JP2002367521A

JP2002367521A - ガス放電パネル製造装置及び製造方法

Info

Publication number: JP2002367521A
Application number: JP2001176586A
Authority: JP
Inventors: Akira Shiokawa; 塩川　　晃; Koji Akiyama; 浩二秋山; Tetsuya Imai; 徹也今井; Katsutoshi Shindo; 勝利真銅; Hidetaka Tono; 秀隆東野
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-06-12
Filing date: 2001-06-12
Publication date: 2002-12-20

Abstract

(57)【要約】【課題】ＰＤＰをはじめとするガス放電パネルにおけ
る発光効率は従来より、電圧が上がる構成として電極間
の静電容量として小さくすることで向上することが知ら
れており、様々な対策が考えられてきたが、放電電圧が
上昇することで逆にパネルの駆動回路側に負担が掛かっ
てパネルとしての効率が下がるという問題点が発生して
いた。【解決手段】上記目的を達するため、本発明のガス放
電パネルでは、電極構造を改善して厚みに分布を持たせ
ることによって、誘電体の等価的膜厚を放電間隙側の一
部で薄くして放電電圧を低くすると共に、全体としての
放電間隙を挟んだ電極対の静電容量を小さくしておくこ
とで、放電電圧を高くすることなく、安定に放電を開始
させ、その後の全体に広がった放電については従来通り
の放電を維持することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はガス放電パネル及び
その製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンピュータやテレビ等に用いら
れているディスプレイ装置において、プラズマディスプ
レイパネル（Plasma Display Panel，以下ＰＤＰと記
載する）は、大型で薄型軽量を実現することのできるも
のとして注目されており、高精細なＰＤＰに対する要望
も高まっている。

【０００３】図１は、一般的な交流型（ＡＣ型）ＰＤＰ
の一例を示す概略断面図である。本図において、前面ガ
ラス基板１０１上に表示電極１０２、１０３が形成さ
れ、この表示電極１０２、１０３は誘電体膜１０４及び
酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる誘電体保護層１０
５で覆われている（例えば特開平５−３４２９９１号公
報参照）。また、背面ガラス基板１１１上には、アドレ
ス電極１１２および隔壁１１６が設けられ、隔壁１１６
どうしの間隙に各色（赤、緑、青）の蛍光体層１１３、
１１４、１１５が設けられている。

【０００４】前面ガラス基板１０１は背面ガラス基板１
１１の隔壁１１６上に配設され、両基板間に放電ガスが
封入されて放電空間が形成されている。このＰＤＰにお
いて、放電空間では、放電に伴って真空紫外線（主に波
長１４７ｎｍ）が発生し、各色蛍光体層が励起発光され
ることによってカラー表示がなされる。

【０００５】ＰＤＰの駆動は前面板のガラス基板上に面
放電を発生する表示電極対（以後Ｘ電極１０２，Ｙ電極
１０３と称する）のうちの走査電極であるＹ電極１０３
と背面ガラス基板１１１に形成されているアドレス電極
１１２との間でプラズマ放電させ、空間電荷が発生し、
それがＸ，Ｙ電極上の誘電体保護層１０５上に蓄積され
る。次に、Ｘ，Ｙ電極間に維持電圧を印加して、蓄積さ
れている壁電荷を利用して、選択されたセルで維持放電
を行わせることを基本とする。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このようにして製造さ
れるＰＤＰにおいて、従来より、電圧が上がる構成とし
て電極間の静電容量として小さくすることで発光効率に
ついては向上することが知られており、電極間の静電容
量として小さくすることでいろ様々な対策が考えられて
きたが、放電電圧が上昇することで逆にパネルの駆動回
路側に負担が掛かってパネルとしての効率が下がるとい
う問題点が発生していた。

【０００７】本発明は、放電電圧を上げることなく、ま
た、メインの維持放電に於いては良好な効率を有する電
極構成の部分で維持放電を行えるガス放電パネル及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達するため、
本発明のガス放電パネルでは、電極構造を改善して厚み
に分布を持たせることによって、誘電体の等価的膜厚を
放電間隙側の一部で薄くして放電電圧を低くすると共
に、全体としての放電間隙を挟んだ電極対の静電容量を
小さくしておくことで、放電電圧を高くすることなく、
安定に放電を開始させ、その後の全体に広がった放電に
ついては従来通りの放電を維持することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について説明
する。

【００１０】図２は本発明の第一の実施の形態を示すガ
ス放電パネルの前面板の断面図である。前面板ガラス基
板上に主放電電極２０２、２０３を形成されている。こ
れを覆うように誘電体膜２０４が形成され、さらには誘
電体上に保護層２０５が形成されている。主放電の電極
２０３のうちの放電間隙側の一部の厚みを厚くする構成
をとる。このような構成を取ることによって、一般的
に、放電電圧が従来より高い状態である、電極間の静電
容量を小さくすることで発光効率を向上させられること
が知られており、電極間の静電容量として小さくするこ
とでいろ様々な対策が考えられてきた。その一方で、放
電電圧が上昇することで逆にパネルの駆動回路側に負担
が掛かってパネルとしての効率が下がるという問題点に
ついても、放電電圧を上げることなく、また、メインの
維持放電に於いては良好な効率を有する電極構成の部分
で維持放電を行える。このさいに、主放電間隙より遠い
場所でも、放電開始は行うことはできないが、隣接する
場所からの放電の広がりを維持することのできる誘電体
膜厚にもっとも放電間隙より遠い場所の電極厚みを設定
することによって、従来、一様な電極厚み且つ一様な誘
電体膜厚で行ったときには主放電間隙と隣り合う電極対
との間隔が大きく異ならない際には電極対がなす放電間
隙とは逆側の間隙で維持放電が発生するという誤放電を
さけることも可能となる。

【００１１】尚、このような膜厚分布構成としては、膜
厚の厚い部分２１０を多くするとその分静電容量が増加
するため、逆に効率が落ちるというデメリットもある
が、その分布としては、上面図で放電間隙をなす線状に
配置しても良いし、また、その線幅は細い方が望まし
い。実効値としては、電極幅の１／３以上の幅であれば
静電容量として、一割減程度にすぎずほとんど効果が期
待できない。さらに、幅を１／１０以下にすると、静電
容量として、この部分の静電容量が全体に与える寄与分
は１／３程度になり、よりいっそうの効果が期待でき
る。

【００１２】尚、膜厚の厚い部分２１０の分布として
は、上面図で放電間隙をなす線を含む小さなエリアでも
良い。この際に、その電極線に平行な方向の長さとして
は、セルの電極線に平行な方向の長さの１／３程度では
２〜３割程度の静電容量の減少にすぎずほとんど効果が
期待できない。さらに、電極線に平行な方向の長さをセ
ルの電極線に平行な方向の長さの１／１０以下にする
と、静電容量として、この部分の静電容量が全体に与え
る寄与分は１／１０程度になり、よりいっそうの効果が
期待できる。さらに、このように小エリアの部分を設け
る際には、各セルで独立して駆動する際にも影響を与え
るため、各セルに一つ以上設けることが更に望ましい。

【００１３】図３は本発明の第二の実施の形態を示すガ
ス放電パネルの前面板の断面図及び上面図である。ここ
では、一般的に用いられている、バス電極と呼ばれる電
気抵抗の低い電極材料で作成された電極である。ここで
は、電極の厚みに分布を持たせるために、最も薄い電極
の部分ではその電気抵抗値が高くなり、パネル駆動に悪
影響を及ぼす。そのため、ここでは、静電容量に最も影
響の少ない放電間隙と逆側に比較的厚みの厚いバス電極
を配し、パネル全体としてのライン抵抗値を落とさない
ようにした。

【００１４】尚、この場合についても、第一の実施の形
態と全く同様に、膜厚の厚い部分２１０の分布として
は、上面図で放電間隙をなす線を含む小さなエリアでも
良い。この際に、その電極線に平行な方向の長さとして
は、セルの電極線に平行な方向の長さの１／３程度では
２〜３割程度の静電容量の減少にすぎずほとんど効果が
期待できない。さらに、電極線に平行な方向の長さをセ
ルの電極線に平行な方向の長さの１／１０以下にする
と、静電容量として、この部分の静電容量が全体に与え
る寄与分は１／１０程度になり、よりいっそうの効果が
期待できる。さらに、このように小エリアの部分を設け
る際には、各セルで独立して駆動する際にも影響を与え
るため、各セルに一つ以上設けることが更に望ましい。

【００１５】更に、電極厚みの厚い部分については、バ
ス電極と同じ厚み、材質の電極を用いて作成しても良
い。

【００１６】製造方法としても、電極厚みの厚くない部
分を薄膜によって形成、パターニングした後に、バス電
極の材料を成膜或いは印刷し、バス電極部分と放電間隙
近くに配した電極厚みの厚い部分を一度にパターニング
して作成しても良い。

【００１７】図４、５は本発明の第三の実施の形態を示
すガス放電パネルの前面板の断面図及び上面図である。
ここでは、更に電極間の静電容量を減少させるために、
電極の一部を部分的に削除した形状の電極をＸ極、Ｙ極
として用いる。結果的に、上面図での形状としては、Ｘ
極、Ｙ極ともに同一セル内で複数に分割されている或い
は、網目状の電極構成になっている場合が考えられる。
ここでも、放電間隙をなす部分に厚みの厚い電極を配す
ることで、第一第二の実施形態と同じ効果が期待でき、
さらには、電極厚みの厚い部分の分布についても同様の
構成をする事で効果が期待できる。ここで注意する必要
があるのは、これまで、のバス電極と呼ばれる電気抵抗
の低い電極材料で作成された電極である。ここでは、電
極の厚みに分布を持たせるために、最も薄い電極の部分
ではその電気抵抗値が高くなり、パネル駆動に悪影響を
及ぼす。そのため、ここでは、静電容量に最も影響の少
ない放電間隙と逆側に比較的厚みの厚いバス電極を配
し、パネル全体としてのライン抵抗値を落とさないよう
にした。

【００１８】尚、この場合についても、第一の実施形態
と全く同様に、膜厚の厚い部分２１０の分布としては、
上面図で放電間隙をなす線を含む小さなエリアでも良
い。この際に、電極の幅としては、すべてのＹ電極の幅
に対して限定を行ったが、ここでは図５中の等価的電極
幅４１０に対して同様の限定を行う。また、電極線に平
行な方向の長さとしては、セルの電極線に平行な方向の
長さではなく、一セル内に存在する極線に平行な方向へ
の電極間隙の射影の長さに対して考えなくてはならな
い。さらに、このように小エリアの部分を設ける際に
は、各セルで独立して駆動する際にも影響を与えるた
め、各セルに一つ以上設けることが更に望ましい。

【００１９】更に、電極厚みの厚い部分については、バ
ス電極と同じ厚み、材質の電極を用いて作成しても良
い。

【００２０】製造方法としても、電極厚みの厚くない部
分を薄膜によって形成、パターニングした後に、バス電
極の材料を成膜或いは印刷し、バス電極部分と放電間隙
近くに配した電極厚みの厚い部分を一度にパターニング
して作成しても良い。

【００２１】尚、第一第二第三の各実施の形態とも、Ｙ
電極のみに電極膜厚の厚い部分を配したが、全く同様に
Ｘ電極に配しても良い。更に、各実施の形態とも、電極
材料としては、透明電極を用いても良いし、感光性銀ペ
ーストなど感光性金属材料を用いても良いし、金属薄膜
或いは金属厚膜を用いても良い。特に、厚さの点と可視
光の取り出し効率のことを考慮すると、電極膜厚が厚く
ない部分については、透明電極を用いることが更に望ま
しいと考えられる。

【００２２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ガス放電
パネルの電極構造を改善して厚みに分布を持たせること
によって、誘電体の等価的膜厚を放電間隙側の一部で薄
くして放電電圧を低くすると共に、全体としての放電間
隙を挟んだ電極対の静電容量を小さくしておくことで、
放電電圧を高くすることなく、安定に放電を開始させ、
その後の全体に広がった放電については従来通りの放電
を維持することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来技術のガス放電パネル構成の斜視図

【図２】本発明の第一の実施の形態における電極形状を
示す断面図及び上面図

【図３】本発明の第二の実施の形態における電極形状を
示す断面図及び上面図

【図４】本発明の第三の実施の形態における電極形状を
示す断面図

【図５】本発明の第三の実施の形態における電極形状を
示す上面図

【符号の説明】

１０１前面ガラス基板１０２表示電極（Ｘ電極）１０３表示電極（Ｙ電極）１０４誘電体膜１０５誘電体保護層１０６放電間隙１１１背面ガラス基板１１２アドレス電極１１３蛍光体（Ｒ）１１４蛍光体（Ｇ）１１５蛍光体（Ｂ）１１６隔壁１１７誘電体膜（背面板）２０１前面ガラス基板２０２Ｘ電極２０３Ｙ電極２０４誘電体膜２０５誘電体保護層２０６維持放電２１０電極膜厚の厚い部分３０１金属電極（バス電極）４０１隔壁４０２Ｘ電極４０３Ｙ電極４１０等価的電極幅

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者今井徹也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者真銅勝利大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者東野秀隆大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA02 AA03 5C040 FA01 FA04 GB03 GB14 GC02 GC19 MA12

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガス放電パネルにおける前面板の主放電
を維持する電極対のうちの少なくともアドレス時に用い
られる走査電極の放電間隙側の電極端部の厚みのうちの
少なくとも一部が他の部分の厚みよりも厚いことを特徴
とするガス放電パネル。
【請求項２】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分が少なくとも各セルに一カ所ずつあることを
特徴とするガス放電パネル。
【請求項３】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と平行な方向の長さとして、セルの
電極線と平行な方向の長さよりも十分に小さいことを特
徴とする請求項１または２記載のガス放電パネル。
【請求項４】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と平行な方向の長さが、セルの電極
線と平行な方向の長さの１／３よりも小さいことを特徴
とする請求項１または２記載のガス放電パネル。
【請求項５】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と平行な方向の長さが、セルの電極
線と平行な方向の長さの１／１０よりも小さいことを特
徴とする請求項１または２記載のガス放電パネル。
【請求項６】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と垂直な方向の長さとして、電極線
の幅よりも十分に小さいことを特徴とする請求項１から
５のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項７】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と垂直な方向の長さが、電極線の幅
の１／３よりも小さいことを特徴とする請求項１から５
のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項８】走査電極の放電間隙側の電極端部の厚み
の厚い部分の電極線と垂直な方向の長さが、電極線の幅
の１／１０よりも小さいことを特徴とする請求項１から
５のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項９】ガス放電パネルにおける前面板の主放電
を維持する電極対のうちの走査電極だけではなく、維持
電極においても請求項１から８のいずれかに記載の走査
電極と同じ構成を取ることを特徴とする請求項１から８
のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項１０】ガス放電パネルにおける前面板の主放
電を維持する電極の内の少なくとも厚くない電極として
は薄膜電極を用い、厚みの厚い部分の電極としては、金
属電極または厚膜形成された電極を用いることを特徴と
する請求項１〜９のいずれかに記載のガス放電パネル。
【請求項１１】薄膜電極として透明電極を用いること
を特徴とする請求項１０記載のガス放電パネル。
【請求項１２】ガス放電パネルにおける前面板の主放
電を維持する電極対の放電間隙側の電極端部以外の部分
に電気抵抗を低下させるための金属電極を電極線と平行
に配置することを特徴とする請求項１０または１１記載
のガス放電パネル。
【請求項１３】ガス放電パネルにおける前面板の電極
の内、請求項１から８のいずれかに記載の少なくとも厚
くない部分の電極厚みの電極を成膜、パターニングした
後、請求項１から８のいずれかに記載の厚い部分の電極
を成膜、パターニングすることを特徴とするガス放電パ
ネル製造方法。
【請求項１４】ガス放電パネルにおける前面板の主放
電を維持する電極対の放電間隙側の電極端部の以外の部
分に電気抵抗を低下させるための金属電極を、請求項１
から８のいずれかに記載の厚い部分の電極を成膜、パタ
ーニングと同時に行うことを特徴とするガス放電パネル
製造方法。