JP2002365191A - 硬さ試験機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 大荷重を負荷する時にも、測定に影響を及ぼ
す恐れが極めて少ない試料移動手段を備える硬さ試験機
を提供することである。 【解決手段】 試料表面に圧子７により圧痕を形成させ
ることに基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機１で
あって、前記試料を上面部に載置し、下面部１０１ａが
平滑な試料移動台１０１と、前記試料移動台の前記下面
部と面接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベ
ース１０２と、前記試料移動台を、前記試料台ベースの
前記上面部上を滑動させて移動させる移動手段１０６
と、前記試料台ベース及び前記試料移動台のうち、少な
くとも何れか一方に振動を与える振動付与手段１１０
と、を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、圧子により試料表
面に荷重を負荷して圧痕を形成させることに基づいて、
試料の硬さを測定する硬さ試験機に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、圧子により試料表面に荷重を負荷
して圧痕を形成させることに基づいて、試料の硬さを測
定する試験機として、ビッカース硬さ試験機、マイクロ
ビッカース硬さ試験機、或いはロックウェル硬さ試験機
などの硬さ試験機が知られている。

【０００３】このような硬さ試験機において、圧痕の形
成位置を変更して別の位置を測定箇所としたい場合、硬
さ試験機には試料移動手段が必要となる。ビッカース硬
さ試験機、又はマイクロビッカース硬さ試験機において
は、試料移動手段は一般的に装備されるものであり、例
えばこれは、逆凸部を有する試料台の下に凹部を有する
試料台ベースを設け、ベアリング等を介在させて両者を
嵌合するような構成の機構である。このような機構で
は、測定者がマイクロメータヘッド等で手動操作した
り、或いは自動駆動させて、試料台を所望の位置へ水平
方向に移動させる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ロック
ウェル硬さ試験機においては、ビッカース硬さ試験機等
に比べ負荷する荷重が極めて大きいので、上記のような
試料移動手段を設けて荷重を負荷する場合、試料台、及
び試料台ベースには大荷重が加わることになる。従っ
て、この時ベアリング等と点接触する部分に応力集中が
生じ、この応力集中に起因して試料台、及び試料台ベー
スの変形の特性がヒステリシスを持ち、測定に影響を及
ぼすという問題が発生する。このため、ロックウェル硬
さ試験機に上記試料移動手段を設けることは難しく、こ
れまで試料移動手段を備えるものはなかった。よって、
試料移動手段が必要な際には、外部からロボット等の装
置を付加して、これにより試料の移動を行わなければな
らず、煩雑であった。

【０００５】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたものであって、大荷重を負荷する時にも、測定に
影響を及ぼす恐れが極めて少ない試料移動手段を備える
硬さ試験機を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、例えば、図１〜図５に示す
ように、試料表面に圧子７により圧痕を形成させること
に基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機１であっ
て、前記試料を上面部に載置し、下面部１０１ａが平滑
な試料移動台１０１と、前記試料移動台の前記下面部と
面接触する平滑な上面部１０２ａを有する試料台ベース
１０２と、前記試料移動台を、前記試料台ベースの前記
上面部上を滑動させて移動させる移動手段（例えば、マ
イクロメータヘッド１０６）と、前記試料台ベース及び
前記試料移動台のうち、少なくとも何れか一方に振動を
与える振動付与手段（例えば、圧電素子１１０）と、を
備えていることを特徴とする。

【０００７】請求項１記載の発明によれば、試料移動台
は、移動手段によって試料台ベースの上面部上を滑動し
て移動させられるので、大荷重が負荷される際にも、試
料移動台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平面
で荷重を受けることとなって、試料移動台、及び試料台
ベースの剛性が確保され、試料移動台、及び試料台ベー
スの変形の特性を線形、且つヒステリシスを持たないよ
うにすることができる。従って、大荷重を負荷する場合
であっても、従来の試料移動手段のような試料移動台と
試料台ベースとが点接触するものに比べて、測定に影響
を及ぼす恐れが極めて少なくなる。加えて、振動付与手
段によって、試料台ベース、及び試料移動台のうち、少
なくとも何れか一方に振動が与えられるので、試料移動
台と試料台ベースの面接触部の吸着を防止できることと
なって、試料移動台をスムーズに移動させることができ
る。

【０００８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の硬
さ試験機において、前記振動付与手段は、圧電素子１１
０であることを特徴としている。

【０００９】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に振動付与手段は圧電素子であるので、振動付与手段を
付加しても硬さ試験機の大きさにさほど影響を与えな
い。

【００１０】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の硬さ試験機において、前記試料台ベースは、前記上
面部に複数の溝部（例えば、溝１０２ｂ）を有すること
を特徴としている。

【００１１】請求項３記載の発明によれば、請求項１又
は２記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこ
と、特に試料台ベースは上面部に複数の溝部を有してい
るので、試料移動台の下面部、及び試料台ベースの上面
部の接触面積が減少することとなる。従って、試料移動
台と試料台ベースの面接触部の吸着を防止できることと
なって、試料移動台をよりスムーズに移動させることが
できる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図５を参照して本発
明に係る硬さ試験機の実施の形態を詳細に説明する。図
１は本発明に係る硬さ試験機１の側面図である。

【００１３】尚、本実施の形態の硬さ試験機１は試料台
１００の部分に特徴を有し、それ以外の部分の構成は、
従来の一般的なロックウェル硬さ試験機と同様とされて
いる。これにより、以下の説明においては、本願の特徴
部分については図２〜図５を用いて詳細に説明し、それ
以外の部分については簡略して説明する。

【００１４】まず、図１に示すように、本発明に係る硬
さ試験機１は主に、試料台１００、おもり２、荷重レバ
ー３、カム４、荷重軸５、圧子軸６、圧子７、上下軸８
等からなり、試料台１００は、試料台１００の下面に設
けられた上下軸８によって、硬さ試験機１の本体部に上
下動可能に取り付けられる。

【００１５】試料台１００は主に、試料移動台１０１、
試料台ベース１０２等から構成される。試料移動台１０
１の下面部１０１ａ、及び試料台ベース１０２の上面部
１０２ａは夫々、極めて高い面精度を持つように製作さ
れており、試料台ベース１０２の上面部１０２ａに試料
移動台１０１が面接触にて支持される。

【００１６】試料移動台１０１は、図２の平面視におい
て略正方形をした板状体であり、試料台ベース１０２に
は、試料移動台１０１を取り囲む枠体１０３が設けられ
る。図２に示す試料移動台１０１の左右の辺に沿って、
試料移動台１０１と枠体１０３との間には、ベアリング
１０４が合計３つ設置され、試料移動台１０１は、枠体
１０３に３点支持される。

【００１７】又、試料移動台１０１の前端中央（図面に
おいては下端中央に位置する）には、試料移動台１０１
の位置調整を行うためのマイクロメータヘッド１０６の
スピンドル１０６ｃが固定され、又、枠体１０３には、
枠体１０３の位置調整を行うためのマイクロメータヘッ
ド１０９のスピンドル１０９ｃが固定されている。

【００１８】試料移動台１０１の後端（図面においては
上端に位置する）には、ボルト１０５ａによってバネ取
付部１０５が固定される。バネ取付部１０５は、試料移
動台１０１の一辺と略同一の長さを有する板状体であ
り、図４の断面図に示すように、試料移動台１０１の側
面略中央に当接するようになっている。

【００１９】バネ取付部１０５の両端には、枠体１０３
に向かってアーム１０５ｂが設けられており、このアー
ム１０５ｂは、枠体１０３の内側に穿設された長孔１０
３ｇを介して、枠体１０３の外側面に穿設された凹部１
０３ｈまで突出している。凹部１０３ｈの内部におい
て、アーム１０５ｂには、後述するバネ１０３ｉの一端
が固定される。

【００２０】試料台ベース１０２は、図３の平面視にお
いて略長方形をした板状体であり、図面左側に位置する
平坦な試料台移動部Ａ、及び同右側に位置し、試料台移
動部Ａよりもやや厚いマイクロメータヘッド取付部Ｂか
らなっている。この試料台移動部Ａ中央には、複数の溝
１０２ｂが形成されており、これにより試料移動台１０
１の下面部１０１ａ、及び試料台ベース１０２の上面部
１０２ａの接触面積を減らすことができるので、試料移
動台１０１が試料台ベース１０２の上面部１０２ａ上を
滑動する際、試料移動台１０１、及び試料台ベース１０
２の間に吸着現象が発生しにくくなる。

【００２１】試料台移動部Ａには、図３における前後両
端（図面においては上下両端に位置する）に沿ってガイ
ドレール１０７が設けられており、このガイドレール１
０７上にリニアガイド１０８が夫々２つずつ、摺動自在
に嵌合される。

【００２２】又、マイクロメータヘッド取付部Ｂには、
マイクロメータヘッド１０９を取り付けるための取付溝
１０２ｄが形成されている。この取付溝１０２ｄから試
料台移動部Ａの間には、スピンドル１０９ｃを貫通させ
る取付孔１０２ｅが穿設されている。又、マイクロメー
タヘッド取付部Ｂには、取付溝１０２ｄを挟む位置に、
バネ取付部１０３ｊ（後述）と対向するバネ取付部１０
２ｃが設けられている。

【００２３】図２に示す枠体１０３は、縦枠１０３ａ、
１０３ａ、及び横枠１０３ｂ、１０３ｂからなり、リニ
アガイド１０８にボルト１０３ｃにて固定された横枠１
０３ｂが、更に、ボルト１０３ｄにて縦枠１０３ａに固
定されている。従って、枠体１０３は、リニアガイド１
０８によってガイドレール１０７上を移動可能となって
いる。

【００２４】図２の前端（図面においては下端に位置す
る）側の横枠１０３ｂには、マイクロメータヘッド１０
６を取り付けるための取付孔１０３ｆが形成されてい
る。マイクロメータヘッド１０６は、シンブル１０６
ａ、スリーブ１０６ｂ、スピンドル１０６ｃを備え、ス
リーブ１０６ｂ内に挿入されるスピンドル１０６ｃが取
付孔１０３ｆに貫通され、スピンドル１０６ｃの先端が
試料移動台１０１に固定された状態で、シンブル１０６
ａを支持するスリーブ１０６ｂが横枠１０３ｂに固定さ
れている。

【００２５】そして、シンブル１０６ａを回すと、シン
ブル１０６ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０６ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０６ｂに設けられた表示窓１０６ｄにデジタル表
示されるようになっている。

【００２６】図４に示すように、枠体１０３の縦枠１０
３ａの内側面には、バネ取付部１０５に対応する位置に
おいて、横方向に細長い長孔１０３ｇが穿設されてい
る。又、縦枠１０３ａの外側面には、略全長にわたって
凹部１０３ｈが形成され、この凹部１０３ｈ内にバネ１
０３ｉが収納される。バネ１０３ｉは、一端が凹部１０
３ｈ内に固定され、他端が長孔１０３ｇを介して凹部１
０３ｈに突出するバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに
固定される。

【００２７】従って、マイクロメータヘッド１０６のシ
ンブル１０６ａの回転によるスピンドル１０６ｃの伸縮
によって、図２に示す試料移動台１０１はベアリング１
０４を介して、前後方向（図面においては上下方向に位
置する）へ移動する。この時、試料移動台１０１に固定
されるバネ取付部１０５も試料移動台１０１と同様に移
動するので、一端をバネ取付部１０５のアーム１０５ｂ
に固定されたバネ１０３ｉは、バネ取付部１０５の移動
に伴い、凹部１０３ｈ内で伸縮し、このバネ１０３ｉの
力により縦枠１０３ａ方向への試料移動台１０１の自由
な移動を制限する。

【００２８】又、マイクロメータヘッド１０９に対向す
る縦枠１０３ａの外側面には、バネ取付部１０３ｊがボ
ルト１０３ｋにて固定されている。図４に示すように、
バネ取付部１０３ｊは、縦枠１０３ａと略同一の高さを
有する板状体であり、縦枠１０３ａの中央で凹部１０３
ｈを覆うように設けられており、バネ取付部１０３ｊの
中央には、マイクロメータヘッド１０９のスピンドル１
０９ｃが固定される。又、バネ取付部１０３ｊは両端に
アーム１０３ｌを備え、このアーム１０３ｌには、バネ
１０３ｅの一端が固定され、このバネ１０３ｅの他端
は、マイクロメータヘッド取付部Ｂのバネ取付部１０２
ｃに固定される。

【００２９】マイクロメータヘッド１０９は、前述のマ
イクロメータヘッド１０６と同様の構成であり、シンブ
ル１０９ａ、スリーブ１０９ｂ、スピンドル１０９ｃを
備え、シンブル１０９ａを支持するスリーブ１０９ｂ
が、取付溝１０２ｄに外方から取付けられ、マイクロメ
ータヘッド取付部Ｂに穿設された取付孔１０２ｅを介し
て、スリーブ１０９ｂ内に挿入されるスピンドル１０９
ｃがバネ取付部１０３ｊに固定されている。

【００３０】そして、シンブル１０９ａを回すと、シン
ブル１０９ａ内のネジ（図示省略）が回転してスピンド
ル１０９ｃが伸縮するようになっており、その値はスリ
ーブ１０９ｂに設けられた表示窓１０９ｄにデジタル表
示されるようになっている。

【００３１】従って、マイクロメータヘッド１０９のシ
ンブル１０９ａの回転によるスピンドル１０９ｃの伸縮
によって、図２に示すバネ取付部１０３ｊ、及びバネ取
付部１０３ｊが固定される枠体１０３は、ガイドレール
１０７に沿って図面左右方向へ移動する。この時、一端
をバネ取付部１０３ｊのアーム１０３ｌに固定されたバ
ネ１０３ｅは、バネ取付部１０３ｊ、及び枠体１０３の
移動に伴って伸縮し、このバネ１０３ｅの力により横枠
１０３ｂ方向への枠体１０３の自由な移動を制限する。

【００３２】又、試料移動台１０１が試料台ベース１０
２の上面部１０２ａ上を滑動する際、吸着現象が発生す
ることが考えられるので、試料台１００においては、試
料台ベース１０２の上面部１０２ａに形成した溝１０２
ｂ以外にもこれを防止するため、試料台ベース１０２の
裏面端部に圧電素子１１０が貼付される。

【００３３】この圧電素子１１０は、図示しない圧電素
子駆動回路に接続されており、圧電素子駆動回路をオン
にして交流電流を流すと、圧電素子１１０に高周波の電
圧が印加され、圧電素子１１０が伸縮動作を繰り返して
振動を発生させる。従って、圧電素子駆動回路がオンの
時、試料台ベース１０２には圧電素子１１０による振動
が伝達されることとなり、これによって試料移動台１０
１と試料台ベース１０２の吸着現象を防止し、試料移動
台１０１のスムーズな移動を可能とする。

【００３４】試料移動台１０１の略直下に位置する試料
台ベース１０２の裏面には、円筒状に突出したテーブル
脚１０２ｆ、及びこれを取り囲む中空円筒状の取付リン
グ１０２ｇが設けられており、このテーブル脚１０２ｆ
が上下軸８の中央に穿設された固定孔１０２ｉに嵌合さ
れ固定されることにより、試料台１００が位置決めされ
た状態で、硬さ試験機１に取付けられている。又、取付
リング１０２ｇは、内側に突出した突出部１０２ｈを有
し、この突出部１０２ｈの上方に形成された隙間に、上
下軸８の上部に螺合される固定ナット１１１のフランジ
部１１１ａが収納されている。

【００３５】この固定ナット１１１を締めると、フラン
ジ部１１１ａの下面が取付リング１０２ｇの突出部１０
２ｈの上面を押圧するので、これにより試料台ベース１
０２と上下軸８は締結され一体化されるため、試料台ベ
ース１０２が上下軸８に対して回転してしまうことがな
い。又、試料台ベース１０２と上下軸８の間には隙間が
発生しないので、荷重が負荷される際の試料台１００の
変形特性に、ヒステリシスが生じにくくなっている。

【００３６】次に、硬さ試験機１における測定動作の概
略、及び試料台１００における試料移動動作について説
明する。まず、硬さ試験機１では、所定のおもり２が荷
重レバー３の先端に吊され、カム４の回転によって荷重
レバー３が下がる。そして、荷重軸５に所定の試験力が
作用し、試験力が圧子軸６を介して圧子７に伝達され、
この圧子７が下方に移動することにより、試料台１００
に載置された試料に圧痕が形成される。この圧痕の形状
から圧子７の侵入深さを測定し、この測定結果に基づい
て試料の硬さ値を求める。

【００３７】このような硬さ値の測定において、一度測
定した箇所と異なる位置を測定したい場合は試料を移動
させる必要があるが、硬さ試験機１においては、以下の
動作を行い、試料を移動させる。

【００３８】始めに、試料移動時においては、図示しな
い圧電素子駆動回路をオンとし、圧電素子１１０に高周
波の電圧を印加する。圧電素子１１０が振動を発生させ
ると、この振動は圧電素子１１０が貼付される試料台ベ
ース１０２に伝達されるので、試料台ベース１０２も同
様に振動する。この振動により、試料移動台１０１が滑
動する際の吸着現象を防止する。

【００３９】次に、試料移動台１０１を、図２における
図面上下方向において移動させる。具体的には、マイク
ロメータヘッド１０６のシンブル１０６ａを回し、シン
ブル１０６ａ内のネジを回転させると、スピンドル１０
６ｃが伸縮する。これにより、試料移動台１０１がベア
リング１０４を介して上下方向へ移動し、この一方で、
一端をバネ取付部１０５のアーム１０５ｂに固定される
バネ１０３ｉが、試料移動台１０１の移動に伴って伸縮
する。そして、マイクロメータヘッド１０６の表示窓１
０６ｄに表示される数値を参照しつつ、所望の位置まで
試料移動台１０１を移動させて、上下方向の移動を完了
とする。

【００４０】更に、試料移動台１０１、及び試料移動台
１０１を囲む枠体１０３を、図２における図面左右方向
において移動させるが、マイクロメータヘッド１０６と
同様に、マイクロメータヘッド１０９のシンブル１０９
ａを回し、シンブル１０９ａ内のネジを回転させると、
スピンドル１０９ｃが伸縮する。これにより、バネ取付
部１０３ｊ、及びバネ取付部１０３ｊが固定される枠体
１０３が、試料移動台１０１とともに、ガイドレール１
０７上をリニアガイド１０８によって左右方向へ移動
し、この一方で、一端をバネ取付部１０３ｊのアーム１
０３ｌに固定されるバネ１０３ｅが、枠体１０３の移動
に伴って伸縮する。そして、マイクロメータヘッド１０
９の表示窓１０９ｄに表示される数値を参照しつつ、所
望の位置まで枠体１０３を移動させて、左右方向の移動
を完了とする。

【００４１】試料の移動が完了した後に圧電素子駆動回
路をオフとして、圧電素子１１０の振動を停止させて位
置合わせ動作を終了し、この位置において通常の硬さ値
測定を行うが、以後の圧痕の形成動作は、通常の硬さ試
験機における動作と同様なので、省略する。

【００４２】以上のように、本実施の形態の硬さ試験機
１によれば、試料移動台１０１が面接触する試料台ベー
ス１０２の上面部１０２ａ上を滑動することにより、測
定箇所の変更が実現されるので、試験荷重を試料に作用
させた場合に、試料移動台１０１、及び試料台ベース１
０２間には、ヒステリシスをもたらす原因となるような
応力集中の発生がなくなる。従って、大荷重にて圧子７
を押し込む際においても、試料移動台１０１、及び試料
台ベース１０２の剛性を確保することが可能となり、こ
れらの変形の特性を線形、且つヒステリシスを持たない
ようにできるので、測定に影響を与える恐れがなく、且
つ簡単に試料の移動を行うことができる。

【００４３】又、マイクロメータヘッド１０６、及び１
０９により試料移動台１０１の移動を行うので、マイク
ロメータヘッド１０６、及び１０９の表示窓１０６ｄ、
及び１０９ｄに表示される数値を参照して、容易、且つ
精度良く測定箇所を変更調整することができる。更に、
試料台ベース１０２の溝１０２ｂ、及び圧電素子１１０
を設けることにより、試料移動時における試料移動台１
０１の下面部１０１ａと、試料台ベース１０２の上面部
１０２ａとの吸着現象を防止するので、マイクロメータ
ヘッド１０６、及び１０９による試料移動台１０１の移
動がスムーズに行える。

【００４４】尚、上記実施例においては、本発明に係る
硬さ試験機の一実施形態について説明したが、本発明は
上述した実施形態によって限定されるものではなく、種
々の変更が可能であることは言うまでもない。例えば、
本実施の形態においては、硬さ試験機１はロックウェル
硬さ試験機であるとしたが、これに限らず、ユニバーサ
ル硬さ試験機、或いはビッカース硬さ試験機等の硬さ試
験機であっても良い。

【００４５】又、圧電素子１１０は１ヵ所に配置する構
成としたが、数はいくつでも良く、配置する場所も試料
台ベース１０２の裏面に限定するものではなく、試料移
動台１０１の上面等に適宜変更可能である。更に、振動
を加えるものであれば、圧電素子１１０の代わりに超音
波発生器等を用いることも可能である。

【００４６】又、マイクロメータヘッド１０６、及び１
０９は手動で操作するものとしたが、モータにより駆動
させたり、或いはモータ内蔵型のマイクロメータヘッド
を利用して、試料台１００を電動のステージとすること
も可能である。更に、試料台１００の移動量を、マイク
ロメータヘッド１０６、及び１０９のデータ出力によっ
て求め、これに基づいて試料台１００の位置決めフィー
ドバックを行う構成とすることも可能である。

【００４７】又、試料移動台１０１を動かす手段として
は、マイクロメータヘッド１０６、及び１０９の代わり
に、モータとボールネジ等を用いる構成としても良い。
又、ガイドレール１０７、リニアガイド１０８、及び試
料台ベース１０２の溝１０２ｂ等は必ずしも設ける必要
はなく、試料台ベース１０２の上面部１０２ａを全くの
平面として、試料移動台１０１を単に滑動させて移動さ
せる構成とすることも可能である。

【００４８】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、試料移動
台は、移動手段によって試料台ベースの上面部上を滑動
して移動させられるので、大荷重が負荷される際にも、
試料移動台、及び試料台ベースの２部品のみにより、平
面で荷重を受けることとなって、試料移動台、及び試料
台ベースの剛性が確保され、試料移動台、及び試料台ベ
ースの変形の特性を線形、且つヒステリシスを持たない
ようにすることができる。従って、大荷重を負荷する場
合であっても、従来の試料移動手段のような試料移動台
と試料台ベースとが点接触するものに比べて、測定に影
響を及ぼす恐れが極めて少なくなる。加えて、振動付与
手段によって、試料台ベース、及び試料移動台のうち、
少なくとも何れか一方に振動が与えられるので、試料移
動台と試料台ベースの面接触部の吸着を防止できること
となって、試料移動台をスムーズに移動させることがで
きる。

【００４９】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明と同様の効果が得られることは無論のこと、特
に振動付与手段は圧電素子であるので、振動付与手段を
付加しても硬さ試験機の大きさにさほど影響を与えな
い。

【００５０】請求項３記載の発明によれば、請求項１又
は２記載の発明と同様の効果が得られることは無論のこ
と、特に試料台ベースは上面部に複数の溝部を有してい
るので、試料移動台の下面部、及び試料台ベースの上面
部の接触面積が減少することとなる。従って、試料移動
台と試料台ベースの面接触部の吸着を防止できることと
なって、試料移動台をよりスムーズに移動させることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる硬さ試験機の側面図である。

【図２】図１に示す試料台の平面図である。

【図３】図２に示す試料台ベースの平面図である。

【図４】図２におけるＡ−Ａ部断面図である。

【図５】図２におけるＢ方向からの試料台を示す側面図
である。

【符号の説明】

１ 硬さ試験機 １０１ 試料移動台 １０１ａ 下面部 １０２ 試料台ベース １０２ａ 上面部 １０２ｂ 溝（溝部） １０６ マイクロメータヘッド（移動手段） １１０ 圧電素子（振動付与手段） ７ 圧子

フロントページの続き (72)発明者 小田 充 神奈川県座間市広野台二丁目７番地１号 株式会社アカシ相模工場内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料表面に圧子により圧痕を形成させる
   ことに基づいて試料の硬さを測定する硬さ試験機であっ
   て、 前記試料を上面部に載置し、下面部が平滑な試料移動台
   と、 前記試料移動台の前記下面部と面接触する平滑な上面部
   を有する試料台ベースと、 前記試料移動台を、前記試料台ベースの前記上面部上を
   滑動させて移動させる移動手段と、 前記試料台ベース及び前記試料移動台のうち、少なくと
   も何れか一方に振動を与える振動付与手段と、 を備えていることを特徴とする硬さ試験機。
2. 【請求項２】 請求項１記載の硬さ試験機において、 前記振動付与手段は、圧電素子であることを特徴とする
   硬さ試験機。
3. 【請求項３】 請求項１又は２記載の硬さ試験機におい
   て、 前記試料台ベースは、前記上面部に複数の溝部を有する
   ことを特徴とする硬さ試験機。