JP2003004614A - 材料試験機 - Google Patents
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- C04B38/00—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof
- C04B38/06—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by burning-out added substances by burning natural expanding materials or by sublimating or melting out added substances
- C04B38/0615—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by burning-out added substances by burning natural expanding materials or by sublimating or melting out added substances the burned-out substance being a monolitic element having approximately the same dimensions as the final article, e.g. a porous polyurethane sheet or a prepreg obtained by bonding together resin particles
- C04B38/062—Porous mortars, concrete, artificial stone or ceramic ware; Preparation thereof by burning-out added substances by burning natural expanding materials or by sublimating or melting out added substances the burned-out substance being a monolitic element having approximately the same dimensions as the final article, e.g. a porous polyurethane sheet or a prepreg obtained by bonding together resin particles the burned-out substance being formed in situ, e.g. by polymerisation of a prepolymer composition containing ceramic powder
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- C04B28/24—Compositions of mortars, concrete or artificial stone, containing inorganic binders or the reaction product of an inorganic and an organic binder, e.g. polycarboxylate cements containing alkyl, ammonium or metal silicates; containing silica sols
- C04B28/26—Silicates of the alkali metals
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- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
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- C04B2111/00—Mortars, concrete or artificial stone or mixtures to prepare them, characterised by specific function, property or use
- C04B2111/20—Resistance against chemical, physical or biological attack
- C04B2111/28—Fire resistance, i.e. materials resistant to accidental fires or high temperatures
Abstract
(57)【要約】
【課題】大荷重を負荷する時にも、測定に影響を及ぼす
恐れが極めて少ない試料移動手段を備える材料試験機を
提供することである。 【解決手段】試料表面に圧子２ｂにより圧痕を形成させ
ることに基づいて試料Ｓの材料特性を測定する材料試験
機１であって、前記試料を上面部に載置し、下面部１０
１ａが平滑な試料台１０１と、前記試料台の前記下面部
と面接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベー
ス１０２と、前記試料台を、前記試料台ベースの前記上
面部上を滑動させて移動させる第１の移動手段１０９
と、前記試料台と前記第１の移動手段とを、前記試料台
ベースの前記上面部上を移動させる第２の移動手段１１
１と、を備える。
恐れが極めて少ない試料移動手段を備える材料試験機を
提供することである。 【解決手段】試料表面に圧子２ｂにより圧痕を形成させ
ることに基づいて試料Ｓの材料特性を測定する材料試験
機１であって、前記試料を上面部に載置し、下面部１０
１ａが平滑な試料台１０１と、前記試料台の前記下面部
と面接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベー
ス１０２と、前記試料台を、前記試料台ベースの前記上
面部上を滑動させて移動させる第１の移動手段１０９
と、前記試料台と前記第１の移動手段とを、前記試料台
ベースの前記上面部上を移動させる第２の移動手段１１
１と、を備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧子により試料表
面に荷重を負荷して圧痕を形成させることに基づいて、
試料の材料特性を測定する材料試験機に関する。
面に荷重を負荷して圧痕を形成させることに基づいて、
試料の材料特性を測定する材料試験機に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、圧子により試料表面に荷重を負荷
して圧痕を形成させることに基づいて、試料の材料特性
を測定する試験機として材料試験機が知られている。材
料試験機には、ビッカース硬さ試験機、マイクロビッカ
ース硬さ試験機、ブリネル硬さ試験機、或いはロックウ
ェル硬さ試験機などの硬さ試験機が挙げられる。
して圧痕を形成させることに基づいて、試料の材料特性
を測定する試験機として材料試験機が知られている。材
料試験機には、ビッカース硬さ試験機、マイクロビッカ
ース硬さ試験機、ブリネル硬さ試験機、或いはロックウ
ェル硬さ試験機などの硬さ試験機が挙げられる。
【０００３】このような材料試験機において、圧痕の形
成位置を変更して別の位置を測定箇所としたい場合、材
料試験機には試料移動手段が必要となる。ビッカース硬
さ試験機、又はマイクロビッカース硬さ試験機において
は、試料移動手段は一般的に装備されるものであり、例
えばこれは、逆凸部を有する試料台の下に凹部を有する
試料台ベースを設け、ベアリング等を介在させて両者を
嵌合するような構成の機構である。このような機構で
は、測定者がマイクロメータヘッド等で手動操作した
り、或いは自動駆動させて、試料台を所望の位置へ水平
方向に移動させる。
成位置を変更して別の位置を測定箇所としたい場合、材
料試験機には試料移動手段が必要となる。ビッカース硬
さ試験機、又はマイクロビッカース硬さ試験機において
は、試料移動手段は一般的に装備されるものであり、例
えばこれは、逆凸部を有する試料台の下に凹部を有する
試料台ベースを設け、ベアリング等を介在させて両者を
嵌合するような構成の機構である。このような機構で
は、測定者がマイクロメータヘッド等で手動操作した
り、或いは自動駆動させて、試料台を所望の位置へ水平
方向に移動させる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ロック
ウェル硬さ試験機においては、ビッカース硬さ試験機等
に比べ負荷する荷重が極めて大きいので、上記のような
試料移動手段を設けて荷重を負荷する場合、試料台、及
び試料台ベースには大荷重が加わることになる。従っ
て、この時ベアリング等と点接触する部分に応力集中が
生じ、この応力集中に起因して試料台、及び試料台ベー
スの変形の特性がヒステリシスを持ち、圧子の侵入量を
計測して試験を行う形態の試験機において、測定に影響
を及ぼすという問題が発生する。これは、ロックウェル
硬さ試験機に限らず、マルテンス硬さ試験機や、圧縮型
の材料試験機においても同様である。このため、ロック
ウェル硬さ試験機等に上記試料移動手段を設けることは
難しく、これまで試料移動手段を備えるものはなかっ
た。
ウェル硬さ試験機においては、ビッカース硬さ試験機等
に比べ負荷する荷重が極めて大きいので、上記のような
試料移動手段を設けて荷重を負荷する場合、試料台、及
び試料台ベースには大荷重が加わることになる。従っ
て、この時ベアリング等と点接触する部分に応力集中が
生じ、この応力集中に起因して試料台、及び試料台ベー
スの変形の特性がヒステリシスを持ち、圧子の侵入量を
計測して試験を行う形態の試験機において、測定に影響
を及ぼすという問題が発生する。これは、ロックウェル
硬さ試験機に限らず、マルテンス硬さ試験機や、圧縮型
の材料試験機においても同様である。このため、ロック
ウェル硬さ試験機等に上記試料移動手段を設けることは
難しく、これまで試料移動手段を備えるものはなかっ
た。
【０００５】又、このことはロックウェル硬さ試験機と
ビッカース硬さ試験機、或いはロックウェル硬さ試験機
とブリネル硬さ試験機の複合機を製作することができな
い要因の一つでもあった。これまで、ロックウェル硬さ
試験機とビッカース硬さ試験機の複合機には、ロックウ
ェル硬さ試験機とビッカース硬さ試験機の２台を大型の
ベース上に設置して、２つの試験機の間で、試料をロボ
ットにより搬送する大掛かりなシステム機しか存在して
いなかったため、これにより試料の移動を行わなければ
ならず、煩雑であった。
ビッカース硬さ試験機、或いはロックウェル硬さ試験機
とブリネル硬さ試験機の複合機を製作することができな
い要因の一つでもあった。これまで、ロックウェル硬さ
試験機とビッカース硬さ試験機の複合機には、ロックウ
ェル硬さ試験機とビッカース硬さ試験機の２台を大型の
ベース上に設置して、２つの試験機の間で、試料をロボ
ットにより搬送する大掛かりなシステム機しか存在して
いなかったため、これにより試料の移動を行わなければ
ならず、煩雑であった。
【０００６】又、ロックウェル硬さ試験機とブリネル硬
さ試験機の複合機には、圧痕形成機構の位置と圧痕観察
装置の焦点位置との間で、試料台を移動させることので
きる製品があるが、このような試料台には微動機構が備
わっていないため、位置調節の際に使い勝手が悪いとい
う問題があった。更に、異なるアプローチとして、ビッ
カース硬さ試験機で一般的に採用されているタレット式
を、上記のような複合機に採用することが考えられる
が、ロックウェル硬さ測定時における圧子侵入量の検出
が困難であること、又、大荷重を試料に加えるという構
造上の問題から、このタレット式は採用されていない。
さ試験機の複合機には、圧痕形成機構の位置と圧痕観察
装置の焦点位置との間で、試料台を移動させることので
きる製品があるが、このような試料台には微動機構が備
わっていないため、位置調節の際に使い勝手が悪いとい
う問題があった。更に、異なるアプローチとして、ビッ
カース硬さ試験機で一般的に採用されているタレット式
を、上記のような複合機に採用することが考えられる
が、ロックウェル硬さ測定時における圧子侵入量の検出
が困難であること、又、大荷重を試料に加えるという構
造上の問題から、このタレット式は採用されていない。
【０００７】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたものであって、大荷重を負荷する時にも、測定に
影響を及ぼす恐れが極めて少ない試料移動手段を備える
材料試験機を提供することを目的とする。
されたものであって、大荷重を負荷する時にも、測定に
影響を及ぼす恐れが極めて少ない試料移動手段を備える
材料試験機を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、例えば、図１〜図６に示す
ように、試料表面に圧子２ｂにより圧痕を形成させるこ
とに基づいて試料Ｓの材料特性を測定する材料試験機１
であって、前記試料を上面部に載置し、下面部１０１ａ
が平滑な試料台１０１と、前記試料台の前記下面部と面
接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベース１
０２と、前記試料台を、前記試料台ベースの前記上面部
上を滑動させて移動させる第１の移動手段（例えば、マ
イクロメータヘッド１０９）と、前記試料台と前記第１
の移動手段とを、前記試料台ベースの前記上面部上を移
動させる第２の移動手段（例えば、Ｘ方向移動台１１
１）と、を備えていることを特徴とする。
に、請求項１記載の発明は、例えば、図１〜図６に示す
ように、試料表面に圧子２ｂにより圧痕を形成させるこ
とに基づいて試料Ｓの材料特性を測定する材料試験機１
であって、前記試料を上面部に載置し、下面部１０１ａ
が平滑な試料台１０１と、前記試料台の前記下面部と面
接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベース１
０２と、前記試料台を、前記試料台ベースの前記上面部
上を滑動させて移動させる第１の移動手段（例えば、マ
イクロメータヘッド１０９）と、前記試料台と前記第１
の移動手段とを、前記試料台ベースの前記上面部上を移
動させる第２の移動手段（例えば、Ｘ方向移動台１１
１）と、を備えていることを特徴とする。
【０００９】請求項１記載の発明によれば、試料台は、
第１の移動手段によって試料台ベースの上面部上を滑動
して移動させられるので、大荷重が負荷される際にも、
試料台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平面で
荷重を受けることとなって、試料台、及び試料台ベース
の剛性が確保され、試料台、及び試料台ベースの変形の
特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにするこ
とができる。従って、大荷重を負荷する場合であって
も、従来の試料移動手段のような試料台と試料台ベース
とが点接触するものに比べて、測定に影響を及ぼす恐れ
が極めて少なくなる。又、試料台と第１の移動手段は、
第２の移動手段によって試料台ベースの上面部上を移動
させられるので、試料台を試料台ベース上でより広範囲
に亘って無駄なく移動させることができる。
第１の移動手段によって試料台ベースの上面部上を滑動
して移動させられるので、大荷重が負荷される際にも、
試料台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平面で
荷重を受けることとなって、試料台、及び試料台ベース
の剛性が確保され、試料台、及び試料台ベースの変形の
特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにするこ
とができる。従って、大荷重を負荷する場合であって
も、従来の試料移動手段のような試料台と試料台ベース
とが点接触するものに比べて、測定に影響を及ぼす恐れ
が極めて少なくなる。又、試料台と第１の移動手段は、
第２の移動手段によって試料台ベースの上面部上を移動
させられるので、試料台を試料台ベース上でより広範囲
に亘って無駄なく移動させることができる。
【００１０】請求項２記載の発明は、請求項１記載の材
料試験機において、前記第２の移動手段は、前記試料台
ベースに設けられる複数の位置決め部（例えば、位置決
め部１１３a、１１３ｂ）と、前記試料台と前記第１の
移動手段が固定され、前記位置決め部に係合する係合部
（例えば、係合部材１１２）が設けられる固定台（例え
ば、Ｘ方向移動台１１１）と、を備え、前記固定台は前
記試料台ベースの前記上面部上を移動することを特徴と
する。
料試験機において、前記第２の移動手段は、前記試料台
ベースに設けられる複数の位置決め部（例えば、位置決
め部１１３a、１１３ｂ）と、前記試料台と前記第１の
移動手段が固定され、前記位置決め部に係合する係合部
（例えば、係合部材１１２）が設けられる固定台（例え
ば、Ｘ方向移動台１１１）と、を備え、前記固定台は前
記試料台ベースの前記上面部上を移動することを特徴と
する。
【００１１】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、固定台が試料台ベースの上面部上を移動させられる
際、固定台に設けられる係合部は、試料台ベースに設け
られる位置決め部に係合させられるので、固定台に固定
される試料台と第１の移動手段を、試料台ベース上で位
置決めすることができる。
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、固定台が試料台ベースの上面部上を移動させられる
際、固定台に設けられる係合部は、試料台ベースに設け
られる位置決め部に係合させられるので、固定台に固定
される試料台と第１の移動手段を、試料台ベース上で位
置決めすることができる。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項２記載の材
料試験機において、前記位置決め部には溝部（例えば、
Ｖ溝１１３ｃ）が形成され、前記係合部は、前記溝部に
係合するボール１１２ｆと、前記ボールに対して前記溝
部方向の付勢力を付与する板バネ１１２ｄと、を備えて
いることを特徴とする。
料試験機において、前記位置決め部には溝部（例えば、
Ｖ溝１１３ｃ）が形成され、前記係合部は、前記溝部に
係合するボール１１２ｆと、前記ボールに対して前記溝
部方向の付勢力を付与する板バネ１１２ｄと、を備えて
いることを特徴とする。
【００１３】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、係合部に備わるボールは、板バネの付勢力によっ
て、位置決め部に形成される溝部へ押圧されて係合させ
られ、又、板バネが外方へ撓むことにより、溝部との係
合から解除されるので、シンプルな構成で確実、且つ容
易に位置決めすることができる。
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、係合部に備わるボールは、板バネの付勢力によっ
て、位置決め部に形成される溝部へ押圧されて係合させ
られ、又、板バネが外方へ撓むことにより、溝部との係
合から解除されるので、シンプルな構成で確実、且つ容
易に位置決めすることができる。
【００１４】請求項４記載の発明は、請求項２又は３に
記載の材料試験機において、前記圧子を備え、試料表面
に圧痕を形成する圧痕形成部２と、前記圧痕形成部で形
成された圧痕を観察する圧痕観察部３と、が並設され、
前記位置決め部は、少なくとも第１の位置決め部（例え
ば、位置決め部１１３ｂ）と第２の位置決め部（例え
ば、位置決め部１１３ａ）と、を備え、前記第２の移動
手段により、前記固定台が前記第１の位置決め部に位置
決めされた場合には、前記試料台は前記圧痕形成部によ
り圧痕形成される位置に位置決めされ、前記固定台が前
記第２の位置決め部に位置決めされた場合には、前記試
料台は前記圧痕観察部により圧痕観察される位置に位置
決めされることを特徴とする。
記載の材料試験機において、前記圧子を備え、試料表面
に圧痕を形成する圧痕形成部２と、前記圧痕形成部で形
成された圧痕を観察する圧痕観察部３と、が並設され、
前記位置決め部は、少なくとも第１の位置決め部（例え
ば、位置決め部１１３ｂ）と第２の位置決め部（例え
ば、位置決め部１１３ａ）と、を備え、前記第２の移動
手段により、前記固定台が前記第１の位置決め部に位置
決めされた場合には、前記試料台は前記圧痕形成部によ
り圧痕形成される位置に位置決めされ、前記固定台が前
記第２の位置決め部に位置決めされた場合には、前記試
料台は前記圧痕観察部により圧痕観察される位置に位置
決めされることを特徴とする。
【００１５】請求項４記載の発明によれば、請求項２又
は３に記載の発明と同様の効果が得られることは無論の
こと、特に、固定台が第２の移動手段によって、第１の
位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕形成部に
より圧痕形成される位置に位置決めされ、又、固定台が
第２の位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕観
察部により圧痕観察される位置に位置決めされるので、
簡単、且つ容易に試料台を夫々所定の位置まで移動させ
て位置決めし、圧痕形成、或いは圧痕観察することがで
きる。
は３に記載の発明と同様の効果が得られることは無論の
こと、特に、固定台が第２の移動手段によって、第１の
位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕形成部に
より圧痕形成される位置に位置決めされ、又、固定台が
第２の位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕観
察部により圧痕観察される位置に位置決めされるので、
簡単、且つ容易に試料台を夫々所定の位置まで移動させ
て位置決めし、圧痕形成、或いは圧痕観察することがで
きる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図１〜図６を参照して本発
明に係る材料試験機の実施の形態を詳細に説明する。図
１は本発明に係る材料試験機１の正面図である。
明に係る材料試験機の実施の形態を詳細に説明する。図
１は本発明に係る材料試験機１の正面図である。
【００１７】図１に示す材料試験機１は、圧痕形成部２
と、圧痕観察部３と、圧痕形成部２と圧痕観察部３の間
において試料台１０１を移動させる試料台移動機構部１
００などを備えている。圧痕形成部２は、荷重アーム２
ａと、該荷重アーム２ａの自由端に取り付けられた圧子
２ｂを有し、圧痕観察部３は、レンズ３ａが取り付けら
れたターレット３ｂとを有する。
と、圧痕観察部３と、圧痕形成部２と圧痕観察部３の間
において試料台１０１を移動させる試料台移動機構部１
００などを備えている。圧痕形成部２は、荷重アーム２
ａと、該荷重アーム２ａの自由端に取り付けられた圧子
２ｂを有し、圧痕観察部３は、レンズ３ａが取り付けら
れたターレット３ｂとを有する。
【００１８】尚、本実施の形態の材料試験機１は試料台
移動機構部１００の部分に特徴を有し、それ以外の部分
の構成は、従来の材料試験機と同様とされている。これ
により、以下の説明においては、本願の特徴部分につい
ては図２〜図６を用いて詳細に説明し、それ以外の部分
については簡略して説明する。
移動機構部１００の部分に特徴を有し、それ以外の部分
の構成は、従来の材料試験機と同様とされている。これ
により、以下の説明においては、本願の特徴部分につい
ては図２〜図６を用いて詳細に説明し、それ以外の部分
については簡略して説明する。
【００１９】試料台移動機構部１００は、試料台移動機
構部１００の下面に設けられた上下軸４によって、材料
試験機１の本体部に上下動可能に取り付けられる。
構部１００の下面に設けられた上下軸４によって、材料
試験機１の本体部に上下動可能に取り付けられる。
【００２０】試料台移動機構部１００は、圧子２ｂ、及
びターレット３ｂの下方に配置され、主に試料台１０
１、試料台ベース１０２、Ｘ方向移動台１１１等から構
成されている。試料台１０１、及びＸ方向移動台１１１
は、試料台ベース１０２上において、圧子２ｂ、及びタ
ーレット３ｂの間を、図１における図面左右方向（Ｘ方
向）に移動可能である。又、試料台１０１の下面部１０
１ａ、及び試料台ベース１０２の上面部１０２ａは夫
々、極めて高い面精度を持つように製作されており、試
料台ベース１０２の上面部１０２ａに試料台１０１が面
接触にて支持される。
びターレット３ｂの下方に配置され、主に試料台１０
１、試料台ベース１０２、Ｘ方向移動台１１１等から構
成されている。試料台１０１、及びＸ方向移動台１１１
は、試料台ベース１０２上において、圧子２ｂ、及びタ
ーレット３ｂの間を、図１における図面左右方向（Ｘ方
向）に移動可能である。又、試料台１０１の下面部１０
１ａ、及び試料台ベース１０２の上面部１０２ａは夫
々、極めて高い面精度を持つように製作されており、試
料台ベース１０２の上面部１０２ａに試料台１０１が面
接触にて支持される。
【００２１】試料台１０１は、図２の平面視において略
正方形をした板状体であり、試料台ベース１０２には、
試料台１０１を取り囲む枠体１０３、及びＸ方向移動台
１１１が設けられる。図２に示す試料台１０１の左右の
辺に沿って、試料台１０１と枠体１０３との間には、ベ
アリング１０４が合計３つ設置され、試料台１０１は、
枠体１０３に３点支持される。
正方形をした板状体であり、試料台ベース１０２には、
試料台１０１を取り囲む枠体１０３、及びＸ方向移動台
１１１が設けられる。図２に示す試料台１０１の左右の
辺に沿って、試料台１０１と枠体１０３との間には、ベ
アリング１０４が合計３つ設置され、試料台１０１は、
枠体１０３に３点支持される。
【００２２】又、試料台１０１の前端中央（図面におい
ては下端中央に位置する）には、試料台１０１の位置調
整を行うためのマイクロメータヘッド１０６のスピンド
ル１０６ｃが固定され、又、枠体１０３には、枠体１０
３の位置調整を行うためのマイクロメータヘッド１０９
のスピンドル１０９ｃが、バネ取付部１０３ｊを介して
固定されている。
ては下端中央に位置する）には、試料台１０１の位置調
整を行うためのマイクロメータヘッド１０６のスピンド
ル１０６ｃが固定され、又、枠体１０３には、枠体１０
３の位置調整を行うためのマイクロメータヘッド１０９
のスピンドル１０９ｃが、バネ取付部１０３ｊを介して
固定されている。
【００２３】試料台１０１の後端（図面においては上端
に位置する）には、ボルト１０５ａによってバネ取付部
１０５が固定される。バネ取付部１０５は、試料台１０
１の一辺と略同一の長さを有する板状体であり、図４の
断面図に示すように、試料台１０１の側面略中央に当接
するようになっている。
に位置する）には、ボルト１０５ａによってバネ取付部
１０５が固定される。バネ取付部１０５は、試料台１０
１の一辺と略同一の長さを有する板状体であり、図４の
断面図に示すように、試料台１０１の側面略中央に当接
するようになっている。
【００２４】バネ取付部１０５の両端には、枠体１０３
に向かってアーム１０５ｂが設けられており、このアー
ム１０５ｂは、枠体１０３の内側に穿設された長孔１０
３ｇを介して、枠体１０３の外側面に穿設された凹部１
０３ｈまで突出している。凹部１０３ｈの内部におい
て、アーム１０５ｂには、後述するバネ１０３ｉの一端
が固定される。
に向かってアーム１０５ｂが設けられており、このアー
ム１０５ｂは、枠体１０３の内側に穿設された長孔１０
３ｇを介して、枠体１０３の外側面に穿設された凹部１
０３ｈまで突出している。凹部１０３ｈの内部におい
て、アーム１０５ｂには、後述するバネ１０３ｉの一端
が固定される。
【００２５】試料台ベース１０２は、図３の平面視にお
いて略長方形をした板状体であり、図面左側に位置する
試料台移動部Ａ、及び同右側に位置するマイクロメータ
ヘッド取付部Ｂからなっている。
いて略長方形をした板状体であり、図面左側に位置する
試料台移動部Ａ、及び同右側に位置するマイクロメータ
ヘッド取付部Ｂからなっている。
【００２６】試料台移動部Ａの表面には、図３における
図面左右方向（Ｘ方向）、及び上下方向（Ｙ方向）に複
数の溝１０２ｂが形成されており、これにより試料台１
０１の下面部１０１ａと試料台ベース１０２の上面部１
０２ａの接触面積を減らすことができるので、試料台１
０１が試料台ベース１０２の試料台移動部Ａ上を滑動す
る際、試料台１０１、及び試料台ベース１０２の間に吸
着現象が発生しにくくなる。
図面左右方向（Ｘ方向）、及び上下方向（Ｙ方向）に複
数の溝１０２ｂが形成されており、これにより試料台１
０１の下面部１０１ａと試料台ベース１０２の上面部１
０２ａの接触面積を減らすことができるので、試料台１
０１が試料台ベース１０２の試料台移動部Ａ上を滑動す
る際、試料台１０１、及び試料台ベース１０２の間に吸
着現象が発生しにくくなる。
【００２７】試料台ベース１０２には、図３における前
後両端（図面においては上下両端に位置する）に沿って
ガイドレール１０７、１０７が設けられており、このガ
イドレール１０７上に夫々、リニアガイド１０８ａ、１
０８ａ、１０８ｂ、１０８ｂが摺動自在に嵌合される。
後両端（図面においては上下両端に位置する）に沿って
ガイドレール１０７、１０７が設けられており、このガ
イドレール１０７上に夫々、リニアガイド１０８ａ、１
０８ａ、１０８ｂ、１０８ｂが摺動自在に嵌合される。
【００２８】又、試料台ベース１０２の図３における前
側面には、リニアガイド１０８ａ、及び１０８ｂの近傍
に位置して、位置決め部１１３ａ、及び１１３ｂがボル
ト１１３ｄにて取り付けられている。位置決め部１１３
ａ、及び１１３ｂは、試料台ベース１０２の前側面から
水平方向に突出しており、この位置決め部１１３ａ、及
び１１３ｂの中央にはＶ溝１１３ｃが夫々刻設されてい
て、Ｖ溝１１３ｃの両側は傾斜部１１３ｅとなってい
る。
側面には、リニアガイド１０８ａ、及び１０８ｂの近傍
に位置して、位置決め部１１３ａ、及び１１３ｂがボル
ト１１３ｄにて取り付けられている。位置決め部１１３
ａ、及び１１３ｂは、試料台ベース１０２の前側面から
水平方向に突出しており、この位置決め部１１３ａ、及
び１１３ｂの中央にはＶ溝１１３ｃが夫々刻設されてい
て、Ｖ溝１１３ｃの両側は傾斜部１１３ｅとなってい
る。
【００２９】図２に示す枠体１０３は、縦枠１０３ａ、
１０３ａ、及び横枠１０３ｂ、１０３ｂからなり、横枠
１０３ｂがリニアガイド１０８ａにボルト１０３ｃにて
固定され、更に、その横枠１０３ｂの上に、縦枠１０３
ａがボルト１０３ｄにて固定されている。従って、枠体
１０３は、リニアガイド１０８ａによってガイドレール
１０７に沿って移動可能となっている。
１０３ａ、及び横枠１０３ｂ、１０３ｂからなり、横枠
１０３ｂがリニアガイド１０８ａにボルト１０３ｃにて
固定され、更に、その横枠１０３ｂの上に、縦枠１０３
ａがボルト１０３ｄにて固定されている。従って、枠体
１０３は、リニアガイド１０８ａによってガイドレール
１０７に沿って移動可能となっている。
【００３０】図２の前端（図面においては下端に位置す
る）側の横枠１０３ｂには、マイクロメータヘッド１０
６を取り付けるための取付孔１０３ｆが形成されてい
る。マイクロメータヘッド１０６は、シンブル１０６
ａ、スリーブ１０６ｂ、スピンドル１０６ｃを備え、ス
リーブ１０６ｂ内に挿入されるスピンドル１０６ｃが取
付孔１０３ｆに貫通され、スピンドル１０６ｃの先端が
試料台１０１に固定された状態で、シンブル１０６ａを
支持するスリーブ１０６ｂが横枠１０３ｂに固定されて
いる。
る）側の横枠１０３ｂには、マイクロメータヘッド１０
６を取り付けるための取付孔１０３ｆが形成されてい
る。マイクロメータヘッド１０６は、シンブル１０６
ａ、スリーブ１０６ｂ、スピンドル１０６ｃを備え、ス
リーブ１０６ｂ内に挿入されるスピンドル１０６ｃが取
付孔１０３ｆに貫通され、スピンドル１０６ｃの先端が
試料台１０１に固定された状態で、シンブル１０６ａを
支持するスリーブ１０６ｂが横枠１０３ｂに固定されて
いる。
【００３１】そして、シンブル１０６ａを回すと、シン
ブル１０６ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０６ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０６ｂに設けられた表示窓１０６ｄにデジタル表
示されるようになっている。
ブル１０６ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０６ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０６ｂに設けられた表示窓１０６ｄにデジタル表
示されるようになっている。
【００３２】図４に示すように、枠体１０３の縦枠１０
３ａの内側面には、バネ取付部１０５に対応する位置に
おいて、横方向に細長い長孔１０３ｇが穿設されてい
る。又、縦枠１０３ａの外側面には、略全長にわたって
凹部１０３ｈが形成され、この凹部１０３ｈ内にバネ１
０３ｉが収納される。バネ１０３ｉは、一端が凹部１０
３ｈ内に固定され、他端が長孔１０３ｇを介して凹部１
０３ｈに突出するバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに
固定される。
３ａの内側面には、バネ取付部１０５に対応する位置に
おいて、横方向に細長い長孔１０３ｇが穿設されてい
る。又、縦枠１０３ａの外側面には、略全長にわたって
凹部１０３ｈが形成され、この凹部１０３ｈ内にバネ１
０３ｉが収納される。バネ１０３ｉは、一端が凹部１０
３ｈ内に固定され、他端が長孔１０３ｇを介して凹部１
０３ｈに突出するバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに
固定される。
【００３３】従って、マイクロメータヘッド１０６のシ
ンブル１０６ａの回転によるスピンドル１０６ｃの伸縮
によって、図２に示す試料台１０１はベアリング１０４
を介して、前後方向（図面においては上下方向に位置す
るＹ方向）へ移動する。この時、試料台１０１に固定さ
れるバネ取付部１０５も試料台１０１と同様に移動する
ので、一端をバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに固定
されたバネ１０３ｉは、バネ取付部１０５の移動に伴っ
て凹部１０３ｈ内で伸縮し、このバネ１０３ｉの力によ
り、試料台１０１の縦枠１０３ａ方向（Ｙ方向）への自
由な移動を制限する。
ンブル１０６ａの回転によるスピンドル１０６ｃの伸縮
によって、図２に示す試料台１０１はベアリング１０４
を介して、前後方向（図面においては上下方向に位置す
るＹ方向）へ移動する。この時、試料台１０１に固定さ
れるバネ取付部１０５も試料台１０１と同様に移動する
ので、一端をバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに固定
されたバネ１０３ｉは、バネ取付部１０５の移動に伴っ
て凹部１０３ｈ内で伸縮し、このバネ１０３ｉの力によ
り、試料台１０１の縦枠１０３ａ方向（Ｙ方向）への自
由な移動を制限する。
【００３４】図２に示すＸ方向移動台１１１は、試料台
１０１、及び枠体１０３を、Ｘ方向移動台１１１ととも
に、図２における図面左右方向（Ｘ方向）に移動させる
ものであり、圧子２ｂによる圧痕形成、若しくはレンズ
３ａによる圧痕観察のどちらを行うかに応じて、試料台
１０１上の試料Ｓを、圧子２ｂとターレット３ｂとの間
で移動させて位置決めを行う。
１０１、及び枠体１０３を、Ｘ方向移動台１１１ととも
に、図２における図面左右方向（Ｘ方向）に移動させる
ものであり、圧子２ｂによる圧痕形成、若しくはレンズ
３ａによる圧痕観察のどちらを行うかに応じて、試料台
１０１上の試料Ｓを、圧子２ｂとターレット３ｂとの間
で移動させて位置決めを行う。
【００３５】Ｘ方向移動台１１１は、長手方向の長さが
縦枠１０３ａと略同一の板状体であり、リニアガイド１
０８ｂにボルト１１１ａにて固定されるため、ガイドレ
ール１０７に沿って移動可能となっている。
縦枠１０３ａと略同一の板状体であり、リニアガイド１
０８ｂにボルト１１１ａにて固定されるため、ガイドレ
ール１０７に沿って移動可能となっている。
【００３６】Ｘ方向移動台１１１には、マイクロメータ
ヘッド１０９を取り付けるための取付溝１１１ｂが形成
されており、マイクロメータヘッド１０９がこの取付溝
１１１ｂに外方から取り付けられている。この取付溝１
１１ｂに隣接して、Ｘ方向移動台１１１の中央には、マ
イクロメータヘッド１０９のスピンドル１０９ｃを貫通
させる取付孔１１１ｃが穿設されている。
ヘッド１０９を取り付けるための取付溝１１１ｂが形成
されており、マイクロメータヘッド１０９がこの取付溝
１１１ｂに外方から取り付けられている。この取付溝１
１１ｂに隣接して、Ｘ方向移動台１１１の中央には、マ
イクロメータヘッド１０９のスピンドル１０９ｃを貫通
させる取付孔１１１ｃが穿設されている。
【００３７】マイクロメータヘッド１０９は、前述のマ
イクロメータヘッド１０６と同様の構成であり、シンブ
ル１０９ａ、スリーブ１０９ｂ、スピンドル１０９ｃを
備え、シンブル１０９ａを支持するスリーブ１０９ｂ
が、取付溝１１１ｂに外方から取付けられ、Ｘ方向移動
台１１１に穿設された取付孔１１１ｃを介して、スリー
ブ１０９ｂ内に挿入されるスピンドル１０９ｃが、バネ
取付部１０３ｊに固定されている。
イクロメータヘッド１０６と同様の構成であり、シンブ
ル１０９ａ、スリーブ１０９ｂ、スピンドル１０９ｃを
備え、シンブル１０９ａを支持するスリーブ１０９ｂ
が、取付溝１１１ｂに外方から取付けられ、Ｘ方向移動
台１１１に穿設された取付孔１１１ｃを介して、スリー
ブ１０９ｂ内に挿入されるスピンドル１０９ｃが、バネ
取付部１０３ｊに固定されている。
【００３８】そして、シンブル１０９ａを回すと、シン
ブル１０９ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０９ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０９ｂに設けられた表示窓１０９ｄにデジタル表
示されるようになっている。
ブル１０９ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０９ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０９ｂに設けられた表示窓１０９ｄにデジタル表
示されるようになっている。
【００３９】Ｘ方向移動台１１１には、取付溝１１１ｂ
を挟む位置に、バネ取付部１０３ｊと対向するバネ取付
部１１１ｄが設けられる。又、Ｘ方向移動台１１１の図
２における前端（図面においては下端に位置する）に
は、Ｘ方向移動台１１１を移動させる際に用いるハンド
ル１１１ｅ、及びＸ方向移動台１１１を位置決め部１１
３ａ、若しくは１１３ｂに係合させる係合部材１１２
が、Ｘ方向移動台１１１の外方に突出して設けられる。
を挟む位置に、バネ取付部１０３ｊと対向するバネ取付
部１１１ｄが設けられる。又、Ｘ方向移動台１１１の図
２における前端（図面においては下端に位置する）に
は、Ｘ方向移動台１１１を移動させる際に用いるハンド
ル１１１ｅ、及びＸ方向移動台１１１を位置決め部１１
３ａ、若しくは１１３ｂに係合させる係合部材１１２
が、Ｘ方向移動台１１１の外方に突出して設けられる。
【００４０】図５のＸ方向移動台１１１の側面視におい
て、係合部材１１２は、Ｘ方向移動台１１１の上面にボ
ルト１１２ａにて固定され、Ｘ方向移動台１１１から外
方（図面においては左方）へ向かって突出する支持部１
１２ｂと、支持部１１２ｂの先端下面に固定される上板
バネ取付部１１２ｃと、この上板バネ取付部１１２ｃに
上端が固定される２枚の板バネ１１２ｄと、この板バネ
１１２ｄの下端を固定する下板バネ取付部１１２ｅと、
この下板バネ取付部１１２ｅの試料台ベース１０２と対
向する内側面に、半分埋設した状態で取り付けられるボ
ール１１２ｆとを備え、このボール１１２ｆは、試料台
ベース１０２に設けられる位置決め部１１３ａ、及び１
１３ｂのＶ溝１１３ｃに係合可能である。
て、係合部材１１２は、Ｘ方向移動台１１１の上面にボ
ルト１１２ａにて固定され、Ｘ方向移動台１１１から外
方（図面においては左方）へ向かって突出する支持部１
１２ｂと、支持部１１２ｂの先端下面に固定される上板
バネ取付部１１２ｃと、この上板バネ取付部１１２ｃに
上端が固定される２枚の板バネ１１２ｄと、この板バネ
１１２ｄの下端を固定する下板バネ取付部１１２ｅと、
この下板バネ取付部１１２ｅの試料台ベース１０２と対
向する内側面に、半分埋設した状態で取り付けられるボ
ール１１２ｆとを備え、このボール１１２ｆは、試料台
ベース１０２に設けられる位置決め部１１３ａ、及び１
１３ｂのＶ溝１１３ｃに係合可能である。
【００４１】又、マイクロメータヘッド１０９に対向す
る縦枠１０３ａの外側面には、バネ取付部１０３ｊがボ
ルト１０３ｋにて固定されている。図４に示すように、
バネ取付部１０３ｊは、縦枠１０３ａと略同一の高さを
有する板状体であり、縦枠１０３ａの中央で凹部１０３
ｈを覆うように設けられており、バネ取付部１０３ｊの
中央には、マイクロメータヘッド１０９のスピンドル１
０９ｃが固定される。又、バネ取付部１０３ｊは両端に
アーム１０３ｌを備え、このアーム１０３ｌには、バネ
１０３ｅの一端が固定され、このバネ１０３ｅの他端
は、Ｘ方向移動台１１１のバネ取付部１１１ｄに固定さ
れる。
る縦枠１０３ａの外側面には、バネ取付部１０３ｊがボ
ルト１０３ｋにて固定されている。図４に示すように、
バネ取付部１０３ｊは、縦枠１０３ａと略同一の高さを
有する板状体であり、縦枠１０３ａの中央で凹部１０３
ｈを覆うように設けられており、バネ取付部１０３ｊの
中央には、マイクロメータヘッド１０９のスピンドル１
０９ｃが固定される。又、バネ取付部１０３ｊは両端に
アーム１０３ｌを備え、このアーム１０３ｌには、バネ
１０３ｅの一端が固定され、このバネ１０３ｅの他端
は、Ｘ方向移動台１１１のバネ取付部１１１ｄに固定さ
れる。
【００４２】従って、マイクロメータヘッド１０９のシ
ンブル１０９ａの回転によるスピンドル１０９ｃの伸縮
によって、図２に示すバネ取付部１０３ｊ、及びバネ取
付部１０３ｊが固定される枠体１０３は、ガイドレール
１０７に沿って図面左右方向（Ｘ方向）へ移動する。こ
の時、一端をバネ取付部１０３ｊのアーム１０３ｌに固
定されたバネ１０３ｅは、バネ取付部１０３ｊ、及び枠
体１０３の移動に伴って伸縮し、このバネ１０３ｅの力
により、枠体１０３の横枠１０３ｂ方向（Ｘ方向）への
自由な移動を制限する。
ンブル１０９ａの回転によるスピンドル１０９ｃの伸縮
によって、図２に示すバネ取付部１０３ｊ、及びバネ取
付部１０３ｊが固定される枠体１０３は、ガイドレール
１０７に沿って図面左右方向（Ｘ方向）へ移動する。こ
の時、一端をバネ取付部１０３ｊのアーム１０３ｌに固
定されたバネ１０３ｅは、バネ取付部１０３ｊ、及び枠
体１０３の移動に伴って伸縮し、このバネ１０３ｅの力
により、枠体１０３の横枠１０３ｂ方向（Ｘ方向）への
自由な移動を制限する。
【００４３】又、ユーザがハンドル１１１ｅを持ち、Ｘ
方向移動台１１１を図２における左右方向（Ｘ方向）に
移動させると、マイクロメータヘッド１０９のスピンド
ル１０９ｃがバネ取付部１０３ｊに固定されることによ
って、Ｘ方向移動台１１１に固定されている枠体１０
３、及び試料台１０１が、Ｘ方向移動台１１１の移動に
連動して、圧子２ｂ、及びターレット３ｂの間でＸ方向
に移動することとなる。そして、係合部材１１２のボー
ル１１２ｆと、位置決め部１１３ａ、或いは１１３ｂの
Ｖ溝１１３ｃとを係合させることによって、圧子２ｂ、
或いはターレット３ｂの間の的確な位置で、試料台１０
１を位置決めすることができる。
方向移動台１１１を図２における左右方向（Ｘ方向）に
移動させると、マイクロメータヘッド１０９のスピンド
ル１０９ｃがバネ取付部１０３ｊに固定されることによ
って、Ｘ方向移動台１１１に固定されている枠体１０
３、及び試料台１０１が、Ｘ方向移動台１１１の移動に
連動して、圧子２ｂ、及びターレット３ｂの間でＸ方向
に移動することとなる。そして、係合部材１１２のボー
ル１１２ｆと、位置決め部１１３ａ、或いは１１３ｂの
Ｖ溝１１３ｃとを係合させることによって、圧子２ｂ、
或いはターレット３ｂの間の的確な位置で、試料台１０
１を位置決めすることができる。
【００４４】尚、試料台１０１が試料台ベース１０２の
上面部１０２ａ上を滑動する際、吸着現象が発生するこ
とが考えられるので、試料台移動機構部１００において
は、試料台ベース１０２の上面部１０２ａに形成した溝
１０２ｂ以外にもこれを防止するため、試料台ベース１
０２の裏面端部に圧電素子１１０が貼付される。
上面部１０２ａ上を滑動する際、吸着現象が発生するこ
とが考えられるので、試料台移動機構部１００において
は、試料台ベース１０２の上面部１０２ａに形成した溝
１０２ｂ以外にもこれを防止するため、試料台ベース１
０２の裏面端部に圧電素子１１０が貼付される。
【００４５】この圧電素子１１０は、図示しない圧電素
子駆動回路に接続されており、圧電素子駆動回路をオン
にして交流電流を流すと、圧電素子１１０に高周波の電
圧が印加され、圧電素子１１０が伸縮動作を繰り返して
振動を発生させる。従って、圧電素子駆動回路がオンの
時、試料台ベース１０２には圧電素子１１０による振動
が伝達されることとなり、これによって試料台１０１と
試料台ベース１０２の吸着現象を防止し、試料台１０１
のスムーズな移動を可能とする。
子駆動回路に接続されており、圧電素子駆動回路をオン
にして交流電流を流すと、圧電素子１１０に高周波の電
圧が印加され、圧電素子１１０が伸縮動作を繰り返して
振動を発生させる。従って、圧電素子駆動回路がオンの
時、試料台ベース１０２には圧電素子１１０による振動
が伝達されることとなり、これによって試料台１０１と
試料台ベース１０２の吸着現象を防止し、試料台１０１
のスムーズな移動を可能とする。
【００４６】図６に示すように、試料台１０１の略直下
に位置する試料台ベース１０２の裏面には、円筒状に突
出したテーブル脚１０２ｆ、及びこれを取り囲む中空円
筒状の取付リング１０２ｇが設けられており、このテー
ブル脚１０２ｆが上下軸４の中央に穿設された固定孔１
０２ｉに嵌合され固定されることにより、試料台移動機
構部１００が位置決めされた状態で、上下軸４に取付け
られている。又、取付リング１０２ｇは、該取付リング
１０２ｇの下端から内側に突出する突出部１０２ｈを有
し、この突出部１０２ｈと試料台ベース１０２の下面と
の間に形成された隙間に、上下軸４の上部に螺合される
固定ナット１１１のフランジ部１１１ａが収納されてい
る。
に位置する試料台ベース１０２の裏面には、円筒状に突
出したテーブル脚１０２ｆ、及びこれを取り囲む中空円
筒状の取付リング１０２ｇが設けられており、このテー
ブル脚１０２ｆが上下軸４の中央に穿設された固定孔１
０２ｉに嵌合され固定されることにより、試料台移動機
構部１００が位置決めされた状態で、上下軸４に取付け
られている。又、取付リング１０２ｇは、該取付リング
１０２ｇの下端から内側に突出する突出部１０２ｈを有
し、この突出部１０２ｈと試料台ベース１０２の下面と
の間に形成された隙間に、上下軸４の上部に螺合される
固定ナット１１１のフランジ部１１１ａが収納されてい
る。
【００４７】そして、この固定ナット１１１を締める
と、フランジ部１１１ａの下面が取付リング１０２ｇの
突出部１０２ｈの上面を押圧するので、これにより試料
台ベース１０２と上下軸４は締結され一体化されるた
め、試料台ベース１０２が上下軸４に対して回転してし
まうことがない。又、試料台ベース１０２と上下軸４の
間には隙間が発生しないので、荷重が負荷される際の試
料台移動機構部１００の変形特性に、ヒステリシスが生
じにくくなっている。
と、フランジ部１１１ａの下面が取付リング１０２ｇの
突出部１０２ｈの上面を押圧するので、これにより試料
台ベース１０２と上下軸４は締結され一体化されるた
め、試料台ベース１０２が上下軸４に対して回転してし
まうことがない。又、試料台ベース１０２と上下軸４の
間には隙間が発生しないので、荷重が負荷される際の試
料台移動機構部１００の変形特性に、ヒステリシスが生
じにくくなっている。
【００４８】次に、材料試験機１の試料台移動機構部１
００における試料移動動作について説明する。材料試験
機１では、圧痕形成部２の荷重アーム２ａに備わる圧子
２ｂを下方に移動させることにより、試料台１０１に載
置された試料Ｓに圧痕が形成され、この圧痕の形状を圧
痕観察部３に備わるレンズ３ａにより観察、及び測定し
て試料Ｓの材料特性値としての硬さを求める。このよう
な硬さ値の測定において、一度圧痕を形成した箇所と異
なる位置で再び圧痕を形成したい場合は、試料Ｓを移動
させる必要があるが、以下の動作を行い試料Ｓを移動さ
せる。
００における試料移動動作について説明する。材料試験
機１では、圧痕形成部２の荷重アーム２ａに備わる圧子
２ｂを下方に移動させることにより、試料台１０１に載
置された試料Ｓに圧痕が形成され、この圧痕の形状を圧
痕観察部３に備わるレンズ３ａにより観察、及び測定し
て試料Ｓの材料特性値としての硬さを求める。このよう
な硬さ値の測定において、一度圧痕を形成した箇所と異
なる位置で再び圧痕を形成したい場合は、試料Ｓを移動
させる必要があるが、以下の動作を行い試料Ｓを移動さ
せる。
【００４９】試料移動時においては、図示しない圧電素
子駆動回路をオンとし、圧電素子１１０に高周波の電圧
を印加する。圧電素子１１０が振動を発生させると、こ
の振動は圧電素子１１０が貼付される試料台ベース１０
２に伝達されるので、試料台ベース１０２も同様に振動
する。この振動により、試料台１０１が滑動する際の吸
着現象を防止する。
子駆動回路をオンとし、圧電素子１１０に高周波の電圧
を印加する。圧電素子１１０が振動を発生させると、こ
の振動は圧電素子１１０が貼付される試料台ベース１０
２に伝達されるので、試料台ベース１０２も同様に振動
する。この振動により、試料台１０１が滑動する際の吸
着現象を防止する。
【００５０】そして、試料台１０１を図２における図面
上下方向（Ｙ方向）、及び左右方向（Ｘ方向）へ移動さ
せ試料Ｓの位置調整を行うが、まず、試料台１０１をＹ
方向へ移動させる。具体的には、マイクロメータヘッド
１０６のシンブル１０６ａを回し、シンブル１０６ａ内
のネジを回転させると、スピンドル１０６ｃが伸縮す
る。これにより、試料台１０１がベアリング１０４を介
してＹ方向へ移動し、この一方で、一端をバネ取付部１
０５のアーム１０５ｂに固定されるバネ１０３ｉが、試
料台１０１の移動に伴って伸縮する。そして、マイクロ
メータヘッド１０６の表示窓１０６ｄに表示される数値
を参照しつつ、所望の位置まで試料台１０１を移動させ
て、Ｙ方向の移動を完了とする。
上下方向（Ｙ方向）、及び左右方向（Ｘ方向）へ移動さ
せ試料Ｓの位置調整を行うが、まず、試料台１０１をＹ
方向へ移動させる。具体的には、マイクロメータヘッド
１０６のシンブル１０６ａを回し、シンブル１０６ａ内
のネジを回転させると、スピンドル１０６ｃが伸縮す
る。これにより、試料台１０１がベアリング１０４を介
してＹ方向へ移動し、この一方で、一端をバネ取付部１
０５のアーム１０５ｂに固定されるバネ１０３ｉが、試
料台１０１の移動に伴って伸縮する。そして、マイクロ
メータヘッド１０６の表示窓１０６ｄに表示される数値
を参照しつつ、所望の位置まで試料台１０１を移動させ
て、Ｙ方向の移動を完了とする。
【００５１】次に、試料台１０１、及び試料台１０１を
囲む枠体１０３を、Ｘ方向へ移動させるが、マイクロメ
ータヘッド１０６と同様に、マイクロメータヘッド１０
９のシンブル１０９ａを回し、シンブル１０９ａ内のネ
ジを回転させると、スピンドル１０９ｃが伸縮する。こ
れにより、バネ取付部１０３ｊ、及びバネ取付部１０３
ｊが固定される枠体１０３が、試料台１０１とともに、
ガイドレール１０７上をリニアガイド１０８ａによって
Ｘ方向へ移動し、この一方で、一端をバネ取付部１０３
ｊのアーム１０３ｌに固定されるバネ１０３ｅが、枠体
１０３の移動に伴って伸縮する。そして、マイクロメー
タヘッド１０９の表示窓１０９ｄに表示される数値を参
照しつつ、所望の位置まで枠体１０３を移動させて、Ｘ
方向の移動を完了とする。
囲む枠体１０３を、Ｘ方向へ移動させるが、マイクロメ
ータヘッド１０６と同様に、マイクロメータヘッド１０
９のシンブル１０９ａを回し、シンブル１０９ａ内のネ
ジを回転させると、スピンドル１０９ｃが伸縮する。こ
れにより、バネ取付部１０３ｊ、及びバネ取付部１０３
ｊが固定される枠体１０３が、試料台１０１とともに、
ガイドレール１０７上をリニアガイド１０８ａによって
Ｘ方向へ移動し、この一方で、一端をバネ取付部１０３
ｊのアーム１０３ｌに固定されるバネ１０３ｅが、枠体
１０３の移動に伴って伸縮する。そして、マイクロメー
タヘッド１０９の表示窓１０９ｄに表示される数値を参
照しつつ、所望の位置まで枠体１０３を移動させて、Ｘ
方向の移動を完了とする。
【００５２】試料Ｓの移動が完了したら、一旦、圧電素
子駆動回路をオフとして圧電素子１１０の振動を停止さ
せてから、再び圧痕形成部２により圧痕形成を行う。そ
して、所望の位置での圧痕形成が終了したら、圧痕観察
部３によって試料Ｓの圧痕観察を行うため、再度、圧電
素子駆動回路をオンとし、試料Ｓが載置される試料台１
０１を、圧子２ｂの下方からターレット３ｂの下方へ移
動させる。
子駆動回路をオフとして圧電素子１１０の振動を停止さ
せてから、再び圧痕形成部２により圧痕形成を行う。そ
して、所望の位置での圧痕形成が終了したら、圧痕観察
部３によって試料Ｓの圧痕観察を行うため、再度、圧電
素子駆動回路をオンとし、試料Ｓが載置される試料台１
０１を、圧子２ｂの下方からターレット３ｂの下方へ移
動させる。
【００５３】具体的には、まず、ユーザがハンドル１１
１ｅを持ち、Ｘ方向移動台１１１を図２における左方向
に押しやると、Ｘ方向移動台１１１に固定される係合部
材１１２のボール１１２ｆが、位置決め部１１３ｂのＶ
溝１１３ｃからはずれようとする。この時、ボール１１
２ｆは傾斜部１１３ｅを乗り上げようとするので、係合
部材１１２の板バネ１１２ｄが外方へ撓んで、ボール１
１２ｆがＶ溝１１３ｃから外れる。これにより、係合部
材１１２と位置決め部１１３ｂとの係合が解除され、Ｘ
方向移動台１１１が図面左方向へ移動を開始する。
１ｅを持ち、Ｘ方向移動台１１１を図２における左方向
に押しやると、Ｘ方向移動台１１１に固定される係合部
材１１２のボール１１２ｆが、位置決め部１１３ｂのＶ
溝１１３ｃからはずれようとする。この時、ボール１１
２ｆは傾斜部１１３ｅを乗り上げようとするので、係合
部材１１２の板バネ１１２ｄが外方へ撓んで、ボール１
１２ｆがＶ溝１１３ｃから外れる。これにより、係合部
材１１２と位置決め部１１３ｂとの係合が解除され、Ｘ
方向移動台１１１が図面左方向へ移動を開始する。
【００５４】そして、係合部材１１２のボール１１２ｆ
が、位置決め部１１３ａに当接すると、ボール１１２ｆ
が位置決め部１１３ａの傾斜部１１３ｅを乗り上げよう
とするので、板バネ１１２ｄが再び外方へ撓む。これに
より、ボール１１２ｆが傾斜部１１３ｅを完全に乗り上
げて、中央のＶ溝１１３ｃと係合することとなる。これ
により、係合部材１１２と位置決め部１１３ａを係合さ
せるとともに、試料台１０１をターレット３ｂの下方で
的確に位置決めすることができる。
が、位置決め部１１３ａに当接すると、ボール１１２ｆ
が位置決め部１１３ａの傾斜部１１３ｅを乗り上げよう
とするので、板バネ１１２ｄが再び外方へ撓む。これに
より、ボール１１２ｆが傾斜部１１３ｅを完全に乗り上
げて、中央のＶ溝１１３ｃと係合することとなる。これ
により、係合部材１１２と位置決め部１１３ａを係合さ
せるとともに、試料台１０１をターレット３ｂの下方で
的確に位置決めすることができる。
【００５５】試料Ｓの移動が完了した後に、圧電素子駆
動回路をオフとして圧電素子１１０の振動を停止させて
試料移動動作を終了し、この位置においてターレット３
ｂに備わるレンズ３ａを用いて通常の圧痕観察を行う
が、以後の動作は通常のビッカース硬さ試験機等の材料
試験機における動作と同様なので、省略する。
動回路をオフとして圧電素子１１０の振動を停止させて
試料移動動作を終了し、この位置においてターレット３
ｂに備わるレンズ３ａを用いて通常の圧痕観察を行う
が、以後の動作は通常のビッカース硬さ試験機等の材料
試験機における動作と同様なので、省略する。
【００５６】以上のように、本実施の形態の材料試験機
１によれば、試料台１０１が面接触する試料台ベース１
０２の上面部１０２ａ上を滑動することにより、測定箇
所の変更が実現されるので、試験荷重を試料に作用させ
た場合に、試料台１０１、及び試料台ベース１０２間に
は、ヒステリシスをもたらす原因となるような応力集中
の発生がなくなる。従って、大荷重にて圧子２ｂを押し
込む際においても、試料台１０１、及び試料台ベース１
０２の剛性を確保することが可能となり、これらの変形
の特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにでき
るので、測定に影響を与える恐れがなく、且つ簡単に試
料の移動を行うことができる。
１によれば、試料台１０１が面接触する試料台ベース１
０２の上面部１０２ａ上を滑動することにより、測定箇
所の変更が実現されるので、試験荷重を試料に作用させ
た場合に、試料台１０１、及び試料台ベース１０２間に
は、ヒステリシスをもたらす原因となるような応力集中
の発生がなくなる。従って、大荷重にて圧子２ｂを押し
込む際においても、試料台１０１、及び試料台ベース１
０２の剛性を確保することが可能となり、これらの変形
の特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにでき
るので、測定に影響を与える恐れがなく、且つ簡単に試
料の移動を行うことができる。
【００５７】又、係合部材１１２を備えるＸ方向移動台
１１１を、試料台ベース１０２上で移動させることによ
り、試料台１０１、及び枠体１０３を圧子２ｂ、及びタ
ーレット３ｂの間で簡単に移動させることができる。
又、この時、位置決め部１１３ａ、或いは１１３ｂのＶ
溝１１３ｃと係合部材１１２のボール１１２ｆとを係合
させることにより、Ｘ方向移動台１１１を試料台ベース
１０２上の適切な位置で位置決めすることができる。
１１１を、試料台ベース１０２上で移動させることによ
り、試料台１０１、及び枠体１０３を圧子２ｂ、及びタ
ーレット３ｂの間で簡単に移動させることができる。
又、この時、位置決め部１１３ａ、或いは１１３ｂのＶ
溝１１３ｃと係合部材１１２のボール１１２ｆとを係合
させることにより、Ｘ方向移動台１１１を試料台ベース
１０２上の適切な位置で位置決めすることができる。
【００５８】又、圧子２ｂ、若しくはターレット３ｂの
下方においては、マイクロメータヘッド１０６、及び１
０９により試料台１０１を移動させて位置調整を行うの
で、マイクロメータヘッド１０６、及び１０９の表示窓
１０６ｄ、及び１０９ｄに表示される数値を参照して、
容易、且つ精度良く測定箇所を変更調整することができ
る。更に、試料台ベース１０２の溝１０２ｂ、及び圧電
素子１１０を設けることにより、試料移動時における試
料台１０１の下面部１０１ａと、試料台ベース１０２の
上面部１０２ａとの吸着現象を防止するので、試料台１
０１の移動がスムーズに行える。
下方においては、マイクロメータヘッド１０６、及び１
０９により試料台１０１を移動させて位置調整を行うの
で、マイクロメータヘッド１０６、及び１０９の表示窓
１０６ｄ、及び１０９ｄに表示される数値を参照して、
容易、且つ精度良く測定箇所を変更調整することができ
る。更に、試料台ベース１０２の溝１０２ｂ、及び圧電
素子１１０を設けることにより、試料移動時における試
料台１０１の下面部１０１ａと、試料台ベース１０２の
上面部１０２ａとの吸着現象を防止するので、試料台１
０１の移動がスムーズに行える。
【００５９】尚、上記実施例においては、本発明に係る
材料試験機の一実施形態について説明したが、本発明は
上述した実施形態によって限定されるものではなく、種
々の変更が可能であることは言うまでもない。例えば、
材料試験機１は、圧痕形成や圧痕観察、或いは圧痕計測
を行う位置を複数備えるロックウェル硬さ試験機、マル
テンス硬さ試験機、ビッカース硬さ試験機、或いはブリ
ネル硬さ試験機等の硬さ試験機の単一機であっても良い
し、又、これらを兼ね備える複合機であっても良い。即
ち、例えば、上記材料試験機１に、圧痕の深さを計測し
てロックウェル硬さを算出するロックウェル硬さ算出手
段や、また、圧痕の表面形状を観察して、表面積を計算
することにより、ブリネル硬さを算出するブリネル硬さ
算出手段と、或いは圧痕の表面形状を観察して、対角線
の長さからビッカース硬さを算出するビッカース硬さ算
出手段を備えるようにしてもよい。
材料試験機の一実施形態について説明したが、本発明は
上述した実施形態によって限定されるものではなく、種
々の変更が可能であることは言うまでもない。例えば、
材料試験機１は、圧痕形成や圧痕観察、或いは圧痕計測
を行う位置を複数備えるロックウェル硬さ試験機、マル
テンス硬さ試験機、ビッカース硬さ試験機、或いはブリ
ネル硬さ試験機等の硬さ試験機の単一機であっても良い
し、又、これらを兼ね備える複合機であっても良い。即
ち、例えば、上記材料試験機１に、圧痕の深さを計測し
てロックウェル硬さを算出するロックウェル硬さ算出手
段や、また、圧痕の表面形状を観察して、表面積を計算
することにより、ブリネル硬さを算出するブリネル硬さ
算出手段と、或いは圧痕の表面形状を観察して、対角線
の長さからビッカース硬さを算出するビッカース硬さ算
出手段を備えるようにしてもよい。
【００６０】圧電素子１１０は１ヵ所に配置する構成と
したが、数はいくつでも良く、配置する場所も試料台ベ
ース１０２の裏面に限定するものではなく、試料台１０
１の上面等に適宜変更可能である。更に、振動を加える
ものであれば、圧電素子１１０の代わりに超音波発生器
等を用いることも可能である。又、位置決め部１１３
ａ、及び１１３ｂは試料台ベース１０２に２つ以上設け
ることも可能である。
したが、数はいくつでも良く、配置する場所も試料台ベ
ース１０２の裏面に限定するものではなく、試料台１０
１の上面等に適宜変更可能である。更に、振動を加える
ものであれば、圧電素子１１０の代わりに超音波発生器
等を用いることも可能である。又、位置決め部１１３
ａ、及び１１３ｂは試料台ベース１０２に２つ以上設け
ることも可能である。
【００６１】又、マイクロメータヘッド１０６、及び１
０９は手動で操作するものとしたが、モータにより駆動
させたり、或いはモータ内蔵型のマイクロメータヘッド
を利用して、試料台移動機構部１００を電動のステージ
とすることも可能である。更に、試料台１０１の移動量
を、マイクロメータヘッド１０６、及び１０９のデータ
出力によって求め、これに基づいて試料台１０１の位置
決めフィードバックを行う構成とすることも可能であ
る。
０９は手動で操作するものとしたが、モータにより駆動
させたり、或いはモータ内蔵型のマイクロメータヘッド
を利用して、試料台移動機構部１００を電動のステージ
とすることも可能である。更に、試料台１０１の移動量
を、マイクロメータヘッド１０６、及び１０９のデータ
出力によって求め、これに基づいて試料台１０１の位置
決めフィードバックを行う構成とすることも可能であ
る。
【００６２】又、試料台１０１を動かす手段としては、
マイクロメータヘッド１０６、及び１０９の代わりに、
モータとボールネジ等を用いる構成としても良い。又、
ガイドレール１０７、リニアガイド１０８、及び試料台
ベース１０２の溝１０２ｂ等は必ずしも設ける必要はな
く、試料台ベース１０２の上面部１０２ａを全くの平面
として、試料台１０１を単に滑動させて移動させる構成
とすることも可能である。
マイクロメータヘッド１０６、及び１０９の代わりに、
モータとボールネジ等を用いる構成としても良い。又、
ガイドレール１０７、リニアガイド１０８、及び試料台
ベース１０２の溝１０２ｂ等は必ずしも設ける必要はな
く、試料台ベース１０２の上面部１０２ａを全くの平面
として、試料台１０１を単に滑動させて移動させる構成
とすることも可能である。
【００６３】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、試料台
は、第１の移動手段によって試料台ベースの上面部上を
滑動して移動させられるので、大荷重が負荷される際に
も、試料台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平
面で荷重を受けることとなって、試料台、及び試料台ベ
ースの剛性が確保され、試料台、及び試料台ベースの変
形の特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにす
ることができる。従って、大荷重を負荷する場合であっ
ても、従来の試料移動手段のような試料台と試料台ベー
スとが点接触するものに比べて、測定に影響を及ぼす恐
れが極めて少なくなる。又、試料台と第１の移動手段
は、第２の移動手段によって試料台ベースの上面部上を
移動させられるので、試料台を試料台ベース上でより広
範囲に亘って無駄なく移動させることができる。
は、第１の移動手段によって試料台ベースの上面部上を
滑動して移動させられるので、大荷重が負荷される際に
も、試料台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平
面で荷重を受けることとなって、試料台、及び試料台ベ
ースの剛性が確保され、試料台、及び試料台ベースの変
形の特性を線形、且つヒステリシスを持たないようにす
ることができる。従って、大荷重を負荷する場合であっ
ても、従来の試料移動手段のような試料台と試料台ベー
スとが点接触するものに比べて、測定に影響を及ぼす恐
れが極めて少なくなる。又、試料台と第１の移動手段
は、第２の移動手段によって試料台ベースの上面部上を
移動させられるので、試料台を試料台ベース上でより広
範囲に亘って無駄なく移動させることができる。
【００６４】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、固定台が試料台ベースの上面部上を移動させられる
際、固定台に設けられる係合部は、試料台ベースに設け
られる位置決め部に係合させられるので、固定台に固定
される試料台と第１の移動手段を、試料台ベース上で位
置決めすることができる。
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、固定台が試料台ベースの上面部上を移動させられる
際、固定台に設けられる係合部は、試料台ベースに設け
られる位置決め部に係合させられるので、固定台に固定
される試料台と第１の移動手段を、試料台ベース上で位
置決めすることができる。
【００６５】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、係合部に備わるボールは、板バネの付勢力によっ
て、位置決め部に形成される溝部へ押圧されて係合させ
られ、又、板バネが外方へ撓むことにより、溝部との係
合から解除されるので、シンプルな構成で確実、且つ容
易に位置決めすることができる。
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に、係合部に備わるボールは、板バネの付勢力によっ
て、位置決め部に形成される溝部へ押圧されて係合させ
られ、又、板バネが外方へ撓むことにより、溝部との係
合から解除されるので、シンプルな構成で確実、且つ容
易に位置決めすることができる。
【００６６】請求項４記載の発明によれば、請求項２又
は３に記載の発明と同様の効果が得られることは無論の
こと、特に、固定台が第２の移動手段によって、第１の
位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕形成部に
より圧痕形成される位置に位置決めされ、又、固定台が
第２の位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕観
察部により圧痕観察される位置に位置決めされるので、
簡単、且つ容易に試料台を夫々所定の位置まで移動させ
て位置決めし、圧痕形成、或いは圧痕観察することがで
きる。
は３に記載の発明と同様の効果が得られることは無論の
こと、特に、固定台が第２の移動手段によって、第１の
位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕形成部に
より圧痕形成される位置に位置決めされ、又、固定台が
第２の位置決め部に位置決めされる時、試料台は圧痕観
察部により圧痕観察される位置に位置決めされるので、
簡単、且つ容易に試料台を夫々所定の位置まで移動させ
て位置決めし、圧痕形成、或いは圧痕観察することがで
きる。
【図１】本発明にかかる材料試験機の正面図である。
【図２】図１に示す試料台の平面図である。
【図３】図２に示す試料台ベースの平面図である。
【図４】図２におけるＡ−Ａ部断面図である。
【図５】図２におけるＢ方向からの試料台を示す側面図
である。
である。
【図６】図２におけるＣ方向からの試料台を示す側面図
である。
である。
１ 材料試験機
２ 圧痕形成部
３ 圧痕観察部
７ 圧子
１０１ 試料台
１０１ａ 下面部
１０２ 試料台ベース
１０２ａ 上面部
１０９ マイクロメータヘッド（第１の移動手段）
１１１ Ｘ方向移動台（第２の移動手段）
１１２ 係合部材（係合部）
１１２ｄ 板バネ
１１２ｆ ボール
１１３ａ 位置決め部（第２の位置決め部）
１１３ｂ 位置決め部（第１の位置決め部）
１１３ｃ Ｖ溝（溝部）
Ｓ 試料
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 小田 充
神奈川県座間市広野台二丁目７番１号 株
式会社アカシ相模工場内
Claims (4)
- 【請求項１】試料表面に圧子により圧痕を形成させるこ
とに基づいて試料の材料特性を測定する材料試験機であ
って、 前記試料を上面部に載置し、下面部が平滑な試料台と、 前記試料台の前記下面部と面接触する平滑な上面部を有
する試料台ベースと、 前記試料台を、前記試料台ベースの前記上面部上を滑動
させて移動させる第１の移動手段と、 前記試料台と前記第１の移動手段とを、前記試料台ベー
スの前記上面部上を移動させる第２の移動手段と、 を備えていることを特徴とする材料試験機。 - 【請求項２】請求項１記載の材料試験機において、 前記第２の移動手段は、 前記試料台ベースに設けられる複数の位置決め部と、 前記試料台と前記第１の移動手段が固定され、前記位置
決め部に係合する係合部が設けられる固定台と、 を備え、 前記固定台は前記試料台ベースの前記上面部上を移動す
ることを特徴とする材料試験機。 - 【請求項３】請求項２記載の材料試験機において、 前記位置決め部には溝部が形成され、 前記係合部は、前記溝部に係合するボールと、前記ボー
ルに対して前記溝部方向の付勢力を付与する板バネと、
を備えていることを特徴とする材料試験機。 - 【請求項４】請求項２又は３に記載の材料試験機におい
て、 前記圧子を備え、試料表面に圧痕を形成する圧痕形成部
と、 前記圧痕形成部で形成された圧痕を観察する圧痕観察部
と、 が並設され、 前記位置決め部は、少なくとも第１の位置決め部と第２
の位置決め部と、を備え、 前記第２の移動手段により、前記固定台が前記第１の位
置決め部に位置決めされた場合には、前記試料台は前記
圧痕形成部により圧痕形成される位置に位置決めされ、
前記固定台が前記第２の位置決め部に位置決めされた場
合には、前記試料台は前記圧痕観察部により圧痕観察さ
れる位置に位置決めされることを特徴とする材料試験
機。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189975A JP2003004614A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 材料試験機 |
| US10/481,334 US20040231563A1 (en) | 2001-06-22 | 2002-06-21 | Aqueous film forming inorganic composition, inorganic foam, thermally insulating composite and for production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001189975A JP2003004614A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 材料試験機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003004614A true JP2003004614A (ja) | 2003-01-08 |
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ID=19028816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001189975A Pending JP2003004614A (ja) | 2001-06-22 | 2001-06-22 | 材料試験機 |
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|---|---|
| US (1) | US20040231563A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003004614A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2006134143A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Mitsubishi Electric Corp | 基板位置決め装置 |
| JP2021117021A (ja) * | 2020-01-22 | 2021-08-10 | 株式会社島津製作所 | 材料試験機 |
| CN114174612A (zh) * | 2019-06-30 | 2022-03-11 | 匹兹堡康宁欧洲股份有限公司 | 倒置式屋面 |
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|---|---|---|---|---|
| ATE494943T1 (de) * | 2005-11-07 | 2011-01-15 | Specialist Process Technologies Ltd | Funktionelle flüssigkeit und herstellungsverfahren dafür |
| CN105152609B (zh) * | 2015-07-13 | 2017-08-29 | 四川方大新型建材科技开发有限责任公司 | 用生活垃圾焚烧后的飞灰或渣制备的建筑砖及其制备方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB634690A (en) * | 1947-08-22 | 1950-03-22 | Courtaulds Ltd | Improvements in and relating to the treatment of textile yarns and fabrics |
| US4642330A (en) * | 1984-12-27 | 1987-02-10 | The Lubrizol Corporation | Dispersant salts |
| AU634962B2 (en) * | 1988-06-10 | 1993-03-11 | Kohmix Co., Ltd. | Water-Soluble, film-forming inorganic compounds |
-
2001
- 2001-06-22 JP JP2001189975A patent/JP2003004614A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-21 US US10/481,334 patent/US20040231563A1/en not_active Abandoned
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| JP4491650B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-06-30 | 三菱電機株式会社 | 基板位置決め装置 |
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