JP2002533668A - 構造的に安定した赤外線ボロメーター - Google Patents
構造的に安定した赤外線ボロメーターInfo
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Abstract
Description
ーターに関する。
の抵抗変化に基づいたエネルギー検出器である。前記ボロメーター要素は、金属
や半導体材料から作られる。金属の場合、温度に応じて高くなる典型的な抵抗率
変化は、根本的に担体移動度の変化に起因するものである。高い抵抗率の半導体
ボロメーター要素では、温度に応じて自由担体密度が指数関数的に変化し、相対
的に大きい敏感度を得ることができる。しかし、ボロメーターに用いられる半導
体の薄膜製造は難しい。
UCTURAL STABILITY AND INTEGRITY」という名称の3層構造ボロメーター1を説明
する斜視図であり、図2は図1の3層構造ボロメーター1のA-A線における断面図で
ある。前記ボロメーター1は駆動基板レベル10、支持レベル20、1対のポスト40、
及び吸収レベル30を含む。
及び保護層16を有する。それぞれの接続端子14は、集積回路に電気的に接続され
、保護層16は基板12を覆っている。
られた1対の伝導線24を含む。支持橋脚22は1対のアンカー部22a、1対の脚部22b
及び高架部22cを含む。駆動基板レベル10に固定されたそれぞれのアンカー部22a
はビアホール(via hole)26を含み、これを介してそれぞれの伝導線24の一端は駆
動基板レベル10のそれぞれの接続端子14に電気的に接続されており、前記それぞ
れの脚部22bは高架部22cを支持し、その上の各伝導線24の他端は互いに電気的に
接続されていない。また、高架部22cは駆動基板レベル10と吸収レベル30の間の
熱交換を最小化する目的で、蛇行状をなすべく形成される。
形成された反射層34、及び吸収体32の上部に形成された赤外線吸収コーティング
38(以下、IR吸収コーティング38)を含む。前記反射膜34は金属からなり、透過さ
れた赤外線を四角形の吸収体32に戻すために用いられる。IR吸収コーティング38
は吸収効率を高めるために用いられる。
ポスト40の上部は吸収体32の中央部に取り付けられ、その下部は支持橋脚22の高
架部22cに取り付けられる。それぞれのポスト40は絶縁物質44に取囲まれており
、金属で作られた電管42を含む。前記電管42の上端がボロメーター要素36の一端
に電気的に接続され、下端は支持レベル20の対応する伝導線24に電気的に接続さ
れることによって、吸収レベル30のボロメーター要素36の両端は電管42、伝導線
24、及び接続端子14を介して駆動基板レベル10の集積回路に電気的に接続される
。
それに伴って電流及び電圧が変化する。変化した電流若しくは電圧が集積回路で
増幅され、増幅された電流若しくは電圧が検出回路(図示せず)によって読み取ら
れる。
放されることによる構造的な不安定性である。例えば、図3に示すように、四角
形状を有する吸収体32がその中心部でポスト40によって支持されるので、内部の
応力がその各々のコーナー部から矢印で示す向きに解放されようとするので、吸
収体32の全体的な形状を変形させ、赤外線ボロメーター1の構造的な完全性に悪
影響を与える。
とにある。
ーターは、基板及び1対の接続端子を含む駆動基板レベル、その端が駆動基板レ
ベルと固定される支持橋脚及び1対の伝導線を有する支持レベルと、吸収体及び
吸収体に取囲まれたボロメーター要素を含み、その変形防止のために側縁(side
edge)に沿ってまたはその近傍に溝が形成された吸収レベルと、吸収レベルと
支持レベルの間に位置し、それぞれが電管を有する1対のポストとから構成され
、それぞれのポストの上端が吸収体の下部中央部に、下端が支持橋脚に取り付け
られることによって、ボロメーター要素の両端がそれぞれの電管及び伝導線を介
してそれぞれの接続端子に電気的に接続されることを特徴とする。
面図である。
ポスト140及び吸収レベル130を含む。
14及び保護層116を有する。それぞれの金属製接続端子114は、基板112の上部に
位置し、集積回路に電気的に接続されている。例えば、シリコン窒化物(SiNX)で
作られた保護層116は基盤112を覆っている。
はシリコン室化酸化物(SiOXNY)のような絶縁物質で作られた支持橋脚122及びチ
タン(Ti)のような電気的に導体である物質で作られた1対の伝導線124を含む。前
記支持橋脚122は、1対のアンカー部122a、1対の脚部122b、及び1つの高架部122c
を含む。それぞれのアンカー部122aは前記駆動基板レベル110に固定されており
、ビアホール(via hole)126を含み、これを介して前記それぞれの伝導線124の一
端が駆動基板レベルのそれぞれの接続端子114に電気的に接続される。それぞれ
の脚部112bは高架部122cを支持し、前記高架部122cにおいて、各伝導線124の他
端は互いに電気的に接続されていない。また、高架部122cは蛇行状をなし、それ
により前記駆動基板レベル110と吸収レベル130の間の熱交換を最小化する。
32の下部に形成された反射膜134、及び吸収体132の上部に位置するIR吸収コーテ
ィング138を含む。吸収レベル130は側縁に沿って、またはその近傍に形成された
接続溝201を有する。溝201は、吸収レベル130が変形することを防止するべく一
体化されている。さらに詳しくは、吸収レベル130にその形成過程で集積した応
力が解放されることを妨げることで、赤外線ボロメーターが構造的に変形するこ
とを防ぐ。吸収体132は低い熱伝導率を有するシリコン窒化物(SiNX)、シリコン
酸化物(SiO2)またはシリコン窒化酸化物(SiOXNY)のような絶縁物質からなる。例
えば、アルミニウムまたは白金のような金属で作られた反射層134は、吸収体132
を通過した赤外線を吸収体132に戻すために用いられる。例えば、ブラックゴー
ルド(black gold)で作られたIR吸収コーティング138は、吸収効率を高めるため
に用いられる。本発明のボロメーター要素136は正の抵抗温度係数(TCR)を有する
物質、例えばチタンで作られている。
ここで前記それぞれのポスト140の上部は吸収体132の中央部に取り付けられ、下
部は支持橋脚122の高架部122cに取り付けられる。それぞれのポスト140は、例え
ばシリコン窒化物(SiNX)、シリコン酸化物(SiOX)、またはシリコン窒化酸化物(S
iOXNY)で作られた絶縁物質144に取囲まれており、金属、例えばチタン(Ti)で作
られた電管142を含む。それぞれの電管142の上端が対応するボロメーター要素13
6の一端に電気的に接続されており、下端は対応する支持レベル120の伝導線124
に電気的に接続されていることにより、吸収レベル130のボロメーター要素136の
両端は、前記電管142、伝導線124、及び接続端子114を介して駆動基板レベル110
の集積回路に電気的に接続されている。
、それに伴い電流及び電圧が変化する。変化した電流若しくは電圧が集積回路に
よって増幅され、増幅された電流若しくは電圧が検出回路(図示せず)によって読
み取られる。
に於いて吸収レベルに蓄積された応力の解放を妨げることで、赤外線ボロメータ
ーが構造的に変形することを防ぐので、赤外線ボロメーターが構造的に変形する
ことを防ぐ。
範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。
Claims (9)
- 【請求項1】 赤外線ボロメーターであって、 基板及び1対の接続端子を含む駆動基板レベルと、 前記駆動基板レベルにその端部が固定されている1つの支持橋脚及び1対の伝導
線を含む支持レベルと、 吸収体及び前記吸収体に取囲まれたボロメーター要素を含み、その変形防止の
ために溝が側縁(side edge)に沿ってまたはその近傍に形成された吸収レベル
と、 前記吸収レベルと前記支持レベルの間に位置し、それぞれが電管を含む1対の
ポストとから構成され、それぞれの前記ポストの上端が前記吸収体の下方中央部
に取り付けられ、その下端が前記支持橋脚に取り付けられることによって、前記
ボロメーター要素の両端がそれぞれ前記電管及び前記伝導線を介してそれぞれ接
続端子と電気的に接続されることを特徴とする赤外線ボロメーター。 - 【請求項2】 前記支持橋脚は1対のアンカー部、1対の脚部、及び1つの
高架部を含むことを特徴とする請求項1に記載のボロメーター。 - 【請求項3】 前記それぞれのアンカー部は前記駆動基板レベルに固定さ
れることを特徴とする請求項2に記載のボロメーター。 - 【請求項4】 前記それぞれのアンカー部はビアホールを含み、これを介
して前記それぞれの伝導線の一端が対応する接続端子に電気的に接続されており
、他端が対応する前記支持橋脚の前記高架部で電気的に接続されていないことを
特徴とする請求項2に記載のボロメーター。 - 【請求項5】 前記支持橋脚の前記高架部が蛇行状をなすことを特徴とす
る請求項2に記載のボロメーター。 - 【請求項6】 前記それぞれのポストの上端は前記吸収体の中央部に取り
付けられ、下端は前記支持橋脚の前記高架部に取り付けられることを特徴とする
請求項1に記載のボロメーター。 - 【請求項7】 前記吸収体の下部に形成された反射層をさらに含むことを
特徴とする請求項1に記載のボロメーター。 - 【請求項8】 前記吸収体の上部に形成されるIR吸収コーティングをさら
に含むことを特徴とする請求項1に記載のボロメーター。 - 【請求項9】 3層構造赤外線ボロメーターであって、 吸収体及び前記吸収体に取囲まれたボロメーター要素を有し、その内部に蓄積
された応力の解放を妨げるための溝を有することで、前記吸収レベルの変形を防
ぐことを特徴とするボロメーター。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/KR1998/000446 WO2000037907A1 (en) | 1998-12-18 | 1998-12-18 | Structurally stable infrared bolometer |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002533668A true JP2002533668A (ja) | 2002-10-08 |
JP3866040B2 JP3866040B2 (ja) | 2007-01-10 |
Family
ID=19531219
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000589917A Expired - Fee Related JP3866040B2 (ja) | 1998-12-18 | 1998-12-18 | 構造的に安定した赤外線ボロメーター |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1144967B1 (ja) |
JP (1) | JP3866040B2 (ja) |
DE (1) | DE69835037T2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007178323A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Toshiba Corp | 赤外線検出素子およびその製造方法と赤外線カメラ |
WO2009116496A1 (ja) * | 2008-03-17 | 2009-09-24 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器 |
WO2010079686A1 (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器 |
-
1998
- 1998-12-18 EP EP98959291A patent/EP1144967B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-12-18 JP JP2000589917A patent/JP3866040B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-12-18 DE DE69835037T patent/DE69835037T2/de not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009222585A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器 |
US8692348B2 (en) | 2008-03-17 | 2014-04-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Photodetector |
WO2010079686A1 (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-15 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器 |
JP2010161113A (ja) * | 2009-01-06 | 2010-07-22 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器 |
US8350350B2 (en) | 2009-01-06 | 2013-01-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1144967B1 (en) | 2006-06-21 |
EP1144967A1 (en) | 2001-10-17 |
DE69835037T2 (de) | 2006-10-12 |
JP3866040B2 (ja) | 2007-01-10 |
DE69835037D1 (de) | 2006-08-03 |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041102 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050701 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121013 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131013 Year of fee payment: 7 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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