JP2002513087A - 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 - Google Patents
工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法Info
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Abstract
Description
る基礎本体を有する工具、特に切削工具または変形工具を、乾性加工への使用、
ないし最小限の潤滑剤(潤滑剤の不足)での使用等に特に適するように被覆する
、という要望を前提とする。
ず、かつ/または高い表面負荷を受けて使用される、様々な工具および機械部品
に特に適した保護被覆技術が得られる。
工具の、最小限の潤滑剤使用下での操作は、極めて注目すべき課題である。経済
的観点から考慮すべきは、特に切削工具における冷却潤滑剤のコストは、工具そ
のもののコストよりもかなり高い、という点である。工具/工作物接触領域にお
ける冷却潤滑剤の使用によって、削りくずは洗い流され、熱は奪われ、さらに洗
浄および腐食予防効果が得られる。
来の冷却潤滑剤使用量から離れて、必要な潤滑剤の量を同じ使用目的について、
例えばわずか6から70ml/hにまで大幅に引き下げる、必要性が益々顕著に
なってきている。
よび機械部品の表面処理について、きわめて厳しい課題を呈するものである。こ
の発明は後者の問題を、その課題とする。
載されたような工具または機械部品が提案されることによって解決する。すなわ
ち、前記工具または機械部品においては、この発明の請求項1の特徴によると、
硬質材層システムが、少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化物、炭素窒
化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループの中の少なくとも一つの材
料からなる、少なくとも一つの硬質材層を含み、かつ、前記少なくとも一つの硬
質材層と、基礎本体内部から外側に向けて進んだ場合、前方のすべり層システム
との間に直接、硬質材層システムの前記少なくとも一つの硬質材層が含む物と同
じ、前記少なくとも一つの金属からなる中間層が組み込まれることによって、解
決する。
本体に硬質材層システムが布設され、それに続いて直接すべり保護層システムが
布設される。硬質材層システムの材料としては金属炭化物、金属窒化物、金属炭
素窒化物またはそれらの組み合わせが提案され、すべり保護層システムの材料と
しては、炭素をベースとした材料、特に炭素が分散する炭化タングステン、WC
/C等が提案される。
れる。
全体がこの発明による提案にしたがって構成され、特にこの発明による金属中間
層を備えれば、前記従来の被覆技術は、解決すべき課題によって工具または機械
部品、特にまた切削工具に求められる極端な課題を満たすのに適している、とい
う認識である。
の発明の方法、さらに請求項26によるこの発明の装置、および請求項2から1
7、ないし19から24によるそれぞれの好ましい実施形態が、以下において図
面を参考に説明され、またドリルにおいて得られるこの発明の結果が示される。
層システムの基本形状、または最小形状が示される。ここで強調されるべきは、
この図におけるそれぞれの厚み寸法、ならびに厚みの比率は、数量的に理解され
るべきでない、という点である。これは、図3および図5にもあてはまる。
上には、硬質材層システム2が布設されるが、この硬質材層システム2は少なく
とも一つの硬質材層2aを含むか、あるいは少なくとも一つの金属の窒化物、炭
化物、酸化物、炭素窒化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループのう
ちの一つの材料から形成される、少なくとも一つの硬質材層2aからなる。
くとも一つの金属と同じ金属からなる金属製中間層3が布設される。この多層硬
質材層システム2においては、図1に破線で示されたように、前記硬質材層2a
が直接中間層3に隣接する。
くとも一つの滑り層4aを含むか、または滑り層4aによって形成され、図1に
示されたような多層滑り層システムの場合には、以下において考察される滑り層
4aがこの層システムの最も外側となる。この滑り層4aは、好ましくは少なく
とも一つの金属の炭化物と、分散した炭素とから、すなわちMeC/Cから形成
される。
属は、好ましくはチタン、ハフニウム、ジルコニウムまたはアルミニウムであり
、好ましくはこれらの金属のうちの二つ、特に好ましくはTiAlである。滑り
層システム、特にその前記少なくとも一つの層4aは、好ましくはIVb、Vb
および/またはVIbのグループのうちの少なくとも一つの金属の炭化物、およ
び/またはシリコンの炭化物からなり、さらに好ましくは、少なくとも前記滑り
層システム4a内に分散する炭素の他に、炭化タングステンまたは炭化クロムを
含む。
示される。既に説明された層構造部分については、同じ参照符が付された。基礎
本体1上、および硬質材層システム2内には、さらなる金属中間層2bが設けら
れる。好ましくはまたこの層も、図1の中間層3が既にそうであったように、硬
質材層2の前記少なくとも一つの硬質材層2a内に含まれるのと、同じ金属から
なる。
の間に、基本的に専ら金属炭化物からなる層4bが滑り層システム4に隣接して
設けられる。分散する炭素は、まずその大部分が層4a内にある。滑り層システ
ム4の層厚は好ましくは、硬質材層システム2よりわずかに薄い。
内の、特に前記少なくとも一つの硬質材層2aに含まれる単数または複数の金属
MeHSの濃度Kは硬質材層を通して、特に前記少なくとも一つの層2aを通して
一定であり得るが、金属層3に到って突然、少なくもほぼ100%に上昇(a)
する。しかしながら、被覆プロセスを通すことによって、(b)で示されたよう
に、硬質材層2から金属中間層3への濃度MeHSへの、段階的、好ましくは基本
的に連続的な移行が実現し得る。
、特に前記少なくとも一つの滑り層4aにおいて一定となり得るか、あるいは(
d)に概略が示されたように、金属炭化物の濃度ないし含有量が好ましくは外側
に向けて段階的に、または連続して低下し得る。
らなる金属中間層2bの金属含有量MeHSは、さらなる硬質材層システム2aに
移行する際に、基本的に突然降下し得るが、金属中間層3に移行する際には再び
突然、少なくともほぼ100%に増加する。一方、図4の(b)に示されたよう
に、前記移行部の一方および/または他方においては、段階的な、好ましくは連
続的な、MeHSの濃度変化が実現され得る。
濃度が見られるが、図4の(d)に示されたように、これはさらに炭素が分散さ
れることによって、外側へ向けて突然または段階的に、好ましくは連続的に減少
する。
示される。
質材層システム2aまたは、中間層2b抜きの、硬質材層システム2自体は基本
的にTiAlNからなる。 中間層3は基本的にまたTiAlからなる。
炭化クロムからなり、滑り層システム4aは炭化タングステンまたは炭化クロム
および分散炭素Cからなる。
層厚dHSは、以下のとおりである。
下のとおりである。
のとおりである。
と、分散炭素を含む残りの層システム4aとに分けられると、それぞれの厚さd GL1 およびdGL2は好ましくは以下のように選択される。
法決めされる。
する硬質材層システムは、反応性スパッタによって、好ましくは反応性マグネト
ロンスパッタまたは反応性陰極放電蒸着によって布設され得る。好ましくは、反
応性陰極放電蒸着によって布設される。これによって、細孔がなく、接合する層
システムないし基礎本体材料への移行部が均一な、厚みのあるイオンめっき構造
が生成する。
ましくは図5のようにTiAlからなる中間層3は、好ましくは硬質材層システ
ム2に利用されたものと同じ被覆方法が非反応性でさらに実施されることによっ
て、布設される。図2に(b)で概略的に示されたように、硬質材層システムと
中間層3との間の段階的、好ましくは連続的移行部は、反応性ガス流、すなわち
図5の実施例では窒素含有ガスの流れを適切に制御して、非反応性金属スパッタ
に到るまで削減し、好ましくは非反応性金属放電蒸着に到らしめることによって
、成立する。
スパッタ、特にターゲットのマグネトロンスパッタが直接、または図5の実施例
においては時間差で、C2H2,C2H4等のような炭素含有雰囲気内で行われるこ
とによって実現される。好ましくは、炭化物のターゲットが使用される。
ゲットのスパッタの利点は、布設された層におけるC含有量が全体としてより高
くなる、という点である。微小結晶炭化物体を有する無定形炭素のマトリクスが
生成する。工作物が周期的に、前記少なくとも一つの炭化物源に、特に少なくと
も一つの炭化物スパッタ源に多少とも晒されることによって、滑り層システムに
とっては極めて有利なことに、分散炭素成分と炭化物成分が交互に層をなす薄層
状マイクロ構造が生成する。図2および図4にそれぞれ(d)に概略が示された
ように、段階的移行部は、スパッタ材料の量に対するスパッタ雰囲気内の炭素成
分比を適切に制御することによって、実現される。
るのが望ましい。以下の表には、図6の装置による、図5のこの発明による被覆
について、重要なプロセスパラメータの数値がまとめられている。
に示される。この装置は、この明細書の一部を構成するものである、同出願人に
よるWO97/34315に記載された装置の構想にほぼ対応する。この装置は
、その内壁に沿って設けられる、好ましくは円形の複数の開口部12を備える真
空室10を含む。さらに、複数の放電蒸着源14が1組と、スパッタ源15、好
ましくはマグネトロン源が設けられる。前記組の全ての源および、真空室10に
ある開口部12は、これらの源の開口部12への取付けに関して、全て同一のも
のとして形成されるので、どの源が前記室のどの開口部に取付けられるかは自由
に選択可能である。好ましくは16で示されたように、早開き弁、例えば差込弁
が設けられるので、スパッタ源または放電蒸着源のいずれであっても、室に自由
かつ迅速に装着可能である。図6の好ましい形状では、少なくとも一列のスパッ
タ源15と、少なくとも一列の放電蒸着源14とが互いに向きあう。室10には
工作物担体配置18が設けられ、概略的に図示されたように、工作物20は室1
0の中央軸Zを中心に回転ωZし、したがって異なる源14,15の側を通過す
る。工作物20は、ω22で示されたように、好ましくはそれ自体が回転運動する
受容樹22に位置決めされ、一方工作物20自体も場合によっては、ω20で示さ
れたように、それぞれの軸を中心に回転する。室10内には、ガス流制御ユニッ
ト26に制御されて、必要なガス、特に窒素含有ガスおよび炭素含有ガスのよう
なガスが、それぞれのプロセス段階に応じて注入される。28に破線で示される
のは、低電圧放電経路の熱陰極であり、好ましくはアルゴンのための、ガス流入
部30を備える。低電圧放電室32は、概略的に示されるスリット開口部34を
介して処理室と接続する。この低電圧放電配置によって工作物20は、被覆され
る前に開口部34を介してエッチングされる。36に概略が示されたように、工
作物20は電源ユニットによって、そのつど所望される電位におかれる。
と、まずは専ら放電蒸着源14が、好ましくは窒素含有反応ガスの流入下で反応
操作され、金属中間層の布設のためには、反応ガス流がユニット26によって突
然段階的に、または連続的に送り戻され、さらに滑り層システムの布設のために
は、スパッタ源15が好ましくは炭化物ターゲットによって、ユニット26によ
って制御される炭素含有ガスの流入下で、操作される。層移行部は、必要に応じ
てガス流および/または蒸着出力ないしスパッタ出力を適切に変化させることに
よって、実現される。滑り層システムの布設の際には、放電蒸着源14が停止さ
れ、既に述べられたように工作物20がスパッタ源15に何度も晒される段階(
工作物の左の位置)と、これらの源から再び遠ざけられ、さらに炭素ガスの流入
に晒される段階とが、周期的に生じる。これによって、滑り層システムの前記好
ましい薄層構造が得られる。
層構造が実現されると、優れた滑り性および付着性を有する、厚みのある硬い被
覆が得られる。
Cr12を材料とし、それぞれ15mmの穿孔の深さで行われた。穿孔のパラメ
ータは以下のとおりであった。
用されたドリルは本来乾式加工用に形成されたものではなく、様々な層システム
の様態を比較することが専ら重要であった、という点である。図7の垂直軸には
、ドリルによってそれぞれ開けられた全穿孔数が記入されているが、この数はそ
れらの耐用期間に対応する。
TiAlN硬質材被覆のみが施されたBのドリルや、TiNからなる硬質材被覆
およびそれに続く、炭化タングステンおよび分散炭素を有する滑り層被覆を備え
るCのドリル、さらには硬質材被覆TiNを備えるEのドリルよりもはるかに優
れた結果を示した。Cのドリルの被覆は基本的に、US−A−5 707 74
8の被覆に対応する。
は、耐用期間に関して際立った乾式加工特性を有する、ということである。
の駆動トルクの変遷が、(a1)では複数の連続する穿孔について、(a2)では
一つの穿孔について、相対的大きさで示される。(a)の変遷は、TiAlN硬
質材で被覆されたドリルについて測定された。同様に図示されたグラフ(b1)
および(b2)は、この発明にしたがって被覆されたドリルにおいて測定された
。
定の回転数を維持するのに必要なトルクが、(a2)の従来の硬質被覆のドリル
では、穿孔のある一定の深さから増加し、(a1)のトルクの頂点に到るのに対
し、この発明にしたがって被覆されたドリルでは、特に(b2)からわかるよう
に、穿孔の深さが比較的大きくとも、必要な駆動トルクの増加は全く見られない
。これは、この発明にしたがって被覆されたドリルの優れた滑り特性を示してお
り、これは図7の結果、すなわちドリルの耐用期間と相まって、この発明にした
がって被覆されたドリルが、そのすぐれた滑り特性と同時に、その優れた耐用期
間とによって、乾式加工条件下ないし潤滑剤が不足した条件下での使用に特に優
れて適していることを、明らかに証明するものである。圧縮空気は、硬化し、変
形した削りくずによってドリルが損傷を受けるのを防ぐために、使用された。さ
らに指摘されるべきは、グラフ(a2)および(b2)は共に、それぞれ80の穿
孔が開けられた後に記録されたものである、という点である。
有する被覆システムが、この発明によって提案される。このシステムは、既に述
べられたように、特に工具および機械部品に適しており、工具の場合は特に、潤
滑剤が最小限であるという条件下で、またさらには乾式運転で操作される切削工
具および変形工具に適している。
小形状を純粋に質的に示す図である。
に沿って質的に示す概略図である。
しい実施形態を示す図である。
特に好ましい実施形態を示す図である。
被覆されたドリルによる、穿孔耐用期間の結果を対比する図である。
の際の、主軸トルクの変化を対比する図である。
Claims (26)
- 【請求項1】 ― 金属または硬質合金からなる基礎本体(1)を含み、 ― 基礎本体内部から外側に向けて移行すると(d)、基礎本体表面の少なくと
も一部の上に、まず硬質材層システム(2)があり、滑り層システム(4)が続
く、 工具または機械部品であって、 ― 硬質材層システム(2)は、少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化
物、炭素窒化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループのうちの一つの
材料からなる、少なくとも一つの硬質材層(2a)を含み、かつ ― 前記少なくとも一つの硬質材層(2a)と、前記方向(d)に移行して、滑
り層システム(4)の直前には、硬質材層システム(2)の前記少なくとも一つ
の硬質材層(2a)が含むものと同じ、少なくとも一つの金属からなる中間層(
3)が設けられることを特徴とする、工具または機械部品。 - 【請求項2】 滑り層システム(4)が、少なくとも一つの金属の炭化物と
分散炭素から、すなわちMeC/Cからなる、少なくとも一つの滑り層(4a)
を含む、請求項1に記載の工具または機械部品。 - 【請求項3】 前記少なくとも一つの硬質材層(2a)が、チタン、ハフニ
ウム、ジルコニウム、アルミニウムのうちの少なくとも一つの金属を含み、好ま
しくはこれらの金属のうちの少なくとも二つを、特に好ましくはTiAlを含み
、好ましくは前記硬質材層がTiAlNからなる、請求項1または2のいずれか
に記載の工具または機械部品。 - 【請求項4】 滑り層システムの少なくとも一つの層(4a)、好ましくは
前記中間層に直接隣接する層が、IVb、Vb、VIbのグループの少なくとも
一つの炭化物、またはシリコンの炭化物を、好ましくは炭化タングステンまたは
炭化クロムを含むことを特徴とする、請求項1から3のいずれかに記載の工具ま
たは機械部品。 - 【請求項5】 基礎本体(1)と、硬質材層システム(2)の前記少なくと
も一つの層(2a)との間に、好ましくはある金属から、好ましくはまた硬質材
層システム(2)の前記少なくとも一つの層(2a)が含むものと同じ、少なく
とも一つの金属からなる、さらなる中間層(2b)が設けられることを特徴とす
る、請求項1から4のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項6】 滑り層システム(4)内の分散炭素の含有量が、基礎本体内
部から外側に移行するにつれて、段階的または連続的に変化し、その際、好まし
くは前記方向に向けて、好ましくは連続的に増加し、さらに好ましくは最後に、
ある厚さのセグメントに沿って基本的に一定であることを特徴とする、請求項2
から5のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項7】 硬質材層システムが、前記少なくとも一つの金属の含有量が
基礎本体から外側へ向けて一気に、または連続的に増加する混合層を介して、中
間層(3)へ移行することを特徴とする、請求項1から6のいずれかに記載の工
具または機械部品。 - 【請求項8】 前記さらなる中間層(2b)が、基礎本体から外側へ向けて
金属含有量が好ましくは連続的に減少する混合層を介して、硬質材層(2a)へ
移行することを特徴とする、請求項5から7のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項9】 基礎本体内部から外部へ向けて、基礎本体側の滑り保護層シ
ステム(4b)が基本的にまず炭化物からなることを特徴とする、請求項2から
8のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項10】 硬質材層システムがdHSの厚さを有し、特に硬質材層シス
テムがTiAlNからなる場合、 0.1μm ≦ dHS ≦ 6μm であり、好ましくは 2μm ≦ dHS ≦ 5μm であることを特徴とする、請求項1から9のいずれかに記載の工具または機械部
品。 - 【請求項11】 中間層が、特にTiAlからなる場合、厚さdZW1を有し
、 0.01μm ≦ dZW1 ≦ 1μm であり、好ましくは 0.1μm ≦ dZW1 ≦ 0.5μm であることを特徴とする、請求項1から10のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項12】 滑り層システムが、特にWCまたはCrCを含む場合、厚
さdGLを有し、 0.1μm ≦ dGL ≦ 6μm であり、好ましくは 2 μm ≦ dGL ≦ 3,5μm であり、さらに、好ましくはWCまたはCrCからなる、好ましくは炭化物の第
一の層が厚さdGL1を有し、 0.01μm ≦ dGL1 ≦ 1μm であり、好ましくは 0.1μm ≦ dGL1 ≦ 0.5μm であり、かつ、好ましくは炭化物と分散炭素とからなる、少なくとも第二の層が
厚さdGL2を有し、 0.1μm ≦ dGL2 ≦ 5μm であり、好ましくは 2μm ≦ dGL2 ≦ 3μm であることを特徴とする、請求項1から11のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項13】 前記さらなる中間層が、特にTiAlからなる場合、厚さ
dZW2を有し、 0.01μm ≦ dZW2 ≦ 1μm であり、好ましくは 0.1μm ≦ dZW2 ≦ 0.5μm であることを特徴とする、請求項5から12のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項14】 金属基礎本体がHSSまたは工具鋼からなることを特徴と
する、請求項1から13のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項15】 潤滑剤が不足した状態から、乾燥状態に到るまで使用され
る切削工具または変形工具として形成される、請求項1から14のいずれかに記
載の工具。 - 【請求項16】 硬質剤層システム(2)の少なくとも一部が、反応性放電
蒸着によって生成されることを特徴とする、請求項1から15のいずれかに記載
の工具または機械部品。 - 【請求項17】 滑り層システムの少なくとも一部が、反応性スパッタによ
って、好ましくは反応性マグネトロンスパッタによって布設され、かつ好ましく
は炭素および炭化物に富んだ層からなる薄層構造を有することを特徴とする、請
求項1から16のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項18】 金属または硬質合金からなる基礎本体を備える工具または
機械部品の摩耗耐性を高めるための方法であって、 ― 少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化物、炭素窒化物、酸素窒化物 、オキシカルボン窒化物のグループのうちの一つの材料からなる、少なくと も一つの層を含む硬質材層システムによる、基礎本体表面の少なくとも一部 の真空被覆と、 ― 硬質材層システムの前記少なくとも一つの層が含むものと同じ金属からなる 金属中間層による、前記硬質材層システムの真空被覆と、さらに ― 滑り層システムによる、前記中間層の真空被覆とを特徴とする、方法。 - 【請求項19】 滑り保護層システムが、少なくとも一つの金属の炭化物と
分散炭素とからなる、少なくとも一つの層として形成されることを特徴とする、
請求項18に記載の方法。 - 【請求項20】 硬質材層システムの前記少なくとも一つの層が反応性スパ
ッタによって、好ましくは反応性マグネトロンスパッタによって、特に好ましく
は反応性放電蒸着によって布設され、その際さらに好ましくは、チタン、ハフニ
ウム、ジルコニウム、アルミニウムのうちの少なくとも一つが、好ましくはこれ
らの金属のうち二つが、好ましくはTiAlが使用され、さらに反応ガスとして
、好ましくは窒素含有ガスが使用されることを特徴とする、請求項18に記載の
方法。 - 【請求項21】 滑り層システムの少なくとも一つの層が陰極放電蒸着によ
って、好ましくは反応性スパッタによって、さらに好ましくは反応性マグネトロ
ンスパッタによって布設され、その際好ましくは、IVb、Vb,VIbのグル
ープの少なくとも一つの金属の炭化物、またはシリコンの炭化物が、好ましくは
炭化タングステンまたは炭化クロムが布設され、かつ前記炭化物は、炭素含有反
応ガス雰囲気内の金属ターゲットから、また好ましくは炭化物ターゲットから布
設されることを特徴とする、請求項18から20のいずれかに記載の方法。 - 【請求項22】 金属中間層が、スパッタまたは放電蒸着される材料の反応
性ガス成分に対する割合だけを変えて、硬質材層システムの前記少なくとも一つ
の硬質材層と同じ真空方法で布設されることを特徴とする、請求項18から21
のいずれかに記載の方法。 - 【請求項23】 基礎本体表面と硬質材層システムとの間に、好ましくは、
前記少なくとも一つの硬質材層も含む前記少なくとも一つの金属からなる、さら
なる金属中間層が布設され、さらに前記さらなる中間層は好ましくは、前記少な
くとも一つの硬質材層と同じ真空布設方法で布設され、その際、スパッタまたは
放電蒸着によって遊離する材料の反応ガス成分に対する割合は変化することを特
徴とする、請求項18から22のいずれかに記載の方法。 - 【請求項24】 真空被覆方法としてスパッタおよび反応性スパッタおよび
/または放電蒸着および反応性放電蒸着が使用され、その際、スパッタまたは放
電蒸着される材料の反応ガス成分に対する割合の変化、好ましくは連続的変化に
よって、硬質材層システムが前記中間層に、ないし場合によっては前記さらなる
中間層が硬質材層システム内に移行し、さらに好ましくは、滑り層システムの布
設の際に、スパッタされる材料の炭素ガスに対する割合が時間と共に減少し、滑
り保護システムの析出終了に向けて、好ましくは少なくともほぼ一定に保たれる
ことを特徴とする、請求項18から23のいずれかに記載の方法。 - 【請求項25】 少なくとも一つの基礎本体が、真空処理室内部で周期的に
、少なくとも一つのスパッタ源および、少なくとも一つの放電蒸着源の側を通り
、かつ真空被覆が、スパッタ源および放電蒸着源の活性化の時間的順序を制御す
ることによって、ならびに反応ガスの種類を制御し、かつ真空処理室内の反応ガ
ス流、ないし真空処理室内へ流入する反応ガス流を制御することによって、行わ
れることを特徴とする、請求項18から24のいずれかに記載の方法。 - 【請求項26】 被覆源(14,15)を装着するための、好ましくは円形
の複数の開口部(12)を備える真空処理室(10)と、少なくとも一つの反応
ガス流入部、ならびに少なくとも一つの工作物(20)が開口部(12)の側を
通過するための、工作物受容部を備えた輸送装置(18)とを特徴とし、さらに
、選択が自由であり、前記開口部(12)に好ましくは早開き弁(16)によっ
て取付け可能な一組のスパッタ源(15)および放電蒸着源(14)を特徴とす
る、特に請求項14から25のいずれかに記載の方法を実施するための、真空処
理装置。
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