JP2002356789A - Copper alloy foil for laminate - Google Patents

Copper alloy foil for laminate

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JP2002356789A
JP2002356789A JP2001161901A JP2001161901A JP2002356789A JP 2002356789 A JP2002356789 A JP 2002356789A JP 2001161901 A JP2001161901 A JP 2001161901A JP 2001161901 A JP2001161901 A JP 2001161901A JP 2002356789 A JP2002356789 A JP 2002356789A
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copper
copper alloy
surface roughness
foil
polyamic acid
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JP2001161901A
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Japanese (ja)
Inventor
Toubun Nagai
燈文 永井
Toshiaki Nonaka
俊照 野中
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Nippon Mining Holdings Inc
Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Mining and Metals Co Ltd
Nippon Mining Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide copper alloy foil for a laminate, in a double-layer printing circuit board in which a resin substrate is formed from varnish containing polyamic acid as the raw material, which has good wettability with the varnish, and can directly be adhered with polyimide without roughening plating treatment and has small roughness in the surface. SOLUTION: The copper alloy foil has a composition containing one or more kinds selected from, by mass, 0.01 to 2.0% Cr and 0.01 to 1.0% Zr, and, if required, further containing one or more kinds selected from Ag, Al, Be, Co, Fe, Mg, Ni, P, Pb, Si, Sn, Ti and Zn by 0.005 to 2.5% in total, and the balance Cu. In the copper alloy, surface roughness is <=2 μm by ten point average surface roughness (Rz), and the thickness of the rust prevention film is controlled to <=5 nm from the surface, so that its wettability with varnish is satisfactory, and 180 deg. peel strength with the film obtained by thermally hardening polyamic acid is >=8.0 N/cm without roughening plating treatment.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板用の積層
板に用いる銅合金箔に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a copper alloy foil used for a laminate for a printed wiring board.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の電子回路にはプリント配線板
が多く用いられる。 プリント配線板は基材となる樹脂
の種類によって、硬質積層板(リジット基板)と、可撓
性積層板(フレキシブル基板)とに大別される。フレキ
シブル基板は可撓性を持つことを特徴とし、可動部の配
線に用いられる他に、電子機器内で折り曲げた状態で収
納することも可能であるために、省スペース配線材料と
しても用いられている。また、基板自体が薄いことか
ら、半導体パッケージのインターポーザー用途あるいは
液晶ディスプレイのICテープキャリアとしても用いら
れている。 フレキシブル基板は基材となる樹脂にはポ
リイミドが多く用いられており、導電材には導電性の点
から一般に銅が用いられている。 フレキシブル基板は
その構造から三層フレキシブル基板と二層フレキシブル
基板がある。 三層フレキシブル基板は、ポリイミドな
どの樹脂フィルムと導電材となる銅箔とを、エポキシ樹
脂やアクリル樹脂などの接着剤で貼り合わせた構造とな
っている。 一方、二層フレキシブル基板はポリイミド
などの樹脂と導電材となる銅が直接に接合された構造と
なっている。
2. Description of the Related Art Printed wiring boards are often used in electronic circuits of electronic equipment. Printed wiring boards are roughly classified into hard laminated boards (rigid boards) and flexible laminated boards (flexible boards) depending on the type of resin used as a base material. The flexible substrate is characterized by having flexibility, and is used as a wiring material for a movable part, and also can be stored in a folded state in an electronic device, so that it is also used as a space-saving wiring material. I have. Further, since the substrate itself is thin, it is used as an interposer for a semiconductor package or as an IC tape carrier for a liquid crystal display. In the flexible substrate, polyimide is often used as a resin as a base material, and copper is generally used as a conductive material from the viewpoint of conductivity. The flexible substrate has a three-layer flexible substrate and a two-layer flexible substrate because of its structure. The three-layer flexible substrate has a structure in which a resin film such as polyimide and a copper foil serving as a conductive material are bonded with an adhesive such as an epoxy resin or an acrylic resin. On the other hand, the two-layer flexible substrate has a structure in which a resin such as polyimide and copper as a conductive material are directly bonded.

【0003】プリント配線板は銅張積層板の銅箔をエッ
チングして種々の配線パターンを形成し、電子部品をハ
ンダで接続して実装していくが、プリント配線板用の材
料にはこのような高温下に繰り返して晒されるため、耐
熱性が要求される。 近年、環境への影響から鉛フリー
はんだの使用が広まっているが、従来の鉛はんだと比較
して融点が高くなるために、フレキシブル基板への耐熱
性の要求がより厳しくなっている。 このため、二
層フレキシブル基板は有機材料に耐熱性に優れたポリイ
ミド樹脂だけを使用しているので、耐熱性の劣るエポキ
シ樹脂やアクリル樹脂などの接着剤を用いている三層フ
レキシブル基板よりも耐熱性の改善が容易であり、その
使用量が増加している。
A printed wiring board is formed by etching a copper foil of a copper-clad laminate to form various wiring patterns, and connecting and mounting electronic components with solder. Because of repeated exposure to high temperatures, heat resistance is required. In recent years, the use of lead-free solder has been widespread due to its effect on the environment. However, since the melting point is higher than that of conventional lead solder, the requirements for heat resistance of flexible substrates have become more stringent. For this reason, the two-layer flexible board uses only heat-resistant polyimide resin as the organic material, so it is more heat-resistant than the three-layer flexible board using an adhesive such as epoxy resin or acrylic resin that has poor heat resistance. It is easy to improve the properties and its usage is increasing.

【0004】ポリイミド樹脂を基材とする二層フレキシ
ブル基板の主な製造方法はメタライジング法、ラミ
ネート法、キャスティング法がある。のメタライジ
ング法はポリイミドフィルム上にCrなどの金属をスパ
ッタリング法などで薄く蒸着して、さらにプリント配線
板の導電材となる銅をスパッタリング法あるいはめっき
法などで必要な厚さに形成する方法であり、銅箔を使用
しない。のラミネート法はプリント配線板の導電材と
なる銅箔をポリイミドフィルムに直接に積層する方法で
ある。のキャスティング法は基材となるポリイミド樹
脂の前駆体であるポリアミック酸を含むワニスをプリン
ト配線板の導電材となる銅箔上に塗布して、加熱硬化す
ることで形成したポリイミド皮膜を樹脂基板とする方法
である。
The main methods for producing a two-layer flexible substrate using a polyimide resin as a base material include a metallizing method, a laminating method, and a casting method. The metallizing method is a method in which a metal such as Cr is thinly deposited on a polyimide film by a sputtering method or the like, and copper, which is a conductive material of a printed wiring board, is formed to a required thickness by a sputtering method or a plating method. Yes, do not use copper foil. Is a method of directly laminating a copper foil as a conductive material of a printed wiring board on a polyimide film. In the casting method, a varnish containing polyamic acid, which is a precursor of a polyimide resin serving as a base material, is applied on a copper foil serving as a conductive material of a printed wiring board, and a polyimide film formed by heating and curing is applied to a resin substrate. How to

【0005】近年の電子機器の小型化、軽量化、高機能
化に伴ってプリント配線板に対して高密度実装の要求が
高まり、電子回路の配線幅と配線間隔を小さくしたファ
インピッチ化が進んでいる。 導電材に表面粗さの大き
い銅箔や粗化めっき処理で凹凸を形成した銅箔を用いる
と、エッチングで回路を形成する際に、樹脂に銅が残る
エッチング残が生じたり、エッチング直線性が低下して
回路幅が不均一になりやすい。 このため、電子回路を
ファインピッチ化するためには、銅箔の表面粗さの小さ
いことが好ましい。 また、パソコンや移動体通信等の
電子機器では電気信号が高周波化しているが、電気信号
の周波数が1GHz以上になると、電流が導体の表面に
だけ流れる表皮効果の影響が顕著になり、表面の凹凸で
伝送経路が変化する影響が無視できなくなる。 このた
め、メタライジング法のように平滑にしたポリイミドフ
ィルム上に金属膜を形成したり、ラミネート法やキャス
ティング法で用いる銅箔の表面粗さを小さくする試みが
なされている。
In recent years, as electronic devices have become smaller, lighter, and more sophisticated, demands for high-density mounting on printed wiring boards have increased, and finer pitches have been developed by reducing the wiring width and wiring interval of electronic circuits. In. If a copper foil with a large surface roughness or a copper foil with irregularities formed by roughening plating is used as the conductive material, when forming a circuit by etching, copper remains in the resin, etching residue may occur, or etching linearity may be reduced. The circuit width tends to be non-uniform due to a decrease. Therefore, it is preferable that the surface roughness of the copper foil be small in order to make the electronic circuit fine pitch. In electronic devices such as personal computers and mobile communications, the frequency of electric signals is high. When the frequency of electric signals is 1 GHz or more, the effect of the skin effect in which current flows only on the surface of a conductor becomes remarkable, and The influence that the transmission path changes due to the unevenness cannot be ignored. For this reason, attempts have been made to form a metal film on a smoothed polyimide film as in a metallizing method or to reduce the surface roughness of a copper foil used in a laminating method or a casting method.

【0006】ところで、プリント配線板の導電材となる
銅箔はその製造方法の違いにより電解銅箔と圧延銅箔に
分類される。 電解銅箔は硫酸銅めっき浴からチタンや
ステンレスのドラム上に銅を電解析出して製造される
が、めっき浴に添加剤を加えたり、電解析出条件を調節
して表面粗さを小さくした銅箔、いわゆるロープロファ
イル箔が製造されるようになってきた。 圧延銅箔は圧
延ロールにより塑性加工して製造されるので、圧延ロー
ルの表面形態が箔の表面に転写した平滑な表面が得られ
る。 なお、箔とは一般に100μm以下の厚さの薄板
をいう。
[0006] Copper foil used as a conductive material of a printed wiring board is classified into an electrolytic copper foil and a rolled copper foil depending on the manufacturing method. Electrodeposited copper foil is produced by electrolytic deposition of copper on a titanium or stainless steel drum from a copper sulfate plating bath.Additional additives were added to the plating bath or the surface roughness was reduced by adjusting the electrolytic deposition conditions. Copper foils, so-called low profile foils, have come to be manufactured. Since the rolled copper foil is manufactured by plastic working with a roll, a smooth surface in which the surface form of the roll is transferred to the surface of the foil can be obtained. Note that a foil generally refers to a thin plate having a thickness of 100 μm or less.

【0007】プリント配線板に使われる銅箔は樹脂との
接着性を改善するために、銅箔に表面に銅の粒子を電気
めっきで形成する粗化めっき処理が施されている。 こ
れは、銅箔の表面に凹凸を形成して、樹脂に銅箔を食い
込ませて機械的な接着強度を得る、いわゆるアンカー効
果で接着性を改善するものであるが、上記の理由から粗
化めっき処理を施さない表面粗さの小さい銅箔を樹脂フ
ィルムと貼り合わせることが望ましく、粗化めっき処理
を施さずに接着強度を確保することが必要である。 ま
た、三層フレキシブル基板では金属である銅箔と有機物
である接着剤の接着強度を改善するためにシランカップ
リング剤等を銅箔に塗布する試みがなされている。 し
かし、二層フレキシブル基板の製造温度は300℃〜4
00℃と三層フレキシブル基板の100〜200℃と比
較して高温であることから、カップリング剤の熱分解が
起こりやすく、接着性が改善されていない。
A copper foil used for a printed wiring board has been subjected to a roughening plating process for forming copper particles on the surface of the copper foil by electroplating in order to improve the adhesion to a resin. This is to improve the adhesiveness by the so-called anchor effect, in which irregularities are formed on the surface of the copper foil and the copper foil is cut into the resin to obtain mechanical adhesive strength. It is desirable to bond a copper foil having a small surface roughness, which is not subjected to a plating treatment, to a resin film, and it is necessary to secure an adhesive strength without performing a roughening plating treatment. In addition, in a three-layer flexible substrate, an attempt has been made to apply a silane coupling agent or the like to the copper foil in order to improve the adhesive strength between the copper foil as a metal and the adhesive as an organic substance. However, the manufacturing temperature of the two-layer flexible substrate is 300 ° C to 4 ° C.
Since the temperature is 00 ° C., which is higher than 100 ° C. to 200 ° C. of the three-layer flexible substrate, thermal decomposition of the coupling agent easily occurs, and the adhesiveness is not improved.

【0008】導電材として用いられる銅箔の素材には、
純銅や少量の添加元素を含む銅合金が用いられる。 電
子回路のファインピッチ化に伴って導体である銅箔が薄
くなり、また回路幅が狭くなっていることから、銅箔の
特性に対して、直流抵抗損失が小さく導電率が高いこと
が求められている。 銅は導電性に優れた材料であり、
導電性が重視される上記の分野では純度99.9%以上
の純銅が用いられるのが一般的である。 しかし、銅は
純度を上げると強度が低下するので、銅箔が薄くなると
ハンドリング性が悪くなるため、銅箔の強度が大きいこ
とが好ましい。
[0008] Copper foil materials used as conductive materials include:
Pure copper or a copper alloy containing a small amount of additional elements is used. As the copper foil, which is a conductor, becomes thinner and the circuit width becomes narrower with the finer pitch of electronic circuits, it is required that the DC resistance loss is small and the conductivity is high with respect to the characteristics of the copper foil. ing. Copper is a material with excellent conductivity,
In the above field where conductivity is important, pure copper having a purity of 99.9% or more is generally used. However, since the strength of copper decreases when the purity is increased, the handleability deteriorates when the copper foil becomes thin. Therefore, the strength of the copper foil is preferably large.

【0009】このような状況の中で、本発明者らは特願
2001−21986のように導電性の優れる純銅をベ
ースにして、少量の添加元素を加えた銅合金で箔を作製
することによって、導電性を損なわずに銅箔の高強度化
およびポリイミドフィルムとの接着性向上が可能である
ことを示した。 このように銅合金を圧延した箔は表面
粗さが小さいが、無粗化処理でラミネート法によるポリ
イミドフィルムとの接着が良好な銅張積層板が製造で
き、優れた高周波特性が得られた。 この銅合金箔を用
いてキャスティング法で、ポリイミド樹脂を基材とする
二層フレキシブル基板を作製することを試みた。 銅合
金箔にポリイミドフィルムを接着するのではなく、銅合
金箔上にポリイミドの前駆体であるポリアミック酸を含
むワニスを塗布した後、加熱硬化してポリイミドの皮膜
を形成した。 この結果、銅合金箔の表面状態によっ
て、ポリアミック酸を含むワニスとのぬれ性が悪いこと
があり、ワニスの付着量のムラが生じて、加熱硬化後の
ポリイミド皮膜厚みを均一にすることが難しいことが判
明した。
In such a situation, the present inventors made a foil from a copper alloy to which a small amount of additional elements was added, based on pure copper having excellent conductivity as disclosed in Japanese Patent Application No. 2001-21986. It has been shown that it is possible to increase the strength of the copper foil and improve the adhesion with the polyimide film without impairing the conductivity. Although the foil obtained by rolling the copper alloy has a small surface roughness, a copper-clad laminate having good adhesion to a polyimide film by a laminating method can be produced by a non-roughening treatment, and excellent high-frequency characteristics were obtained. An attempt was made to produce a two-layer flexible substrate using a polyimide resin as a base material by a casting method using this copper alloy foil. Instead of bonding a polyimide film to the copper alloy foil, a varnish containing a polyamic acid, which is a polyimide precursor, was applied on the copper alloy foil, and then cured by heating to form a polyimide film. As a result, depending on the surface condition of the copper alloy foil, the wettability with the varnish containing polyamic acid may be poor, resulting in unevenness in the amount of the varnish attached, and it is difficult to make the thickness of the polyimide film uniform after heat curing. It has been found.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】ポリイミド樹脂を基材
とする二層プリント配線板を、キャスティング法で製造
するときに、銅合金箔とポリアミック酸を含むワニスと
のぬれ性を改善して、ワニス付着量のムラをなくし、加
熱硬化後のポリイミド皮膜厚みを均一にでき、かつ銅箔
の表面粗さがRzで2μm以下で、粗化めっき処理のよ
うな特別な処理を施さずに、180゜ピール強度で8.
0N/cm以上の接着強度が得られる積層板用の銅合金
箔を提供することである。
When a two-layer printed wiring board based on a polyimide resin is manufactured by a casting method, the wettability between a copper alloy foil and a varnish containing polyamic acid is improved. It is possible to eliminate the unevenness of the adhesion amount, to make the thickness of the polyimide film after heat curing uniform, and to make the copper foil have a surface roughness of 2 μm or less at Rz of 180 μm without performing any special treatment such as roughening plating. 7. Peel strength.
An object of the present invention is to provide a copper alloy foil for a laminate, which can provide an adhesive strength of 0 N / cm or more.

【0011】[0011]

【課題を改善するための手段】本発明者らは、銅合金箔
にポリアミック酸を含むワニスを塗布したときに、ワニ
ス付着量のムラが生じる原因について調査した結果、銅
合金箔とワニスのぬれ性が悪いことにあり、その原因が
銅合金箔が変色することを防ぐための防錆皮膜であるこ
とを見いだした。 純銅および銅合金の変色防止剤には
ベンゾトリアゾールやイミダゾールなどの有機物が使用
されれることが多く、これらの防錆皮膜の厚さを制限す
ることでポリアミック酸を含むワニスとのぬれ性が良好
となり、加熱硬化後のポリイミド皮膜厚みを均一にする
ことができた。 また、ポリアミック酸を原料としたと
きのポリイミドとの接着性が、導電性の優れる純銅をベ
ースにして、少量の添加元素を加えた銅合金によって改
善されることを見いだし、表面粗さが十点平均表面粗さ
(Rz)で2μm以下であり、粗化めっき処理を施さな
くともポリアミック酸を熱硬化した皮膜との充分な接着
強度が得られた。具体的には、防錆被膜とポリアミック
酸のぬれ性およびそれを加熱硬化したポリイミドとの接
着性などに対する各種の添加元素の影響について研究を
重ねた結果、本発明は、 (1) 添加元素の成分を重量割合にてCrが0.01
〜2.0質量%、Zrが0.01〜1.0質量%、の各
成分の内一種以上を含み、残部を銅及び不可避不純物か
らなり、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)で2μm
以下、防錆皮膜の厚さが表面から5nm以下とすること
により、引張強さを600N/mm以上、導電率を5
0%IACS以上を有し、ポリアミック酸を含むワニス
とのぬれ性が良好で、粗化めっき処理を施さずにポリア
ミック酸を熱硬化した皮膜との180゜ピール強度が
8.0N/cm以上であることを特徴とする、積層板用
銅合金箔。 (2) 添加元素の成分を重量割合にてCrが0.01
〜2.0質量%、Zrが0.01〜1.0質量%、の各
成分の内一種以上を含み、更にAg、Al、Be、C
o、Fe、Mg、Ni、P、Pb、Si、Sn、Tiお
よびZnの各成分の内一種以上を総量で0.005〜
2.5質量%を含有し、残部を銅及び不可避不純物から
なり、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)で2μm以
下、防錆皮膜の厚さが表面から5nm以下とすることに
より、引張強さを600N/mm以上、導電率を50
%IACS以上を有し、ポリアミック酸を含むワニスと
のぬれ性が良好で、粗化めっき処理を施さずにポリアミ
ック酸を熱硬化した皮膜との180゜ピール強度が8.
0N/cm以上であることを特徴とする、積層板用銅合
金箔。 を提供するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have investigated the cause of uneven varnish adhesion when a varnish containing polyamic acid is applied to a copper alloy foil. As a result, wetting of the copper alloy foil and the varnish was observed. It was found that the corrosion resistance was poor, and the cause was a rust-preventive film for preventing discoloration of the copper alloy foil. Organic substances such as benzotriazole and imidazole are often used as discoloration inhibitors for pure copper and copper alloys, and by limiting the thickness of these anticorrosive films, wetting with varnishes containing polyamic acid is improved. Thus, the thickness of the polyimide film after heat curing was made uniform. In addition, it was found that the adhesiveness with polyimide when polyamic acid was used as a raw material was improved by a copper alloy to which a small amount of additional element was added, based on pure copper having excellent conductivity, and the surface roughness was 10 points. The average surface roughness (Rz) was 2 μm or less, and sufficient adhesive strength with a film obtained by thermosetting polyamic acid was obtained without performing roughening plating treatment. Specifically, as a result of repeated studies on the wettability of the rust-preventive film and the polyamic acid and the adhesiveness between the heat-cured polyimide and various other additive elements, the present invention shows that (1) the additive element Cr is 0.01 by weight
-20% by mass and 0.01-1.0% by mass of Zr, the balance consisting of copper and unavoidable impurities, and the surface roughness having a ten-point average surface roughness (Rz ) For 2 μm
Hereinafter, by setting the thickness of the rust preventive film to 5 nm or less from the surface, the tensile strength is 600 N / mm 2 or more and the conductivity is 5 nm.
It has 0% IACS or more, has good wettability with varnish containing polyamic acid, and has 180 ° peel strength of 8.0 N / cm or more with a film obtained by thermosetting polyamic acid without performing roughening plating treatment. A copper alloy foil for a laminate, characterized in that: (2) The content of the additive element is 0.01% by weight of Cr.
, 2.0% by mass, and 0.01% to 1.0% by mass of Zr.
o, Fe, Mg, Ni, P, Pb, Si, Sn, Ti, Zn
2.5% by mass, the balance consisting of copper and unavoidable impurities, with a surface roughness of 2 μm or less in ten-point average surface roughness (Rz) and a thickness of the rust preventive film of 5 nm or less from the surface. , A tensile strength of 600 N / mm 2 or more, and a conductivity of 50
% IACS or more, good wettability with varnish containing polyamic acid, and 180 ° peel strength with a film obtained by thermosetting polyamic acid without performing roughening plating treatment.
A copper alloy foil for a laminated board, which is 0 N / cm or more. Is provided.

【0012】[0012]

【発明実施の形態】本発明において表面状態および合金
組成等を上記に限定した理由を述べる。 (1)防錆被膜:純銅および銅合金の変色防止は、ベン
ゾトリアゾールやイミダゾールなどの窒素を含有する有
機物を用いて、表面に銅とのキレートを形成して防錆被
膜とすることが広く行われている。 一方でこれらの防
錆被膜は撥水性を有し、ポリアミック酸を含むワニスを
はじくといった液体とのぬれ性を悪くする作用がある。
このため、防錆被膜の厚みを表面から5nm以下と制
限することで、ワニスの塗布厚みを均一にすることがで
きるようになり、ポリアミック酸を加熱してイミド化反
応によって得られるポリイミドの厚みのバラツキが小さ
くできる。 防錆皮膜の厚さを低減するためには、例え
ば防錆剤の濃度を低減する方法があり、防錆剤にベンゾ
トリアゾールを用いた場合には、その濃度を500pp
m以下とすることが好ましい。 防錆皮膜の表面からの
厚さはオージェ電子分光分析により測定することにより
定量化できる。 すなわち、オージェ電子分光分析によ
り、深さ方向に分析を行い、防錆剤を構成する元素であ
る窒素の検出強度がバックグラウンドと同一になるまで
の表面からの深さをSiO換算で測定することにより
求められる。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The reasons for limiting the surface condition, alloy composition and the like in the present invention to the above will be described. (1) Rust preventive coating: To prevent discoloration of pure copper and copper alloys, it is widely practiced to use a nitrogen-containing organic substance such as benzotriazole or imidazole to form a chelate with copper on the surface to form a rust preventive coating. Have been done. On the other hand, these rust preventive coatings have water repellency and have an effect of impairing wettability with a liquid such as repelling a varnish containing polyamic acid.
For this reason, by limiting the thickness of the rust preventive coating to 5 nm or less from the surface, it becomes possible to make the coating thickness of the varnish uniform, and the thickness of the polyimide obtained by the imidization reaction by heating the polyamic acid. Variation can be reduced. In order to reduce the thickness of the rust preventive film, for example, there is a method of reducing the concentration of the rust preventive agent, and when benzotriazole is used as the rust preventive agent, the concentration is reduced to 500 pp.
m or less. The thickness of the antirust film from the surface can be quantified by measuring it by Auger electron spectroscopy. That is, analysis is performed in the depth direction by Auger electron spectroscopy, and the depth from the surface until the detection intensity of nitrogen, which is an element constituting the rust inhibitor, becomes the same as the background is measured in terms of SiO 2. It is required by

【0013】(2)Cr、Zr:Cr、Zrは樹脂を製
造する際に、重合を促進する触媒としての作用が働くこ
とが知られている。 このため、これらを銅に添加して
合金箔とすることにより、金属とポリイミド樹脂の結合
を促進して、界面の結合が強化されたと考えられる。
これらの添加量が少なすぎると触媒として十分な作用を
しないため、金属と樹脂の結合が十分に行われず、接着
性の改善効果が小さい。プリント配線板として実用上で
支障のない180゜ピール強度である8.0N/cm以
上を付与することが必要である。 この特性を得るため
には、Cr、Zrの内少なくとも1種類以上の添加量が
重量比で0.01質量%以上であることが判明した。
一方で、その添加量が多くなると、鋳造時の偏析による
粗大な晶出物が発生するようになる。 粗大な晶出物が
含まれる金属材料は熱間圧延中に割れが生じて熱間加工
性が悪くなる。 また、電子回路のファインピッチ化に
伴って導体である銅箔が薄くなり、また回路幅が狭くな
っていることから、銅箔の特性に対して、直流抵抗損失
が小さく導電率が高いことが求められている。 また添
加量が多くなると導電性が低下することがある。 これ
らの問題が生じないCrおよびZr添加量の上限は、重
量比でそれぞれCrが2.0質量%、より好ましくは、
0.4質量%である。またZrが1.0質量%より好ま
しくは、0.25質量%である。 これは、塑性加工が
し易いためである。 従ってプリント配線板の積層板用
銅合金箔として、合金成分の適正な添加量の範囲は、重
量比でCrが0.01〜2.0質量%、より好ましく
は、0.01〜0.4質量%である。また、Zrは、
0.01〜1.0質量%、より好ましくは、0.01〜
0.25質量%である。
(2) Cr, Zr: Cr and Zr are known to act as catalysts for accelerating polymerization when producing resins. Therefore, it is considered that by adding these to copper to form an alloy foil, the bonding between the metal and the polyimide resin was promoted, and the bonding at the interface was strengthened.
If the amounts of these additives are too small, they do not act sufficiently as a catalyst, so that the metal and the resin are not sufficiently bonded, and the effect of improving the adhesiveness is small. It is necessary to provide a printed wiring board with a 180 ° peel strength of 8.0 N / cm or more that does not hinder practical use. In order to obtain this characteristic, it was found that the amount of addition of at least one of Cr and Zr was 0.01% by mass or more in weight ratio.
On the other hand, when the addition amount is large, coarse crystals are generated due to segregation during casting. A metal material containing coarse crystallites is cracked during hot rolling, resulting in poor hot workability. In addition, as the copper foil, which is a conductor, becomes thinner and the circuit width becomes narrower with the finer pitch of electronic circuits, the DC resistance loss is smaller and the conductivity is higher for the characteristics of copper foil. It has been demanded. In addition, when the amount of addition increases, the conductivity may decrease. The upper limit of the added amount of Cr and Zr at which these problems do not occur is as follows.
0.4% by mass. Further, Zr is more preferably 1.0% by mass and 0.25% by mass. This is because plastic working is easy. Therefore, as the copper alloy foil for a laminate of a printed wiring board, the range of the appropriate addition amount of the alloy component is such that Cr is 0.01 to 2.0% by mass, more preferably 0.01 to 0.4% by weight. % By mass. Zr is
0.01 to 1.0% by mass, more preferably 0.01 to 1.0% by mass
0.25% by mass.

【0014】(3)Ag、Al、Be、Co、Fe、M
g、Ni、P、Pb、Si、Sn、TiおよびZn:
Ag、Al、Be、Co、Fe、Mg、Ni、P、P
b、Si、Sn、TiおよびZnはいずれも主として
銅合金の強度を高める効果を有しており、必要に応じて
1種以上の添加がなされる。 その含有量が総量で0.
005質量%未満であると上記の作用に所望の効果が得
られず、一方で総量で2.5質量%を越える場合には導
電性、ハンダ付け性、加工性を著しく劣化させる。 従
って、Ag、Al、Be、Co、Fe、Mg、Ni、
P、Pb、Si、Sn、TiおよびZnの含有量の範囲
は総量で0.005〜2.5質量%と定めた。
(3) Ag, Al, Be, Co, Fe, M
g, Ni, P, Pb, Si, Sn, Ti and Zn:
Ag, Al, Be, Co, Fe, Mg, Ni, P, P
b, Si, Sn, Ti and Zn are all mainly
It has the effect of increasing the strength of the copper alloy, and one or more additions are made as needed. Its content is 0.
If the amount is less than 005% by mass, desired effects cannot be obtained in the above-mentioned action, while if the total amount exceeds 2.5% by mass, conductivity, solderability and workability are remarkably deteriorated. Therefore, Ag, Al, Be, Co, Fe, Mg, Ni,
The range of the contents of P, Pb, Si, Sn, Ti and Zn was determined to be 0.005 to 2.5% by mass in total.

【0015】(4)表面粗さ: 銅箔の表面粗さが大き
くなると、電気信号の周波数が1GHz以上で電流が導
体の表面にだけ流れる表皮効果により、インピーダンス
が増大して高周波信号の伝送に影響する。 したがっ
て、高周波回路用途の導電材の用途では表面粗さが小さ
くることが必要であり、表面粗さと高周波特性の関連を
検討した結果、プリント配線板の積層板用銅合金箔とし
て、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)で2μm以下
とすればよいことがわかった。 表面粗さを小さくする
方法は、圧延銅箔、電解銅箔の製造条件を適正化するこ
と、銅箔の表面を化学研磨あるいは電解研磨するといっ
た手法がある。 一般には圧延銅箔は容易に表面粗さを
小さくすることが可能であり、圧延機のワークロールの
表面粗さを小さくして、銅箔に転写されるワークロール
のプロファイルを小さくすることができる。
(4) Surface Roughness: If the surface roughness of the copper foil increases, the impedance increases due to the skin effect in which the electric signal has a frequency of 1 GHz or more and the current flows only on the surface of the conductor. Affect. Therefore, it is necessary to reduce the surface roughness in the application of conductive materials for high-frequency circuits, and as a result of examining the relationship between surface roughness and high-frequency characteristics, it was found that copper alloy foil for printed wiring board laminates has a high surface roughness. It was found that the surface roughness (Rz) should be 2 μm or less. Methods for reducing the surface roughness include techniques for optimizing the production conditions for rolled copper foil and electrolytic copper foil, and chemical polishing or electrolytic polishing of the surface of the copper foil. In general, rolled copper foil can easily reduce the surface roughness, reduce the surface roughness of the work roll of the rolling mill, and reduce the work roll profile transferred to the copper foil. .

【0016】本発明の銅合金箔は製造方法に限定される
ものではなく、例えば合金めっき法による電解銅箔ある
いは合金を溶解鋳造して圧延する圧延銅箔のような方法
で製造できる。以下に例として圧延による方法を述べ
る。 溶融した純銅に所定量の合金元素を添加して、鋳
型内に鋳造してインゴットとする。本発明ではCr、Z
rといった活性な元素を添加するので、酸化物等の生成
を抑制するため真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で行
うことが望ましい。 また原料は酸素含有量の少ない電
気銅あるいは無酸素銅を用いることが望ましい。インゴ
ットは、熱間圧延である程度の厚さまで薄くした後、皮
削りを行い、その後冷間圧延と焼鈍を繰返し行い、最後
に冷間圧延を行って箔に仕上げる。 圧延上がりの材料
は圧延油が付着しているので、アセトンや石油系溶剤等
で脱脂処理をする。
The copper alloy foil of the present invention is not limited to the production method, and can be produced, for example, by a method such as an electrolytic copper foil by alloy plating or a rolled copper foil obtained by melting and rolling an alloy. The method by rolling will be described below as an example. A predetermined amount of alloying element is added to the molten pure copper and cast into a mold to form an ingot. In the present invention, Cr, Z
Since an active element such as r is added, it is desirable to perform the treatment in a vacuum or in an inert gas atmosphere to suppress the formation of oxides and the like. It is desirable to use electrolytic copper or oxygen-free copper having a low oxygen content as a raw material. After the ingot is thinned to a certain thickness by hot rolling, skinning is performed, then cold rolling and annealing are repeated, and finally cold rolling is performed to finish the foil. Since the rolling oil is attached to the material after rolling, the material is degreased with acetone, a petroleum-based solvent, or the like.

【0017】焼鈍で酸化層が生じると後工程で支障が生
じるので、焼鈍は真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で
行うか、焼鈍後に酸化層を除去することが必要である。
例えば、酸洗で酸化層を除去するには硫酸+過酸化水
素、硝酸+過酸化水素、または硫酸+過酸化水素+弗化
物を用いることが好ましい。
If an oxide layer is formed by annealing, a problem will occur in a subsequent step. Therefore, it is necessary to perform annealing in a vacuum or an inert gas atmosphere, or to remove the oxide layer after annealing.
For example, to remove an oxide layer by pickling, it is preferable to use sulfuric acid + hydrogen peroxide, nitric acid + hydrogen peroxide, or sulfuric acid + hydrogen peroxide + fluoride.

【0018】[0018]

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。銅合金の
作製は、主原料として無酸素銅を高周波真空誘導溶解炉
を用いてAr雰囲気中にて高純度黒鉛製るつぼ内で溶解
したところへ、副原料として銅クロム母合金、銅ジルコ
ニウム母合金、アルミニウム、銀、銅ベリリウム母合
金、コバルト、鉄、マグネシウム、マンガン、ニッケ
ル、銅リン母合金、鉛、銅シリコン母合金、スズ、チタ
ン、亜鉛から選ばれた添加元素を添加した後、鋳鉄製の
鋳型内に鋳造した。この方法で厚さ30mm、幅50m
m、長さ150mm、重さ約2kgの銅合金のインゴッ
トを得た。このインゴットを900℃に加熱して、熱間
圧延により厚さ8mmまで圧延して酸化スケールを除去
した後、冷間圧延と種々の熱処理とを行って厚さ35μ
mの圧延上がりの銅合金箔を得た。
Embodiments of the present invention will be described below. The copper alloy was prepared by melting oxygen-free copper as the main raw material in a high-purity graphite crucible in an Ar atmosphere using a high-frequency vacuum induction melting furnace, and using copper chromium mother alloy and copper zirconium mother alloy as auxiliary raw materials. , Aluminum, silver, copper beryllium master alloy, cobalt, iron, magnesium, manganese, nickel, copper phosphorus master alloy, lead, copper silicon mother alloy, tin, titanium, zinc Was cast in a mold. This method is 30mm thick and 50m wide
A copper alloy ingot having a length of 150 mm and a length of about 2 kg was obtained. This ingot was heated to 900 ° C., rolled to a thickness of 8 mm by hot rolling to remove oxide scale, and then subjected to cold rolling and various heat treatments to a thickness of 35 μm.
Thus, a rolled copper alloy foil of m was obtained.

【0019】上記の方法で得られた厚さ35μmの銅合
金箔は圧延油が付着しているのでアセトン中に浸漬して
油分を除去した。 これを硫酸10重量%および過酸化
水素1重量%を含む水溶液に浸漬して表面の酸化層およ
び防錆皮膜を除去した。 防錆皮膜の厚みの影響を調査
する目的で、ベンゾトリアゾールの濃度を調整した水溶
液に浸漬して、直ちに乾燥した。 これ以外に粗化めっ
き処理やシランカップリング処理等の接着性を改善する
特別な表面処理を実施していない。 このようにして作
製した銅合金箔を塗工盤上に固定し、ポリアミック酸と
溶剤としてN−メチルピロリドンを含むワニスをアプリ
ケータで塗布した。 これを真空乾燥機内で溶剤を揮発
させた後、最終的に温度350℃に10分間保持してポ
リアミック酸を加熱硬化させてポリイミドの皮膜とし
て、ポリイミドと銅合金の2層からなる銅張積層板を得
た。 ここでポリイミド被膜の厚さは約50μmであっ
た。
The copper alloy foil having a thickness of 35 μm obtained by the above method was immersed in acetone to remove the oil content because the rolling oil adhered thereto. This was immersed in an aqueous solution containing 10% by weight of sulfuric acid and 1% by weight of hydrogen peroxide to remove the oxidized layer and the rust preventive film on the surface. For the purpose of investigating the effect of the thickness of the rust-preventive film, it was immersed in an aqueous solution in which the concentration of benzotriazole was adjusted and immediately dried. In addition, no special surface treatment for improving adhesiveness such as rough plating treatment or silane coupling treatment is performed. The copper alloy foil thus produced was fixed on a coating board, and a varnish containing polyamic acid and N-methylpyrrolidone as a solvent was applied with an applicator. After evaporating the solvent in a vacuum dryer, the temperature is finally maintained at 350 ° C. for 10 minutes to heat and cure the polyamic acid to form a polyimide film, a copper-clad laminate comprising two layers of polyimide and a copper alloy. I got Here, the thickness of the polyimide film was about 50 μm.

【0020】このようにして得られた銅合金箔の「熱間
圧延性」、「表面粗さ」、「導電率」、「引張強さ」、
「防錆皮膜の厚み」およびポリイミド皮膜との「接着強
度」を以下の方法で評価した。 (1)熱間圧延性:熱間圧延性は、熱間圧延を施した材
料を浸透探傷し、目視で外観を観察して、材料の割れの
有無で評価した。 (2)表面粗さ:表面粗さは触針式表面粗さ計を用いて
圧延方向に対して直角方向に測定した。測定条件はJI
S B 0601に記載された方法に準拠して、十点平
均表面粗さ(Rz)で評価した。 (3)導電率:導電率は20℃における電気抵抗をダブ
ルブリッジを用いた直流四端子法で求めた。測定試料は
厚さ35μmの箔に加工した銅箔を幅12.7mmに切
断した。 これを測定間長さ50mmの電気抵抗を測定
して導電率を求めた。 (4)引張強さ:引張強さは引張試験で室温における引
張強さを測定した。測定試料は厚さ35μmに加工した
銅箔をプレシジョンカッターを用いて幅12.7mm、
長さ150mmの短冊状に切断した。 これを評点間距
離50mmで、引張速度50mm/分で測定した。 (5)防錆皮膜の厚み:前述したように、オージェ電子
分光分析の深さ方向分析をおこない、防錆剤を構成する
元素である窒素の検出強度がバックグラウンドと同一に
なるまでの表面からの深さをそれぞれSiO換算で測
定した。 (6)接着強度:接着強度は180゜ピール強度をJI
S C 5016に記載された方法に準拠して実施し
た。 銅合金箔の成分によって強度が異なるので、測定
は銅合金箔を両面テープを用いて引張試験機側に固定し
て、ポリイミドを180゜方向に曲げて引き剥がした。
引き剥がし幅を5.0mmとして、引張速度50mm
/分で測定した。
The “hot rollability”, “surface roughness”, “conductivity”, “tensile strength”,
The "thickness of the rust-preventive film" and the "adhesion strength" with the polyimide film were evaluated by the following methods. (1) Hot rollability: Hot rollability was evaluated by penetrating a hot-rolled material, visually observing the external appearance, and checking for cracks in the material. (2) Surface roughness: The surface roughness was measured in a direction perpendicular to the rolling direction using a stylus type surface roughness meter. Measurement conditions are JI
Based on the method described in SB0601, the ten-point average surface roughness (Rz) was evaluated. (3) Conductivity: The conductivity was determined by measuring the electric resistance at 20 ° C. by a DC four-terminal method using a double bridge. As a measurement sample, a copper foil processed into a foil having a thickness of 35 μm was cut into a width of 12.7 mm. This was measured for electrical resistance with a length of 50 mm between measurements to determine the electrical conductivity. (4) Tensile strength: Tensile strength was measured by a tensile test at room temperature. The measurement sample is a copper foil processed to a thickness of 35 μm, a width of 12.7 mm using a precision cutter,
It was cut into strips having a length of 150 mm. This was measured at a distance between scores of 50 mm and a pulling speed of 50 mm / min. (5) Thickness of rust preventive film: As described above, the depth direction analysis of Auger electron spectroscopy is performed, and from the surface until the detection intensity of nitrogen which is an element constituting the rust preventive agent becomes the same as the background. Was measured in terms of SiO 2 . (6) Adhesive strength: Adhesive strength is 180 ° peel strength by JI
The measurement was performed according to the method described in SC 5016. Since the strength varies depending on the components of the copper alloy foil, the copper alloy foil was fixed to the tensile tester side using a double-sided tape, and the polyimide was peeled off by bending it in the 180 ° direction.
With a peeling width of 5.0 mm, a pulling speed of 50 mm
/ Min.

【0021】表1に銅合金箔の組成および表2に銅合金
箔の特性評価結果を示す。 酸素含有量はいずれも10
ppm以下であった。 なお,表中に「−」で示した部
分は測定を実施していないことを示す。 これらはZn
あるいはPbを含む銅合金箔は酸素分析中に合金成分の
揮発が多く、酸素含有量を正確に測定できなかったため
であるが,いずれも酸素含有量が10ppm以下である
と推定する。 熱間加工性は熱間圧延後に割れが発生し
なかったものを○で、割れが発生したものを×で示す。
割れが発生したものは以後の試験を実施していない。
また、ワニスの塗布性はポリアミック酸を含むワニス
を銅箔上に塗布したときに、ワニスの状態を観察し、ハ
ジキが見られないものを○で、ハジキが見られたものを
×で示した。実施例のNo.1〜No.14は本発明の
銅合金箔の実施例である。 表1に示すように、本発明
の銅合金箔は導電率が50%IACS以上であり、引張
強さが600N/mm以上であり、ポリイミドを接着
したときの180゜ピール強度が8.0N/cm以上で
あった。 優れた導電性ととハンドリング性を有し、か
つ高い接着強度を有していることがわかる。 また、い
ずれも熱間圧延時に割れが発生しなかった。
Table 1 shows the composition of the copper alloy foil and Table 2 shows the results of evaluating the properties of the copper alloy foil. Oxygen content is 10
ppm or less. In addition, the part shown by "-" in the table indicates that the measurement was not performed. These are Zn
Alternatively, the copper alloy foil containing Pb has a large amount of volatilization of alloy components during the oxygen analysis, and the oxygen content could not be measured accurately. In each case, it is estimated that the oxygen content is 10 ppm or less. The hot workability is indicated by ○ when no cracks occurred after hot rolling, and by x when cracks occurred.
The subsequent test was not carried out for the case where cracks occurred.
In addition, the applicability of the varnish was observed when the varnish containing polyamic acid was applied on the copper foil, and the state of the varnish was observed. . No. of the embodiment. 1 to No. 14 is an embodiment of the copper alloy foil of the present invention. As shown in Table 1, the copper alloy foil of the present invention has a conductivity of 50% IACS or more, a tensile strength of 600 N / mm 2 or more, and a 180 ° peel strength of 8.0 N when polyimide is bonded. / Cm or more. It can be seen that it has excellent conductivity and handling properties, and has high adhesive strength. In addition, no crack occurred during hot rolling.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】[0023]

【表2】 [Table 2]

【0024】一方、表1に示す比較例のNo.15は本
発明の合金成分を加えていない圧延銅箔である。 無酸
素銅をAr雰囲気中にて溶解鋳造したインゴットを箔に
加工して、ポリイミドと接着した。 素材が純銅である
ので導電性が大きいが、180゜ピール強度は7.5N
/cmと充分な接着強度が得られていないので、プリン
ト配線板としたときに剥離が生じる恐れがある。
On the other hand, in Comparative Example No. 1 shown in Table 1, Reference numeral 15 denotes a rolled copper foil to which the alloy component of the present invention has not been added. An ingot obtained by melting and casting oxygen-free copper in an Ar atmosphere was processed into a foil and bonded to polyimide. Since the material is pure copper, the conductivity is high, but the 180 ° peel strength is 7.5N.
/ Cm, a sufficient adhesive strength has not been obtained, and peeling may occur when the printed wiring board is used.

【0025】 比較例のNo.16およびNo.17
は、それぞれCr、Zrから1種類だけを添加して実施
例と同様の方法で箔に加工した。Cr、Zrの濃度が重
量比で0.01%未満であったために強度を改善する効
果が十分でなく、引張強さが600N/mm2未満と小さ
い。
No. of Comparative Example 16 and No. 17
Was processed into a foil in the same manner as in the example, except that only one of each of Cr and Zr was added. Since the concentration of Cr and Zr was less than 0.01% by weight, the effect of improving the strength was not sufficient, and the tensile strength was as small as less than 600 N / mm 2 .

【0026】比較例のNo.18はCrを添加したが、
その濃度が重量比で2.0質量%を超えて添加したため
に、鋳造時にCrの粗大な晶出物が生じてしまい、熱間
圧延時に割れが発生し、熱間加工性が悪い。比較例のN
o.19はZrだけを添加したが、その濃度が重量比で
1.0質量%を超えているために、同様に熱間圧延時に
割れが発生した。このため、No.18およびNo.1
9は以後の試験を実施できなかった。
No. of Comparative Example 18 added Cr,
Since its concentration exceeds 2.0% by mass in weight ratio, coarse crystals of Cr are formed during casting, cracks are generated during hot rolling, and hot workability is poor. N of Comparative Example
o. In No. 19, only Zr was added, but since the concentration exceeded 1.0% by mass, cracks similarly occurred during hot rolling. For this reason, No. 18 and No. 1
No. 9 could not carry out subsequent tests.

【0027】比較例のNo.20はTiを添加したが、
その濃度が重量比で2.5質量%を超えて添加したため
に、導電率が小さく、プリント配線板の導電材としては
適さない。
No. of Comparative Example 20 added Ti,
Since its concentration exceeds 2.5% by mass in terms of weight ratio, the conductivity is low and it is not suitable as a conductive material for printed wiring boards.

【0028】比較例のNo.21およびはNo.22
は、実施例のNo.7の合金箔を用いて、ベンゾトリア
ゾールの濃度を調整した水溶液中に浸漬する処理を行っ
た。その結果、防錆被膜が厚くなるとポリアミック酸を
含むワニスとのぬれ性が悪くなり、ワニスのハジキが認
められ、均一なポリイミド被膜を得ることができず、1
80゜ピール強度を測定することができなかった。
No. of Comparative Example 21 and No. 21. 22
Is No. of the embodiment. Using the alloy foil of No. 7, a treatment of immersion in an aqueous solution in which the concentration of benzotriazole was adjusted was performed. As a result, when the rust-preventive film becomes thick, the wettability with the varnish containing polyamic acid deteriorates, cissing of the varnish is recognized, and a uniform polyimide film cannot be obtained.
The 80 ° peel strength could not be measured.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明の銅合金箔はポリアミック酸を含
むワニスを原料として加熱硬化したポリイミドを基材と
するプリント配線板積層板用に用いると、表面粗さが小
さくとも樹脂と優れた接着性を有し、かつ高い導電性と
強度を有する。これによって、微細配線を必要とする電
子回路の導電材としての用途に好適である。
When the copper alloy foil of the present invention is used for a printed wiring board laminate having a polyimide as a base material and a varnish containing polyamic acid as a raw material, excellent adhesion to a resin is obtained even if the surface roughness is small. It has high conductivity and high conductivity. This is suitable for use as a conductive material for electronic circuits that require fine wiring.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C22C 9/06 C22C 9/06 9/08 9/08 9/10 9/10 H05K 1/09 H05K 1/09 A 3/00 3/00 R 3/38 3/38 B Fターム(参考) 4E351 AA01 AA02 AA14 AA15 AA17 BB30 CC19 CC31 DD04 DD17 DD54 DD55 GG01 GG02 4K053 PA06 QA06 RA13 RA15 SA06 5E343 AA02 AA16 AA36 BB24 BB38 BB67 DD52 GG02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C22C 9/06 C22C 9/06 9/08 9/08 9/10 9/10 H05K 1/09 H05K 1 / 09 A 3/00 3/00 R 3/38 3/38 B F term (reference) 4E351 AA01 AA02 AA14 AA15 AA17 BB30 CC19 CC31 DD04 DD17 DD54 DD55 GG01 GG02 4K053 PA06 QA06 RA13 RA15 SA06 5E343 AA02 AA16 AA36 BB24 BB38 BB38 BB67 GG02

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 添加元素の成分を重量割合にてCrが
0.01〜2.0質量%、Zrが0.01〜1.0質量
%、の各成分の内一種以上を含み、残部を銅及び不可避
不純物からなり、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)
で2μm以下、防錆皮膜の厚さが表面から5nm以下と
することにより、引張強さを600N/mm以上、導
電率を50%IACS以上を有し、ポリアミック酸を含
むワニスとのぬれ性が良好で、粗化めっき処理を施さず
にポリアミック酸を熱硬化した皮膜との180゜ピール
強度が8.0N/cm以上であることを特徴とする、積
層板用銅合金箔。
1. The additive element contains, by weight, at least one of the following components: 0.01 to 2.0% by mass of Cr and 0.01 to 1.0% by mass of Zr; Consists of copper and unavoidable impurities, and has a surface roughness of 10-point average surface roughness (Rz)
2 μm or less, and the thickness of the rust preventive film is 5 nm or less from the surface, so that it has a tensile strength of 600 N / mm 2 or more, a conductivity of 50% IACS or more, and wettability with a varnish containing polyamic acid. And a 180 ° peel strength of 8.0 N / cm or more with a film obtained by thermosetting polyamic acid without performing roughening plating treatment, is 8.0 N / cm or more.
【請求項2】 添加元素の成分を重量割合にてCrが
0.01〜2.0質量%、Zrが0.01〜1.0質量
%、の各成分の内一種以上を含み、更にAg、Al、B
e、Co、Fe、Mg、Ni、P、Pb、Si、Sn、
TiおよびZnの各成分の内一種以上を総量で0.00
5〜2.5質量%を含有し、残部を銅及び不可避不純物
からなり、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)で2μ
m以下、防錆皮膜の厚さが表面から5nm以下とするこ
とにより、引張強さを600N/mm以上、導電率を
50%IACS以上を有し、ポリアミック酸を含むワニ
スとのぬれ性が良好で、粗化めっき処理を施さずにポリ
アミック酸を熱硬化した皮膜との180゜ピール強度が
8.0N/cm以上であることを特徴とする、積層板用
銅合金箔。
2. The composition according to claim 1, wherein the additive element contains at least one of the following components by weight: 0.01 to 2.0% by mass of Cr and 0.01 to 1.0% by mass of Zr. , Al, B
e, Co, Fe, Mg, Ni, P, Pb, Si, Sn,
One or more of each component of Ti and Zn is 0.00
5 to 2.5% by mass, the balance consisting of copper and unavoidable impurities, and having a surface roughness of 2 μm as a ten-point average surface roughness (Rz).
m or less, and the thickness of the rust preventive film is 5 nm or less from the surface, so that the wettability with a varnish containing a polyamic acid having a tensile strength of at least 600 N / mm 2 and a conductivity of at least 50% IACS is obtained. A copper alloy foil for a laminate, characterized by having a 180 ° peel strength of at least 8.0 N / cm with a film obtained by thermosetting polyamic acid without performing roughening plating.
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