JP2002332197A - 昇降装置 - Google Patents

昇降装置

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JP2002332197A
JP2002332197A JP2001137460A JP2001137460A JP2002332197A JP 2002332197 A JP2002332197 A JP 2002332197A JP 2001137460 A JP2001137460 A JP 2001137460A JP 2001137460 A JP2001137460 A JP 2001137460A JP 2002332197 A JP2002332197 A JP 2002332197A
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Kazuo Kimata
一夫 木全
Takao Nakamori
孝雄 中森
Katsuhiko Kato
克彦 加藤
Kiyonori Nakano
清憲 中野
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    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract

(57)【要約】 【課題】装置の大型化を招くことなく上下方向のストロ
ークの増大を図ることができしかも全体重量の軽量化を
図ること。 【解決手段】昇降装置は、基板部1と、基板部1に立設
され、X字状リンク5A、5B、6A、6B、7A、7
Bを複数上下方向にピン結合により積み重ねて構成され
る左右一対の多段リンク式側壁部2、3と、両側壁部
2、3の上端に配設される天板部4と、X字状リンク5
A、5B、6A、6B、7A、7Bの高さを調節するリ
ンク駆動装置51とを備える。リンク駆動装置51は、
最下段の左右X字状リンク5A、5Bの交差部間を連結
する第1水平軸54と、下から二段目の左右X字状リン
ク6A、6Bの交差部間を連結する第2水平軸57との
間隔を調節する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、昇降装置、詳しく
は、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ、プラズマディス
プレイ用ガラス基板等基板を搬送するロボットなどに組
込み可能な昇降装置に関する。
【0002】
【従来の技術】基板搬送ロボットは、基板を保持するハ
ンドの高さ位置を調節するために昇降装置を備える。
【0003】従来の昇降装置の一例として、モータと、
このモータの回転に連動して回転する鉛直なボールねじ
シャフト部と、このボールねじシャフト部に噛合するボ
ールねじナット部とを備え、ボールねじナット部の昇降
動作に連動してハンドを昇降させるよう構成された昇降
装置が知られている。
【0004】また、従来の昇降装置の他の例として、垂
直多関節方式を採用した昇降装置が知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
昇降装置は、ボールねじナット部の移動距離分しかハン
ドの高さ位置を調節できず、ハンドの高さ調節範囲を拡
大するにしたがってボールねじシャフト部の長さが長く
なり、装置の大型化を招くという問題があった。また、
後者の昇降装置は、アームの屈伸動作によってハンドの
高さ位置を調節しているため、ロボットの剛性を十分に
確保する必要があり、そのためロボットの全体重量が大
きくなるという問題があった。
【0006】本発明は、上記従来の問題点を解決し、斬
新な発想の下、装置の大型化を招くことなく上下方向の
ストロークの増大を図ることができしかも全体重量の軽
量化を図ることができる昇降装置を提供することを目的
とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の昇降装置は、基
板部と、該基板部に立設され、X字状リンクを複数上下
方向にピン結合により積み重ねて構成される左右一対の
多段リンク式側壁部と、該両側壁部の上端に配設される
天板部と、前記X字状リンクの高さを調節するリンク駆
動装置とを備えることを特徴とする。
【0008】前記リンク駆動装置は、最下段の左右X字
状リンクの交差部間を連結する第1水平軸と、下から二
段目の左右X字状リンクの交差部間を連結する第2水平
軸との間隔を調節する。
【0009】前記リンク駆動装置は、下端部が前記第1
水平軸に回転自在に軸支される鉛直なボールねじシャフ
ト部と、前記第2水平軸に固定されるボールねじナット
部とを備える。
【0010】前記左右一対の多段リンク式側壁部間の前
面及び後面に、それぞれ前面部昇降ガイド装置及び後面
部昇降ガイド装置を備える。
【0011】前記前面部昇降ガイド装置及び前記後面部
昇降ガイド装置は、それぞれ、上下方向に分割された複
数の単位昇降ガイド装置から構成される。
【0012】前記左右一対の多段リンク式側壁部間に中
央部昇降ガイド装置を備える。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
【0014】図1は、一実施形態に係る昇降装置の概略
的な斜視図、図2は、同昇降装置の前面部昇降ガイド装
置を表す要部斜視図、図3は、同昇降装置の中央部を表
す要部斜視図、図4は、同昇降装置が屈状態のときの概
略的な側面図、図5は、同昇降装置が伸状態のときの概
略的な側面図をそれぞれ示す。
【0015】図1〜図5において、昇降装置は基板部1
を備える。基板部1の上面には、上下方向へ伸縮可能な
左右一対の多段リンク式側壁部2、3が立設されてい
る。左右一対の多段リンク式側壁部2、3の上端には天
板部4が配設されている。
【0016】各々の多段リンク式側壁部2、3は、X字
状リンクを複数上下方向にピン結合により積み重ねて構
成されており、本実施形態の場合、最下段のX字状リン
ク5A(5B)と下から二段目のX字状リンク6A(6
B)と最上段のX字状リンク7A(7B)とからなる三
段リンクにより構成される。最下段のX字状リンク5A
を構成する二つのリンクバー8、9のうち一方のリンク
バー8の下端部は、基板部1に立設された固定保持部材
10によって回動自在に軸支されている。また、他方の
リンクバー9の下端部は、可動保持部材11によって回
動自在に軸支されている。可動保持部材11は、基板部
1の上面に固定配置された左右一対のレール12、13
間に架け渡された移動プレート14の上面に設けられて
いる。最上段のX字状リンク7を構成する二つのリンク
バー15、16のうち一方のリンクバー15の上端部
は、天板部4の下面に垂設された固定保持部材17によ
って回動自在に軸支されている。固定保持部材17は基
板部1の固定保持部材10のほぼ真上に位置している。
また、他方のリンクバー16の上端部は、可動保持部材
18によって回動自在に軸支されている。可動保持部材
18は、天板部4の下面に固定配置された左右一対のレ
ール19、20間に架け渡された移動プレート21の下
面に設けられている。
【0017】図1に示すように、左右一対の多段リンク
式側壁部2、3間の前面及び後面に、それぞれ、前面部
昇降ガイド装置22A及び後面部昇降ガイド装置22B
(具体的には図示していない。)が設けられている。
【0018】前面部昇降ガイド装置22Aは、図1及び
図2に示すように、基板部1側の移動プレート14の上
面に固定された左右一対のブラケット23、24を備え
る。各ブラケット23、24には鉛直なボールスプライ
ンシャフト部25、26の下端部が固定されている。各
ボールスプラインシャフト部25、26は、水平軸27
に固定されたボールスプラインナット部28、29と係
合している。この水平軸27は、左側多段リンク式側壁
部2を構成する最下段のX字状リンク5Aの一方のリン
クバー8の上端部と、右側多段リンク式側壁部3を構成
する最下段のX字状リンク5Bの一方のリンクバー30
の上端部とを連結する水平軸であり、この水平軸27
は、左側多段リンク式側壁部2を構成する下から二段目
のX字状リンク6Aの一方のリンクバー31の下端部
と、右側多段リンク式側壁部3を構成する下から二段目
のX字状リンク6Bの一方のリンクバー32の下端部と
を連結する水平軸でもある。また、ボールスプラインシ
ャフト部25、26は、左右一対の多段リンク式側壁部
2、3が屈状態のとき、上記水平軸27の直上に位置す
る水平軸33の逃し孔34、35に挿通した状態とな
り、上端部は天板部4の逃し長穴36、37から上方へ
突出した状態となる。また、前面部昇降ガイド装置22
Aは、天板部4側の移動プレート21の下面に固定され
た左右一対のブラケット38、39を備える。左右一対
のブラケット38、39は左右方向において上記下側の
左右一対のブラケット23、24よりも内側に配されて
いる。各ブラケット38、39には鉛直なボールスプラ
インシャフト部40、41の上端部が固定されている。
各ボールスプラインシャフト部40、41は、水平軸3
3に固定されたボールスプラインナット部42、43と
係合している。この水平軸33は、左側多段リンク式側
壁部2を構成する最上段のX字状リンク7Aの一方のリ
ンクバー15の下端部と、右側多段リンク式側壁部3を
構成する最上段のX字状リンク7Bの一方のリンクバー
44の下端部とを連結する水平軸であり、この水平軸3
3は、左側多段リンク式側壁部2を構成する下から二段
目のX字状リンク6Aの一方のリンクバー45の上端部
と、右側多段リンク式側壁部3を構成する下から二段目
のX字状リンク6Bの一方のリンクバー46の上端部と
を連結する水平軸でもある。また、ボールスプラインシ
ャフト部40、41は、左右一対の多段リンク式側壁部
2、3が屈状態のとき、上記水平軸33の直下に位置す
る水平軸27の逃し孔47、48に挿通した状態とな
り、下端部は基板部1側の移動プレート14の逃し穴4
9、50に挿通した状態となる。
【0019】後面部昇降ガイド装置22Bは、具体的に
は図示していないが、上述した前面部昇降ガイド装置2
2Aと同様に構成されている。ただし、移動プレートは
備えておらず、各ブラケットは基板部1の上面及び天板
部4の下面の固定プレートに固定されている。
【0020】左右一対の多段リンク式側壁部2、3間に
リンク駆動装置51及び中央部昇降ガイド装置52が配
置されている。
【0021】リンク駆動装置51は、図3に示すよう
に、モータ53を備える。モータ53は、最下段の左右
X字状リンク5A、5Bの交差部間を連結する第1水平
軸54に固定されたモータ保持プレート55に下向きに
配設されている。モータ53の出力軸にはモータ側プー
リ56が固着されている。下から二段目の左右X字状リ
ンク6A、6Bの交差部間を連結する第2水平軸57の
下面には、左右一対のボールねじナット部58、59が
それぞれ鉛直に固定されており、各ボールねじナット部
58、59に、それぞれ、鉛直なボールねじシャフト部
60、61が噛合している。各ボールねじシャフト部6
0、61の下端部は、それぞれ、第1水平軸54の下面
に固定された軸受部62、63によって回動自在に軸支
されており、ボールねじシャフト部60、61の下端部
にボールねじ側プーリ64、65が固着されている。各
ボールねじ側プーリ64、65とモータ側プーリ56と
の間には、それぞれタイミングベルト66、67が掛け
渡されている。各ボールねじシャフト部60、61は、
左右一対の多段リンク式側壁部2、3が屈伸する間、常
に第1水平軸54の逃し孔68、69及び第2水平軸5
7の逃し孔70、71に挿通した状態となる。各ボール
ねじシャフト部60、61の上端部は、左右一対の多段
リンク式側壁部2、3が屈状態のとき、最上段の左右X
字状リンク7A、7Bの交差部間を連結する第3水平軸
72の逃し孔73、74に挿通した状態となり、左右一
対の多段リンク式側壁部2、3が伸状態のとき、第3水
平軸72の逃し孔73、74から抜け出た状態となる。
【0022】中央部昇降ガイド装置52は、図3に示す
ように、左右一対のボールねじシャフト部60、61間
の中央に位置する鉛直なボールスプラインシャフト部7
5を備える。ボールスプラインシャフト部75は、上端
部にフランジ部76を有し、また、第2水平軸57及び
第3水平軸72にそれぞれ設けられたボールスプライン
ナット部77、78と係合し、第1水平軸54の逃し孔
79に挿通した状態にある。ボールスプラインシャフト
部75は、左右一対の多段リンク式側壁部2、3が屈状
態のとき、自重によって基板部1の上面で支持されてお
り、多段リンク式側壁部2、3が伸びてゆき第3水平軸
72のボールスプラインナット部78がフランジ部76
と当接するようになった後は、ボールスプラインナット
部78によってフランジ部76が持ち上げられ第3水平
軸72とともに上昇してゆく。
【0023】次に、上記のように構成された昇降装置の
作動を説明する。
【0024】左右一対の多段リンク式側壁部2、3が図
4に示すような屈状態のとき、天板部4は下降位置にあ
る。このとき、固定保持部材10(17)と移動保持部
材11(18)との間隔は最大となり、移動プレート1
4、21は後退位置にある。
【0025】この状態からモータ53を起動すると、モ
ータ側プーリ56、タイミングベルト66、67及びボ
ールねじ側プーリ64、65を介してボールねじシャフ
ト部60、61が回転し、ボールねじナット部58、5
9を有する第2水平軸57と第1水平軸54との間隔が
増大してゆく。この第1、第2水平軸54、57間の間
隔の増大に伴い、移動プレート14、21は後退位置か
ら前進位置までレール12、13、19、20上を移動
してゆき、左右一対の多段リンク式側壁部2、3は図5
に示すような伸状態となり、天板部4は上昇位置とな
る。天板部4の上昇位置は、多段リンク式側壁部2、3
の作用により、第1、第2水平軸54、57間の間隔の
増大分の数倍(本実施形態では約3倍)の距離だけ上記
下降位置よりも上方の位置となる。なお、図4及び図5
において、82及び83は、それぞれ上下方向の荷重軽
減用ダンパーを表している。
【0026】以上説明したように、本実施形態の昇降装
置は、基板部1と、基板部1に立設され、X字状リンク
5A、5B、6A、6B、7A、7Bを複数上下方向に
ピン結合により積み重ねて構成される左右一対の多段リ
ンク式側壁部2、3と、両側壁部2、3の上端に配設さ
れる天板部4と、X字状リンク5A、5B、6A、6
B、7A、7Bの高さを調節するリンク駆動装置51と
を備える新規なタイプの昇降装置であり、剛性を高め全
体重量の減少を図ることが可能である。
【0027】そして、リンク駆動装置51は、最下段の
左右X字状リンク5A、5Bの交差部間を連結する第1
水平軸54と、下から二段目の左右X字状リンク6A、
6Bの交差部間を連結する第2水平軸57との間隔を調
節するものであり、上記間隔を調節することでX字状リ
ンクの作用により天板部4の高さ位置を大きく変化させ
ることができる。換言すると、装置の大型化を招くこと
なく上下方向のストロークの増大を図ることができる。
【0028】また、リンク駆動装置51は、下端部が第
1水平軸54に回転自在に軸支される鉛直なボールねじ
シャフト部60、61と、第2水平軸57に固定される
ボールねじナット部58、59とを備え、ボールねじシ
ャフト部60、61を回転させることによって第1水平
軸54と第2水平軸57との間隔が調節される。ボール
ねじ80、81は左右一対であるため、各ボールねじ8
0、81にかかるスラスト荷重が半減する。
【0029】また、左右一対の多段リンク式側壁部2、
3間の前面及び後面に、それぞれ前面部昇降ガイド装置
22A及び後面部昇降ガイド装置22Bを備え、また、
左右一対の多段リンク式側壁部2、3間に中央部昇降ガ
イド装置52を備える。左右一対の多段リンク式側壁部
2、3が屈状態から伸状態へと変化する間、左右一対の
多段リンク式側壁部2、3はスラスト方向及びラジアル
方向の偏荷重を受け易い。しかし、前面部昇降ガイド装
置22A、後面部昇降ガイド装置及び中央部昇降ガイド
装置52によって昇降装置の剛性が高まるため、天板部
4は水平状態を保ちながら上昇する。
【0030】また、前面部昇降ガイド装置22A及び後
面部昇降ガイド装置22Bは、それぞれ、上下方向に分
割された複数の単位昇降ガイド装置(例えば、ボールス
プラインシャフト部25とボールスプラインナット部2
8とからなる単位昇降ガイド装置と、ボールスプライン
シャフト部40とボールスプラインナット部42とから
なる単位昇降ガイド装置)から構成される。このため、
ガイド装置の高さ寸法を縮小化でき装置の小型化を図る
ことができる。
【0031】図6、図7及び図8は、それぞれ他の実施
形態に係る昇降装置の概略的な構成を示し、図6に示す
昇降装置は、最下段のX字状リンク5Aと下から二段目
のX字状リンク6Aとの間に、モータ84で駆動される
ボールねじ85を傾斜させて配設したものであり、ま
た、図7に示す昇降装置は、第1水平軸と第2水平軸と
の間に、モータ86で駆動されるピニオン87とラック
88を配設したものであり、図8に示す昇降装置は、基
板部1にモータ89で駆動されるラック91とピニオン
90を配設したものである。なお、図7に示す昇降装置
は、図6に示す昇降装置と同様傾斜タイプとしてもよ
い。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
斬新な発想の下、装置の大型化を招くことなく上下方向
のストロークの増大を図ることができしかも全体重量の
軽量化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る昇降装置の概略的な
斜視図である。
【図2】同昇降装置の前面部昇降ガイド装置を表す要部
斜視図である。
【図3】同昇降装置の中央部を表す要部斜視図である。
【図4】同昇降装置が屈状態のときの概略的な側面図で
ある。
【図5】同昇降装置が伸状態のときの概略的な側面図で
ある。
【図6】他の実施形態に係る昇降装置の概略的な構成図
である。
【図7】同じく他の実施形態に係る昇降装置の概略的な
構成図である。
【図8】同じく他の実施形態に係る昇降装置の概略的な
構成図である。
【符号の説明】 1 基板部 2、3 左右一対の多段リンク式側壁部 4 天板部 5A、5B 最下段のX字状リンク 6A、6B 下から二段目のX字状リンク 7A、7B 最上段のX字状リンク 22A 前面部昇降ガイド装置 22B 後面部昇降ガイド装置 25、28 単位昇降ガイド装置 26、29 単位昇降ガイド装置 40、42 単位昇降ガイド装置 41、43 単位昇降ガイド装置 51 リンク駆動装置 52 中央部昇降ガイド装置 54 第1水平軸 57 第2水平軸 58、59 ボールねじナット部 60、61 ボールねじシャフト部 84、85 リンク駆動装置 86、87、88 リンク駆動装置 89、90、91 リンク駆動装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 克彦 愛知県一宮市多加木二丁目7番30号 株式 会社アイテック内 (72)発明者 中野 清憲 愛知県一宮市多加木二丁目7番30号 株式 会社アイテック内 Fターム(参考) 3C007 AS00 AS01 BS24 CU02 CU08 CV05 HS27 HT02 HT12 HT20

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板部と、該基板部に立設され、X字状
    リンクを複数上下方向にピン結合により積み重ねて構成
    される左右一対の多段リンク式側壁部と、該両側壁部の
    上端に配設される天板部と、前記X字状リンクの高さを
    調節するリンク駆動装置とを備えることを特徴とする昇
    降装置。
  2. 【請求項2】 前記リンク駆動装置は、最下段の左右X
    字状リンクの交差部間を連結する第1水平軸と、下から
    二段目の左右X字状リンクの交差部間を連結する第2水
    平軸との間隔を調節することを特徴とする請求項1記載
    の昇降装置。
  3. 【請求項3】 前記リンク駆動装置は、下端部が前記第
    1水平軸に回転自在に軸支される鉛直なボールねじシャ
    フト部と、前記第2水平軸に固定されるボールねじナッ
    ト部とを備えることを特徴とする請求項2記載の昇降装
    置。
  4. 【請求項4】 前記左右一対の多段リンク式側壁部間の
    前面及び後面に、それぞれ前面部昇降ガイド装置及び後
    面部昇降ガイド装置を備えることを特徴とする請求項
    1、2、3のいずれか記載の昇降装置。
  5. 【請求項5】 前記前面部昇降ガイド装置及び前記後面
    部昇降ガイド装置は、それぞれ、上下方向に分割された
    複数の単位昇降ガイド装置から構成されることを特徴と
    する請求項4記載の昇降装置。
  6. 【請求項6】 前記左右一対の多段リンク式側壁部間に
    中央部昇降ガイド装置を備えることを特徴とする請求項
    1、2、3、4、5のいずれか記載の昇降装置。
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