JP2002533720A

JP2002533720A - 工作物の品質検査をする方法および装置

Info

Publication number: JP2002533720A
Application number: JP2000591423A
Authority: JP
Inventors: ザウアーフォルカー; アッティアファウツィ; フレーデアンドレアス; ヤーンケロニー
Original assignee: Robert Bosch GmbH
Current assignee: Robert Bosch GmbH
Priority date: 1998-12-28
Filing date: 1999-12-27
Publication date: 2002-10-08
Also published as: DE19860471C2; WO2000039574A1; DE19860471A1; EP1058842A1

Abstract

(57)【要約】本発明は、工作物の品質検査をする方法において、工作物に振動を励起し、該振動の少なくとも１つのパラメータを測定し、該パラメータが、予め設定された範囲内にある場合に工作物を良品として評価することを特徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】背景技術本発明は、工作物の非破壊的な品質検査に関する。

【０００２】工作物の非破壊的な品質検査、正確に言うならば、工作物における、外部から
は見ることができない材料欠陥および内部の材料欠陥の検査のために多数の異な
る方法が開発されている。

【０００３】そこで、材料欠陥を検査するために、たとえば工作物をレントゲン線（Ｘ線）
もしくはγ線で透視することが公知である。こうして獲得された写真内には、工
作物による放射線吸収の不均質性を生ぜしめる欠陥、たとえば気泡、空洞または
異物を顕著に見ることができる。材料内の亀裂を認知することはより困難である
。なぜならば、亀裂の存在は、工作物の吸収材料の厚さには全く影響を与えるこ
とがなく、したがって、主として、亀裂の表面で散乱した放射線に基づいてしか
認知することができないからである。獲得されたレントゲン写真の評価には多大
な経験が必要であり、自動的に評価することは困難である。

【０００４】超音波検査法は、工作物内に侵入した超音波が、この工作物の亀裂もしくは欠
陥で反射することに基づき行われる。このような方法は確かに、材料内に隠れて
いる亀裂に対しての大きな感度を内在的に有しているものの、工作物の、それぞ
れ任意の境界面での超音波反射が生じてしまう。これによって、不規則に成形さ
れた工作物または種々の材料から成る工作物の超音波反射データの評価が複雑に
なると共に手間のかかるものになってしまう。

【０００５】別の方法、たとえば渦電流法では、通電されたコイルによって、検査したい材
料内に渦電流が発生し、材料の亀裂によって誘発された欠陥が、電流渦の経過内
でコイルの皮相抵抗の変化に基づき検出される。また、磁化された工作物から外
方へ押し退けられた磁束に基づき工作物内の亀裂の存在を推測する漏れ磁束測定
法は、所定の品質の材料でのみ使用可能である。

【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４３１６４７３号明細書に基づき、工作物の
穿孔時に発生する固体伝搬音を工作物から導出させる装置が公知である。導出さ
れた固体伝搬音は、（引き続きの説明は省略するが）切断摩耗、破損等に関する
穿孔器の監視のために使用される。

【０００７】発明の利点独立請求項で規定されているように、本発明では、工作物の品質検査、特に工
作物内の亀裂および欠陥を検査する方法および装置が提供される。本発明によっ
て、実際に任意の固形材料から成る工作物を迅速にかつ手間をかけずに品質検査
することができる。獲得された測定信号を処理するために必要となる手間は僅か
であり、特に、手間のかかる写真処理は不要となる。また、処理のために必要と
なる手間は、検査したい工作物の構成の複雑性とはほぼ無関係である。

【０００８】振動の、測定したいパラメータとして、振動振幅の時間的な展開または振動の
周波数が使用されると有利である。この場合、時間的な展開は特に、振動の減衰
時間によって特徴づけることができる。

【０００９】工作物の大部分の構成では、励起された振動が、多数のスペクトル成分を常に
有している。このような場合には、個々のスペクトル成分の周波数と時間的な展
開とが検出され得るかもしくは監視され得る。一般的に、個々のスペクトル成分
は減衰特性の点で異なっていて、工作物内の、場合によって存在する欠陥によっ
て様々な形で影響される。この場合、一般的に、高周波数のスペクトル成分は、
僅かな膨張の欠陥に対して、低周波数のスペクトル成分よりも敏感に反応する。
さらに、与えられたスペクトル成分の、欠陥に対する感度は、スペクトル成分が
、工作物の、このスペクトル成分に属している振動モードの波腹または波節の領
域にあるかどうかに応じてそれぞれ異なっている。多数のスペクトル成分を波腹
および波節の種々の分布で評価することによって、工作物内の欠陥に対する検査
感度の、局所的な均質の分布を獲得することができる。

【００１０】振動の減衰時間および／または振動の個々のスペクトル成分の減衰時間が測定
され、この減衰時間が、予め設定された１つの区間内にある場合に工作物が良品
として評価されると有利である。この区間は、欠陥のない公知の工作物に基づき
実験的に予め規定され得る。

【００１１】逆に、減衰時間が、予め設定された第２の区間内にある場合には工作物が欠陥
品として評価される。

【００１２】第１に、この区間は複雑であってはならない。なぜならば、不適切に長いまた
は短い減衰時間が測定されると、このことは、検査される工作物の、実際の欠陥
よりも以前に測定ミスの兆候と見なされるからである。このような場合、工作物
が別の方法で検査されると有利である。このことは、測定された値が、予め設定
された２つの区間の間にあっても有利であり得る。

【００１３】振動のまたはこの振動の個々のスペクトル成分の、測定された減衰時間は、振
動励起が、様々な強さで行われる場合には同一の工作物に対して異なっていてよ
い。したがって、再現可能な測定を実施することができるようにするために、特
に所定の物体を用いて、規定された速度で工作物を打撃することによって、振動
が再現可能に励起されることが重要である。

【００１４】励振エネルギもしくは（同じことを意味している）打撃速度の、ある程度の周
面で回避することができない散乱は、励振エネルギもしくは打撃速度に関する測
定データ、特に振動振幅の正規化によって補償することができる。

【００１５】工作物を打撃するための物体が、規定された振幅で変位される揺動体であると
有利である。

【００１６】揺動体が工作物に衝突し、この衝突によってはね返された後、工作物がまだ振
動している間に揺動体が工作物に小さなエネルギでの２回目の打撃を行うことを
回避するために揺動体はが停止させられると有利であり、こうして、測定が妨害
されなくなる。

【００１７】工作物の、励起された振動が干渉計を用いて測定されると有利である。この目
的のために、たとえばレーザ光線が２つの部分光線に分配される。両部分光線の
うちの一方は、工作物の表面領域に向けられる。工作物によって反射されたレー
ザ光線は、干渉のために他方の部分光線と共に移動させられ、干渉パターン、つ
まり干渉縞が評価される。こうして、工作物の振動特性に何らかの形で影響を与
えることなしに、工作物の、照射された表面領域の運動を高い精度で測定するこ
とができる。

【００１８】さらに、選択的にまたは補足的に、振動が、工作物から空気を通じて放射され
た音波に基づき、たとえばマイクロフォンを用いて測定されてもよい。

【００１９】本発明による方法を実施するための装置は、振動励起装置および振動測定装置
の他に、工作物のための、振動能を有する支承装置を有している。この支承装置
自体が振動能を有していることによって、工作物の振動が、所定の箇所で抑制さ
れることはなく、したがって、工作物の各箇所における欠陥を同じように検査す
ることができるということが保証されている。

【００２０】この支承装置が、工作物を３点で支持していると有利である。これによって、
工作物の振動能を最小限に抑えて、工作物を安定させて位置決めすることができ
る。

【００２１】支承装置が、たとえばアーム、柱体または突起の形の突出部を有していると有
利である。この突出部はゴム弾性的な材料から成っていて、工作物を支持してい
る。

【００２２】工作物に振動を励起するための簡単な手段は揺動体である。この揺動体を用い
て、正確に再現可能な励振を獲得するために、揺動体の最大限の変位を規定する
ストッパエレメントが設けられていることが望ましい。この装置の簡単な構成で
は、揺動体が、揺動軸を越えて上方へ延びる操作レバーを有している。オペレー
タは、揺動体をストッパエレメントに移動させるために操作レバーを傾倒させ、
次いで、解放することができるので、揺動体は工作物に衝突し得る。揺動体が工
作物を打撃した後、オペレータはさらに、工作物への第２の衝突を阻止するため
に、操作レバーをしっかりと把持することができる。

【００２３】本発明のさらなる特徴および利点は、図面に関連した、以下の実施例の説明か
ら知ることができる。

【００２４】以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。

【００２５】図１には側面図で、工作物に振動を励起するための装置が示してある。この振
動励起装置は、本発明による方法を実施するための装置の第１の部分を成してい
る。ベースプレート３上には、たとえばシリコーンから成る３つの柱体２が組み
付けられている。これらの柱体２は、検査したい工作物（ここではラジアルピス
トン噴射ポンプのカムリング）１をその周面付近の３点で支持している。さらに
、ベースプレート３はアーム４を支持している。このアーム４は揺動体６を、図
の平面に対して垂直な軸５を中心として回動可能に保持している。揺動体６は打
撃体８を有している。いま、この打撃体８は、図１に実線で示した位置で工作物
１に当接している。打撃体８は、たとえばばね鋼から成るフレキシブルなシート
９を介して軸５に結合されている。軸５の上方へ延びる操作レバー７はシート９
に固く結合されている。

【００２６】図１において反時計回り方向で操作レバー７を傾倒させることによって、揺動
体６は、図１に鎖線で示した位置へ到達する。この位置では、揺動体６の下端部
がストッパエレメント１０に当接している。このストッパエレメント１０は、揺
動体６の、最大限に可能な変位を規定している。この位置から揺動体６は解放さ
れ、次いで、正確に規定された再現可能な速度で工作物１に衝突する。この速度
は、柱体２上の工作物１の静止摩擦を克服しかつ柱体２上の工作物１を移動させ
るためには十分ではないように選択されている。したがって、揺動体６による打
撃よって、工作物１および柱体２には、予め正確に設定されたエネルギを有する
振動が励起される。

【００２７】工作物１への衝突の後に揺動体６が跳ね返り、引き続き工作物１へ２回目の打
撃が行われる前に、揺動体６はオペレータによって停止させられる。こうして、
揺動体６を用いての最初の打撃によって励起された振動は邪魔されることなしに
減衰していく。

【００２８】ストッパエレメント１０の位置は可変であってよく、これによって、たとえば
重量に関して異なる種々の工作物のために、様々な揺動体変位を再現可能に調整
することができる。

【００２９】工作物１の設置形式も可変であってよく、これによって、第２の衝突を直接に
回避することができる。

【００３０】１つの変化形によれば、ストッパエレメント１０に、種々異なる機能を有して
いてよい電磁コイルを組み付けることができる。いま、電磁コイルが、第１に測
定の開始前に、打撃体８をストッパエレメント１０に不動に保持しておくために
通電され得る。この通電は、電流が遮断され、したがって、揺動体６が、工作物
１に衝突するために解放されるまで続く。少し遅れてから、有利には、コイルが
再び通電され、これによって、コイルは磁気引力を、工作物１から跳ね返る揺動
体６に及ぼし、この揺動体６をストッパエレメント１０に引き戻すようになって
いる。

【００３１】図２には、本発明による方法を実施するための全装置が示してある。この場合
、図１に関連して説明した、振動を励起するための装置は概略的な平面図で示し
てある。

【００３２】たとえばヘリウム・ネオンレーザ（ＨｅＮｅレーザ）である連続波レーザ１１
が光線を放射する。この光線は、部分反射する鏡１２で２つの部分光線に分散さ
れる。これらの部分光線のうちの一方は、反射器（ここでは９０゜プリズム）１
３で反射され、最終的にセンサ１８へ到達する。また、第２の部分光線は、ベー
スプレート３上に組み付けられた柱体（図示せず）２上に配置されている工作物
１の側面に衝突する。リング状の工作物１の凸状の外面では、反射された光線が
扇状に分散され、この反射された光線の一部分が絞り１４を通過して、部分反射
する鏡１２に帰還し、そしてセンサ１８の方向へ反射される。

【００３３】センサ１８では、工作物１によって反射された光線が、反射器１３によって反
射された光線と重畳される。反射器１３は、２つの部分光線の光学的な移動距離
長さが、レーザ光線のコヒーレンス長さよりも大きくない分だけ異なるように位
置決めされており、これによって、干渉縞と呼ばれる干渉パターンがセンサ１８
で形成される。

【００３４】本来の測定が実施される前に、工作物１からセンサ１８に反射される光量を最
大にすることができる。このためには、反射器１３を有する干渉計アーム（Ｉｎ
ｔｅｒｆｅｒｏｍｅｔｅｒａｒｍ）が一時的にブロッキングされ、これによって
、センサ１８での干渉パターンの形成は阻止される。この場合、センサ１８の測
定信号は、工作物１によって反射された光量のための直接の量である。この光量
は、たとえばベースプレート３を、連続波レーザ１１から到来する光線の方向に
対して垂直に移動させることによってまたはベースプレート３を傾倒させること
によって最適化され得る。

【００３５】打撃体８によって工作物１に振動が励起されると、工作物１の外面がレーザ光
線の方向で往復運動し、これによって、鏡１２と、反射器１３とから形成されて
いる干渉計構造のアームにおける光学的な移動距離長さが常に変化する。移動距
離長さのこの変化によって、センサ１８で形成される干渉パターンが変化する。
この変化はセンサ１８によって検出され、このセンサ１８に接続された評価電子
装置によって処理される。

【００３６】評価電子装置は、第１にオシロスコープ１９を有している。このオシロスコー
プ１９は、センサ１８で形成された光度差を直接に表示し、こうして、工作物１
に励起された振動の経過の直接の特徴をオペレータに提供している。

【００３７】評価電子装置の、さらに重要な構成部分はコンピュータ２０である。このコン
ピュータ２０は、センサ１８からの、ＡＤ変換器（アナログ・デジタル変換器）
２１を介してデジタル化された光度値を受信する。また、コンピュータ２０は、
この光度値を工作物１の瞬時の変位に換算し、これに基づき、全ての振動の減衰
特性を算出するようにかまたは場合によっては、振動を個々のスペクトル成分に
分解し、このスペクトル成分の周波数ならびにスペクトル成分の時間的な特性を
検出するようにプログラミングされている。工作物１の、個々のスペクトル成分
に相当する振動モードは互いに結合されているので、これらの個々のスペクトル
成分の時間的な特性は極めて複雑であり得る。したがって、まず振動エネルギが
、対応する振動モードへ徐々に入力結合されるので、たとえば工作物に応じて、
個々のスペクトル成分の間にはうなりが発生し、工作物の打撃後には、個々のス
ペクトル成分の強度が徐々に増大し得る。また、個々のスペクトル成分の振幅、
周波数等は、たとえば高速フーリエ変換のような公知の処理技術を用いて簡単に
獲得することができ、測定された数値が、周知のような欠陥のない工作物におい
て予め検出された標準値と場合によって異なっていることに基づき、工作物の欠
陥が容易に推測され得る。コンピュータ２０に接続された表示器２２は評価の結
果を、たとえば、測定された周波数、減衰特性等の数値として表示する。当然な
がら、表示器２２は、工作物１の欠陥性または非欠陥性についての、コンピュー
タ２０によって下された決定も表示する。

【００３８】図３には評価電子装置の変化形が示してある。この場合、工作物１の振動は、
光学的に干渉計を用いた方法で検出されるのではなくて、マイクロフォン２３を
用いて音響学的に検出される。マイクロフォン２３によって供給された信号の処
理は、センサ１８によって供給された信号の場合とほぼ同じでありかつ同一の装
置１９〜２２を用いて実施される。工作物１の、音響学的な検査は、干渉計を用
いた方法に伴って行われてもよい。この場合、主として両変化形は、図２に示し
た構成で評価された光学的な信号が、工作物１の、局所的に制限された領域によ
ってしか得られないのに対して、音響学的な信号は、工作物１全てが関連してい
る、「平均された」信号であるという点で互いに異なっている。

【００３９】ここで、本発明による方法の実施を説明する。まず、オペレータが、検査した
い工作物（ここではカムリング）１をシリコーン製の柱体２上に位置決めする。
この柱体２はリングを３点で支持しており、これによって、リングの空間的な位
置が決定されている。必要な場合には、オペレータは、工作物１からセンサ１８
へ反射される光線の強度を最大にするためにベースプレート３の位置を調整する
。その後、オペレータは操作レバー７を用いて揺動体６をストッパエレメント１
０にまで変位させる。操作レバー７の解放と同時に、オペレータは、たとえばス
イッチを用いて、オシロスコープ１９と、ＡＤ変換器２１と、コンピュータ２０
とを有する振動測定装置を始動させる。この場合、コンピュータ２０は、揺動体
６の解放と、工作物１の振動の開始との間の時間を測定し、この時間が、見込ま
れた数値と極端に異なっている場合には測定がおそらく役に立たないという警告
を出力するような状態にある。

【００４０】変化形として上述したように、ストッパエレメント１０が電磁コイルを有して
いる場合には、測定装置の始動と、電磁コイルの電流の遮断とは、共通のスイッ
チを用いて行われ得る。

【００４１】次いで、コンピュータ２０は、センサ１８によって供給された光度値から、工
作物１の停止位置からの瞬時の変位ひいては振動の振幅を算出する。振幅を連続
的に監視、つまりモニタリングすることによって減衰時間が検出される。ここで
工作物１として使用されるカムリングの事前の測定によって、このカムリングが
、通常では８００ｍｓ付近の範囲内の減衰時間を有しているということが分かっ
た。したがって、コンピュータ２０には、測定された減衰時間が６００〜１５０
０ｍｓの間にある場合にカムリングを良品として評価することが予め設定される
。この場合、通常の数値からの下方へのずれに比べて、上方への著しく大きなず
れは許容される。なぜならば、長い減衰時間は一般的に、良好なかつ亀裂なしの
、しかも欠陥のない材料構造の兆候として見なされるからである。１５００ｍｓ
よりも大きな減衰時間が測定される場合には、おそらく測定ミスが考えられる。
このような場合には、測定は最初から繰り返すことができるかまたは当該のカム
リングが別の方法によって検査される。

【００４２】減衰時間が、１００〜４００ｍｓの間にある場合には、コンピュータ２０は、
カムリングが欠陥品であると決定する。１００ｍｓよりも短い減衰時間も同じく
測定ミスの兆候を示している。

【００４３】減衰時間が、４００〜６００ｍｓの間にある場合には、評価は完全には信頼で
きない。このような場合には、品質の低い工作物は簡単に拒絶される恐れがあり
、品質が比較的高い場合には、予めさらに別の方法で検査を実施することが経済
的であり得る。

【００４４】図４には、１チャージ３００個のカムリングの典型的な検査結果がグラフの形
で示してある。このグラフの軸線は、それぞれのカムリングの順序数を表してい
るかもしくは測定される減衰時間をｍｓで表している。主として大半のカムリン
グは、図の６００〜１０００ｍｓの間に示したハッチング帯内に属する減衰時間
、つまり、破線で示した、カムリングが良品であると見なされる６００〜１５０
０ｍｓの区間内に存在する減衰時間を有している。グラフ内に小さな十字３０で
示した個々のリングは、１００〜４００ｍｓの間の減衰時間を有していて、した
がって、欠陥品として抜き出される。

【００４５】図５には、２種類のチャージの、互いに寸法の異なるカムリングに関するモデ
ル検査の結果が示してある。グラフの軸線に関しては、水平方向にはカムリング
の順序数が示してあり、垂直方向にはカムリングの共鳴周波数がＨｚで示してあ
る。第１のチャージは、グラフのＩで示した領域に相当しており、第２のチャー
ジは、グラフのＩＩで示した領域に相当している。第１のチャージ内には、符号
３１で示した区分内で、欠陥のあるカムリングのグループが装入されている。こ
のグループ３１の各カムリングの測定値はグラフ内に小さな円で示してある。欠
陥のあるカムリングの、測定された共鳴周波数は激しく散乱し、たいてい第１の
チャージにとって一般的な、約３７５０Ｈｚの共鳴周波数よりも小さいというこ
とが分かる。領域Ｉ内の異常値３２は、欠陥のある個々のカムリングもしくは測
定ミスに起因している。さらに、第１のチャージ内には、第２のチャージの、小
さなグループ３３のカムリングが装入されている。このカムリングの共鳴周波数
は著しく高く、約４０５０Ｈｚである。第２のチャージもやはり、欠陥のあるカ
ムリングのグループ３４を有している。このカムリングの、小さな円によって示
した測定値は、本来のチャージに比べて激しく散乱していて、平均してより低い
位置にある。

【００４６】本発明によって、実際に任意の固形材料から成る工作物の品質検査をする方法
が僅かな手間で実施されるということが提供される。この場合、測定結果の評価
が簡単でかつ信頼でき、しかも、全ての方法が容易に自動化可能であり、したが
って、工作物の自動的な製造に難なく取り込むことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による方法を実施するための装置の、振動を励起するための装置を有す
る第１の部分の概略図である。

【図２】本発明による方法を実施するための、振動を測定するための装置を有する装置
の概略図である。

【図３】図２に示した装置の変化形の概略図である。

【図４】本発明の第１の構成による方法の結果を示すグラフである。

【図５】第２の構成による方法の結果を示すグラフである。

【符号の説明】

１工作物、２柱体、３ベースプレート、４アーム、５軸、
６揺動体、７操作レバー、８打撃体、９シート、１０スト
ッパエレメント、１１連続波レーザ、１２鏡、１３反射器、１４
絞り、１８センサ、１９オシロスコープ、２０コンピュータ、
２１ＡＤ変換器、２２表示器、２３マイクロフォン、３０十字、
３１グループ、３２異常値、３３グループ、３４グループ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者アンドレアスフレーデドイツ連邦共和国ゲルリンゲンリヒトホーフェンシュトラーセ 13 (72)発明者ロニーヤーンケドイツ連邦共和国ヘミンゲンホーホシュテッターシュトラーセ 17／１Ｆターム(参考） 2G047 AA05 BA04 BC04 CA03 EA10 EA13 GD01 GD02 GG10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】工作物の品質検査をする方法において、工作物に振動を励起
し、該振動の少なくとも１つのパラメータを測定し、該パラメータが、予め設定
された範囲内にある場合に工作物を良品として評価することを特徴とする、工作
物の品質検査をする方法。
【請求項２】振動振幅の時間的な展開および／または振動の周波数をパラ
メータとして使用する、請求項１記載の方法。
【請求項３】振動が、多数のスペクトル成分を有しており、振動の、種々
のスペクトル成分の強度分布および／またはスペクトル成分の時間的な展開およ
び／またはスペクトル成分の周波数をパラメータとして使用する、請求項１記載
の方法。
【請求項４】振動の減衰時間および／または振動のスペクトル成分の減衰
時間をそれぞれ測定し、減衰時間が、予め設定された１つの区間内にある場合に
工作物を良品として評価する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】減衰時間が、予め設定された第２の区間内にある場合に工作
物を欠陥品として評価する、請求項４記載の方法。
【請求項６】減衰時間が、予め設定された２つの区間外にある場合、工作
物を別の方法に基づき検査する、請求項５記載の方法。
【請求項７】所定の物体を用いて、規定された速度で工作物を打撃するこ
とによって振動を励起する、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】前記物体が揺動体（６）であり、該揺動体（６）を、規定さ
れた振幅で変位させかつ解放する、請求項７記載の方法。
【請求項９】測定されたデータを振動の励起エネルギに基づき正規化する
、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】振動を干渉計を用いて測定する、請求項１から９までのい
ずれか１項記載の方法。
【請求項１１】工作物から空気を通じて放射された音波に基づき振動を測
定する、請求項１から９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】請求項１から１１までのいずれか１項記載の方法を実施す
るための装置において、１つの振動励起装置（４，５，６）もしくは１つの振動
測定装置（１１〜１４，１８〜２２；２３，１９〜２２）と、工作物のための、
振動能を有する支承装置とが設けられていることを特徴とする、工作物の品質検
査をするための装置。
【請求項１３】前記支承装置が、工作物を３点で支持している、請求項１
２記載の装置。
【請求項１４】前記支承装置が、工作物を支持するための、ゴム弾性的な
材料から成る突出部（２）を有している、請求項１２または１３記載の装置。
【請求項１５】前記振動励起装置が、工作物を打撃するための揺動体（６
）であり、該揺動体（６）の最大の変位をストッパエレメント（１０）が規定し
ている、請求項１２から１４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１６】揺動体（６）が、揺動軸（５）を越えて上方へ延びる操作
レバー（７）を有している、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】前記振動測定装置が、工作物（１）を照射するためのレー
ザ（１１）と、干渉計構造（１２〜１４）とを有しており、該干渉計構造（１２
〜１４）が、レーザから直接受信された光線を、レーザ（１１）の、工作物（１
）の表面によって反射された光線と重畳させる、請求項１２から１６までのいず
れか１項記載の装置。
【請求項１８】工作物（１）から空気を通じて放射された音を記録するた
めのマイクロフォン（２３）が設けられている、請求項１２から１７までのいず
れか１項記載の装置。