B JG03 JK12 JL13E JM02C JN01 JN01A JN01B YY00C 5G307 FA01 FA02 FB01 FB02 FC09 FC10    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Susumu Kurishima             4-63 Suzuya, Saitama City, Saitama Prefecture Stock             Kimoto Technology Development Center F-term (reference) 4F100 AA01C AA20C AA28 AA29                       AH06 AK01D AK42 AR00E                       AT00A BA03 BA04 BA05                       BA07 BA10A BA10C BA10E                       DE01B GB90 JB14D JG01                       JG01B JG03 JK12 JL13E                       JM02C JN01 JN01A JN01B                       YY00C                 5G307 FA01 FA02 FB01 FB02 FC09                       FC10

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基材の上に設けられ、導電性粒子を含む導
電層と、前記導電層上に形成された無機薄膜とを有する
ことを特徴とする導電性材料。
1. A conductive material comprising a conductive layer provided on a base material and containing conductive particles, and an inorganic thin film formed on the conductive layer.
【請求項2】前記基材および導電層が実質的に透明であ
る請求項1記載の導電性材料。
2. The conductive material according to claim 1, wherein the base material and the conductive layer are substantially transparent.
【請求項3】前記無機薄膜は、シリカから成ることを特
徴とする請求項1または2に記載の導電性材料。
3. The conductive material according to claim 1, wherein the inorganic thin film is made of silica.
【請求項4】前記無機薄膜の厚みが、0.01μm〜1.0μ
mである請求項1ないし3いずれか1項記載の導電性材
料。
4. The thickness of the inorganic thin film is 0.01 μm to 1.0 μm.
The conductive material according to any one of claims 1 to 3, which is m.
【請求項5】前記基材は、前記導電層との間に、電離放
射線硬化型樹脂からなるアンカーコート層を有すること
を特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の導電
性材料。
5. The conductive material according to any one of claims 1 to 4, wherein the base material has an anchor coat layer made of an ionizing radiation curable resin between the base material and the conductive layer.
【請求項6】前記基材は、前記導電層が設けられる面の
反対面に、粘着層を有することを特徴とする請求項1な
いし5いずれか1項記載の導電性材料。
6. The conductive material according to claim 1, wherein the base material has an adhesive layer on the surface opposite to the surface on which the conductive layer is provided.
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