JP2002357629A - 回路基板検査装置 - Google Patents

回路基板検査装置

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JP2002357629A
JP2002357629A JP2001167894A JP2001167894A JP2002357629A JP 2002357629 A JP2002357629 A JP 2002357629A JP 2001167894 A JP2001167894 A JP 2001167894A JP 2001167894 A JP2001167894 A JP 2001167894A JP 2002357629 A JP2002357629 A JP 2002357629A
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display
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Masahiko Takada
正彦 高田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不良の有無および不良発生箇所の特定が容易
な検査結果表示画面を表示可能な回路基板検査装置を提
供する。 【解決手段】 検査対象の回路基板における基板面領域
を分割した複数の小エリアA1〜A16毎の検査結果を
表示部4に表示させる表示制御部を備えた回路基板検査
装置であって、表示制御部は、隣接する複数の小エリア
A1〜A16を所定数毎に複数の大エリアA1〜D4に
グループ化すると共に各大エリアA1〜D4についての
検査結果を一画面中に一覧表示する第1の表示画面11
aと、所定数の各小エリア(例えば、A1〜A16)毎
の検査結果を各大エリア(例えばA1)別に表示する第
2の表示画面とを所定の操作に応じて切替え表示させ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、検査対象の回路基
板の基板面領域を分割した複数の小エリア毎の検査結果
を表示部に表示させる回路基板検査装置に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】この種の回路基板検査装置として、図4
に示す回路基板検査装置31が従来から知られている。
この回路基板検査装置31では、基板検査部2が、検査
対象の回路基板Pにおける予め定められた複数の検査ポ
イントについて所定の電気的検査を実行すると共に、制
御部35が、その検査結果を表示部4に表示させる。こ
の場合、図5に示すように、この回路基板検査装置31
では、回路基板Pの基板面領域を横方向に4分割(A〜
D)し、かつ縦方向に4分割(1〜4)した16区画の
エリアA1〜D4を表示単位として、制御部35が、各
エリアに属する検査ポイントについての検査結果を表示
させる。
【0003】具体的には、制御部35は、基板検査部2
による回路基板Pについての電気的検査が完了した後、
図6に示すように、検査結果表示画面41を表示部4に
表示させる。この検査結果表示画面41では、実際の回
路基板Pにおける基板面領域のすべてのエリアA1〜D
4についての検査結果が、表示部4に表示させた回路基
板P上の対応する表示部位にそれぞれ表示される。例え
ば検査結果表示画面41上のエリアA1には、回路基板
P上の対応するエリアA1に属する各検査ポイントにつ
いての検査結果が表示され、検査結果表示画面41上の
エリアD4には、回路基板P上の対応するエリアD4に
属する各検査ポイントについての検査結果が表示され
る。また、電気的検査の結果、そのエリアに属するすべ
ての検査ポイントに絶縁不良や導通不良など(以下、単
に「不良」ともいう)の発生が認められなかったときに
は、そのエリアに対応する検査結果表示画面41上のエ
リアを例えば白色で表示する。一方、そのエリアに属す
る各検査ポイントのいずれかに不良の発生が認められた
ときには、そのエリアに対応する検査結果表示画面41
上のエリアを例えば赤色(同図では「斜線」で示し、以
下、各図においても同様に示す)で表示する。これによ
り、オペレータは、表示部4に表示された検査結果表示
画面41を参照するだけで、検査対象の回路基板Pにつ
いての不良の有無、および不良が発生している検査ポイ
ントの属するエリアの位置を直感的に識別することがで
きる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の回路
基板検査装置31には、以下の問題点がある。すなわ
ち、従来の回路基板検査装置31では、検査結果表示画
面41上の各エリアを赤色または白色で表示することに
より、各エリアに属する各検査ポイントについての不良
の有無を表示している。しかし、各エリアに対応する回
路基板Pの面積が比較的広いため、1つのエリアに属す
る検査ポイントが多数となる。このため、例えば検査結
果表示画面41上のエリアA1が赤色表示された際に
は、エリアA1に属する多数の検査ポイントのいずれに
不良が発生しているのかを特定し難いという問題点があ
る。
【0005】この場合、図7に示す検査結果表示画面5
1のように、例えば回路基板Pを横方向に16分割し、
かつ縦方向に16分割した256区画のエリアA1〜P
16のそれぞれを表示単位として検査結果を表示する表
示方法が考えられる。この検査結果の表示方法では、各
エリアに属する検査ポイントの数が少数となるため、不
良が発生している検査ポイントの特定が容易となる。し
かし、この表示方法では、回路基板P上における実際の
エリアA1〜P16の面積減少に伴い、検査結果表示画
面51上の各エリアA1〜P16の表示面積も小さくな
る。このため、その不良の有無を識別し難いという問題
点がある。また、多数のエリアについての検査結果が一
画面中に一括して表示されるため、この検査結果表示の
みをもってしてはオペレータにとって非常に見難いとい
う問題点もある。
【0006】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、不良の有無および不良発生箇所の特定が容
易な検査結果表示画面を表示可能な回路基板検査装置を
提供することを主目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項1記載の回路基板検査装置は、検査対象の回路基板
における基板面領域を分割した複数の小エリア毎の検査
結果を表示部に表示させる表示制御部を備えた回路基板
検査装置であって、前記表示制御部は、隣接する前記複
数の小エリアを所定数毎に複数の大エリアにグループ化
すると共に当該各大エリアについての検査結果を一画面
中に一覧表示する第1の表示画面と、前記所定数の各小
エリア毎の検査結果を前記各大エリア別に表示する第2
の表示画面とを所定の操作に応じて切替え表示させるこ
とを特徴とする。
【0008】請求項2記載の回路基板検査装置は、請求
項1記載の回路基板検査装置において、前記表示制御部
は、前記第1の表示画面の表示に際して任意の前記大エ
リアを選択するためのポインタを表示させ、当該ポイン
タによって選択された前記大エリアについての前記第2
の表示画面を切替え表示させることを特徴とする。
【0009】請求項3記載の回路基板検査装置は、請求
項1または2記載の回路基板検査装置において、前記表
示制御部は、前記基板面領域における前記大エリアの配
置に対応させて前記第1の表示画面を図形的に表示させ
ると共に当該基板面領域における前記小エリアの配置に
対応させて前記第2の表示画面を図形的に表示させ、か
つ当該大エリアについての前記検査結果および当該小エ
リア毎の前記検査結果を表示色、線図または模様で識別
可能にそれぞれ表示させることを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る回路基板検査装置の好適な実施の形態について
説明する。
【0011】最初に、回路基板検査装置1の構成につい
て、図面を参照して説明する。
【0012】回路基板検査装置1は、図4に示すよう
に、基板検査部2、操作部3、表示部4、制御部5、R
AM6およびROM7を備えている。基板検査部2は、
制御部5の制御下で回路基板Pについての電気的検査を
実行する。この場合、基板検査部2は、一例としてX−
Y−Z移動機構に取り付けられた一対のコンタクトプロ
ーブ(図示せず)を備え、そのコンタクトプローブを用
いて回路基板Pの各検査ポイントについての断線や短絡
などの不良の有無を電気的に検査する。操作部3は、制
御部5によって各種機能が割り当てられるファンクショ
ンキー15a〜15e(図1参照)や、表示部4上でカ
ーソル12(図1参照)を上下左右に移動させるための
カーソル移動キーなどの各種キーを備えている。表示部
4は、特に限定されないが、例えばカラー表示可能なL
CDパネルで構成されている。この表示部4は、制御部
5の制御下で、図1に示す検査結果全体表示画面(第1
の表示画面)11a、および図2に示す検査結果拡大表
示画面(第2の表示画面)11bなどを表示する。制御
部5は、本発明における表示制御部に相当し、表示部4
の表示制御や基板検査部2の動作制御を実行する。RA
M6は、制御部5の演算結果を一時的に記憶し、ROM
7は、制御部5の動作プログラムを記憶する。
【0013】次に、回路基板検査装置1による回路基板
Pの検査方法について、図面を参照して説明する。
【0014】まず、基板検査部2が制御部5の制御下で
回路基板Pについての電気的検査を実行する。この際
に、基板検査部2は、回路基板Pの導体パターンにおけ
る各検査ポイントに一対のコンタクトプローブを接触さ
せ、一方のコンタクトプローブから検査信号を出力しつ
つ他方のコンタクトプローブで検査信号を入力すること
により、その検査ポイントについての不良の有無を検査
する。次に、基板検査部2は、検査結果を制御部5に出
力する。これに応じて、制御部5は、入力した検査結果
をRAM6に記憶させる。このように、基板検査部2に
よる各検査ポイントについての電気的検査、および制御
部5によるRAM6への各検査結果の記憶を順次実行す
ることにより、RAM6には、回路基板P上のすべての
検査ポイントについての検査結果が記憶される。
【0015】次いで、すべての検査ポイントについての
電気的検査が完了した際に、制御部5は、その検査結果
を図形的に表示部4に表示させる。この場合、図5に示
すように、制御部5は、回路基板Pの基板面領域を横方
向に4分割(A〜D)し、かつ縦方向に4分割(1〜
4)した16区画のエリアA1〜D4の各々を、さらに
横方向に4分割し、かつ縦方向に4分割した16区画の
小エリア(例えばエリアA1については、小エリアA1
−1〜A1−16に分割する)を表示単位として、各小
エリアに属する検査ポイントについての検査結果を例え
ば白赤の表示色で塗り分け表示する。なお、エリアA1
〜D4の各々が本発明における大エリアに相当する。
【0016】具体的には、図1に示すように、制御部5
は、検査結果全体表示画面11aを表示部4に表示させ
ることにより、各エリアA1〜D4についての検査結果
を一画面中に一覧表示する。この際に、制御部5は、検
査結果全体表示画面11aにおいて、回路基板P上の各
小エリア毎の検査結果を、表示部4に表示した回路基板
P上の各エリアA1〜D4内の各小エリア(1〜16)
の各々の位置に対応して表示させると共に、エリアA1
〜D4のいずれかを選択するためのカーソル12を表示
させる。また、制御部5は、カーソル12によって選択
されたエリアA1〜D4のいずれかを拡大表示させる機
能をファンクションキー15eに対して割り付けると共
に、割り付けた機能の内容を表す機能表示14aを表示
部4に表示させる。
【0017】この際に、制御部5は、RAM6に記憶さ
れている検査結果に基づいて、各小エリアに属する検査
ポイントのいずれかに不良が発生していると判別したと
きに、対応する小エリアを赤色で表示する。また、各小
エリアに属する検査ポイントに不良が発生していないと
判別したときには、対応する小エリアを白色で表示す
る。これにより、例えば、すべての検査ポイントに不良
が発生していない小エリアA1−1〜A1−16につい
ては、検査結果全体表示画面11a上の対応する小エリ
アA1−1〜A1−16が白色で表示され、その小エリ
アに属するいずれかの検査ポイントに不良が発生してい
る小エリアB1−2,B1−16,A4−10などにつ
いては、対応する小エリアB1−2,B1−16,A4
−10が赤色で表示される。これにより、オペレータ
は、検査結果全体表示画面11aを参照することで、回
路基板Pについての不良の有無、および回路基板P上に
おいて不良が発生したエリアを正確かつ直感的に識別す
ることができる。
【0018】この場合、この回路基板検査装置1では、
各小エリアの結果結果をエリア(A1〜D4のいずれ
か)別に拡大表示可能に構成されている。例えば、赤色
表示されている小エリアB1−2,B1−16が属する
エリアB1を拡大表示する際には、操作部3のカーソル
移動キーを操作してカーソル12をエリアB1に移動さ
せる。この際に、制御部5は、カーソル12によって選
択されているエリアについてのエリア情報表示13aを
例えば表示部4の画面右上に表示させる。次いで、オペ
レータによってファンクションキー15eが操作(所定
の操作)された際には、制御部5は、図2に示す検査結
果拡大表示画面11bを表示部4に切替え表示する。こ
の検査結果拡大表示画面11bは、検査結果全体表示画
面11aにおいてカーソル12によって選択されたエリ
ア(この場合、エリアB1)を拡大表示したものであ
り、各小エリアB1−1〜B1−16についての検査結
果がそれぞれ拡大されて白赤で塗り分け表示される。こ
の際に、制御部5は、検査結果拡大表示画面11bとし
て拡大表示させているエリアについてのエリア情報表示
13bを例えば表示部4の画面右上に表示させる。同時
に、制御部5は、回路基板P全体についての検査結果を
表示させる機能(検査結果全体表示画面11aを再び表
示させる機能)をファンクションキー15eに対して割
り付けると共に、割り付けた機能の内容を表す機能表示
14bを表示部4に表示させる。
【0019】この検査結果拡大表示画面11bでは、各
小エリアB1−1〜B1−16についての検査結果が、
検査結果全体表示画面11aと比較して、より大きく表
示される。このため、各小エリアB1−1〜B1−16
での不良の有無を正確かつ迅速に識別させることができ
る。また、256区画の小エリアのすべてを一画面中に
一覧表示した検査結果全体表示画面11aと比較して、
画面中に表示される情報量が少ないため、その不良の有
無を容易に識別させることができると共に、回路基板P
上における不良発生エリアの位置を正確かつ容易に特定
させることができる。一方、他のエリアA1〜D4に属
する小エリアについての検査結果を表示させる際には、
まず、ファンクションキー15eを操作して検査結果全
体表示画面11aを表示させる。次に、カーソル移動キ
ーを操作してエリアA1〜D4のうちの所望するいずか
にカーソル12を移動させた後に、ファンクションキー
15eを操作する。これにより、所望エリアについての
小エリア毎の検査結果を表示した検査結果拡大表示画面
11bが表示部4に表示される。
【0020】このように、この回路基板検査装置1によ
れば、回路基板P全体についての検査結果を一覧表示す
る検査結果全体表示画面11aと、カーソル12によっ
て選択されたエリアA1〜D4のいずれかを拡大表示す
る検査結果拡大表示画面11bとを切り替え表示するこ
とにより、従来の回路基板検査装置31と比較して、回
路基板Pの基板面領域を多数のエリアに分割して検査結
果を表示させているにも拘わらず、オペレータに対し
て、不良の有無および不良発生エリアを正確かつ容易
に、しかも、より直感的に識別させることができる。ま
た、この回路基板検査装置1によれば、検査結果拡大表
示画面11bによって拡大表示されるエリアを検査結果
全体表示画面11a上でカーソル12によって任意に選
択することができる。このため、例えば各エリアA1〜
D4についての検査結果拡大表示画面11bを切り替え
て順次表示させる表示方法と比較して、小エリアに不良
が発生していると思われるエリア(A1〜D4のいずれ
か)を迅速かつ任意に表示させることができる。さら
に、この回路基板検査装置1によれば、回路基板P上の
実際の基板面領域に対応させてエリアA1〜D4および
小エリア(1〜16)を表示することにより、オペレー
タは、検査結果全体表示画面11aまたは検査結果拡大
表示画面11bを参照して識別した不良発生箇所の回路
基板P上での実際の位置を正確かつ容易に特定すること
ができる。
【0021】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に限定されず、適宜変更が可能である。例えば、本
発明の実施の形態では、回路基板P全体についての検査
結果を表示する検査結果全体表示画面11aにおいて各
小エリア毎の検査結果をそれぞれ表示したが、図3に示
す検査結果全体表示画面11cのように、エリアA1〜
D4のそれぞれを表示単位とし、各エリアA1〜D4に
属する小エリアのいずれかに不良が発生していると認め
られた際に、そのエリア(A1〜D4のいずれか)全体
を赤色で表示してもよい。この表示方法によれば、各エ
リアA1〜D4に属する各小エリアにおける不良の有無
をオペレータに対してさらに迅速かつ容易に識別させる
ことができる。また、オペレータは、不良の発生が認め
られたエリアA1〜D4のいずれかにカーソル12を移
動させてファンクションキー15eを操作して、そのエ
リアについての検査結果拡大表示画面11bを表示部4
に表示させることにより、不良が発生している小エリア
を容易に特定することができる。
【0022】また、本発明の実施の形態では、1枚の回
路基板Pを検査対象とし、検査結果全体表示画面11a
でその全体についての検査結果を表示する例を挙げて説
明したが、本発明における回路基板検査装置の検査対象
はこれに限定されない。例えば、割り基板(複数枚取り
基板)のように、複数の回路基板P,P・・が連結され
ている基板を検査対象とする場合には、割り基板全体
(複数の回路基板P,P・・のすべて)についての検査
結果を検査結果全体表示画面11aで表示すると共に、
各回路基板Pの各エリアに対応する各エリア(例えばA
1〜D4)についての検査結果を検査結果拡大表示画面
11bで表示させてもよい。さらに、本発明の実施の形
態では、不良が発生していない小エリアを白色で表示
し、かつ不良が発生している検査ポイントを含む小エリ
アを赤色で表示する例について説明したが、本発明はこ
れに限定されず、両者を識別し得る限り、各種表示色で
検査結果全体表示画面11aおよび検査結果拡大表示画
面11bを表示することができる。
【0023】また、本発明の実施の形態では、検査結果
全体表示画面11aにおいてカーソル12で選択した1
つのエリアについての検査結果を検査結果拡大表示画面
11bで拡大表示する例を説明したが、例えば、検査結
果全体表示画面11aにおいて隣接する複数のエリアを
選択可能にし、選択された複数のエリアについての検査
結果を検査結果拡大表示画面11bで表示してもよい。
さらに、本発明の実施の形態では、回路基板P全体につ
いての検査結果を一覧表示する表示画面(検査結果全体
表示画面11a)と、選択されたエリアA1〜D4のい
ずれかについての検査結果を拡大表示する表示画面(検
査結果拡大表示画面11b)との2段階の拡大表示を実
行する例を挙げて説明したが、本発明はこれに限定され
ず、検査結果拡大表示画面11bにおいて選択された小
エリアについてさらに拡大表示するなど、複数段階の拡
大表示を実行可能に構成することもできる。また、本発
明における大エリアおよび小エリアの分割数は、本発明
の実施の形態に例示した16分割に限定されず、検査対
象の回路基板の大きさや、検査ポイントの数に応じて適
宜変更することができる。また、各大小エリアについて
の検査結果の表示は、上記した表示色による識別に限ら
ず、斜線や網線などの線図、または色分けやぼかしなど
の模様で識別可能に表示させてもよいし、文字によって
表形式で表示させることもできる。
【0024】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の回路基板
検査装置によれば、各大エリアについての検査結果を一
画面中に一覧表示する第1の表示画面と、所定数の各小
エリア毎の検査結果を各大エリア別に表示する第2の表
示画面とを所定の操作に応じて切替え表示させることに
より、オペレータは、第1の表示画面において不良の有
無を確実かつ直感的に識別することができると共に、不
良の発生が認められた大エリアについての第2の表示画
面を表示させることで、回路基板の基板面領域のいずれ
の小エリアに不良が発生しているかを正確かつ容易に識
別することができる。したがって、回路基板を多数に分
割して各小エリアに属する検査ポイントの数を減らすこ
とができる結果、不良発生箇所を正確かつ容易に特定す
ることができる。
【0025】また、請求項2記載の回路基板検査装置に
よれば、ポインタによって選択された大エリアについて
の第2の表示画面を順次切替え表示させることにより、
例えば、各小エリアについての第2の表示画面を所定順
序で切り替え表示する表示方法とは異なり、第1の表示
画面において不良発生が認められた大エリアについての
第2の表示画面を迅速かつ任意に表示させることができ
るため、不良発生箇所を特定するための詳細な検査結果
を迅速に表示させることができる。
【0026】さらに、請求項3記載の回路基板検査装置
によれば、基板面領域における大エリアの配置に対応さ
せて第1の表示画面を図形的に表示させると共に基板面
領域における小エリアの配置に対応させて第2の表示画
面を図形的に表示させ、かつ大エリアについての検査結
果および小エリア毎の検査結果を表示色、線図または模
様で識別可能にそれぞれ表示させることにより、実際の
回路基板における不良発生箇所を確実かつ直感的に識別
させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】回路基板P全体についての検査結果を一覧表示
する検査結果全体表示画面11aの表示画面図である。
【図2】検査結果全体表示画面11aにおいて選択され
たエリアについての検査結果を表示する検査結果拡大表
示画面11bの表示画面図である。
【図3】回路基板P全体についての検査結果を一覧表示
する他の検査結果全体表示画面11cの表示画面図であ
る。
【図4】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1
および従来の回路基板検査装置31のそれぞれの構成を
示すブロック図である。
【図5】回路基板検査装置1,31の検査対象である回
路基板Pの基板面領域におけるエリアA1〜D4を説明
する説明図である。
【図6】回路基板P全体についての検査結果を表示する
検査結果表示画面41の表示画面図である。
【図7】回路基板P全体についての検査結果を表示する
検査結果表示画面51の表示画面図である。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置 2 基板検査部 3 操作部 4 表示部 5 制御部 11a,11c 検査結果全体表示画面 11b 検査結果拡大表示画面 12 カーソル A1〜D4 エリア A1−1〜A1−16 小エリア

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査対象の回路基板における基板面領域
    を分割した複数の小エリア毎の検査結果を表示部に表示
    させる表示制御部を備えた回路基板検査装置であって、 前記表示制御部は、隣接する前記複数の小エリアを所定
    数毎に複数の大エリアにグループ化すると共に当該各大
    エリアについての検査結果を一画面中に一覧表示する第
    1の表示画面と、前記所定数の各小エリア毎の検査結果
    を前記各大エリア別に表示する第2の表示画面とを所定
    の操作に応じて切替え表示させることを特徴とする回路
    基板検査装置。
  2. 【請求項2】 前記表示制御部は、前記第1の表示画面
    の表示に際して任意の前記大エリアを選択するためのポ
    インタを表示させ、当該ポインタによって選択された前
    記大エリアについての前記第2の表示画面を切替え表示
    させることを特徴とする請求項1記載の回路基板検査装
    置。
  3. 【請求項3】 前記表示制御部は、前記基板面領域にお
    ける前記大エリアの配置に対応させて前記第1の表示画
    面を図形的に表示させると共に当該基板面領域における
    前記小エリアの配置に対応させて前記第2の表示画面を
    図形的に表示させ、かつ当該大エリアについての前記検
    査結果および当該小エリア毎の前記検査結果を表示色、
    線図または模様で識別可能にそれぞれ表示させることを
    特徴とする請求項1または2記載の回路基板検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187438A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 日置電機株式会社 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法
JP2017187298A (ja) * 2016-04-01 2017-10-12 日置電機株式会社 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0470572A (ja) * 1990-07-12 1992-03-05 Futsusa Denshi Kogyo:Kk プリント基板の検査方法
JPH05152408A (ja) * 1991-04-26 1993-06-18 Sharp Corp 半導体素子不良箇所検出方法
JPH05267898A (ja) * 1992-03-19 1993-10-15 Nec Corp 部品実装基板の検査装置
JPH06250139A (ja) * 1993-02-23 1994-09-09 Casio Comput Co Ltd 液晶表示パネルの検査方法
JPH07113761A (ja) * 1993-10-14 1995-05-02 Nikon Corp 欠陥表示方法
JPH09257718A (ja) * 1996-03-25 1997-10-03 Canon Inc 異物検査装置及びそれを用いた異物検査方法
JPH10269268A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Fujitsu Kiden Ltd マルチ画面表示装置及び配線装置
JPH1167853A (ja) * 1997-08-26 1999-03-09 Mitsubishi Electric Corp ウェーハマップ解析補助システムおよびウェーハマップ解析方法
JP2000055991A (ja) * 1998-08-07 2000-02-25 Okano Hightech Kk 基板検査用センサプローブおよびその製造方法
JP2001110198A (ja) * 1999-10-13 2001-04-20 Yokogawa Electric Corp メモリ検査装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0470572A (ja) * 1990-07-12 1992-03-05 Futsusa Denshi Kogyo:Kk プリント基板の検査方法
JPH05152408A (ja) * 1991-04-26 1993-06-18 Sharp Corp 半導体素子不良箇所検出方法
JPH05267898A (ja) * 1992-03-19 1993-10-15 Nec Corp 部品実装基板の検査装置
JPH06250139A (ja) * 1993-02-23 1994-09-09 Casio Comput Co Ltd 液晶表示パネルの検査方法
JPH07113761A (ja) * 1993-10-14 1995-05-02 Nikon Corp 欠陥表示方法
JPH09257718A (ja) * 1996-03-25 1997-10-03 Canon Inc 異物検査装置及びそれを用いた異物検査方法
JPH10269268A (ja) * 1997-03-27 1998-10-09 Fujitsu Kiden Ltd マルチ画面表示装置及び配線装置
JPH1167853A (ja) * 1997-08-26 1999-03-09 Mitsubishi Electric Corp ウェーハマップ解析補助システムおよびウェーハマップ解析方法
JP2000055991A (ja) * 1998-08-07 2000-02-25 Okano Hightech Kk 基板検査用センサプローブおよびその製造方法
JP2001110198A (ja) * 1999-10-13 2001-04-20 Yokogawa Electric Corp メモリ検査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017187298A (ja) * 2016-04-01 2017-10-12 日置電機株式会社 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法
JP2017187438A (ja) * 2016-04-08 2017-10-12 日置電機株式会社 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法

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