JP2003030824A - 磁気ディスク用グライドヘッドおよびバーニッシュヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の２本レールのグライドヘッドでは浮上
量を下げるためにレールの幅を狭くすると検査に時間が
かかるという問題が発生した。また、低浮上量では突起
検出レール近傍への塵埃堆積も多くなりグライドヘッド
としての寿命劣化の原因にもなっている。 【解決手段】 回転する磁気ディスクに対向させるスラ
イダーを有し、磁気ディスクとスライダーとの接触ある
いは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘッドであ
って、前記スライダーは少なくとも１つ以上の突起検出
用レールと、少なくとも１つ以上の浮上用レールと、突
起検出用レール面より一段低く形成された突起検出用レ
ールの一部もしくは全部に接する塵埃排出領域と、浮上
用レール面より一段低く形成された浮上用レールの一部
もしくは全部に接する空気流導路領域と、突起検出用レ
ールまたは浮上用レール面より一段低く形成された領域
よりもさらに低い面内に形成された吸引力発生領域を備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は磁気ディスクの製造
検査等に使用されるグライドヘッドおよびバーニッシュ
ヘッドに係るものである。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク装置に使用される磁気デ
ィスクは、ガラスあるいはアルミニウム等で構成した円
盤状の非磁性材基板を用い、その表面に磁性媒体を成膜
したものである。磁気ヘッドによって情報を記録あるい
は再生する記録媒体として用いられている。グライドヘ
ッドは、磁性媒体の表面における微小な突起物あるいは
異物等を検出するためのセンサーとして、磁気ディスク
の検査工程で用いられている。このグライドヘッドは各
種の構成のものが考案され実用化されている。近年、磁
気ディスクの小径化や高記録密度化に伴って、圧電素子
を搭載したグライドヘッドやヘッド外部にＡＥ（Ａｃｏ
ｕｓｔｉｃ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ）センサーを取り付けた
ものが主流となっている。

【０００３】図８は、特開平１１−１６１６３号公報に
開示されている圧電素子をスライダーに搭載したグライ
ドヘッドの斜視図である。スライダー３は、浮上面（媒
体対向面）に一対のレール４を有する。スライダー３の
側面にある張り出し部３ｃにおいて、浮上面の反対側に
圧電素子１２を固着した構成である。圧電素子１２の出
力電圧は上面と下面からリード線１０により取り出さ
れ、サスペンション２に設けた絶縁性チューブ１１を通
じて外部に出力される。なお、浮上面は、スライダーで
磁気ディスクに対向する側の面を言い、空気流によって
スライダーを支えて浮上させる部位もしくは摺動させる
ため部位を含むものである。

【０００４】図９は、圧電素子１２を搭載したグライド
ヘッドの動作原理を説明するものである。グライドヘッ
ドのスライダー３は磁気ディスク１４の回転に伴う空気
流の作用により浮上し、回転が一定速度に達すると所定
の浮上量ｈを保ちながら磁気ディスク１４上を飛行す
る。空気流はスライダーの流入端３ａから流出端３ｂに
沿って流れる。スライダー３がディスク上の突起物１４
ｂに接触あるいは衝突すると、衝撃波がスライダー３中
を伝播して圧電素子１２を振動変形させる。圧電素子１
２の電極に電荷が誘起されるので、リード線１０から電
極間電圧を取り出すことにより突起物の検出に用いるこ
とできる。さらに、所定の浮上量ｈをもつスライダー３
を磁気ディスクの表面で移動すると、浮上量ｈより高い
突起物あるいは変形した部分にスライダーの浮上面４が
接触（衝突）する。このとき発生する衝撃波と磁気ディ
スクの位置を求めれば、磁気ディスク表面にある規格外
の突起物を検知することができる。

【０００５】図１０は、ヘッド外部にＡＥセンサーを搭
載したグライドヘッドの動作原理を説明するものであ
る。図８と同一の部材には、同一の番号を用いた。ＡＥ
センサを用いる場合のスライダー３’には、図８の３ｃ
で示される張りだし部に相当する部分は設けられていな
い。スライダー３’は、図８の説明と同様に、磁気ディ
スク１４の回転に伴う空気流の作用により浮上し、回転
が一定速度に達すると所定の浮上量ｈを保ちながら磁気
ディスク１４上を飛行する。スライダー３’がディスク
上の突起物１４ｂに接触あるいは衝突すると、その衝撃
波はスライダー３’からスライダー支持体であるサスペ
ンション２を伝播し、サスペンション２を支持する検査
装置側に取り付けられたＡＥセンサ１３で検知される。
ＡＥセンサ１３の信号をリード線（図示せず）により取
り出すことにより突起物の検出に用いることできる。こ
の場合も、所定の浮上量ｈをもつスライダー３’を磁気
ディスクの表面で移動すると、浮上量ｈより高い突起物
あるいは変形した部分にスライダーの浮上面４が接触
（衝突）する。このとき発生する衝撃力と磁気ディスク
の位置を求めれば、磁気ディスク表面にある規格外の突
起物を検知することができる。

【０００６】このような原理で動作するグライドヘッド
の浮上面は２本のレールを形成するのが一般的である。
２本のレールを用いることにより、飛行時の姿勢を安定
に保つことができる。また、２本レールのグライドヘッ
ドの場合、その浮上量は、グライドヘッドの浮揚力を生
じさせているレールの幅を変えることで、比較的容易に
制御でき、検査する磁気ディスクの突起、異物の高さの
規格に応じ、必要なグライドヘッドの設計ができる。

【０００７】

【発明が解決しようとしている課題】最近の磁気ディス
ク装置の高容量化と小型化、つまり高記録密度化は猛烈
な勢いで進んでいる。記録密度を上げる為に記録ビット
の大きさはますます小さくなり、それに伴い磁気ヘッド
自体の小型化、磁気ギャップ長の狭小化が進んでいる。
それと並行して、磁気ディスクと磁気ヘッドとの隙間、
即ち磁気ヘッドのスライダーの浮上量は２０ｎｍ以下ま
で極小化されている。磁気ヘッドスライダーが磁気ディ
スク上を飛行し、情報の記録や再生を行う場合、磁気デ
ィスク表面に磁気ヘッドのスライダーの浮上量より大き
な突起や異物があると、スライダーが磁気ディスクと衝
突を起こし、正確な情報の記録や再生ができない。デー
タの破損やハードディスク装置の故障を引き起こす原因
になる。そのために、磁気ディスク表面の突起や異物は
磁気ヘッドのスライダーの浮上量より小さくする必要が
ある。スライダーの浮上量の極小化に伴って要求され
る、磁気ディスクの突起や異物の大きさのはますます小
さくなる傾向にあり、その要求される大きさは１０ｎｍ
以下になっている。そのため、磁気ディスク検査用のグ
ライドヘッドもより小さい浮上量のものが必要となって
きた。

【０００８】従来の２本レールのグライドヘッドで浮上
量を下げるためには、浮揚力を生じさせているレールの
幅を狭くすることが有効である。しかし、昨今の低浮上
量に対して、砥石を用いる機械的な方法による微小なレ
ール幅加工は限界であり、加えて機械加工で生じた浮上
面上のカケはコンタミの蓄積や排出源となり問題になっ
てきている。

【０００９】また、２本レールのグライドヘッドでは、
浮揚力を発生しているレールが磁気ディスク表面の突起
を検出するための検出部でもあるため、磁気ディスク表
面の全面を検査する際には、グライドヘッドをそのレー
ル幅間隔で磁気ディスクの径方向に移動しながら検査す
ることから、レールの幅が狭くなればその分だけグライ
ドヘッドの移動の間隔が小さくなり、検査に時間がかか
るという問題が発生する。

【００１０】また、２本レールのグライドヘッドでは、
磁気ディスクが一定の回転数で回転している場合、当然
のことながら周速は内周側より外周側が速い。よって、
同じ長さ、同じレール幅をもつ２本レールのグライドヘ
ッドが磁気ディスク上を飛行する際には、その周速の差
により外周側のレールの浮上量が内周側のレール浮上量
より高くなり、外周側のレールが磁気ディスクの突起物
に衝突した時の衝撃波の方が、内周側のレールが磁気デ
ィスクの突起物に衝突した時の衝撃波より弱くなる。そ
の為に、外周側のレールは突起物の検出感度が悪くなる
という問題点がある。特に低浮上量化により、内周、外
周側レールでの浮上が異なり傾いてヘッドが飛行するこ
とは、スライダー上の最小浮上量が極端に低くなり、場
合によってはディスクへの衝突が発生し、正確な検査は
おろか、ディスクにキズを付けるなどの問題も発生して
きている。

【００１１】また、低浮上量化が進むにつれて、ディス
クとヘッドとの間に侵入する塵埃の突起検出レールの浮
上量が最も低い部分近傍への堆積も多くなり、ヘッドの
安定飛行を妨げグライドヘッドとしての寿命劣化の原因
にもなってきた。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ディスク用
グライドヘッドは、回転する磁気ディスクに対向させる
スライダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダー
との接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライ
ドヘッドであって、前記スライダーは、少なくとも１つ
以上の突起検出用レールと、少なくとも１つ以上の浮上
用レールと、突起検出用レール面より一段低く形成され
た突起検出用レールの一部もしくは全部に接する塵埃排
出領域と、浮上用レール面より一段低く形成された浮上
用レールの一部もしくは全部に接する空気流導路領域
と、突起検出用レールまたは浮上用レール面より一段低
く形成された領域よりもさらに低い面内に形成された吸
引力発生領域を備えることを特徴とする。

【００１３】前記突起検出用レールと浮上用レールはス
ライダーの浮上面（媒体対向面）を構成する。前記浮上
用レールは回転する磁気ディスクの作り出す空気流を受
けてスライダーを浮上させる機能を有する。前記浮上用
レールの一部または全部に接する部分には、空気流を受
け、かつ流れ易いように浮上用レールより一段低く形成
された空気流導路領域を設ける。また、前記突起検出用
レールの一部または全部に接する部分には、流入してく
る塵埃を粉砕し、かつ排出し易いように突起検出用レー
ルより一段低く形成された塵埃排出領域を設ける。ま
た、低浮上量化するためには、浮上面の中央部に突起検
出用レールと浮上用レールの一部もしくは全部に接する
突起検出用レールと浮上用レール面より一段低く形成さ
れた領域からさらに低く形成された吸引力発生領域を設
ける。吸引力発生領域は浮上用レールや空気流導路領域
から流入した空気流が巻き込まれて、スライダーを磁気
ディスクに引き寄せて浮上量を小さくするように機能す
る。浮上用レールでは、突起を検出する機能よりもスラ
イダーを浮上させる機能が主となる。前記突起検出量レ
ールでは浮上用レールよりも浮上する力が小さく、磁気
ディスク上の突起や異物を検出する機能が主となる。

【００１４】浮上面において、磁気ディスクの回転によ
る空気流が流れ込む側を流入端とし、空気流が流れ出る
側を流出端とし、流入端と流出端の中間を中央部と称す
る。前記浮上用レールは流入端の近傍から中央部にわた
って設けられる。前記突起検出用レールは前記複数の浮
上用レールよりも流出端側に近接して配置される。本発
明の磁気ディスク用グライドヘッドは、浮上面において
浮上機能と突起検出機能を同一の箇所に集中させず、浮
上機能を主とするレールと突起検出機能を主とするレー
ルに分けることで、グライドヘッドの低浮上量化を図
る。この時、浮上用レールや突起検出レールの形や位
置、さらにその周囲に形成される空気流導路領域や塵埃
排出領域の形や位置をスライダー長手方向中心線に対し
て非対称に配置することにより、ヘッドが内外周での周
速差によって傾いて飛行することを防止でき、ディスク
上の異常突起や塵埃の正確な検査ができる。非対称に配
置することにより傾いて飛行することを防止するとは、
空気流による浮揚力を内外周のレールにおいて均等にす
ることに他ならず、たとえば浮上用レールの流出端方向
へ伸びるレール部分の長さや幅を外周よりも内周側のレ
ールにおいて長くもしくは太くすることによって達成さ
れる。このような突起検出用レールと浮上用レール、お
よび空気流導路領域、塵埃排出領域、吸引力発生領域
は、フォトレジスト技術やイオンミリングに代表される
物理的エッチングで高精度に加工されることで得られ
る。機械的加工を含まない、これら高精度加工を用いる
ことにより、スライダー浮上面にカケの発生は無く、コ
ンタミの蓄積や流出源を無くすことが出来る。

【００１５】突起検出レールの周囲には、突起検出レー
ルの流入側に到達した塵埃がレール上に乗り上げること
なく排出させることを目的に，突起検出レールの周囲に
塵埃排出用の領域を設けている。この領域の先端に達し
た塵埃は、段差部分において細かく粉砕され塵埃排出領
域を通ってスライダー後方へ排出される。この領域の幅
は、０．０１５ｍｍ以上０．１５０ｍｍ以下で有ること
が望ましい。０．０１５ｍｍｎ未満では、塵埃の排出効
果が十分では無く、浮上中に突起検出レール上に汚れが
発生する。また、０．１５０ｍｍを超えると、突起検出
レールへの空気流の流れが不安定になり、浮上姿勢が揺
らいでしまいグライドヘッドとしての機能が十分発揮さ
れない。

【００１６】上記本発明において、前記突起検出用レー
ルの幅の総計をスライダー幅の１／２以上の構成とする
ことができる。幅とはスライダーの幅と平行な向きにお
ける寸法をいう。もちろん、検出用レールの幅の総計上
限はスライダーの幅で規制される。突起検出用レールの
幅をスライダーの幅の１／２以上にすることにより、従
来の２本レールのグライドヘッドに比べて、検査時間を
短縮することができる。

【００１７】さらに、低浮上量化するために形成された
吸引力発生領域は、流入端から入った空気流が単調に流
れて流出することなく、一旦絞られるように吸引力発生
領域のより流出側において内向きに張り出し部分を有す
ることが好ましく、これより効率的に吸引力を発生さ
せ、より一層の低浮上量化が達成出来る。

【００１８】浮上用レールと突起検出用レールは、浮上
量や飛行姿勢等の飛行特性と、ディスク上の検査領域や
検査時間の制約等の検査特性から次の様に組み合わせる
ことができる。すなわち、浮上用レール数と突起検出用
レール数が同じ、浮上用レール数が突起検出用レール数
より少ない、浮上用レール数より突起検出用レール数が
多い等、グライドヘッドに求められる特性に合わせて選
択することができる。

【００１９】なお、流入端の近傍から中央部にわたって
設けられる浮上用レールは一つとすることが好ましく、
これより流入端側からの塵埃の侵入を防ぐ事能力が高ま
り、突起検出レールを始めとするスライダー面への塵埃
の堆積を更に抑制する事ができる。

【００２０】突起や異物との衝突を検出する方法とし
て、圧電素子を用いる場合は、スライダーの側面に張り
出し部を設け、その部分に圧電素子を固着し、衝突力を
電気的な信号に変換し検出することができる。ＡＥセン
サを用いる場合は、スライダー支持体や検査装置本体に
ＡＥセンサを設けることにより、衝突力を電気的な信号
に変換し検出することができる。

【００２１】本発明の磁気ディスク検査用ヘッドを、接
触もしくは適切な浮上量を設定することで磁気ディスク
上の異常突起や塵埃を除去するバーニッシュヘッドとし
て使用することができる。この場合、浮上用レールおよ
び突起検出用レールで異常突起や塵埃は除去される。除
去された塵埃は、突起検出用レールの周囲に配された塵
埃排出領域からヘッド後方に排出されることから、ヘッ
ド浮上面に塵埃の堆積を防止できるため、長時間安定し
て使用することが可能となる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
形態を説明する。図１は本発明のグライドヘッドの斜視
図である。このグライドヘッドは、圧電素子１２を張り
出し部３ｃに載せたスライダー３と、スライダー３とリ
ード線１０を支えるサスペンション２を備える圧電素子
搭載のグライドヘッド構成とした。スライダー３の一方
の面には、レールや段差面等を設けて浮上面４（媒体対
向面）を構成した。浮上面の流出端近傍には２つの突起
検出用レール５ａ，５ｂを設けた。また、突起検出用レ
ール５ａ，５ｂの周囲には、塵埃排出領域９ａ，９ｂを
設けた。その浮上面の流入端側から中央部にかけては、
１つの浮上用レール６とその周囲に空気流を導く空気流
導路領域８を設けた。スライダーの中央部には空気流を
巻き込み吸引力を発生する吸引力発生領域７を設けた。
吸引力発生領域７は空気流導路領域８の一部である、８
ａ，８ｂにより内側に向かって張り出し部分を有するよ
うにした。領域の内側に向かって張り出し部分を有する
ように吸引力発生領域７を形成することにより、図４中
の空気流解析線１５が示すように流入端から入った空気
流が単調に流出端へ流れることなく、一旦絞られるよう
になる事によって効率的に吸引力を発生させることによ
り、突起検出用レールの幅を狭くすることなくグライド
ヘッドの浮上量を小さくすることができた。そして、突
起検出用レール５ａと５ｂの幅Ｃ１，Ｃ２の合計幅は、
スライダーの幅ａの１／２よりも大きくした。浮上用レ
ールのスライダー長手方向の長さｂ１，ｂ２の大きさを
調節することにより、スライダーが内外周速の差により
傾いて飛行することを防いだ。このような形状を持つス
ライダー３は、１０ｍ／ｓの周速に対し流出端部におけ
る浮上量が６ｎｍで飛行し、ヘッドの傾きは１ｎｍ以下
であった。スライダーの幅方向には、スライダーよりも
厚さの薄い張り出し部３ｃを突出させた。その張り出し
部３ｃの背面の端には圧電素子１２を固着させた。圧電
素子１２の出力電圧は一対のリード線１０によって取り
出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１
１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用
いたところ、突起や異物の高さが低い要求値の磁気ディ
スクに対し、従来の構成よりも短時間で検査をすること
ができた。さらに、検査中にスライダーとディスク間に
入ってくる塵埃は、突起検出用レールの周囲に配された
塵埃排出領域からヘッド後方に排出されることから、ヘ
ッド浮上面に塵埃の堆積せず、長時間安定して使用する
ことができた。

【００２３】図２は、本発明の図１の実施形態に係る平
面図である。同図中、（ｂ）は（ａ）の平面図をスライ
ダー幅方向に沿ってみた側面図であり、（ｃ）は（ａ）
をスライダー長さ方向に沿ってみた側面図である。図１
と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。突起検出
レール５ａ，５ｂとその周辺に配置された塵埃排出領域
９ａ，９ｂとの距離ｋの長さは０．０２５ｍｍとした。
スライダー３の形状は、スライダーの長さｄを１．２５
ｍｍ、厚さｅを０．４３ｍｍ、スライダー幅ａを０．９
５ｍｍとした。これに対して、突起検出用レール幅ｃ
１，ｃ２を０．３５ｍｍとし、突起検出用レール５ａ，
５ｂの幅ｃ１，ｃ２の寸法の合計幅をスライダー幅ａの
１／２以上に設定した。浮上用レールのスライダー長手
方向の長さｂ１，ｂ２の大きさは、それぞれ０．４２ｍ
ｍ、０．４０ｍｍとし、内外周速の差によりスライダー
が傾いて飛行することを防いだ。また、浮上面の中央部
に設けた吸引力発生領域７の深さｆを２．０μｍとし、
空気流導路領域８、および塵埃排出領域９ａ，９ｂの深
さｇを０．２μｍとした。ここで、深さの寸法は、浮上
面６を基準として厚さ方向の深さに相当する。

【００２４】図２のスライダーにおいて、浮上面の形状
は物理的エッチング処理により形成した。その工程を説
明する。まず、スライダー用の基板上にフォトレジスト
を塗布し、露光および現像処理を施し、突起検出用レー
ル５ａ，５ｂと浮上用レール６を形成する箇所以外の部
分でフォトレジストを除去してレジストマスクを形成し
た。つぎに、イオンミリング装置でミリング加工を行
い、レジストマスク以外の部分を浅い段差の深さに相当
する分だけ削った。つぎに、基板上にもう一度フォトレ
ジストを塗布し、露光および現像処理を施して、突起検
出用レール５ａ，５ｂと浮上に寄与するレール６と空気
流導路領域８、および塵埃排出領域９ａ，９ｂに相当す
る部分のフォトレジストを残し、他の部分のフォトレジ
ストを除去してレジストマスクを形成した。再度、ミリ
ング加工を行ってレジストマスクを被覆していない部分
を削った。ミリング加工を２度施した部分は吸引力発生
領域７の同じ深さにした。以上の工程で浮上面を形成し
た。そして、スライダーの張り出し部３ｃを形成し、そ
の幅ｗ＝０．５ｍｍ、長さｌ＝０．９ｍｍ、厚さｔ＝
０．８ｍｍの圧電素子１２を固着させた。

【００２５】図３は本発明による他のグライドヘッドの
斜視図である。このグライドヘッドは、検査装置側にＡ
Ｅセンサを搭載するグライドヘッド構成とした。スライ
ダー３’の一方の面には、図１および図２に示すレール
や段差面等と同一の浮上面４（媒体対向面）を構成し
た。このグライドヘッドを用いたところ、突起や異物の
高さが低い要求値の磁気ディスクに対し、従来の構成よ
りも短時間で検査をすることができた。さらに、検査中
にスライダーとディスク間に入ってくる塵埃は、突起検
出用レールの周囲に配された塵埃排出領域からヘッド後
方に排出されることから、ヘッド浮上面に塵埃の堆積せ
ず、長時間安定して使用することができた。

【００２６】図５は他の実施形態を示した斜視図であ
る。図１と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。
このグライドヘッドは、圧電素子１２を張り出し部３ｃ
に載せたスライダー３と、スライダー３とリード線１０
を支えるサスペンション２を備える圧電素子搭載のグラ
イドヘッド構成とした。スライダー３の一方の面には、
レールや段差面等を設けて浮上面４（媒体対向面）を構
成した。浮上面の流出端近傍には１つの突起検出用レー
ル５を設けた。また、突起検出用レール５の周囲には、
塵埃排出領域９を設けた。浮上面の流入端側から中央部
にかけては、１つの浮上用レール６とその周囲に空気流
を導く空気流導路領域８を設けた。スライダーの中央部
には空気流を巻き込み吸引力を発生する吸引力発生領域
７を設けた。吸引力発生領域７は空気流導路領域８の一
部である、８ａ，８ｂにより内側に向かって張り出し部
分を有するようにした。そして、突起検出用レール５の
幅Ｃは、スライダーの幅ａの１／２よりも大きくした。
突起検出レール５とその周辺に配置された塵埃排出領域
９との距離ｋの長さは０．０１５ｍｍとした。スライダ
ー３の形状は、スライダーの長さｄを１．２５ｍｍ、厚
さｅを０．４３ｍｍ、スライダー幅ａを０．９５ｍｍと
した。これに対して、突起検出用レール幅ｃを０．６５
ｍｍとした。浮上用レールのスライダー長手方向の長さ
ｂ１，ｂ２の大きさをそれぞれ０．４５ｍｍ、０．４３
ｍｍとすることにより、スライダーが内外周速の差によ
り傾いて飛行することを防いだ。このような形状を持つ
スライダー３は、８ｍ／ｓの周速に対し流出端部におけ
る浮上量が６ｎｍで飛行し、ヘッドの傾きは１ｎｍ以下
であった。スライダーの幅方向には、スライダーよりも
厚さの薄い張り出し部３ｃを突出させた。その張り出し
部３ｃの背面の端には圧電素子１２を固着させた。圧電
素子１２の出力電圧は一対のリード線１０によって取り
出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１
１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用
いたところ、突起や異物の高さが低い要求値の磁気ディ
スクに対し、従来の構成よりも短時間で検査をすること
ができた。さらに、検査中にスライダーとディスク間に
入ってくる塵埃は、突起検出用レールの周囲に配された
塵埃排出領域からヘッド後方に排出されることから、ヘ
ッド浮上面に塵埃の堆積せず、長時間安定して使用する
ことができた。

【００２７】図６は他の実施形態を示した斜視図であ
る。図１と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。
このグライドヘッドは、圧電素子１２を張り出し部３ｃ
に載せたスライダー３と、スライダー３とリード線１０
を支えるサスペンション２を備える圧電素子搭載のグラ
イドヘッド構成とした。スライダー３の一方の面には、
レールや段差面等を設けて浮上面４（媒体対向面）を構
成した。浮上面の流出端近傍には２つの突起検出用レー
ル５ａ，５ｂを設けた。また、突起検出用レール５ａ，
５ｂの周囲には、塵埃排出領域９ａ，９ｂを設けた。浮
上面の流入端側から中央部にかけては、２つの浮上用レ
ール６ａ，６ｂとその周囲に空気流を導く空気流導路領
域８を設けた。スライダーの中央部には空気流を巻き込
み吸引力を発生する吸引力発生領域７を設けた。吸引力
発生領域７は空気流導路領域８の一部である８ａ，８ｂ
により内側に向かって張り出し部分を有するようにし
た。そして、突起検出用レール５ａと５ｂの幅Ｃ１，Ｃ
２の合計幅は、スライダーの幅ａの１／２よりも大きく
した。突起検出レール５ａ，５ｂとその周辺に配置され
た塵埃排出領域９ａ，９ｂとの距離ｋの長さは０．０２
０ｍｍとした。スライダー３の形状は、スライダーの長
さｄを１．２５ｍｍ、厚さｅを０．４３ｍｍ、スライダ
ー幅ａを０．９５ｍｍとした。これに対して、突起検出
用レール幅ｃ１，ｃ２を０．３７ｍｍとした。浮上用レ
ール６ａと６ｂにおいて、６ａの面積を６ｂよりも３％
広くすることにより、スライダーが内外周速の差により
傾いて飛行することを防いだ。このような形状を持つス
ライダー３は、１０ｍ／ｓの周速に対し流出端部におけ
る浮上量が６ｎｍで飛行し、ヘッドの傾きは１ｎｍ以下
であった。スライダーの幅方向には、スライダーよりも
厚さの薄い張り出し部３ｃを突出させた。その張り出し
部３ｃの背面の端には圧電素子１２を固着させた。圧電
素子１２の出力電圧は一対のリード線１０によって取り
出され、サスペンション２に設けられた絶縁チューブ１
１を通じて外部に出力させた。このグライドヘッドを用
いたところ、突起や異物の高さが低い要求値の磁気ディ
スクに対し、従来の構成よりも短時間で検査をすること
ができた。さらに、検査中にスライダーとディスク間に
入ってくる塵埃は、突起検出用レールの周囲に配された
塵埃排出領域からヘッド後方に排出されることから、ヘ
ッド浮上面に塵埃の堆積せず、長時間安定して使用する
ことができた。

【００２８】図７は他の実施形態を示した斜視図であ
る。図１と同様の部材には同じ符号を用いて説明する。
このグライドヘッドは、圧電素子１２を張り出し部３ｃ
に載せたスライダー３と、スライダー３とリード線１０
を支えるサスペンション２を備える圧電素子搭載のグラ
イドヘッド構成とした。スライダー３の一方の面には、
レールや段差面等を設けて浮上面４（媒体対向面）を構
成した。浮上面の流出端近傍には１つの突起検出用レー
ル５を設けた。また、突起検出用レール５の周囲には、
塵埃排出領域９を設けた。浮上面の流入端側から中央部
にかけては、２つの浮上用レール６ａ，６ｂとその周囲
に空気流を導く空気流導路領域８を設けた。スライダー
の中央部には空気流を巻き込み吸引力を発生する吸引力
発生領域７を設けた。吸引力発生領域７は空気流導路領
域８の一部である８ａ，８ｂにより内側に向かって張り
出し部分を有するようにした。そして、突起検出用レー
ル５の幅Ｃは、スライダーの幅ａの１／２よりも大きく
した。突起検出レール５とその周辺に配置された塵埃排
出領域９との距離ｋの長さは０．０１８ｍｍとした。ス
ライダー３の形状は、スライダーの長さｄを１．２５ｍ
ｍ、厚さｅを０．４３ｍｍ、スライダー幅ａを０．９５
ｍｍとした。これに対して、突起検出用レール幅ｃを
０．５５ｍｍとした。浮上用レール６ａと６ｂにおい
て、６ａの面積を６ｂよりも５％広くすることにより、
スライダーが内外周速の差により傾いて飛行することを
防いだ。このような形状を持つスライダー３は、８ｍ／
ｓの周速に対し流出端部における浮上量が６ｎｍで飛行
し、ヘッドの傾きは１ｎｍ以下であった。スライダーの
幅方向には、スライダーよりも厚さの薄い張り出し部３
ｃを突出させた。その張り出し部３ｃの背面の端には圧
電素子１２を固着させた。圧電素子１２の出力電圧は一
対のリード線１０によって取り出され、サスペンション
２に設けられた絶縁チューブ１１を通じて外部に出力さ
せた。このグライドヘッドを用いたところ、突起や異物
の高さが低い要求値の磁気ディスクに対し、従来の構成
よりも短時間で検査をすることができた。さらに、検査
中にスライダーとディスク間に入ってくる塵埃は、突起
検出用レールの周囲に配された塵埃排出領域からヘッド
後方に排出されることから、ヘッド浮上面に塵埃の堆積
せず、長時間安定して使用することができた。

【００２９】図１、図３および図５から７に示した本発
明のグライドヘッドを、回転する磁気ディスクと接触さ
せ突起や異物を除去するバーニッシュヘッドとして用い
た。バーニッシュヘッドはワッフルスライダーと称され
る菱形に溝を設けたものが主に用いられている。菱形に
設けられた溝が除去した突起や異物を排出する能力が高
いためである。このワッフルスライダーと本発明のスラ
イダーを磁気ディスクに接触させ、突起の除去、異物の
除去能力および排出能力を比較したが、各々の能力に差
は見られなかった。これらの事から本発明のグライドヘ
ッドをバーニッシュヘッドとしても使用できることがわ
かった。

【００３０】

【発明の効果】浮上に主に寄与するレールと突起や異物
を検出するレールを設けることで、磁気ディスク上の突
起や異物の高さが小さい要求値の磁気ディスクの検査を
短時間に行なえる。また、本発明の磁気ディスク用グラ
イドヘッドは、異物の排出能力が高いため浮上特性が長
時間安定し、グライドヘッドの長寿命化が達成できた。
また、異物の排出能力の高さからバーニッシュヘッドと
しても使用できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による実施例を示す斜視図である。

【図２】本発明による実施例を示す図である。

【図３】本発明による他の実施例を示す斜視図である。

【図４】本発明による実施例での空気流を示すシミュレ
ーション図である。

【図５】本発明による実施例を示す斜視図である。

【図６】本発明による他の実施例を示す斜視図である。

【図７】本発明による他の実施例を示す斜視図である。

【図８】従来のグライドヘッドの構造図である。

【図９】圧電素子を用いるグライドヘッドの動作原理図
である。

【図１０】ＡＥセンサを用いるグライドヘッドの動作原
理図である。

【符号の説明】

２ サスペンション、３ スライダー、３' スライダ
ー、３ａ 流入端、３ｂ 流出端、３ｃ 張り出し部、
４ 浮上面、５ 突起検出用レール、５ａ 突起検出用
レール、５ｂ 突起検出用レール、６ 浮上用レール、
６ａ 浮上用レール、６ｂ 浮上用レール、７ 吸引力
発生領域、８ 空気流導路領域、８ａ 空気流導路領域
張り出し部、８ｂ 空気流導路領域張り出し部、９ 塵
埃排出領域、９ａ 塵埃排出領域、９ｂ 塵埃排出領
域、１０ リード線、１１ 絶縁チューブ、１２ 圧電
素子、１３ ＡＥセンサ、１４ 磁気ディスク、１４ｂ
突起物、１５ 空気流の解析線

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転する磁気ディスクに対向させるスラ
   イダーを有し、前記磁気ディスクと前記スライダーとの
   接触あるいは衝突を検出する磁気ディスク用グライドヘ
   ッドであって、前記スライダーは、少なくとも１つ以上
   の突起検出用レールと、少なくとも１つ以上の浮上用レ
   ールと、突起検出用レール面より一段低く形成された突
   起検出用レールの一部もしくは全部に接する塵埃排出領
   域と、浮上用レール面より一段低く形成された浮上用レ
   ールの一部もしくは全部に接する空気流導路領域と、突
   起検出用レールまたは浮上用レール面より一段低く形成
   された領域よりもさらに低い面内に形成された吸引力発
   生領域を備えることを特徴とする磁気ディスク用グライ
   ドヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１において、塵埃排出経路である
   突起検出用レールの一部もしくは全部に接する一段低い
   領域の幅が０．０１５ｍｍ以上０．１５０ｍｍ以下であ
   ることを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
3. 【請求項３】 請求項１ないし２のいずれかにおいて、
   突起検出用レールのレール幅総計がスライダー幅の１／
   ２以上であることを特徴とする磁気ディスク用グライド
   ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項１ないし２のいずれかにおいて、
   スライダー内に形成された吸引力発生領域は、その領域
   の内側に向かって張り出し部分を有することを特徴とす
   る磁気ディスク用グライドヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１から４に記載のスライダー若し
   くはスライダー支持体に、スライダーの突起や異物との
   衝突力を検出する圧電素子若しくはＡＥセンサーを設け
   たことを特徴とする磁気ディスク用グライドヘッド。
6. 【請求項６】 請求項１から４に記載のスライダーを、
   回転する磁気ディスクと接触させ突起や異物を除去する
   ことを特徴とする磁気ディスク用バーニッシュヘッド。