JP2002346354A - マイクロ混合器 - Google Patents
マイクロ混合器Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F25/00—Flow mixers; Mixers for falling materials, e.g. solid particles
- B01F25/40—Static mixers
- B01F25/42—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions
- B01F25/421—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions by moving the components in a convoluted or labyrinthine path
- B01F25/422—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions by moving the components in a convoluted or labyrinthine path between stacked plates, e.g. grooved or perforated plates
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- B01F25/42—Static mixers in which the mixing is affected by moving the components jointly in changing directions, e.g. in tubes provided with baffles or obstructions
- B01F25/43—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction
- B01F25/432—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction with means for dividing the material flow into separate sub-flows and for repositioning and recombining these sub-flows; Cross-mixing, e.g. conducting the outer layer of the material nearer to the axis of the tube or vice-versa
- B01F25/4323—Mixing tubes, e.g. wherein the material is moved in a radial or partly reversed direction with means for dividing the material flow into separate sub-flows and for repositioning and recombining these sub-flows; Cross-mixing, e.g. conducting the outer layer of the material nearer to the axis of the tube or vice-versa using elements provided with a plurality of channels or using a plurality of tubes which can either be placed between common spaces or collectors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01F—MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
- B01F33/00—Other mixers; Mixing plants; Combinations of mixers
- B01F33/30—Micromixers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ミキシング性能が良好で、その製作が容易な
安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供する。 【解決手段】 上流側の面に２個のインレット１１ａ,
１１ｂを備え、下流側の面に２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂを備えた複数の混合分配ユニット１０を所定
の閉曲線上に周期的に配列した複数枚の流路モジュール
７を積層し、前記各混合分配ユニットを上記各層の流路
モジュール間において順に連結する。特に各流路モジュ
ールの１つの混合分配ユニットにおける２個のアウトレ
ットを、隣接する下流側の流路モジュールにおける２個
の混合分配ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個
別に連結して、多層構造をなすマイクロ混合器を構成す
る。
安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供する。 【解決手段】 上流側の面に２個のインレット１１ａ,
１１ｂを備え、下流側の面に２個のアウトレット１２
ａ,１２ｂを備えた複数の混合分配ユニット１０を所定
の閉曲線上に周期的に配列した複数枚の流路モジュール
７を積層し、前記各混合分配ユニットを上記各層の流路
モジュール間において順に連結する。特に各流路モジュ
ールの１つの混合分配ユニットにおける２個のアウトレ
ットを、隣接する下流側の流路モジュールにおける２個
の混合分配ユニットの各１個のインレットにそれぞれ個
別に連結して、多層構造をなすマイクロ混合器を構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ミキシング性能が
良好で、その製作が容易な簡易な構造のマイクロ混合器
に関する。
良好で、その製作が容易な簡易な構造のマイクロ混合器
に関する。
【０００２】
【関連する背景技術】マイクロ混合器は、例えばマイク
ロマシンニング技術を用いてＳi等の半導体基板を加工
して製作される。具体的にはこの種のマイクロ混合器
は、例えば２種類の液（流体）Ａ,Ｂを混合して２層の
層流（Ａ＋Ｂ）を形成した後、この層流（Ａ＋Ｂ）をそ
の層方向に（Ａ＋Ｂ）／２ずつ２分割し、更にこれらの
２分割された２つの層流（Ａ／２＋Ｂ／２）を混合して
４層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２＋Ａ／２＋Ｂ／２）を形成
した後、この層流をその層方向に更に２分割すると言う
処理を繰り返すことで、上記各液Ａ,Ｂがなす層（大き
さ）を徐々に細分化し、これによって前記各液Ａ,Ｂの
拡散を速めるように構成される。
ロマシンニング技術を用いてＳi等の半導体基板を加工
して製作される。具体的にはこの種のマイクロ混合器
は、例えば２種類の液（流体）Ａ,Ｂを混合して２層の
層流（Ａ＋Ｂ）を形成した後、この層流（Ａ＋Ｂ）をそ
の層方向に（Ａ＋Ｂ）／２ずつ２分割し、更にこれらの
２分割された２つの層流（Ａ／２＋Ｂ／２）を混合して
４層の層流（Ａ／２＋Ｂ／２＋Ａ／２＋Ｂ／２）を形成
した後、この層流をその層方向に更に２分割すると言う
処理を繰り返すことで、上記各液Ａ,Ｂがなす層（大き
さ）を徐々に細分化し、これによって前記各液Ａ,Ｂの
拡散を速めるように構成される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のマ
イクロ混合器にあっては、流体（液）を混合・分配する
為の流路自体が微細であり、クリティカルな製作精度が
要求される。この為、その加工（製造）方法が複雑であ
り、しかも正確なアライメントを必要とするので製造コ
ストが高いと言う問題がある。また流路自体が微細なの
で、その流路構造が複雑な場合、液体粒子による目詰ま
りを起こし易い。特に流体を分配する為の幅の狭いスリ
ット部分において目詰まりが生じ易い。更には流体の流
れが不均衡となって所要とするミキシング性能を得るこ
とが困難となる等の欠点がある。
イクロ混合器にあっては、流体（液）を混合・分配する
為の流路自体が微細であり、クリティカルな製作精度が
要求される。この為、その加工（製造）方法が複雑であ
り、しかも正確なアライメントを必要とするので製造コ
ストが高いと言う問題がある。また流路自体が微細なの
で、その流路構造が複雑な場合、液体粒子による目詰ま
りを起こし易い。特に流体を分配する為の幅の狭いスリ
ット部分において目詰まりが生じ易い。更には流体の流
れが不均衡となって所要とするミキシング性能を得るこ
とが困難となる等の欠点がある。
【０００４】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、その目的は、ミキシング性能が良好で、その
製作が容易な安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供
することにある。
たもので、その目的は、ミキシング性能が良好で、その
製作が容易な安価で簡易な構造のマイクロ混合器を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
べく本発明に係るマイクロ混合器は、複数の混合分配ユ
ニットを、例えば所定の曲率の円周をなすように所定の
閉曲線上に周期的に配列した複数枚の流路モジュールを
積層し、前記各混合分配ユニットを上記各層の流路モジ
ュール間において順に連結したものであって、前記各混
合分配ユニットは、各流路モジュールの上流面に２個の
インレットを設けると共に、その下流面に２個のアウト
レットを設け、これらの２個のインレットと２個のアウ
トレットとをチャネルを介して連結した流路構造を有
し、前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットに
おける２個のアウトレットを、隣接する下流側の流路モ
ジュールにおける２個の混合分配ユニットの各１個のイ
ンレットにそれぞれ個別に連結してなることを特徴とし
ている。
べく本発明に係るマイクロ混合器は、複数の混合分配ユ
ニットを、例えば所定の曲率の円周をなすように所定の
閉曲線上に周期的に配列した複数枚の流路モジュールを
積層し、前記各混合分配ユニットを上記各層の流路モジ
ュール間において順に連結したものであって、前記各混
合分配ユニットは、各流路モジュールの上流面に２個の
インレットを設けると共に、その下流面に２個のアウト
レットを設け、これらの２個のインレットと２個のアウ
トレットとをチャネルを介して連結した流路構造を有
し、前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットに
おける２個のアウトレットを、隣接する下流側の流路モ
ジュールにおける２個の混合分配ユニットの各１個のイ
ンレットにそれぞれ個別に連結してなることを特徴とし
ている。
【０００６】即ち、本発明は、上流面側に２個のインレ
ットを設けると共に、下流面側に２個のアウトレットを
設け、これらのインレットとアウトレットとをチャネル
を介して連結して流路を形成た混合分配ユニットを備え
たもので、特に複数の混合分配ユニットを所定の閉曲線
をなして板状の流路モジュールに周期的に配列し、この
ような構造をなす複数枚の流路モジュールを積み重ねて
多層構造化したマイクロ混合器を構築するものである。
ットを設けると共に、下流面側に２個のアウトレットを
設け、これらのインレットとアウトレットとをチャネル
を介して連結して流路を形成た混合分配ユニットを備え
たもので、特に複数の混合分配ユニットを所定の閉曲線
をなして板状の流路モジュールに周期的に配列し、この
ような構造をなす複数枚の流路モジュールを積み重ねて
多層構造化したマイクロ混合器を構築するものである。
【０００７】この際、前記各流路モジュールにおける混
合分配ユニットの２個のアウトレットを、その下流側の
流路モジュールにおける２個の混合分配ユニットの隣接
する各１個のインレットにそれぞれ個別に連結する。そ
して各混合分配ユニットの２個のインレットからそれぞ
れ導入されて混合した流体を、その２個のアウトレット
からそれぞれ分配して出力し、これらの２個のアウトレ
ットからそれぞれ出力される流体を、下流側の流路モジ
ュールにおける２つの混合分配ユニットにおける各１個
のインレットに個別に導くようにしたことを特徴として
いる。
合分配ユニットの２個のアウトレットを、その下流側の
流路モジュールにおける２個の混合分配ユニットの隣接
する各１個のインレットにそれぞれ個別に連結する。そ
して各混合分配ユニットの２個のインレットからそれぞ
れ導入されて混合した流体を、その２個のアウトレット
からそれぞれ分配して出力し、これらの２個のアウトレ
ットからそれぞれ出力される流体を、下流側の流路モジ
ュールにおける２つの混合分配ユニットにおける各１個
のインレットに個別に導くようにしたことを特徴として
いる。
【０００８】本発明の好ましい態様は、前記各流路モジ
ュールにそれぞれ設けられる複数の混合分配ユニット
は、互いに隣り合う２つの混合分配ユニット間において
隣接する各１個のアウトレットの配列間隔を、前記各混
合分配ユニットにおける２個のインレットの配列間隔と
等しく設定して配列される。更に前記各混合分配ユニッ
トにおける２個のインレットの径、２個のアウトレット
の径、およびチャネルの幅とその深さは、それぞれほぼ
同じ大きさに形成される。尚、アウトレットの径につい
ては、該アウトレットに連結される下流側の流路モジュ
ールにおけるインレットの径によって規定されるように
しても良い。
ュールにそれぞれ設けられる複数の混合分配ユニット
は、互いに隣り合う２つの混合分配ユニット間において
隣接する各１個のアウトレットの配列間隔を、前記各混
合分配ユニットにおける２個のインレットの配列間隔と
等しく設定して配列される。更に前記各混合分配ユニッ
トにおける２個のインレットの径、２個のアウトレット
の径、およびチャネルの幅とその深さは、それぞれほぼ
同じ大きさに形成される。尚、アウトレットの径につい
ては、該アウトレットに連結される下流側の流路モジュ
ールにおけるインレットの径によって規定されるように
しても良い。
【０００９】また本発明の好ましい態様は、最下流の層
をなす流路モジュールに、該流路モジュールにおける複
数の混合分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出
力される流体を１つの流路にまとめる集合部を設けるこ
とが望ましい。特にこの集合部については、前記各アウ
トレットからそれぞれ出力された流体を混合して拡散さ
せるに必要な滞留時間を十分に確保し得る流路長を有す
るものとして実現することが望ましい。また混合液がお
互いに反応する場合には、その反応時間を十分確保する
ように設定することが望ましい。
をなす流路モジュールに、該流路モジュールにおける複
数の混合分配ユニットの各アウトレットからそれぞれ出
力される流体を１つの流路にまとめる集合部を設けるこ
とが望ましい。特にこの集合部については、前記各アウ
トレットからそれぞれ出力された流体を混合して拡散さ
せるに必要な滞留時間を十分に確保し得る流路長を有す
るものとして実現することが望ましい。また混合液がお
互いに反応する場合には、その反応時間を十分確保する
ように設定することが望ましい。
【００１０】また前記混合分配ユニットについては、前
記２個のインレットおよび２個のアウトレットを、その
中央に設けられてチャネルの向きを定める島状の仕切部
を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた構
造を有するものとすることが好ましい。
記２個のインレットおよび２個のアウトレットを、その
中央に設けられてチャネルの向きを定める島状の仕切部
を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた構
造を有するものとすることが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施形態について、２種類の液体Ａ,Ｂを混合して逸早
くそのマイクロ混合液を形成するマイクロ混合器を例に
説明する。図１はこの実施形態に係るマイクロ混合器の
概略構成を示す分解斜視図で、図中１,２は上下一対の
プレート体である。これらのプレート体１,２は、例え
ば厚みが５ｍｍ、一辺の長さが５０ｍｍ程度の平板矩形
状のＡl材からなる。これらの各プレート体１,２の四隅
部には、貫通孔１ａとねじ孔２ａとがそれぞれ設けられ
ており、上部プレート体１の各貫通孔１ａを通して下部
プレート体２のねじ孔２ａに螺合する４本のボルト３に
より、後述する複数枚の流路モジュールと集合部とをそ
の間に挟んで結合一体化されるものとなっている。
実施形態について、２種類の液体Ａ,Ｂを混合して逸早
くそのマイクロ混合液を形成するマイクロ混合器を例に
説明する。図１はこの実施形態に係るマイクロ混合器の
概略構成を示す分解斜視図で、図中１,２は上下一対の
プレート体である。これらのプレート体１,２は、例え
ば厚みが５ｍｍ、一辺の長さが５０ｍｍ程度の平板矩形
状のＡl材からなる。これらの各プレート体１,２の四隅
部には、貫通孔１ａとねじ孔２ａとがそれぞれ設けられ
ており、上部プレート体１の各貫通孔１ａを通して下部
プレート体２のねじ孔２ａに螺合する４本のボルト３に
より、後述する複数枚の流路モジュールと集合部とをそ
の間に挟んで結合一体化されるものとなっている。
【００１２】しかして上部プレート体１の中央部には、
その中心位置から対角線方向に向けて３つの貫通孔（図
示せず）が設けられており、これらの各貫通孔には流体
導入用のコネクタ４ａ,４ｂと、流体取出用のコネクタ
４ｃとがそれぞれ装着されている。また下部プレート体
２の中央部には、前記流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂ
がそれぞれ装着された２つの貫通孔にそれぞれ対応し
て、図２(ａ)に示すようにリング状および円形状をなす
所定深さの流体導入チャネル５ａ,５ｂが形成されてい
る。これらの流体導入チャネル５ａ,５ｂは、後述する
流路モジュールに円周をなして配列される混合分配ユニ
ットの並びに沿って設けられる所定厚みの隔壁５ｃを介
して区画されている。またこの下部プレート体２には、
後述する複数枚の流路モジュールを位置合わせして積み
重ねる上でのガイドピン（図示せず）を垂直に植設する
為のピン孔６が設けられている。
その中心位置から対角線方向に向けて３つの貫通孔（図
示せず）が設けられており、これらの各貫通孔には流体
導入用のコネクタ４ａ,４ｂと、流体取出用のコネクタ
４ｃとがそれぞれ装着されている。また下部プレート体
２の中央部には、前記流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂ
がそれぞれ装着された２つの貫通孔にそれぞれ対応し
て、図２(ａ)に示すようにリング状および円形状をなす
所定深さの流体導入チャネル５ａ,５ｂが形成されてい
る。これらの流体導入チャネル５ａ,５ｂは、後述する
流路モジュールに円周をなして配列される混合分配ユニ
ットの並びに沿って設けられる所定厚みの隔壁５ｃを介
して区画されている。またこの下部プレート体２には、
後述する複数枚の流路モジュールを位置合わせして積み
重ねる上でのガイドピン（図示せず）を垂直に植設する
為のピン孔６が設けられている。
【００１３】さて上述したプレート体１,２間に積層し
て挟み込まれる複数枚（ｍ枚）の流路モジュール７（７
1,７2,〜７m）は、例えば厚みが０.８ｍｍ、一辺の長さ
２５ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材やＳＵＳ等からな
る。これらの各流路モジュール７は、図２(ｂ)に示すよ
うに前述した流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞ
れ装着された２つの貫通孔にそれぞれ対応する貫通孔８
ａ,８ｂと、上述したガイドピンを挿通してその位置合
わせに供せられる貫通孔９とをそれぞれ共通に備え、更
に前記流体導入チャネル５ａ,５ｂを区画する隔壁５ｃ
に沿って配列された複数の混合分配ユニット１０を備え
る。
て挟み込まれる複数枚（ｍ枚）の流路モジュール７（７
1,７2,〜７m）は、例えば厚みが０.８ｍｍ、一辺の長さ
２５ｍｍ程度の平板矩形状のＡl材やＳＵＳ等からな
る。これらの各流路モジュール７は、図２(ｂ)に示すよ
うに前述した流体導入用のコネクタ４ａ,４ｂがそれぞ
れ装着された２つの貫通孔にそれぞれ対応する貫通孔８
ａ,８ｂと、上述したガイドピンを挿通してその位置合
わせに供せられる貫通孔９とをそれぞれ共通に備え、更
に前記流体導入チャネル５ａ,５ｂを区画する隔壁５ｃ
に沿って配列された複数の混合分配ユニット１０を備え
る。
【００１４】ちなみに上記混合分配ユニット１０は、例
えば図３にその概略構成を示すように、板状の流路モジ
ュール７における上流面（下面）側に設けた２個のイン
レット１１（１１ａ,１１ｂ）と、上記流路モジュール
７における下流面（上面）側に設けた２個のアウトレッ
ト１２（１２ａ,１２ｂ）とを備え、その上面側に穿い
た深さ０.４ｍｍの溝からなるチャネル１３を介して上
記各インレット１１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１
２ｂとを連結して、流路モジュール７の上下面間に流路
を形成した構造をなす。
えば図３にその概略構成を示すように、板状の流路モジ
ュール７における上流面（下面）側に設けた２個のイン
レット１１（１１ａ,１１ｂ）と、上記流路モジュール
７における下流面（上面）側に設けた２個のアウトレッ
ト１２（１２ａ,１２ｂ）とを備え、その上面側に穿い
た深さ０.４ｍｍの溝からなるチャネル１３を介して上
記各インレット１１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１
２ｂとを連結して、流路モジュール７の上下面間に流路
を形成した構造をなす。
【００１５】特にこの混合分配ユニット１０において
は、前記チャネル１３の中央に位置付けられて該チャネ
ル１３の向きを定める島状の仕切部１４が設けられてい
る。そして前記２個のインレット１１ａ,１１ｂ、およ
び２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、上記仕切部１
４を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた
構造となっている。またこの混合分配ユニット１０にお
けるインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２
ａ,１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅とその深さ
は、例えば０.４ｍｍとして互いに等しく設定され、更
に２個のインレット１１ａ,１１ｂは０.４ｍｍの間隔を
隔てて、また２個のアウトレット１２ａ,１２ｂは１.２
ｍｍの間隔を隔てて設けられている。
は、前記チャネル１３の中央に位置付けられて該チャネ
ル１３の向きを定める島状の仕切部１４が設けられてい
る。そして前記２個のインレット１１ａ,１１ｂ、およ
び２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、上記仕切部１
４を挟んで互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた
構造となっている。またこの混合分配ユニット１０にお
けるインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２
ａ,１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅とその深さ
は、例えば０.４ｍｍとして互いに等しく設定され、更
に２個のインレット１１ａ,１１ｂは０.４ｍｍの間隔を
隔てて、また２個のアウトレット１２ａ,１２ｂは１.２
ｍｍの間隔を隔てて設けられている。
【００１６】しかして前述したｍ枚の流路モジュール７
（７1,７2,〜７m）は、それぞれ上述した構造をなす複
数の混合分配ユニット１０を所定の曲率をなす円周上
に、所定の間隔で配列した構造を有する。そしてこれら
の各流路モジュール７（７1,７ 2,〜７m）を、隣接する
流路モジュール７（７1,７2,〜７m）間において前記混
合分配ユニット１０のインレット１１ａ,１１ｂとアウ
トレット１２ａ,１２ｂとを順に連結して積み重ねて、
多層構造化された流路を形成する。
（７1,７2,〜７m）は、それぞれ上述した構造をなす複
数の混合分配ユニット１０を所定の曲率をなす円周上
に、所定の間隔で配列した構造を有する。そしてこれら
の各流路モジュール７（７1,７ 2,〜７m）を、隣接する
流路モジュール７（７1,７2,〜７m）間において前記混
合分配ユニット１０のインレット１１ａ,１１ｂとアウ
トレット１２ａ,１２ｂとを順に連結して積み重ねて、
多層構造化された流路を形成する。
【００１７】特に各流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）における１つの混合分配ユニット１０は、その２
個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する下流側の
流路モジュール７における２つの混合分配ユニット１
０,１０の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ
個別に連結されるようになっている。換言すれば各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）における１つの混合分
配ユニット１０の、２個のインレット１１ａ,１１ｂ
を、隣接する上流側の流路モジュール７における２つの
混合分配ユニット１０,１０の各１個のアウトレット１
２ａ,１２ｂにそれぞれ個別に連結されている。
７m）における１つの混合分配ユニット１０は、その２
個のアウトレット１２ａ,１２ｂを、隣接する下流側の
流路モジュール７における２つの混合分配ユニット１
０,１０の各１個のインレット１１ａ,１１ｂにそれぞれ
個別に連結されるようになっている。換言すれば各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）における１つの混合分
配ユニット１０の、２個のインレット１１ａ,１１ｂ
を、隣接する上流側の流路モジュール７における２つの
混合分配ユニット１０,１０の各１個のアウトレット１
２ａ,１２ｂにそれぞれ個別に連結されている。
【００１８】そして各流路モジュール７（７1,７2,〜７
m）における１つの混合分配ユニット１０は、その上流
側の流路モジュール７における互いに異なる２つの混合
分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２ａ,１２
ｂからそれぞれ出力された流体を、その２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入して混合し、その混
合した流体を２個のアウトレット１２ａ,１２ｂから、
その下流側の流路モジュール７における互いに異なる２
つの混合分配ユニット１０の各１個のインレット１１
ａ,１１ｂに対してそれぞれ分配して導出するようにな
っている。
m）における１つの混合分配ユニット１０は、その上流
側の流路モジュール７における互いに異なる２つの混合
分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２ａ,１２
ｂからそれぞれ出力された流体を、その２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂからそれぞれ導入して混合し、その混
合した流体を２個のアウトレット１２ａ,１２ｂから、
その下流側の流路モジュール７における互いに異なる２
つの混合分配ユニット１０の各１個のインレット１１
ａ,１１ｂに対してそれぞれ分配して導出するようにな
っている。
【００１９】具体的にはこの実施形態に係るマイクロ混
合器においては、ｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）における複数の混合分配ユニット１０は、例えば
図４に５段（５層）の流路を形成した例を示すように、
前記各流路モジュール７において、その下流側（上段
側）の１つの混合分配ユニット１０における２個のイン
レット１１ａ,１１ｂの各位置に、互いに隣接する２つ
の混合分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２
ａ,１２ｂがそれぞれ位置付けられるレイアウト（間
隔）でそれぞれ配列されている。
合器においては、ｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）における複数の混合分配ユニット１０は、例えば
図４に５段（５層）の流路を形成した例を示すように、
前記各流路モジュール７において、その下流側（上段
側）の１つの混合分配ユニット１０における２個のイン
レット１１ａ,１１ｂの各位置に、互いに隣接する２つ
の混合分配ユニット１０の各１個のアウトレット１２
ａ,１２ｂがそれぞれ位置付けられるレイアウト（間
隔）でそれぞれ配列されている。
【００２０】換言すれば各流路モジュール７において互
いに隣接する２つの混合分配ユニット１０は、その一方
の混合分配ユニット１０におけるアウトレット１１ａ
が、その下流側（上段側）の１つの混合分配ユニット１
０における一方のインレット１１ａの位置に位置付けら
れ、他方の混合分配ユニット１０におけるアウトレット
１１ｂが、その下流側（上段側）の上記混合分配ユニッ
ト１０における他方のインレット１１ｂの位置に位置付
けられるように配列されている。この結果、ｍ枚の流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）を前述したように位置
合わせして積層するだけで、隣接する流路モジュール７
間において上記混合分配ユニット１０のインレット１１
ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂとが上述した関
係を以て互いに連結されるようになっている。
いに隣接する２つの混合分配ユニット１０は、その一方
の混合分配ユニット１０におけるアウトレット１１ａ
が、その下流側（上段側）の１つの混合分配ユニット１
０における一方のインレット１１ａの位置に位置付けら
れ、他方の混合分配ユニット１０におけるアウトレット
１１ｂが、その下流側（上段側）の上記混合分配ユニッ
ト１０における他方のインレット１１ｂの位置に位置付
けられるように配列されている。この結果、ｍ枚の流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）を前述したように位置
合わせして積層するだけで、隣接する流路モジュール７
間において上記混合分配ユニット１０のインレット１１
ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂとが上述した関
係を以て互いに連結されるようになっている。
【００２１】かくして上述したように前記混合分配ユニ
ット１０を所定個数ずつ閉曲線（円周）をなして配列し
たｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）を積み重
ねて構成されるマイクロ混合器によれば、前述した如く
下部プレート体２に設けられた２つの流体導入チャネル
５ａ,５ｂに２種類の流体（液体）Ａ,Ｂを所定の圧力を
以て導入すれば、図４に示すように一方の流体（液体）
Ａは、最上流（最下段）の流路モジュール７m（７5）に
おける複数の混合分配ユニット１０のそれぞれに、その
一方のインレット１１ａを介して導入される。また他方
の流体（液体）Ｂは、最上流（最下段）の流路モジュー
ル７m（７5）における複数の混合分配ユニット１０のそ
れぞれに、その他方のインレット１１ｂを介して導入さ
れる。そしてこれらの流体（液体）Ａ,Ｂは、各混合分
配ユニット１０におけるチャネル１３にてそれぞれ混合
され、２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを介してそれ
ぞれ分配して出力される。
ット１０を所定個数ずつ閉曲線（円周）をなして配列し
たｍ枚の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）を積み重
ねて構成されるマイクロ混合器によれば、前述した如く
下部プレート体２に設けられた２つの流体導入チャネル
５ａ,５ｂに２種類の流体（液体）Ａ,Ｂを所定の圧力を
以て導入すれば、図４に示すように一方の流体（液体）
Ａは、最上流（最下段）の流路モジュール７m（７5）に
おける複数の混合分配ユニット１０のそれぞれに、その
一方のインレット１１ａを介して導入される。また他方
の流体（液体）Ｂは、最上流（最下段）の流路モジュー
ル７m（７5）における複数の混合分配ユニット１０のそ
れぞれに、その他方のインレット１１ｂを介して導入さ
れる。そしてこれらの流体（液体）Ａ,Ｂは、各混合分
配ユニット１０におけるチャネル１３にてそれぞれ混合
され、２個のアウトレット１２ａ,１２ｂを介してそれ
ぞれ分配して出力される。
【００２２】すると次段の流路モジュール７4において
は、上記流路モジュール７6の各混合分配ユニット１０
におけるアウトレット１２ａ側から出力される流体（液
体）[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液
体）Ａ１として、その混合分配ユニット１０における一
方のインレット１１ａを介して導入する。また流路モジ
ュール７5の各混合分配ユニット１０における他方のア
ウトレット１２ｂ側から出力される流体（液体）[Ａ＋
Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液体）Ｂ１と
して、その混合分配ユニット１０における他方のインレ
ット１１ｂを介して導入する。そしてこれらの流体（液
体）Ａ１,Ｂ１を、チャネル１３にてそれぞれ混合し、
その混合液（層流）を２個のアウトレット１２ａ,１２
ｂを介してそれぞれ分配して出力する。
は、上記流路モジュール７6の各混合分配ユニット１０
におけるアウトレット１２ａ側から出力される流体（液
体）[Ａ＋Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液
体）Ａ１として、その混合分配ユニット１０における一
方のインレット１１ａを介して導入する。また流路モジ
ュール７5の各混合分配ユニット１０における他方のア
ウトレット１２ｂ側から出力される流体（液体）[Ａ＋
Ｂ／２]を新たに混合すべき一方の流体（液体）Ｂ１と
して、その混合分配ユニット１０における他方のインレ
ット１１ｂを介して導入する。そしてこれらの流体（液
体）Ａ１,Ｂ１を、チャネル１３にてそれぞれ混合し、
その混合液（層流）を２個のアウトレット１２ａ,１２
ｂを介してそれぞれ分配して出力する。
【００２３】このような２系統の流体（液体）の混合と
その分配を、前記各流路モジュール７において順に繰り
返し実行することで、前述した２種類の流体（液体）
Ａ,Ｂの細分化（マイクロ混合）が進められ、最下流
（最上段）の流路モジュール７1の各混合分配ユニット
１０から前記２種類の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混
合液が取り出されることになる。そしてこれらの各混合
分配ユニット１０からそれぞれ取り出されたマイクロ混
合液は、その上部（下流側）の集合部２０に導入され、
これらのマイクロ混合液を拡散反応させるに十分な滞留
時間の下で更に混合された後、１つの流路にまとめられ
て前記流体取出用のコネクタ４ｃから出力される。即
ち、上記集合部２０については、前記複数の混合分配ユ
ニット１０における各アウトレット１２ａ,１２ｂから
それぞれ出力されたマイクロ混合液を十分に混合するに
必要な滞留時間を十分に確保し得る流路長Ｌを有するも
のとして実現することが望ましい。また混合液がお互い
に反応する場合には、その反応時間を十分確保するよう
に設定することが望ましい。
その分配を、前記各流路モジュール７において順に繰り
返し実行することで、前述した２種類の流体（液体）
Ａ,Ｂの細分化（マイクロ混合）が進められ、最下流
（最上段）の流路モジュール７1の各混合分配ユニット
１０から前記２種類の液体Ａ,Ｂを混合したマイクロ混
合液が取り出されることになる。そしてこれらの各混合
分配ユニット１０からそれぞれ取り出されたマイクロ混
合液は、その上部（下流側）の集合部２０に導入され、
これらのマイクロ混合液を拡散反応させるに十分な滞留
時間の下で更に混合された後、１つの流路にまとめられ
て前記流体取出用のコネクタ４ｃから出力される。即
ち、上記集合部２０については、前記複数の混合分配ユ
ニット１０における各アウトレット１２ａ,１２ｂから
それぞれ出力されたマイクロ混合液を十分に混合するに
必要な滞留時間を十分に確保し得る流路長Ｌを有するも
のとして実現することが望ましい。また混合液がお互い
に反応する場合には、その反応時間を十分確保するよう
に設定することが望ましい。
【００２４】従ってこの実施形態に係るマイクロ混合器
によれば、複数の混合分配ユニット１０を設けた平板状
の複数の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）を積み重
ねただけの簡単な構造で、２種類の液体Ａ,Ｂを逸早く
均質に混合したマイクロ混合液をを効果的に形成するこ
とができる。しかも上記流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）については、Ａl板やＳＵＳ板等を用いて簡易に製
作することができ、混合分配ユニット１０の形成（加
工）自体も容易なので、その製作コストが安価である。
更には複数の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）間の
アライメント精度についても容易に高めることができ、
その組み立て自体も簡単なので、この点でもその製作コ
ストの低廉化を図り得る等の利点がある。
によれば、複数の混合分配ユニット１０を設けた平板状
の複数の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）を積み重
ねただけの簡単な構造で、２種類の液体Ａ,Ｂを逸早く
均質に混合したマイクロ混合液をを効果的に形成するこ
とができる。しかも上記流路モジュール７（７1,７2,〜
７m）については、Ａl板やＳＵＳ板等を用いて簡易に製
作することができ、混合分配ユニット１０の形成（加
工）自体も容易なので、その製作コストが安価である。
更には複数の流路モジュール７（７1,７2,〜７m）間の
アライメント精度についても容易に高めることができ、
その組み立て自体も簡単なので、この点でもその製作コ
ストの低廉化を図り得る等の利点がある。
【００２５】また前述した混合分配ユニット１０におけ
るインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２ａ,
１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅が互いにほぼ等し
く設定されているので、混合液による目詰まりが生じ難
い。しかも混合分配ユニット１０における２個のインレ
ット１１ａ,１１ｂ、およびアウトレット１２ａ,１２ｂ
が互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けられている
ので、流体（液体）の流れ（層流）に対する対称性を良
好に確保して流体の不均一化を効果的に防止することが
でき、更にはそのスループットを十分に高めることがで
きる。従ってそのミキシング性能（ミキシング効率）を
十分に高め、均質で品質の高いマイクロ混合液を容易に
生成し得る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
るインレット１１ａ,１１ｂの径、アウトレット１２ａ,
１２ｂの径、そしてチャネル１３の幅が互いにほぼ等し
く設定されているので、混合液による目詰まりが生じ難
い。しかも混合分配ユニット１０における２個のインレ
ット１１ａ,１１ｂ、およびアウトレット１２ａ,１２ｂ
が互いに直交する方向にそれぞれ対称に設けられている
ので、流体（液体）の流れ（層流）に対する対称性を良
好に確保して流体の不均一化を効果的に防止することが
でき、更にはそのスループットを十分に高めることがで
きる。従ってそのミキシング性能（ミキシング効率）を
十分に高め、均質で品質の高いマイクロ混合液を容易に
生成し得る等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【００２６】尚、前述した混合分配ユニット１０につい
ては、例えば図５(ａ)〜(ｃ)にそれぞれ示す構造のもの
として実現することも可能である。図５(ａ)に例示する
混合分配ユニット１０は、２個のアウトレット１２ａ,
１２ｂ間の幅を広くしたものであり、また図５(ｂ)に例
示する混合分配ユニット１０は、チャネル１３の向きを
定める島状の仕切部１４を省略し、２個のアウトレット
１２ａ,１２ｂ間の幅を狭くしたものである。そして図
５(ｃ)に示す混合分配ユニット１０は、２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂ、および２個のアウトレット１２ａ,１
２ｂをチャネル１３の向きを定める島状の仕切部１４を
中心として点対称に平行四辺形状に配置したものであ
る。
ては、例えば図５(ａ)〜(ｃ)にそれぞれ示す構造のもの
として実現することも可能である。図５(ａ)に例示する
混合分配ユニット１０は、２個のアウトレット１２ａ,
１２ｂ間の幅を広くしたものであり、また図５(ｂ)に例
示する混合分配ユニット１０は、チャネル１３の向きを
定める島状の仕切部１４を省略し、２個のアウトレット
１２ａ,１２ｂ間の幅を狭くしたものである。そして図
５(ｃ)に示す混合分配ユニット１０は、２個のインレッ
ト１１ａ,１１ｂ、および２個のアウトレット１２ａ,１
２ｂをチャネル１３の向きを定める島状の仕切部１４を
中心として点対称に平行四辺形状に配置したものであ
る。
【００２７】このような各構造の混合分配ユニット１０
であっても、隣接する２つの混合分配ユニット１０にお
けるアウトレット１２ａ,１２ｂが、各混合分配ユニッ
ト１０における２個のインレット１１ａ,１１ｂ間の間
隔と等しくなるように配列すれば、複数の流路モジュー
ル７（７1,７2,〜７m）間において、そのインレット１
１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂの位置をそれ
ぞれ正確に合わせることが可能となるので、先の実施形
態と同様な効果が奏せられる。
であっても、隣接する２つの混合分配ユニット１０にお
けるアウトレット１２ａ,１２ｂが、各混合分配ユニッ
ト１０における２個のインレット１１ａ,１１ｂ間の間
隔と等しくなるように配列すれば、複数の流路モジュー
ル７（７1,７2,〜７m）間において、そのインレット１
１ａ,１１ｂとアウトレット１２ａ,１２ｂの位置をそれ
ぞれ正確に合わせることが可能となるので、先の実施形
態と同様な効果が奏せられる。
【００２８】また上述した実施形態においては、各流路
モジュール７（７1,７2,〜７m）において複数の混合分
配ユニット１０（混合ユニット１５）を１列の円周上に
配列したが、例えば図６に示すように複数の混合分配ユ
ニット１０を複数本からなる同心円上に配列するように
しても良い。また或いは、図７に示すように複数の混合
分配ユニット１０を、所定の閉曲線をなしてジグザグ状
に配列することも可能である。
モジュール７（７1,７2,〜７m）において複数の混合分
配ユニット１０（混合ユニット１５）を１列の円周上に
配列したが、例えば図６に示すように複数の混合分配ユ
ニット１０を複数本からなる同心円上に配列するように
しても良い。また或いは、図７に示すように複数の混合
分配ユニット１０を、所定の閉曲線をなしてジグザグ状
に配列することも可能である。
【００２９】尚、本発明は上述した実施形態に限定され
るものではない。例えば複数の流路モジュール７の積層
枚数や、各流路モジュール７に設ける混合分配ユニット
１０の数、更には各混合分配ユニット１０におけるイン
レット１１ａ,１１ｂおよびアウトレット１２ａ,１２ｂ
の径等については、混合対象とする流体の粒子の大きさ
や、マイクロ混合器に要求されるミキシング性能等に応
じて定めるようにすれば良い。その他、本発明はその要
旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができ
る。
るものではない。例えば複数の流路モジュール７の積層
枚数や、各流路モジュール７に設ける混合分配ユニット
１０の数、更には各混合分配ユニット１０におけるイン
レット１１ａ,１１ｂおよびアウトレット１２ａ,１２ｂ
の径等については、混合対象とする流体の粒子の大きさ
や、マイクロ混合器に要求されるミキシング性能等に応
じて定めるようにすれば良い。その他、本発明はその要
旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、多
層に積層される複数の流路モジュールに２個のインレッ
トおよび２個のアウトレットを備えた複数の混合分配ユ
ニットを所定の閉曲線をなして配列し、上記各流路モジ
ュール間で上記各混合分配ユニットのインレットとアウ
トレットとを所定の配列で順次結合した構造を有するの
で、その構造自体でが簡単であり、容易に精度良く、し
かも安価に製作することができる。しかもそのアライメ
ント精度を十分に高くすることも容易であり、流路の対
称性を確保して混合流体に対するスループットを十分に
高めることができる。従ってそのミキシング性能（ミキ
シング効率）を十分に高め、均質で品質の高いマイクロ
混合液を逸早く容易に生成し得る等の実用上多大なる効
果が奏せられる。
層に積層される複数の流路モジュールに２個のインレッ
トおよび２個のアウトレットを備えた複数の混合分配ユ
ニットを所定の閉曲線をなして配列し、上記各流路モジ
ュール間で上記各混合分配ユニットのインレットとアウ
トレットとを所定の配列で順次結合した構造を有するの
で、その構造自体でが簡単であり、容易に精度良く、し
かも安価に製作することができる。しかもそのアライメ
ント精度を十分に高くすることも容易であり、流路の対
称性を確保して混合流体に対するスループットを十分に
高めることができる。従ってそのミキシング性能（ミキ
シング効率）を十分に高め、均質で品質の高いマイクロ
混合液を逸早く容易に生成し得る等の実用上多大なる効
果が奏せられる。
【図１】本発明の一実施形態に係るマイクロ混合器の概
略構造を示す分解斜視図。
略構造を示す分解斜視図。
【図２】図１に示すマイクロ混合器に組み込まれる下部
プレート板に設けられる流体導入チャネルの構造と、複
数の流路モジュールの概略的な構造を示す図。
プレート板に設けられる流体導入チャネルの構造と、複
数の流路モジュールの概略的な構造を示す図。
【図３】流路モジュールに組み込まれる混合分配ユニッ
トの概略的な構造を示す部分斜視図。
トの概略的な構造を示す部分斜視図。
【図４】複数の流路モジュールにそれぞれ組み込まれる
混合分配ユニット間のインレットとアウトレットとの結
合構造と、これらの混合分配ユニットによる流体の混合
分配作用を説明するための図。
混合分配ユニット間のインレットとアウトレットとの結
合構造と、これらの混合分配ユニットによる流体の混合
分配作用を説明するための図。
【図５】流路モジュールに組み込まれる混合分配ユニッ
トの別の構成例を示す図。
トの別の構成例を示す図。
【図６】流路モジュールに組み込まれる複数の混合分配
ユニットの別の配列構造の例を示す図。
ユニットの別の配列構造の例を示す図。
【図７】最下流の流路モジュールに組み込まれる混合分
配ユニットの別の配列構造を示す図。
配ユニットの別の配列構造を示す図。
【符号の説明】 ５ａ,５ｂ 流体導入チャネル ７,７1,７2,〜７m 流路モジュール １０ 混合分配ユニット １１ａ,１１ｂ,１１ｃ インレット １２ａ,１２ｂ,１２ｃ アウトレット １３ チャネル １４ 仕切部 ２０ 集合部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１４年５月２７日（２００２．５．２
７）
７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
Claims (6)
- 【請求項１】 複数の混合分配ユニットを所定の閉曲線
上に周期的に配列した複数枚の流路モジュールを積層
し、前記各混合分配ユニットを上記各層の流路モジュー
ル間において順に連結したマイクロ混合器であって、 前記各混合分配ユニットは、各流路モジュールの上流面
に２個のインレットを設けると共に、その下流面に２個
のアウトレットを設け、これらの２個のインレットと２
個のアウトレットとをチャネルを介して連結した流路構
造を有し、 前記各流路モジュールの１つの混合分配ユニットにおけ
る２個のアウトレットを、隣接する下流側の流路モジュ
ールにおける２個の混合分配ユニットの各１個のインレ
ットにそれぞれ個別に連結してなることを特徴とするマ
イクロ混合器。 - 【請求項２】 前記各流路モジュールにそれぞれ設けら
れる複数の混合分配ユニットは、互いに隣り合う２つの
混合分配ユニット間において隣接する各１個のアウトレ
ットの配列間隔を、前記各混合分配ユニットにおける２
個のインレットの配列間隔と等しく設定して配列されて
いる請求項１に記載のマイクロ混合器。 - 【請求項３】 前記各流路モジュールにそれぞれ設けら
れる複数の混合分配ユニットは、所定の曲率の円周をな
して配列されている請求項１に記載のマイクロ混合器。 - 【請求項４】 前記各混合分配ユニットにおける２個の
インレットの径、２個のアウトレットの径、およびチャ
ネルの幅とその深さは、それぞれほぼ同じ大きさに形成
されることを特徴とする請求項１に記載のマイクロ混合
器。 - 【請求項５】 最下流に配される流路モジュールは、該
流路モジュールにおける複数の混合分配ユニットの各ア
ウトレットからそれぞれ出力される流体を１つの流路に
まとめる集合部を備え、 該集合部は、前記各アウトレットからそれぞれ出力され
た流体を混合するに必要な滞留時間を確保し得る流路長
を有することを特徴とする請求項１に記載のマイクロ混
合器。 - 【請求項６】 前記混合分配ユニットは、前記２個のイ
ンレットおよび２個のアウトレットを、その中央に設け
られてチャネルの向きを定める島状の仕切部を挟んで互
いに直交する方向にそれぞれ対称に設けた構造を有する
ものである請求項１に記載のマイクロ混合器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158633A JP3694878B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
| PCT/JP2002/005063 WO2002102502A1 (fr) | 2001-05-28 | 2002-05-24 | Systeme de reseau de securite |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158633A JP3694878B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002346354A true JP2002346354A (ja) | 2002-12-03 |
| JP3694878B2 JP3694878B2 (ja) | 2005-09-14 |
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ID=19002321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001158633A Expired - Fee Related JP3694878B2 (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | マイクロ混合器 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| WO (1) | WO2002102502A1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004344877A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流体混合装置、流体混合システム、流体分離装置、及び、流体混合・分離装置 |
| JP2006239638A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Ebara Corp | 混合器および混合方法 |
Families Citing this family (2)
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|---|---|---|---|---|
| DE20300556U1 (de) | 2003-01-15 | 2003-03-13 | Ehrfeld Mikrotechnik AG, 55234 Wendelsheim | Statischer Laminationsmikrovermischer |
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Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5881432A (ja) * | 1981-11-09 | 1983-05-16 | Asahi Chem Ind Co Ltd | 液体分集装置 |
| JPH0513391Y2 (ja) * | 1989-07-05 | 1993-04-08 |
-
2001
- 2001-05-28 JP JP2001158633A patent/JP3694878B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-05-24 WO PCT/JP2002/005063 patent/WO2002102502A1/ja active Application Filing
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004344877A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 流体混合装置、流体混合システム、流体分離装置、及び、流体混合・分離装置 |
| CN101822952B (zh) * | 2003-04-28 | 2012-04-11 | 富士胶片株式会社 | 流体分离装置及流体混合分离装置 |
| JP2006239638A (ja) * | 2005-03-07 | 2006-09-14 | Ebara Corp | 混合器および混合方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| WO2002102502A1 (fr) | 2002-12-27 |
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