JP2002325469A - 超音波モータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 振動減衰効果の向上、特に低次振動の抑止効
果の向上と、振動を減衰させる弾性体の小型化との両立
を図った超音波モータを提供する。 【解決手段】 超音波モータのロータ１２は、回転軸側
にある出力部１４ａと、ステータの振動部に圧接される
接触部１４ｃと、接触部と出力部を連結する円環状の薄
肉部１４ｂとを備える。薄肉部１４ｂの上面に、弾性変
形により振動を吸収可能な防振ゴム１５が固定されてい
る。防振ゴム１５は、非固定部２２が薄肉部１４ｂから
離間して隙間２０を形成するように、固定部２１を薄肉
部１４ｂに固定してある。固定部２１は、薄肉部１４ｂ
に伝わる振動を薄肉部と共に弾性変形して吸収し減衰さ
せる。非固定部２２は、その振動を、薄肉部１４ｂによ
り拘束されずに弾性変形により吸収して減衰させる。薄
肉部１４ｂにより拘束されずに振動を減衰させる非固定
部２２を設けたので、振動減衰効果が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波モータに関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来の超音波モータとして、例えば、本
願出願人による特願２０００−０２８２０２に開示され
た技術がある。この超音波モータは、圧電素子と、同素
子が駆動されると振動波（進行波或いは定在波）を発生
するステータと、同ステータに圧接される円環状の接触
部（外周部）を有し、同接触部で振動波を受けて回転す
る円環状のロータとを備える。このロータには、前記接
触部と、回転軸に一体回転可能に取り付けられた出力部
（基部）とを連結する円環状の薄肉部が設けられてい
る。この薄肉部の上面に、ゴム系材料よりなる円環状の
弾性樹脂が配置されている。

【０００３】この弾性樹脂は、ロータの出力部側から接
触部側へ、さらにはステータ側へ伝播される不要振動を
減衰させ、同振動がステータで発生する振動波に悪影響
を与えるのを防止するために設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、円環状の弾性樹脂は、その一方の面全体がロー
タの円環状の薄肉部に接着等により固定されている。こ
の場合、弾性樹脂全体が薄肉部と共に伸縮或いは弾性変
形することにより、ロータの出力部側からその接触部側
へ或いはその逆方向へ伝播する振動を吸収して減衰させ
る。このため、弾性樹脂の伸縮或いは弾性変形がその薄
肉部により制限されてしまい、前記振動を充分に減衰さ
せることができない。すなわち、上記従来技術では、振
動減衰効果が小さく、低次振動の抑止効果が低く、振動
波に与える悪影響を充分に防止することができない虞が
ある。

【０００５】また、減衰効果を高くするには弾性体自体
を大きくする必要があるが、この場合、コストが増大し
てしまう。本発明は、このような従来の問題点に着目し
てなされたもので、その目的は、振動減衰効果の向上、
特に低次振動の抑止効果の向上と、振動を減衰させる弾
性体の小型化との両立を図った超音波モータを提供する
ことにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に記載の発明は、圧電素子と、同素子が駆
動されると振動波を発生する円環状の振動体と、同振動
体に圧接される接触部を有し、同接触部で前記振動波を
受けて回転する円環状のロータとを備え、同ロータは、
前記接触部と、回転軸に一体回転可能に取り付けられた
出力部とを連結する円環状の薄肉部を有する超音波モー
タにおいて、前記円環状の薄肉部に、同薄肉部の表面全
体を覆う円環形状を有し、弾性変形により振動を吸収す
る弾性体を、その一部が前記薄肉部との間に隙間を形成
するように固定したことを要旨とする。

【０００７】この構成によれば、ロータの円環状の薄肉
部には、その表面全体をほぼ覆う円環形状を有し、弾性
変形により振動を吸収する弾性体を、その一部が薄肉部
との間に隙間を形成するように固定してある。つまり、
弾性体は、その一部（非固定部）が薄肉部から離間して
前記隙間を形成するように、その一部を除く残りの部分
（固定部）をロータの薄肉部に固定できる形状、例えば
段差のある形状を有している。

【０００８】このため、弾性体の一部（固定部）は、ロ
ータの薄肉部に伝わる振動を、薄肉部と共に伸縮或いは
弾性変形して吸収し減衰させる。また、弾性体の残りの
部分（非固定部）は、その振動を、薄肉部により拘束さ
れずに弾性変形して吸収し減衰させる。こうして、弾性
体に、薄肉部により拘束されずに振動を減衰させること
のできる前記非固定部を設けた分だけ、上記従来技術よ
りも振動減衰効果及び低次振動の抑止効果が共に向上す
る。

【０００９】この結果、ロータの出力部側すなわち回転
軸側から接触部側へ、さらには振動体側へ伝播する振動
が充分に減衰され、振動体側で発生する振動波へ与える
悪影響が小さくなる。これとともに、ロータの接触部側
すなわち振動体側から出力部側へ、さらには回転軸側へ
伝播する振動についても十分に減衰され、回転軸側での
異音等の発生が防止される。

【００１０】また、同じ程度の振動減衰効果を得るの
に、上記従来技術と比べて、弾性体がより小さくなる。
この結果、弾性体の材料が少なくてすみ、これによりコ
ストが低減される。

【００１１】請求項２に係る発明は、請求項１に記載の
超音波モータにおいて、前記弾性体は、前記薄肉部の周
方向全域で固定される厚肉の固定部と、同固定部とは前
記ロータの径方向にずれた位置で、前記薄肉部の周方向
の一部或いは全域で前記隙間を形成するように同薄肉部
から離間した薄肉の非固定部とを有することを要旨とす
る。

【００１２】この構成によれば、弾性体の厚肉の固定部
がロータの薄肉部の周方向全域で固定されるので、ロー
タの接触部に伝わる振動は固定部のいずれかの部分に必
ず伝わる。このため、その振動は、その固定部が薄肉部
と共に伸縮或いは弾性変形することにより確実に吸収さ
れ減衰される。これとともに、弾性体の非固定部は、固
定部とはロータの径方向にずれた位置で、薄肉部の周方
向の一部或いは全域で前記隙間を形成するように同薄肉
部から離間している。このため、固定部で減衰しきれず
に残った振動（低次振動）が、非固定部の振動或いは弾
性変形により減衰されて吸収される。こうして、ロータ
の薄肉部に伝わる振動が、同ロータの径方向にずれた位
置にある弾性体の固定部と非固定部の両方により減衰さ
れるので、振動減衰効果がより一層向上する。

【００１３】請求項３に係る発明は、請求項２に記載の
超音波モータにおいて、前記弾性体は、前記固定部が前
記非固定部より、前記径方向の内側に位置する形状を有
していることを要旨とする。

【００１４】この構成によれば、弾性体の内周側をロー
タの薄肉部に固定することになるので、その固定に接着
剤を使う場合、接着剤の使用量が少なくなり、その分コ
ストが低減される。

【００１５】請求項４に係る発明は、請求項１に記載の
超音波モータにおいて、前記弾性体は、円環状の板と、
同板の一方の面上に、周方向にほぼ等間隔に形成された
円柱状をなす複数の突起部とを有し、これら各突起部の
端面を前記ロータの薄肉部に固定したことを要旨とす
る。

【００１６】この構成によれば、弾性体は、円環状の板
と、その一方の面上に、周方向にほぼ等間隔に形成され
た円柱状をなす複数の突起部とを有し、各突起部の端面
をロータの薄肉部に固定してある。このため、ロータの
薄肉部に伝わる振動は、複数の突起部が薄肉部と共に伸
縮或いは弾性変形することにより確実に吸収され減衰さ
れる。

【００１７】これとともに、円環状の板の、各突起部間
の部分（非固定部）は、ロータの薄肉部から離間してい
る。このため、複数の突起部で減衰しきれずに残った振
動（低次振動）が、板の非固定部の伸縮或いは弾性変形
により減衰されて吸収される。こうして、ロータの薄肉
部に伝わる振動が、弾性体の複数の突起部と板の前記非
固定部との両方により減衰されるので、振動減衰効果が
より一層向上する。

【００１８】請求項５に係る発明は、請求項４に記載の
超音波モータにおいて、前記突起部の数は、前記ロータ
１回転で前記振動体が発生する前記振動波の数の約数と
一致しない値に設定されていることを要旨とする。

【００１９】この構成によれば、突起部の数を、ロータ
１回転で振動体が発生する振動波の数の約数と一致しな
い値に設定する。例えば、ロータ１回転での振動波（進
行波或いは定在波）の数を「９」とすると、ロータが４
０°回転する毎に１つの振動波が発生する。この場合、
弾性体の板に「９」の約数と一致する数（例えば３個）
の突起部を１２０°間隔で設けると、これら３個の突起
部は、１２０°，２４０°及び３６０°の各角度位置
で、振動波の節にそれぞれ一致することになる。このた
め、３個の突起部の各々による振動減衰効果、及び各突
起部間にある前記板の非固定部による振動減衰効果は、
それぞれ得られない。

【００２０】これに対して、振動波の数が「９」の場合
に、弾性体の板にその約数と一致しない数、例えば４５
°間隔で８個の突起部を設けるようにする。この場合、
８個の突起部のいずれも、４０°，８０°，１２０°，
１６０°，２００°，２４０°，２８０°，３２０°及
び３６０°の各角度位置になる振動波の節の部分からず
れる。このため、８個の突起部の各々による振動減衰効
果が得られるとともに、前記板の非固定部による振動減
衰効果も得られる。この結果、ロータの周方向に伝わる
振動についても、複数の突起部とその間にある前記非固
定部とにより十分に減衰される。

【００２１】請求項６に係る発明は、請求項２に記載の
超音波モータにおいて、前記弾性体は、前記径方向の外
側と内側の両方に前記固定部を有するともに、これら両
固定部の間に前記非固定部を有していることを要旨とす
る。

【００２２】この構成によれば、弾性体は、ロータの薄
肉部に伝わる振動を、２つの固定部とその間にある非固
定部の３箇所で減衰させるので、同振動をより一層効果
的に減衰させることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波モータ
を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。

【００２４】[第１の実施形態]第１の実施形態に係る超
音波モータを、図１〜図４に基づいて説明する。本例に
係る超音波モータは、進行波型の超音波モータであり、
図４に示すようにハウジング２を備えている。このハウ
ジング２は基台３とカバー４とで構成され、ハウジング
２内に嵌挿された回転軸５は軸受６，７により回転可能
に支持されている。基台３の上方には振動体としての円
盤状（円環状）のステータ８が配置されており、同ステ
ータ８はネジ９により基台３に固定されている。ステー
タ８の外周側には振動部８ａが形成されている。この振
動部８ａの下面と基台３の上面との間には、ベースリン
グ１０とその下面に固定された圧電素子１１とが挟持さ
れている。

【００２５】ステータ８の上方には、円盤状（円環状）
のロータ１２が配設されている。ロータ１２は、樹脂カ
ラー１３と円盤１４とで構成される。樹脂カラー１３
は、回転軸５の連結部５ａに軸方向に移動可能にかつ一
体回転可能に連結されている。一方、円盤１４は、その
樹脂カラー１３に一体回転可能に連結されている。これ
により、ロータ１２は、回転軸５の連結部５ａに対して
軸方向に移動可能にかつ一体回転可能に連結されてい
る。

【００２６】ロータ１２の円盤１４は、回転軸５側にあ
る出力部１４ａと、ステータ８の振動部８ａに圧接され
る接触部１４ｃと、同接触部１４ｃと出力部１４ａとを
連結する円環状の薄肉部１４ｂとを備えている。

【００２７】薄肉部１４ｂは、円環状の溝の底部であ
る。この薄肉部１４ｂの上面には、弾性変形により振動
を吸収可能な弾性体としての防振ゴム１５が固定されて
いる。接触部１４ｃの下面にはライニング材１６が固定
されている。この接触部１４ｃは、後述する皿バネ１７
の付勢力により、ライニング材１６を介してステータ８
の振動部８ａの上面に圧接されるようになっている。

【００２８】ロータ１２（樹脂カラー１３）の上面には
皿バネ１７が配設され、その皿バネ１７上に加圧プレー
ト１８が配設されている。そして、加圧プレート１８
は、皿バネ１７が加圧プレート１８とロータ１２により
圧縮された状態で、回転軸５（連結部５ａ）に対して回
転不能に、かつサークリップ１９によりそれ以上上動不
能に連結されている。従って、皿バネ１７は、その復元
力によってロータ１２の樹脂カラー１３の上面を押圧し
て、同ロータ１２の接触部１４ｃをライニング材１６を
介してステータ８の振動部８ａに圧接させている。

【００２９】また、超音波モータ１では、図１及び図４
に示すように、ロータ１２の薄肉部１４ｂの上面には、
その上面全体をほぼ覆う円環形状を有する上記防振ゴム
１５が配置されている。この防振ゴム１５は、その一部
が薄肉部１４ｂとの間に隙間２０を形成するように、同
薄肉部１４ｂ上に固定されている。

【００３０】すなわち、防振ゴム１５は、図１〜図３に
示すように、外周側が厚肉の固定部２１となり、内周側
が薄肉の非固定部２２となる段差のある断面形状を有す
る円環形状のものである。また、この防振ゴム１５は、
固定部２１が非固定部２２より、ロータ１２の径方向外
側に位置する形状を有している。このような形状を有す
る防振ゴム１５は、損失係数（損失係数＝ｋ×減衰係
数、ｋは所定の係数）が「０．４５」と高く、振動減衰
効果に優れた高減衰シリコーンで作られている。高減衰
シリコーンの比重は「１．４５」である。そして、防振
ゴム１５の外周側下面が、薄肉部１４ｂを有する円環状
の溝の外周側上面に接着剤２３により接合されている。

【００３１】このように構成された超音波モータ１で
は、圧電素子１１に所定の高周波駆動電圧が印加される
と該圧電素子１１が振動し、この振動がステータ８の振
動部８ａにおいて進行波になる。そして、ロータ１２
は、その進行波振動を振動部８ａで受けて回転軸５と共
に回転し、この回転力が負荷に伝達されるようになって
いる。

【００３２】以上のように構成された第１の実施形態に
よれば、以下の作用効果を奏する。 （イ）ロータ１２の薄肉部１４ｂには、その表面全体を
ほぼ覆う円環形状を有する防振ゴム１５を、薄肉の非固
定部２２が薄肉部１４ｂとの間に隙間２０を形成するよ
うに固定してある。つまり、防振ゴム１５は、非固定部
２２が薄肉部１４ｂから離間して隙間２０を形成するよ
うに、固定部２１を薄肉部１４ｂに固定できる段差のあ
る形状を有している。

【００３３】このため、防振ゴム１５の固定部２１は、
薄肉部１４ｂに伝わる振動を、薄肉部１４ｂと共に伸縮
或いは弾性変形して吸収し減衰させる。また、防振ゴム
１５の非固定部２２は、その振動を、薄肉部１４ｂによ
り拘束されずに振動或いは弾性変形して吸収し減衰させ
る。こうして、防振ゴム１５に、薄肉部１４ｂにより拘
束されずに振動を減衰させることのできる非固定部２２
を設けた分だけ、上記従来技術よりも振動減衰効果及び
低次振動の抑止効果が共に向上する。

【００３４】したがって、ロータ１２の出力部１４ａ側
すなわち回転軸５側から接触部１４ｃ側へ、さらにはス
テータ８側へ伝播する振動が充分に減衰され、ステータ
８側で発生する進行波振動へ与える悪影響を小さくする
ことができる。これとともに、ロータ１２の接触部１４
ｃ側すなわちステータ８側から出力部１４ａ側へ、さら
には回転軸５側へ伝播する振動についても十分に減衰さ
れ、回転軸５側での異音等の発生を防止することができ
る。

【００３５】（ロ）同じ程度の振動減衰効果を得るの
に、上記従来技術と比べて、防振ゴム１５がより小さく
なる。この結果、防振ゴム１５の材料が少なくてすみ、
これによりコストを低減することができる。

【００３６】（ハ）防振ゴム１５の固定部２１が薄肉部
１４ｂの周方向全域で固定されるので、ロータ１２の接
触部１４ｃに伝わる振動は固定部２１のいずれかの部分
に必ず伝わる。このため、その振動は、その固定部２１
が薄肉部１４ｂと共に伸縮或いは弾性変形することによ
り確実に吸収され減衰される。これとともに、防振ゴム
１５の非固定部２２は、固定部２１とはロータ１２の径
方向にずれた位置で、薄肉部１４ｂの周方向全域で隙間
２０を形成するように同薄肉部１４ｂから離間してい
る。このため、固定部２１で減衰しきれずに残った振動
（低次振動）が、非固定部２２の振動或いは弾性変形に
より減衰されて吸収される。こうして、ロータ１２の薄
肉部１４ｂに伝わる振動が、その径方向にずれた位置に
ある防振ゴム１５の固定部２１と非固定部２２の両方に
より減衰されるので、振動減衰効果がより一層向上す
る。

【００３７】[第２の実施形態]次に、第２の実施形態に
係る超音波モータを図５及び図６に基づいて説明する。

【００３８】本例の超音波モータ１では、上記防振ゴム
１５に対応する防振ゴム１５Ａは、厚肉の固定部２１Ａ
が薄肉の非固定部２２Ａより、ロータ１２の径方向の内
側に位置する形状を有している。そして、防振ゴム１５
Ａの内周側下面が、薄肉部１４ｂを有する円環状の溝の
内周側上面に接着剤２３により接合されている。その他
の構成は、上記第１の実施形態と同様である。

【００３９】以上のように構成された第２の実施形態に
よれば、上記作用効果（イ）〜（ハ）に加えて以下の作
用効果を奏する。 （ニ）防振ゴム１５Ａの内周側下面（内周側）が、薄肉
部１４ｂを有する円環状の溝の内周側上面に接着剤２３
により接合されている。このため、上記第１の実施形態
の場合よりも接着剤２３の使用量が少なくなり、その分
コストを低減することができる。

【００４０】[第３の実施形態]次に、第３の実施形態に
係る超音波モータを図７及び図８に基づいて説明する。

【００４１】本例の超音波モータ１では、上記防振ゴム
１５に対応する防振ゴム１５Ｂは、円環状の板２４と、
同板２４の一方の面上に、周方向にほぼ等間隔に形成さ
れた円柱状をなす複数（８個）の突起部２５とを有して
いる。これらの突起部２５の各端面が、ロータ１２の薄
肉部１４ｂに接着等により固定されている。

【００４２】また、突起部２５の数は、ロータ１回転で
ステータ８が発生する進行波（振動波）の数の約数と一
致しない値に設定されている。本例では、ロータ１回転
での進行波の数を「９」とする場合を前提として、突起
部２５は、４５°間隔で８個設けられている。

【００４３】こうして本例の防振ゴム１５Ｂでは、上記
固定部としての８個の突起部２５が４５°間隔で設けら
れているとともに、板２４の、各突起部２５間の部分が
非固定部２４ａとなっている。これら８個（８箇所）の
非固定部２４ａは、ロータ１２の薄肉部１４ｂから離間
して、同薄肉部１４ｂとの間に上記隙間２０を形成して
いる。

【００４４】以上のように構成された第３の実施形態に
よれば、以下の作用効果を奏する。 （ホ）ロータ１２の薄肉部１４ｂに伝わる振動は、防振
ゴム１５Ｂの８個の突起部２５がそれぞれ薄肉部１４ｂ
と共に伸縮或いは弾性変形することにより確実に吸収さ
れ減衰される。これとともに、防振ゴム１５Ｂの８個の
非固定部２４ａは、ロータ１２の薄肉部１４ｂからそれ
ぞれ離間している。このため、８個の突起部２５で減衰
しきれずに残った振動（低次振動）が、８個の非固定部
２４ａの伸縮或いは弾性変形により減衰されて吸収され
る。こうして、ロータ１２の薄肉部１４ｂに伝わる振動
が、防振ゴム１５Ｂの各突起部（固定部）２５と各非固
定部２４ａとの両方により減衰されるので、振動減衰効
果がより一層向上する。

【００４５】（ヘ）突起部２５の数を、ロータ１回転で
ステータ８が発生する進行波の数の約数と一致しない値
に設定してある。本例では、ロータ１回転での進行波の
数を「９」とする場合を前提とし、防振ゴム１５Ｂの板
板２４には、「９」の約数と一致しない数、例えば８個
の突起部２５を４５°間隔で設けてある。

【００４６】この場合、８個の突起部２５のいずれも、
４０°，８０°，１２０°，１６０°，２００°，２４
０°，２８０°，３２０°及び３６０°の各角度位置に
なる進行波の節の部分からずれる。このため、８個の突
起部２５の各々による振動減衰効果が得られるととも
に、板２４の８個の非固定部２４ａによる振動減衰効果
も得られる。この結果、ロータ１２の周方向に伝わる振
動を、複数の突起部２５とその間にある複数の非固定部
２４ａとにより十分に減衰することができる。

【００４７】[第４の実施形態]次に、第４の実施形態に
係る超音波モータを図９及び図１０に基づいて説明す
る。

【００４８】本例の超音波モータ１では、上記防振ゴム
１５に対応する防振ゴム１５Ｃは、前記径方向の外側と
内側の両方に、上記固定部２１に対応する厚肉の固定部
２６，２７を有するともに、両固定部２６，２７の間に
上記非固定部２２に対応する薄肉の非固定部２８を有し
ている。そして、本例では、両固定部２６，２７のう
ち、内周側にある固定部２６の下面が、薄肉部１４ｂを
有する円環状の溝の内周側上面に接着剤２３により接合
されている。

【００４９】以上のように構成された第４の実施形態に
よれば、以下の作用効果を奏する。 （ト）防振ゴム１５Ｃは、ロータ１２に薄肉部１４ｂに
伝わる振動を、２つの固定部２６，２７とその間にある
非固定部２８の３箇所で減衰させるので、同振動をより
一層効果的に減衰させることができる。

【００５０】（チ）両固定部２６，２７のうち、内周側
にある固定部２６の下面のみが、薄肉部１４ｂの内周側
上面に接合されており、外周側にある固定部２７の下面
は薄肉部１４ｂの外周側上面に接合されていない。これ
により、両固定部２６，２７の下面を薄肉部１４ｂの上
面に接合した場合よりも、防振ゴム１５Ｃによる振動減
衰効果がより一層向上する。

【００５１】[変形例]なお、この発明は以下のように変
更して具体化することもできる。 ・本発明は、上記各実施形態で説明した防振ゴム１５，
１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃの形状に限定されない。すなわ
ち、本発明は、円環状の薄肉部１４ｂに、同薄肉部の表
面全体をほぼ覆う円環形状を有し、弾性変形により振動
を吸収する弾性体を、その一部が薄肉部との間に隙間を
形成するように固定される形状を有する弾性体全てに適
用可能である。

【００５２】・上記各実施形態では、防振ゴム１５，１
５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃは、損失係数が「０．４５」と高
く、振動減衰効果に優れた高減衰シリコーンで作られて
いるが本発明はこれに限定されない。防振ゴムは、弾性
変形により振動を吸収可能な弾性体であればよい。例え
ば、防振ゴムを、ＥＰＤＭ（エチレンプロピレンジエン
モノマー：損失係数「０．５８」）や、一般のシリコー
ン（損失係数「０．０７５」）等で作ってもよい。

【００５３】・上記各実施形態では、進行波型の超音波
モータについて説明したが、本発明は定在波型の超音波
モータにも適用できる。 ・本発明は、上記第１の実施形態で示した構成を有する
超音波モータに限定されない。すなわち、本発明は、圧
電素子と、同素子が駆動されると振動波を発生する円環
状の振動体（ステータ）と、同振動体に圧接される接触
部を有し、同接触部で振動波を受けて回転する円環状の
ロータとを備え、同ロータは、接触部と、回転軸に一体
回転可能に取り付けられた出力部とを連結する円環状の
薄肉部を有する超音波モータ全てに適用可能である。

【００５４】・上記第３の実施形態では、上記突起部２
５の数を８個にしてあるが、同突起部の数は、ロータ１
回転でステータ８が発生する進行波の数に応じて適宜設
定可能である。

【００５５】・上記第３の実施形態を定在波型の超音波
モータに適用する場合にも、上記突起部２５の数を、ロ
ータ１回転でステータ８が発生する定在波の数の約数と
一致しない値に設定することにより、同実施形態と同様
の作用効果が得られる。

【００５６】・上記第１，第２及び第４実施形態では、
防振ゴム１５，１５Ａ，１５Ｃの非固定部２２，２２
Ａ，２８はいずれも円環形状を有しているが、本発明は
これに限定されない。例えば、防振ゴムは、前記隙間２
０をそれぞれ形成する複数の非固定部がロータ１２の薄
肉部１４ｂの周方向に沿って非連続的に配置される形状
を有するものであってもよい。すなわち、防振ゴムの非
固定部は、薄肉部１４ｂの周方向の一部で前記隙間２０
を形成するものであってもよい。

【００５７】・上記第４の実施形態では、両固定部２
６，２７のうち、内周側にある固定部２６の下面のみ
を、薄肉部１４ｂの内周側上面に接合してあるが、外周
側にある固定部２７の下面も薄肉部１４ｂの外周側上面
に接合してもよい。

【００５８】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
振動減衰効果の向上、特に低次振動の抑止効果の向上
と、振動を減衰させる弾性体の小型化との両立を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１の実施形態に係る超音波モータのロータ
の一部を示す断面図。

【図２】 図１に示す防振ゴムの一部を示す斜視図。

【図３】 図１に示す超音波モータのロータと防振ゴム
を示す分解斜視図。

【図４】 第１の実施形態に係る超音波モータを示す縦
断面図。

【図５】 第２の実施形態に係る超音波モータのロータ
の一部を示す断面図。

【図６】 図５に示す防振ゴムの一部を示す斜視図。

【図７】 第３の実施形態に係る超音波モータで用いる
防振ゴムの一部を示す斜視図。

【図８】 同防振ゴムの取付状態を示す平面図。

【図９】 第４の実施形態に係る超音波モータで用いる
防振ゴムの一部を示す斜視図。

【図１０】 同実施形態に係る超音波モータのロータの
一部を示す断面図。

【符号の説明】

１…超音波モータ、５…回転軸、８…振動体としてのス
テータ、１１…圧電素子、１２…ロータ、１４ａ…出力
部、１４ｂ…薄肉部、１４ｃ…接触部、１５，１５Ａ，
１５Ｂ，１５Ｃ…弾性体としての防振ゴム、２１，２１
Ａ，２６，２７…固定部、２５…固定部としての突起
部、２２，２２Ａ，２８…非固定部、２４…板、２４ａ
…非固定部。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 圧電素子と、同素子が駆動されると振動
   波を発生する円環状の振動体と、同振動体に圧接される
   接触部を有し、同接触部で前記振動波を受けて回転する
   円環状のロータとを備え、同ロータは、前記接触部と、
   回転軸に一体回転可能に取り付けられた出力部とを連結
   する円環状の薄肉部を有する超音波モータにおいて、 前記円環状の薄肉部に、同薄肉部の表面全体をほぼ覆う
   円環形状を有し、弾性変形により振動を吸収する弾性体
   を、その一部が前記薄肉部との間に隙間を形成するよう
   に固定したことを特徴とする超音波モータ。
2. 【請求項２】 前記弾性体は、前記薄肉部の周方向全域
   で固定される厚肉の固定部と、同固定部とは前記ロータ
   の径方向にずれた位置で、前記薄肉部の周方向の一部或
   いは全域で前記隙間を形成するように同薄肉部から離間
   した薄肉の非固定部とを有することを特徴とする請求項
   １に記載の超音波モータ。
3. 【請求項３】 前記弾性体は、前記固定部が前記非固定
   部より、前記径方向の内側に位置する形状を有している
   ことを特徴とする請求項２に記載の超音波モータ。
4. 【請求項４】 前記弾性体は、円環状の板と、同板の一
   方の面上に、周方向にほぼ等間隔に形成された円柱状を
   なす複数の突起部とを有し、これら各突起部の端面を前
   記ロータの薄肉部に固定したことを特徴とする請求項１
   に記載の超音波モータ。
5. 【請求項５】 前記突起部の数は、前記ロータ１回転で
   前記振動体が発生する前記振動波の数の約数と一致しな
   い値に設定されていることを請求項４に記載の超音波モ
   ータ。
6. 【請求項６】 前記弾性体は、前記径方向の外側と内側
   の両方に前記固定部を有するともに、これら両固定部の
   間に前記非固定部を有していることを特徴とする請求項
   ２に記載の超音波モータ。