JP2003019794A - 液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 滴噴射特性のバラツキが生じ易いとともにコ
ストが高い。 【解決手段】 振動板２は薄肉部２１と中央厚肉部２２
及び周囲厚肉部２３を有し、薄肉部分は中央厚肉部２２
で２つの薄肉部２１に分離した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液滴吐出ヘッド及びイン
クジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プ
ロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いる
インクジェット記録装置は、インク滴を吐出するノズル
と、このノズルが連通する液室（インク流路、吐出室、
圧力室、加圧液室、流路等とも称される。）と、この液
室内のインクを加圧するための駆動手段（圧力発生手
段）とを備えた液滴吐出ヘッドとしてのインクジェット
ヘッドを搭載したものである。なお、液滴吐出ヘッドと
しては例えば液体レジストを液滴として吐出する液滴吐
出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐出
ヘッドなどもあるが、以下ではインクジェットヘッドを
中心に説明する。

【０００３】インクジェットヘッドとしては、液室内の
インクを加圧する圧力を発生するための駆動手段として
圧電素子などの電気機械変換素子を用いて、駆動手段の
変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変
形させて液室内容積／圧力を変化させてインク滴を吐出
させるいわゆるピエゾ型のものが知られている（特開平
２−５１７３４号公報参照）。

【０００４】このインクジェットヘッドは、圧電素子を
充放電することで変形させ、圧電素子に当接した振動板
を変位させ、振動板が加圧液室の容積を収縮するように
変位することで加圧液室内部の圧力が上昇し、インク滴
をノズルから吐出させるものであり、インク滴を吐出し
た後は、加圧液室の容積を膨張させるように振動板に変
位を与えるべく、圧電素子を変形させる。

【０００５】このようなインクジェットヘッドの一例を
図１８及び図１９に示している。なお、図１８は同ヘッ
ドの液室長手方向に沿う断面説明図、図１９は同ヘッド
の液室短手方向に沿う断面説明図である。

【０００６】このインクジェットヘッドは、液室基板１
１１とノズル板１１８とを接合して、インク滴を吐出す
るノズル１１３に連通した加圧液室１１４、加圧液室１
１４に連通部１２０を介してインクを供給する共通液室
１１９を形成し、加圧液室１１４の壁面の一部を形成す
る振動板１１６の面外側にベース基板１１２に設けた圧
電素子１１７を接合している。

【０００７】この振動板１１６は、圧電素子１１７の変
形に伴い弾性変形するが、圧電素子１１７の変位を効率
よく加圧液室１１４の容積変化にするために、振動板１
１６は通常、加圧液室１１４を構成する他の面よりも剛
性を小さく（＝コンプライアンスを大きく）している。
また、共通液室１１９は図示しないインクタンクに接続
され、液室基板１１１とベース基板１１２との間には支
持部材１２１を設けている。

【０００８】ここで、圧電素子１１７に図示しない駆動
回路から電圧を加えることで圧電素子１１７は変形を生
じ、振動板１１６を加圧液室１１４の容積が増加または
減少するように変形させる。加圧液室１１４の容積を増
加させた場合は加圧液室１１４の内部圧力は減少するの
で、共通液室１１９から連通部１２０を通ってインクが
加圧液室１１４に補充される。

【０００９】その後に加圧液室１１４の内部圧力を増加
させるような駆動を行う。すなわち、加圧液室１１４の
容積を減少させるように圧電素子１１７を駆動させた場
合は、加圧液室１１４の内部圧力が増加するので、ノズ
ル１１３からインクが押し出されてインク滴１２２とな
って飛翔し、図示しない記録媒体（紙など）にインク滴
が付着することで記録を行うことができる。

【００１０】このように、振動板を用いたインクジェッ
トヘッドにおけるインク滴の形成は、振動板の変位がそ
の源であり、さらにその駆動源である圧電素子との接合
部分の構成は、インクジェットヘッドの特性を左右する
重要な要素であるといえる。

【００１１】そこで、従来のインクジェットヘッドにお
いては、特許第３１４７１３２号公報や特許第３０７０
６２５号公報等に開示されているように、振動板に圧電
素子と接合するための島状凸部を形成することが行われ
ている。

【００１２】このような従来のインクジェットヘッドの
構成について図２０乃至図２１を参照して説明する。な
お、図２０は同ヘッドの斜視説明図、図２１は図２０の
要部拡大説明図、図２２は他の例の振動板の斜視説明
図、図２３は同ヘッドの模式的斜視図である。なお、図
１８及び図１９に対応する部分には同一符号を付して説
明を簡略化する。

【００１３】このインクジェットヘッドでは、加圧液室
１１４の壁面の一つを形成している振動板１１６には凹
部１２３が設けられて薄肉部１２６を形成している。圧
電素子１１７が振動板１１６に当接する部分には厚肉部
である島状凸部１２４が形成されている。すなわち、薄
肉部１２６は厚肉部である島状凸部１２４の全周を均一
な厚さで取り巻いている。

【００１４】圧電素子１１７は加圧液室１１４に対応し
ており、厚肉部１２５によって圧電素子１１７が当接す
る島状凸部１２４を隔てている凹部１２３を区画してい
る。なお、図２２の振動板１１６は薄肉部１２６を形成
し、その中に厚肉部である島状凸部１２４を形成したも
のである。

【００１５】このような島状凸部に圧電素子を当接して
圧電素子を駆動することで、駆動した圧電素子の振動が
隣接する他の加圧液室に伝播する量が少なくなり、ま
た、圧電素子の変位を効率的に加圧液室の容積変化、す
なわち圧力変化へと変換することができる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のインクジェットヘッドにあっては、振動板に形
成する島状凸部は、加圧液室を区画する境界から一定の
距離を置いて形成する必要があるため、島状凸部の全周
にわたって均一な幅の薄肉部を形成しなければならず、
製造上、一段高い寸法精度や位置決め精度が要求され
る。

【００１７】また、島状凸部の長辺は圧電素子の先端部
の長辺よりも長く、さらに薄肉部の間隔も必要とされる
ことから、ヘッド全体を小型化することが困難であると
いう問題があり、高密度配列への対応が課題となる。し
かも、液室内部の容積変化は凸部の寸法と圧電素子の変
位量から決まるので、凸部の寸法は高精度にする必要が
あるが、長い寸法のものを高精度に作製することが難し
く、歩留まりが低下し、コストが高くなる。

【００１８】さらに、薄肉部の面積が大きい振動板を構
成要素としている加圧液室は、加圧液室全体としての剛
性が小さくなり（＝コンプライアンスが大きくなり）、
加圧液室の内部圧力を増加させる際の効率が悪くなると
ともに、インク滴噴射時のメニスカスの制御性に劣ると
いう課題もある。

【００１９】加えて、圧電素子を駆動したときに、島状
凸部は、全周の薄肉部で弾性変形による歪みが発生して
おり、凸部または薄肉部の形成時のバラツキ等の予期せ
ぬ不具合によって起こった応力集中で、振動板が破断す
るおそれもある。多数の加圧液室をバラツキなく形成す
るためには、製造工程が煩雑になりかねず、様々な装置
の開発が求められ、また、コストの上昇を招くという課
題もある。

【００２０】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、駆動手段の効率を損なうことなく液室内部圧力
を増減させるとともに、メニスカスの制御性ひいては液
滴の噴射特性を向上させ、更には小型化、特性のバラツ
キを低減した液滴吐出ヘッドを提供するとともに、この
液滴吐出ヘッドを搭載することで画像品質を向上したイ
ンクジェット記録装置を提供することを目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、振動板は薄肉部と
厚肉部とからなり、薄肉部の領域は駆動手段が当接され
る厚肉部で分離されているものである。

【００２２】ここで、厚肉部は液室に対向する駆動手段
が当接する側に張り出していることが好ましい。この場
合、厚肉部は液室長手方向に沿って設けられていること
が好ましい。また、厚肉部で領域が分離された薄肉部
は、液室長手方向に沿って細長い形状をなすことが好ま
しい。

【００２３】また、薄肉部の前記液室長手方向の長さが
厚肉部に当接している駆動手段の液室長手方向の長さよ
りも長いことが好ましい。さらに、薄肉部の領域は、厚
肉部に対して対称な位置に形成されていることが好まし
い。さらにまた、振動板の厚肉部の厚さは薄肉部の周囲
全てにおいて略同じ厚さであることが好ましい。

【００２４】さらに、駆動手段は振動板の法線方向の変
位が、ｄ３３方向である圧電素子で構成されていること
が好ましい。この場合、圧電素子は、複数枚の圧電素子
の層と電極層が積層された構造であり、液室長手方向の
端部に電界が生じない不活性域を有し、この不活性域が
液室間の隔壁に対向して当接していることが好ましい。
この場合、圧電素子の不活性域は前記液室の長手方向の
両端の隔壁に対向して当接していることが好ましい。ま
た、圧電素子の活性域は液室の長手方向の両端の隔壁に
対向した領域には存在しないことが好ましい。さらに、
圧電素子の不活性域は振動板の駆動領域に対向した領域
にも存在することが好ましい。

【００２５】さらにまた、圧電素子は、当接する端部の
液室長手方向の長さが液室の長手方向の長さよりも短い
ことが好ましい。この場合、圧電素子は、液室長手方向
で圧電素子の端部が当接する領域は、液室の振動板の厚
肉部の長手方向の長さよりも短いことが好ましい。

【００２６】また、圧電素子は、当接する端部の液室短
手方向の長さは、振動板の厚肉部の液室短手方向の長さ
よりも長いことが好ましい。

【００２７】さらに、振動板の厚肉部は、駆動手段が当
接する第１の厚肉部と、この第１の厚肉部及び薄肉部と
は異なる厚さであって、第１の厚肉部と液室の隔壁と連
結する第２の厚肉部とからなることが好ましい。

【００２８】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして本発明
に係る液滴吐出ヘッドを搭載したものである。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。本発明の液滴吐出ヘッドの第
１実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１乃
至図５を参照して説明する。なお、図１は同ヘッドの分
解斜視説明図、図２は同ヘッドの液室長手方向に沿う断
面説明図、図３は図２の要部拡大説明図、図４は同ヘッ
ドの液室短手方向に沿う断面説明図、図５は同ヘッドの
部分拡大斜視説明図である。

【００３０】このインクジェットヘッドは、単結晶シリ
コン基板で形成した流路形成基板（液室基板）１と、こ
の流路形成基板１の下面に接合した振動板２と、流路形
成基板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これら
によってインク滴を吐出するノズル５が連通する流路
（インク液室）である加圧液室６、加圧液室６に流体抵
抗部となるインク供給路７を介してインクを供給する共
通液室８を形成している。

【００３１】そして、振動板２の面外側（液室６と反対
面側）に各加圧液室６に対応して駆動手段としての積層
型圧電素子１２を接合し、この積層型圧電素子１２はベ
ース基板１３に接合して固定し、このベース基板１３の
圧電素子１２の列の中央部にはインク供給口形成部材１
４をベース基板１３に接合している。なお、インク供給
口形成部材１４はベース基板１３をエッチングすること
でベース基板１３と一体形成することもできる。

【００３２】この圧電素子１２は、圧電材料層と内部電
極とを交互に積層したものである。この場合、圧電素子
１２の圧電方向としてｄ３３方向の変位（ここでは積層
方向と直交する方向の変位）を用いて加圧液室６内イン
クを加圧する構成とすることも、圧電素子１２の圧電方
向としてｄ３１方向の変位（ここでは積層方向と直交す
る方向の変位）を用いて加圧液室６内インクを加圧する
構成とすることもできる。ベース基板１３及びインク供
給口形成部材１４には共通液室８に外部からインクを供
給するためのインク供給口９を形成する貫通穴を形成し
ている。

【００３３】また、流路形成基板１の外周部及び振動板
２の下面側外縁部をエポキシ系樹脂或いはポリフェニレ
ンサルファイトで射出成形により形成したヘッドフレー
ム１７に接着接合し、このヘッドフレーム１７とベース
基板１３とは図示しない部分で接着剤などで相互に固定
している。なお、ヘッドフレーム１７は２つの部品に分
けているが１つの部品で構成することもできる。

【００３４】さらに、圧電素子１２には駆動信号を与え
るために半田接合又はＡＣＦ（異方導電性膜）接合若し
くはワイヤボンディングでＦＰＣケーブル１８を接続
し、このＦＰＣケーブル１８には各圧電素子１２に選択
的に駆動波形を印加するための駆動回路（ドライバＩ
Ｃ）１９を実装している。

【００３５】ここで、流路形成基板１は、結晶面方位
（１１０）の単結晶シリコン基板を水酸化カリウム水溶
液（ＫＯＨ）などのアルカリ性エッチング液を用いて異
方性エッチングすることで、各加圧液室６となる貫通
穴、インク供給路７となる溝部、共通液室８となる貫通
穴をそれぞれ形成している。この場合、各加圧液室６は
隔壁２０によって区画している。

【００３６】振動板２は例えばニッケルの金属プレート
から形成したものであるが、この他、樹脂部材或いは樹
脂部材と金属部材の積層部材などで形成することができ
る。この振動板２は加圧液室６に対応する部分に変形を
容易にするための薄肉部２１及び圧電素子１２と接合す
るための中央厚肉部２２を形成するとともに、隔壁２０
に対応する部分にも周囲厚肉部２３を形成し、平坦面側
を流路形成基板１に接着剤接合し、周囲厚肉部２３をヘ
ッドフレーム１７に接着剤接合している。

【００３７】この振動板２の液室間隔壁２０（加圧液室
６、６間の隔壁２０）に対応する周囲厚肉部２３とベー
ス基板１３との間には支持部材などを設けず空間として
いる。この場合、上部の加圧液室６の剛性を保つととも
に圧電素子１２の変形による振動板２の中央厚肉部２２
の変位効率を確保するために、加圧液室６、すなわち、
隔壁２０やノズル板３及び振動板６の剛性を高くし、ま
た、それぞれの接合部分の強度を十分に確保している。

【００３８】ノズル板３は各加圧液室６に対応して直径
１０〜３０μｍのノズル５を形成し、流路形成基板１に
接着剤接合している。このノズル板３としては、ステン
レス、ニッケルなどの金属、金属とポリイミド樹脂フィ
ルムなどの樹脂との組み合せ、シリコン、及びそれらの
組み合わせからなるものを用いることができる。また、
ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの
撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コ
ーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。
このノズル板３の周囲とヘッドフレーム１７との間には
封止剤２６を充填している。この封止剤２６は接着の役
割も兼ねている。

【００３９】このように構成したインクジェットヘッド
においては、圧電素子１２に対して選択的に２０〜５０
Ｖの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電
圧が印加された圧電素子１２が積層方向（ｄ３３方向を
用いる場合）に変位して振動板２をノズル５方向に変形
させ、加圧液室６の容積／体積変化によって加圧液室６
内のインクが加圧され、ノズル５からインク滴が吐出
（噴射）される。

【００４０】そして、インク滴の吐出に伴って加圧液室
６内の液圧力が低下し、このときのインク流れの慣性に
よって加圧液室６内には若干の負圧が発生する。この状
態の下において、圧電素子１２への電圧の印加をオフ状
態にすることによって、振動板２が元の位置に戻って加
圧液室６が元の形状になるため、さらに負圧が発生す
る。このとき、インク供給口９から共通液室８、流体抵
抗部であるインク供給路７を経て加圧液室６内にインク
が充填される。そこで、ノズル５のインクメニスカス面
の振動が減衰して安定した後、次のインク滴吐出のため
に圧電素子１２にパルス電圧を印加しインク滴を吐出さ
せる。

【００４１】そこで、このインクジェットヘッドにおけ
る振動板２の構成の詳細について図６をも参照して説明
する。なお、図６は圧電素子当接部分の模式的斜視図で
ある。振動板２は、薄肉部２１と中央厚肉部２２及び周
囲厚肉部２３から構成され、圧電素子１２が当接する
（ここでは接合する）中央厚肉部２２によって、薄肉部
分は２つの薄肉部２１、２１に領域を分離している。

【００４２】中央厚肉部２２は、加圧液室６の長手方向
（液室長手方向）に沿って形成し、薄肉部２１は中央厚
肉部２２を挟んで対称な位置に、加圧液室６の長手方向
に沿って細長く設けている。これにより、駆動時におけ
る加圧液室６内の圧力変化が対称となって相互干渉を防
止することができる。

【００４３】周囲厚肉部２３は加圧液室６に対して薄肉
部２１及び中央厚肉部２２を１つずつ（１チャンネル毎
に）区画している厚肉部である。この周囲厚肉部２３と
中央厚肉部２２との厚みは異ならせ、中央厚肉部２２の
厚みを周囲厚肉部２３の厚みより薄く形成している。

【００４４】この振動板２の中央厚肉部２２に圧電素子
１２を接合し、前述したように、ドライバＩＣからの駆
動信号を与えることで圧電素子１２が伸縮して、加圧液
室６の内部圧力を適切に制御することでインク滴が噴射
する。このとき、圧電素子１２の変形は、中央厚肉部２
２の変形にも用いられることから、効率の低下について
の数値シミュレーションを行った。

【００４５】このシミュレーションでは、圧電素子が当
接する部分の中央厚肉部の形状のみが異なるものを４種
類実施した。すなわち、実施例として中央厚肉部で薄肉
部が分離されているもの、比較例１として従来（図２３
参照）の島状凸部のもの、比較例２として島状凸部の幅
を狭くしたもの、比較例３として島状凸部の幅を更に狭
くしたものについて実施した。

【００４６】評価項目は、加圧液室６の内部に発生する
圧力の最大値と、ノズルプレート（ノズル板３）変位の
最大値である。これは、振動板２の剛性が大きすぎた場
合には、加圧液室６の内部圧力の上昇は小さくなる一
方、加圧液室６全体を変位させることでノズルプレート
３が動いてしまうと予想されるからである。

【００４７】この評価結果を図７に示している。ここで
は、従来の島状凸部を有する比較例１の結果に対する相
対比較を行った指標値を横軸にとっており、１００より
も大きい場合に性能が向上したことを示している。

【００４８】この結果から、実施例によっても加圧液室
６の内部圧力は十分上昇していることが分かる。ノズル
プレート３の変位の指標値が１００以下なので、島状凸
部の形状に比較すると若干悪い（＝変位量が大きい）傾
向にあるが、２０％以下であり、問題はない。なお、こ
の数値シミュレーションは、圧電素子を駆動してからの
過渡応答解析を行ったので、図示はしていないが、加圧
液室内部圧力の時間変化も評価しており、実施例のもの
は従来のものと比較して、大きな位相変化や圧力変化量
の特異点等も見られなかった。

【００４９】したがって、振動板２への圧電素子１２の
当接部分を厚肉化する場合、当接部分をその周囲を薄肉
部で取り巻いた島状凸部にせず、加圧液室６の長手方向
に沿って形成した厚肉部２２で薄肉部２１を分離した当
接部であっても、良好なインク滴の噴射速度や噴射滴体
積などの特性を得ることができる。

【００５０】そして、従来の島状凸部の形状にした場合
に比べて、次のような利点がある。すなわち、本発明に
よれば、厚肉部の面積を増加させつつ、振動板の変位量
を確保できることになり、加圧液室の剛性を高めて滴噴
射の制御性を向上することができる。また、島状凸部を
形成しないので、凸部の寸法精度に起因する加圧液室の
容積変動量を抑えることができ、特性バラツキが低減す
る。

【００５１】すなわち、図８の加圧液室の長手方向の断
面模式図で示すように、従来例に比較して、振動板２に
形成した薄肉部２１の面積が小さいので、加圧液室６の
剛性が高くなる。したがって、固有振動数が大きくな
り、より高い周波数での駆動が可能になる。また、圧電
素子１２の駆動変位に対する加圧液室６の内部圧力の追
随性が向上することにもなり、内部圧力、すなわちイン
ク滴噴射に関する高精度な制御が可能となる。特に、ノ
ズル５を加圧液室６の端部に設置した場合、周囲厚肉部
２３があるためにノズル５直下の振動板２の剛性を高く
することができる。

【００５２】インクジェットヘッドにおいて、圧電素子
で駆動する部分以外の構成要素は、印字動作時の振動
等、ヘッド外部からの不要な外力の影響を排除するた
め、できるだけ剛性を高めることが好ましい。したがっ
て、振動板２も、圧電素子１２が当接する部分（中央厚
肉部２２）以外の周囲厚肉部２３の厚さはできるだけ厚
くすることが好ましい。

【００５３】この場合、図８に示すように、圧電素子１
２が振動板２に当接する端部部分の液室長手方向の長さ
Ｌｐは、振動板２に圧電素子１２が当接する中央厚肉部
２２の液室長手方向の長さＬｓよりも短くする。

【００５４】また、振動板２の中央厚肉部２２と圧電素
子１２の接合時に位置ずれを生じる場合がある。そこ
で、図８に示すように、圧電素子１２が中央厚肉部２２
に当接する長さＬｐを、中央厚肉部２２の長さＬｓより
も短くする、つまり薄肉部２１の液室長手方向の長さを
圧電素子１２の長さよりも長くすることで、接合する位
置が同図で左右方向に多少ずれても、両者が当接する領
域の面積を一定に確保することができるので、特性のバ
ラツキを抑えることができる。

【００５５】さらに、圧電素子１２の中央厚肉部２２に
当接する液室長手方向の長さは加圧液室６の長手方向の
長さよりも短くすることで、中央厚肉部２２の厚さより
も周囲厚肉部２３の厚さを厚くすることができ、ヘッド
の剛性を高くすることができて外部の振動に対する耐性
が向上し、品質の高いヘッドが得られる。

【００５６】しかも、圧電素子１２の端部と振動板の厚
肉部が当接する部分を接着剤接合する場合、厚肉部が従
来のような島状凸部形状のときには、接着剤がはみ出し
た場合には全周に流れ出すことになってしまい、薄肉部
の領域に侵入するおそれが高くなる。これに対して、本
発明のように圧電素子１２が当接している中央厚肉部２
２の領域を圧電素子１２よりも細長くすることで、はみ
出した接着剤は中央厚肉部２２の長手方向に沿っていく
ため、薄肉部２１へのはみ出しを防ぐことができる。

【００５７】一方、インクの噴射量に大きな関係のある
加圧液室６の容積変化量は、圧電素子１２の変位量と圧
電素子１２の長さＬｐで決定される。振動板２に圧電素
子１２が当接する部分が島状凸部である場合には、凸部
の長さが重要となる。ところで、ベース基板１３と振動
板２の接合に、隣接する加圧液室６を区画する隔壁（液
室間隔壁）２０対向する位置に支持部材を持たずに空間
とし、圧電素子１２だけである場合、振動板２の剛性確
保と圧電素子１２の変位量確保を同時に達成するために
は、振動板２の材料としては樹脂を用いることが好まし
いが、振動板２を樹脂で形成する場合に島状凸部の長さ
を精度よく仕上げるのは非常に困難である。

【００５８】これに対して、ベース基板１３と振動板２
の接合に、隣接する加圧液室６を区画する隔壁（液室間
隔壁）２０対向する位置に支持部材を持たずに空間と
し、圧電素子１２だけとして、振動板２を樹脂材料で形
成する場合にも、本発明は振動板２に島状凸部を設けな
いので、特性バラツキの少ない良好なヘッドを容易に実
現することができる。

【００５９】次に、本発明の第２実施形態に係るインク
ジェットヘッドについて図９を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの圧電素子を接合する前の１つの加
圧液室を振動板側から見た模式的斜視説明図である。こ
のインクジェットヘッドにおいても、振動板２には薄肉
部２１と中央厚肉部２２及び周囲厚肉部２３を形成して
いるが、上記第１実施形態とは異なり、液室長手方向に
沿って設けられていて、薄肉部２１を分離している中央
厚肉部２２の厚さは、チャンネル毎に１つずつ区画して
いる周辺厚肉部２３の厚さと同じにしている。

【００６０】このように構成すれば、振動板２の厚さは
薄い部分（薄肉部２１）と厚い部分の２種類だけなの
で、製造工程が簡単になり、コストや精度を大きく向上
することができる。

【００６１】このインクジェットヘッドは、前記実施形
態と同様に中央厚肉部２２に圧電素子１２を接合し、ド
ライバＩＣからの駆動信号に従って伸縮させて、加圧液
室６の内部圧力を適切に制御することで、インク滴を噴
射する。このとき、圧電素子１２の変位が振動板２の中
央厚肉部２２を変形させるので、中央厚肉部２２の剛性
は低い、すなわち中央厚肉部２２の厚さは薄い方が圧電
素子１２の効率は向上する。しかし、中央厚肉部２２の
厚さを薄くすると、周囲厚肉部２３の厚さも薄くなって
しまい、ヘッド全体の剛性も小さくなってしまうおそれ
があるが、振動板２は流路形成基板１や図示しないヘッ
ドフレーム１７に接合されているので、その接合部分を
強固にすることで、ヘッド全体の剛性の低下は防止でき
る。

【００６２】ここで、圧電素子１２について説明する
と、圧電素子１２は、振動板２が加圧液室６の内部圧力
を増減するように駆動するので、ベース基板１３と振動
板２との距離を伸縮するように構成する。低電圧での駆
動が好ましいので、前述したように、圧電材料と電極材
料を交互に複数積層して形成した積層型圧電素子を用い
ることが好ましく、その際、圧電方向としてｄ３１とｄ
３３のいずれを用いても上述した作用効果を得ることが
できる。

【００６３】そこで、特にｄ３３変位を用いた本発明の
第３実施形態に係るインクジェットヘッドについて図１
０を参照して説明する。なお、同図は同ヘッドの液室長
手方向に沿う模式的断面説明図である。このインクジェ
ットヘッドの圧電素子３２は圧電層３３と電極層（内部
電極）３４とを交互に積層した積層型圧電素子であり、
内部電極３３は交互に反対の端面に引き出している。こ
の圧電素子３２においては、内部電極３４、３４で圧電
層３３が挟まれた部分（領域）が電界を発生して変位を
生じる活性域３５となり、液室長手方向の両端部では一
方端面からの内部電極３４のみで他方端面からの内部電
極３４が存在しないので、その両端部分は電圧を印加し
ても変位を生じない不活性域３６、３６となる。

【００６４】そして、ｄ３３変位を利用する圧電素子３
２の一方の不活性域３６は、加圧液室６を区画する隔壁
（外壁部を含む）２０に対向した位置に配置している。
この場合、圧電素子３２の長さＬｐと中央厚肉部２２の
長さＬｓとの関係は、いずれが長くても良い。圧電素子
３２の活性域３５の変位は、不活性域３６の近傍では元
々小さいので、隔壁２０による圧電素子３２の変位の抑
制には大きな影響を与えない。

【００６５】このように圧電素子３２の一方の不活性域
３６のみを隔壁２０で抑制する構成にすることで、圧電
素子３２と振動板２の接合時に位置ずれを生じたとして
も、振動板２の変位領域のずれが小さくなり、特性のバ
ラツキを抑制することができる。

【００６６】次に、本発明の第４実施形態に係るインク
ジェットヘッドについて図１１を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの液室長手方向に沿う模式的断面説
明図である。このインクジェットヘッドでは、圧電素子
３２の各不活性域３６、３６は、加圧液室６を区画する
隔壁（外壁部を含む）２０に対向した位置に配置してい
る。この場合、圧電素子３２の長さＬｐは中央厚肉部の
長さＬｓよりも長くなる。圧電素子３２の活性域３５の
変位は、不活性域３６、３６の近傍では元々小さいの
で、隔壁２０による圧電素子３２の変位の抑制には大き
な影響を与えない。逆に、圧電素子３２の不活性域３
６、３６が、ベース基板１３と振動板２を接合する支持
部材として働くので、流路形成基板１を強固にすること
ができ、ヘッド全体の剛性を向上できる。

【００６７】ここで、圧電素子３２の活性域３５が、加
圧液室６を構成／区画する長手方向両側の隔壁２０に対
向した位置には存在しないように構成すると、圧電素子
３２の駆動時に隔壁２０に変位を与えることがないの
で、不要な振動変位が加圧液室６に生じることがなく、
また、圧電素子３２の変位効率を阻害することもなくな
る。

【００６８】次に、本発明の第５実施形態に係るインク
ジェットヘッドについて図１２を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの液室長手方向に沿う模式的断面説
明図である。このインクジェットヘッドにおいては、圧
電素子３２の活性域３５の液室長手方向の長さを振動板
２の中央厚肉部２２の液室長手方向の長さよりも短く
し、不活性域３６が中央厚肉部２２に対応する領域まで
入り込むようにしている。

【００６９】すなわち、圧電素子３２の各不活性域３
６、３６は、加圧液室６を区画する隔壁（外壁部を含
む）２０に対向した位置に配置するとともに、活性域３
５の変形によって振動板２が変位する領域にも不活性域
３６、３６を配している。この場合も、圧電素子３２の
長さＬｐは中央厚肉部２２の長さＬｓよりも長くなる。

【００７０】圧電素子３２の不活性域３６の変位は非常
に小さいので、圧電素子３２の不活性域３６、３６が、
ベース基板１３と振動板２を接合する支持部材として働
き、流路形成基板１を強固にすることができる。その
上、圧電素子３２と振動板２の接合時に位置ずれを生じ
たとしても、加圧液室６の内部から見た圧電素子３２の
活性域３５の大きさは変わらないことになり、特性のバ
ラツキを抑制することができる。

【００７１】次に、本発明の第６実施形態に係るインク
ジェットヘッドについて図１３を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの液室短手方向に沿う模式的断面説
明図である。このインクジェットヘッドにおいては、圧
電素子１２が振動板２に当接する部分の、加圧液室６の
短手方向の長さ（＝幅Ｗｐ）は、振動板２に設けた中央
厚肉部２２の加圧液室６の短手方向の長さ（＝幅Ｗｓ）
より長くなっている。

【００７２】このように構成することで、圧電素子１２
を周囲厚肉部２３に接合する位置が図１３の左右方向に
多少ずれても、両者が当接する領域の面積を一定に確保
することができるので、特性のバラツキを抑えることが
できる。

【００７３】次に、本発明の第７実施形態に係るインク
ジェットヘッドについて図１４を参照して説明する。な
お、同図は同ヘッドの圧電素子を接合する前の１つの加
圧液室を振動板側から見た模式的斜視説明図である。

【００７４】振動板２は薄肉部２１と中央厚肉部４１及
び周囲厚肉部２３から構成されているが、前記第２実施
形態とは異なり、加圧液室長手方向に沿って設けられて
いて薄肉部２１を分離し、圧電素子１２と当接する領域
となっている第１の中央厚肉部（第１厚肉部）４２が、
周囲厚肉部２３と連結している第２厚肉部である厚肉連
結部４３の厚さは、薄肉部２１の厚さとは異なった厚さ
に形成している。

【００７５】この場合、従来のような島状凸部とは異な
り、中央厚肉部４１は均一の厚さである薄肉部２１で全
周を取り囲まれてはいない。したがって、圧電素子１２
が伸縮駆動する際、振動板２に生じる最大応力を厚肉連
結部４３を設けることで小さくしながら、圧電素子１２
の効率もできるだけ減少させずに、かつ、加圧液室６全
体の剛性も確保することができる。

【００７６】次に、本発明の第８実施形態について図１
５を参照して説明する。この実施形態は、ヘッド一体型
インクカートリッジのヘッド部に本発明を適用したもの
であり、インクカートリッジ５０は、ノズル５１等を有
する上記各実施形態のいずれかのインクジェットヘッド
５２と、このインクジェットヘッド５２に対してインク
を供給するインクタンク５３とを一体化したものであ
る。

【００７７】次に、本発明に係る液滴吐出ヘッドである
インクジェットヘッドを搭載したインクジェット記録装
置の一例について図１６及び図１７を参照して説明す
る。なお、図１６は同記録装置の斜視説明図、図１７は
同記録装置の機構部の側面説明図である。

【００７８】このインクジェット記録装置は、記録装置
本体１１１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッ
ジ、キャリッジに搭載した本発明に係るインクジェット
ヘッドからなる記録ヘッド、記録ヘッドへインクを供給
するインクカートリッジ等で構成される印字機構部１１
２等を収納し、装置本体１１１の下方部には前方側から
多数枚の用紙１１３を積載可能な給紙カセット（或いは
給紙トレイでもよい。）１１４を抜き差し自在に装着す
ることができ、また、用紙１１３を手差しで給紙するた
めの手差しトレイ１１５を開倒することができ、給紙カ
セット１１４或いは手差しトレイ１１５から給送される
用紙１１３を取り込み、印字機構部１１２によって所要
の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ１
１６に排紙する。

【００７９】印字機構部１１２は、図示しない左右の側
板に横架したガイド部材である主ガイドロッド１２１と
従ガイドロッド１２２とでキャリッジ１２３を主走査方
向（図１７で紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、この
キャリッジ１２３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、
マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を
吐出する本発明に係る液滴吐出ヘッドであるインクジェ
ットヘッドからなるヘッド１２４を複数のインク吐出口
を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方
向を下方に向けて装着している。またキャリッジ１２３
にはヘッド１２４に各色のインクを供給するための各イ
ンクカートリッジ１２５を交換可能に装着している。

【００８０】インクカートリッジ１２５は上方に大気と
連通する大気口、下方にはインクジェットヘッドへイン
クを供給する供給口を、内部にはインクが充填された多
孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジ
ェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持
している。

【００８１】また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘ
ッド１２４を用いているが、各色のインク滴を吐出する
ノズルを有する１個のヘッドでもよい。

【００８２】ここで、キャリッジ１２３は後方側（用紙
搬送方向下流側）を主ガイドロッド１２１に摺動自在に
嵌装し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッ
ド１２２に摺動自在に載置している。そして、このキャ
リッジ１２３を主走査方向に移動走査するため、主走査
モータ１２７で回転駆動される駆動プーリ１２８と従動
プーリ１２９との間にタイミングベルト１３０を張装
し、このタイミングベルト１３０をキャリッジ１２３に
固定しており、主走査モーター１２７の正逆回転により
キャリッジ１２３が往復駆動される。

【００８３】一方、給紙カセット１１４にセットした用
紙１１３をヘッド１２４の下方側に搬送するために、給
紙カセット１１４から用紙１１３を分離給装する給紙ロ
ーラ１３１及びフリクションパッド１３２と、用紙１１
３を案内するガイド部材１３３と、給紙された用紙１１
３を反転させて搬送する搬送ローラ１３４と、この搬送
ローラ１３４の周面に押し付けられる搬送コロ１３５及
び搬送ローラ１３４からの用紙１１３の送り出し角度を
規定する先端コロ１３６とを設けている。搬送ローラ１
３４は副走査モータ１３７によってギヤ列を介して回転
駆動される。

【００８４】そして、キャリッジ１２３の主走査方向の
移動範囲に対応して搬送ローラ１３４から送り出された
用紙１１３を記録ヘッド１２４の下方側で案内する用紙
ガイド部材である印写受け部材１３９を設けている。こ
の印写受け部材１３９の用紙搬送方向下流側には、用紙
１１３を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送
コロ１４１、拍車１４２を設け、さらに用紙１１３を排
紙トレイ１１６に送り出す排紙ローラ１４３及び拍車１
４４と、排紙経路を形成するガイド部材１４５，１４６
とを配設している。

【００８５】記録時には、キャリッジ１２３を移動させ
ながら画像信号に応じて記録ヘッド１２４を駆動するこ
とにより、停止している用紙１１３にインクを吐出して
１行分を記録し、用紙１１３を所定量搬送後次の行の記
録を行う。記録終了信号または、用紙１１３の後端が記
録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を
終了させ用紙１１３を排紙する。この場合、ヘッド１２
４を構成する本発明に係るインクジェットヘッドはイン
ク滴噴射の制御性が向上し、特性変動が抑制されている
ので、安定して高い画像品質の画像を記録することがで
きる。

【００８６】また、キャリッジ１２３の移動方向右端側
の記録領域を外れた位置には、ヘッド１２４の吐出不良
を回復するための回復装置１４７を配置している。回復
装置１４７はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手
段を有している。キャリッジ１２３は印字待機中にはこ
の回復装置１４７側に移動されてキャッピング手段でヘ
ッド１２４をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に
保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。
また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出す
ることにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、
安定した吐出性能を維持する。

【００８７】吐出不良が発生した場合等には、キャッピ
ング手段でヘッド１２４の吐出口を密封し、チューブを
通して吸引手段で吐出口からインクとともに気泡等を吸
い出し、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニ
ング手段により除去され吐出不良が回復される。また、
吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜
（不図示）に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体
に吸収保持される。

【００８８】なお、上記実施形態においては、液滴吐出
ヘッドとしてインクジェットヘッドに適用した例で説明
したが、インクジェットヘッド以外の液滴吐出ヘッドと
して、例えば、液体レジストを液滴として吐出する液滴
吐出ヘッド、ＤＮＡの試料を液滴として吐出する液滴吐
出ヘッドなどの他の液滴吐出ヘッドにも適用できる。

【００８９】また、上記実施形態においては、本発明を
振動板変位方向と液滴吐出方向が同じになるサイドシュ
ータ方式のヘッドに適用したが、振動板変位方向とイン
ク滴吐出方向とが直交するエッジシュータ方式のヘッド
にも同様に適用することができる。

【００９０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る液滴
吐出ヘッドによれば、振動板は薄肉部と厚肉部とからな
り、薄肉部の領域は駆動手段が当接される厚肉部で分離
されているので、液室の剛性を高めて滴噴射の制御性を
向上でき、特性バラツキが低減し、安定した滴吐出特性
が得られる。

【００９１】ここで、厚肉部は液室に対向する駆動手段
が当接する側に張り出していることで液室側の液の流れ
が阻害されることが防止される。この場合、厚肉部は液
室長手方向に沿って設けられていることで、液室の剛性
を高めるとともに振動板の変位量を確保できる。また、
厚肉部で領域が分離された薄肉部は、液室長手方向に沿
って細長い形状をなすことで、振動板の変位を確実に確
保できる。

【００９２】また、薄肉部の液室長手方向の長さが厚肉
部に当接している駆動手段の液室長手方向の長さよりも
長いので、厚肉部と駆動手段の接合位置ずれによる特性
変化を抑制でき、振動板の変位量を確保できる。さら
に、薄肉部の領域は、厚肉部に対して対称な位置に形成
されていることで、液室内の圧力変化の偏りを防止でき
て、相互干渉を防止できる。さらにまた、振動板の厚肉
部の厚さは薄肉部の周囲全てにおいて略同じ厚さである
ことで、製造コストの低減、高精度化が図れる。

【００９３】さらに、駆動手段は振動板の法線方向の変
位が、ｄ３３方向である圧電素子で構成されていること
で、高速駆動が可能になる。この場合、圧電素子は、複
数枚の圧電素子の層と電極層が積層された構造であり、
液室長手方向の端部に電界が生じない不活性域を有し、
この不活性域が液室間の隔壁に対向して当接しているこ
とで、接合位置ずれによる特性変動を抑制できる。この
場合、圧電素子の不活性域は液室の長手方向の両端の隔
壁に対向して当接していることで、不活性域を振動板と
ベース基板との間の支持部材として機能させてヘッド全
体の剛性を高めることができる。また、圧電素子の活性
域は液室の長手方向の両端の隔壁に対向した領域には存
在しないことで、不要な振動変位を隔壁に与えることが
なく、圧電素子の変位効率を阻害することがなくなる。
さらに、圧電素子の不活性域は振動板の駆動領域に対向
した領域にも存在することで、接合時の位置ずれに対す
る特性バラツキをより確実に防止できる。

【００９４】さらにまた、圧電素子は、当接する端部の
液室長手方向の長さが液室の長手方向の長さよりも短い
ことで、当接部分の厚肉部の厚さよりも液室周囲に対応
する部分の厚さを厚くしてヘッド剛性をより高めること
ができる。この場合、圧電素子は、液室長手方向で圧電
素子の端部が当接する領域は、液室の振動板の厚肉部の
長手方向の長さよりも短いことで、圧電素子を確実に厚
肉部に接合することができる。

【００９５】また、圧電素子は、当接する端部の液室短
手方向の長さは、振動板の厚肉部の液室短手方向の長さ
よりも長いので接合時の位置ずれによる特性ばらつきを
低減できる。

【００９６】さらに、振動板の厚肉部は、駆動手段が当
接する第１の厚肉部と、この第１の厚肉部及び薄肉部と
は異なる厚さであって、第１の厚肉部と液室の隔壁と連
結する第２の厚肉部とからなることで、圧電素子が当接
しない部分の剛性を下げつつ液室全体の剛性を高くする
ことができる。

【００９７】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、インク滴を吐出するインクジェットヘッドとして
本発明に係る液滴吐出ヘッドを搭載したので、安定して
高品質の画像を記録することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの分解斜視説明図

【図２】同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図

【図３】図２の要部拡大説明図

【図４】同ヘッドの液室短手方向に沿う断面説明図

【図５】同ヘッドの要部拡大斜視説明図

【図６】同ヘッドの要部拡大模式的斜視説明図

【図７】同ヘッドの評価シュミレーションの結果の説明
に供する説明図

【図８】同ヘッドの圧電素子と厚肉部の液室長手方向長
さの説明に供する模式的断面説明図

【図９】本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘ
ッドの要部拡大模式的斜視説明図

【図１０】本発明の第３実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室長手方向に沿う要部拡大模式的断面説明図

【図１１】本発明の第４実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室長手方向に沿う要部拡大模式的断面説明図

【図１２】本発明の第５実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室長手方向に沿う要部拡大模式的断面説明図

【図１３】本発明の第６実施形態に係るインクジェット
ヘッドの液室長手方向に沿う要部拡大模式的断面説明図

【図１４】本発明の第７実施形態に係るインクジェット
ヘッドの要部模式的斜視説明図

【図１５】本発明の第８実施形態に係るヘッド一体型イ
ンクカートリッジの斜視説明図

【図１６】本発明に係るインクジェット記録装置の一例
を示す斜視説明図

【図１７】同記録装置の機構部の側面説明図

【図１８】ピエゾ型インクジェットヘッドの説明に供す
る液室長手方向に沿う模式的断面説明図

【図１９】同じく液室短手方向に沿う模式的断面説明図

【図２０】従来のインクジェットヘッドの説明に供する
斜視説明図

【図２１】図２０の要部拡大説明図

【図２２】他の例の振動板の斜視説明図

【図２３】同ヘッドの模式的斜視図

【符号の説明】

１…流路形成基板、２…振動板、３…ノズル板、５…ノ
ズル、６…加圧液室、７…インク供給路、８…共通液
室、９…インク供給口、１２、３２…圧電素子、１３…
ベース基板、１７…ヘッドフレーム、２０…隔壁、２１
…薄肉部、２２、４１…中央厚肉部、２３…周囲厚肉
部、４２…第１厚肉部、４３…第２厚肉部。

フロントページの続き (72)発明者 尾方 賢一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 山口 清 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 日吉 隆之 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 新行内 充 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 (72)発明者 楠 雅統 東京都大田区中馬込１丁目３番６号 株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 2C057 AF21 AF99 AG12 AG44 AG47 AG52 BA14

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液滴を吐出するノズルと、このノズルが
   連通する液室と、この液室の少なくとも一部の壁面を形
   成する振動板と、この振動板に当接されて前記液室内の
   液体を加圧する圧力を発生するための駆動手段と、前記
   振動板に連接させずに前記駆動手段の一端が接合されて
   いる支持基板とを備え、前記液室の隔壁に対応する位置
   では前記支持基板と振動板との間が空間になっている液
   滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板は薄肉部と厚肉部と
   からなり、前記薄肉部の領域は前記駆動手段が当接され
   る前記厚肉部で分離されていることを特徴とする液滴吐
   出ヘッド。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の液滴吐出ヘッドにおい
   て、前記厚肉部は、前記液室に対向する前記駆動手段が
   当接する側に張り出していることを特徴とする液滴吐出
   ヘッド。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の液滴吐出ヘッドにおい
   て、前記厚肉部は、液室長手方向に沿って設けられてい
   ることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の液滴吐出ヘッドにおい
   て、前記厚肉部で領域が分離された前記薄肉部は、液室
   長手方向に沿って細長い形状をなすことを特徴とする液
   滴吐出ヘッド。
5. 【請求項５】 請求項１乃至４のいずれかに記載の液滴
   吐出ヘッドにおいて、前記薄肉部の前記液室長手方向の
   長さが前記厚肉部に当接している前記駆動手段の液室長
   手方向の長さよりも長いこと特徴とする液滴吐出ヘッ
   ド。
6. 【請求項６】 請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴
   吐出ヘッドにおいて、前記薄肉部の領域は、前記厚肉部
   に対して対称な位置に形成されていることを特徴とする
   液滴吐出ヘッド。
7. 【請求項７】 請求項１乃至６のいずれかに記載の液滴
   吐出ヘッドにおいて、前記振動板の前記厚肉部の厚さ
   は、前記薄肉部の周囲全てにおいて略同じ厚さであるこ
   とを特徴とする液滴吐出ヘッド。
8. 【請求項８】 請求項1乃至７のいずれかに記載の液滴
   吐出ヘッドにおいて、前記駆動手段は、前記振動板の法
   線方向の変位が、ｄ３３方向である圧電素子で構成され
   ていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の液滴吐出ヘッドにおい
   て、前記圧電素子は、複数枚の圧電素子の層と電極層が
   積層された構造であり、液室長手方向の端部に電界が生
   じない不活性域を有し、この不活性域が前記液室間の隔
   壁に対向して当接していることを特徴とする液滴吐出ヘ
   ッド。
10. 【請求項１０】 請求項９に記載の液滴吐出ヘッドにお
    いて、前記圧電素子の不活性域は前記液室の長手方向の
    両端の隔壁に対向して当接していることを特徴とする液
    滴吐出ヘッド。
11. 【請求項１１】 請求項９又は１０に記載の液滴吐出ヘ
    ッドにおいて、前記圧電素子の活性域は前記液室の長手
    方向の両端の隔壁に対向した領域には存在しないことを
    特徴とする液滴吐出ヘッド。
12. 【請求項１２】 請求項１１に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、前記圧電素子の不活性域は前記振動板の駆動領
    域に対向した領域にも存在することを特徴とする液滴吐
    出ヘッド。
13. 【請求項１３】 請求項１乃至８のいずれかに記載の液
    滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、当接する端部
    の液室長手方向の長さが前記液室の長手方向の長さより
    も短いことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載の液滴吐出ヘッドに
    おいて、前記圧電素子は、液室長手方向で前記圧電素子
    の端部が当接する領域は、前記液室の前記振動板の厚肉
    部の長手方向の長さよりも短いことを特徴とする液滴吐
    出ヘッド。
15. 【請求項１５】 請求項１乃至１２のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記圧電素子は、当接する端
    部の液室短手方向の長さは、前記振動板の厚肉部の前記
    液室短手方向の長さよりも長いことを特徴とする液滴吐
    出ヘッド。
16. 【請求項１６】 請求項１乃至１５のいずれかに記載の
    液滴吐出ヘッドにおいて、前記振動板の厚肉部は、前記
    駆動手段が当接する第１の厚肉部と、この第１の厚肉部
    及び前記薄肉部とは異なる厚さであって、前記第１の厚
    肉部と前記液室の隔壁と連結する第２の厚肉部とからな
    ることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
17. 【請求項１７】 インク滴を吐出するインクジェットヘ
    ッドを搭載したインクジェット記録装置において、前記
    インクジェットヘッドが請求項１乃至１６のいずれかに
    記載の液滴吐出ヘッドであることを特徴とするインクジ
    ェット記録装置。