JP2002528725A - ディスクベースのデータストリーミング機能を有する集積回路テスタ - Google Patents

ディスクベースのデータストリーミング機能を有する集積回路テスタ

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JP2002528725A
JP2002528725A JP2000578666A JP2000578666A JP2002528725A JP 2002528725 A JP2002528725 A JP 2002528725A JP 2000578666 A JP2000578666 A JP 2000578666A JP 2000578666 A JP2000578666 A JP 2000578666A JP 2002528725 A JP2002528725 A JP 2002528725A
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Abstract

(57)【要約】 集積回路テスタ(10)は、それぞれが各測定サイクル中にICデバイス(14)の個別のターミナルにおいて測定作業を実施する一組のテスタチャネル(Ch(1)…Ch(n))と、測定中にテスタチャネル(Ch(1)…Ch(n))に対するスキャンデータ又はプログラムデータを読み出すためのリムーバブルディスクを具有するディスクドライブ(20)を有する。各テスタチャネルは、一組の命令を記憶する命令メモリ(30)を有し、そして、各テスタチャネルは測定中にその記憶された命令を実行する。命令のうちの幾つかは、次の測定サイクル中にDUTターミナルにおいてテスタチャネルが実行すべき特定の測定作業を直接的に示すベクタデータを含んでいる。各命令のうちの他のものは、テスタチャネルに命じて、特定の数(N)のシリアルデータビットがディスクドライブ(20)から読み込まれたときにそれらを獲得し、N個のシリアルデータビットのうちの対応するもののステートによって示される次のNテストサイクルのそれぞれの期間中において作業を実行する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】発明の背景 発明の技術分野 本発明は、一般的には集積回路テスタに関するが、より詳細には、測定中のデ
ータ源としてディスクドライブを使用するテスタに関する。
【0002】 関連技術の説明 代表的な集積回路(IC)テスタは、測定されるべきICのそれぞれのターミ
ナルに対して個別のチャネルを有する。それぞれのチャネルは、ICターミナル
に測定信号を供給するか、若しくは、前記ターミナルに現れるIC出力のステー
トをサンプリングしてそのステートを決定するピンエレクトロニクス回路を有す
る。代表的なICテスタは、測定を連続する測定サイクルで構成するが、各測定
サイクルに先立って各チャネルのピンエレクトロニクス回路は測定サイクル中に
ピンエレクトロニクス回路が実行すべき測定作業を参照する入力「ベクタ」(命
令)を受信する。各テスタチャネルは、また、測定中にローカルなピンエレクト
ロニクス回路に供給されるべき一連のベクタを記憶するためのベクタメモリも有
する。テスタはプログラムされて、適切なベクタシーケンスを各チャネルのベク
タメモリにロードする。測定中、シーケンサーが逐次各チャネルのベクタメモリ
にアドレスして、それが各測定サイクルに対して一つのベクタを読み出し、それ
をピンエレクトロニクス回路に転送するようにする。
【0003】 通常の入出力ターミナルに加えて、幾つかのICは、また、「スキャン」ター
ミナルも有するが、それは測定中のあるポイントでテスタを稼働して内部ICノ
ードの確認されたステートにする。テスタが適切なシリアルデータシーケンスを
ICスキャンターミナルのうちの一つに供給したとき、ICは出力データシーケ
ンスを他のICスキャンターミナルに生成するが、そのデータシーケンスは各種
の内部ICノードのステートを示す。様々な内部ノードの各ステートが確認され
るべきポイントにIC測定が到達したとき、通常のIC入力ターミナルをドライ
ブするテスタチャネルは、その出力測定信号を特定のステートに保持するが、一
方、スキャンターミナルにアクセスしているチャネルは入力されたスキャンデー
タをICに供給して結果としてのIC出力スキャンデータを獲得する。
【0004】 通常の測定サイクル中は、スキャンターミナルにアクセスしている各テスタチ
ャネルは「アイドル」状態である。なぜならば、それらが入力スキャンデータを
ICに送らないし、ICからも出力スキャンデータを獲得しないからである。し
かし、スキャンターミナルにアクセスしている各チャネルは、それでもなお、通
常の各測定サイクル中にはそれを適切なステートに保持するために、それぞれの
測定サイクル中に入力ベクタを必要とする。従って、スキャンターミナルにアク
セスしているチャネルのためのベクタメモリは、チャネルに対してスキャン測定
サイクル中に何をすべきかを知らせるベクタを提供するだけではなく、その上に
全ての通常の測定サイクルのためのベクタも提供しなくてはならない。スキャン
測定サイクル中においては、通常のIC入出力にアクセスしているテスタチャネ
ルが決められたステートにIC入力信号を単純に保持してIC出力信号のサンプ
リングを停止するという点で、前記テスタチャネルは「アイドル」状態である。
にもかかわらず、それぞれのそのようなIC入力ターミナル又は出力ターミナル
にアクセスしているテスタチャネルは、それでもなお、各スキャン測定サイクル
中にそれに何をすべきかを命じる入力ベクタを必要としている。従って、テスタ
チャネルが通常のIC入出力ターミナル又はスキャンターミナルにアクセスして
いるか否かにかかわらず、そのベクタメモリは全ての通常の測定サイクルや全て
のスキャン測定サイクルのベクタを記憶してそれを提供しなければならない。測
定が多くの通常の測定サイクルと多くのスキャン測定サイクルの双方を有する場
合、ベクタメモリは大規模にならざるを得ない。
【0005】 フィールドプログラマブルゲートアレイのようなプログラマブル論理デバイス
(PLD’s)は、特別のプログラミング入力ターミナルに加えられるデータシ
ーケンスをプログラムすることによって、各種の論理操作を実行するようにプロ
グラムされている。ICテスタがPLDを測定するとき、それは一つのテスタチ
ャネルを使用して一連のプログラミングデータをプログラミング入力ターミナル
に供給してPLDをある所望の方法でプログラムし、そして、PLDの通常のI
C入出力ターミナルにアクセスしているテスタチャネルを使用してその論理測定
をする。完全にPLDを測定するためには、テスタはPLDを幾つかの異なる論
理動作をするようにプログラムされ、そして、プログラムされるたびにPLDの
論理動作を測定する。
【0006】 プログラミングデータをPLDのプログラミング入力に供給する方法は、スキ
ャンデータをICスキャンターミナルに提供することと同じである。テスタがシ
リアルデータストリームを、PLDプログラミングターミナルに供給するか、又
は、ICスキャン入力ターミナルに供給するかにかかわらず、全てのチャネルの
ベクタメモリは全てのプログラミングサイクル中に、又は、スキャンサイクル中
に、そして、通常の測定サイクル中にもベクタを提供しなくてはならない。
【0007】 ベクタメモリを大規模にしてしまう要求を少なくする一つの方法は、各チャネ
ルに個別のシーケンサを提供して測定中に何度もベクタのフローを停止すること
ができるようにすることであった。例えば、測定の最初のNサイクルが通常の測
定サイクルであり、測定の次のMサイクルがスキャン測定サイクルであるとする
。第1の測定サイクル中に、それぞれのチャネル内のシーケンサが前記チャネル
のベクタメモリの第1のアドレスをリードアドレスして、それがローカルなピン
エレクトロニクス回路にベクタを読み出すようにする。スキャンターミナルにア
クセスしているチャネルにおいては、そのベクタはピンエレクトロニクス回路に
命じてスキャンターミナルを通常の測定作動にとって適切なステートにする。次
のN−1回の測定サイクルにおいては、スキャンターミナルにアクセスしている
チャネルのそれぞれのシーケンサが単純にそのベクタメモリを同じアドレスに保
持して、第1のベクタメモリのアドレスのベクタが繰り返しピンエレクトロニク
ス回路に送られるようにする。その間に、最初のN回の測定サイクルにおいては
、通常のIC入出力ターミナルにアクセスしている各チャネルのシーケンサは引
き続き通常の方法でそのローカルベクタメモリのアドレスをインクリメントして
、それが一連のベクタをピンエレクトロニクス回路に提供するようにする。N+
1回目の測定サイクルでは、スキャンターミナルにアクセスしている各チャネル
内のシーケンサがそれらのベクタメモリのアドレスをインクリメントし始め、そ
れぞれのピンエレクトロニクス回路がスキャン測定を実行することを始めるよう
にする。通常のIC入力/出力ターミナルにアクセスしている各チャネル内のシ
ーケンサはそれらのベクタメモリをインクリメントすることを停止して、スキャ
ン測定のMサイクル中にそれらのピンエレクトロニクス回路がメモリアドレスN
+1でベクタを引き続き受信するようにする。このようなテスタアーキテクチュ
アはまたPLDを測定することに関連しても有効である。なぜならば、シーケン
サがプログラミングサイクル中は通常のIC入力/出力ターミナルにアクセスし
ている各チャネル内でベクタのフローを一時停止し、更に、前記シーケンサが論
理測定サイクル中もPLDプログラミングターミナルにアクセスしている各チャ
ネル内でベクタのフローを停止することができるからである。
【0008】 PLDが大規模になったとき、PLDに供給されねばならないプログラミング
データの量は非常に大きくなり、かつてプログラミングされたPLDを測定する
ために必要であったベクタよりもより大きな記憶容量が必要となる。幾つかの集
積回路テスタは通常の測定サイクルにとって必要なベクタを保持するために十分
なほど大きなベクタメモリをチャネルに提供し、更に、スキャンデータ又はプロ
グラミングデータを記憶する大きな中央のメモリを提供する。測定のスキャン相
又はプログラミング相においては、バスが、大きな中央のメモリから読み出され
たスキャンデータ又はプログラミングデータを被測定デバイスのスキャン又はプ
ログラミングターミナルにアクセスしている(各)テスタチャネルに転送する。
通常の測定サイクル中は、全てのチャネルは通常の方法でそのローカルベクタメ
モリからベクタを獲得する。
【0009】 中央のメモリは、各チャネルに対してスキャン又はプログラミングデータを生
成するように命じるのに必要なベクタシーケンスを直接に記憶するよりもむしろ
、各チャネルが被測定ICのスキャン又はプログラミングターミナルに提供すべ
き一連のスキャン又はプログラミングデータビットを直接記憶する。スキャン又
はプログラミングデータがテスタチャネルに到達したとき、デコーダが前記デー
タのそれぞれのビットを、ローカルなピンエレクトロニクス回路がスキャン又は
プログラミングデータビットをICに送るのに適切なベクタに変換する。ピンエ
レクトロニクス回路に命じて単独のスキャン又はプログラミングデータビットを
発生するためには、複数ビットのベクタが必要であるので、中央のメモリにベク
タを記憶するよりもスキャン又はプログラミングデータを記憶することの方がよ
り有効である。
【0010】 ICとPLDとそれらが測定される方法がより複雑となる場合には、実際的で
はないほどの大規模な中央メモリが各チャネルにスキャン又はプログラミングデ
ータを供給するのに必要とされた。必要なのは、非常に多量のスキャン又はプロ
グラミングデータを効率よく記憶してそれらを集積回路テスタの各チャネルに供
給するシステムである。
【0011】発明の要約 本発明は、スキャン若しくはプログラミングターミナルと通常の信号入出力タ
ーミナルを有するタイプの集積回路(IC)を測定するためのICテスタに関す
る。
【0012】 本発明に関する集積回路(IC)テスタは、それぞれが各測定サイクル中に被
測定ICデバイス(DUT)の個別のターミナルにおいて測定作業を実施する一
組のテスタチャネルを有する。そのテスタは、また、測定中にテスタチャネルに
対してスキャンデータ又はプログラミングデータを読み出すためのリムーバブル
ディスクを具有するディスクドライブを有する。各テスタチャネルは、一組の命
令を記憶する命令メモリを有し、そして、各テスタチャネルが測定中にその記憶
された命令を実行する。その命令のうちの幾つかは、次の測定サイクル中にDU
Tターミナルにおいてテスタチャネルが実行すべき特定の測定作業を直接的に示
すベクタデータVECTORを含んでいる。各命令のうちの他のものは、テスタ
チャネルに命じて、ディスクドライブから特定の数(N)のシリアルデータビッ
トが読み込まれたときにそれらを獲得し、N個のシリアルデータビットのうちの
対応するもののステートによって示される次のNテストサイクルのそれぞれの期
間中において作業を実行する。
【0013】 本明細書の結論部分は本発明の主題を特に指摘し明確に権利を主張している。
しかし、当該技術分野において通常の技量を有する者は、同じ参照符号が同じ部
材を指し示している添付の図面を参照して明細書の残りの部分を読むことによっ
て、本発明の構成と操作方法の双方を、さらにその効果と目的とを併せて、最も
よく理解する。
【0014】好適な実施の形態の説明 テスタアーキテクチュア 図1は、本発明に関する集積回路(IC)テスタ10をブロック図形式で図示
している。テスタ10は、それぞれが測定中に被測定ICデバイス(DUT)1
4の個別のターミナルにおいて測定作業を実施するN個一組のテスタチャネルC
H(1)−CH(N)を有する。測定は一連の測定サイクルで構成されており、
それぞれの測定サイクル中に各チャネルCH(1)−CH(N)はDUT入力信
号を特定のステートにドライブするか、若しくは、DUT出力信号をサンプリン
グしてそのステートを決定する。
【0015】 テスタ10は、一組の論理信号入出力ターミナルに加えて、一組の「スキャン
」ターミナルを有するタイプのDUTを測定するように調整されているが、前記
スキャンターミナルは別の方法では通常のDUT出力ターミナル経由でアクセス
できないようにして、テスタに内部DUTノードのステートを突き止めることを
可能にさせるものである。テスタ10が適切なシリアルデータシーケンスをDU
Tのスキャンターミナルの一つに供給するときで、通常のDUT論理信号入出力
ターミナルを決められたステートに保持している間は、DUT14はそのスキャ
ンターミナルの他のものに様々なDUT内部ノードのカレントステートを示す出
力データシーケンスを生成する。テスタ10がスキャンターミナルを有するDU
Tを測定するとき、そこには2つのタイプの測定サイクルがある。「論理測定」
サイクル中は、通常のDUT入力/出力ターミナルにアクセスするテスタチャネ
ルはDUTを測定信号で作動させてその出力信号を監視してその応答を測定する
。スキャンターミナルにアクセスする各テスタチャネルは、それらが実際にDU
Tに入力スキャンデータを供給しないし、DUTによって生成された出力スキャ
ンデータを監視しないという点で、アイドル状態である。「スキャン」サイクル
中は、通常のターミナルにアクセスするテスタチャネルは、スキャンターミナル
にアクセスしているテスタチャネルが入力スキャンデータをDUT14に供給す
るか、又は、DUT14から出力スキャンデータを獲得している間は、アイドル
状態である。
【0016】 テスタ10は、また、一組の入出力ターミナルに加えて、プログラマブル論理
デバイス(PLD)が実行すべき論理を定義するシリアルプログラミングデータ
を受信するための一又はそれ以上のプログラミングターミナルを有するタイプの
プログラマブル論理ゲートアレイのようなPLDを測定するようにも調整されて
いる。PLDを測定するときは、測定が連続するプログラミング測定サイクルと
論理測定サイクルで構成されている。それぞれのDUTプログラミングサイクル
中は、DUTプログラミングターミナルにアクセスしているテスタチャネルは、
DUTの論理信号入出力ターミナルにアクセスしているテスタチャネルがアイド
ル状態である間は、シリアルプログラミングデータのビットをDUTに供給する
。DUT論理測定サイクル中は、プログラミングターミナルにアクセスしている
テスタチャネルは、DUT入出力ターミナルにアクセスしているテスタチャネル
がそれらの論理測定作業を実行している間は、アイドル状態である。
【0017】 テスタ10は、また、テスタチャネルCH(1)−CH(N)に加えて、ホス
トコンピュータ16と、システムディスクドライブ17と、ディスクコントロー
ラ18と、リムーバブルディスク22を具有するディスクドライブ20を有する
。ディスクドライブ17は、ホストコンピュータ16用のオペレーティングシス
テムと他のソフトウェアを格納する。それぞれの論理測定サイクル中、DUT1
4の入力ターミナル又は出力ターミナルにアクセスしているそれぞれのテスタチ
ャネルCH(1)−CH(N)は、それに測定サイクル中に何をなすべきかを命
じる命令を必要とする。ディスク22は、測定中にDUT14のターミナルにア
クセスすべきそれぞれのテスタチャネルCH(1)−CH(N)に対する個別の
組の命令を記憶している。測定のためにテスタチャネルCH(1)−CH(N)
をプログラムするために、ホストコンピュータ16は、ディスクコントローラ1
8に信号を送ってディスク22から各テスタチャネルCH(1)−CH(N)に
対する命令を読み込み、そして、従来式のメモリバス24を介してそれらの命令
をテスタチャネル内のアドレス可能な命令メモリに書き込むようにする。そして
、ホストコンピュータ16は、開始信号STARTを全てのチャネルCH(1)
−CH(N)に同時に送って、それらに測定を開始するように命じる。その後、
それぞれのチャネルCH(1)−CH(N)はそのローカルな命令メモリ内に記
憶された命令を読み込んで実行し、各測定サイクルの最中にそれが何をすべきこ
とになっているかを確定する。測定中、中央のクロック信号発生器26は、各チ
ャネルの作業を同期化するために周期的なマスタクロック信号(MCLK)を各
チャネルCH(1)−CH(N)に供給する。
【0018】 チャネルのアーキテクチュア 図2は、テスタチャネルCH(1)をより詳細なブロック図形式で図示してい
る。各テスタチャネルCH(2)−CH(N)も同様である。図2に関連して、
チャネルCH(1)は、一連の命令を記憶するためのアドレス可能な命令メモリ
30と、図1のディスクコントローラ18が命令をメモリバス24を介して命令
メモリ30に書き込むことを可能にする従来式のメモリコントローラ32を有す
る。測定開始の信号を送るために、ホストコンピュータ16は開始信号STAR
Tをパルス化して入力をステートマシーン34に提供する。タイミング回路36
は、「周期的クロック」信号(PCLK)をステートマシーン34に入力として
供給する。タイミング回路36はマスタクロック信号(MCLK)をタイミング
基準として受信し、各測定サイクルの開始をはっきりと示すためにPCLK信号
を周期的にパルス化する。
【0019】 開始信号STARTパルスを受信した後のPCLK信号の最初のパルスの時に
、ステートマシーン34はメモリコントローラ32への最初の命令信号FIRS
T_INST入力をパルス化する。このことはコントローラ32に命じて、命令
メモリ30のアドレス0に記憶されていた10ビットの命令をアドレス呼び出し
する。命令はステートマシーン34への入力として提供される2ビットのオプコ
ードと、マルチプレクサ37へ入力として提供される8ビットのオペランドを含
んでいる。マルチプレクサ37は8ビットの入力を3つ有し、各測定サイクルの
開始の直前にその8ビット入力のうちの一つをベクタデータ入力「VECTOR
」としてフォーマッティング回路38に転送する。PCLK信号は、測定サイク
ルの開始時点で、ベクタデータVECTORをフォーマッティング回路38に同
期読み出しする。このベクタVECTORは、測定サイクル中にチャネルCH(
1)がDUTターミナルで実行すべき測定作業を示している。ベクタVECTO
Rは、測定サイクルのある時点において、チャネルがDUTターミナルへの測定
信号入力をハイ論理レベルか、ロー論理レベルか、若しくは、第3のステートの
いずれかにドライブすべきであることが可能である。あるいは、ベクタVECT
ORは、測定サイクルのある時点において、チャネルがDUT出力信号をサンプ
リングしてそれが所定のステートにあるのか否かを決定すべきであることを示す
【0020】 ある特定の時点において、チャネルがDUTターミナルへの測定信号入力をハ
イ論理レベルか、又は、ロー論理レベルか、若しくは、第3のステートにドライ
ブすべきであることをベクタVECTORが示している場合、フォーマッティン
グ回路38が、ベクタVECTORによって示された測定サイクル中の時点でド
ライブハイ信号(DH)パルス又はドライブロー信号(DL)パルス若しくは第
3のステートの信号(Z)のパルスをピンエレクトロニクス回路40に送る。フ
ォーマッティング回路38は、タイミング基準としてタイミング回路36によっ
て生成された一組のタイミング信号TIMINGを使用する。タイミング信号T
IMINGは周期的クロック信号PCLKと同じ周波数を有してはいるが位相的
に分散されており、それらはそれぞれの測定サイクルをその間に測定作業が実行
される幾つかのタイムスロットに分割する。ピンエレクトロニクス回路40はD
H又はDL若しくはZ信号パルスに応答して、DUTターミナルを適切なステー
トにドライブする。
【0021】 ピンエレクトロニクス回路40は、また、引き続きDUTターミナルに現れる
DUT出力信号をハイ及びロー論理レベルと比較し、そして、信号がハイ論理レ
ベルを上回っているか、又は、ロー論理レベルを下回っているかを示す一対の信
号CHとCLを生成する。ベクタVECTORが、測定サイクルのある時点にお
いて、チャネルがDUT出力信号をサンプリングしてそれが所定のステートにあ
るか否かを決定すべきであることを示している場合、フォーマッティング回路3
8が適切な時点でCH信号とCL信号を調べて、それらをベクタデータVECT
ORによって示された所定のステートと比較し、そして、CH信号とCL信号が
所定のステートでない場合にはいつでもホストコンピュータ16に不合格信号F
AILパルスを転送する。
【0022】 それぞれの通常の測定サイクルの開始に先立って、ステートマシーン34はメ
モリコントローラ32への次の命令信号NEXT_INST入力をパルス化して
、それが命令メモリ30のアドレスをインクリメントするようにして、それが記
憶された次の命令を読み出すようにする。ステートマシーン34への入力として
提供された2ビットのオプコードは、次の測定サイクル中のステートマシーン3
4の動作モードを示している。命令メモリ30のそれぞれの10ビットの命令出
力のうちの可能な4つの2ビットのオプコード値が以下にリストされている。
【0023】 命令の組 「00」オプコードはステートマシーン34を「通常のサイクル」モードにす
るが、そこでは、PCLK信号の次のパルスに応答して、ステートマシーン34
はメモリコントローラ32へ次の命令NEXT_INSTのパルスを送って、命
令メモリ30のリードアドレスをインクリメントし、そして、マルチプレクサ3
7への制御信号入力(SELECT)を設定して、次の測定サイクルのためにベ
クタVECTOR入力として命令メモリ30の8ビットオペランド出力をフォー
マッティング回路38へ通過させるようにする。
【0024】 メモリ30の命令出力内の「01」オプコードはステートマシーン34を「シ
リアル」モードにする。付随する8ビットの命令オペランドは後続する(256
までの)シリアルモードの測定サイクルの数Nを示している。ステートマシーン
34はそのオペランドをカウンタ42にロードし、スキャンデータバス44上に
現れる12ビットの「スキャン」データ値のうちの選択されたビット数Mをパラ
レルイン/シリアルアウト シフトレジスタ46にロードし、そして、スキャン
信号SCANをパルス化して、ディスクコントローラ18に命じて、次の12ビ
ットのスキャンデータワードをディスク22からスキャンデータバス44上に読
み出すようにする。その後、PCLKの次の各Mサイクルにおいて、ステートマ
シーン34はシフトレジスタ46からスキャンデータのビットをエンコーダ48
にシフトする。エンコーダ48はスキャンビットをマルチプレクサ37の入力へ
供給される8ビットのベクタVECTORに変換する。ステートマシーン34は
マルチプレクサ37を設定して、エンコーダ48の出力ベクタVECTORをフ
ォーマッティング回路38へ通過させるようにする。ステートマシーン34は、
また、各PCLK信号パルスの後でカウンタ42を同期読み出しして、カウンタ
42がそのカウントをデクリメントするようにする。一つPCLK信号のM番目
ごとに、ステートマシーン34はシフトイン信号SHIFT_INをパルス化し
て、バス44上の12ビットのスキャンデータワードの次のMビットをシフトレ
ジスタ46にロードし、そして、図1のディスクコントローラ18に信号を送っ
てスキャンデータバス44上に次のスキャンデータワードに置くようにする。カ
ウンタ42のカウントが0に達したとき、ステートマシーン34は次の命令信号
NEXT_INSTをパルス化してメモリコントローラに命令メモリ30のアド
レスをインクリメントするように命じ、次の測定サイクルのための命令を読み出
すようにする。
【0025】 メモリ30の命令出力内の「10」オプコードはステートマシーン34を「一
時停止」モードにする。このモードは、チャネルがNサイクル中において単一の
ステートのままにすべき時、例えば、他のチャネルがシリアルモードで作動中で
あるときに使用される。8ビットのオペランドは(256サイクルまでの)後続
する一時停止サイクル数Nを示している。ステートマシーン34はそのオペラン
ドをカウンタ42にロードし、そして、マルチプレクサ37を設定して「一時停
止」ベクタHALTをフォーマッティング回路38へ通過させるようにする。一
時停止ベクタHALTは、フォーマッティング回路38に命じてDUTピンを適
切なハイ又はロー若しくは第3のステートに設定する。そして、ステートマシー
ン34はPCLK信号の各パルスに対してカウンタ42を同期作動させ、そして
、次の命令信号NEXT_INSTをパルス化して命令メモリ30から次の命令
を得る前にカウンタ42が0にカウントダウンするまで待機する。
【0026】 「11」オプコードはステートマシーン34を「停止」モードにするが、そこ
ではそれは図1のホストコンピュータ16への停止制御信号STOP入力をパル
ス化して測定が完了したことを示す。そして、ステートマシーン34は、次の開
始信号STARTのパルスが新たな測定開始の信号を送るまで待機している。
【0027】 制御データ 測定前にそれぞれのチャネルCH(1)−CH(N)に命令を供給し、更に、
測定中に様々なチャネルにスキャンデータを供給することに加えて、ディスク2
2は、また、制御データを各チャネルに供給してチャネルの様々な作動特性を設
定する。測定開始前に、図1のディスクコントローラ18がディスク22からチ
ャネル命令を読み出してそれらを各チャネルCH(1)−CH(N)の命令メモ
リ30に書き込んだとき、ディスクコントローラは、また、ディスク22から各
チャネル用の制御データを読み込み、そして、その制御データをメモリバス24
とメモリコントローラ32を介してチャネル内の一組のアドレス可能な制御レジ
スタ50(図2)に書き込む。レジスタ50に格納された制御データはシフトレ
ジスタ46に12ビットのスキャンデータワードのうちシフトインするのはどの
Mビットであるかを知らせる。そのチャネルが測定中にスキャンデータを使用す
るチャネルだけである場合にはMは12であり、そのチャネルのシフトレジスタ
46がそれぞれのシフトイン信号SHIFT_INのパルスに応答して全ての1
2ビットのスキャンデータをシフトインする。例えば、4つのチャネルが測定中
にスキャンデータを使用している場合、制御データはそれぞれのチャネルのシフ
トレジスタ46に命じて、12ビットスキャンデータの特定の3つの組をシフト
インする。制御データは、また、何回スキャンビットがシフトインされているか
をステートマシーン34に知らせて、ステートマシーン34が連続するシフトイ
ンパルスSHIFT_INの間で待機するのは何回の測定サイクルであるのかを
判るようにする。
【0028】 制御レジスタ20に格納された制御データは、また、エンコーダ48がレジス
タ46のスキャンデータビット出力をどのようにしてベクタデータVECTOR
に変換するのかを決定し、それによって、シフトレジスタ46からシフトアウト
されたスキャンデータビットの2つのステートのそれぞれに応答してチャネルが
行う作動を制御する。レジスタ50内の制御データは、また、マルチプレクサ3
7への一時停止ベクタ入力HALTの値を設定して、チャネルが一時停止モード
にある間にDUTターミナルにおいて行う作動を制御する。制御データは、また
、DUT入力信号をドライブするとき、又は、DUT出力信号のステートを確認
するときにピンエレクトロニクス回路40が使用するハイ論理レベルとロー論理
レベルを設定する。
【0029】 レジスタ50に格納された制御データは、また、タイミング回路36に入力を
提供して、通常モードの作動中の周期的クロックPCLKの周波数を定義し、更
に、シリアル又は一時停止モードの動作中の周期的クロックPCLKの周波数を
定義する。シリアル又は一時停止モードの動作中、ステートマシーン34はタイ
ミング回路36への交替周波数信号(ALT_FREQ)入力をアサートし、タ
イミング回路がPCLK周波数を示されたシリアル/一停止モードのレベルに設
定するようにする。通常モードの動作中、ステートマシーン34はALT_FR
EQ信号をデアサートして、タイミング回路36がPCLK周波数をその通常モ
ードのレベルに設定する。したがって、通常の測定サイクルの周波数が比較的に
ハイであるときは、ディスクコントローラ18がスキャンデータビットをそれを
必要としているチャネルに送ることができる周波数を超えないように、タイミン
グ回路36はシリアル又は一時停止モードの動作中にPCLKクロック周波数を
スローダウンするようにプログラミングされている。
【0030】 スキャンテスト スキャンターミナルを有するDUTを測定するとき、スキャンターミナルにア
クセスしている各テスタチャネルの命令メモリ30に記憶された一連の命令は、
シリアルモードと一時停止モードの間で前記チャネルを交替する。通常の入力タ
ーミナル又は出力ターミナルにアクセスしている各テスタチャネルの命令メモリ
30に記憶された一連の命令は、通常モードと一時停止モードの間で交替する。
スキャンターミナルがアクティブである測定の一部期間中、それらのスキャンタ
ーミナルにアクセスしているチャネルはシリアルモードで動作するが、一方、他
のDUT入力/出力ターミナルにアクセスしているチャネルは一時停止HALT
モードで動作する。DUT入力/出力ターミナルがアクティブである測定の一部
期間中、スキャンターミナルにアクセスしているチャネルは一時停止モードで動
作するが、一方、他のDUT入力/出力ターミナルにアクセスしているチャネル
は通常モードで動作する。
【0031】 DUTプログラミング プログラミング入力ターミナルを有するPLDのようなDUTを測定するとき
は、プログラミングターミナルにアクセスしている各テスタチャネルの命令メモ
リ30に記憶された一連の命令はシリアルモードで動作してプログラミングデー
タをDUTに提供するが、一方、他のDUT入力/出力ターミナルにアクセスし
ているチャネルは一時停止HALTモードで動作する。DUT論理が測定されて
いる測定の一部期間中、プログラミングターミナルにアクセスしているチャネル
は一時停止モードで動作するが、一方、他のDUT入力/出力ターミナルにアク
セスしているチャネルは通常モードで動作する。
【0032】 DUTの各ターミナル毎に一つずつのチャネルを有するICテスタが前記のよ
うに説明されてきた。本発明に関して、テスタは、測定前に命令を各チャネルに
供給するための、そして、測定中に各種のテスタチャネルにICスキャンデータ
又はDUTプログラミングデータを提供するためのリムーバブルディスクを備え
たディスクドライブを有する。ディスクドライブは安価に大量のデータを記憶す
ることができるので、本発明のディスクドライブの使用は、大量のスキャンデー
タ又はプログラミングデータを高価なメモリにまず記憶する必要なく、テストチ
ャネルが測定中にDUTにそのスキャンデータ又はプログラミングデータを供給
することを可能にする。前記明細書は本発明の好適な実施の形態を記載してきた
ものであるが、当該技術分野において通常の技量を有する者、本発明から逸脱す
ることなく、そのより広範な諸相において前記の好適な実施の形態に多くの改変
をなすことが可能である。したがって、添付の特許請求の範囲は、本発明の真の
範囲や精神の範囲内にあるそのような改変を全て保護することを意図したもので
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に関する集積回路(IC)テスタをブロック図形式で図示している。
【図2】 図1のテスタの代表的なチャネルをブロック図形式で図示している。
【手続補正書】特許協力条約第34条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成12年8月25日(2000.8.25)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれが各測定サイクル中に被測定ICデバイス(DUT
    )の個別のターミナルにおいて測定作業を実施する複数のテスタチャネルと、 データを記憶して、前記テスタチャネルのうちのいずれか一つに対してデータ
    を読み出すためのディスクドライブを有する集積回路(IC)テスタであって、 それぞれのテスタチャネルが一組の命令を記憶するための命令メモリを有し、 それぞれのテスタチャネルが測定中にその記憶された命令を実行し、 前記命令のうちのあるものが、実行テスタチャネルが測定サイクル中にDUT
    ターミナルで実行すべき特定の測定作業を示すベクタVECTORを有し、更に
    、 実行テスタチャネルがディスクドライブからカレントに読み出されるデータを
    獲得すべきであることと該獲得されたデータによって示された作業を実行すべき
    であることを前記命令のうちの他のものが示すICテスタ。
  2. 【請求項2】 前記ディスクドライブがリムーバブルディスクドライブであ
    ることを特徴とする前記請求項1に記載のICテスタ。
  3. 【請求項3】 前記ディスクドライブがまたそれぞれのテスタチャネルに対
    する個別の一組の命令を記憶し、更に、 前記測定の開始前に、ディスクドライブがそれぞれのテスタチャネルとそれぞ
    れのテスタチャネルに対して前記一組の命令を読み出し、そして、その命令メモ
    リに前記一組の命令を記憶することを特徴とする前記請求項1に記載のICテス
    タ。
  4. 【請求項4】 その間でディスクドライブから読み出されたデータがテスタ
    チャネルによって実行されるべき測定作業を示している、後続の測定サイクル数
    を前記命令のうちの他のものが示していることを特徴とする前記請求項1に記載
    のICテスタ。
  5. 【請求項5】 それぞれの命令がオプコードとオペランドを有しており、そ
    のオプコードがチャネルの動作モードを示し、 オプコードが第1の動作モードを示し、オペランドがDUTターミナルにおい
    て実行されるべき作業を示し、更に、 オプコードが第2の動作モードを示し、チャネルがディスクドライブからカレ
    ントに読み出される前記データを獲得し、更に、オペランドによって示された数
    の測定サイクルの間に獲得されたデータによって示された前記作業を実施実施す
    ることを特徴とする前記請求項1に記載のICテスタ。
  6. 【請求項6】 オプコードが第3の動作モードを示しているとき、実行テス
    タチャネルが命令を実行することを控える測定サイクル数をオペランドが示すこ
    とを特徴とする前記請求項5に記載のICテスタ。
  7. 【請求項7】 複数の入出力ターミナルと複数のスキャンターミナルを有す
    るタイプの集積回路(IC)に対し測定を行うICテスタであって、 それぞれが前記入出力ターミナルの個別のターミナルに接続された第1の複数
    のテスタチャネルと、 それぞれが前記スキャンターミナルの個別のターミナルに接続された第2の複
    数のテスタチャネルと、 スキャンデータを記憶してそれを読み出すディスクドライブと、 前記ディスクドライブから読み出されたスキャンデータを前記第2の複数のテ
    スタチャネルのそれぞれに送るためのバスを有し、 前記第1と第2の複数のテスタチャネルのそれぞれが個別に一組の命令を記憶
    するための命令メモリを有し、更に、測定中にその記憶された命令を実行し、 それぞれの実行された命令がオペランドを伴うオプコードを有し、 前記第1の複数のテスタチャネルによって実行された前記命令のうちのあるも
    ののオプコードが、実行テスタチャネルが単一の測定サイクル中にDUTターミ
    ナルにおいて実行すべき特定の測定作業を付随するオペランドが示していること
    を示し、更に、付随するオペランドによって示された数の測定サイクル中には実
    行テスタチャネルが命令を実行することを一時停止すべきことを、前記第1の複
    数のテスタチャネルによって実行される前記命令のうちの他のもののオプコード
    が示し、更に、 実行テスタチャネルが付随するオペランドによって示された数の測定サイクル
    の間に前記バスを介して送られてきた前記スキャンデータによって参照された一
    連の測定作業を実行すべきであることを、前記第2の複数のテスタチャネルによ
    って実行された前記命令のあるもののオプコードが示し、付随するオペランドに
    よって示された複数の測定サイクルの間は実行テスタチャネルが命令を実行する
    ことを一時停止すべきことを、前記第2の複数のテスタチャネルによって実行さ
    れた前記命令のうちの他のもののオプコードが示すICテスタ。
  8. 【請求項8】 前記第2の複数のテスタチャネルが命令の実行を一時停止し
    ている測定サイクル中に前記第1の複数のテスタチャネルが命令を実行し、更に
    、前記第1の複数のテスタチャネルが命令の実行を一時停止している測定サイク
    ル中に前記第2の複数のテスタチャネルが命令を実行することを特徴とする前記
    請求項7に記載のICテスタ。
  9. 【請求項9】 前記ディスクドライブがリムーバブルディスクドライブであ
    ることを特徴とする前記請求項7に記載のICテスタ。
  10. 【請求項10】 前記ディスクドライブがまたそれぞれのテスタチャネルに
    対する個別の一組の命令を記憶し、更に、 前記測定の開始前に、ディスクドライブがそれぞれのテスタチャネルとそれぞ
    れのテスタチャネルに対して前記一組の命令を読み出し、そして、その命令メモ
    リに前記一組の命令を記憶することを特徴とする前記請求項7に記載のICテス
    タ。
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