JP2002328305A - 共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】顕微鏡本体の基本機能をそのまま利用して不具
合の発生時における状態把握や復帰を早期に行なうこと
ができ、顕微鏡本体の動作確認や調整作業を確実にかつ
容易にすること。 【解決手段】顕微鏡本体１０における各機能間に送られ
る各信号、例えば各チャンネルの画像入力回路２４−１
〜２４−ｎを通して入力される各チャンネルの光検出器
２１−１〜２１−ｋからの各電気信号、２次元走査駆動
制御回路３１に送られるＸ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸用
の駆動制御信号、又は入出力制御回路３３からのロジッ
ク信号のうち任意の信号を選択し、この選択された信号
をモニタ装置２５に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、共焦点走査型レー
ザ顕微鏡の調整診断方法及びその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１０は共焦点走査型顕微鏡の基本構成
図である。点光源１から出射された点状光は、ハーフミ
ラー２を透過し、収差が補正された対物レンズ３によっ
て試料４の表面に点状結像する。この試料４からの反射
光は、再び対物レンズ３を通過し、ハーフミラー２で反
射して集光する。この集光点には、共焦点用ピンホール
５が配置され、この共焦点用ピンホール５を通過した反
射光が光検出器６によって検出される。

【０００３】ところが、図１０中で破線により示すよう
な対物レンズ３の焦点位置から外れた点からの試料４か
らの反射光は、共焦点用ピンホール５を通過することが
できず、光検出器６により検出されない。これにより、
対物レンズ３の合焦位置のみでしか試料４の表面の画像
を得ることができないものとなり、このような性質を利
用して試料４の高さ情報を得ることができる。

【０００４】図１１はかかる基本構成を用いた共焦点走
査型レーザ顕微鏡の構成図である。共焦点走査型レーザ
顕微鏡本体（以下、顕微鏡本体と省略する）１０には、
レーザ光源１１が備えられ、このレーザ光源１１から出
力されたレーザ光がミラー１２で反射し、ハーフミラー
１３を透過して２次元走査機構１４に送られる。

【０００５】この２次元走査機構１４は、レーザ光を試
料４の表面の測定領域全体に渡って例えばラスタ走査に
より２次元走査するもので、例えばＸ軸走査用のガルバ
ノミラーとＹ軸走査用のガルバノミラーとを有し、レー
ザ光をＸＹ方向に振るものとなっている。この２次元走
査機構１４により走査されたレーザ光は、レボルバ１５
に装着された対物レンズ１６を通って点状光（スポット
光）としてステージ１７上の試料４に照射される。

【０００６】なお、レボルバ１５は、それぞれ倍率の異
なる複数の対物レンズ１６を装着保持するもので、これ
ら対物レンズ１６のうち所望の倍率の対物レンズ１６を
顕微鏡の観察光路中に位置設定し、かつＺ軸移動機構１
８によって光軸方向（上下方向）に移動可能となってい
る。

【０００７】試料４からの反射光は、再び対物レンズ１
６から２次元走査機構１４を通ってハーフミラー１３で
反射され、結像レンズ１９により集光され、共焦点用ピ
ンホール２０を通過して光検出器２１により検出され
る。

【０００８】このうちハーフミラー１３は、２次元走査
機構１４に対するレーザ光源１１の出射光路上に設けら
れ、２次元走査機構１４を介して得られる試料４からの
反射光を検出系に導くもので、半透明鏡となっている。
又、共焦点用ピンホール２０は、ピンホール板に所要の
径のピンホール孔を開けたもので、光検出器２１の受光
面の前面における結像レンズ１９の焦点位置に配置され
ている。光検出器２１は、共焦点用ピンホール２０を通
って受光される反射光量に応じた電気信号に変換するも
のである。

【０００９】一方、コンピュータ２２の内部には、制御
回路２３と画像入力回路２４とがある。制御回路２３
は、コンピュータ２２に対して図示しない入力手段によ
ってオペレータから操作入力された命令に対してその処
理を適切に実行するように制御するもので、例えば２次
元走査機構１４に走査制御信号を送出すると共に、Ｚ軸
移動機構１８に上下移動制御信号を送出するものとなっ
ている。

【００１０】画像入力回路２４は、光検出器２１からの
電気信号を入力すると共に、２次元走査機構１４からの
２次元走査に同期したタイミング信号を受け取るものと
なっている。

【００１１】従って、コンピュータ２２は、光検出器２
１からの電気信号をタイミング信号に基づいて２次元画
像データ化し、その２次元画像をモニタ装置２５に表示
する。このモニタ表示により試料４の表面情報が得られ
る。

【００１２】又、コンピュータ２２は、２次元走査機構
１４を走査制御してレーザ光を試料４に対して２次元走
査させると共に、Ｚ軸移動機構１８を制御してレボルバ
１５を光軸方向に移動制御させ、このときの２次元画像
データにおける各画素が最大輝度を示すそれぞれの合焦
位置を記憶することで、試料４の高さ情報を得るものと
なっている。

【００１３】このような一連の動作は、コンピュータ２
２によって制御回路２３と画像入力回路２４とを統合し
て制御することによって実現されるもので、モニタ装置
２５には、試料４の画像の他に共焦点走査型レーザ顕微
鏡の制御画面も表示され、オペレータはこのモニタ表示
を通じて当該顕微鏡を扱うものとなる。

【００１４】ところで、以上のような共焦点走査型レー
ザ顕微鏡は、近年、測定精度の向上やデータ取得の高速
化など高性能化が進み、技術的にも複雑化している。

【００１５】ところが、技術的に複雑化した顕微鏡にな
ってくると、万一、市場での故障や工場での組み立て時
にトラブルが発生した場合、顕微鏡の状態把握や復帰を
早期に行なうことが困難になってくる。このようなトラ
ブルが発生した場合、最終的にユーザに迷惑が掛かるこ
とになるため、そのトラブルに対応する技術者には高度
で幅広い技術知識が要求されるが、その技術者要員を確
保することやその要員を養成することも容易でない。技
術的な習熟や、トラブル発生などの現象とその原因との
対応を突き止めるには、その技術者に経験が必要であ
り、故障部位の特定やその解析、必要に応じて電子部品
等の交換、調整を行なうのに長時間を要してしまう。
又、トラブルに対処するための作業に使用するための測
定器は、市場において携帯できるものに限界があり、特
殊な解析装置なども使用不可能であることが多い。

【００１６】このような問題に対処するために例えば特
開平１１−１２５４６３号公報及び特開平６−１４２１
９１号公報には、専用の計測装置を装置に接続し、内部
のプログラムを使って診断を行なうことが開示されてい
たり、又は特開平６−１５２５６１号公報及び特公平７
−１０５８５７号公報には、試験装置を不要とし、自己
診断、自動調整機能を装置に持たせたことが開示されて
いる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記特
開平１１−１２５４６３号公報及び特開平６−１４２１
９１号公報に開示されている技術では、技術者の負担の
軽減を図る工夫はされているものの診断される本体装置
に加えて別途診断装置が必要である。

【００１８】又、特開平６−１５２５６１号公報及び特
公平７−１０５８５７号公報に開示されている技術で
は、上記診断装置を不要としているが、その反面、疑似
信号発生部や各機能専用の高度な評価回路などを多く搭
載しなければならず、コスト高である。又、基本信号の
サンプリング系に診断のための接続回路が挿入されてい
るので、大切な信号の品質を本来よりも劣化させてしま
うおそれがある。それよりも、これら技術に言えること
は、高度な診断機能のそれ自体の開発が必要となってし
まう。

【００１９】そこで本発明は、顕微鏡本体の基本機能を
そのまま利用して不具合の発生時における状態把握や復
帰を早期に行なうことができ、顕微鏡本体の動作確認や
調整作業を確実にかつ容易にできる共焦点走査型レーザ
顕微鏡の調整診断方法及びその装置を提供することを目
的とする。

【００２０】

【課題を解決するための手段】第１の本発明は、少なく
とも、試料に対してレーザ光を走査するための機能と、
前記試料に対して前記レーザ光の焦点位置を可変するた
めの機能と、前記試料からの反射光、蛍光又は透過光を
検出するための機能と、この機能による検出で得られた
検出信号を処理して前記試料の３次元情報を取得するた
めの機能とを備えた顕微鏡本体にあって、前記各機能間
に送られる各信号のうち任意の信号を選択し、この選択
された前記信号をモニタ表示して前記顕微鏡本体の調
整、診断を行なうことを特徴とする共焦点走査型レーザ
顕微鏡の調整診断方法である。

【００２１】第２の本発明は、上記第１の発明の共焦点
走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法において、前記選択
された信号の波形変化及びコントラスト変化をモニタ表
示することを特徴とする。

【００２２】第３の本発明は、上記第１の本発明の共焦
点走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法において、前記各
機能間に送られる各信号のうち複数の信号を選択し、こ
れら選択された複数の信号を同一画面上にモニタ表示す
ることを特徴とする。

【００２３】第４の本発明は、少なくとも、試料に対し
てレーザ光を走査するための機能と、前記試料に対して
前記レーザ光の焦点位置を可変するための機能と、前記
試料からの反射光、蛍光又は透過光を検出するための機
能と、この機能による検出で得られた検出信号を処理し
て前記試料の３次元情報を取得するための機能とを備え
た顕微鏡本体に、前記各機能間に送られる各信号のうち
任意の信号を選択する選択手段と、この選択手段により
選択された前記信号を前記顕微鏡本体の調整、診断を行
なうためにモニタ表示する表示手段とを具備したことを
特徴とする共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置で
ある。

【００２４】第５の本発明は、上記第４の発明の共焦点
走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置において、少なくと
も、前記試料に対して前記レーザ光を走査しかつ前記試
料に対して前記レーザ光の焦点位置を可変し、前記試料
からの反射光、蛍光又は透過光を検出して前記試料の３
次元情報を取得するための前記共焦点走査型レーザ顕微
鏡を制御するアプリケーションソフトウエアの実行と共
に、前記各機能間に送られる各信号のうち任意の信号を
選択してモニタ表示する機能を有することを特徴とす
る。

【００２５】第６の本発明は、上記第４の本発明の共焦
点走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置において、前記選
択手段によって前記各機能間に送られる各信号のうち複
数の信号を選択し、これら選択された複数の信号を前記
表示手段によって同一画面上にモニタ表示することを特
徴とする。

【００２６】第７の発明は、上記第４の発明の共焦点走
査型レーザ顕微鏡の調整診断装置における前記選択手段
は、前記各機能間に送られる各信号のうち任意の信号を
選択するとき、通常観察時に前記試料からの反射光、蛍
光又は透過光の前記検出信号を処理して前記試料の３次
元情報を取得するための画像入力回路を有効にして前記
任意の信号を入力することを特徴とする。

【００２７】第８の本発明は、上記第４の本発明の共焦
点走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置において、前記選
択手段は、前記共焦点走査型レーザ顕微鏡を動作制御す
るための制御ウィンドウに前記任意の信号を選択するた
めの選択ボタンを表示し、この選択ボタンに対する操作
を受けたとき前記表示手段は、通常観察時に前記試料の
画像を表示する顕微鏡画像ウィンドウに前記選択ボタン
により選択された前記信号をモニタ表示する機能を有す
ることを特徴とする。

【００２８】第９の本発明は、上記第４乃至６の本発明
のうちいずれか１つの本発明の共焦点走査型レーザ顕微
鏡の調整診断装置において、前記表示手段は、前記選択
された信号の波形変化及びコントラスト変化をモニタ表
示する機能を有することを特徴とする。

【００２９】

【発明の実施の形態】（１）以下、本発明の第１の実施
の形態について図面を参照して説明する。なお、図１０
と同一部分には同一符号を付してその詳しい説明は省略
する。

【００３０】図１は共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診
断装置の構成図である。顕微鏡本体１０には、顕微鏡入
出力回路３０が設けられ、この顕微鏡入出力回路３０に
対して２次元走査駆動制御回路３１、Ｚ軸移動機構１８
及び光検出器２１が接続されている。なお、２次元走査
駆動制御回路３１は、制御回路２３から出力された走査
制御信号を顕微鏡入出力回路３０を通して受けて２次元
走査機構１４を駆動制御する機能を有している。

【００３１】この顕微鏡入出力回路３０は、顕微鏡本体
１０の信号入出力の窓口にあたるもので、コンピュータ
２２からの各種制御信号を２次元走査駆動制御回路３
１、Ｚ軸移動機構１８、その他の図示しない顕微鏡内部
機能に送る中継としての機能を有すると共に、光検出器
２１から出力された電気信号を、２次元走査駆動制御回
路３１からのタイミング信号と共にコンピュータ２２に
送る機能を有している。

【００３２】コンピュータ２２は、上記同様に、制御回
路２３と画像入力回路２４とを有し、このうち制御回路
２３は、コンピュータ２２に対して図示しない入力手段
によってオペレータから操作入力された命令の処理を適
切に実行し、例えば２次元走査機構１４に走査制御信号
を送出すると共に、Ｚ軸移動機構１８に上下移動制御信
号を送出する。又、画像入力回路２４は、光検出器２１
からの電気信号を入力すると共に、２次元走査機構１４
からの２次元走査に同期したタイミング信号を受け取
る。コンピュータ２２は、光検出器２１からの電気信号
をタイミング信号に基づいて２次元画像データ化し、そ
の２次元画像をモニタ装置２５に表示する機能を有して
いると共に、さらに２次元走査機構１４を走査制御して
レーザ光を試料４に対して２次元走査させると共に、Ｚ
軸動機構１８を制御してレボルバ１５を光軸方向に移動
制御させ、このときの２次元画像データにおける各画素
最大輝度を示すそれぞれの合焦位置を記憶することで、
試料４の高さ情報を得る機能を有している。これらコン
ピュータ２２の機能は、当該コンピュータ２２に内蔵さ
れるＣＰＵ３４により共焦点走査型レーザ顕微鏡を制御
するアプリケーションソフトウエアを実行することによ
り得られるものとなっている。

【００３３】又、コンピュータ２２は、ＣＰＵ３４によ
り上記アプリケーションソフトウエアを実行することに
より、モニタ装置２５の表示画面に例えば図２に示すよ
うな制御画面を表示する機能を有している。この制御画
面には、大別して顕微鏡制御ウィンドウＷ_１と顕微鏡画
像ウィンドウＷ_２とプロファイルウィンドウＷ_３とが表
示されている。

【００３４】このうち顕微鏡制御ウィンドウＷ_１には、
共焦点走査型レーザ顕微鏡を操作するための各種制御ボ
タンとして例えば走査開始／停止ボタンＢ_１と、対物レ
ンズ１６を交換するための対物交換ボタンＢ_２と、検出
系（例えば光検出器２１からの電気信号など）の複数の
チャンネル（ｃｈ）を選択するためのｃｈ選択ボタンＢ
_３と、光検出器２１からの電気信号をサンプリングする
ときのサンプリング同期／非同期ボタンＢ_４と、画像の
倍率を連続的に可変するズーム（ＺＯＯＭ）ボタンＢ_５
と、レボルバ１５を光軸方向に上下移動させるためのレ
ボルバ移動ボタンＢ_６、画像の感度を調整するための感
度ボタンＢ_７と、試料４に対する照明光の照度を調整す
るための照明ボタンＢ_８とが表示されている。

【００３５】なお、ズームボタンＢ_５には拡大及び縮小
の各ボタンがあり、レボルバ移動ボタンＢ_６には上昇及
び下降の各ボタンがあり、感度ボタンＢ_７には高と低と
の各ボタンがあり、照明ボタンＢ_８には明と暗との各ボ
タンがある。

【００３６】これらボタンＢ_１〜Ｂ_８は、コンピュータ
２２に接続されている図示しないマウスの例えば左クリ
ックの操作を受けてそのボタンＢ_１〜Ｂ_８に該当する動
作が実行されるようになっている。なお、これらボタン
Ｂ_１〜Ｂ_８の押し操作は、ＣＰＵ３４により確認され
る。

【００３７】顕微鏡画像ウィンドウＷ_２には、顕微鏡本
体１０の光検出器２１によって取得された試料４の表面
の画像が表示されるものとなっている。

【００３８】プロファイルウィンドウＷ_３には、顕微鏡
画像ウィンドウＷ_２内に引かれた画像内ラインＬ上のア
ナログ画像信号の波形が表示されるものとなっている。

【００３９】図３は本発明の調整診断装置における主要
部を示す構成図である。顕微鏡入出力回路３０には、複
数のバッファ３２−１〜３２−ｎと入出力制御回路３３
とが設けられている。

【００４０】複数のバッファ３２−１〜３２−ｎのうち
各バッファ３２−１〜３２−ｋの入力側にはそれぞれ複
数チャンネル（ｃｈ）の各光検出器２１−１〜２１−ｋ
が接続され、各バッファ３２−ｎ−２〜３２−ｎ−１の
入力側にはそれぞれ２次元走査駆動制御回路３１への走
査制御信号線が接続され、バッファ３２−ｎの入力側に
は入出力制御回路３３のディジタル信号線が接続されて
いる。

【００４１】複数チャンネルの光検出器２１としては、
例えば１ｃｈに共焦点ピンホール２０のある共焦点効果
を持った光検出器２１−１が接続され、２ｃｈに共焦点
ピンホール２０の無い光検出器２１−２が接続されてい
る。これら光検出器２１−１、２１−２に限らず、全て
のチャンネルに共焦点ピンホール２０のある共焦点効果
を持った光検出器２１−１〜２１−ｋを接続するように
してもよい。そして、これらバッファ３２−１〜３２−
ｎの出力側は、それぞれコンピュータ２２の画像入力回
路２４に接続されている。

【００４２】入出力制御回路３３は、多チャンネルの図
示しないセレクタが内部に存在する。この入出力制御回
路３３は、ＦＰＧＡ（Fild Programmable Gate Arra
y）などが使用されているので、内部のチャンネル数が
部品数、基板面積などに影響しないので、上記バッファ
３２−ｎに接続されるディジタル信号線には自由に内部
信号を接続することが可能となっている。

【００４３】従って、上記複数のバッファ３２−１〜３
２−ｎは、それぞれ複数チャンネルの光検出器２１−１
〜２１−ｋからの各電気信号を通してコンピュータ２２
に送ると共に、２次元走査駆動制御回路３１に送られる
Ｘ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸用の駆動制御信号、さらに
入出力制御回路３３からのディジタル信号線を通してロ
ジック信号（例えばシャッタを開閉する信号）をコンピ
ュータ２２に送るものとなっている。

【００４４】コンピュータ２２の画像入力回路２４は、
複数チャンネルのバッファ３２−１〜３２−ｎに対応し
て複数チャンネルの各画像入力回路２４−１〜２４−ｎ
が用意されている。これら画像入力回路２４−１〜２４
−ｎは、それぞれ複数チャンネルの光検出器２１−１〜
２１−ｋからの各電気信号、２次元走査駆動制御回路３
１に送られるＸ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸用の駆動制御
信号、入出力制御回路３３からのロジック信号を入力す
るものとなっている。

【００４５】上記コンピュータ２２は、顕微鏡本体１０
の調整、診断を行なうために、上記共焦点走査型レーザ
顕微鏡を制御するアプリケーションソフトウエアの実行
と共に、顕微鏡本体１０における各機能間に送られる各
信号、すなわち各チャンネルの画像入力回路２４−１〜
２４−ｎを通して入力される各チャンネルの光検出器２
１−１〜２１−ｋからの各電気信号、２次元走査駆動制
御回路３１に送られるＸ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸用の
駆動制御信号、又は入出力制御回路３３からのロジック
信号のうち任意の信号を選択し、この選択された信号を
モニタ装置２５に表示する機能を有している。

【００４６】顕微鏡本体１０における各機能間に送られ
る各信号のうち任意の信号を選択する機能は、図４に示
すように顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において、コンピュ
ータ２２に接続されている図示しないマウスを用いてｃ
ｈ選択ボタンＢ３を例えば右クリック操作することによ
り、プルダウンメニューが表示される。このプルダウン
メニューには、複数の選択ボタン、すなわち各チャンネ
ルの光検出器２１−１〜２１−ｋからの各電気信号を選
択するためのメニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋと、２次元走
査駆動制御回路３１に送られるＸ軸用の駆動制御信号、
Ｙ軸用の駆動制御信号を選択するための各メニュースイ
ッチｂ_ｋ１，ｂ_ｋ２と、図示しないが入出力制御回路３
３からのロジック信号を選択するためのメニュースイッ
チ（例えばシャッタへの信号を選択）ｂ_ｋｍとが表示さ
れている。

【００４７】従って、これらメニュースイッチｂ_１〜ｂ
_ｋ、…、ｂ_ｋｍのうち任意のメニュースイッチを上記マ
ウスを用いて例えば左クリック操作することにより、任
意の信号が選択されるものとなっている。

【００４８】上記コンピュータ２２のＣＰＵ３４は、メ
ニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ _ｋｍのうち任意のメ
ニュースイッチが選択されると、そのメニュースイッチ
に該当する画像入力回路２４−１〜２４−ｎからの信号
を受け取り、この信号を画像化してモニタ装置２５の顕
微鏡画像ウィンドウＷ_２に表示し、かつこの顕微鏡画像
ウィンドウＷ_２内に引かれた画像内ラインＬ上のアナロ
グ画像信号の波形をプロファイルウィンドウＷ_３に表示
する機能を有している。

【００４９】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００５０】共焦点走査型レーザ顕微鏡を制御するアプ
リケーションソフトウェアが起動されると、コンピュー
タ２２から制御回路２３を通して入出力制御回路３３に
各設定情報が送られる。そして、コンピュータ２２は、
例えば制御回路２３から入出力制御回路３３を通して、
２次元走査駆動制御回路３１にＸ軸用の駆動制御信号、
Ｙ軸用の駆動制御信号を送出すると共に、Ｚ軸移動制御
回路１８ａに上下移動制御信号を送出し、かつモニタ装
置２５の表示画面に例えば図２に示すような顕微鏡制御
ウィンドウＷ_１と顕微鏡画像ウィンドウＷ_２とプロファ
イルウィンドウＷ_３とからなる制御画面を表示する。

【００５１】このような状態にレーザ光源１１から出力
されたレーザ光は、ミラー１２で反射され、ハーフミラ
ー１３を透過して２次元走査機構１４に送られる。この
２次元走査機構１４は、例えばＸ軸走査用のガルバノミ
ラーとＹ軸走査用のガルバノミラーとをそれぞれ駆動
し、レーザ光を試料４の表面の測定領域全体に渡って例
えばラスタ走査により２次元走査する。

【００５２】この２次元走査機構１４により走査された
レーザ光は、レボルバ１５に装着された対物レンズ１６
を通って点状光（スポット光）としてステージ１７上の
試料４に照射される。

【００５３】この試料４からの反射光は、再び対物レン
ズ１６から２次元走査機構１４を通ってハーフミラー１
３で反射され、結像レンズ１９により集光され、共焦点
用ピンホール２０を通過して光検出器２１により検出さ
れる。この光検出器２１は、共焦点用ピンホール２０を
通って受光される反射光量に応じた電気信号に変換す
る。

【００５４】ここで、通常の試料４の観察時には、図３
に示す顕微鏡入出力回路３０におけるチャンネルｃｈ１
のバッファ３２−１が選択されると共に、コンピュータ
２２におけるチャンネルｃｈ１に対応した画像入力回路
２４−１が選択されている。

【００５５】これにより、コンピュータ２２は、画像入
力回路２４−１から光検出器２１からの電気信号を入力
すると共に、入出力制御回路３３からの２次元走査に同
期したタイミング信号を受け取り、光検出器２１からの
電気信号をタイミング信号に基づいて２次元画像データ
化し、その２次元画像をモニタ装置２５の顕微鏡画像ウ
ィンドウＷ_２に表示する。

【００５６】又、コンピュータ２２は、２次元走査機構
１４を走査制御してレーザ光を試料４に対して２次元走
査させると共に、Ｚ軸移動機構１８を制御してレボルバ
１５を光軸方向に移動制御させ、このときの２次元画像
データにおける各画素最大輝度を示すそれぞれの合焦位
置を記憶することで、試料４の高さ情報を得る。

【００５７】このような動作を行なっている共焦点走査
型レーザ顕微鏡において、例えば２次元走査駆動制御回
路３１に送出されるＸ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸用の駆
動制御信号の各波形をモニタする場合について説明す
る。

【００５８】図４に示すように顕微鏡制御ウィンドウＷ
_１において、コンピュータ２２に接続されている図示し
ないマウスを用いてｃｈ選択ボタンＢ_３を例えば右クリ
ック操作すると、このｃｈ選択ボタンＢ_３に複数のメニ
ュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍからなるプルダウ
ンメニューが表示される。

【００５９】これらメニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、
ｂ_ｋｍのうち任意のメニュースイッチ、例えばＸ軸用の
駆動制御信号に該当するメニュースイッチｂ_ｋ１が上記
マウスを用いて例えば左クリック操作により選択される
と、上記コンピュータ２２のＣＰＵ３４は、その選択さ
れたメニュースイッチｂ_ｋ１に該当する画像入力回路２
４−ｎ−２からの入力を有効にする。

【００６０】次に、顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において
走査開始／停止スイッチＢ_１が上記マウスを用いて例え
ば左クリック操作により押されると、コンピュータ２２
は、画像を取り込もうとして、制御回路２３を通して２
次元走査機構１４のＸ軸走査用のガルバノミラーとＹ軸
走査用のガルバノミラーとをそれぞれ駆動するために２
次元走査駆動制御回路３１にＸ軸用の駆動制御信号及び
Ｙ軸用の駆動制御信号を送出する。これと共に画像入力
回路２４は、サンプリングを開始する。

【００６１】このとき、画像入力回路２４において有効
になっているのは、光検出器２１−１からの電気信号を
入力する画像入力回路２４−１ではなく、Ｘ軸用の駆動
制御信号を入力する画像入力回路２４−ｎ−２になって
いる。

【００６２】従って、コンピュータ２２は、画像入力回
路２４−ｎ−２から入力されるＸ軸用の駆動制御信号を
受け取り、このＸ軸用の駆動制御信号を画像化してモニ
タ装置２５の顕微鏡画像ウィンドウＷ_２に表示する。

【００６３】これと共に、モニタ装置２５におけるプロ
ファイルウィンドウＷ_３が有効であれば、コンピュータ
２２は、顕微鏡画像ウィンドウＷ_２内に引かれた画像内
ラインＬ上のアナログ画像信号の波形をプロファイルウ
ィンドウＷ_３に表示する。

【００６４】図５はモニタ装置２５に表示されるＸ軸用
の駆動制御信号とその画像内ラインＬ上のアナログ画像
信号の波形を示す。すなわち、顕微鏡画像ウィンドウＷ
_２には、鋸歯状波で駆動される波形が画像表示されてお
り、顕微鏡画像ウィンドウＷ _２の左側が暗く、右側が明
るいグラデーション模様として表示される。又、プロフ
ァイルウィンドウＷ_３には、Ｘ軸用の駆動制御信号の波
形がアナログ信号で確認できる。

【００６５】さらに、共焦点走査型レーザ顕微鏡のアプ
リケーションソフトウェアの解析機能や保存機能を利用
すれば、プロファイルウィンドウＷ_３に表示されている
Ｘ軸用の駆動制御信号の波形の直線性（画像の歪みに対
応する）などを調べることができ、かつその状態をデー
タとして保存しておくことが任意に自由にできる。つま
り、専用の信号解析プログラムを開発せずに、既存の機
能を流用してＸ軸用の駆動制御信号の確認、評価、保存
などができる。

【００６６】上記同様に、図４に示すように顕微鏡制御
ウィンドウＷ_１において、コンピュータ２２に接続され
ている上記マウスを用いてｃｈ選択ボタンＢ_３を例えば
右クリック操作して複数のメニュースイッチｂ_１〜
ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍからなるプルダウンメニューを表示
し、これらメニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍの
うちＹ軸用の駆動制御信号に該当するメニュースイッチ
ｂ_ｋ２を上記マウスを用いて例えば左クリック操作によ
り選択すると、上記コンピュータ２２のＣＰＵ３４は、
その選択されたメニュースイッチｂ_ｋ１に該当する画像
入力回路２４−ｎ−１からの入力を有効にする。

【００６７】次に、顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において
走査開始／停止スイッチＢ_１が上記マウスを用いて例え
ば左クリック操作により押されると、コンピュータ２２
は、画像入力回路２４−ｎ−１から入力されるＹ軸用の
駆動制御信号を受け取り、このＹ軸用の駆動制御信号を
画像化してモニタ装置２５の顕微鏡画像ウィンドウＷ _２
に表示する。これと共に、コンピュータ２２は、顕微鏡
画像ウィンドウＷ_２内に引かれた画像内ラインＬ上のア
ナログ画像信号の波形をプロファイルウィンドウＷ_３に
表示する。

【００６８】図６はモニタ装置２５に表示されるＹ軸用
の駆動制御信号とその画像内ラインＬ上のアナログ画像
信号の波形を示す。すなわち、顕微鏡画像ウィンドウＷ
_２には、鋸歯状波で駆動される波形が画像表示されてお
り、顕微鏡画像ウィンドウＷ _２の上側が暗く、下側が明
るいグラデーション模様として表示される。又、プロフ
ァイルウィンドウＷ_３には、Ｙ軸用の駆動制御信号の波
形がアナログ信号で確認できる。

【００６９】このようなＸ軸又はＹ軸用の駆動制御信号
とその画像内ラインＬ上のアナログ画像信号の波形の確
認時に、図５又は図６に示す制御ウィンドウＷ_１におい
て、ズームボタンＢ_５の拡大又は縮小の各ボタンが上記
マウスにより押し操作されると、コンピュータ２２は、
２次元走査駆動制御回路３１へ送出している鋸歯状波を
拡大又は縮小することにより、鋸歯状波の振幅が変化す
る。この鋸歯状波の振幅の変化により、顕微鏡画像ウィ
ンドウＷ_２上及びプロファイルウィンドウＷ_３上では、
その様子がコントラストの変化やプロファイル波形の変
化として視覚的に伺える。

【００７０】以上説明したＸ軸とＹ軸用との駆動制御信
号は、試料４への２次元走査に同期した信号の確認であ
るので、顕微鏡画像ウィンドウＷ_２において静止した模
様として表示される。

【００７１】次に、試料４への２次元走査とは非同期と
なる信号をモニタする場合について説明する。この非同
期となる信号をモニタする場合は、顕微鏡画像ウィンド
ウＷ _２の表示よりもプロファイルウィンドウＷ_３の表示
の方に意味がある。

【００７２】上記図４に示す顕微鏡制御ウィンドウＷ_１
において、上記マウスを用いてｃｈ選択ボタンＢ_３を例
えば左クリック操作して複数のメニュースイッチｂ_１〜
ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍからなるプルダウンメニューを表示
し、これらメニュースイッチｂ _１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍの
うちシャッタ駆動信号に該当するメニュースイッチｂ_ｋ
ｍを上記マウスを用いて例えば右クリック操作により選
択すると、上記コンピュータ２２のＣＰＵ３４は、その
選択されたメニュースイッチｂ_ｋｍに該当する画像入力
回路２４−ｎからの入力を有効にする。

【００７３】これと共に、コンピュータ２２は、制御回
路２３から入出力制御回路３３に対してコマンドなどで
図示しない当該入出力制御回路３３内部のセレクタによ
ってシャッタ駆動信号を選択し、このシャッタ駆動信号
をバッファ３２−ｎに送出させる。

【００７４】又、これと同時に、非同期信号の場合、上
記図４に示す顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において、上記
マウスを用いてサンプリング同期／非同期ボタンＢ_４を
例えば左クリック操作により選択して非同期に設定する
ことにより、コンピュータ２２は、連続サンプリングと
判断して直ぐに画像入力回路２４−ｎからのシャッタ駆
動信号を入力する。

【００７５】そして、シャッタ開閉は走査開始・停止に
付随した機能であるので、顕微鏡制御ウィンドウＷ_１に
おいて走査開始／停止スイッチＢ_１が上記マウスを用い
て例えば左クリック操作により押されると、コンピュー
タ２２は、画像入力回路２４−ｎから入力されるシャッ
タ駆動信号を受け取り、このシャッタ駆動信号を画像化
してモニタ装置２５の顕微鏡画像ウィンドウＷ_２に表示
する。これと共に、コンピュータ２２は、顕微鏡画像ウ
ィンドウＷ_２内に引かれた画像内ラインＬ上のアナログ
画像信号の波形をプロファイルウィンドウＷ_３に表示す
る。

【００７６】このうちプロファイルウィンドウＷ_３に
は、シャッタ駆動信号によりシャッタを開閉する信号の
レベルがハイレベル（Ｈレベル）又はローレベル（Ｌレ
ベル）に切り替わる波形が表示され、その様子が確認で
きる。なお、顕微鏡画像ウィンドウＷ_２には、一様な白
／黒の画面がシャッタ開閉に合せて交互に表示される。

【００７７】共焦点走査型レーザ顕微鏡内の信号のモニ
タは、上記信号に限らず、プルダウンメニューのメニュ
ースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍを選択することによ
り他の信号をモニタすることもできる。

【００７８】例えば、レボルバ１５を上下移動させるた
めのＺ軸移動制御回路１８への駆動信号（例えばパルス
モータを使用していればその駆動パルス）、レーザ光の
照明強度を可変するＮＤフィルタの駆動信号（例えばパ
ルスモータを使用していればその駆動パルス）、光検出
器２１−１〜２１−ｋの感度調節信号（例えば光検出器
２１−１〜２１−ｋとしてフォトマルチプライヤを使用
した場合には、その高電圧制御信号）などをモニタする
ことができる。

【００７９】次に、顕微鏡本体１０の内部の制御線の確
認と故障部位の判断との対応について説明する。

【００８０】上述したように基本的には、入出力制御回
路３３と各機能（複数チャンネルの各光検出器２１−１
〜２１−ｋ、２次元走査駆動制御回路３１、入出力制御
回路３３のディジタル信号線、Ｚ軸移動制御回路１８
ａ、シャッタなど）との間に送られる信号をモニタする
ので、信号自体に異常が認められれば、その信号を出力
する回路に問題があることになり、信号自体に異常が見
られないのに最終動作が異常であれば、各機能部に問題
があることになる。

【００８１】例えば、上記図５及び図６に示すＸ軸とＹ
軸用との駆動制御信号のモニタ画面を観察して、これら
駆動制御信号の確認と故障部位の判断とについて説明す
ると、このモニタ画面においてＸ軸とＹ軸用との駆動制
御信号の波形は表示されているのに、実際のＸ軸走査用
のガルバノミラーとＹ軸走査用のガルバノミラーとが振
れていない場合がある。なお、これらガルバノミラーの
振れは、レーザ光が２次元走査されるので、外部から見
て分る。この場合、２次元走査駆動制御回路３１又はＸ
軸、Ｙ軸走査用のガルバノミラー自体が故障したと判断
できる。

【００８２】又、モニタ画面にシャッタ駆動信号を表示
させた場合、このモニタ画面にシャッタ駆動信号が表示
されているのに、実際のシャッタが開かない場合があ
る。なお、シャッタは、その開閉音やレーザ射出で分
る。この場合、シャッタドライバ又はシャッタ自体が故
障したものと判断できる。

【００８３】さらに、モニタ装置２５に表示されるＸ軸
及びＹ軸用の駆動制御信号、シャッタ駆動信号、レボル
バ１５を上下移動させるための駆動信号、レーザ光の照
明強度を可変するＮＤフィルタの駆動信号、光検出器２
１−１〜２１−ｋの感度調節信号などに対する正常なと
きの標準画像のサンプルを予め作成し、モニタ装置２５
にモニタ表示された画像とサンプルの画像とを比較する
ことにより、これら信号の異常も判断できる。

【００８４】このように上記第１の実施の形態において
は、光検出器２１−１〜２１−ｋからの各電気信号を入
力する画像入力回路２４−１〜２４−ｎでのサンプリン
グを利用して、顕微鏡本体１０における各機能間に送ら
れる各信号、例えば各チャンネルの画像入力回路２４−
１〜２４−ｎを通して入力される各チャンネルの光検出
器２１−１〜２１−ｋからの各電気信号、２次元走査駆
動制御回路３１に送られるＸ軸用の駆動制御信号、Ｙ軸
用の駆動制御信号、又は入出力制御回路３３からのロジ
ック信号のうち任意の信号を選択し、この選択された信
号をモニタ装置２５に表示するので、顕微鏡本体の基本
機能をそのまま利用して不具合の発生時における状態把
握や復帰を早期に行なうことができ、顕微鏡本体１０の
動作確認や調整作業を確実にかつ容易にできる。

【００８５】すなわち、共焦点走査型レーザ顕微鏡を制
御するアプリケーションソフトウェアに用意されている
一連の機能を用いて各種信号をモニタでき、専用の信号
解析プログラムを開発する必要が無く、既存の機能を殆
どそのまま流用して確認、評価、保存などができる。こ
れと共に技術者への様々な負担も軽減することが可能と
なる。

【００８６】例えば、技術的に複雑化した顕微鏡であれ
ば、万一、市場での故障や工場での組み立て時にトラブ
ルが発生した場合、そのトラブルに対応する技術者には
高度で幅広い技術知識が要求されるが、本発明装置であ
れば、例えばモニタ画面にＸ軸の駆動制御信号の波形が
表示されているのに、実際のＸ軸走査用のガルバノミラ
ーが振れていなければ、２次元走査駆動制御回路３１又
はＸ軸、Ｙ軸走査用のガルバノミラー自体が故障したと
容易に判断でき、技術者に対して高度で幅広い技術知識
を要求することもなく故障原因などを判断できる。

【００８７】なお、上記第１の実施の形態では、Ｘ軸及
びＹ軸用の駆動制御信号、シャッタ駆動信号について説
明したが、言うまでもなく他の顕微鏡本体１０内部の各
種信号をモニタして確認、評価、保存などを行なっても
よい。

【００８８】又、非同期信号の確認時には、波形を停止
させて観察することはできないが、表示側でオシロスコ
ープのトリガ機能のように、あるポイントを基準に表示
させるようにしてもよい。

【００８９】（２）次に、本発明の第２の実施の形態に
ついて図面を参照して説明する。なお、共焦点走査型レ
ーザ顕微鏡の調整診断装置の全体構成は図１と同一であ
り、かつ図３と同一部分には同一符号を付してその詳し
い説明は省略する。

【００９０】図７は共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診
断装置の主要部を示す構成図である。２次元走査駆動制
御回路３１からのＸ軸走査用のガルバノミラーのＸ位置
信号とＹ軸走査用のガルバノミラーのＹ位置信号とは、
それぞれバッファ３２−ｎ−２、３２−ｎ−１に送られ
ている。

【００９１】上記コンピュータ２２は、顕微鏡本体１０
の調整、診断を行なうために、上記共焦点走査型レーザ
顕微鏡を制御するアプリケーションソフトウエアの実行
と共に、顕微鏡本体１０における各機能間に送られる各
信号、すなわち各チャンネルの画像入力回路２４−１〜
２４−ｎを通して入力される各チャンネルの光検出器２
１−１〜２１−ｋからの各電気信号、２次元走査駆動制
御回路３１から得られるＸ軸用の位置信号、Ｙ軸用の位
置信号、又は入出力制御回路３３からのロジック信号の
うち任意の複数の信号を選択し、これら選択された複数
の信号をモニタ装置２５に表示する機能を有している。

【００９２】この任意の複数の信号を選択する機能は、
図８に示すように顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において、
コンピュータ２２に接続されている図示しないマウスを
用いてｃｈ選択ボタンＢ_３を例えば右クリック操作する
ことにより、プルダウンメニューを表示し、このプルダ
ウンメニューにおける複数のメニュースイッチｂ_１〜ｂ
_ｋ、…、ｂ_ｋｍのうち任意の複数、例えば２つのメニュ
ースイッチを上記マウスを用いて例えば左クリック操作
することにより、任意の複数の信号が選択されるものと
なっている。

【００９３】上記コンピュータ２２のＣＰＵ３４は、メ
ニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ _ｋｍのうち任意の２
つのメニュースイッチが選択されると、これらメニュー
スイッチに該当する２つの画像入力回路２４−１〜２４
−ｎからの各信号を受け取り、これら信号を画像化して
モニタ装置２５の顕微鏡画像ウィンドウＷ_２とプロファ
イルウィンドウＷ_３とにそれぞれ表示する機能を有して
いる。

【００９４】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００９５】共焦点走査型レーザ顕微鏡を制御するアプ
リケーションソフトウェアが起動されると、コンピュー
タ２２から制御回路２３を通して入出力制御回路３３に
各設定情報が送られる。そして、コンピュータ２２は、
例えば制御回路２３から入出力制御回路３３を通して、
２次元走査駆動制御回路３１にＸ軸用の駆動制御信号、
Ｙ軸用の駆動制御信号を送出すると共に、Ｚ軸移動制御
回路１８ａに上下移動制御信号を送出し、かつモニタ装
置２５の表示画面に例えば上記図２に示すような顕微鏡
制御ウィンドウＷ_１と顕微鏡画像ウィンドウＷ_２とプロ
ファイルウィンドウＷ_３とからなる制御画面を表示す
る。

【００９６】この制御画面における顕微鏡制御ウィンド
ウＷ_１において、図８に示すようにコンピュータ２２に
接続されているマウスを用いてｃｈ選択ボタンＢ_３を例
えば右クリック操作すると、このｃｈ選択ボタンＢ_３に
複数のメニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍからな
るプルダウンメニューが表示される。

【００９７】これらメニュースイッチｂ_１〜ｂ_ｋ、…、
ｂ_ｋｍのうち任意の２つのメニュースイッチ、例えば共
焦点効果を持った１ｃｈの光検出器２１−１からの電気
信号とＸ軸用の位置信号とに該当する２つのメニュース
イッチｂ_１、ｂ_ｋ１がそれぞれ上記マウスを用いて例え
ば左クリック操作により選択されると、上記コンピュー
タ２２のＣＰＵ３４は、これら選択された２つのメニュ
ースイッチｂ_１、ｂ_{ｋ １}に該当する２つの各画像入力回
路２４−１、２４−ｎ−２からの入力を有効にする。

【００９８】次に、顕微鏡制御ウィンドウＷ_１において
走査開始／停止スイッチＢ_１が上記マウスを用いて例え
ば左クリック操作により押されると、コンピュータ２２
は、画像を取り込もうとして、制御回路２３を通して２
次元走査機構１４のＸ軸走査用のガルバノミラーとＹ軸
走査用のガルバノミラーとをそれぞれ駆動するために２
次元走査駆動制御回路３１にＸ軸用の駆動制御信号及び
Ｙ軸用の駆動制御信号を送出する。これと共に画像入力
回路２４は、サンプリングを開始する。

【００９９】このとき、画像入力回路２４において有効
になっているのは、光検出器２１−１からの電気信号を
入力する画像入力回路２４−１と、Ｘ軸用の位置信号を
入力する画像入力回路２４−ｎ−２とになる。

【０１００】従って、コンピュータ２２は、画像入力回
路２４−１から入力される光検出器２１−１からの電気
信号を受け取り、この電気信号を画像化してモニタ装置
２５の顕微鏡画像ウィンドウＷ_２に表示する。

【０１０１】これと共に、モニタ装置２５におけるプロ
ファイルウィンドウＷ_３が有効であれば、コンピュータ
２２は、画像入力回路２４−ｎ−２から入力されるＸ軸
用の位置信号を受け取り、このＸ軸用の位置信号を画像
化してモニタ装置２５のプロファイルウィンドウＷ_３に
表示する。

【０１０２】図９はかかるモニタ装置２５での表示を示
すもので、顕微鏡画像ウィンドウＷ _２には１ｃｈの光検
出器２１−１からの電気信号により得られた試料４に対
する共焦点画像が表示され、プロファイルウィンドウＷ
_３には、Ｘ軸用の位置信号の波形がアナログ信号で確認
できる。

【０１０３】従って、モニタ装置２５に表示されている
試料４の共焦点画像を観察しながら、そのときのＸ軸走
査用のガルバノミラーの駆動状態をモニタすることがで
き、このガルバノミラーの調整具合を画像で直ぐに確認
しながらガルバノミラーを調整することができる。

【０１０４】又、顕微鏡画像ウィンドウＷ_２とプロファ
イルウィンドウＷ_３とそれぞれ表示する２つの信号の組
み合わせは、図８に示すプルダウンメニューから任意の
２つのメニュースイッチを選択することにより、例えば
各チャンネルの光検出器２１−１〜２１−ｋからの各電
気信号と、２次元走査駆動制御回路３１から得られるＸ
軸用の位置信号と、Ｙ軸用の位置信号と、入出力制御回
路３３からのロジック信号と、シャッタへの信号とのう
ち任意の２つの信号を自由に切り替えてその組み合わせ
を表示することができる。

【０１０５】又、共焦点走査型レーザ顕微鏡を制御する
アプリケーションソフトウェアの解析機能や保存機能を
利用すれば、プロファイルウィンドウＷ_３に表示されて
いるＸ軸用の位置信号の波形の直線性（画像の歪みに対
応する）などを調べることができ、かつその状態をデー
タとして保存しておくことが任意に自由にできる。つま
り、専用の信号解析プログラムを開発せずに、既存の機
能を流用してＸ軸用の位置信号の確認、評価、保存など
ができる。

【０１０６】このように上記第２の実施の形態において
は、顕微鏡本体１０における各機能間に送られる各信号
のうち任意の複数の信号を選択し、これら選択された複
数の信号をモニタ装置２５に表示するようにしたので、
上記第１の実施の形態と同様の効果を奏することは言う
までもなく、例えば、試料４の共焦点画像を観察しなが
ら、そのときのＸ軸走査用のガルバノミラーの駆動状態
をモニタして、このガルバノミラーの調整具合を確認し
ながら調整することができる。

【０１０７】なお、本発明は、上記第１及び第２の実施
の形態に限定されるものでなく、実施段階ではその要旨
を逸脱しない範囲で種々に変形することが可能である。

【０１０８】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【０１０９】例えば、上記第１及び第２の実施の形態
は、ユーザ側の共焦点走査型レーザ顕微鏡におけるコン
ピュータ２２に対して通信ネットワーク（例えば電話回
線）を介してメーカ側のコンピュータと接続し、このメ
ーカ側のコンピュータにおいて顕微鏡本体１０における
各機能間に送られる各信号のうち任意の信号（複数の信
号）を選択し、これら選択された信号をモニタ表示する
ようにしてもよい。

【０１１０】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、顕
微鏡本体の基本機能をそのまま利用して不具合の発生時
における状態把握や復帰を早期に行なうことができ、顕
微鏡本体の動作確認や調整作業を確実にかつ容易にでき
る共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法及びその装
置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態を示す構成図。

【図２】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態におけるモニタの表示画
面に表示される制御画面を示す図。

【図３】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態における主要部を示す構
成図。

【図４】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態における顕微鏡本体に送
られる任意の信号を選択する機能を説明するための図。

【図５】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態におけるＸ軸用の駆動制
御信号とそのアナログ画像信号の波形を示す図。

【図６】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第１の実施の形態におけるＹ軸用の駆動制
御信号とそのアナログ画像信号の波形を示す図。

【図７】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第２の実施の形態における主要部を示す構
成図。

【図８】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第２の実施の形態における顕微鏡本体に送
られる任意の複数の信号を選択する機能を説明するため
の図。

【図９】本発明に係わる共焦点走査型レーザ顕微鏡の調
整診断装置の第２の実施の形態における２つの信号を同
時に表示した場合を示す図。

【図１０】共焦点走査型顕微鏡の基本構成図。

【図１１】従来の共焦点走査型レーザ顕微鏡の構成図。

【符号の説明】

４：試料 １０：共焦点走査型レーザ顕微鏡本体（顕微鏡本体） １１：レーザ光源 １２：ミラー １３：ハーフミラー １４：２次元走査機構 １５：レボルバ １６：対物レンズ １７：ステージ １８：Ｚ軸移動機構 １９：結像レンズ ２０：共焦点用ピンホール ２１：光検出器 ２２：コンピュータ ２３：制御回路 ２４，２４−１〜２４−ｎ：画像入力回路 ２５：モニタ装置 ３０：顕微鏡入出力回路 ３１：２次元走査駆動制御回路 ３２−１〜３２−ｎ：バッファ ３３：入出力制御回路 ３４：ＣＰＵ Ｗ_１：顕微鏡制御ウィンドウ Ｗ_２：顕微鏡画像ウィンドウ Ｗ_３：プロファイルウィンドウ Ｂ_１：走査開始／停止ボタン Ｂ_２：対物交換ボタン Ｂ_３：ｃｈ選択ボタン Ｂ_４：サンプリング同期／非同期ボタン Ｂ_５：ズーム（ＺＯＯＭ）ボタン Ｂ_６：レボルバ移動ボタン Ｂ_７：感度ボタン Ｂ_８：照明ボタン ｂ_１〜ｂ_ｋ、…、ｂ_ｋｍ：メニュースイッチ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも、試料に対してレーザ光を走
   査するための機能と、前記試料に対して前記レーザ光の
   焦点位置を可変するための機能と、前記試料からの反射
   光、蛍光又は透過光を検出するための機能と、この機能
   による検出で得られた検出信号を処理して前記試料の３
   次元情報を取得するための機能とを備えた顕微鏡本体に
   あって、 前記各機能間に送られる各信号のうち任意の信号を選択
   し、この選択された前記信号をモニタ表示して前記顕微
   鏡本体の調整、診断を行なうことを特徴とする共焦点走
   査型レーザ顕微鏡の調整診断方法。
2. 【請求項２】 前記選択された信号の波形変化及びコン
   トラスト変化をモニタ表示することを特徴とする請求項
   １記載の共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法。
3. 【請求項３】 前記各機能間に送られる各信号のうち複
   数の信号を選択し、これら選択された複数の信号を同一
   画面上にモニタ表示することを特徴とする請求項１記載
   の共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断方法。
4. 【請求項４】 少なくとも、試料に対してレーザ光を走
   査するための機能と、前記試料に対して前記レーザ光の
   焦点位置を可変するための機能と、前記試料からの反射
   光、蛍光又は透過光を検出するための機能と、この機能
   による検出で得られた検出信号を処理して前記試料の３
   次元情報を取得するための機能とを備えた顕微鏡本体
   に、 前記各機能間に送られる各信号のうち任意の信号を選択
   する選択手段と、 この選択手段により選択された前記信号を前記顕微鏡本
   体の調整、診断を行なうためにモニタ表示する表示手段
   と、 を具備したことを特徴とする共焦点走査型レーザ顕微鏡
   の調整診断装置。
5. 【請求項５】 少なくとも、前記試料に対して前記レー
   ザ光を走査しかつ前記試料に対して前記レーザ光の焦点
   位置を可変し、前記試料からの反射光、蛍光又は透過光
   を検出して前記試料の３次元情報を取得するための前記
   共焦点走査型レーザ顕微鏡を制御するアプリケーション
   ソフトウエアの実行と共に、前記各機能間に送られる各
   信号のうち任意の信号を選択してモニタ表示する機能を
   有することを特徴とする請求項４記載の共焦点走査型レ
   ーザ顕微鏡の調整診断装置。
6. 【請求項６】 前記選択手段によって前記各機能間に送
   られる各信号のうち複数の信号を選択し、これら選択さ
   れた複数の信号を前記表示手段によって同一画面上にモ
   ニタ表示することを特徴とする請求項４記載の共焦点走
   査型レーザ顕微鏡の調整診断装置。
7. 【請求項７】 前記選択手段は、前記各機能間に送られ
   る各信号のうち任意の信号を選択するとき、通常観察時
   に前記試料からの反射光、蛍光又は透過光の前記検出信
   号を処理して前記試料の３次元情報を取得するための画
   像入力回路を有効にして前記任意の信号を入力すること
   を特徴とする請求項４記載の共焦点走査型レーザ顕微鏡
   の調整診断装置。
8. 【請求項８】 前記選択手段は、前記共焦点走査型レー
   ザ顕微鏡を動作制御するための制御ウィンドウに前記任
   意の信号を選択するための選択ボタンを表示し、この選
   択ボタンに対する操作を受けたとき前記表示手段は、通
   常観察時に前記試料の画像を表示する顕微鏡画像ウィン
   ドウに前記選択ボタンにより選択された前記信号をモニ
   タ表示する機能を有することを特徴とする請求項４記載
   の共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置。
9. 【請求項９】 前記表示手段は、前記選択された信号の
   波形変化及びコントラスト変化をモニタ表示する機能を
   有することを特徴とする請求項４乃至６のうちいずれか
   １項記載の共焦点走査型レーザ顕微鏡の調整診断装置。