JPH03183924A - トルク測定装置のための温度補償装置 - Google Patents

トルク測定装置のための温度補償装置

Info

Publication number
JPH03183924A
JPH03183924A JP24214790A JP24214790A JPH03183924A JP H03183924 A JPH03183924 A JP H03183924A JP 24214790 A JP24214790 A JP 24214790A JP 24214790 A JP24214790 A JP 24214790A JP H03183924 A JPH03183924 A JP H03183924A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
torque
temperature
detection
temperature compensation
signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP24214790A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0739974B2 (ja
Inventor
Akiyoshi Hanazawa
花澤 明由
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kubota Corp
Original Assignee
Kubota Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kubota Corp filed Critical Kubota Corp
Publication of JPH03183924A publication Critical patent/JPH03183924A/ja
Publication of JPH0739974B2 publication Critical patent/JPH0739974B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
    • G01L3/101Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
    • G01L3/102Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving magnetostrictive means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L3/00Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
    • G01L3/02Rotary-transmission dynamometers
    • G01L3/04Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
    • G01L3/10Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
    • G01L3/101Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means
    • G01L3/105Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating involving magnetic or electromagnetic means involving inductive means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Steering Mechanism (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、トルク測定装置のための温度補償装置に関す
る。
従来の技術 公知のトルク測定装置として、トルク伝達軸の外周に一
対の磁気異方性部を形成し、この軸にトルクか印加され
たときの各磁気異方性部の透磁率の変化を、これら磁気
異方性部の近傍に配置された一対の検出コイルで検出し
、両検出信号の差から、軸に作用するトルクの大きさを
電気信号に変換するようにしたものであって、前記検出
コイルを励磁するための励磁コイルを有したものか、た
とえば特開平1−173843号公報において提案され
ている。
この種のトルク測定装置では、磁気異方性部か形成され
た軸部分や検出コイルや励磁コイルなどを備えたトルク
検出部に温度変化か生じると、その磁気特性や電気特性
が変化し、励磁コイルのインピーダンスが変化してその
励磁電流か変化するゎこの結果トルク検出精度に変動が
生じ、たとえば零点出力の変化、感度変化、ヒステリシ
ス増大なとか起こる。このため、産業機械、モータ、エ
ンジン、自動車など、運転時に比較的高温1こなる装置
のトルクを測定する際に問題となる。
そこで特開平1−173843号公報では、励磁電流の
変化と温度変化とに相関があることに着目し、検出コイ
ルの出力信号の電圧の和、すなわち両信号の平均値の2
倍の値を一定にする定電圧制御により励磁電流を制御し
て、このような事態の発生を防止している。
発明か解決しようとする課題 しかし、単にこのような定電圧制御を行なっただけでは
、特に温度変化が大きい場合などにおいては、トルク検
出精度の変動を防止するうえで十分てないという問題点
かある。
そこで本発明は、トルク検出部の温度が大きく変化する
場合てあっても、その検出精度を維持てきるよう(こす
ることを目的とする。
課題を解決するための手段 この目的を、達成するため本発明のトルク測定装置のた
めの温度補償装置は、 励磁コイルの励磁電流を検出することによってトルク検
出部の温度を検出する手段と、この温度検出手段による
検出結果にもとづいて前記トルクの大きさについての電
気信号を温度補償する手段とを有する。
作用 このような構成では、励磁電流は軸に印加されるトルク
には反応せず、トルク検出部の温度のみに反応する。こ
のため、励磁電流を検出すれば、印加トルクの状態とは
独立してトルク検出部の温度を検出てきる。この温度の
検出結果にもとづいてトルク信号を温度補償することか
ら、温度変化にともなう検出誤差の発生を確実に防止す
ることかてき、高温下でも正確にトルクを測定すること
か可能になる。
実施例 第1図は本発明の第一の実施例を示す。1はトルク伝達
用の軸であり、軟磁性および磁歪性を有する材料にて形
成されている。軸lの外周には、この軸lの軸心の方向
と士約45度の角度をなして互いに反対方向に傾斜する
磁気異方性部2,3が、多数の溝などによって形成され
ている。磁気異方性部2,3の周囲には、各磁気異方性
部2,3に対応した検出コイル4,5と、これら検出コ
イル4.5を励磁するための励磁コイル6とが設けられ
ている。励磁コイル6は交流電源7に接続され、この交
流型#7と励磁コイル6との間には、オドケインコント
ロ−ラ とか設けられている。検出抵抗9の両端にはそれぞれ整
流フィルタ10,  IIか接続され、これら整流フィ
ルタ10.  11は差動検出器12の入力側に接続さ
れている。差動検出器12は、両整流フィルタ1011
からの信号の差をとることによって、励磁コイル6に流
れる励磁電流Iexを検114する。
各検出コイル4,5からの出力ライン13. 14は、
整流フィルタ15.  16の入力側にそれぞれ接続さ
れ、またこれら整流フィルタ15. 16の出力側は、
減算のための演算器17の入力端に接続されている。演
算器17の出力側は、オートケインコントローラ18、
加算のための演算器19、およびV/I変換器20を介
して、出力端子21に導かれている。22は、負荷抵抗
である。
差動検出器I2の出力側は比較器23の一方の入力側に
接続され、この比較器23の他方の入力側には定電圧発
生器24か接続されている。比較器23の出力側は、オ
ートゲインコントローラ 調節するためにこのオー1〜ゲインコントローラ18に
接続されるとともに、演算器19の入力側にも接続され
ている。
整流フィルタ15.  16の出力側は、加算のための
演算器25の入力側にも接続されている。演算器25の
出力側は比較器26の一方の入力側に接続され、この比
較器26の他方の入力側には定電圧発生器24が接続さ
れている。比較器26の出力側は、オートゲインコン1
ヘローラ8の増幅率を調整するために、このオートゲイ
ンコン1〜ローラ8に接続されている。
このような構成によれは、軸1に作用するトルクにもと
づく各磁気異方性部2,3ての透磁率の変化が、検出コ
イル4,5にて検出される。このとき、磁気異方性部2
,3は互いに反対方向に傾斜しているため、一方の磁気
異方性部に引張力が働くと、他方には圧縮力か働く。こ
のため、たとえば一方の検出コイル4の検出電圧V1か
トルクの増加にしたかって増加すると、他方の検出コイ
ル5の検出電圧V2はそれにともなって減少する。
そこで、演算器17により雨検出電圧V,,V2の差V
,− V2を求めると、第5図に示すようにトルクの変
化に列応する信号か出力端子21に現れる。
演算器25の出力側に現れる検出電圧の和\r, −1
−V2の値は、比較器26において定電圧発生器24か
らの基準電圧Vrefと比較される。そして、比較器2
6からすートゲインコン1〜ローラ8へ制御信号か送ら
れ、オートケインコントローラ率の調節により励磁コイ
ル6の励磁電流Iexを制御することで、上記和V, 
十V2の値か一定値となるように制御される。これによ
り、温度変化による装置の特性の変動か大まかに補償さ
れる。
励磁電流1exが、検出抵抗9、整流フィルタ【0。
11、差動検出器12によって検知される。本1−ルク
測定装置の構成では、励磁電流Iexはトルクには反応
せず、トルク検出部の温度のみに反応する。
このため、励磁電流Iexを検出すれば、軸Iに印加さ
れるトルクの状態とは独立して、トルク検出部の温度が
検出される。この温度の検出結果に応し、差動検出器1
2から温度補償基準電圧Vtか出力される。この電圧V
tは、比較器23において定電圧発生器24からの基準
電圧V refと比較され、それに応したトルク検出感
度の補正用信号電圧VSか比較器23から出力される。
高温下では実際に軸1に印加されているトルクよりも大
きな値の検出出力か現れるか、この補正用信号電圧Vs
によってオー1〜ゲインコントローラ18の増幅率か調
整され、オーl・ゲインコントローラ18からは温度に
よる感度変化を補償されたトルク検出信号が出力される
第2図は、トルク検出部の温度か変化したときの励磁電
流Iexの変化を示す。温度の上昇にともなって、励磁
電流Texは減少する。第3図は、励磁電流Texの変
化にもとつく温度補償基準電圧Vtの変化、すなわちト
ルク検出部の温度か変化したときの温度補償基準電圧V
tの変化を示す。温度の上昇にともなって、温度補償基
準電圧Vtは減少する。第4図は、温度補償基準電圧V
tと第0 −トゲインコントローラ18の増幅率との関係を示す。
温度補償基準電圧Vtの減少すなわち温度の上昇にとも
なって、オートゲインコントロ−ラの増幅率は低下する
第5図は、常温時のトルクと出力電圧との関係を示す。
第6図は高温時における両者の関係を示す。第6図にお
いて、破線は、演算器17の出力すなわちV,+ V2
の値か一定値となる制御のみを実行するか、励磁電流I
exにもとつく温度補償は行なわないときの出力電圧を
示す。また実線は、オートゲインコントローラ18の出
力すなわち励磁電流1ey.にもとつく温度補償をも行
なったときの出力電圧を示す。V,+ V2の値が一定
値となる制御のみの場合は、常温時に比へて線の傾斜か
急になって感度か高めに移行し、感度の変動による誤差
か生じているか、励磁電流IeXにもとうく温度補償を
も行なったときには、常温時とほぼ同一の傾斜となって
ほぼ同一の感度特性が達成されている。詳細には、vl
十v2の値か一定値となる制御のみの場合は、温度変化
によるトルク検出感度の変動は+1000ppm/’C
程度であり、これは検出部か100°C温度変化したと
きに測定誤差かlO%生しることに相当する。これに対
し励磁電流Iexの検出にもとづく温度補償をも行なっ
たときには、感度の変動をたかだか±20〜30ppm
/°C程度に改善することかできる。
比較器23からの補正用信号電圧Vsは、零点の出力を
補正するためにも利用される。この補正のための信号電
圧Vsと、上述のようにして感度補正か達成されたオー
トゲインコントローラ18からの出力電圧とは、ともに
演算器19に入力される。
演算器19ではこれら両型圧か加減算されるが、検出部
の温度か変動したときの零点出力の増加または減少する
する度合をあらかじめ測定しておき、かつそれに応じた
回路定数(補正係数)を決定しておくことで、この演算
器19からは、零点出力の変動による誤差か補償された
信号か出力される。
第7図は、検出部の温度変化にともなって差動検出器1
2からの温度補償基準電圧Vtか変動したときの、補正
用信号電圧Vsの変化の様子を示す。
グラフの傾きの角度は零点出力の変動の度合に応じて変
化し、その傾きの方向も、図示のような右下かりの場合
のほかに、右上がりの場合もある。
第8図は、高温時におけるトルクと出力電圧との関係を
示す。実線は演算器19の出力すなわち励磁電流Iex
にもとづく温度補償を行なったときの出力電圧を示し、
破線はこの温度補償を行なわなかったときの出力電圧を
示す。温度補償を行なうことにより、零点出力の変動に
もとつく誤差Eが解消する様子が説明されている。詳細
には、検出部の温度変化による零点出力の変動は±50
0 ppm/’C程度存在し、これは検出部が100°
C温度変化したときに印加トルクかなくてもフルスケー
ルの±5%の出力信号か生しることをを意味する。これ
に対し励磁電流IeXにもとつく温度補償を行なったと
きには、零点出力の変動をたかだか±20〜aoppm
/°C程度に改善することができる。
第9図は、常温時(検出部温度25°C)のトルクと出
力電圧との関係の実測値を示す。第10図は、高温時(
検出部温度125°C)において感度と零点3 との温度補償を行なったときのトルクと出力電圧との関
係の実測値を、温度補償か不十分な場合の実測値ととも
に示す。この第1O図において、「感度および零点補正
あり」のグラフは第1図における出力端子21に現れる
出力をプロットしたものである。同様に、「感度補正の
みあり」のグラフはオートゲインコントローラ18の出
力を、また「補正なし」のグラフは演算器17の出力を
、それぞれプロットしたものである。
第11図は、本発明の第二の実施例を示す。ここでは、
第1図における演算器19が省略されている。
このような構成によると、感度の温度補償のみが行なわ
れ、零点の温度補償は行なわれない。したがって、この
第11図の回路は、温度変化にともなう感度の変動は問
題になるが、零点の変動は無視てきる程度に小さいとい
う特性を有するトルク測定装置に対し好適である。
第12図は、本発明の第三の実施例を示す。ここでは第
1図におけるオートゲインコントローラ18が省略され
ており、零点の温度補償のみが行なわ14 れ、感度の温度補償は行なわれない。したかって、この
第12図の回路は、第11図の回路とは逆に、温度変化
にともなう零点の変動は問題になるか、感度の変動は無
視できる程度に小さいという特性を有するトルク測定装
置に対し好適である。
第13図は、本発明の第四の実施例を示す。これは、第
11図の実施例に変更を加えたものである。
第11図の回路では、比較器23によって差動検出器1
2からの温度補償基準電圧Vtと定電圧発生器24から
の基準電圧V refとか比較されているか、この第1
3図の回路では、検出抵抗9によって検知された励磁電
流1exと、演算器25の出力とか、比較器23によっ
て比i1%されている。しかし、両回路ども、演算器2
5の出力側に現れる検出電圧の和V十■2の値を定電圧
発生器24からの基準電圧■refと比較して、この和
V、+ V2の値が一定になるようにフィードバック制
御している点において一致している。したかって、比較
器23の人力として、このフィードバックループのいず
れの部分からの信号を利用するかということは、単なる
設計事項に過ぎず、これら第11図の回路と第13図の
回路とては実質的な差はない。第13図の回路では、オ
ートゲインコントローラ18は抵抗27とFET28と
で構成されている。
第14図は、本発明の第五の実施例を示す。上述の各実
施例では、検出電圧の和V、 十V2を基準電圧Vre
fと比較して、この和Vl + V2の値か一定になる
ようにフィードバック制御しているが、この第14図の
回路では、励磁コイル6の励磁電圧VexO値か一定に
なるように制御している。
第14図において、29は励磁コイル6の両端における
励磁電圧Vexの検出部で、その検出信号は比較器26
に入力されて定電圧発生器24からの基準電圧Vref
と比較される。比較結果により、励磁電圧Vexが一定
値となるようにオートケインコントロ−ラ コイル6の励磁電圧Vexか一定値となるように制御す
る場合においても、検出電圧の和V, + V2を制御
する場合と同様に、感度、零点の補償が可能である。
第15図および第16図は、本発明にもとつく温度補償
装置を差動トランスへ応用した例を示す。図示のように
、差動トランス31においても、トルク測定装置と同様
の励磁コイ九〇と一列の検出コイル4、5とか一般的に
設けられる。したかって、トルク測定装置の場合と全く
同一の回路構成によって、この差動I・ランス31か高
温条件下て使用されるときの検出出力の感度および零点
の温度補正か可能である。第15図は、第1図の場合と
同様に、検出電圧の和V, 十V2の値が一定になるよ
うに制御するための回路を示す。第16図は、第14図
の場合と同様に、励磁コイル6の励磁電圧Vexの値か
一定になるように制御するための回路を示す。
このように検出出力か温度補償された差動l・ランス3
1は、変位検出器、磁気増幅器なととして利用できる。
発明の効果 以上述へたように本発明によると、励磁コイルの励磁電
流を検出することによってI−ルク検出部の温度を検出
する手段と、この温度検出手段によ7 る検出結果にもとついて前記トルクの大きさについての
電気信号を温度補償する手段とを有するようにしたため
、トルク検出感度や零点出力を温度補償することができ
、その結果、広い温度範囲で高精度にトルク測定するこ
とか可能になる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の第一の実施例のトルク測定装置のため
の温度補償装置の回路図、第2図〜第8図は第1図の回
路の動作を説明するための図、第9図および第10図は
常温時および高温時におけるトルク検出出力の実測値を
示す図、第11図〜・第14図は本発明の第二〜第五の
実施例のトルク測定装置のための温度補償装置の回路図
、第15図および第16図は本発明にもとづく温度補償
装置を差動トランスへ応用した例の回路図である。 l・・・軸、2.3・・・磁気異方性部、4,5・・・
検出コイル、6・・・励磁コイル、8,18・・・オー
トゲインコントローラ、9・・・検出抵抗、I2・・・
差動検出器、19・・・演算器,23・・・比較器、2
4・・・定電圧発生器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、トルク伝達軸の外周に一対の磁気異方性部を形成し
    、この軸にトルクが印加されたときの各磁気異方性部の
    透磁率の変化を、前記磁気異方性部の近傍に配置された
    一対の検出コイルで検出し、両検出信号の差から、軸に
    作用するトルクの大きさを電気信号に変換するようにし
    たトルク測定装置における温度補償装置であり、前記検
    出コイルを励磁するための励磁コイルを有したものにお
    いて、 励磁コイルの励磁電流を検出することによってトルク検
    出部の温度を検出する手段と、 この温度検出手段による検出結果にもとづいて前記トル
    クの大きさについての電気信号を温度補償する手段とを
    有することを特徴とする。 2、請求項1記載のトルク測定装置における温度補償装
    置であって、検出コイルの検出信号の和が一定値となる
    ように励磁コイルの励磁電流を制御する手段と、励磁コ
    イルの励磁電圧が一定値となるようにその励磁電流を制
    御する手段とのいずれか一方を有することを特徴とする
    。 3、請求項2記載のトルク測定装置における温度補償装
    置であって、温度補償手段は、トルク信号の感度を補償
    する手段と、トルク信号の零点を補償する手段との少な
    くともいずれか一方を有することを特徴とする。 4、請求項3記載のトルク測定装置における温度補償装
    置であって、トルク信号の感度を補償する手段は、トル
    ク信号を増幅する手段と、検出された励磁電流に応じて
    トルク信号増幅手段の増幅率を調節する手段とを有する
    ことを特徴とする。 5、請求項4記載のトルク測定装置における温度補償装
    置であって、励磁電流の検出値をそれに対応する温度補
    償基準電圧に変換する手段と、この温度補償基準電圧を
    一定値の基準電圧と比較し、比較結果にもとづいてトル
    ク信号増幅手段の増幅率を調節する手段とを有すること
    を特徴とする。 6、請求項3記載のトルク測定装置における温度補償装
    置であって、トルク信号の零点を補償する手段は、励磁
    電流の検出値をそれに対応する温度補正信号に変換する
    手段と、トルク信号と前記温度補正信号とを加算する手
    段とを有することを特徴とする。 7、請求項1から6までのいずれか1項記載の温度補償
    装置であって、前記トルク測定装置に代えて、励磁コイ
    ルと一対の検出コイルとを備えた差動トランスに適用さ
    れることを特徴とする。
JP24214790A 1989-09-18 1990-09-12 トルク測定装置のための温度補償装置 Expired - Lifetime JPH0739974B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP24286789 1989-09-18
JP1-242867 1989-09-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH03183924A true JPH03183924A (ja) 1991-08-09
JPH0739974B2 JPH0739974B2 (ja) 1995-05-01

Family

ID=17095426

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP24214790A Expired - Lifetime JPH0739974B2 (ja) 1989-09-18 1990-09-12 トルク測定装置のための温度補償装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JPH0739974B2 (ja)
WO (1) WO1991004474A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0674842A (ja) * 1992-08-27 1994-03-18 Kubota Corp 磁歪式トルクセンサ
JP2015061446A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 株式会社帝国電機製作所 キャンドモータの軸方向変位検出装置

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5182953A (en) * 1990-07-13 1993-02-02 Simmonds Precision Products, Inc. Method and apparatus for shaft torque measurement with temperature compensation
JP3131667B2 (ja) * 1992-09-07 2001-02-05 光洋精工株式会社 トルクセンサ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6119715U (ja) * 1984-07-09 1986-02-05 株式会社 京浜精機製作所 変位計
JPS6333634A (ja) * 1986-07-28 1988-02-13 Aisin Warner Ltd トルク検出装置
JPS6429723A (en) * 1987-07-24 1989-01-31 Nissan Motor Torque detecting circuit
JPH01173843A (ja) * 1987-12-28 1989-07-10 Kubota Ltd トルク測定装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0674842A (ja) * 1992-08-27 1994-03-18 Kubota Corp 磁歪式トルクセンサ
JP2015061446A (ja) * 2013-09-19 2015-03-30 株式会社帝国電機製作所 キャンドモータの軸方向変位検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0739974B2 (ja) 1995-05-01
WO1991004474A1 (en) 1991-04-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7053600B2 (en) Current sensor
USRE42159E1 (en) Circuit for compensation for time variation of temperature in an inductive sensor
EP0133695B1 (en) Sensing system for measuring a parameter
US5914593A (en) Temperature gradient compensation circuit
JPH071283B2 (ja) 電流測定装置
US5522269A (en) Apparatus and method for transducing torque applied to a magnetostrictive shaft while minimizing temperature induced variations
JP2673636B2 (ja) 磁歪式トルクセンサ用処理回路
JPH03261869A (ja) ホール素子の出力信号補正装置
JPH03183924A (ja) トルク測定装置のための温度補償装置
US5412998A (en) Torque measuring system
US6107861A (en) Circuit for self compensation of silicon strain gauge pressure transmitters
US7068028B2 (en) Method and apparatus for metal target proximity detection at long distances
JP2001183106A (ja) 温度補償付きギャップ検出装置
JPH04286927A (ja) トルク測定装置の感度補償装置
JPH03170073A (ja) ホール素子電流検出装置
JP2633125B2 (ja) トルクセンサの温度特性の補償装置
CN114646790B (zh) 一种基于巨磁电阻效应的电流测量装置
JPH08233867A (ja) ブリッジ検出回路
JPH11257908A (ja) 電磁誘導型変位センサ
JP2023084605A (ja) インピーダンス計測回路、電圧制御装置及びインピーダンス調整方法
JPH0720155A (ja) ホール素子の温度係数測定方法および電流検出器の温度補償方法
JPH04296627A (ja) トルク測定装置の温度補償装置
JPH03103737A (ja) トルク測定装置
JPH0540849U (ja) 磁歪式トルクセンサ
JP2831206B2 (ja) 磁歪式トルクセンサ