JP2002357453A

JP2002357453A - 変位検出装置

Info

Publication number: JP2002357453A
Application number: JP2001166053A
Authority: JP
Inventors: Shigeaki Hiramatsu; 成章平松; Kimihiko Nakamura; 君彦中村; Tadashi Ito; 忠伊藤
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2001-06-01
Filing date: 2001-06-01
Publication date: 2002-12-13
Anticipated expiration: 2021-06-01
Also published as: CN100339677C; CN1690646A; JP3548752B2

Abstract

(57)【要約】【課題】安価で、高精度の変位検出が可能な変位検出
装置を提供する。【解決手段】差動トランス２を駆動する駆動信号を、
増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２を介して基準信
号としてフィードバックして前記駆動信号の振幅を一定
値になるように振幅調整手段１６で調整し、高価な発振
器６や増幅器７を必要とせず、安価な構成で、差動トラ
ンス２に安定した駆動信号を出力できるとともに、この
駆動信号を処理して差動増幅器１０に対して安定した基
準信号を与えるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、工場にお
ける部品や組み立て品などの寸法や形状あるいは圧力に
よる変位などを精密に測定するのに好適な変位検出装置
に関し、更に詳しくは、差動トランスを用いた変位検出
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図８は、従来例の変位検出装置の構成図
である。

【０００３】同図において、１は差動トランス２および
感度調節抵抗３を有するセンサであり、差動トランス２
は、図示しない可動コアと、この可動コアの周囲に配設
された二つのコイル４，５とを備えている。

【０００４】この差動トランス２の二つのコイル４，５
は、直列に接続されており、発振器６から増幅器７を介
して与えられる駆動信号としての交流電圧によって駆動
され、その中間接続点から出力信号を与える。

【０００５】この変位検出装置は、ハーフブリッジ型の
トランスジューサであり、交流電圧で駆動される二つの
コイル４，５のインダクタンスは、可動コアの位置の関
数となっており、可動コアが二つのコイル４，５の中央
に位置する場合には、各コイル４，５に発生する誘導電
圧は等しく、この中心位置から可動コアが変位すると、
一方のコイル４または５の誘導電圧が増加し、他方のコ
イル５または４の誘導電圧が減少するものである。この
可動コアには、例えば、部品等の測定対象に接触する接
触子が取り付けられており、この接触子の変位を検出す
るものであり、部品等の測定対象の寸法や形状の測定に
利用される。

【０００６】この差動トランス２の二つのコイル４，５
の中間接続点からの出力信号は、可動コアの変位に応じ
て振幅が変化した交流出力であり、増幅器８で増幅され
た後、ＡＣ／ＤＣ変換器９で全波整流されて差動増幅器
１０の非反転入力部に与えられる。この差動増幅器１０
の反転入力部には、増幅器７から差動トランス２に与え
られる交流電圧が、増幅器１１およびＡＣ／ＤＣ変換器
１２を介して基準信号として与えられる。

【０００７】差動増幅器１０では、基準信号と差動トラ
ンス２の出力信号とを差動増幅して、可動コアの変位に
対応した出力を与える。

【０００８】この従来例では、測定範囲（ストローク）
の異なるセンサ１、すなわち、種類の異なるセンサ１に
も対応できるように、センサ１自体に、感度調節抵抗３
が設けられる一方、差動トランス２の出力信号を増幅す
る増幅器８には、ゲイン切替抵抗１３が設けられ、セン
サ１の種類に応じて、増幅器８のゲインを切り替えるよ
うにしている。

【０００９】また、この従来例では、差動トランス２の
出力信号ラインに、プルダウン抵抗１４を接続する一
方、ＡＣ／ＤＣ変換器９からの出力を、閾値と比較して
断線出力を与える比較器１５を備えている。センサ１を
接続するセンサケーブル等の断線時において、例えば、
少なくともセンサ駆動信号側Ａ１が切断したとき、また
は、少なくともセンサ出力信号ラインＡ２が切断したと
きには、センサ出力の交流信号が伝わらず、プルダウン
抵抗１４によって０Ｖになり、比較器１５によって断線
を検出することができる。また、センサ１のＧＮＤ側Ａ
３のみが断線したときは、センサ駆動信号が、コイル
４、コイル５で分圧されないために、センサ駆動信号が
そのまま出力されることになり、センサ出力範囲をオー
バーし、それが比較器１５で検出されることになる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このような従来例で
は、高精度な寸法測定などを行えるようにするために
は、差動トランス２からの微小な出力信号を、高ＳＮ比
で高安定に出力させねばならず、差動トランス２を駆動
するとともに、差動増幅器１０における基準信号となる
増幅器７の出力は、安定している必要がある。このた
め、精密で高安定な発振器およびオペアンプなどの増幅
器を必要とする上、高ＳＮ比や高安定度を得るために、
温度補償用の演算回路等を含む専用のＩＣを用いる場合
があり、高価になってしまう。

【００１１】また、センサ１は、その種類によって感度
が相違するために、センサ１の種類毎に、ゲイン切り替
え抵抗１３によって増幅器８のゲインを切り替えてお
り、このため、感度の低いセンサ１では、ゲインを上げ
ることで、ＳＮ比が低下しまう。さらに、差動増幅器１
０に与えられる基準信号と差動トランス２の出力信号と
の処理系統は、同じ特性を有することが、望ましいので
あるが、差動トランス２の出力信号の処理系統は、基準
信号の処理系統と異なり、ゲインを切り替える構成であ
るために、部品の温度特性を揃えにくく、部品を熱的に
バランスよく配置するのが困難であり、高安定化の阻害
要因となっている。

【００１２】また、差動トランス２からの交流の出力信
号に基づいて、センサケーブル等の断線を検出している
ために、例えば、センサ１の感度を高めるなどの目的
で、差動トランス２を高インダクタンス化した場合に
は、センサケーブル等の断線が生じた場合に、コイル４
あるいはコイル５の両端の信号線の間に生じる容量結合
によって、差動トランス２からの交流の出力信号が不安
定となって、確実に断線を検出することができない。こ
の場合、容量結合の影響を受けないようにプルダウン抵
抗１４の抵抗値を小さくすることが考えられるが、プル
ダウン抵抗１４の抵抗値を小さくすると、差動トランス
２の直線性が悪くなるという難点がある。なお、プルダ
ウン抵抗に代えてプルアップ抵抗を用いた場合も同様で
ある。

【００１３】本発明は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、高精度の変位検出が可能な安価な変位検出装
置を提供することを主たる目的とし、さらには、確実な
断線検出を可能にすることを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。

【００１５】すなわち、本発明の変位検出装置は、差動
トランスに駆動信号を与える駆動手段と、前記駆動信号
を処理して基準信号として出力する基準信号処理手段
と、差動トランスからの出力信号を処理する出力信号処
理手段と、前記基準信号処理手段からの基準信号と前記
出力信号処理手段からの出力信号とを差動増幅する差動
増幅手段とを備える変位検出装置において、前記基準信
号処理手段からの基準信号を、前記駆動手段にフィード
バックして前記駆動信号の振幅を一定値に調整する振幅
調整手段を備えている。

【００１６】本発明によると、駆動信号を処理して基準
信号として出力する基準信号処理手段からの基準信号
を、駆動手段にフィードバックして駆動信号の振幅を一
定値に調整する振幅調整手段を備えているので、オープ
ンループ処理であった従来例のように、精密で高安定な
発振器およびオペアンプなどの増幅器を必要とすること
なく、簡単な回路構成で安定な駆動信号を得て差動トラ
ンスを駆動できる一方、差動増幅手段に対して安定な基
準信号を与えることができる。

【００１７】本発明の他の実施態様においては、前記振
幅調整手段には、差動トランスの種類に応じた基準値が
与えられ、該振幅調整手段は、前記基準値に対応する前
記一定値に振幅を調整するものである。

【００１８】本発明によると、差動トランスの種類に応
じて、すなわち、差動トランスの感度に応じて、差動ト
ランスを駆動する駆動信号の振幅を調整するので、ゲイ
ンを切り替える従来例のように、ＳＮ比が低下すること
がない。また、従来例のようにゲインを切り替える構成
でないので、基準信号処理手段と出力信号処理手段との
処理を同じにすることができ、部品の温度特性を揃えた
り、部品を熱的にバランスよく配置することが可能とな
る。

【００１９】本発明の一実施態様においては、前記差動
増幅手段には、前記基準信号処理手段からの基準信号に
代えて前記振幅調整手段の前記基準値が与えられ、この
基準値と前記出力信号処理手段からの出力信号とを差動
増幅するものである。

【００２０】本発明によると、フィードバックされた基
準信号と基準値とに基づいて、振幅調整手段は、駆動信
号の振幅を、前記基準値に対応する振幅になるように調
整するので、基準信号と基準値とが略等しくなり、基準
信号に代えて、基準値を差動増幅手段に与えても同様の
作用効果を奏することができる。

【００２１】本発明のさらに他の実施態様においては、
前記基準信号処理手段は、交流の前記駆動信号を増幅す
る増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変
換回路とを備え、前記出力信号処理手段は、差動トラン
スからの出力信号を増幅する増幅回路と、この増幅回路
の出力を直流に変換する変換回路とを備え、前記両増幅
回路および前記両変換回路の少なくとも一方を熱結合さ
せている。

【００２２】ここで、熱結合させるとは、例えば、パッ
ケージの共用化や部品の配置などによって熱結合させる
ことをいう。

【００２３】本発明によると、基準信号をフィードバッ
クさせているので、基準信号処理手段における温度変動
などが自動的に補正される一方、増幅および変換といっ
た同じ処理を行う基準信号処理手段と出力信号処理手段
とを熱結合するので、両処理手段における温度変動等が
同じになり、後段の差動増幅手段でその変動分が相殺さ
れて高精度の変位検出が可能となる。

【００２４】本発明の他の実施態様においては、前記駆
動手段は、直流バイアスを重畳した駆動信号を出力する
ものであり、前記差動トランスの出力信号に重畳された
直流バイアスのレベルに基づいて、異常を検出する検出
手段を備えている。

【００２５】本発明によると、差動トランスの出力信号
に重畳されている直流バイアスのレベルに基づいて、異
常を検出するので、センサケーブル等が断線すると、差
動トランスの出力信号に重畳されている直流バイアスの
レベルが所定の範囲から外れるので、断線を検出するこ
とができ、しかも、差動トランスを高インダクタンス化
した場合の断線に際しても、容量結合の影響を受けるこ
となく、確実に断線を検出することができ、プルダウン
抵抗またはプルアップ抵抗の抵抗値を小さくする必要が
ない。また、駆動手段が故障したような場合にも、差動
トランスの出力信号に重畳されている直流バイアスのレ
ベルが所定の範囲から外れるので、かかる故障も検出で
きることになる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、図面によって、本発明の実
施の形態について、詳細に説明する。

【００２７】（実施の形態１）図１は、本発明の一つの
実施の形態に係る変位検出装置１７の構成図であり、上
述の従来例に対応する部分には、同一の参照符号を付
す。

【００２８】センサ１は、センサケーブルによって変位
検出装置１７に接続されるものであって、従来例と同様
に、差動トランス２と、感度調節抵抗３とを有してい
る。差動トランス２は、図示しない可動コアと、この可
動コアの周囲に配設された二つのコイル４，５とを有し
ている。

【００２９】この差動トランス２の二つのコイル４，５
は、直列に接続されており、発振器６から増幅器７を介
して与えられる駆動信号としての交流電圧によって駆動
され、その中間接続点から出力信号が与えられる。この
実施の形態では、発振器６および増幅器７によって、差
動トランス２を駆動する駆動手段が構成される。

【００３０】この変位検出装置１７は、ハーフブリッジ
型のトランスジューサであり、交流電圧で駆動される二
つのコイル４，５のインダクタンスは、可動コアの位置
の関数となっており、可動コアが二つのコイル４，５の
中央に位置する場合には、各コイル４，５に発生する誘
導電圧は等しく、この中心位置から可動コアが変位する
と、一方のコイル４または５の誘導電圧が増加し、他方
のコイル５または４の誘導電圧が減少するものである。
この可動コアには、例えば、部品等の測定対象に接触す
る接触子が取り付けられており、この接触子の変位を検
出するものであり、部品等の測定対象の寸法や形状の測
定に利用される。

【００３１】この差動トランス２の二つのコイル４，５
の中間接続点からの出力信号は、可動コアの変位に応じ
て振幅が変化した交流出力であり、増幅器８で増幅され
た後、ＡＣ／ＤＣ変換器９で全波整流されて差動増幅器
１０の非反転入力部に与えられる。この実施の形態で
は、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９によって、差動
トランス２の出力信号を処理する出力信号処理手段が構
成される。

【００３２】差動増幅器１０の反転入力部には、増幅器
７から差動トランス２に与えられる交流電圧が、増幅器
１１およびＡＣ／ＤＣ変換器１２を介して基準信号とし
て与えられる。この実施の形態では、増幅器１１および
ＡＣ／ＤＣ変換器１２によって、駆動信号を処理して基
準信号として出力する基準信号処理手段が構成される。

【００３３】差動増幅器１０では、基準信号と差動トラ
ンス２の出力信号とを差動増幅して、可動コアの変位に
対応した出力を与える。

【００３４】この実施の形態では、測定範囲（ストロー
ク）の異なるセンサ１、すなわち、種類の異なるセンサ
１にも対応できるように、センサ１自体に、感度調節抵
抗３が設けられる一方、差動トランス２の出力信号を増
幅する増幅器８には、ゲイン切替抵抗１３が設けられ、
センサ１の種類に応じて、増幅器８のゲインを切り替え
るようにしている。

【００３５】また、この実施の形態では、差動トランス
２の出力信号ラインに、プルダウン抵抗１４を接続する
一方、ＡＣ／ＤＣ変換器９からの出力を、閾値と比較し
て断線出力を与える比較器１５を備えている。

【００３６】以上の構成は、上述の従来例と同様であ
る。

【００３７】この実施の形態では、高価な発振器６や増
幅器７あるいは専用のＩＣを用いることなく、高精度な
変位検出を可能とするために、差動トランス２を駆動す
るとともに、差動増幅器１０の基準信号となる増幅器７
の出力を、高安定にするために、基準信号処理手段を構
成するＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号を、駆動手
段にフィードバックして差動トランス２を駆動する交流
電圧の振幅を一定値に調整する振幅調整手段１６を備え
ている。

【００３８】この振幅調整手段１６は、内部に基準値を
有し、ＡＤ／ＤＣ変換器１２からの基準信号が、その基
準値になるように、発振器６からの交流電圧の振幅を調
整する振幅調整回路を備えている。

【００３９】このように、フィードバック制御によっ
て、差動トランス２に与える駆動信号の振幅を一定値に
保つので、安定した駆動信号によって、差動トランス２
を駆動できる一方、この駆動信号を処理して差動増幅器
１０に与えられる基準信号も安定したものとなり、オー
プンループ処理の従来例のように、精密で高安定な発振
器およびオペアンプなどの増幅器を必要とすることな
く、安価で高精度な変位検出が可能となる。

【００４０】また、温度変動による影響も、振幅調整回
路の基準値のみに集約されることになり、温度補償用の
演算回路等を設けることなく、高安定化が図れることに
なる。

【００４１】（実施の形態２）図２は、本発明の他の実
施の形態に係る変位検出装置１７ａの構成図であり、上
述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照符号を
付す。

【００４２】上述の実施の形態では、従来例と同様に、
センサ１の種類に応じて、ゲイン切替抵抗１３によっ
て、増幅器８のゲインを切り替えるようにしていたのに
対して、この実施の形態では、センサ１ａの種類に応じ
て、振幅調整手段１６ａの基準電圧を切り替えるように
している。

【００４３】すなわち、この実施の形態では、センサ１
ａは、差動トランス２とは別に、感度調節抵抗３ａを有
しており、この感度調節抵抗３ａと抵抗１８とによって
分圧された電圧が、基準電圧として振幅調整手段１６ａ
に与えられるようになっている。振幅調整手段１６ａ
は、この基準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信
号とをオペアンプ１９で比較し、その差がなくなるよう
に、振幅調整回路２０によって、駆動信号の振幅を調整
している。

【００４４】この実施の形態によれば、センサ１ａの種
類、すなわち、センサ１ａの感度に応じて、差動トラン
ス２に与えられる駆動信号の振幅が調整されるので、増
幅器８のゲインを切り替える構成に比べて、ＳＮ比の変
化が少なく、感度の低いセンサであっても高ＳＮ比を確
保できることになる。

【００４５】さらに、バイアス切替抵抗１３が不要とな
って、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９からなる出力
信号処理手段における処理と、増幅器１１およびＡＣ／
ＤＣ変換器１２からなる基準信号処理手段における処理
とが、同じとなり、部品の温度特性を揃えたり、熱的バ
ランスをとった部品配置を行ったり、さらには、後述の
ような熱結合を行うことにより、両処理手段における変
動を同じにして差動増幅器１０でそれを相殺することが
でき、これによって、高精度な変位検出が可能となる。
なお、感度調節抵抗３や分圧用の抵抗１８は、センサを
接続するためのコネクタや変位検出装置１７ａに設ける
ようにしてもよい。

【００４６】その他の構成および効果は、上述の実施の
形態と同様である。

【００４７】上述のように、振幅調整手段１６ａは、基
準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号との差が
なくなるように、駆動信号の振幅を調整しているので、
基準電圧とＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号とは、
等しくなる。

【００４８】そこで、他の実施の形態として、図３に示
されるように、差動増幅器１０には、ＡＣ／ＤＣ変換器
１２からの基準信号を入力するのではなく、基準電圧を
入力してもよい。また、同様に、図１の実施の形態にお
いても、ＡＣ／ＤＣ変換器１２からの基準信号を差動増
幅器１０に入力するのではなく、図１の振幅調整手段１
６内部の基準電圧を、差動増幅器１０に入力してもよ
い。

【００４９】（実施の形態３）図４は、本発明のさらに
他の実施の形態に係る変位検出装置１７ｂの構成図であ
り、上述の実施の形態に対応する部分には、同一の参照
符号を付す。

【００５０】上述の各実施の形態では、従来例と同様
に、差動トランス２からの交流の出力信号に基づいて、
センサケーブル等の断線を検出していたのに対して、こ
の実施の形態では、駆動信号となる発振器６の交流電圧
に、直流バイアス重畳回路２１によって直流バイアスを
重畳する一方、増幅器８から与えられる差動トランス２
の出力信号に重畳されている直流バイアスをローパスフ
ィルタ２２で分離し、その直流バイアスのレベルに基づ
いて、比較器１５ａによって、センサケーブル等の断線
あるいは駆動手段の故障を検出するようにしている。こ
の実施の形態では、ローパスフィルタ２２および比較器
１５ａによって、異常を検出する検出手段が構成され
る。

【００５１】この実施の形態によれば、センサケーブル
等が断線すると、差動トランス２の出力信号に重畳され
ている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外れるの
で、比較器１５ａで断線を検出することができる。すな
わち、例えば、少なくともセンサ駆動信号側Ａ１が切断
したとき、または、少なくともセンサ出力信号ラインＡ
２が切断したときには、直流バイアスが重畳されたセン
サ出力が伝わらず、プルダウン抵抗１４によって０Ｖに
なり、比較器１５ａによって断線を検出することができ
る。また、センサのＧＮＤ側Ａ３のみが断線したとき
は、センサ駆動信号が、コイル４、コイル５で分圧され
ないために、センサ駆動信号がそのまま出力されること
になり、直流バイアスが所定のレベルをオーバーし、そ
れが比較器１５ａで検出されることになる。

【００５２】また、この実施の形態では、駆動手段が故
障したような場合にも、差動トランス２の出力信号に重
畳されている直流バイアスのレベルが所定の範囲から外
れるので、かかる故障も検出できることになる。

【００５３】上述の各実施の形態と同様にフィードバッ
ク制御を行っているので、駆動手段に異常が生じてその
出力が変動したような場合には、その変動を補正するよ
うに制御するので、駆動手段の異常の検出が困難であっ
たが、この実施の形態では、駆動手段で重畳した直流バ
イアスのレベルを監視しているので、かかる異常も故障
として検出できることになる。

【００５４】さらに、従来例では、差動トランス２を高
インダクタンス化した場合には、センサケーブル等が断
線したときに、仮想線で示されるコイル４あるいはコイ
ル５の両端の信号線の間に生じる容量結合Ｃによって、
差動トランス２からの交流の出力信号が不安定となっ
て、確実に断線を検出することができなかったけれど
も、この実施の形態では、直流バイアスのレベルに基づ
いて断線を検出するので、かかる容量結合の影響を受け
ることなく、確実に断線を検出できることになる。した
がって、プルダウン抵抗１４の抵抗値を小さくする必要
がなく、差動トランス２の直線性を悪くすることもな
い。

【００５５】なお、プルダウン抵抗１４に代えてプルア
ップ抵抗を用いた場合にも同様に適用できるものであ
る。

【００５６】また、この実施の形態では、上述の実施の
形態２と同様に、増幅器８およびＡＣ／ＤＣ変換器９か
らなる出力信号処理手段と、増幅器１１およびＡＣ／Ｄ
Ｃ変換器１２からなる基準信号処理手段との部品の温度
特性を揃えたり、熱的バランスをとった部品配置を行っ
たり、さらには、熱結合を行うようにして両処理手段に
おける変動を同じにして差動増幅器１０でそれを相殺す
るようにしている。

【００５７】次に、熱結合の構成について説明する。図
５は、基準信号処理手段および出力信号処理手段をそれ
ぞれ構成するＡＣ／ＤＣ変換器１２，９の詳細構成を示
す回路図である。

【００５８】基準信号処理手段のＡＣ／ＤＣ変換器１２
は、二つのオペアンプ２３，２４を備えるとともに、整
流用の二つのダイオード２５，２６を備えている。出力
信号処理手段のＡＣ／ＤＣ変換器９は、同様に、二つの
オペアンプ２７，２８を備えるとともに、整流用の二つ
のダイオード２９，３０を備えている。

【００５９】この実施の形態では、これらオペアンプ２
３，２４，２７，２８を、図６に示される４個入りのオ
ペアンプ３１で構成するとともに、二つのダイオード２
５，２９；２６，３０を、図７に示されるダイオードア
レイ３２でそれぞれ構成している。すなわち、パッケー
ジを共用化することによって、熱結合したものである。

【００６０】その他の構成および効果は、上述の実施の
形態と同様である。

【００６１】（その他の実施の形態）上述の実施の形態
では、ＡＣ／ＤＣ変換器９，１２を熱結合した構成を示
したけれども、増幅器８，１１を熱結合してもよいのは
勿論である。

【００６２】上述の実施の形態では、部品等の測定対象
の寸法や形状の測定に適用して説明したけれども、本発
明は、ダイヤフラム等の変位を検出して圧力を検出する
用途にも適用できるのは勿論である。

【００６３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、フィード
バック制御によって、差動トランスを駆動する駆動信号
の振幅を一定値に制御しているので、オープンループ処
理であった従来例のように、精密で高安定な発振器およ
びオペアンプなどの増幅器を必要とすることなく、簡単
な回路構成で安定な駆動信号を得て差動トランスを駆動
できることになり、安価な構成で、高精度の変位検出が
可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一つの実施の形態の構成図である。

【図２】本発明の他の実施の形態の構成図である。

【図３】本発明の更に他の実施の形態の構成図である。

【図４】本発明の更に他の実施の形態の構成図である。

【図５】図４のＡＣ／ＤＣ変換器の要部の回路図であ
る。

【図６】熱結合を説明するためのオペアンプの図であ
る。

【図７】熱結合を説明するためのダイオードアレイの図
である。

【図８】従来例の構成図である。

【符号の説明】

１，１ａセンサ２差動トランス４，５コイル６発振器７，８，１１増幅器９，１２ＡＣ／ＤＣ変換器１０差動増幅器１６，１６ａ振幅調整手段２１直流バイアス重畳回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者伊藤忠大阪府大阪市中央区伏見町４丁目２番14号株式会社サンワコーポレーション内Ｆターム(参考） 2F063 AA02 CB08 DA05 GA13 LA30 2F077 AA11 CC02 FF04 TT82 UU20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】差動トランスに駆動信号を与える駆動手
段と、前記駆動信号を処理して基準信号として出力する
基準信号処理手段と、差動トランスからの出力信号を処
理する出力信号処理手段と、前記基準信号処理手段から
の基準信号と前記出力信号処理手段からの出力信号とを
差動増幅する差動増幅手段とを備える変位検出装置にお
いて、前記基準信号処理手段からの基準信号を、前記駆動手段
にフィードバックして前記駆動信号の振幅を一定値に調
整する振幅調整手段を備えることを特徴とする変位検出
装置。
【請求項２】請求項１記載の変位検出装置において、前記振幅調整手段には、差動トランスの種類に応じた基
準値が与えられ、該振幅調整手段は、前記基準値に対応
する前記一定値に振幅を調整することを特徴とする変位
検出装置。
【請求項３】請求項２記載の変位検出装置において、前記差動増幅手段には、前記基準信号処理手段からの基
準信号に代えて前記振幅調整手段の前記基準値が与えら
れ、この基準値と前記出力信号処理手段からの出力信号
とを差動増幅することを特徴とする変位検出装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の変位検
出装置において、前記基準信号処理手段は、交流の前記駆動信号を増幅す
る増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変換する変
換回路とを備え、前記出力信号処理手段は、差動トランスからの出力信号
を増幅する増幅回路と、この増幅回路の出力を直流に変
換する変換回路とを備え、前記両増幅回路および前記両変換回路の少なくとも一方
を熱結合させることを特徴とする変位検出装置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載の変位検
出装置において、前記駆動手段は、直流バイアスを重畳した駆動信号を出
力するものであり、前記差動トランスの出力信号に重畳された直流バイアス
のレベルに基づいて、異常を検出する検出手段を備える
ことを特徴とする変位検出装置。