JP2002365025A - 研磨面の検出判定方法 - Google Patents
研磨面の検出判定方法Info
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- JP2002365025A JP2002365025A JP2001169054A JP2001169054A JP2002365025A JP 2002365025 A JP2002365025 A JP 2002365025A JP 2001169054 A JP2001169054 A JP 2001169054A JP 2001169054 A JP2001169054 A JP 2001169054A JP 2002365025 A JP2002365025 A JP 2002365025A
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 目視によることなく、自動的に研磨面を判定
することができて、判定の省力化を図ることができる研
磨面の検出判定方法を提供すること。 【解決手段】 研磨面のすじに沿う斜め上方から光を照
射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に配置した
カメラ２で捉えて、粗研磨では乱反射のない画素数が規
定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素数が規
定値以上のときに不適と判定することを特徴とする。
することができて、判定の省力化を図ることができる研
磨面の検出判定方法を提供すること。 【解決手段】 研磨面のすじに沿う斜め上方から光を照
射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に配置した
カメラ２で捉えて、粗研磨では乱反射のない画素数が規
定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素数が規
定値以上のときに不適と判定することを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、分析試料などの
研磨面の検出判定方法に関するものである。
研磨面の検出判定方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、研磨そのものが手動であったこと
もあり、分析する試料の研磨面を判定する方法としては
専ら、目視による確認作業によっていた。したがって、
大量に判定することができず、省力化が図れないという
問題点があった。
もあり、分析する試料の研磨面を判定する方法としては
専ら、目視による確認作業によっていた。したがって、
大量に判定することができず、省力化が図れないという
問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこでこの発明は、前
記のような従来の問題点を解決し、目視によることな
く、自動的に研磨面を判定することができて、判定の省
力化を図ることができる研磨面の検出判定方法を提供す
ることを目的とする。
記のような従来の問題点を解決し、目視によることな
く、自動的に研磨面を判定することができて、判定の省
力化を図ることができる研磨面の検出判定方法を提供す
ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、研磨面のすじに沿う斜め上方か
ら光を照射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に
配置したカメラで捉えて、粗研磨では乱反射のない画素
数が規定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素
数が規定値以上のときに不適と判定するすることを特徴
とする。請求項２の発明は、請求項１において、光の照
射角度が、研磨面に対して20°〜30°の範囲内であるこ
とを特徴とする。請求項３の発明は、請求項１又は２に
おいて、規定値が、0.2％であることを特徴とする。
め、請求項１の発明は、研磨面のすじに沿う斜め上方か
ら光を照射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に
配置したカメラで捉えて、粗研磨では乱反射のない画素
数が規定値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素
数が規定値以上のときに不適と判定するすることを特徴
とする。請求項２の発明は、請求項１において、光の照
射角度が、研磨面に対して20°〜30°の範囲内であるこ
とを特徴とする。請求項３の発明は、請求項１又は２に
おいて、規定値が、0.2％であることを特徴とする。
【０００５】
【発明の実施の形態】この発明の一実施の形態を、添付
図面を参照して説明する。図１は分析試料の研磨面を判
定する装置の概要図である。１は円筒状を呈し、その切
断された面を上向きにして載置された分析試料であり、
この試料１の上方にはＣＣＤカメラ２が試料１の研磨面
１ａと対向して、該研磨面からの乱反射光を受光可能に
設置されている。３は例えばハロゲンランプからなる照
明器具であり、その照明光が試料１の研磨面１ａに対し
て所定の角度θ°で照射されるようになっている。角度
θ°は鋭角度であれば特定の角度としなくてもよいが、
検出精度をよくするためには研磨面１ａに対して20°〜
30°の範囲内であることが好ましい。４は画像解析装置
であり、ＣＣＤカメラ２が受光した画像を解析して研磨
面１ａの状態を判定する。すなわち、画素数をカウント
して、カウント値が規定値以上のときに、この試料１を
不適と判定する。この実施の形態では規定値を0.2％に
設定している。
図面を参照して説明する。図１は分析試料の研磨面を判
定する装置の概要図である。１は円筒状を呈し、その切
断された面を上向きにして載置された分析試料であり、
この試料１の上方にはＣＣＤカメラ２が試料１の研磨面
１ａと対向して、該研磨面からの乱反射光を受光可能に
設置されている。３は例えばハロゲンランプからなる照
明器具であり、その照明光が試料１の研磨面１ａに対し
て所定の角度θ°で照射されるようになっている。角度
θ°は鋭角度であれば特定の角度としなくてもよいが、
検出精度をよくするためには研磨面１ａに対して20°〜
30°の範囲内であることが好ましい。４は画像解析装置
であり、ＣＣＤカメラ２が受光した画像を解析して研磨
面１ａの状態を判定する。すなわち、画素数をカウント
して、カウント値が規定値以上のときに、この試料１を
不適と判定する。この実施の形態では規定値を0.2％に
設定している。
【０００６】研磨は粗研磨と仕上げ研磨として行われ
る。研磨面１ａに対する検出判定に際しては、赤色試料
（700℃程度）から調整するので、切断面は黒くなって
いる。そのため、処理前（研磨未実施）の状態のときは
ＣＣＤカメラ２には黒く映る。また、穴明きがあった場
合も黒く映る。最初に行う粗研磨では研磨残しと穴明き
の識別を行う必要があるため、研磨が完了している部分
が白く映るようにしている。つまり、研磨痕は横すじに
なるようにして、横すじ（白い部分）が適（ＯＫ品）、
その他の黒い部分が不適（ＮＧ品）と判定するようにし
ている。また、仕上げ研磨を行うときは粗研磨の残し部
分を不適として識別する必要があるため、仕上げ研磨で
縦すじをつけて、白く写っている（横すじ）部分を不適
と判定するようにしている。
る。研磨面１ａに対する検出判定に際しては、赤色試料
（700℃程度）から調整するので、切断面は黒くなって
いる。そのため、処理前（研磨未実施）の状態のときは
ＣＣＤカメラ２には黒く映る。また、穴明きがあった場
合も黒く映る。最初に行う粗研磨では研磨残しと穴明き
の識別を行う必要があるため、研磨が完了している部分
が白く映るようにしている。つまり、研磨痕は横すじに
なるようにして、横すじ（白い部分）が適（ＯＫ品）、
その他の黒い部分が不適（ＮＧ品）と判定するようにし
ている。また、仕上げ研磨を行うときは粗研磨の残し部
分を不適として識別する必要があるため、仕上げ研磨で
縦すじをつけて、白く写っている（横すじ）部分を不適
と判定するようにしている。
【０００７】図２はＣＣＤカメラ２による検出の判定結
果を示し、（Ａ）と（Ｂ）は粗研磨の判定結果、（Ｃ）
と（Ｄ）は仕上げ研磨の判定結果を表わしている。
（Ａ）は研磨面１ａに研磨痕である横すじイのみがある
場合であり、この場合には全面が乱反射光の画素数とし
て検出されるので、乱反射光のない黒い部分の画素数の
カウント値は規定値未満となり、試料１は適と判定され
る。（Ｂ）は研磨面１ａに研磨痕である横すじイのほか
に縦すじ（未研磨部分）ロと穴明きハが混ざってある場
合であり、この場合には縦すじロと穴明きハの部分から
乱反射光がなくそれが黒く検出される。そして、その黒
く検出された画素数のカウント値が規定値以上であれば
粗研磨残し、穴明けとして、試料１は不適と判定され
る。
果を示し、（Ａ）と（Ｂ）は粗研磨の判定結果、（Ｃ）
と（Ｄ）は仕上げ研磨の判定結果を表わしている。
（Ａ）は研磨面１ａに研磨痕である横すじイのみがある
場合であり、この場合には全面が乱反射光の画素数とし
て検出されるので、乱反射光のない黒い部分の画素数の
カウント値は規定値未満となり、試料１は適と判定され
る。（Ｂ）は研磨面１ａに研磨痕である横すじイのほか
に縦すじ（未研磨部分）ロと穴明きハが混ざってある場
合であり、この場合には縦すじロと穴明きハの部分から
乱反射光がなくそれが黒く検出される。そして、その黒
く検出された画素数のカウント値が規定値以上であれば
粗研磨残し、穴明けとして、試料１は不適と判定され
る。
【０００８】（Ｃ）は研磨面１ａに研磨痕である縦すじ
ハのみがある場合であり、この場合には乱反射光がなく
黒く検出されるので、画素数のカウント値は規定値未満
となり、試料1は適と判定される。（Ｄ）は研磨面1ａに
研磨痕である縦すじハのほかに横すじニが混ざっている
場合であり、この場合にも横すじニの部分から乱反射光
が一部あってそれが白く検出される。そして、その画素
数のカウント値が規定値以上であれば仕上研磨残しとし
て、試料１は不適と判定される。
ハのみがある場合であり、この場合には乱反射光がなく
黒く検出されるので、画素数のカウント値は規定値未満
となり、試料1は適と判定される。（Ｄ）は研磨面1ａに
研磨痕である縦すじハのほかに横すじニが混ざっている
場合であり、この場合にも横すじニの部分から乱反射光
が一部あってそれが白く検出される。そして、その画素
数のカウント値が規定値以上であれば仕上研磨残しとし
て、試料１は不適と判定される。
【０００９】前記のようにして従来の目視によるものと
は違い、粗研磨、仕上げ研磨のいずれの場合でも、研磨
面１ａに照明器具３から照明光を照射し、該照射光の乱
反射光をＣＣＤカメラ２によって受光し、該受光した画
素数を画像解析装置４でカウントし、かつ該カウント値
が規定値以上であれば、試料１を不適とし、このように
全て自動的に研磨良否の判定を行うので、手動での再研
磨工数の削減と粗研磨時間の短縮を図ることが可能とな
る。
は違い、粗研磨、仕上げ研磨のいずれの場合でも、研磨
面１ａに照明器具３から照明光を照射し、該照射光の乱
反射光をＣＣＤカメラ２によって受光し、該受光した画
素数を画像解析装置４でカウントし、かつ該カウント値
が規定値以上であれば、試料１を不適とし、このように
全て自動的に研磨良否の判定を行うので、手動での再研
磨工数の削減と粗研磨時間の短縮を図ることが可能とな
る。
【００１０】前記において照明器具３をＣＣＤカメラ２
の位置に持っていき照明器具３とカメラ２を一体化し、
照明器具３から研磨面１ａに真上から照射した照明光の
反射光を同カメラ２で受光するようにしたもの（カメラ
一体型照明器具）で検出するものと比較してみると、こ
のカメラ一体型照明器具の場合には正反射光のみを受光
するため、一定方向の研磨痕と研磨残し痕の差がつけら
れず、すなわち研磨痕と研磨残し痕との微妙な違いを読
み取ることができず、このような点でこの発明によるや
り方に比べて劣る。
の位置に持っていき照明器具３とカメラ２を一体化し、
照明器具３から研磨面１ａに真上から照射した照明光の
反射光を同カメラ２で受光するようにしたもの（カメラ
一体型照明器具）で検出するものと比較してみると、こ
のカメラ一体型照明器具の場合には正反射光のみを受光
するため、一定方向の研磨痕と研磨残し痕の差がつけら
れず、すなわち研磨痕と研磨残し痕との微妙な違いを読
み取ることができず、このような点でこの発明によるや
り方に比べて劣る。
【００１１】
【発明の効果】この発明は前記のようであって、研磨面
のすじに沿う斜め上方から光を照射し、その乱反射光を
研磨面と対向する位置に配置したカメラで捉えて、粗研
磨では乱反射のない画素数が規定値以上のとき、仕上げ
研磨では乱反射光の画素数が規定値以上のときに不適と
判定するので、従来のように目視によることなく、自動
的に研磨面を判定することができて、判定の省力化を図
ることができるという優れた効果がある。
のすじに沿う斜め上方から光を照射し、その乱反射光を
研磨面と対向する位置に配置したカメラで捉えて、粗研
磨では乱反射のない画素数が規定値以上のとき、仕上げ
研磨では乱反射光の画素数が規定値以上のときに不適と
判定するので、従来のように目視によることなく、自動
的に研磨面を判定することができて、判定の省力化を図
ることができるという優れた効果がある。
【図１】この発明の一実施の形態を示す研磨面の判定を
司る装置の概要図である。
司る装置の概要図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）は粗研磨の判定結果、（Ｃ），
（Ｄ）は仕上げ研磨の判定結果を示す図面である。
（Ｄ）は仕上げ研磨の判定結果を示す図面である。
１ 分析試料 ２ ＣＣＤカメラ ３ 照明器具（ハロゲンランプ） ４ 画像解析装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA49 DD06 GG02 JJ03 JJ09 JJ26 QQ25 QQ31 QQ51 SS04 2G051 AA90 AB02 AB07 AB20 BB01 CA04 CB05 GC04 3C029 CC02 CC10
Claims (3)
- 【請求項１】 研磨面のすじに沿う斜め上方から光を照
射し、その乱反射光を研磨面と対向する位置に配置した
カメラで捉えて、粗研磨では乱反射のない画素数が規定
値以上のとき、仕上げ研磨では乱反射光の画素数が規定
値以上のときに不適と判定することを特徴とする研磨面
の検出判定方法。 - 【請求項２】 光の照射角度が、研磨面に対して20°〜
30°の範囲内である請求項１記載の研磨面の検出判定方
法。 - 【請求項３】 規定値が、0.2％である請求項１又は２
記載の研磨面の検出判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169054A JP2002365025A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 研磨面の検出判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001169054A JP2002365025A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 研磨面の検出判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002365025A true JP2002365025A (ja) | 2002-12-18 |
Family
ID=19011176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001169054A Withdrawn JP2002365025A (ja) | 2001-06-05 | 2001-06-05 | 研磨面の検出判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002365025A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106403853A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-15 | 沈阳建筑大学 | 一种石材表面粗糙度的在线检测装置及方法 |
| JP2018181218A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | ファナック株式会社 | 加工面品位評価装置 |
-
2001
- 2001-06-05 JP JP2001169054A patent/JP2002365025A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106403853A (zh) * | 2016-11-15 | 2017-02-15 | 沈阳建筑大学 | 一种石材表面粗糙度的在线检测装置及方法 |
| JP2018181218A (ja) * | 2017-04-20 | 2018-11-15 | ファナック株式会社 | 加工面品位評価装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080805 |