JP2003004829A - 磁束測定装置 - Google Patents
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/2006—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
- G01D5/2033—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils controlling the saturation of a magnetic circuit by means of a movable element, e.g. a magnet
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
Abstract
(57)【要約】
【課題】 磁気回路自体に与える影響を少なくし、高精
度化、小型化、低消費電力化が図る。 【解決手段】 リニアモータを駆動をするための磁気回
路を形成するコア１３に対してセンサコイル１４を設
け、センサコイル１４を高周波通電することによってこ
のコア１３を励磁する。ここで、高周波励磁は、センサ
コアを磁気飽和させないように行い、コア１３内に渦電
流を発生させる。以上の状態でセンサコイル１４のイン
ピーダンスを検出し、このインピーダンスに基づき磁気
回路を構成しているコア１３内に発生している磁束の量
を検出する。
度化、小型化、低消費電力化が図る。 【解決手段】 リニアモータを駆動をするための磁気回
路を形成するコア１３に対してセンサコイル１４を設
け、センサコイル１４を高周波通電することによってこ
のコア１３を励磁する。ここで、高周波励磁は、センサ
コアを磁気飽和させないように行い、コア１３内に渦電
流を発生させる。以上の状態でセンサコイル１４のイン
ピーダンスを検出し、このインピーダンスに基づき磁気
回路を構成しているコア１３内に発生している磁束の量
を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気回路内を通過
する磁束の量を測定する磁束測定装置に関するものであ
る。
する磁束の量を測定する磁束測定装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気回路内に発生している磁束の量を測
定する手法として、従来より「サーチコイル方式」、
「過飽和型センサ方式」、「磁気感応素子方式」といっ
たものがある。
定する手法として、従来より「サーチコイル方式」、
「過飽和型センサ方式」、「磁気感応素子方式」といっ
たものがある。
【０００３】「サーチコイル方式」では、測定対象とな
る磁気回路を構成している一部材に対してコイルを巻回
し、この部材内を通過する磁束の量が変化することによ
って生じる誘導起電力を、当該コイルから検出する。
「サーチコイル方式」は、コイルに生じたこの誘導起電
力を積分することにより磁気回路内の磁束の量を測定す
る方式である。
る磁気回路を構成している一部材に対してコイルを巻回
し、この部材内を通過する磁束の量が変化することによ
って生じる誘導起電力を、当該コイルから検出する。
「サーチコイル方式」は、コイルに生じたこの誘導起電
力を積分することにより磁気回路内の磁束の量を測定す
る方式である。
【０００４】「過飽和型センサ方式」では、測定対象と
なる磁気回路を構成している可飽和型の磁性材料に対し
てコイルを巻回する。さらに、このコイルを駆動回路に
よって通電して、上記磁性材料を磁気飽和する状態まで
励磁する。磁性材料を磁気飽和するまで励磁すると、コ
イルのインピーダンスは低下する。ここで、磁気飽和さ
せた状態の磁性材料に、さらに、磁気回路による本来の
通過磁束がオフセットされて加わると、当該磁性材料が
磁気飽和している時間が変化する。コイルのインピーダ
ンスは、この磁気飽和している時間が長ければ長いほ
ど、インピーダンスは低くなる。すなわち、磁気回路に
よる本来の通過磁束の量に応じて、コイルのインピーダ
ンスは変化することとなる。「過飽和型センサ方式」
は、このコイルのインピーダンスを検出することによ
り、磁気回路内の磁束の量を測定する方式である。
なる磁気回路を構成している可飽和型の磁性材料に対し
てコイルを巻回する。さらに、このコイルを駆動回路に
よって通電して、上記磁性材料を磁気飽和する状態まで
励磁する。磁性材料を磁気飽和するまで励磁すると、コ
イルのインピーダンスは低下する。ここで、磁気飽和さ
せた状態の磁性材料に、さらに、磁気回路による本来の
通過磁束がオフセットされて加わると、当該磁性材料が
磁気飽和している時間が変化する。コイルのインピーダ
ンスは、この磁気飽和している時間が長ければ長いほ
ど、インピーダンスは低くなる。すなわち、磁気回路に
よる本来の通過磁束の量に応じて、コイルのインピーダ
ンスは変化することとなる。「過飽和型センサ方式」
は、このコイルのインピーダンスを検出することによ
り、磁気回路内の磁束の量を測定する方式である。
【０００５】「磁気感応素子方式」では、測定対象とな
る磁気回路中にギャップを形成し、そのギャップにホー
ル素子，ＭＲ素子等の磁気に感応するセンサを挿入した
り、測定対象となる磁気回路の近傍に上記磁気に感応す
るセンサを配置したりする。ギャップ等に挿入又は配置
されたセンサは、そのギャップ等に発生する磁束に応じ
て出力が変化する。「磁気感応素子方式」は、このセン
サ出力を検出して、磁気回路内の磁束の量を測定する方
式である。
る磁気回路中にギャップを形成し、そのギャップにホー
ル素子，ＭＲ素子等の磁気に感応するセンサを挿入した
り、測定対象となる磁気回路の近傍に上記磁気に感応す
るセンサを配置したりする。ギャップ等に挿入又は配置
されたセンサは、そのギャップ等に発生する磁束に応じ
て出力が変化する。「磁気感応素子方式」は、このセン
サ出力を検出して、磁気回路内の磁束の量を測定する方
式である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述の各方
式には、以下のような問題がある。
式には、以下のような問題がある。
【０００７】「サーチコイル方式」は、磁気回路を通過
する磁束による電磁誘導を利用した方式であるため、当
該磁束が時間的に変動するときには出力を得ることがで
きるが、当該磁束が時間的に変動しないときには出力を
得ることができない。すなわち、無変動の磁束の量は測
定することができない。また、磁束が時間的に変動した
としても、その時間変化量が少ない場合には、十分な感
度を得ることは困難である。また、その時間変化量が少
ない場合であっても、例えば、コイルの巻き数を多くす
ることにより十分な感度を得られることもあるが、その
場合にはコイルが大型化してしまう。
する磁束による電磁誘導を利用した方式であるため、当
該磁束が時間的に変動するときには出力を得ることがで
きるが、当該磁束が時間的に変動しないときには出力を
得ることができない。すなわち、無変動の磁束の量は測
定することができない。また、磁束が時間的に変動した
としても、その時間変化量が少ない場合には、十分な感
度を得ることは困難である。また、その時間変化量が少
ない場合であっても、例えば、コイルの巻き数を多くす
ることにより十分な感度を得られることもあるが、その
場合にはコイルが大型化してしまう。
【０００８】「過飽和型センサ方式」は、磁気回路を構
成する部材である可飽和の磁性材料を磁気飽和させなけ
ればならない。そのため、例えば、その磁性材料の材質
が、磁気飽和が緩やかな材料、つまり、大きな磁界をか
けなければ磁気飽和させることができないような材料
（例えば、電磁銅板、珪素銅板、純鉄）である場合、コ
イルに流す電流を多くしたり、或いは、コイルの巻き数
等を多くするといったことをしなければならず、装置の
大型化、電気回路の耐性の悪化、消費電力の増大化を招
いてしまう。また、例えば、可飽和型の磁性材料として
小さい磁界で磁気飽和する高透磁率材料が用いられてい
たとしても、その磁性材料自体が大きい場合には、同様
の問題が生じてしまう。
成する部材である可飽和の磁性材料を磁気飽和させなけ
ればならない。そのため、例えば、その磁性材料の材質
が、磁気飽和が緩やかな材料、つまり、大きな磁界をか
けなければ磁気飽和させることができないような材料
（例えば、電磁銅板、珪素銅板、純鉄）である場合、コ
イルに流す電流を多くしたり、或いは、コイルの巻き数
等を多くするといったことをしなければならず、装置の
大型化、電気回路の耐性の悪化、消費電力の増大化を招
いてしまう。また、例えば、可飽和型の磁性材料として
小さい磁界で磁気飽和する高透磁率材料が用いられてい
たとしても、その磁性材料自体が大きい場合には、同様
の問題が生じてしまう。
【０００９】さらに、「過飽和型センサ方式」は、磁気
飽和させるため、磁気回路内に本来発生している磁束以
外の外乱となる磁束が、非常に多くその磁気回路内に生
じてしまう。そのため、磁気回路の本来の動作自体に悪
影響を与えてしまう可能性がある。
飽和させるため、磁気回路内に本来発生している磁束以
外の外乱となる磁束が、非常に多くその磁気回路内に生
じてしまう。そのため、磁気回路の本来の動作自体に悪
影響を与えてしまう可能性がある。
【００１０】「磁気感応素子方式」は、測定対象となる
磁気回路中のギャップやその磁気回路の近傍に挿入又は
配置されることから、実際には、その磁気回路の漏洩磁
束を検出することとなる。しかしながら、磁性体のＢ−
Ｈ特性は非線形であるため、磁気回路内に生じる実際の
磁束と漏洩磁束とは一致せず、測定誤差が生じてしま
う。
磁気回路中のギャップやその磁気回路の近傍に挿入又は
配置されることから、実際には、その磁気回路の漏洩磁
束を検出することとなる。しかしながら、磁性体のＢ−
Ｈ特性は非線形であるため、磁気回路内に生じる実際の
磁束と漏洩磁束とは一致せず、測定誤差が生じてしま
う。
【００１１】本発明は、このような実情を鑑みてなされ
たものであり、磁気回路自体に与える影響を少なくし、
高精度化、小型化、低消費電力化が図られた、磁気回路
内を通過する磁束の量を測定する磁束測定装置を提供す
ることを目的とする。
たものであり、磁気回路自体に与える影響を少なくし、
高精度化、小型化、低消費電力化が図られた、磁気回路
内を通過する磁束の量を測定する磁束測定装置を提供す
ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】以上の課題を解決するた
めに本発明者は、以下の発明を案出した。
めに本発明者は、以下の発明を案出した。
【００１３】まず、測定対象となる磁気回路を形成する
部材に対して導電性を有するコアを設ける。このように
磁気回路を形成する部材に対してコアを設けることによ
って、磁気回路に発生している磁束が直接当該コアを通
過することとなる。なお、上記部材にコアを設ける方法
は、磁気回路内を通過する磁束が直接コアを通過するよ
うにすれば、どのような方法であってもよい。例えば、
上記部材を切り出してコアを形成して当該部材の一部分
をコアとして用いてもよく、また、当該部材と別体とし
て形成されたコアを当該部材内に挿入して設けても良
い。
部材に対して導電性を有するコアを設ける。このように
磁気回路を形成する部材に対してコアを設けることによ
って、磁気回路に発生している磁束が直接当該コアを通
過することとなる。なお、上記部材にコアを設ける方法
は、磁気回路内を通過する磁束が直接コアを通過するよ
うにすれば、どのような方法であってもよい。例えば、
上記部材を切り出してコアを形成して当該部材の一部分
をコアとして用いてもよく、また、当該部材と別体とし
て形成されたコアを当該部材内に挿入して設けても良
い。
【００１４】そして、上記コアにコイルを巻回し、この
コイルを高周波通電することによってコアを励磁し、こ
のときのコイルのインピーダンスを検出する。
コイルを高周波通電することによってコアを励磁し、こ
のときのコイルのインピーダンスを検出する。
【００１５】ここで、コアの励磁は、コアの材質や大き
さ、コイルの巻き数，コイルの大きさや材質、励磁駆動
手段の周波数，電流，電圧等の電気的特性等を考慮し、
さらに上記コアを磁気飽和させないように行う。コアを
高周波励磁すると、コイルのインピーダンスは、自己誘
導に伴うインピーダンス損失成分に加え、コア自体が導
電性を有することから、渦電流損失成分が含まれるよう
になる。これら両成分は、コア材の透磁率μの変化によ
ってその値を変化させるが、特にコアを磁気飽和させな
いように励磁することにより、コイルのインピーダンス
には渦電流損失分が大きく寄与するようになる。コア材
の透磁率μは、コア内に流入する磁束量に対して値を変
化させる。すなわち、コア材を磁気飽和させることな
く、コア内に流入する磁束量に応じて、コイルのインピ
ーダンスが変動することとなる。
さ、コイルの巻き数，コイルの大きさや材質、励磁駆動
手段の周波数，電流，電圧等の電気的特性等を考慮し、
さらに上記コアを磁気飽和させないように行う。コアを
高周波励磁すると、コイルのインピーダンスは、自己誘
導に伴うインピーダンス損失成分に加え、コア自体が導
電性を有することから、渦電流損失成分が含まれるよう
になる。これら両成分は、コア材の透磁率μの変化によ
ってその値を変化させるが、特にコアを磁気飽和させな
いように励磁することにより、コイルのインピーダンス
には渦電流損失分が大きく寄与するようになる。コア材
の透磁率μは、コア内に流入する磁束量に対して値を変
化させる。すなわち、コア材を磁気飽和させることな
く、コア内に流入する磁束量に応じて、コイルのインピ
ーダンスが変動することとなる。
【００１６】本発明は、以上の状態で上記コイルのイン
ピーダンスを検出し、このインピーダンスに基づき、磁
気回路を構成している上記部材内に発生している磁束の
量を検出するものである。
ピーダンスを検出し、このインピーダンスに基づき、磁
気回路を構成している上記部材内に発生している磁束の
量を検出するものである。
【００１７】以上のような本発明を具現化すると、以下
のようになる。
のようになる。
【００１８】すなわち、本発明にかかる磁束検出装置
は、磁路を形成する磁気回路内に設けられた磁路形成部
内の磁束の量を測定する磁束検出装置であって、導電性
を有する磁性材料からなり、上記磁路形成部に設けられ
たセンサコア及び当該センサコアに巻回されたセンサコ
イルからなる感磁手段と、上記センサコイルを高周波通
電する高周波通電手段と、上記センサコイルのインピー
ダンスを検出し、このインピーダンスに基づき上記磁路
形成部内の磁束の量を検出する磁束量検出手段とを備
え、上記センサコアは、上記高周波通電手段により上記
センサコイルが高周波通電されたときに、磁気飽和しな
い。
は、磁路を形成する磁気回路内に設けられた磁路形成部
内の磁束の量を測定する磁束検出装置であって、導電性
を有する磁性材料からなり、上記磁路形成部に設けられ
たセンサコア及び当該センサコアに巻回されたセンサコ
イルからなる感磁手段と、上記センサコイルを高周波通
電する高周波通電手段と、上記センサコイルのインピー
ダンスを検出し、このインピーダンスに基づき上記磁路
形成部内の磁束の量を検出する磁束量検出手段とを備
え、上記センサコアは、上記高周波通電手段により上記
センサコイルが高周波通電されたときに、磁気飽和しな
い。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態とし
て、本発明を適用した可動コイル型リニアＤＣモータに
ついて説明をする。
て、本発明を適用した可動コイル型リニアＤＣモータに
ついて説明をする。
【００２０】可動コイル型リニアＤＣモータは、界磁マ
グネットが固定子、コイルが可動子として動作し、可動
子コイルの動作を、コイルに通電するＤＣ電流で制御す
るリニアモータである。
グネットが固定子、コイルが可動子として動作し、可動
子コイルの動作を、コイルに通電するＤＣ電流で制御す
るリニアモータである。
【００２１】図１に、上記可動コイル型リニアＤＣモー
タの構成図を示す。
タの構成図を示す。
【００２２】本実施の形態の可動コイル型リニアＤＣモ
ータ１は、図１に示すように、界磁マグネット２と、ス
ライダ３と、駆動制御部４とを備えて構成される。
ータ１は、図１に示すように、界磁マグネット２と、ス
ライダ３と、駆動制御部４とを備えて構成される。
【００２３】界磁マグネット２は、例えば平板の長尺の
形状を有した磁性材料から構成される。界磁マグネット
２は、その主面２ａ上にＮ極とＳ極とが長手方向に沿っ
て所定のピッチで交互に現れるように、厚さ方向に着磁
されている。
形状を有した磁性材料から構成される。界磁マグネット
２は、その主面２ａ上にＮ極とＳ極とが長手方向に沿っ
て所定のピッチで交互に現れるように、厚さ方向に着磁
されている。
【００２４】スライダ３は、界磁マグネット２の主面２
ａ上に対向した位置に設けられ、さらに、例えば図示し
ないガイドレール等を用いて界磁マグネット２の長手方
向に移動可能に設けられている。すなわち、スライダ３
は、図１中、Ｘ１，Ｘ２方向に移動可能となっている。
以下、このＸ１，Ｘ２方向を移動方向とも呼ぶ。このス
ライダ３は、内部に２つの可動コイル１１，１２と、コ
ア１３と、センサコイル１４とを有している。
ａ上に対向した位置に設けられ、さらに、例えば図示し
ないガイドレール等を用いて界磁マグネット２の長手方
向に移動可能に設けられている。すなわち、スライダ３
は、図１中、Ｘ１，Ｘ２方向に移動可能となっている。
以下、このＸ１，Ｘ２方向を移動方向とも呼ぶ。このス
ライダ３は、内部に２つの可動コイル１１，１２と、コ
ア１３と、センサコイル１４とを有している。
【００２５】可動コイル１１，１２は、例えば、矩形状
に巻回されたコイルである。可動コイル１１，１２は、
その中心軸が上記界磁マグネット２の主面２ａと直交す
る方向に設けられ、且つ、矩形の所定の一辺及びその一
辺と対向する辺（感磁辺）が移動方向Ｘ１，Ｘ２に対し
て直交するように設けられている。可動コイル１１，１
２は、界磁マグネット２の主面２ａに十分近接して設け
られ、さらに、移動方向Ｘ１，Ｘ２に対向する２つの辺
（感磁辺）間のピッチ、並びに、２つの可動コイル間の
移動方向Ｘ１，Ｘ２に対する距離が、界磁マグネット２
のＮＳの着磁周期に対し、９０度の位相差を持つように
設けられている。このため、スライダ３には、界磁マグ
ネット２から発生する磁界とこの可動コイル１１，１２
の感磁辺に流れる電流とによって、フレミングの左手の
法則に基づき、移動方向Ｘ１，Ｘ２の推力が生じる。
に巻回されたコイルである。可動コイル１１，１２は、
その中心軸が上記界磁マグネット２の主面２ａと直交す
る方向に設けられ、且つ、矩形の所定の一辺及びその一
辺と対向する辺（感磁辺）が移動方向Ｘ１，Ｘ２に対し
て直交するように設けられている。可動コイル１１，１
２は、界磁マグネット２の主面２ａに十分近接して設け
られ、さらに、移動方向Ｘ１，Ｘ２に対向する２つの辺
（感磁辺）間のピッチ、並びに、２つの可動コイル間の
移動方向Ｘ１，Ｘ２に対する距離が、界磁マグネット２
のＮＳの着磁周期に対し、９０度の位相差を持つように
設けられている。このため、スライダ３には、界磁マグ
ネット２から発生する磁界とこの可動コイル１１，１２
の感磁辺に流れる電流とによって、フレミングの左手の
法則に基づき、移動方向Ｘ１，Ｘ２の推力が生じる。
【００２６】コア１３は、略Ｕ字型の形状となってい
る。コア１３は、その両端部が上記２つの可動コイル１
１，１２の内部に挿入され、界磁マグネット２の主面２
ａに対して鉛直上に設けられている。
る。コア１３は、その両端部が上記２つの可動コイル１
１，１２の内部に挿入され、界磁マグネット２の主面２
ａに対して鉛直上に設けられている。
【００２７】センサコイル１４は、コア１３の両端部か
ら等距離にある略中心部分に巻回されて、当該コア１３
に設けられている。なお、センサコイル１４は、コア１
３により形成される磁路内であれば、上記略中心部分に
限らず、どの位置に巻回してもよい。
ら等距離にある略中心部分に巻回されて、当該コア１３
に設けられている。なお、センサコイル１４は、コア１
３により形成される磁路内であれば、上記略中心部分に
限らず、どの位置に巻回してもよい。
【００２８】駆動制御部４は、可動コイル駆動回路２１
と、センサ駆動検出回路２２と、制御回路２３とを有し
ている。
と、センサ駆動検出回路２２と、制御回路２３とを有し
ている。
【００２９】可動コイル駆動回路２１は、可動コイル１
１，１２に対して、推力を生じさせるための駆動ＤＣ電
流を供給する。
１，１２に対して、推力を生じさせるための駆動ＤＣ電
流を供給する。
【００３０】センサ駆動検出回路２２は、センサコイル
１４に対して高周波通電を行い、コア１３を励磁する。
これとともにセンサ駆動検出回路２２は、センサコイル
１４のインピーダンスを検出する。
１４に対して高周波通電を行い、コア１３を励磁する。
これとともにセンサ駆動検出回路２２は、センサコイル
１４のインピーダンスを検出する。
【００３１】制御回路２３は、外部から入力される移動
位置情報や移動方向情報等の制御情報に基づき、スライ
ダ３を所定の方向の所定の位置に移動させるように、可
動コイル駆動回路２１から可動コイル１１，１２に供給
する駆動電流を制御する。また、制御回路２３は、セン
サ駆動検出回路２２により検出されたセンサコイル１４
のインピーダンスに基づき、コア１３に発生している磁
束の量を検出する。そして、制御回路２３は、この磁束
の量に応じて可動コイル１１，１２に供給する電流を制
御し、スライダ３の推力を安定化させる。
位置情報や移動方向情報等の制御情報に基づき、スライ
ダ３を所定の方向の所定の位置に移動させるように、可
動コイル駆動回路２１から可動コイル１１，１２に供給
する駆動電流を制御する。また、制御回路２３は、セン
サ駆動検出回路２２により検出されたセンサコイル１４
のインピーダンスに基づき、コア１３に発生している磁
束の量を検出する。そして、制御回路２３は、この磁束
の量に応じて可動コイル１１，１２に供給する電流を制
御し、スライダ３の推力を安定化させる。
【００３２】スライダ３の推力は、フレミングの左手の
法則によって与えられるため、界磁マグネット２から可
動コイル１１，１２に与えられる磁束の量と、この可動
コイル１１，１２に与えられる電流量に比例している。
この可動コイル１１，１２に与えられる磁束の量は、コ
ア１３が設けられていることから、界磁マグネット２及
びコア１３で構成される磁気回路内を通過する磁束の量
に対応すると考えられる。ここで、主面２ａ上にＮ極Ｓ
極が交互に着磁されていることから、可動コイル１１，
１２に与えられる磁束は、移動位置に応じて変動する。
すなわち、可動コイル１１，１２に流れる電流量を一定
としていた場合、スライダ３の移動位置に応じて推力は
変動する。そこで、制御回路２３は、磁気回路内の磁束
の量を検出し、この検出した磁束の量に応じて可動コイ
ル１１，１２に供給する駆動電流を制御して、スライダ
の推力を安定させている。
法則によって与えられるため、界磁マグネット２から可
動コイル１１，１２に与えられる磁束の量と、この可動
コイル１１，１２に与えられる電流量に比例している。
この可動コイル１１，１２に与えられる磁束の量は、コ
ア１３が設けられていることから、界磁マグネット２及
びコア１３で構成される磁気回路内を通過する磁束の量
に対応すると考えられる。ここで、主面２ａ上にＮ極Ｓ
極が交互に着磁されていることから、可動コイル１１，
１２に与えられる磁束は、移動位置に応じて変動する。
すなわち、可動コイル１１，１２に流れる電流量を一定
としていた場合、スライダ３の移動位置に応じて推力は
変動する。そこで、制御回路２３は、磁気回路内の磁束
の量を検出し、この検出した磁束の量に応じて可動コイ
ル１１，１２に供給する駆動電流を制御して、スライダ
の推力を安定させている。
【００３３】以上のように本発明の実施の形態の可動コ
イル型リニアＤＣモータ１では、推力を安定化させなが
ら、界磁マグネット２の長手方向の各位置に対して、ス
ライダ３を自在を移動させることができる。
イル型リニアＤＣモータ１では、推力を安定化させなが
ら、界磁マグネット２の長手方向の各位置に対して、ス
ライダ３を自在を移動させることができる。
【００３４】つぎに、本発明の実施の形態で適用されて
いる磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法につ
いて、さらに詳細に説明をする。
いる磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法につ
いて、さらに詳細に説明をする。
【００３５】本発明の実施の形態で適用される磁気回路
内を通過する磁束の量を測定する方法は、まず、磁束測
定対象となる磁気回路を構成する部材に、導電性を有す
るセンサコアを設ける。そして、そのセンサコアに対し
てセンサコイルを巻回する。センサコアは、磁気回路内
を通過する磁束が直接そのセンサコアを通過するよう
に、上記部材に対して設ける。センサコアの材質は、導
電性を有する磁性材料であればどのようなものであって
もよい。例えば、センサコアは、純鉄、パーマロイやア
モルファス金属等の高透磁率材料等である。
内を通過する磁束の量を測定する方法は、まず、磁束測
定対象となる磁気回路を構成する部材に、導電性を有す
るセンサコアを設ける。そして、そのセンサコアに対し
てセンサコイルを巻回する。センサコアは、磁気回路内
を通過する磁束が直接そのセンサコアを通過するよう
に、上記部材に対して設ける。センサコアの材質は、導
電性を有する磁性材料であればどのようなものであって
もよい。例えば、センサコアは、純鉄、パーマロイやア
モルファス金属等の高透磁率材料等である。
【００３６】本実施の形態の可動コイル型リニアＤＣモ
ータ１では、界磁マグネット２及びコア１３によって磁
気回路が構成されているため、磁気回路を構成する一部
材であるコア１３にセンサコアを設けている。
ータ１では、界磁マグネット２及びコア１３によって磁
気回路が構成されているため、磁気回路を構成する一部
材であるコア１３にセンサコアを設けている。
【００３７】なお、このセンサコアを設ける方法は、磁
気回路内を通過する磁束が直接そのセンサコアを通過す
るようにすれば、どのような方法であってもよい。本実
施の形態では、図１に示すように、コア１３自体に直接
センサコイル１４を巻回することによって、磁気回路を
構成する部材であるコア１３自体を、センサコアとみな
して設けている。
気回路内を通過する磁束が直接そのセンサコアを通過す
るようにすれば、どのような方法であってもよい。本実
施の形態では、図１に示すように、コア１３自体に直接
センサコイル１４を巻回することによって、磁気回路を
構成する部材であるコア１３自体を、センサコアとみな
して設けている。
【００３８】またセンサコアを設ける他の方法として
は、例えば、図２に示すように、磁気回路を構成する部
材（例えばコア１３）の一部を切り出してセンサコア３
１を形成してもよい。すなわち、コア１３の一部分に凹
部３２を形成し、この凹部３２に対して磁界の通過方向
に掛け渡したセンサコア３１を、コア１３と一体的に形
成してもよい。このようにセンサコアを設ければ、磁気
回路を構成する部材が大型であっても、センサコイルが
小型化する。
は、例えば、図２に示すように、磁気回路を構成する部
材（例えばコア１３）の一部を切り出してセンサコア３
１を形成してもよい。すなわち、コア１３の一部分に凹
部３２を形成し、この凹部３２に対して磁界の通過方向
に掛け渡したセンサコア３１を、コア１３と一体的に形
成してもよい。このようにセンサコアを設ければ、磁気
回路を構成する部材が大型であっても、センサコイルが
小型化する。
【００３９】またさらにセンサコイルを設ける他の方法
としては、例えば、図３に示すように、磁気回路を構成
する部材（例えばコア１３）とは別体として形成された
センサコア３３を、この部材内に挿入して設けても良
い。すなわち、コア１３の一部分に凹部３２を形成し、
この凹部３２に対して磁界の通過方向に、コア１３とは
別部材のセンサコア３３を取り付けることにより、コア
１３内にセンサコア３３を挿入してもよい。このように
センサコアを設ければ、予めセンサコアにセンサコイル
を巻回しておくことができ、取り扱いが容易となる。
としては、例えば、図３に示すように、磁気回路を構成
する部材（例えばコア１３）とは別体として形成された
センサコア３３を、この部材内に挿入して設けても良
い。すなわち、コア１３の一部分に凹部３２を形成し、
この凹部３２に対して磁界の通過方向に、コア１３とは
別部材のセンサコア３３を取り付けることにより、コア
１３内にセンサコア３３を挿入してもよい。このように
センサコアを設ければ、予めセンサコアにセンサコイル
を巻回しておくことができ、取り扱いが容易となる。
【００４０】さらに、本発明の実施の形態で適用される
磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法は、セン
サコイルを高周波通電してセンサコアを励磁し、高周波
通電した状態のセンサコアのインピーダンスを検波す
る。そして、検出したインピーダンスに基づき、磁気回
路内に生じている磁束の量を検出する。
磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法は、セン
サコイルを高周波通電してセンサコアを励磁し、高周波
通電した状態のセンサコアのインピーダンスを検波す
る。そして、検出したインピーダンスに基づき、磁気回
路内に生じている磁束の量を検出する。
【００４１】本実施の形態の可動コイル型リニアＤＣモ
ータ１では、センサ駆動検出回路２２により、高周波通
電及びインピーダンス検波を行っている。このセンサ駆
動検出回路２２は、図４に示すように、センサ高周波駆
動回路４１によりセンサコア１４を駆動し、インピーダ
ンス検波回路４２によってセンサコア１４の出力を検出
してインピーダンスを検波している。また、本実施の形
態の可動コイル型リニアＤＣモータ１では、センサ駆動
検出回路２２からのインピーダンス検波出力に基づき、
制御回路２３が磁束の量を検出している。
ータ１では、センサ駆動検出回路２２により、高周波通
電及びインピーダンス検波を行っている。このセンサ駆
動検出回路２２は、図４に示すように、センサ高周波駆
動回路４１によりセンサコア１４を駆動し、インピーダ
ンス検波回路４２によってセンサコア１４の出力を検出
してインピーダンスを検波している。また、本実施の形
態の可動コイル型リニアＤＣモータ１では、センサ駆動
検出回路２２からのインピーダンス検波出力に基づき、
制御回路２３が磁束の量を検出している。
【００４２】コイルセンサを駆動する信号の波形は、高
周波で駆動すれば、正弦波でも矩形波でもよい。もっと
も、矩形波の方が、回路が簡単で安価に作成することが
できること、パルスに含まれる高周波成分によって効率
よくセンサを駆動することができること、繰り返し周波
数及びパルスデューティーを調整すれば消費電力を抑え
ながら高周波化することができること等の利点がある。
周波で駆動すれば、正弦波でも矩形波でもよい。もっと
も、矩形波の方が、回路が簡単で安価に作成することが
できること、パルスに含まれる高周波成分によって効率
よくセンサを駆動することができること、繰り返し周波
数及びパルスデューティーを調整すれば消費電力を抑え
ながら高周波化することができること等の利点がある。
【００４３】センサを駆動する回路は、コルピッツ発振
回路、マルチバイブレータ回路、水晶振動子を用いた発
振回路等、どのような回路を用いても良い。例えば、図
５に示すような、マルチバイブレータを応用した発振回
路５０と、センサコイル１４に直列に接続されたＦＥＴ
５１を用いてもよい。この発振回路５０は、コレクタが
電源電圧ｖｃｃに抵抗５２を介してプルアップされ、エ
ミッタがコンデンサ５３を介して接地されたｎｐｎトラ
ンジスタ５４と、インバータ５５とを有して構成されて
いる。この発振回路５０では、ｎｐｎトランジスタ５４
のエミッタ出力をインバータ５５で反転し、その反転出
力を当該ｎｐｎトランジスタ５４のベースに抵抗を介し
てフィードバックしている。そして、インバータ５５か
らパルス駆動信号が出力される。このような回路構成と
すれば、コスト的に安価な回路を作成することができ
る。
回路、マルチバイブレータ回路、水晶振動子を用いた発
振回路等、どのような回路を用いても良い。例えば、図
５に示すような、マルチバイブレータを応用した発振回
路５０と、センサコイル１４に直列に接続されたＦＥＴ
５１を用いてもよい。この発振回路５０は、コレクタが
電源電圧ｖｃｃに抵抗５２を介してプルアップされ、エ
ミッタがコンデンサ５３を介して接地されたｎｐｎトラ
ンジスタ５４と、インバータ５５とを有して構成されて
いる。この発振回路５０では、ｎｐｎトランジスタ５４
のエミッタ出力をインバータ５５で反転し、その反転出
力を当該ｎｐｎトランジスタ５４のベースに抵抗を介し
てフィードバックしている。そして、インバータ５５か
らパルス駆動信号が出力される。このような回路構成と
すれば、コスト的に安価な回路を作成することができ
る。
【００４４】また、さらに、本発明の実施の形態で適用
される磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法
は、センサコアの励磁を、当該センサコアの材質、セン
サコイルの巻き数，大きさ，材質、高周波通電の電圧，
電流，周波数，信号波形等を考慮して、センサコアを磁
気飽和させないように行い、センサコアに渦電流を発生
させる。これは、本磁束の量の測定方法では、主として
センサコアに発生する渦電流によるセンサコイルのイン
ピーダンス損失に基づき、磁気回路内の磁束の量を検出
するためである。
される磁気回路内を通過する磁束の量を測定する方法
は、センサコアの励磁を、当該センサコアの材質、セン
サコイルの巻き数，大きさ，材質、高周波通電の電圧，
電流，周波数，信号波形等を考慮して、センサコアを磁
気飽和させないように行い、センサコアに渦電流を発生
させる。これは、本磁束の量の測定方法では、主として
センサコアに発生する渦電流によるセンサコイルのイン
ピーダンス損失に基づき、磁気回路内の磁束の量を検出
するためである。
【００４５】すなわち、センサコアを高周波で励磁する
と、センサコア自体が導電性を有することから、当該セ
ンサコア内に渦電流が発生し、センサコイルのインピー
ダンスには、駆動波に対して９０°位相がずれた自己誘
導によるインピーダンス損失成分に加えて、駆動波に対
して１８０°位相がずれた渦電流によるインピーダンス
損失成分が生じる。これら両成分は、センサコア材の透
磁率μの変化によってその値を変化させるが、特にコア
を磁気飽和させないように励磁することにより、コイル
のインピーダンスには渦電流損失分が大きく寄与するよ
うになる。この２つの成分を合成したインピーダンス
は、センサコア内に流入する磁束量変化に対して、非常
に大きな変化を示す。
と、センサコア自体が導電性を有することから、当該セ
ンサコア内に渦電流が発生し、センサコイルのインピー
ダンスには、駆動波に対して９０°位相がずれた自己誘
導によるインピーダンス損失成分に加えて、駆動波に対
して１８０°位相がずれた渦電流によるインピーダンス
損失成分が生じる。これら両成分は、センサコア材の透
磁率μの変化によってその値を変化させるが、特にコア
を磁気飽和させないように励磁することにより、コイル
のインピーダンスには渦電流損失分が大きく寄与するよ
うになる。この２つの成分を合成したインピーダンス
は、センサコア内に流入する磁束量変化に対して、非常
に大きな変化を示す。
【００４６】なお、渦電流によるインピーダンス損失が
磁束の量に応じて変化するのは、実際には、渦電流の電
流量がセンサコアの透磁率μによって変動するためであ
る。一般に、磁性材料の場合、この透磁率μは、単に定
数で表されずに、磁束の量に応じて変動するものであ
る。
磁束の量に応じて変化するのは、実際には、渦電流の電
流量がセンサコアの透磁率μによって変動するためであ
る。一般に、磁性材料の場合、この透磁率μは、単に定
数で表されずに、磁束の量に応じて変動するものであ
る。
【００４７】以上のように、本磁束検出方法では、セン
サコアに発生する渦電流によるセンサコイルのインピー
ダンス損失に基づき、磁気回路内の磁束の量を検出す
る。そのため、本方法では、過飽和型センサ方式で磁気
回路内の磁束を測定した場合のように、磁気回路を構成
する磁性材料を磁気飽和させなくてもよいため、センサ
コイルに流す電流量を大きくしたり、センサコイルの巻
き線数を多くしなくても、十分な出力を得ることができ
る。また、さらに、本方法では、磁気飽和させないため
に、過飽和型センサ方式と異なり、磁気回路自体に与え
る影響が非常に小さい。
サコアに発生する渦電流によるセンサコイルのインピー
ダンス損失に基づき、磁気回路内の磁束の量を検出す
る。そのため、本方法では、過飽和型センサ方式で磁気
回路内の磁束を測定した場合のように、磁気回路を構成
する磁性材料を磁気飽和させなくてもよいため、センサ
コイルに流す電流量を大きくしたり、センサコイルの巻
き線数を多くしなくても、十分な出力を得ることができ
る。また、さらに、本方法では、磁気飽和させないため
に、過飽和型センサ方式と異なり、磁気回路自体に与え
る影響が非常に小さい。
【００４８】なお、センサコイルのインピーダンス変化
を、渦電流損失分が大きく寄与するように設定するのが
望ましい。このためには、センサコイルの駆動を高周波
化すればよいが、周波数を上げすぎると逆に、センサコ
イルの巻線間に生じる容量成分等の影響により、センサ
動作点がずれてインピーダンス変化の特性が不安定とな
り、且つ、インピーダンス変化の特性が悪化する虞があ
る。そのため、当該センサコアの材質、センサコイルの
巻き数，大きさ，材質等に応じて、駆動条件を適切に定
めることが望ましい。
を、渦電流損失分が大きく寄与するように設定するのが
望ましい。このためには、センサコイルの駆動を高周波
化すればよいが、周波数を上げすぎると逆に、センサコ
イルの巻線間に生じる容量成分等の影響により、センサ
動作点がずれてインピーダンス変化の特性が不安定とな
り、且つ、インピーダンス変化の特性が悪化する虞があ
る。そのため、当該センサコアの材質、センサコイルの
巻き数，大きさ，材質等に応じて、駆動条件を適切に定
めることが望ましい。
【００４９】また、磁気回路と比較して透磁率の高い材
料、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｂ等を成分に含むアモ
ルファス金属、又はパーマロイ等の高透磁率材料を用い
てセンサコアを形成したり、或いは、これらの高透磁率
材料を一部に含んだセンサコアを用いれば、当該センサ
コアへの集磁性の向上、インピーダンス変化の特性の向
上を図ることが可能である。
料、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｓｉ、Ｂ等を成分に含むアモ
ルファス金属、又はパーマロイ等の高透磁率材料を用い
てセンサコアを形成したり、或いは、これらの高透磁率
材料を一部に含んだセンサコアを用いれば、当該センサ
コアへの集磁性の向上、インピーダンス変化の特性の向
上を図ることが可能である。
【００５０】つぎに、センサコア及びセンサコイルの具
体的な構成例について説明する。
体的な構成例について説明する。
【００５１】（具体例１）センサコアは、コイルの巻回
部分の寸法をφ２×１０ｍｍとし、その材質は純鉄（Ｊ
ＩＳ ＳＵＹＢ０相当）とした。センサコイルは、上記
センサコアに対して、φ６０ｕｍのＣｕ線を巻回した。
巻き数は、２０ターンで１回折り返して、合計４０ター
ンとした。
部分の寸法をφ２×１０ｍｍとし、その材質は純鉄（Ｊ
ＩＳ ＳＵＹＢ０相当）とした。センサコイルは、上記
センサコアに対して、φ６０ｕｍのＣｕ線を巻回した。
巻き数は、２０ターンで１回折り返して、合計４０ター
ンとした。
【００５２】上記センサコイルに一定電流を１０ｍＡ流
した場合には、計算上、上記センサコイルから発生する
励磁磁界は約３０Ａ／ｍとなる。一般的に、純鉄が磁気
飽和するには、３００〜８００Ａ／ｍ程度の励磁磁界を
必要とするため、このような条件ではセンサコアは磁気
飽和しないといえる。さらに、実際は、部分的励磁や漏
れ磁束等の影響から、励磁は弱まると考えられる。実際
に上記センサコイルに対して１０ｍＡの一定電流を通電
して上記センサコアの磁化状態を調べたところ、このセ
ンサコアの磁化状態は、純鉄コアの最大磁化に対して、
最大でも１／１００程度であった。
した場合には、計算上、上記センサコイルから発生する
励磁磁界は約３０Ａ／ｍとなる。一般的に、純鉄が磁気
飽和するには、３００〜８００Ａ／ｍ程度の励磁磁界を
必要とするため、このような条件ではセンサコアは磁気
飽和しないといえる。さらに、実際は、部分的励磁や漏
れ磁束等の影響から、励磁は弱まると考えられる。実際
に上記センサコイルに対して１０ｍＡの一定電流を通電
して上記センサコアの磁化状態を調べたところ、このセ
ンサコアの磁化状態は、純鉄コアの最大磁化に対して、
最大でも１／１００程度であった。
【００５３】続いて、上記センサコイルへ±１０ｍＡの
正弦波電流を流し、この正弦波電流の周波数を変化させ
ていった。このときの磁束の量に対するセンサインピー
ダンス及び位相変化を観察すると、周波数が約２００ｋ
Ｈｚ程度で渦電流損失成分の影響が現れ始め、周波数５
００ｋＨｚ〜５ＭＨｚ程度で、磁束の量の変化に対し
て、センサインピーダンスが大きく変化した。
正弦波電流を流し、この正弦波電流の周波数を変化させ
ていった。このときの磁束の量に対するセンサインピー
ダンス及び位相変化を観察すると、周波数が約２００ｋ
Ｈｚ程度で渦電流損失成分の影響が現れ始め、周波数５
００ｋＨｚ〜５ＭＨｚ程度で、磁束の量の変化に対し
て、センサインピーダンスが大きく変化した。
【００５４】このようにコアの最大磁化に対して１／１
００程度の励磁であっても、渦電流の影響による出力を
十分得ることができることが分かる。
００程度の励磁であっても、渦電流の影響による出力を
十分得ることができることが分かる。
【００５５】（具体例２）センサコアは、コイルの巻回
部分の寸法をφ２×１０ｍｍとし、その材質はパーマロ
イとした。センサコイルは、上記センサコアに対して、
φ６０ｕｍのＣｕ線を巻回した。巻き数は、２０ターン
で１回折り返して、合計４０ターンとした。
部分の寸法をφ２×１０ｍｍとし、その材質はパーマロ
イとした。センサコイルは、上記センサコアに対して、
φ６０ｕｍのＣｕ線を巻回した。巻き数は、２０ターン
で１回折り返して、合計４０ターンとした。
【００５６】上記センサコイルに対して１０ｍＡの一定
電流を通電して上記センサコアの磁化状態を調べたとこ
ろ、このセンサコアの磁化状態は、パーマロイの最大磁
化に対して、最大でも１／５０程度であった。
電流を通電して上記センサコアの磁化状態を調べたとこ
ろ、このセンサコアの磁化状態は、パーマロイの最大磁
化に対して、最大でも１／５０程度であった。
【００５７】続いて、上記センサコイルへ±１０ｍＡの
正弦波電流を流し、この正弦波電流の周波数を変化させ
ていった。このときの磁束の量に対するセンサインピー
ダンス及び位相変化を観察すると、純鉄の場合とほぼ同
様に、周波数５００ｋＨｚ〜５ＭＨｚ程度で、磁束の量
の変化に対して、センサインピーダンスが大きく変化し
た。
正弦波電流を流し、この正弦波電流の周波数を変化させ
ていった。このときの磁束の量に対するセンサインピー
ダンス及び位相変化を観察すると、純鉄の場合とほぼ同
様に、周波数５００ｋＨｚ〜５ＭＨｚ程度で、磁束の量
の変化に対して、センサインピーダンスが大きく変化し
た。
【００５８】このようにコアの最大磁化に対して１／５
０や１／１００程度の励磁であっても、渦電流の影響に
よる出力を十分得ることができることが分かる。ただ
し、パーマロイの場合、透磁率、電気伝導率の違いか
ら、上記純鉄の場合よりも、インピーダンスが大きい。
さらに、パーマロイは高い透磁率を有しているため、純
鉄の場合よりも、低い磁束量からインピーダンスの変化
が生じ始める。
０や１／１００程度の励磁であっても、渦電流の影響に
よる出力を十分得ることができることが分かる。ただ
し、パーマロイの場合、透磁率、電気伝導率の違いか
ら、上記純鉄の場合よりも、インピーダンスが大きい。
さらに、パーマロイは高い透磁率を有しているため、純
鉄の場合よりも、低い磁束量からインピーダンスの変化
が生じ始める。
【００５９】以上の具体例から分かるように、一般的に
コア材として使用される、鉄を主成分に含む磁性体にお
いては、５００ｋＨ〜５ＭＨｚ程度で渦電流成分が寄与
したインピーダンス変化を得ることが可能である。ま
た、純鉄とパーマロイを比較して分かるように、感度を
向上させるには、より透磁率の高い材料を用いるとよ
い。
コア材として使用される、鉄を主成分に含む磁性体にお
いては、５００ｋＨ〜５ＭＨｚ程度で渦電流成分が寄与
したインピーダンス変化を得ることが可能である。ま
た、純鉄とパーマロイを比較して分かるように、感度を
向上させるには、より透磁率の高い材料を用いるとよ
い。
【００６０】
【発明の効果】本発明にかかる磁束検出装置では、磁気
回路を形成する磁路形成部に対して、導電性を有する磁
性材料からなるコアを設ける。このコアにセンサコイル
を巻回し、上記コアが磁気飽和しないように高周波通電
する。そして、このコイルのインピーダンスを検出し、
このインピーダンスに基づき上記磁路形成部内の磁束の
量を検出する。
回路を形成する磁路形成部に対して、導電性を有する磁
性材料からなるコアを設ける。このコアにセンサコイル
を巻回し、上記コアが磁気飽和しないように高周波通電
する。そして、このコイルのインピーダンスを検出し、
このインピーダンスに基づき上記磁路形成部内の磁束の
量を検出する。
【００６１】このことにより、本発明にかかる磁束検出
装置では、磁気回路自体に与える影響を少なくし、高精
度化、小型化、低消費電力化を図ることができる。
装置では、磁気回路自体に与える影響を少なくし、高精
度化、小型化、低消費電力化を図ることができる。
【図１】本発明を適用した可動コイル型リニアＤＣモー
タの模式的な構成を示す図である。
タの模式的な構成を示す図である。
【図２】センサコイルの形成方法の一例を説明するため
の図である。
の図である。
【図３】上記センサコイルの形成方法の他の一例を説明
するための図である。
するための図である。
【図４】センサ駆動検出回路の構成例を説明するための
図である。
図である。
【図５】センサ駆動検出回路の発振回路の構成例を説明
するための図である。
するための図である。
１ 可動コイル型リニアＤＣモータ、２ 界磁マグネッ
ト、３ スライダ、４駆動制御部、１１，１２ 可動コ
イル、１３ コア、１４ センサコイル、２１ 可動コ
イル駆動回路、２２ センサ駆動検出回路、２３ 制御
回路
ト、３ スライダ、４駆動制御部、１１，１２ 可動コ
イル、１３ コア、１４ センサコイル、２１ 可動コ
イル駆動回路、２２ センサ駆動検出回路、２３ 制御
回路
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 久須美 雅昭
東京都品川区西五反田３丁目９番17号 ソ
ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会
社内
(72)発明者 尾上 健
東京都品川区西五反田３丁目９番17号 ソ
ニー・プレシジョン・テクノロジー株式会
社内
Ｆターム(参考） 2G017 AA04 AD51 BA05
Claims (4)
- 【請求項１】 磁路を形成する磁気回路内に設けられた
磁路形成部内の磁束の量を測定する磁束検出装置におい
て、 導電性を有する磁性材料からなり、上記磁路形成部に設
けられたセンサコア及び当該センサコアに巻回されたセ
ンサコイルからなる感磁手段と、 上記センサコイルを高周波通電する高周波通電手段と、 上記センサコイルのインピーダンスを検出し、このイン
ピーダンスに基づき上記磁路形成部内の磁束の量を検出
する磁束量検出手段とを備え、 上記高周波通電手段が上記センサコイルを高周波通電し
たときに、センサコアが磁気飽和しないことを特徴とす
る磁束検出装置。 - 【請求項２】 上記センサコアは、上記磁路形成部によ
って形成されていることを特徴とする請求項１記載の磁
束検出装置。 - 【請求項３】 上記磁束量検出手段は、上記磁路形成部
内の磁束を分流して得られる分流磁束に基づいて、上記
センサコイルのインピーダンスを検波することを特徴と
する請求項１及び請求項２記載の磁束検出装置。 - 【請求項４】 上記センサコアには、高透磁率材料が使
用されていることを特徴とする請求項１記載の磁束検出
装置。
Priority Applications (3)
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