JP2002513087A - 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 - Google Patents
工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法Info
- Publication number
- JP2002513087A JP2002513087A JP2000546068A JP2000546068A JP2002513087A JP 2002513087 A JP2002513087 A JP 2002513087A JP 2000546068 A JP2000546068 A JP 2000546068A JP 2000546068 A JP2000546068 A JP 2000546068A JP 2002513087 A JP2002513087 A JP 2002513087A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- tool
- hard material
- metal
- carbide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/321—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal alloy layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C14/024—Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
- C23C14/025—Metallic sublayers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/32—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer
- C23C28/324—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one pure metallic layer with at least one metal matrix material layer comprising a mixture of at least two metals or metal phases or a metal-matrix material with hard embedded particles, e.g. WC-Me
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/30—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
- C23C28/34—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates
- C23C28/347—Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer including at least one inorganic non-metallic material layer, e.g. metal carbide, nitride, boride, silicide layer and their mixtures, enamels, phosphates and sulphates with layers adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
- C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
Abstract
(57)【要約】
特に、潤滑剤が欠乏した状態で、または乾式運転で操作される工具または機械部品のための層システムが提案され、このシステムは、基礎本体（１）を前提としながら、硬質剤層システム（２）と、それに続く金属層（３）と、最後に滑り層システム（４）とを有し、最後の滑り層システム（４）は好ましくは炭化物、特に炭化タングステンまたは炭化クロムと、分散炭素とからなる。
Description
【０００１】
この発明は、金属、特にＨＳＳからなる、あるいは工具鋼または硬質合金からな
る基礎本体を有する工具、特に切削工具または変形工具を、乾性加工への使用、
ないし最小限の潤滑剤（潤滑剤の不足）での使用等に特に適するように被覆する
、という要望を前提とする。
る基礎本体を有する工具、特に切削工具または変形工具を、乾性加工への使用、
ないし最小限の潤滑剤（潤滑剤の不足）での使用等に特に適するように被覆する
、という要望を前提とする。
【０００２】 この発明によるこの課題の解決策では、潤滑剤が少量か、あるいは全く使われ
ず、かつ／または高い表面負荷を受けて使用される、様々な工具および機械部品
に特に適した保護被覆技術が得られる。
ず、かつ／または高い表面負荷を受けて使用される、様々な工具および機械部品
に特に適した保護被覆技術が得られる。
【０００３】
環境保全の観点からも、また経済的観点からも、工具、特に切削工具および変形
工具の、最小限の潤滑剤使用下での操作は、極めて注目すべき課題である。経済
的観点から考慮すべきは、特に切削工具における冷却潤滑剤のコストは、工具そ
のもののコストよりもかなり高い、という点である。工具／工作物接触領域にお
ける冷却潤滑剤の使用によって、削りくずは洗い流され、熱は奪われ、さらに洗
浄および腐食予防効果が得られる。
工具の、最小限の潤滑剤使用下での操作は、極めて注目すべき課題である。経済
的観点から考慮すべきは、特に切削工具における冷却潤滑剤のコストは、工具そ
のもののコストよりもかなり高い、という点である。工具／工作物接触領域にお
ける冷却潤滑剤の使用によって、削りくずは洗い流され、熱は奪われ、さらに洗
浄および腐食予防効果が得られる。
【０００４】
例えば、かんな仕上げ工具の場合で３００から４０００リットル／ｈといった従
来の冷却潤滑剤使用量から離れて、必要な潤滑剤の量を同じ使用目的について、
例えばわずか６から７０ｍｌ／ｈにまで大幅に引き下げる、必要性が益々顕著に
なってきている。
来の冷却潤滑剤使用量から離れて、必要な潤滑剤の量を同じ使用目的について、
例えばわずか６から７０ｍｌ／ｈにまで大幅に引き下げる、必要性が益々顕著に
なってきている。
【０００５】 これは、一方では使用される工具の造型について、他方ではそのような工具お
よび機械部品の表面処理について、きわめて厳しい課題を呈するものである。こ
の発明は後者の問題を、その課題とする。
よび機械部品の表面処理について、きわめて厳しい課題を呈するものである。こ
の発明は後者の問題を、その課題とする。
【０００６】
この発明の課題は、前述の問題との関連において、請求項１のプリアンブルに記
載されたような工具または機械部品が提案されることによって解決する。すなわ
ち、前記工具または機械部品においては、この発明の請求項１の特徴によると、
硬質材層システムが、少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化物、炭素窒
化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループの中の少なくとも一つの材
料からなる、少なくとも一つの硬質材層を含み、かつ、前記少なくとも一つの硬
質材層と、基礎本体内部から外側に向けて進んだ場合、前方のすべり層システム
との間に直接、硬質材層システムの前記少なくとも一つの硬質材層が含む物と同
じ、前記少なくとも一つの金属からなる中間層が組み込まれることによって、解
決する。
載されたような工具または機械部品が提案されることによって解決する。すなわ
ち、前記工具または機械部品においては、この発明の請求項１の特徴によると、
硬質材層システムが、少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化物、炭素窒
化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループの中の少なくとも一つの材
料からなる、少なくとも一つの硬質材層を含み、かつ、前記少なくとも一つの硬
質材層と、基礎本体内部から外側に向けて進んだ場合、前方のすべり層システム
との間に直接、硬質材層システムの前記少なくとも一つの硬質材層が含む物と同
じ、前記少なくとも一つの金属からなる中間層が組み込まれることによって、解
決する。
【０００７】 この出願と同じ出願人によるＵＳ ５ ７０７ ７４８によると、工具の基礎
本体に硬質材層システムが布設され、それに続いて直接すべり保護層システムが
布設される。硬質材層システムの材料としては金属炭化物、金属窒化物、金属炭
素窒化物またはそれらの組み合わせが提案され、すべり保護層システムの材料と
しては、炭素をベースとした材料、特に炭素が分散する炭化タングステン、ＷＣ
／Ｃ等が提案される。
本体に硬質材層システムが布設され、それに続いて直接すべり保護層システムが
布設される。硬質材層システムの材料としては金属炭化物、金属窒化物、金属炭
素窒化物またはそれらの組み合わせが提案され、すべり保護層システムの材料と
しては、炭素をベースとした材料、特に炭素が分散する炭化タングステン、ＷＣ
／Ｃ等が提案される。
【０００８】 ここでは、切削工具の耐用期間を根本的に増大させるため、周知の被覆が行わ
れる。
れる。
【０００９】 ところで、この発明は以下の認識を前提とする。すなわち、従来の層システム
全体がこの発明による提案にしたがって構成され、特にこの発明による金属中間
層を備えれば、前記従来の被覆技術は、解決すべき課題によって工具または機械
部品、特にまた切削工具に求められる極端な課題を満たすのに適している、とい
う認識である。
全体がこの発明による提案にしたがって構成され、特にこの発明による金属中間
層を備えれば、前記従来の被覆技術は、解決すべき課題によって工具または機械
部品、特にまた切削工具に求められる極端な課題を満たすのに適している、とい
う認識である。
【００１０】 請求項１による、この発明の工具または機械部品、ないし請求項１８によるこ
の発明の方法、さらに請求項２６によるこの発明の装置、および請求項２から１
７、ないし１９から２４によるそれぞれの好ましい実施形態が、以下において図
面を参考に説明され、またドリルにおいて得られるこの発明の結果が示される。
の発明の方法、さらに請求項２６によるこの発明の装置、および請求項２から１
７、ないし１９から２４によるそれぞれの好ましい実施形態が、以下において図
面を参考に説明され、またドリルにおいて得られるこの発明の結果が示される。
【００１１】
基本形状 図１には、この発明による工具または機械部品に設けられる、この発明による全
層システムの基本形状、または最小形状が示される。ここで強調されるべきは、
この図におけるそれぞれの厚み寸法、ならびに厚みの比率は、数量的に理解され
るべきでない、という点である。これは、図３および図５にもあてはまる。
層システムの基本形状、または最小形状が示される。ここで強調されるべきは、
この図におけるそれぞれの厚み寸法、ならびに厚みの比率は、数量的に理解され
るべきでない、という点である。これは、図３および図５にもあてはまる。
【００１２】 金属、好ましくはＨＳＳまたは工具鋼、あるいは硬質合金からなる基礎本体１
上には、硬質材層システム２が布設されるが、この硬質材層システム２は少なく
とも一つの硬質材層２ａを含むか、あるいは少なくとも一つの金属の窒化物、炭
化物、酸化物、炭素窒化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループのう
ちの一つの材料から形成される、少なくとも一つの硬質材層２ａからなる。
上には、硬質材層システム２が布設されるが、この硬質材層システム２は少なく
とも一つの硬質材層２ａを含むか、あるいは少なくとも一つの金属の窒化物、炭
化物、酸化物、炭素窒化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループのう
ちの一つの材料から形成される、少なくとも一つの硬質材層２ａからなる。
【００１３】 硬質材層システム２上には、硬質材層システム２の前記硬質材層２ａ内の少な
くとも一つの金属と同じ金属からなる金属製中間層３が布設される。この多層硬
質材層システム２においては、図１に破線で示されたように、前記硬質材層２ａ
が直接中間層３に隣接する。
くとも一つの金属と同じ金属からなる金属製中間層３が布設される。この多層硬
質材層システム２においては、図１に破線で示されたように、前記硬質材層２ａ
が直接中間層３に隣接する。
【００１４】 中間層３上には滑り層システム４がある。この滑り層システム４はまた、少な
くとも一つの滑り層４ａを含むか、または滑り層４ａによって形成され、図１に
示されたような多層滑り層システムの場合には、以下において考察される滑り層
４ａがこの層システムの最も外側となる。この滑り層４ａは、好ましくは少なく
とも一つの金属の炭化物と、分散した炭素とから、すなわちＭｅＣ／Ｃから形成
される。
くとも一つの滑り層４ａを含むか、または滑り層４ａによって形成され、図１に
示されたような多層滑り層システムの場合には、以下において考察される滑り層
４ａがこの層システムの最も外側となる。この滑り層４ａは、好ましくは少なく
とも一つの金属の炭化物と、分散した炭素とから、すなわちＭｅＣ／Ｃから形成
される。
【００１５】 硬質材層システム２および、特に前記少なくとも一つの層２ａに使用される金
属は、好ましくはチタン、ハフニウム、ジルコニウムまたはアルミニウムであり
、好ましくはこれらの金属のうちの二つ、特に好ましくはＴｉＡｌである。滑り
層システム、特にその前記少なくとも一つの層４ａは、好ましくはＩＶｂ、Ｖｂ
および／またはＶＩｂのグループのうちの少なくとも一つの金属の炭化物、およ
び／またはシリコンの炭化物からなり、さらに好ましくは、少なくとも前記滑り
層システム４ａ内に分散する炭素の他に、炭化タングステンまたは炭化クロムを
含む。
属は、好ましくはチタン、ハフニウム、ジルコニウムまたはアルミニウムであり
、好ましくはこれらの金属のうちの二つ、特に好ましくはＴｉＡｌである。滑り
層システム、特にその前記少なくとも一つの層４ａは、好ましくはＩＶｂ、Ｖｂ
および／またはＶＩｂのグループのうちの少なくとも一つの金属の炭化物、およ
び／またはシリコンの炭化物からなり、さらに好ましくは、少なくとも前記滑り
層システム４ａ内に分散する炭素の他に、炭化タングステンまたは炭化クロムを
含む。
【００１６】 好ましい層構造 図３には、図１の図を前提として、図１の最小形状に基づく好ましい層構造が
示される。既に説明された層構造部分については、同じ参照符が付された。基礎
本体１上、および硬質材層システム２内には、さらなる金属中間層２ｂが設けら
れる。好ましくはまたこの層も、図１の中間層３が既にそうであったように、硬
質材層２の前記少なくとも一つの硬質材層２ａ内に含まれるのと、同じ金属から
なる。
示される。既に説明された層構造部分については、同じ参照符が付された。基礎
本体１上、および硬質材層システム２内には、さらなる金属中間層２ｂが設けら
れる。好ましくはまたこの層も、図１の中間層３が既にそうであったように、硬
質材層２の前記少なくとも一つの硬質材層２ａ内に含まれるのと、同じ金属から
なる。
【００１７】 好ましくは、滑り層システム４の前記少なくとも一つの層４ａと、中間層３と
の間に、基本的に専ら金属炭化物からなる層４ｂが滑り層システム４に隣接して
設けられる。分散する炭素は、まずその大部分が層４ａ内にある。滑り層システ
ム４の層厚は好ましくは、硬質材層システム２よりわずかに薄い。
の間に、基本的に専ら金属炭化物からなる層４ｂが滑り層システム４に隣接して
設けられる。分散する炭素は、まずその大部分が層４ａ内にある。滑り層システ
ム４の層厚は好ましくは、硬質材層システム２よりわずかに薄い。
【００１８】 層移行部 図１の最小形状を観察すると、また図２に概略が示されたように、硬質材層２
内の、特に前記少なくとも一つの硬質材層２ａに含まれる単数または複数の金属
ＭｅHSの濃度Ｋは硬質材層を通して、特に前記少なくとも一つの層２ａを通して
一定であり得るが、金属層３に到って突然、少なくもほぼ１００％に上昇（ａ）
する。しかしながら、被覆プロセスを通すことによって、（ｂ）で示されたよう
に、硬質材層２から金属中間層３への濃度ＭｅHSへの、段階的、好ましくは基本
的に連続的な移行が実現し得る。
内の、特に前記少なくとも一つの硬質材層２ａに含まれる単数または複数の金属
ＭｅHSの濃度Ｋは硬質材層を通して、特に前記少なくとも一つの層２ａを通して
一定であり得るが、金属層３に到って突然、少なくもほぼ１００％に上昇（ａ）
する。しかしながら、被覆プロセスを通すことによって、（ｂ）で示されたよう
に、硬質材層２から金属中間層３への濃度ＭｅHSへの、段階的、好ましくは基本
的に連続的な移行が実現し得る。
【００１９】 滑り層システム４では、（ｃ）で示されたように、金属炭化物濃度ＭｅGSＣが
、特に前記少なくとも一つの滑り層４ａにおいて一定となり得るか、あるいは（
ｄ）に概略が示されたように、金属炭化物の濃度ないし含有量が好ましくは外側
に向けて段階的に、または連続して低下し得る。
、特に前記少なくとも一つの滑り層４ａにおいて一定となり得るか、あるいは（
ｄ）に概略が示されたように、金属炭化物の濃度ないし含有量が好ましくは外側
に向けて段階的に、または連続して低下し得る。
【００２０】 図３の好ましい実施形態においては、図２と同様に図４に示されたように、さ
らなる金属中間層２ｂの金属含有量ＭｅHSは、さらなる硬質材層システム２ａに
移行する際に、基本的に突然降下し得るが、金属中間層３に移行する際には再び
突然、少なくともほぼ１００％に増加する。一方、図４の（ｂ）に示されたよう
に、前記移行部の一方および／または他方においては、段階的な、好ましくは連
続的な、ＭｅHSの濃度変化が実現され得る。
らなる金属中間層２ｂの金属含有量ＭｅHSは、さらなる硬質材層システム２ａに
移行する際に、基本的に突然降下し得るが、金属中間層３に移行する際には再び
突然、少なくともほぼ１００％に増加する。一方、図４の（ｂ）に示されたよう
に、前記移行部の一方および／または他方においては、段階的な、好ましくは連
続的な、ＭｅHSの濃度変化が実現され得る。
【００２１】 滑り層システム４では、好ましくは層４ｂにおいて実際に１００％のＭｅGSＣ
濃度が見られるが、図４の（ｄ）に示されたように、これはさらに炭素が分散さ
れることによって、外側へ向けて突然または段階的に、好ましくは連続的に減少
する。
濃度が見られるが、図４の（ｄ）に示されたように、これはさらに炭素が分散さ
れることによって、外側へ向けて突然または段階的に、好ましくは連続的に減少
する。
【００２２】 今日好ましい層構造 図５には、今日好ましいとされる全体層構造が、図１および図３と同様の図で
示される。
示される。
【００２３】 図３の中間層２ｂが設けられる場合、この層はＴｉＡｌからなる。さらなる硬
質材層システム２ａまたは、中間層２ｂ抜きの、硬質材層システム２自体は基本
的にＴｉＡｌＮからなる。 中間層３は基本的にまたＴｉＡｌからなる。
質材層システム２ａまたは、中間層２ｂ抜きの、硬質材層システム２自体は基本
的にＴｉＡｌＮからなる。 中間層３は基本的にまたＴｉＡｌからなる。
【００２４】 図３の４ｂは、それが設けられる場合には、基本的に炭化タングステンまたは
炭化クロムからなり、滑り層システム４ａは炭化タングステンまたは炭化クロム
および分散炭素Ｃからなる。
炭化クロムからなり、滑り層システム４ａは炭化タングステンまたは炭化クロム
および分散炭素Ｃからなる。
【００２５】 好ましい厚さの寸法決め 硬質材層システム 硬質材層システム２の、特にＴｉＡｌＮからなる図５の好ましい実施形態での
層厚ｄHSは、以下のとおりである。
層厚ｄHSは、以下のとおりである。
【００２６】 ０．１μｍ ≦ ｄHS ≦ ６μｍ 好ましくは、 ２μｍ ≦ ｄHS ≦ ５μｍ 金属中間層 ３： 金属中間層３の、特に図５のようにＴｉＡｌからなる場合の層厚ｄZW1は、以
下のとおりである。
下のとおりである。
【００２７】 ０．０１μｍ ≦ ｄZW1 ≦ 1μｍ 好ましくは、 ０．１μｍ ≦ ｄZW1 ≦ ０．５μｍ 滑り層システム４： 滑り層システム４の、特に図５の好ましい実施形態における層厚ｄGLは、以下
のとおりである。
のとおりである。
【００２８】 ０．１μｍ ≦ ｄGL ≦ ６μｍ 好ましくは、 ２μｍ ≦ ｄGL ≦ ３，５μｍ 図３ないし図５にしたがって、滑り層システムが基本的に純粋な炭化物層４ｂ
と、分散炭素を含む残りの層システム４ａとに分けられると、それぞれの厚さｄ GL1 およびｄGL2は好ましくは以下のように選択される。
と、分散炭素を含む残りの層システム４ａとに分けられると、それぞれの厚さｄ GL1 およびｄGL2は好ましくは以下のように選択される。
【００２９】 ０，０１μｍ ≦ ｄGL1 ≦ １μｍ 好ましくは、 ０．１μｍ ≦ ｄGL1 ≦ ０．５μｍ ないし ０．１μｍ ≦ ｄGL2 ≦ ５μｍ 好ましくは、 ２μｍ ≦ ｄGL2 ≦ ３μｍ 中間層 ２ｂ： さらなる金属中間層２ｂが設けられる場合、その層厚ｄZW2は以下のように寸
法決めされる。
法決めされる。
【００３０】 ０，０１μｍ ≦ ｄZW2 ≦ １μｍ 好ましくは、 ０．１μｍ ≦ ｄZW2 ≦ ０．５μｍ 被覆方法 硬質材システム 前述のように、好ましくはＴｉＡｌＮからなる少なくとも一つの硬質材層を有
する硬質材層システムは、反応性スパッタによって、好ましくは反応性マグネト
ロンスパッタまたは反応性陰極放電蒸着によって布設され得る。好ましくは、反
応性陰極放電蒸着によって布設される。これによって、細孔がなく、接合する層
システムないし基礎本体材料への移行部が均一な、厚みのあるイオンめっき構造
が生成する。
する硬質材層システムは、反応性スパッタによって、好ましくは反応性マグネト
ロンスパッタまたは反応性陰極放電蒸着によって布設され得る。好ましくは、反
応性陰極放電蒸着によって布設される。これによって、細孔がなく、接合する層
システムないし基礎本体材料への移行部が均一な、厚みのあるイオンめっき構造
が生成する。
【００３１】 中間層 ３ 前記少なくとも一つの層２ａを含む硬質材システム２と同じ金属からなり、好
ましくは図５のようにＴｉＡｌからなる中間層３は、好ましくは硬質材層システ
ム２に利用されたものと同じ被覆方法が非反応性でさらに実施されることによっ
て、布設される。図２に（ｂ）で概略的に示されたように、硬質材層システムと
中間層３との間の段階的、好ましくは連続的移行部は、反応性ガス流、すなわち
図５の実施例では窒素含有ガスの流れを適切に制御して、非反応性金属スパッタ
に到るまで削減し、好ましくは非反応性金属放電蒸着に到らしめることによって
、成立する。
ましくは図５のようにＴｉＡｌからなる中間層３は、好ましくは硬質材層システ
ム２に利用されたものと同じ被覆方法が非反応性でさらに実施されることによっ
て、布設される。図２に（ｂ）で概略的に示されたように、硬質材層システムと
中間層３との間の段階的、好ましくは連続的移行部は、反応性ガス流、すなわち
図５の実施例では窒素含有ガスの流れを適切に制御して、非反応性金属スパッタ
に到るまで削減し、好ましくは非反応性金属放電蒸着に到らしめることによって
、成立する。
【００３２】 滑り層システム ４ 滑り層システムは陰極放電蒸着によって、あるいは好ましくは、ターゲットの
スパッタ、特にターゲットのマグネトロンスパッタが直接、または図５の実施例
においては時間差で、Ｃ2Ｈ2，Ｃ2Ｈ4等のような炭素含有雰囲気内で行われるこ
とによって実現される。好ましくは、炭化物のターゲットが使用される。
スパッタ、特にターゲットのマグネトロンスパッタが直接、または図５の実施例
においては時間差で、Ｃ2Ｈ2，Ｃ2Ｈ4等のような炭素含有雰囲気内で行われるこ
とによって実現される。好ましくは、炭化物のターゲットが使用される。
【００３３】 金属ターゲットの反応性スパッタが同様に可能であるのに対して、炭化物ター
ゲットのスパッタの利点は、布設された層におけるＣ含有量が全体としてより高
くなる、という点である。微小結晶炭化物体を有する無定形炭素のマトリクスが
生成する。工作物が周期的に、前記少なくとも一つの炭化物源に、特に少なくと
も一つの炭化物スパッタ源に多少とも晒されることによって、滑り層システムに
とっては極めて有利なことに、分散炭素成分と炭化物成分が交互に層をなす薄層
状マイクロ構造が生成する。図２および図４にそれぞれ（ｄ）に概略が示された
ように、段階的移行部は、スパッタ材料の量に対するスパッタ雰囲気内の炭素成
分比を適切に制御することによって、実現される。
ゲットのスパッタの利点は、布設された層におけるＣ含有量が全体としてより高
くなる、という点である。微小結晶炭化物体を有する無定形炭素のマトリクスが
生成する。工作物が周期的に、前記少なくとも一つの炭化物源に、特に少なくと
も一つの炭化物スパッタ源に多少とも晒されることによって、滑り層システムに
とっては極めて有利なことに、分散炭素成分と炭化物成分が交互に層をなす薄層
状マイクロ構造が生成する。図２および図４にそれぞれ（ｄ）に概略が示された
ように、段階的移行部は、スパッタ材料の量に対するスパッタ雰囲気内の炭素成
分比を適切に制御することによって、実現される。
【００３４】 基礎本体表面の前処理 基礎本体表面は被覆前に、特に低電圧放電によって、プラズマエッチングされ
るのが望ましい。以下の表には、図６の装置による、図５のこの発明による被覆
について、重要なプロセスパラメータの数値がまとめられている。
るのが望ましい。以下の表には、図６の装置による、図５のこの発明による被覆
について、重要なプロセスパラメータの数値がまとめられている。
【００３５】
【表１】
【００３６】 装置形状 図６には、この発明の方法を実施するための、この発明による装置の概略が簡単
に示される。この装置は、この明細書の一部を構成するものである、同出願人に
よるＷＯ９７／３４３１５に記載された装置の構想にほぼ対応する。この装置は
、その内壁に沿って設けられる、好ましくは円形の複数の開口部１２を備える真
空室１０を含む。さらに、複数の放電蒸着源１４が１組と、スパッタ源１５、好
ましくはマグネトロン源が設けられる。前記組の全ての源および、真空室１０に
ある開口部１２は、これらの源の開口部１２への取付けに関して、全て同一のも
のとして形成されるので、どの源が前記室のどの開口部に取付けられるかは自由
に選択可能である。好ましくは１６で示されたように、早開き弁、例えば差込弁
が設けられるので、スパッタ源または放電蒸着源のいずれであっても、室に自由
かつ迅速に装着可能である。図６の好ましい形状では、少なくとも一列のスパッ
タ源１５と、少なくとも一列の放電蒸着源１４とが互いに向きあう。室１０には
工作物担体配置１８が設けられ、概略的に図示されたように、工作物２０は室１
０の中央軸Ｚを中心に回転ωZし、したがって異なる源１４，１５の側を通過す
る。工作物２０は、ω22で示されたように、好ましくはそれ自体が回転運動する
受容樹２２に位置決めされ、一方工作物２０自体も場合によっては、ω20で示さ
れたように、それぞれの軸を中心に回転する。室１０内には、ガス流制御ユニッ
ト２６に制御されて、必要なガス、特に窒素含有ガスおよび炭素含有ガスのよう
なガスが、それぞれのプロセス段階に応じて注入される。２８に破線で示される
のは、低電圧放電経路の熱陰極であり、好ましくはアルゴンのための、ガス流入
部３０を備える。低電圧放電室３２は、概略的に示されるスリット開口部３４を
介して処理室と接続する。この低電圧放電配置によって工作物２０は、被覆され
る前に開口部３４を介してエッチングされる。３６に概略が示されたように、工
作物２０は電源ユニットによって、そのつど所望される電位におかれる。
に示される。この装置は、この明細書の一部を構成するものである、同出願人に
よるＷＯ９７／３４３１５に記載された装置の構想にほぼ対応する。この装置は
、その内壁に沿って設けられる、好ましくは円形の複数の開口部１２を備える真
空室１０を含む。さらに、複数の放電蒸着源１４が１組と、スパッタ源１５、好
ましくはマグネトロン源が設けられる。前記組の全ての源および、真空室１０に
ある開口部１２は、これらの源の開口部１２への取付けに関して、全て同一のも
のとして形成されるので、どの源が前記室のどの開口部に取付けられるかは自由
に選択可能である。好ましくは１６で示されたように、早開き弁、例えば差込弁
が設けられるので、スパッタ源または放電蒸着源のいずれであっても、室に自由
かつ迅速に装着可能である。図６の好ましい形状では、少なくとも一列のスパッ
タ源１５と、少なくとも一列の放電蒸着源１４とが互いに向きあう。室１０には
工作物担体配置１８が設けられ、概略的に図示されたように、工作物２０は室１
０の中央軸Ｚを中心に回転ωZし、したがって異なる源１４，１５の側を通過す
る。工作物２０は、ω22で示されたように、好ましくはそれ自体が回転運動する
受容樹２２に位置決めされ、一方工作物２０自体も場合によっては、ω20で示さ
れたように、それぞれの軸を中心に回転する。室１０内には、ガス流制御ユニッ
ト２６に制御されて、必要なガス、特に窒素含有ガスおよび炭素含有ガスのよう
なガスが、それぞれのプロセス段階に応じて注入される。２８に破線で示される
のは、低電圧放電経路の熱陰極であり、好ましくはアルゴンのための、ガス流入
部３０を備える。低電圧放電室３２は、概略的に示されるスリット開口部３４を
介して処理室と接続する。この低電圧放電配置によって工作物２０は、被覆され
る前に開口部３４を介してエッチングされる。３６に概略が示されたように、工
作物２０は電源ユニットによって、そのつど所望される電位におかれる。
【００３７】 図からわかるように、硬質材層システムを布設するための好ましい方法による
と、まずは専ら放電蒸着源１４が、好ましくは窒素含有反応ガスの流入下で反応
操作され、金属中間層の布設のためには、反応ガス流がユニット２６によって突
然段階的に、または連続的に送り戻され、さらに滑り層システムの布設のために
は、スパッタ源１５が好ましくは炭化物ターゲットによって、ユニット２６によ
って制御される炭素含有ガスの流入下で、操作される。層移行部は、必要に応じ
てガス流および／または蒸着出力ないしスパッタ出力を適切に変化させることに
よって、実現される。滑り層システムの布設の際には、放電蒸着源１４が停止さ
れ、既に述べられたように工作物２０がスパッタ源１５に何度も晒される段階（
工作物の左の位置）と、これらの源から再び遠ざけられ、さらに炭素ガスの流入
に晒される段階とが、周期的に生じる。これによって、滑り層システムの前記好
ましい薄層構造が得られる。
と、まずは専ら放電蒸着源１４が、好ましくは窒素含有反応ガスの流入下で反応
操作され、金属中間層の布設のためには、反応ガス流がユニット２６によって突
然段階的に、または連続的に送り戻され、さらに滑り層システムの布設のために
は、スパッタ源１５が好ましくは炭化物ターゲットによって、ユニット２６によ
って制御される炭素含有ガスの流入下で、操作される。層移行部は、必要に応じ
てガス流および／または蒸着出力ないしスパッタ出力を適切に変化させることに
よって、実現される。滑り層システムの布設の際には、放電蒸着源１４が停止さ
れ、既に述べられたように工作物２０がスパッタ源１５に何度も晒される段階（
工作物の左の位置）と、これらの源から再び遠ざけられ、さらに炭素ガスの流入
に晒される段階とが、周期的に生じる。これによって、滑り層システムの前記好
ましい薄層構造が得られる。
【００３８】 結果 特にスパッタおよび放電蒸着が組み合わされた被覆によって、この発明による
層構造が実現されると、優れた滑り性および付着性を有する、厚みのある硬い被
覆が得られる。
層構造が実現されると、優れた滑り性および付着性を有する、厚みのある硬い被
覆が得られる。
【００３９】 図７には、作孔の結果が示される。６ｍｍのＨＳＳドリルの試験が、Ｘ２１０
Ｃｒ１２を材料とし、それぞれ１５ｍｍの穿孔の深さで行われた。穿孔のパラメ
ータは以下のとおりであった。
Ｃｒ１２を材料とし、それぞれ１５ｍｍの穿孔の深さで行われた。穿孔のパラメ
ータは以下のとおりであった。
【００４０】 送り ＶC ＝ ２０ｍ／ｍｉｎ ｆ ＝ ０．１２ｍｍ 圧縮空気としては、専ら１ｂａｒのものが使用された。強調されるべきは、使
用されたドリルは本来乾式加工用に形成されたものではなく、様々な層システム
の様態を比較することが専ら重要であった、という点である。図７の垂直軸には
、ドリルによってそれぞれ開けられた全穿孔数が記入されているが、この数はそ
れらの耐用期間に対応する。
用されたドリルは本来乾式加工用に形成されたものではなく、様々な層システム
の様態を比較することが専ら重要であった、という点である。図７の垂直軸には
、ドリルによってそれぞれ開けられた全穿孔数が記入されているが、この数はそ
れらの耐用期間に対応する。
【００４１】 図からわかるように、Ａで示された、この発明によって被覆されたドリルは、
ＴｉＡｌＮ硬質材被覆のみが施されたＢのドリルや、ＴｉＮからなる硬質材被覆
およびそれに続く、炭化タングステンおよび分散炭素を有する滑り層被覆を備え
るＣのドリル、さらには硬質材被覆ＴｉＮを備えるＥのドリルよりもはるかに優
れた結果を示した。Ｃのドリルの被覆は基本的に、ＵＳ−Ａ−５ ７０７ ７４
８の被覆に対応する。
ＴｉＡｌＮ硬質材被覆のみが施されたＢのドリルや、ＴｉＮからなる硬質材被覆
およびそれに続く、炭化タングステンおよび分散炭素を有する滑り層被覆を備え
るＣのドリル、さらには硬質材被覆ＴｉＮを備えるＥのドリルよりもはるかに優
れた結果を示した。Ｃのドリルの被覆は基本的に、ＵＳ−Ａ−５ ７０７ ７４
８の被覆に対応する。
【００４２】 これより明らかなことは、この発明にしたがって被覆された工具ないしドリル
は、耐用期間に関して際立った乾式加工特性を有する、ということである。
は、耐用期間に関して際立った乾式加工特性を有する、ということである。
【００４３】 図８では、グラフ（ａ1）および、それに付随するグラフ（ａ2）に、中ぐり軸
の駆動トルクの変遷が、（ａ1）では複数の連続する穿孔について、（ａ2）では
一つの穿孔について、相対的大きさで示される。（ａ）の変遷は、ＴｉＡｌＮ硬
質材で被覆されたドリルについて測定された。同様に図示されたグラフ（ｂ1）
および（ｂ2）は、この発明にしたがって被覆されたドリルにおいて測定された
。
の駆動トルクの変遷が、（ａ1）では複数の連続する穿孔について、（ａ2）では
一つの穿孔について、相対的大きさで示される。（ａ）の変遷は、ＴｉＡｌＮ硬
質材で被覆されたドリルについて測定された。同様に図示されたグラフ（ｂ1）
および（ｂ2）は、この発明にしたがって被覆されたドリルにおいて測定された
。
【００４４】 図から容易にわかるように、まずグラフ（ａ2）と（ｂ2）とを比較すると、一
定の回転数を維持するのに必要なトルクが、（ａ2）の従来の硬質被覆のドリル
では、穿孔のある一定の深さから増加し、（ａ1）のトルクの頂点に到るのに対
し、この発明にしたがって被覆されたドリルでは、特に（ｂ2）からわかるよう
に、穿孔の深さが比較的大きくとも、必要な駆動トルクの増加は全く見られない
。これは、この発明にしたがって被覆されたドリルの優れた滑り特性を示してお
り、これは図７の結果、すなわちドリルの耐用期間と相まって、この発明にした
がって被覆されたドリルが、そのすぐれた滑り特性と同時に、その優れた耐用期
間とによって、乾式加工条件下ないし潤滑剤が不足した条件下での使用に特に優
れて適していることを、明らかに証明するものである。圧縮空気は、硬化し、変
形した削りくずによってドリルが損傷を受けるのを防ぐために、使用された。さ
らに指摘されるべきは、グラフ（ａ2）および（ｂ2）は共に、それぞれ８０の穿
孔が開けられた後に記録されたものである、という点である。
定の回転数を維持するのに必要なトルクが、（ａ2）の従来の硬質被覆のドリル
では、穿孔のある一定の深さから増加し、（ａ1）のトルクの頂点に到るのに対
し、この発明にしたがって被覆されたドリルでは、特に（ｂ2）からわかるよう
に、穿孔の深さが比較的大きくとも、必要な駆動トルクの増加は全く見られない
。これは、この発明にしたがって被覆されたドリルの優れた滑り特性を示してお
り、これは図７の結果、すなわちドリルの耐用期間と相まって、この発明にした
がって被覆されたドリルが、そのすぐれた滑り特性と同時に、その優れた耐用期
間とによって、乾式加工条件下ないし潤滑剤が不足した条件下での使用に特に優
れて適していることを、明らかに証明するものである。圧縮空気は、硬化し、変
形した削りくずによってドリルが損傷を受けるのを防ぐために、使用された。さ
らに指摘されるべきは、グラフ（ａ2）および（ｂ2）は共に、それぞれ８０の穿
孔が開けられた後に記録されたものである、という点である。
【００４５】 したがって、優れた摩耗特性の他に、優れた滑り特性および優れた付着特性を
有する被覆システムが、この発明によって提案される。このシステムは、既に述
べられたように、特に工具および機械部品に適しており、工具の場合は特に、潤
滑剤が最小限であるという条件下で、またさらには乾式運転で操作される切削工
具および変形工具に適している。
有する被覆システムが、この発明によって提案される。このシステムは、既に述
べられたように、特に工具および機械部品に適しており、工具の場合は特に、潤
滑剤が最小限であるという条件下で、またさらには乾式運転で操作される切削工
具および変形工具に適している。
【図１】工具または機械部品基礎本体上の、この発明による層システムの最
小形状を純粋に質的に示す図である。
小形状を純粋に質的に示す図である。
【図２】この発明にしたがって実現される、好ましい濃度の変化を厚み寸法
に沿って質的に示す概略図である。
に沿って質的に示す概略図である。
【図３】図１を前提とした、この発明による層システム全体のさらなる好ま
しい実施形態を示す図である。
しい実施形態を示す図である。
【図４】図２と同様の、好ましい濃度変化を示す図である。
【図５】図３および４を前提とする、この発明による層システム全体の今日
特に好ましい実施形態を示す図である。
特に好ましい実施形態を示す図である。
【図６】この発明による装置を簡単に示す、概略縦断面図である。
【図７】この発明にしたがって被覆されたドリルと、現行技術にしたがって
被覆されたドリルによる、穿孔耐用期間の結果を対比する図である。
被覆されたドリルによる、穿孔耐用期間の結果を対比する図である。
【図８】従来どおり（ａ）、およびこの発明による（ｂ）被覆における作孔
の際の、主軸トルクの変化を対比する図である。
の際の、主軸トルクの変化を対比する図である。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年５月２６日（２０００．５．２６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ボールラープ，クリスティアン オーストリア、アー−6800 フェルトキル ヒ、バインベルクガッセ、31・アー Ｆターム(参考） 4K029 AA02 BA55 BA56 BA57 BA58 BA64 BB02 BC02 BD03 CA06 EA01 EA04 4K044 AA02 AA09 AB10 BA02 BA10 BA12 BA18 BB02 BC01 CA13 CA71
Claims (26)
- 【請求項１】 ― 金属または硬質合金からなる基礎本体（１）を含み、 ― 基礎本体内部から外側に向けて移行すると（ｄ）、基礎本体表面の少なくと
も一部の上に、まず硬質材層システム（２）があり、滑り層システム（４）が続
く、 工具または機械部品であって、 ― 硬質材層システム（２）は、少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化
物、炭素窒化物、酸素窒化物、オキシカルボン窒化物のグループのうちの一つの
材料からなる、少なくとも一つの硬質材層（２ａ）を含み、かつ ― 前記少なくとも一つの硬質材層（２ａ）と、前記方向（ｄ）に移行して、滑
り層システム（４）の直前には、硬質材層システム（２）の前記少なくとも一つ
の硬質材層（２ａ）が含むものと同じ、少なくとも一つの金属からなる中間層（
３）が設けられることを特徴とする、工具または機械部品。 - 【請求項２】 滑り層システム（４）が、少なくとも一つの金属の炭化物と
分散炭素から、すなわちＭｅＣ／Ｃからなる、少なくとも一つの滑り層（４ａ）
を含む、請求項１に記載の工具または機械部品。 - 【請求項３】 前記少なくとも一つの硬質材層（２ａ）が、チタン、ハフニ
ウム、ジルコニウム、アルミニウムのうちの少なくとも一つの金属を含み、好ま
しくはこれらの金属のうちの少なくとも二つを、特に好ましくはＴｉＡｌを含み
、好ましくは前記硬質材層がＴｉＡｌＮからなる、請求項１または２のいずれか
に記載の工具または機械部品。 - 【請求項４】 滑り層システムの少なくとも一つの層（４ａ）、好ましくは
前記中間層に直接隣接する層が、ＩＶｂ、Ｖｂ、ＶＩｂのグループの少なくとも
一つの炭化物、またはシリコンの炭化物を、好ましくは炭化タングステンまたは
炭化クロムを含むことを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載の工具ま
たは機械部品。 - 【請求項５】 基礎本体（１）と、硬質材層システム（２）の前記少なくと
も一つの層（２ａ）との間に、好ましくはある金属から、好ましくはまた硬質材
層システム（２）の前記少なくとも一つの層（２ａ）が含むものと同じ、少なく
とも一つの金属からなる、さらなる中間層（２ｂ）が設けられることを特徴とす
る、請求項１から４のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項６】 滑り層システム（４）内の分散炭素の含有量が、基礎本体内
部から外側に移行するにつれて、段階的または連続的に変化し、その際、好まし
くは前記方向に向けて、好ましくは連続的に増加し、さらに好ましくは最後に、
ある厚さのセグメントに沿って基本的に一定であることを特徴とする、請求項２
から５のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項７】 硬質材層システムが、前記少なくとも一つの金属の含有量が
基礎本体から外側へ向けて一気に、または連続的に増加する混合層を介して、中
間層（３）へ移行することを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の工
具または機械部品。 - 【請求項８】 前記さらなる中間層（２ｂ）が、基礎本体から外側へ向けて
金属含有量が好ましくは連続的に減少する混合層を介して、硬質材層（２ａ）へ
移行することを特徴とする、請求項５から７のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項９】 基礎本体内部から外部へ向けて、基礎本体側の滑り保護層シ
ステム（４ｂ）が基本的にまず炭化物からなることを特徴とする、請求項２から
８のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項１０】 硬質材層システムがｄHSの厚さを有し、特に硬質材層シス
テムがＴｉＡｌＮからなる場合、 ０．１μｍ ≦ ｄHS ≦ ６μｍ であり、好ましくは ２μｍ ≦ ｄHS ≦ ５μｍ であることを特徴とする、請求項１から９のいずれかに記載の工具または機械部
品。 - 【請求項１１】 中間層が、特にＴｉＡｌからなる場合、厚さｄZW1を有し
、 ０．０１μｍ ≦ ｄZW1 ≦ １μｍ であり、好ましくは ０．１μｍ ≦ ｄZW1 ≦ ０．５μｍ であることを特徴とする、請求項１から１０のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項１２】 滑り層システムが、特にＷＣまたはＣｒＣを含む場合、厚
さｄGLを有し、 ０．１μｍ ≦ ｄGL ≦ ６μｍ であり、好ましくは ２ μｍ ≦ ｄGL ≦ ３，５μｍ であり、さらに、好ましくはＷＣまたはＣｒＣからなる、好ましくは炭化物の第
一の層が厚さｄGL1を有し、 ０．０１μｍ ≦ ｄGL1 ≦ １μｍ であり、好ましくは ０．１μｍ ≦ ｄGL1 ≦ ０．５μｍ であり、かつ、好ましくは炭化物と分散炭素とからなる、少なくとも第二の層が
厚さｄGL2を有し、 ０．１μｍ ≦ ｄGL2 ≦ ５μｍ であり、好ましくは ２μｍ ≦ ｄGL2 ≦ ３μｍ であることを特徴とする、請求項１から１１のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項１３】 前記さらなる中間層が、特にＴｉＡｌからなる場合、厚さ
ｄZW2を有し、 ０．０１μｍ ≦ ｄZW2 ≦ １μｍ であり、好ましくは ０．１μｍ ≦ ｄZW2 ≦ ０．５μｍ であることを特徴とする、請求項５から１２のいずれかに記載の工具または機械
部品。 - 【請求項１４】 金属基礎本体がＨＳＳまたは工具鋼からなることを特徴と
する、請求項１から１３のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項１５】 潤滑剤が不足した状態から、乾燥状態に到るまで使用され
る切削工具または変形工具として形成される、請求項１から１４のいずれかに記
載の工具。 - 【請求項１６】 硬質剤層システム（２）の少なくとも一部が、反応性放電
蒸着によって生成されることを特徴とする、請求項１から１５のいずれかに記載
の工具または機械部品。 - 【請求項１７】 滑り層システムの少なくとも一部が、反応性スパッタによ
って、好ましくは反応性マグネトロンスパッタによって布設され、かつ好ましく
は炭素および炭化物に富んだ層からなる薄層構造を有することを特徴とする、請
求項１から１６のいずれかに記載の工具または機械部品。 - 【請求項１８】 金属または硬質合金からなる基礎本体を備える工具または
機械部品の摩耗耐性を高めるための方法であって、 ― 少なくとも一つの金属の窒化物、炭化物、酸化物、炭素窒化物、酸素窒化物 、オキシカルボン窒化物のグループのうちの一つの材料からなる、少なくと も一つの層を含む硬質材層システムによる、基礎本体表面の少なくとも一部 の真空被覆と、 ― 硬質材層システムの前記少なくとも一つの層が含むものと同じ金属からなる 金属中間層による、前記硬質材層システムの真空被覆と、さらに ― 滑り層システムによる、前記中間層の真空被覆とを特徴とする、方法。 - 【請求項１９】 滑り保護層システムが、少なくとも一つの金属の炭化物と
分散炭素とからなる、少なくとも一つの層として形成されることを特徴とする、
請求項１８に記載の方法。 - 【請求項２０】 硬質材層システムの前記少なくとも一つの層が反応性スパ
ッタによって、好ましくは反応性マグネトロンスパッタによって、特に好ましく
は反応性放電蒸着によって布設され、その際さらに好ましくは、チタン、ハフニ
ウム、ジルコニウム、アルミニウムのうちの少なくとも一つが、好ましくはこれ
らの金属のうち二つが、好ましくはＴｉＡｌが使用され、さらに反応ガスとして
、好ましくは窒素含有ガスが使用されることを特徴とする、請求項１８に記載の
方法。 - 【請求項２１】 滑り層システムの少なくとも一つの層が陰極放電蒸着によ
って、好ましくは反応性スパッタによって、さらに好ましくは反応性マグネトロ
ンスパッタによって布設され、その際好ましくは、ＩＶｂ、Ｖｂ，ＶＩｂのグル
ープの少なくとも一つの金属の炭化物、またはシリコンの炭化物が、好ましくは
炭化タングステンまたは炭化クロムが布設され、かつ前記炭化物は、炭素含有反
応ガス雰囲気内の金属ターゲットから、また好ましくは炭化物ターゲットから布
設されることを特徴とする、請求項１８から２０のいずれかに記載の方法。 - 【請求項２２】 金属中間層が、スパッタまたは放電蒸着される材料の反応
性ガス成分に対する割合だけを変えて、硬質材層システムの前記少なくとも一つ
の硬質材層と同じ真空方法で布設されることを特徴とする、請求項１８から２１
のいずれかに記載の方法。 - 【請求項２３】 基礎本体表面と硬質材層システムとの間に、好ましくは、
前記少なくとも一つの硬質材層も含む前記少なくとも一つの金属からなる、さら
なる金属中間層が布設され、さらに前記さらなる中間層は好ましくは、前記少な
くとも一つの硬質材層と同じ真空布設方法で布設され、その際、スパッタまたは
放電蒸着によって遊離する材料の反応ガス成分に対する割合は変化することを特
徴とする、請求項１８から２２のいずれかに記載の方法。 - 【請求項２４】 真空被覆方法としてスパッタおよび反応性スパッタおよび
／または放電蒸着および反応性放電蒸着が使用され、その際、スパッタまたは放
電蒸着される材料の反応ガス成分に対する割合の変化、好ましくは連続的変化に
よって、硬質材層システムが前記中間層に、ないし場合によっては前記さらなる
中間層が硬質材層システム内に移行し、さらに好ましくは、滑り層システムの布
設の際に、スパッタされる材料の炭素ガスに対する割合が時間と共に減少し、滑
り保護システムの析出終了に向けて、好ましくは少なくともほぼ一定に保たれる
ことを特徴とする、請求項１８から２３のいずれかに記載の方法。 - 【請求項２５】 少なくとも一つの基礎本体が、真空処理室内部で周期的に
、少なくとも一つのスパッタ源および、少なくとも一つの放電蒸着源の側を通り
、かつ真空被覆が、スパッタ源および放電蒸着源の活性化の時間的順序を制御す
ることによって、ならびに反応ガスの種類を制御し、かつ真空処理室内の反応ガ
ス流、ないし真空処理室内へ流入する反応ガス流を制御することによって、行わ
れることを特徴とする、請求項１８から２４のいずれかに記載の方法。 - 【請求項２６】 被覆源（１４，１５）を装着するための、好ましくは円形
の複数の開口部（１２）を備える真空処理室（１０）と、少なくとも一つの反応
ガス流入部、ならびに少なくとも一つの工作物（２０）が開口部（１２）の側を
通過するための、工作物受容部を備えた輸送装置（１８）とを特徴とし、さらに
、選択が自由であり、前記開口部（１２）に好ましくは早開き弁（１６）によっ
て取付け可能な一組のスパッタ源（１５）および放電蒸着源（１４）を特徴とす
る、特に請求項１４から２５のいずれかに記載の方法を実施するための、真空処
理装置。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH96698 | 1998-04-29 | ||
| CH966/98 | 1998-04-29 | ||
| PCT/CH1999/000172 WO1999055929A1 (de) | 1998-04-29 | 1999-04-27 | Werkzeug oder maschinenbauteil und verfahren zur verschleissfestigkeitserhöhung eines solchen teiles |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002513087A true JP2002513087A (ja) | 2002-05-08 |
| JP5033278B2 JP5033278B2 (ja) | 2012-09-26 |
Family
ID=4199335
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000546068A Expired - Lifetime JP5033278B2 (ja) | 1998-04-29 | 1999-04-27 | 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1078110B1 (ja) |
| JP (1) | JP5033278B2 (ja) |
| AU (1) | AU3404599A (ja) |
| DE (1) | DE59903546D1 (ja) |
| WO (1) | WO1999055929A1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006015451A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP2006021276A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP2006075911A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で表面被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| US7655299B2 (en) | 2004-01-30 | 2010-02-02 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| JP2011524602A (ja) * | 2008-04-22 | 2011-09-01 | エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ | イオンエッチングされた面を有する加工物の製造方法 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10005612A1 (de) | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europ B | Verfahren zur Herstellung eines Gegenstandes und Gegenstand |
| DE10005614A1 (de) * | 2000-02-09 | 2001-08-16 | Hauzer Techno Coating Europ B | Verfahren zur Herstellung von Beschichtungen sowie Gegenstand |
| JP2003231203A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-08-19 | Toshiba Corp | 炭素膜被覆部材 |
| SE526481C2 (sv) | 2003-01-13 | 2005-09-20 | Sandvik Intellectual Property | Ythärdat rostfritt stål med förbättrad nötningsbeständighet och låg statisk friktion |
| US7147939B2 (en) * | 2003-02-27 | 2006-12-12 | Kennametal Inc. | Coated carbide tap |
| ES2617596T3 (es) | 2011-04-12 | 2017-06-19 | Southwire Company, Llc | Cables de transmisión eléctrica con núcleos de material compuesto |
| US9190184B2 (en) | 2011-04-12 | 2015-11-17 | Ticona Llc | Composite core for electrical transmission cables |
| CA2775442C (en) | 2011-04-29 | 2019-01-08 | Ticona Llc | Impregnation section with upstream surface and method for impregnating fiber rovings |
| CA2775445C (en) | 2011-04-29 | 2019-04-09 | Ticona Llc | Die and method for impregnating fiber rovings |
| RU2485210C2 (ru) * | 2011-08-16 | 2013-06-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Способ "гибридного" получения износостойкого покрытия на режущем инструменте |
| US9409355B2 (en) | 2011-12-09 | 2016-08-09 | Ticona Llc | System and method for impregnating fiber rovings |
| WO2013086269A1 (en) | 2011-12-09 | 2013-06-13 | Ticona Llc | Impregnation section of die for impregnating fiber rovings |
| BR112014012309A2 (pt) | 2011-12-09 | 2017-06-13 | Ticona Llc | fita de polímero reforçado com fibra assimétrica |
| US9283708B2 (en) | 2011-12-09 | 2016-03-15 | Ticona Llc | Impregnation section for impregnating fiber rovings |
| DE102014016983A1 (de) * | 2014-11-18 | 2016-05-19 | Athanassios Alexiou | Klingenmaterial |
| CN115110033B (zh) * | 2022-07-27 | 2024-01-23 | 南京真合材料科技有限公司 | 一种超硬膜层制造方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61177365A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-09 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 機械部材および工具を硬物質で被覆する方法ならびにこの方法で製造した機械部材および工具 |
| JPH0623601A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-01 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンド被覆超硬合金工具 |
| JPH07164211A (ja) * | 1993-07-21 | 1995-06-27 | Balzers Ag | 長い有効寿命を有するコーティング工具 |
| JPH07237010A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Mitsubishi Materials Corp | 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具 |
| JPH09170068A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 結晶配向性高強度被覆部材 |
| WO1997034315A1 (de) * | 1996-03-11 | 1997-09-18 | Balzers Aktiengesellschaft | Verfahren und anlage zur beschichtung von werkstücken |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3793179A (en) * | 1971-07-19 | 1974-02-19 | L Sablev | Apparatus for metal evaporation coating |
| US4992153A (en) * | 1989-04-26 | 1991-02-12 | Balzers Aktiengesellschaft | Sputter-CVD process for at least partially coating a workpiece |
| US5941647A (en) * | 1996-08-19 | 1999-08-24 | Citizen Watch Co., Ltd. | Guide bush and method of forming hard carbon film over the inner surface of the guide bush |
-
1999
- 1999-04-27 AU AU34045/99A patent/AU3404599A/en not_active Abandoned
- 1999-04-27 WO PCT/CH1999/000172 patent/WO1999055929A1/de active IP Right Grant
- 1999-04-27 DE DE59903546T patent/DE59903546D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-27 EP EP99915435A patent/EP1078110B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-04-27 JP JP2000546068A patent/JP5033278B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61177365A (ja) * | 1985-01-30 | 1986-08-09 | ライボルト‐ヘレーウス・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 機械部材および工具を硬物質で被覆する方法ならびにこの方法で製造した機械部材および工具 |
| JPH0623601A (ja) * | 1992-07-06 | 1994-02-01 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンド被覆超硬合金工具 |
| JPH07164211A (ja) * | 1993-07-21 | 1995-06-27 | Balzers Ag | 長い有効寿命を有するコーティング工具 |
| JPH07237010A (ja) * | 1994-02-25 | 1995-09-12 | Mitsubishi Materials Corp | 耐摩耗性に優れた表面被覆切削工具 |
| JPH09170068A (ja) * | 1995-12-18 | 1997-06-30 | Toshiba Tungaloy Co Ltd | 結晶配向性高強度被覆部材 |
| WO1997034315A1 (de) * | 1996-03-11 | 1997-09-18 | Balzers Aktiengesellschaft | Verfahren und anlage zur beschichtung von werkstücken |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7655299B2 (en) | 2004-01-30 | 2010-02-02 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| EP2308621A1 (en) | 2004-01-30 | 2011-04-13 | Mitsubishi Materials Corporation | Surface-coated cutting tool made of hard metal and manufacturing method for same |
| JP2006015451A (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-19 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP4535249B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP2006021276A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Mitsubishi Materials Corp | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP4535250B2 (ja) * | 2004-07-08 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP2006075911A (ja) * | 2004-09-07 | 2006-03-23 | Mitsubishi Materials Corp | 高速切削加工で表面被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP4535254B2 (ja) * | 2004-09-07 | 2010-09-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 高速切削加工で表面被覆層がすぐれた耐摩耗性および耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具の製造方法 |
| JP2011524602A (ja) * | 2008-04-22 | 2011-09-01 | エーリコン・トレイディング・アーゲー・トリューバッハ | イオンエッチングされた面を有する加工物の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1999055929A1 (de) | 1999-11-04 |
| EP1078110B1 (de) | 2002-11-27 |
| JP5033278B2 (ja) | 2012-09-26 |
| AU3404599A (en) | 1999-11-16 |
| DE59903546D1 (de) | 2003-01-09 |
| EP1078110A1 (de) | 2001-02-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2002513087A (ja) | 工具または機械部品、およびそのような部品の耐摩耗性を高めるための方法 | |
| US7067191B2 (en) | Method to increase wear resistance of a tool or other machine component | |
| JP4555862B2 (ja) | 硬質積層被膜、および硬質積層被膜被覆工具 | |
| US5981049A (en) | Coated tool and method of manufacturing the same | |
| US7169485B2 (en) | Multilayer coating excellent in wear resistance and heat resistance | |
| US5208102A (en) | Coated highly wear-resistant tool and physical coating process therefor | |
| KR101122497B1 (ko) | 경질 다층 코팅 및 이를 포함하는 경질 다층 코팅된 공구 | |
| JP3488526B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| JP2001288559A (ja) | 被覆の製造方法と物品 | |
| JP3250966B2 (ja) | 被覆切削工具およびその製造方法 | |
| JP2002113604A (ja) | 切削工具 | |
| JP2003025113A (ja) | 被覆切削工具 | |
| JP2001062605A (ja) | 非晶質カーボン被覆工具 | |
| JP4398287B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
| JP3460287B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた表面被覆部材 | |
| EP1616974B1 (en) | Method for preparing an alpha alumina coating | |
| JP2003025117A (ja) | ダイヤモンド被覆切削工具 | |
| JP4331807B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| JPH01246006A (ja) | 工作機械用のツールホルダー | |
| JP2840541B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜、硬質皮膜被覆工具及び硬質皮膜被覆部材 | |
| JP4350822B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
| JP2002331408A (ja) | 耐摩耗皮膜被覆工具 | |
| JP2001179506A (ja) | 複合高硬度工具 | |
| JP2002337005A (ja) | 耐摩耗皮膜被覆工具 | |
| CN108660454A (zh) | 涂层及其应用 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060317 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090609 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090908 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090915 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091008 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091016 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20091106 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20091113 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091208 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100420 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100716 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100726 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101020 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
| A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110606 |
|
| A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110613 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110908 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120131 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120402 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120619 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120702 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150706 Year of fee payment: 3 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |