JP2003034830A - Copper alloy foil for laminate - Google Patents

Copper alloy foil for laminate

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JP2003034830A
JP2003034830A JP2001222810A JP2001222810A JP2003034830A JP 2003034830 A JP2003034830 A JP 2003034830A JP 2001222810 A JP2001222810 A JP 2001222810A JP 2001222810 A JP2001222810 A JP 2001222810A JP 2003034830 A JP2003034830 A JP 2003034830A
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Japan
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copper
foil
mass
copper alloy
resin
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Toubun Nagai
燈文 永井
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Nippon Mining Holdings Inc
Eneos Corp
Original Assignee
Nippon Mining and Metals Co Ltd
Nippon Mining Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a copper alloy foil having small roughness, high electroconductivity, and high strength, which has adequate adhesiveness to adhesives including an epoxy resin without being roughened, and can be layered on a copper-clad laminate in three levels flexible substrate. SOLUTION: The copper alloy foil for the laminate has characteristics of surface roughness 2 μm or less by ten points average surface roughness (Rz), tensile strength of 500 N/mm<2> or more, and conductance of 60% IACS or more, and peel strength with adhesives of 8.0 N/cm or more by an 180 degree test, after bonded to a substrate resin with adhesives including the epoxy resin, without being roughened, by including, by weight ratio, one or more of 0.01%-0.5% Fe, 0.02%-1.0% Ni, and 0.02%-1.0% Co, of less than 1.0% in total, P of 0.05-0.2 times more to the total quantity, and the balance copper with unavoidable impurities, and by making the thickness of a rust preventive film to be 3 nm or less from the surface.

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明はプリント配線板用の積層
板に用いる銅合金箔に関するものである。 【0002】 【従来の技術】電子機器の電子回路にはプリント配線板
が多く用いられる。 プリント配線板は基材となる樹脂
の種類によって、硬質積層板(リジット基板)と、可撓
性積層板(フレキシブル基板)とに大別される。フレキ
シブル基板は可撓性を持つことを特徴とし、可動部の配
線に用いられる他に、電子機器内で折り曲げた状態で収
納することも可能であるために、省スペース配線材料と
しても用いられている。また、基板自体が薄いことか
ら、半導体パッケージのインターポーザー用途あるいは
液晶ディスプレイのICテープキャリアとしても用いら
れている。 フレキシブル基板の基材はポリイミド樹脂
フィルムやポリエステル樹脂フィルムが用いられている
が、現状では耐熱性の点からポリイミドが多く用いられ
ている。フレキシブル基板の導電材には導電性の点から
一般に銅が用いられている。 プリント配線板は銅張積
層板の銅箔をエッチングして種々の配線パターンを形成
し、電子部品をハンダで接続して実装していく。 【0003】フレキシブル基板はその構造から二層フレ
キシブル基板と三層フレキシブル基板がある。 二層フ
レキシブル基板はポリイミドなどの樹脂と導電材となる
銅が直接に接合された構造となっている。 一方、三層
フレキシブル基板は、ポリイミドなどの樹脂フィルムと
導電材となる銅箔とを、エポキシ樹脂やアクリル樹脂な
どを含有する接着剤で貼り合わせた構造となっている
が、接着性が良いことや安価であることから、広く用い
られている。 このような構造の違いから、フレキシブ
ル基板で銅と接合する樹脂は、二層フレキシブル基板が
ポリイミドであるのに対して、三層フレキシブル基板で
は接着剤に含まれる樹脂である。 【0004】三層フレキシブル基板に使用される接着剤
は耐熱性、耐久性、可撓性などの特性を必要とすること
から、各種の樹脂を混合して強度やガラス転移温度を調
整しているが、一般にエポキシ樹脂を主成分とするもの
が用いられている。 この用途の接着剤はエポキシ樹脂
(例えばビスフェノールA型グリシジルエーテルやグリ
シジルエステル型エポキシ樹脂)などにアミンなど硬化
剤、可撓性を付与するニトリルゴムやエラストマーを含
む溶剤状あるいはシート状のものが用いられる。 銅張
積層板の製造方法は、一般的にポリイミドフィルム上に
溶剤状の接着剤を塗布して乾燥したところへ銅箔を重ね
るか、ポリイミドフィルムと銅箔の間に接着剤をシート
状にしたもの間に挟み、ロールプレス機あるいは平面加
熱プレス機で仮接着後、更に100〜200℃で数十分
から数時間ほど加熱硬化して接着する。 【0005】プリント配線板は電子部品をハンダで接続
して実装されるとき等に、銅箔と樹脂との熱膨張係数の
違いにより熱応力が加わるので、銅箔と樹脂の接着性が
悪いと剥離する問題が生じる。 このため銅張積層板に
使われる銅箔は樹脂との接着性を改善するために、銅箔
に表面に銅の粒子を電気めっきで形成する粗化処理が施
している。 これは、銅箔の表面に凹凸を形成して、樹
脂に銅箔を食い込ませて機械的な接着強度を得る、いわ
ゆるアンカー効果で接着性を改善するものである。 一
方で、近年の電子機器の小型化、軽量化、高機能化に伴
ってプリント配線板に対して高密度実装の要求が高ま
り、電子回路の配線幅と配線間隔を小さくしたファイン
ピッチ化が進んでいる。 導電材に表面粗さの大きい銅
箔や粗化処理で凹凸を形成した銅箔を用いると、エッチ
ングで回路を形成する際に、樹脂に銅が残るエッチング
残が生じたり、エッチング直線性が低下して回路幅が不
均一になりやすい。 このため、電子回路をファインピ
ッチ化するためには、銅箔の表面粗さの小さいことが好
ましい。 また、パソコンや移動体通信等の電子機器で
は電気信号が高周波化しているが、電気信号の周波数が
1GHz以上になると、電流が導体の表面にだけ流れる
表皮効果の影響が顕著になり、表面の凹凸で伝送経路が
変化する影響が無視できなくなる。 このため、高周波
特性から銅箔の表面粗さを小さくする試みがなされてい
る。 【0006】プリント配線板の導電材となる銅箔はその
製造方法の違いにより電解銅箔と圧延銅箔に分類され
る。 電解銅箔は一般に硫酸酸性硫酸銅めっき浴からチ
タンやステンレスのドラム上に銅を電解析出して製造さ
れる。 電解析出時に銅箔に凹凸が形成されて表面粗さ
が大きくなる。 最近はめっき浴に添加剤を加えたり、
電解析出条件を調節して表面粗さを小さくした銅箔、い
わゆるロープロファイル箔が製造されるようになってき
た。 圧延銅箔は圧延ロールにより塑性加工して製造さ
れるので、圧延ロールの表面形態が箔の表面に転写した
平滑な表面が得られる。 なお、箔とは一般に100μ
m以下の厚さの薄板をいう。 【0007】前述したように現在、銅張積層板に使われ
る銅箔は樹脂との接着性を改善するために、銅箔に粗化
処理が施しているが、上記の理由から粗化処理を施さな
い表面粗さの小さい銅箔を樹脂フィルムと貼り合わせる
ことが望ましく、粗化処理を施さずに接着強度を確保す
ることが必要である。 また、三層フレキシブル基板で
は金属である銅箔と有機物である接着剤の接着強度を改
善するためにシランカップリング剤等を銅箔に塗布する
試みがなされているが、充分な接着性は得られていな
い。 【0008】導電材として用いられる銅箔の素材には、
純銅や少量の添加元素を含む銅合金が用いられる。 電
子回路のファインピッチ化に伴って導体である銅箔が薄
くなり、また回路幅が狭くなっていることから、銅箔の
特性に対して、直流抵抗損失が小さく導電率が高いこと
が求められている。 銅は導電性に優れた材料であり、
導電性が重視される上記の分野では純度99.9%以上
の純銅が用いられるのが一般的である。 しかし、銅は
純度を上げると強度が低下するので、銅箔が薄くなると
ハンドリング性が悪くなるため、銅箔の強度が大きいこ
とが好ましい。 【0009】このような状況の中で、導電材である銅箔
の粗化処理を施さずに、ポリイミドフィルムとをエポキ
シ樹脂を含む接着剤を用いて貼り合わせることを試み
た。ところが、ポリイミドフィルムと純銅の圧延銅箔と
が剥離しやすく、エポキシ樹脂を含む接着剤と銅の界面
が剥離しやすいことが判明した。 このため導電材であ
る銅箔の粗化処理を施さずに用いることは、接着剤の主
成分であるエポキシ樹脂と銅箔の剥離が生じやすく、そ
の結果から断線などの欠陥となる問題があり、実用化に
至っていない。 【0010】 【発明が解決しようとする課題】基材のポリイミド樹脂
フィルムと導電材の銅箔とをエポキシ樹脂を含有する接
着剤で貼り合わせた三層プリント配線板を製造するとき
の接着性を改善して、粗化処理のような特別な処理を施
さずに、銅箔の表面粗さ(Rz)が2μm以下で、18
0゜ピール強度で8.0N/cm以上の接着強度が得ら
れる積層板用の銅合金箔を提供することである。 【0011】 【課題を改善するための手段】本発明者らは、ポリイミ
ド樹脂フィルムと導電材の銅箔とをエポキシ樹脂を含有
する接着剤で貼り合わせたときの接着性について検討し
た結果、接着性は導電性の優れる純銅をベースにして少
量の添加元素を加えた銅合金で改善されること、銅合金
箔の防錆被膜が厚くなると低下することが判明した。
具体的には、エポキシ樹脂を含有する接着剤との接着性
に対する各種の添加元素の影響、防錆被膜の厚さと接着
性の関係について研究を重ねた結果、本発明は、(1)
添加元素の成分を重量割合にてFeが0.01質量%〜
0.5質量%、Niが0.02質量%〜1.0質量%、
Coが0.02質量%〜1.0質量%のうち1種以上を
合計して1.0質量%を超えない範囲で含むと共に、F
e、NiおよびCoの合計量に対して0.05〜0.2
倍の重量のPを含み、残部を銅及び不可避不純物からな
り、防錆皮膜の厚さが表面から3nm以下とすることに
より、表面粗さを十点平均表面粗さ(Rz)で2μm以
下、引張強さが500N/mm以上、導電率が60%
IACS以上の特性を有し、粗化処理が不要で、エポキ
シ樹脂を含む接着剤で基板樹脂と接合したときにエポキ
シ樹脂を含む接着剤と銅合金箔との180゜ピール強度
が8.0N/cm以上であることを特徴とする、積層板
用銅合金箔。を提供するものである。 【0012】本発明は、 Ag、Al、Be、Mg、M
n、Pb、Sn、TiおよびZnいずれも主として銅合
金の強度を高める効果を有しており、必要に応じて1種
以上の添加をすることができる。 その含有量が、総量
で0.005質量%未満であると上記の作用に所望の効
果が得られず、総量で2.5質量%を越える場合には導
電性、ハンダ付け性、加工性を著しく劣化させるので、
Ag、Al、Be、Mg、Mn、Pb、Sn、Tiおよ
びZnの含有量の範囲は総量で0.005〜2.5質量
%が可能である。 【0013】 【発明実施の形態】本発明において表面状態および合金
組成等を上記に限定した理由を述べる。 (1)防錆被膜:純銅および銅合金の変色防止は、ベン
ゾトリアゾールやイミダゾールなどの窒素を含有する有
機物を用いて、表面に銅とのキレートを形成して防錆被
膜とすることが広く行われている。 一方でこれらの防
錆被膜は撥水性を有し、エポキシ樹脂の結合を阻害して
接着性を悪くする作用がある。 このため、防錆被膜の
厚みを表面から3nm以下と制限することで、エポキシ
樹脂を含む接着剤を用いて銅合金箔とポリイミドフィル
ムとを強固に接着することができるようになる。 防錆
皮膜の厚さを低減するためには、例えば防錆剤の濃度を
低減する方法があり、防錆剤にベンゾトリアゾールを用
いた場合には、その濃度を3000ppm以下とするこ
とが好ましい。 防錆皮膜の表面からの厚さはオージェ
電子分光分析により測定することにより定量化できる。
すなわち、オージェ電子分光分析により、深さ方向に
分析を行い、防錆剤を構成する元素である窒素の検出強
度がバックグラウンドと同一になるまでの表面からの深
さをSiO換算で測定することにより求められる。 【0014】(2)Fe、Ni、Co、P:Fe、N
i、Coは樹脂を製造する際に、重合を促進する触媒と
しての作用が働くことが知られている。 このため、F
e、Ni、Coの内1種以上を銅に添加して合金箔とす
ることにより、金属と接着剤の主成分であるエポキシ樹
脂との結合を促進して、界面の結合が強化されたと考え
られる。 これらFe、Ni、Coの添加量が少なすぎ
ると触媒として十分な作用をしないため、金属と樹脂の
結合が十分に行われず、接着性の改善効果が小さい。
プリント配線板として実用上で支障のない180゜ピー
ル強度である8.0N/cm以上を付与することが必要
である。 また、Fe、Ni、Coは銅合金中で単体の
元素として銅中に固溶することで金属と接着剤であるエ
ポキシ樹脂との接着改善する作用を発現し、化合物を形
成するとその作用が小さくなることが判明した。 銅中
に固溶するFe、Ni、Coの量が多くなると、導電率
を低下して回路用の導電材料として適さなくなる。一
方、PはFe、Ni、CoとそれぞれFeP、Ni
P、CoPの化合物を生成して、微細な粒子として析
出する。 これらの微細析出物が転位や粒界の移動を抑
制して、強度を高めたりするが、その生成量が少ないと
改善効果が小さい。 従って、強度を高める作用と金属
とエポキシ樹脂を含む接着剤との接着性を改善する作用
を同時に発現するためには、銅合金箔中にFe、Ni、
CoがPと化合物を生成すると共に、Fe、Ni、Co
が単体の元素として固溶することが必要である。 F
e、Ni、Coに対するPの添加割合が多くなると化合
物が増加するが、固溶するFe、Ni、Coが減少して
金属とエポキシ樹脂を含む接着剤との接着性を改善する
作用が減じる。 また、析出物が多くなると銅合金の塑
性加工性を損なわれる問題が生じる。 これらの特性か
ら適切な組成を検討した結果、プリント配線板の積層板
用銅合金箔として、合金成分の適正な含有量の範囲は、
重量比でFeが0.01〜0.5質量%、より好ましく
は0.02〜0.3質量%、Niが0.02〜1.0質
量%、より好ましくは0.04〜0.5質量%、Coが
0.02〜1.0質量%、より好ましくは0.04〜
0.5質量%から1種以上を選び、かつFe、Niおよ
びCoの合計量が1.0質量%を超えないこと、PはF
e、Ni、Coの合計重量に対して0.05〜0.2倍
の重量、より好ましくは0.07〜0.15倍の重量で
あると定めた。 【0015】(3)表面粗さ: 銅箔の表面粗さが大き
くなると、電気信号の周波数が1GHz以上で電流が導
体の表面にだけ流れる表皮効果により、インピーダンス
が増大して高周波信号の伝送に影響する。 したがっ
て、高周波回路用途の導電材の用途では表面粗さが小さ
くなることが必要であり、表面粗さと高周波特性の関連
を検討した結果、プリント配線板の積層板用銅合金箔と
して、表面粗さが十点平均表面粗さ(Rz)で2μm以
下とすればよいことがわかった。 表面粗さを小さくす
る方法は、圧延銅箔、電解銅箔の製造条件を適正化する
こと、銅箔の表面を化学研磨あるいは電解研磨するとい
った手法がある。 一般には、圧延銅箔は容易に表面粗
さを小さくすることが可能であり、圧延機のワークロー
ルの表面粗さを小さくして、銅箔に転写されるワークロ
ールのプロファイルを小さくすることができる。 【0016】(4)引張強さと導電性:一般に強度と導
電性は相反する関係にあり、高強度の材料ほど導電性が
低下する傾向がある。引張強さが500N/mmより
小さい場合、ハンドリング等の取り扱いでしわを発生し
やすく、また導電率が60%IACS以下では、積層板
用の導電材料として好ましくない。高強度でハンドリン
グ性に優れた積層板用の銅合金箔に適する条件として引
張強さが500N/mm 以上、導電率が60%IAC
S以上と定めた。 (5)180゜ピール強度:180゜ピール強度が小さ
い場合、積層板から剥離が生じる恐れがあるので、8.
0N/cm以上の接着強度が必要である。 【0017】本発明の銅合金箔は製造方法に限定される
ものではなく、例えば合金めっき法による電解銅箔ある
いは合金を溶解鋳造して圧延する圧延銅箔のような方法
で製造できる。 以下に例として圧延による方法を述べ
る。 溶融した純銅に所定量の合金元素を添加して、鋳
型内に鋳造してインゴットとする。 銅合金の溶解鋳造
は酸化物等の生成を抑制するため、真空中あるいは不活
性ガス雰囲気中で行うことが望ましい。 また原料は酸
素含有量の少ない電気銅あるいは無酸素銅を用いること
が望ましい。 インゴットは、熱間圧延である程度の厚
さまで薄くした後、皮削りを行い、その後冷間圧延と焼
鈍を繰返し行い、最後に冷間圧延を行って箔に仕上げ
る。 圧延上がりの材料は圧延油が付着しているので、
アセトンや石油系溶剤等で脱脂処理をする。 【0018】焼鈍で酸化層が生じると後工程で支障が生
じるので、焼鈍は真空中あるいは不活性ガス雰囲気中で
行うか、焼鈍後に酸化層を除去することが必要である。
例えば、酸洗で酸化層を除去するには硫酸+過酸化水
素、硝酸+過酸化水素、または硫酸+過酸化水素+弗化
物を用いることが好ましい。 【0019】 【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。銅合金の
作製は、主原料として無酸素銅を、高周波真空誘導溶解
炉を用いてAr雰囲気中にて高純度黒鉛製るつぼ内で溶
解したところへ、副原料として銅鉄母合金、ニッケル、
コバルト、銅リン母合金、銀、アルミニウム、銅ベリリ
ウム母合金、マグネシウム、マンガン、鉛、スズ、チタ
ンおよび亜鉛から選ばれた添加元素を添加した後、鋳鉄
製の鋳型内に鋳造した。この方法で厚さ30mm、幅5
0mm、長さ150mm、重さ約2kgの銅合金のイン
ゴットを得た。このインゴットを900℃に加熱して、
熱間圧延により厚さ8mmまで圧延して酸化スケールを
除去した後、冷間圧延と熱処理とを繰り返して厚さ35
μmの圧延上がりの銅合金箔を得た。 【0020】上記の方法で得られた厚さ35μmの銅合
金箔は圧延油が付着しているのでアセトン中に浸漬して
油分を除去した。 これを硫酸10重量%および過酸化
水素1重量%を含む水溶液に浸漬して表面の酸化層およ
び防錆皮膜を除去した。 防錆皮膜の厚みの影響を調査
する目的で、ベンゾトリアゾールの濃度を調整した水溶
液に浸漬して、直ちに乾燥した。 これ以外に粗化処理
やシランカップリング処理等の接着性を改善する特別な
表面処理を実施していない。 このようにして作製した
銅合金箔を、エポキシ樹脂を含む接着剤でポリイミドフ
ィルムと接着して銅張積層板を作製した。 銅張積層板
の作製は、エポキシ樹脂と硬化剤を混合した溶剤型の接
着剤を厚さ25μmのポリイミドフィルム上に、ギャッ
プ量100μmのアプリケータで塗布し、これを乾燥機
内で温度130℃で4分間乾燥した後、前述の銅合金箔
を重ねて、平面加熱プレス機を用いて温度170℃、圧
力30kgf/cmの条件で30分間保持して銅張積
層板を得た。 ここで乾燥後の接着剤の厚みは20μm
であった。 【0021】このようにして得られた銅合金箔の「表面
粗さ」、「防錆皮膜の厚み」、「導電率」、「高周波特
性」、「引張強さ」および「接着強度」を以下の方法で
評価した。 (1)表面粗さ:表面粗さは触針式表面粗さ計を用いて
圧延方向に対して直角方向に測定した。測定条件はJI
S B 0601に記載された方法に準拠して、十点平
均表面粗さ(Rz)で評価した。 (2)防錆皮膜の厚み:前述したように、オージェ電子
分光分析の深さ方向分析をおこない、防錆剤を構成する
元素である窒素の検出強度がバックグラウンドと同一に
なるまでの表面からの深さをそれぞれSiO換算で測
定した。 (3)導電率:導電率は20℃における電気抵抗を、ダ
ブルブリッジを用いた直流四端子法で求めた。測定試料
は厚さ35μmの箔に加工した銅箔を幅12.7mmに
切断した。 これを測定間長さ50mmの電気抵抗を測
定して導電率を求めた。 (4)高周波特性:高周波特性は高周波電流を通電した
ときのインピーダンスで評価した。インピーダンスは厚
さ35μmの箔に加工した銅箔を幅1mmに加工し、1
0MHz、20mAの高周波電流を通電したときの電圧
降下を長さ100mmについて測定して求めた。 (5)引張強さ:引張強さは引張試験で室温における引
張強さを測定した。測定試料は厚さ35μmに加工した
銅箔をプレシジョンカッターで幅12.7mm、長さ1
50mmの短冊状に切断した。 これを評点間距離50
mmで、引張速度50mm/分で測定した。 (6)接着強度:接着強度は180゜ピール強度をJI
S C 5016に記載された方法に準拠して実施し
た。 測定は引き剥がし導体幅を5.0mmとし、ポリ
イミドフィルム側を引張試験機側に固定して、導体であ
る銅合金箔を180゜方向に曲げて、引張速度50mm
/分で引き剥がした。 【0022】表1に銅合金箔の組成および表2に銅合金
箔の特性評価結果を示す。 なお、表中に「−」で示
した部分は測定を実施していないことを示す。 実施
例のNo.1〜No.9は本発明の銅合金箔の実施例で
ある。 表1に示すように、本発明の銅合金箔は導電率
が60%IACS以上であり、引張強さが500N/m
以上であり、ポリイミドを接着したときの180゜
ピール強度が8.0N/cm以上であった。 優れた導
電性とハンドリング性を有し、かつ高い接着強度を有し
ていることがわかる。 【0023】 【表1】 【0024】 【表2】【0025】一方、表1に示す比較例のNo.10は本
発明の合金成分を加えていない圧延銅箔である。 無酸
素銅をAr雰囲気中にて溶解鋳造したインゴットを箔に
加工して、実施例と同じ接着剤を用いてポリイミドフィ
ルムと同条件で接着した。素材が純銅であるので導電性
が大きいが、180゜ピール強度が7.5N/cmと小
さく、充分な接着強度が得られていないので、プリント
配線板としたときに剥離が生じる恐れがある。 【0026】比較例のNo.11およびNo.12は、
FeおよびPを添加して実施例と同様の方法で箔に加工
した。 No.11はFeの濃度に対してP濃度が少な
いために、FePの析出量が少なくなり、引張強さが
小さい。 一方、No.12はFe濃度に対してP濃度
が高いために、FePの析出量が多くなり、銅中に固
溶するFeの割合が小さくなった。 このため、引張強
さが630N/mmと大きいが、180゜ピール強度
が小さく、積層板に加工したときの剥離する恐れがあ
る。 【0027】No.13はFeの濃度が0.01質量%
未満であったために導電率は高いが、引張強さおよび接
着性を改善する効果が十分でない。 No.14はFe
の濃度が重量比で0.5質量%を超えて添加したため
に、導電率が低くなり、プリント配線板の導電材として
は適さない。 比較例のNo.15はFe、Ni、Co
およびPを添加して実施例と同様の方法で箔に加工し
た。 Fe、Ni、Coの濃度の合計が重量比で1.0
質量%を超えて添加したために、導電率が低くなり、プ
リント配線板の導電材としては適さない。 【0028】比較例のNo.16はFeおよびPに加え
て、Tiを添加したが、の濃度が重量比で2.5質量%
を超えて添加したために、導電率が小さく、プリント配
線板の導電材としては適さない。 【0029】比較例のNo.17は、実施例のNo.3
の合金箔を用いてその表面をエメリー紙で軽く削り取っ
て表面を粗す処理を行った。その結果、表面粗さが大き
くなると高周波で通電した場合に表皮効果によってイン
ピーダンスが増加するため、高周波回路の導電材用途と
しては適さない。 【0030】比較例のNo.18は、実施例のNo.3
の合金箔を用いて、防錆剤としてベンゾトリアゾールの
濃度を0.5%(5000ppm)に調整した水溶液中
に浸漬する処理を行った。防錆剤の高濃度であったため
に防錆皮膜の厚さが5nmと厚くなり、180゜ピール
強度が4.5N/cmと小さい。 【0031】 【発明の効果】本発明の銅合金箔はエポキシ樹脂を含む
接着剤を用いてポリイミド樹脂フィルムと接着してプリ
ント配線板積層板用に用いると、表面粗さが小さくとも
樹脂と優れた接着性を有し、かつ高い導電性と強度を有
する。これによって、微細配線を必要とする電子回路の
導電材としての用途に好適である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [0001] BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminate for printed wiring boards.
The present invention relates to a copper alloy foil used for a plate. [0002] 2. Description of the Related Art Printed wiring boards are used in electronic circuits of electronic equipment.
Is often used. Printed wiring board is the base resin
Depending on the type of hard laminated board (rigid board), flexible
And flexible laminates (flexible substrates). Flexi
The flexible substrate is characterized by having flexibility,
In addition to being used for wires,
Space saving wiring material.
It is also used. Also, is the substrate itself thin?
For semiconductor package interposer applications or
Also used as an IC tape carrier for liquid crystal displays
Have been. Flexible substrate is polyimide resin
Film or polyester resin film is used
However, at present, polyimide is often used because of its heat resistance.
ing. The conductive material of the flexible substrate is
Generally, copper is used. Printed wiring board is copper-clad
Various wiring patterns are formed by etching the copper foil of the layer board
Then, the electronic components are connected by soldering and mounted. [0003] A flexible substrate has a two-layer flexible structure due to its structure.
There are a kibble substrate and a three-layer flexible substrate. Double layer
Flexible substrate becomes conductive material with resin such as polyimide
It has a structure in which copper is directly bonded. Meanwhile, three layers
Flexible substrate is made of resin film such as polyimide.
Use copper foil as conductive material with epoxy resin or acrylic resin.
It is a structure bonded with an adhesive containing throat
However, it is widely used due to its good adhesiveness and low cost.
Has been. Because of this difference in structure,
The resin that is bonded to copper on
In contrast to polyimide, a three-layer flexible substrate
Is a resin contained in the adhesive. Adhesive used for three-layer flexible substrate
Needs properties such as heat resistance, durability, and flexibility
To adjust the strength and glass transition temperature by mixing various resins.
But generally based on epoxy resin
Is used. The adhesive for this application is epoxy resin
(For example, bisphenol A type glycidyl ether and
Curing amine etc. to (sidyl ester type epoxy resin)
Agents, nitrile rubbers and elastomers that provide flexibility.
Solvent-like or sheet-like materials are used. Copper clad
The method of manufacturing a laminated board is generally on a polyimide film.
Lay the copper foil where the solvent adhesive is applied and dried
Or sheet adhesive between polyimide film and copper foil
Between the rolls, roll press or flat
After temporary bonding with a hot press machine, it is several hundred minutes at 100-200 ° C
And heat-cured for several hours to adhere. [0005] Printed wiring boards connect electronic components with solder
When mounting, the thermal expansion coefficient of copper foil and resin
Thermal stress is applied due to the difference, so the adhesiveness between the copper foil and the resin
If it is bad, a problem of peeling occurs. For this reason, copper-clad laminates
The copper foil used is copper foil to improve the adhesion to the resin.
Roughening treatment to form copper particles on the surface by electroplating.
are doing. This is because irregularities are formed on the surface of the copper foil,
The copper foil is cut into the fat to obtain mechanical bonding strength.
The loose anchor effect improves the adhesion. one
However, with the recent trend toward smaller, lighter, and more sophisticated electronic devices,
The demand for high-density packaging for printed wiring boards is
And fine wiring with reduced wiring width and spacing between electronic circuits
Pitching is progressing. Copper with large surface roughness for conductive material
When using copper foil or copper foil with irregularities formed by roughening treatment,
Etching to leave copper in the resin when forming the circuit by etching
The circuit width may be poor due to residue or reduced etching linearity.
Easy to be uniform. For this reason, electronic circuits must be
In order to make the copper foil
Good. In addition, electronic devices such as personal computers and mobile communications
The frequency of the electrical signal is increasing, but the frequency of the electrical signal is
At 1 GHz or higher, current flows only on the surface of the conductor
The effect of the skin effect becomes remarkable, and the transmission path is
The changing effects cannot be ignored. For this reason, high frequency
Attempts have been made to reduce the surface roughness of copper foils due to their properties.
You. [0006] The copper foil used as the conductive material of the printed wiring board is
It is classified into electrolytic copper foil and rolled copper foil according to the difference in manufacturing method.
You. Electrodeposited copper foil is generally removed from a sulfuric acid acidic copper sulfate plating bath.
Manufactured by electrolytic deposition of copper on a tin or stainless steel drum.
It is. Irregularities are formed on copper foil during electrolytic deposition and surface roughness
Becomes larger. Recently, additives have been added to the plating bath,
Copper foil with reduced surface roughness by adjusting electrolytic deposition conditions
Low-profile foils are being manufactured
Was. Rolled copper foil is produced by plastic working with rolling rolls.
The surface morphology of the rolling roll was transferred to the foil surface
A smooth surface is obtained. In addition, foil is generally 100μ
m means a thin plate having a thickness of not more than m. As described above, currently used for copper-clad laminates
Copper foil is roughened to improve the adhesion to the resin.
Treatment, but roughing treatment should not be performed for the above reasons.
A copper foil with a small surface roughness to a resin film
It is desirable to secure the adhesive strength without roughening
It is necessary to Also, with a three-layer flexible board
Has improved the bonding strength between copper foil, a metal, and adhesive, an organic substance.
Apply silane coupling agent etc. to copper foil to improve
Attempted, but not enough adhesion
No. [0008] Copper foil materials used as conductive materials include:
Pure copper or a copper alloy containing a small amount of additional elements is used. Electric
Copper foil, which is a conductor, has become thinner due to the finer pitch of the slave circuits.
And the circuit width is narrow, the copper foil
Low DC resistance loss and high conductivity
Is required. Copper is a material with excellent conductivity,
99.9% or more purity in the above fields where conductivity is important
Is generally used. But copper
When the purity is increased, the strength is reduced.
Since the handleability is poor, the copper foil
Is preferred. Under these circumstances, copper foil as a conductive material
Epoxy film without roughening
Attempt to bond using adhesive containing resin
Was. However, rolled copper foil of polyimide film and pure copper
Is easily peeled off, and the interface between the adhesive containing epoxy resin and copper
Was found to be easily peeled. Therefore, the conductive material
The use of copper foil without roughening treatment
The epoxy resin, which is a component, tends to peel off from the copper foil.
There is a problem such as disconnection from the result of
Not reached. [0010] SUMMARY OF THE INVENTION Polyimide resin for base material
The film and the copper foil of the conductive material are
When manufacturing three-layer printed wiring boards bonded with adhesive
To improve the adhesion of the
Without the copper foil having a surface roughness (Rz) of 2 μm or less,
Adhesive strength of 8.0 N / cm or more at 0 ° peel strength
To provide a copper alloy foil for a laminated board to be manufactured. [0011] DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have proposed a polyimidizer.
Resin resin film and copper foil of conductive material contain epoxy resin
Consider the adhesiveness when bonding with adhesive
As a result, the adhesion is low based on pure copper, which has excellent conductivity.
Improvement by adding copper alloys
It was found that when the rust-preventive coating on the foil became thicker, it decreased.
Specifically, adhesion with adhesives containing epoxy resin
Of various additional elements on the corrosion, thickness and adhesion of anti-corrosion coating
As a result of repeated studies on the relationship of gender, the present invention provides (1)
The content of the additive element is 0.01% by mass or more by weight.
0.5% by mass, 0.02% by mass to 1.0% by mass of Ni,
Co is 0.02% by mass to 1.0% by mass.
In addition to containing not more than 1.0% by mass in total,
e, 0.05 to 0.2 based on the total amount of Ni and Co
Twice the weight of P, the remainder being made up of copper and unavoidable impurities.
The thickness of the anti-corrosion film should be 3 nm or less from the surface.
The surface roughness was set to 10 μm average surface roughness (Rz) of 2 μm or less.
Bottom, tensile strength is 500N / mm2Above, the conductivity is 60%
It has characteristics higher than IACS, and does not require roughening treatment.
Epoxy when bonded to substrate resin with adhesive containing resin
180 ° peel strength between adhesive containing copper resin and copper alloy foil
Having a value of 8.0 N / cm or more.
For copper alloy foil. Is provided. The present invention relates to Ag, Al, Be, Mg, M
n, Pb, Sn, Ti and Zn are all mainly copper alloys.
Has the effect of increasing the strength of gold, one type as needed
The above additions can be made. Its content is the total amount
If the content is less than 0.005% by mass, the desired effect on the above-mentioned effect is obtained.
If no fruit is obtained and the total amount exceeds 2.5% by mass,
As it significantly deteriorates electrical properties, solderability and workability,
Ag, Al, Be, Mg, Mn, Pb, Sn, Ti and
The range of the content of Zn and Zn is 0.005 to 2.5 mass in total.
% Is possible. [0013] BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION In the present invention, surface condition and alloy
The reasons for limiting the composition and the like to the above will be described. (1) Anti-corrosion coating: To prevent discoloration of pure copper and copper alloys, use Ben
Yes containing nitrogen such as zotriazole and imidazole
Using a machine, a chelate with copper is formed on the surface to prevent rust
It is widely used as a film. On the other hand,
The rust coating has water repellency and inhibits the binding of epoxy resin.
Has the effect of deteriorating adhesion. For this reason, the rust prevention coating
By limiting the thickness to 3 nm or less from the surface, epoxy
Copper alloy foil and polyimide fill using resin-containing adhesive
Can be firmly bonded to the system. Rust prevention
In order to reduce the thickness of the coating, for example,
Use benzotriazole as a rust inhibitor
If so, the concentration should be 3000 ppm or less.
Is preferred. The thickness from the surface of the rust prevention film is Auger
It can be quantified by measuring by electron spectroscopy.
  In other words, by Auger electron spectroscopy,
Analyzes and detects nitrogen, an element that constitutes the rust inhibitor,
Depth from surface until degree is equal to background
The SiO2It is determined by measuring in conversion. (2) Fe, Ni, Co, P: Fe, N
i, Co is used as a catalyst for promoting polymerization when producing a resin.
It is known that the action works. Therefore, F
e, Ni or Co is added to copper to form an alloy foil.
The epoxy resin, which is the main component of metal and adhesive,
It is thought that the bonding with the fat was promoted, and the bonding at the interface was strengthened.
Can be Fe, Ni, Co added too little
Does not function sufficiently as a catalyst,
The bonding is not sufficiently performed, and the effect of improving the adhesiveness is small.
180 ゜ Pea that does not hinder practical use as a printed wiring board
It is necessary to provide a strength of at least 8.0 N / cm
It is. Also, Fe, Ni, and Co are simple substances in a copper alloy.
As a solid solution in copper as an element,
Expresses the effect of improving the adhesion to the epoxy resin and forms the compound.
It has been found that the effect is reduced when formed. In copper
When the amount of Fe, Ni, and Co dissolved in iron increases, the conductivity increases.
And becomes unsuitable as a conductive material for circuits. one
On the other hand, P is Fe, Ni, Co and Fe2P, Ni3
P, Co2Generates P compound and precipitates as fine particles
Put out. These fine precipitates suppress dislocations and grain boundary migration.
Control and increase the strength, but if the amount of generation is small,
Small improvement effect. Therefore, the effect of increasing strength and metal
To improve adhesiveness between epoxy and adhesive containing epoxy resin
To express Fe, Ni,
Co forms a compound with P, while Fe, Ni, Co
Must be dissolved as a single element. F
When the proportion of P added to e, Ni, and Co increases,
Although the amount of materials increases, the amount of Fe, Ni, and Co
Improves adhesion between metal and adhesives containing epoxy resin
The effect is reduced. Also, when the amount of precipitates increases, the plasticity of the copper alloy increases.
There is a problem that the workability is impaired. These properties
After examining the appropriate composition, the printed circuit board laminate
For copper alloy foils for steel, the range of appropriate content of alloy components is
Fe is preferably 0.01 to 0.5% by mass in terms of weight ratio.
Is 0.02-0.3% by mass, Ni is 0.02-1.0 quality
%, More preferably 0.04 to 0.5% by mass,
0.02 to 1.0% by mass, more preferably 0.04 to
0.5% by mass, at least one of Fe, Ni and
And the total amount of Co does not exceed 1.0% by mass, P is F
0.05 to 0.2 times the total weight of e, Ni and Co
Weight, more preferably 0.07 to 0.15 times the weight
It is determined that there is. (3) Surface roughness: The surface roughness of the copper foil is large
When the frequency of the electrical signal becomes 1 GHz or more,
Impedance due to the skin effect flowing only on the body surface
Increases and affects transmission of high-frequency signals. Accordingly
Therefore, the surface roughness is small in conductive material applications for high frequency circuits.
The relationship between surface roughness and high-frequency characteristics
As a result of examining the
And the surface roughness is 2 μm or less in ten-point average surface roughness (Rz).
I knew it was better to go down. Reduce surface roughness
Method to optimize the production conditions for rolled copper foil and electrolytic copper foil
That the surface of the copper foil is chemically or electrolytically polished.
There is a technique that has been adopted. In general, rolled copper foil is easily roughened
The rolling mill work flow
Work surface transferred to copper foil with reduced surface roughness
Rule profile can be reduced. (4) Tensile strength and conductivity: Generally, strength and conductivity
Electrical conductivity is in a conflicting relationship, and the higher the strength of a material, the more conductive it is.
Tends to decrease. Tensile strength is 500N / mm2Than
If small, wrinkles may occur during handling
When the conductivity is less than 60% IACS, the laminate
Is not preferable as a conductive material. High strength and handling
Conditions suitable for copper alloy foil for laminates with excellent
Tensile strength is 500N / mm 2As described above, the conductivity is 60% IAC
S and above. (5) 180 ° peel strength: 180 ° peel strength is small
If not, peeling may occur from the laminate.
An adhesive strength of 0 N / cm or more is required. The copper alloy foil of the present invention is limited to a manufacturing method.
There is not, for example, electrolytic copper foil by alloy plating method
Or rolled copper foil by melting and casting an alloy
It can be manufactured by The method by rolling is described below as an example.
You. A predetermined amount of alloying element is added to molten pure copper,
Cast into a mold to form an ingot. Melting casting of copper alloy
Is in a vacuum or inactive to suppress the formation of oxides, etc.
It is desirable to carry out in an inert gas atmosphere. The raw material is acid
Use electrolytic copper or oxygen-free copper with low oxygen content
Is desirable. The ingot has a certain thickness by hot rolling.
After thinning, skinning is performed, then cold rolling and firing
Repeated dulling and finally cold rolled to finish into foil
You. Since the rolling oil is attached to the material after rolling,
Degreasing with acetone or petroleum solvent. [0018] If an oxide layer is formed by annealing, trouble will occur in a subsequent process.
Annealing in a vacuum or inert gas atmosphere
It is necessary to perform or remove the oxide layer after annealing.
  For example, to remove the oxide layer by pickling, sulfuric acid + peroxide
Sulfuric acid, nitric acid + hydrogen peroxide, or sulfuric acid + hydrogen peroxide + fluoride
It is preferable to use a substance. [0019] Embodiments of the present invention will be described below. Copper alloy
Production is oxygen-free copper as the main raw material, high-frequency vacuum induction melting
Melting in a high-purity graphite crucible in an Ar atmosphere using a furnace
To the solution, copper-iron mother alloy, nickel,
Cobalt, copper phosphor alloy, silver, aluminum, copper beryli
Alloy, magnesium, manganese, lead, tin, titanium
After adding additional elements selected from iron and zinc,
It was cast in a mold. By this method, thickness 30mm, width 5
0mm, length 150mm, weight of about 2kg copper alloy
Got got. Heat this ingot to 900 ° C,
The oxide scale is rolled to a thickness of 8 mm by hot rolling.
After removal, cold rolling and heat treatment are repeated to obtain a thickness of 35 mm.
A μm-rolled copper alloy foil was obtained. The copper alloy having a thickness of 35 μm obtained by the above method
Gold foil has rolling oil, so immerse it in acetone
The oil was removed. This is sulfuric acid 10% by weight and peroxide
Immersion in an aqueous solution containing 1% by weight of hydrogen,
And the rust preventive film was removed. Investigate the effect of anti-rust coating thickness
To adjust the concentration of benzotriazole
Immersed in the solution and immediately dried. Other roughening treatment
And silane coupling treatment to improve the adhesion
No surface treatment has been performed. Made in this way
The copper alloy foil is polyimide-foiled with an adhesive containing epoxy resin.
A copper-clad laminate was produced by bonding with a film. Copper clad laminate
Is made by solvent-based contacting of epoxy resin and hardener.
Glue the adhesive on a 25 μm thick polyimide film.
Apply with a 100 μm applicator and dry it.
After drying at 130 ° C for 4 minutes in the above, the above copper alloy foil
And using a flat heating press at a temperature of 170 ° C and pressure
Force 30kgf / cm2Hold for 30 minutes under the condition
A layer plate was obtained. Here, the thickness of the adhesive after drying is 20 μm.
Met. The "surface" of the copper alloy foil thus obtained is
Roughness, rust-proof coating thickness, conductivity, high-frequency characteristics
Property, "tensile strength" and "adhesive strength" by the following methods
evaluated. (1) Surface roughness: Surface roughness is measured using a stylus-type surface roughness meter.
It was measured in a direction perpendicular to the rolling direction. Measurement conditions are JI
According to the method described in SB0601, a ten-point flat
It was evaluated by the average surface roughness (Rz). (2) Thickness of rust preventive film: As described above, Auger electron
Performs depth analysis of spectroscopic analysis to compose rust preventive
Detection intensity of elemental nitrogen is the same as background
The depth from the surface until2Measured by conversion
Specified. (3) Conductivity: Conductivity is the electric resistance at 20 ° C.
It was determined by a DC four-terminal method using a bull bridge. Measurement sample
Is a copper foil processed into a 35μm thick foil with a width of 12.7mm.
Cut. Measure the electrical resistance with a length of 50 mm between measurements.
The conductivity was determined. (4) High-frequency characteristics: High-frequency characteristics include high-frequency current
The impedance was evaluated at the time. Impedance is thick
A copper foil processed into a 35 μm foil is processed into a 1 mm
Voltage when a high-frequency current of 0 MHz and 20 mA is applied
The descent was measured and measured for a length of 100 mm. (5) Tensile strength: The tensile strength was measured at room temperature in a tensile test.
Tensile strength was measured. The measurement sample was processed to a thickness of 35 μm.
Copper foil is 12.7 mm wide and 1 long with a precision cutter
It was cut into 50 mm strips. This is the distance between scores 50
mm and at a pulling speed of 50 mm / min. (6) Adhesive strength: 180 ° peel strength is determined by JI
Performed according to the method described in SC 5016.
Was. The measurement was performed with the stripped conductor width set to 5.0 mm and the
Fix the imide film side to the tensile tester side and
The copper alloy foil is bent in the 180 ° direction, and the tensile speed is 50 mm.
/ Min. Table 1 shows the composition of the copper alloy foil and Table 2 shows the copper alloy
The results of evaluating the properties of the foil are shown. In the table, “-” is indicated.
The marked portion indicates that the measurement was not performed. Implementation
No. of the example. 1 to No. 9 is an embodiment of the copper alloy foil of the present invention.
is there. As shown in Table 1, the copper alloy foil of the present invention has a conductivity
Is 60% IACS or more, and the tensile strength is 500 N / m
m2This is 180 ° when polyimide is bonded.
The peel strength was 8.0 N / cm or more. Excellent guidance
It has electrical properties and handling properties, and has high adhesive strength
You can see that it is. [0023] [Table 1] [0024] [Table 2]On the other hand, in Comparative Example No. 1 shown in Table 1, 10 is a book
It is a rolled copper foil to which the alloy component of the invention has not been added. Acid free
Ingot made by melting and casting elemental copper in Ar atmosphere
After processing, use the same adhesive
Adhered under the same conditions as LUM. Conductive because the material is pure copper
Is large, but the 180 ° peel strength is as small as 7.5 N / cm.
First, since sufficient adhesive strength is not obtained, print
Peeling may occur when used as a wiring board. No. of Comparative Example 11 and No. 12 is
Processed into foil by adding Fe and P in the same manner as in Example
did. No. 11 has a lower P concentration than the Fe concentration.
In order to2The precipitation amount of P decreases and the tensile strength decreases
small. On the other hand, No. 12 is P concentration with respect to Fe concentration
Is high, so Fe2The precipitation amount of P increases and solidifies in copper.
The proportion of dissolved Fe was reduced. For this reason, tensile strength
630 N / mm2180 ° peel strength
Is small and may peel when processed into a laminate.
You. No. 13: Fe concentration of 0.01% by mass
The electrical conductivity is high due to the
The effect of improving the adhesion is not sufficient. No. 14 is Fe
Was added in excess of 0.5% by mass in weight ratio
In addition, the conductivity is low, and as a conductive material for printed wiring boards
Is not suitable. No. of the comparative example. 15 is Fe, Ni, Co
And P were added and processed into a foil in the same manner as in the example.
Was. The sum of the concentrations of Fe, Ni, and Co is 1.0 by weight.
By adding more than 10% by mass, the conductivity becomes lower and the
It is not suitable as a conductive material for lint wiring boards. No. of Comparative Example 16 in addition to Fe and P
Was added, but the concentration was 2.5% by mass in weight ratio.
Content, the conductivity is low and
It is not suitable as a conductive material for a wire plate. No. of Comparative Example 17 is No. 17 of the embodiment. 3
Gently scraping the surface with emery paper using an aluminum alloy foil
The surface was roughened. As a result, the surface roughness is large
When power is applied at high frequencies, the skin effect
Since the impedance increases, it can be used for conductive materials in high-frequency circuits.
Is not suitable. No. of Comparative Example No. 18 is No. of the embodiment. 3
Using benzotriazole as a rust inhibitor using an alloy foil of
In an aqueous solution whose concentration has been adjusted to 0.5% (5000 ppm)
Immersion treatment. High concentration of rust inhibitor
The thickness of the anti-corrosion film is as thick as 5 nm, and 180 ° peel
The strength is as small as 4.5 N / cm. [0031] The copper alloy foil of the present invention contains an epoxy resin.
Adhere to the polyimide resin film using an adhesive
When used for printed wiring board laminates, even if the surface roughness is small
Has excellent adhesion to resin and high conductivity and strength
I do. This enables electronic circuits that require fine wiring
It is suitable for use as a conductive material.

フロントページの続き Fターム(参考) 4E351 AA01 AA16 BB01 BB24 BB30 CC18 DD04 DD19 DD21 DD58 GG01 4F100 AA36A AB02A AB15A AB16A AB17A AB31A AB33A AK01C AK49 AK53B AK53G BA02 BA03 BA07 BA10A BA10C CB00B DD07 GB43 JA20B JB02A JG01 JK02 JK06 JL11 JM02A Continuation of front page    F term (reference) 4E351 AA01 AA16 BB01 BB24 BB30                       CC18 DD04 DD19 DD21 DD58                       GG01                 4F100 AA36A AB02A AB15A AB16A                       AB17A AB31A AB33A AK01C                       AK49 AK53B AK53G BA02                       BA03 BA07 BA10A BA10C                       CB00B DD07 GB43 JA20B                       JB02A JG01 JK02 JK06                       JL11 JM02A

Claims (1)

【特許請求の範囲】 【請求項1】 添加元素の成分を重量割合にてFeが
0.01質量%〜0.5質量%、Niが0.02質量%
〜1.0質量%、Coが0.02質量%〜1.0質量%
のうち1種以上を合計して1.0質量%を超えない範囲
で含むと共に、Fe、NiおよびCoの合計量に対して
0.05〜0.2倍の重量のPを含み、残部を銅及び不
可避不純物からなり、防錆皮膜の厚さが表面から3nm
以下とすることにより、表面粗さを十点平均表面粗さ
(Rz)で2μm以下、引張強さが500N/mm
上、導電率が60%IACS以上の特性を有し、粗化処
理が不要で、エポキシ樹脂を含む接着剤で基板樹脂と接
合したときにエポキシ樹脂を含む接着剤と銅合金箔との
180゜ピール強度が8.0N/cm以上であることを
特徴とする、積層板用銅合金箔。
Claims: 1. The composition of an additive element includes Fe in an amount of 0.01% by mass to 0.5% by mass and Ni in an amount of 0.02% by mass.
To 1.0% by mass, Co is 0.02% to 1.0% by mass.
And P in a range not exceeding 1.0% by mass in total, and containing 0.05 to 0.2 times the weight of P with respect to the total amount of Fe, Ni and Co. Made of copper and unavoidable impurities, the thickness of the rust preventive film is 3 nm from the surface
When the surface roughness is not more than 10 μm, the ten-point average surface roughness (Rz) is 2 μm or less, the tensile strength is 500 N / mm 2 or more, and the conductivity is 60% IACS or more. Laminate plate characterized in that, when bonded to a substrate resin with an adhesive containing an epoxy resin, a 180 ° peel strength between the adhesive containing the epoxy resin and the copper alloy foil is 8.0 N / cm or more. For copper alloy foil.
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