JP2002324503A - 画像表示装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス製排気管封止の際に放出され、密封容
器内に滞留する可能性のあった封止時の放出ガスを大幅
に減少させる。 【解決手段】 本発明の画像表示装置は、内部を大気圧
より低い圧力に保持する密封容器６０１と、密封容器６
０１内に設けられた蛍光体１０７と、蛍光体１０７を発
光させる発光機構である表面伝導型電子放出素子と、密
封容器６０１内を大気圧以下の状態に維持するために封
止された封止部位５０１が設けられてなる管状排気管と
を備え、この管状排気管は、封止部位５０１がメッキ処
理された金属からなるとともに、他の部位と異なる厚み
とされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、内部を大気圧より
低い圧力に保持する密封容器内に蛍光体と該蛍光体を発
光させる機構と前記密封容器内を大気圧以下の状態に維
持するため封止された管状排気管の封止部位が金属製で
ある封止排気管を有する画像表示装置及びその製造方法
に関するものであり、詳しくは,平板状画像表示装置を
対象とする。

【０００２】

【従来の技術】従来、自発光型平板状画像表示装置に
は、例えば、プラズマディスプレイ、ＥＬ表示装置、電
子線を用いた平板画像表示装置がある。内部を大気圧よ
り低い圧力に保持する密封容器を使用する画像表示装置
としては、テレビのブラウン管等を代表的にあげる事が
できるが、プラズマディスプレイ、電子線を用いた平板
画像表示装置等も、内部を大気圧より低い圧力に保持す
る密封容器を利用した機器・装置である。

【０００３】これら表示装置について、現在では、大画
面化・高精細化の要求が増大し、益々自発光型平板状の
画像表示装置のニーズが高まりつつある。

【０００４】電子線を用いた自発光型平板状画像表示装
置を構成するには、例えば、フェースプレートとリアプ
レート及び外枠に挟まれ、内部が大気圧より低い圧力に
保持した密封用容器内に、電子ビームを発生する電子源
として表面伝導型電子放出素子を用い、該電子ビームを
加速し蛍光体に照射し発光させ画像表示させる薄型の画
像表示装置が出願されている（特開平２−２９９１３６
号公報参照）。

【０００５】図１は表面伝導型電子放出素子を用いた平
板状画像表示装置の断面の一部を示す。同図において、
１０１はソーダガラスなどの絶縁材で構成されるリアプ
レート、１０２は表面伝導型電子放出素子である。

【０００６】図２（ｂ）に前記表面伝導型電子放出素子
１０２の概略を示す。同図において２０５、２０６は一
定の間隔（２μｍ程度）を隔て設置された電極、２０７
は有機Ｐｄ（ＣＣＰ４２３０奥野製薬株式会社製）を塗
布して形成した導電性薄膜、２０８は電子放出部で、フ
ォーミングと呼ばれる通電処理によって電子を放出する
電子放出部２０８を形成する。

【０００７】ここで、フォーミングとは、素子電極２０
５、２０６間に電圧を印加通電し、局所的に前記導電性
薄膜２０７を破壊、変形もしくは変質せしめ、電気的に
高抵抗な状態にした電子放出部２０８を形成する事であ
る。なお、電子放出部２０８は導電性薄膜２０７の一部
に亀裂が発生しその亀裂付近から電子放出が行われる場
合もある。

【０００８】この他、表面伝導型電子放出素子２００
(図１における１０２に相当)の導電性薄膜２０７として
ＳｎＯ₂膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの[Ｇ.Dittm
er：“Thin Solid Films”，9,317(１９７２)]、Ｉｎ₂
Ｏ₃／ＳｎＯ₂薄膜によるもの[Ｍ．Hartwell and C．G．
Fonstad：“IEEE Trans．ED Conf．”，519(１９７
５)]、カーボン薄膜によるもの[荒木久 他：真空、第２
６巻、第1号、２２頁 (１９８３)]等が報告されてい
る。

【０００９】更に、図１において、１０３は前記表面伝
導型電子放出素子１０２に電気信号を供給するための配
線で、後述する図３に示すような駆動回路部３０６に接
続されるものである。

【００１０】１０５はソーダガラスからなるフェースプ
レート、前記フェースプレート１０５の内側表面にはＡ
l薄膜のメタルバック１０６で覆われた蛍光体１０７を
塗布してある。１０８はフリットガラス、１０９は外枠
であり、前記フェースプレート１０５とリアプレート１
０１を外枠１０９で挟んでフリットガラス１０８を用い
て封着し、大気圧以下に気密可能な密封容器１１２を形
成する。

【００１１】更に、１１０は画像に影響を及ぼさない領
域、例えば、画像表示領域の外側に設置されたゲッタ、
１１１は排気管である。

【００１２】なお、電子源として使用されるものとして
表面伝導型電子放出素子のほか、加熱カソードを用いた
熱電子源、電界放出型電子放出素子(W．P．Dyke&W．W．
Dolan，“Field emission”，Advance in Electron Ph
ysics, 8, 89(1956) や、C．A．Spindt，"Physical pro
perties of thin-film field emission cathodes with
molybdenum cones" ，J．Appl．Phys．,４７,５２４８
(１９７６)等)、金属／絶縁層／金属型電子放出素子
（C.A.Mead“The tunnel-emission amplifier ，J．App
l．Phys．，３２,６４６(１９６１)等）が知られてい
る。

【００１３】上述の構成において、初め排気管１１１に
接続した真空ポンプ(不図示)によって前記密封容器内を
排気する。排気管はできるだけ速く前記密封容器内を排
気するため、内径ができるだけ大きい方が良い。

【００１４】表面伝導型電子放出素子１０２に通電し前
述のフォーミングを行い、加熱脱ガス、ゲッタ１１０を
フラッシュ後、排気管１１１の封止(チップオフ)を行
う。

【００１５】更に、外部駆動回路(図示せず)によって表
面伝導型電子放出素子１０２の素子電極１０４に画像表
示信号である電気信号を供給すると電子放出部(図２
（ｂ）２０８)より電子がビーム状に放出され、該電子
は蛍光体１０７、メタルバック１０６に印加された高電
圧(１〜１０KV)によって加速された蛍光体１０７に衝突
し発光させ、画像を表示させる。

【００１６】従来の密封容器内の圧力を維持するための
封止手段としては、密封容器と一体になった、或いは物
理的に接続された排気管、主にはガラス製の排気管を通
して排気し、密封容器内が大気圧以下の排気状態で該排
気管を加熱し、溶融させ封止した後に切断する手段が用
いられていた。

【００１７】このような封止・切断手段の極めて一般的
な手段は、蛍光灯や白熱電球などの製造方法が知られて
いる。例えば、特開平５−１７４７１０号公報の図３、
図５には、封止用バーナをガラス製排気管の根元両側に
当て、加熱軟化し、圧潰封止、或いは、バーナによる封
止切りを行う事が開示され、特開平６−１６２９９７号
公報の図３〜図８には、封止用バーナをガラス製排気管
の両側から当て、加熱軟化し、溶融させた後、カッター
により所定の位置にスクライブを行い、排気管封止部位
の切断を行う事が開示されている。

【００１８】更には、自発光型平板状画像表示装置の排
気管のチップオフ法として特開平７−５７６３７号公報
には、電気ヒータ加熱によって外径９mm、内径７mmの低
熱膨張率硬質ガラス製の薄肉排気管を封止した実施例が
開示されている。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】通常、ガラス製の排気
管を加熱し軟化・溶融・収縮させる際には、管状排気管
の外径、内径、肉厚、その均一性、使用するガラスの材
質、すなわち硬質ガラス、軟質ガラス等の違いにより、
加熱・軟化・溶融及び切断するための諸条件を設定し、
場合によっては，封止のたびに条件を変更する必要が生
じてしまう事になる。

【００２０】また、前述した特開平７−５７６３７号公
報にも開示されているように、大気圧以下の状態で加熱
・軟化された管状ガラス製排気管は内側に凸状態にな
り、肉溜りと呼ばれる溶融状態を形成しやすく、場合に
よっては微小亀裂（クラック）が発生し、真空リークが
生じてしまう懸念が常に存在する事になる。

【００２１】更には、加熱・軟化・溶融を管状ガラス製
排気管に実施する際には、管状ガラス製排気管のガラス
自体に含まれる構造水等の多くのガス成分が放出され
る。排気管が複数本有り、排気が継続される状態で封止
される最初の排気管から放出されるガス成分は，封止前
の排気管を通じてある程度は排気されるが、ある程度の
時間をおきながら封止を行う必要が生じる。

【００２２】しかしながら、最後に封止される排気管を
封止した際に放出されるガス成分は、排気側に排気され
る一方で、一部、又は排気側へ排気されるのと同量程度
のガス成分を密封容器内にも滞留させてしまう事にな
る。

【００２３】当然、構造水等を主成分とするガス成分が
密封容器内に滞留する事は、極めて低い圧力状態で密封
容器内を保持し、電子を放出する電子源とこれを用いた
画像表示装置にとって好ましい事でない。

【００２４】また、排気管を封止する際の放出ガスを極
力少なくするには、加熱温度を低めに設定したり、加熱
領域を極力少なくしたり、構造水の少ないガラス材質を
選択する事である程度改善する事も可能であるが、軟化
・溶融具合が低下する事により、封止自体の信頼性を低
下させる事になってしまう。

【００２５】一方、密封容器内に封止時の放出ガス種を
吸着する、いわゆるゲッタ部材を配置する事も可能であ
るが、平板状画像表示装置の構成から、密封容器内に配
置するゲッタの構成が複雑になる事は充分推察されるは
ずである。

【００２６】また、ゲッタ材料がその能力を充分に発揮
できるための条件、すなわち、蒸発型であればフラッシ
ュさせ、非蒸発型であればゲッタ部材を通電又は加熱活
性化した状態で、ガラス製の排気管を封止し、更には、
密封容器内の圧力を維持するため、ゲッタ部材の吸着排
気能力発現のための工程が必要になるなど、製造工程自
体が煩雑になる。

【００２７】封止前に吸着排気能力を発現したゲッタ部
材は、封止時に放出される構造水等により初期に劣化し
てしまう事も充分推察されるはずである。

【００２８】一方、排気管封止後にゲッタ部材を活性
化、またはフラッシュさせ、その放出ガス吸着機能を発
現させる場合でも、ゲッタ部材自身からの放出ガスが滞
留し、密封容器内の圧力はゲッタ部材の吸着排気能力に
頼ることになり、密封容器内の構成を複雑にする一因と
なる。

【００２９】仮に、密封容器内の圧力が本来の圧力から
一桁から二桁以上、圧力上昇することになれば、電子源
或いは、画像表示装置としての信頼性・耐久性の低下に
つながる事が容易に推察されるはずである。

【００３０】本発明は、上述従来技術が有する問題点を
鑑みてなされたもので、上述の問題点を改善した、管状
排気管封止部を有する画像表示装置における封止時の放
出ガスが少ない管状排気管の封止方法、これを用いた平
板画像表示装置及びその製造方法を提供する事を目的と
している。

【００３１】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、従来の画
像表示装置における上述の諸問題を解決して、本発明の
目的を達成すべく鋭意検討を重ねた結果、本発明に至っ
たものである。本発明によって提供される画像表示装置
及びその製造方法は以下のものである。

【００３２】本発明の画像表示装置は、内部を大気圧よ
り低い圧力に保持する密封容器と、前記密封容器内に設
けられた蛍光体と、前記蛍光体を発光させる発光機構
と、前記密封容器内を大気圧以下の状態に維持するため
に封止された封止部位が金属からなるとともに、他の部
位と異なる厚みとされてなる少なくとも１本の管状排気
管とを備える。

【００３３】本発明の画像表示装置の製造方法は、内部
を大気圧より低い圧力に保持する密封容器内に蛍光体及
び前記蛍光体を発光させる発光機構とを備えた画像表示
装置の製造方法であって、前記画像表示装置は、前記密
封容器内を大気圧以下の状態に維持するために封止され
た封止部位が金属からなるとともに、他の部位と異なる
厚みとされてなる少なくとも１本の管状排気管備えてお
り、前記管状排気管を通じて前記密封容器内を大気圧以
下の所定圧力となるように排気する第１の工程と、前記
封止部位を圧着して封止し、切り離す第２の工程とを含
む。

【００３４】ここで、前記第２の工程において、前記封
止部位における封止が、所定の圧着手段により前記封止
部位を圧着するとともに切り離し、前記封止部位におけ
る封止を行う事が好ましい。

【００３５】また、前記圧着手段による前記金属製排気
管封止部位の圧着状態は、該圧着手段である油圧式締め
切り装置の稼動締め切り部の位置を検出する事が好まし
い。

【００３６】本発明の一態様では、前記封止部位は、封
止予定部位と前記封止予定部位以外の部位からなり、前
記封止予定部位における厚みが前記封止予定部位以外の
部位の厚みの３０％〜７０％の範囲内の値である。

【００３７】本発明の一態様では、前記封止部位の金属
は、銅或いは銅を含有する合金である。

【００３８】本発明の一態様では、前記封止部位の金属
は、アルミニウム或いはアルミニウムを含有する合金で
ある。本発明の一態様では、前記封止部位の金属は、銀
或いは銀を含有する合金である。

【００３９】本発明の一態様では、前記封止部位の金属
は、タングステン或いはタングステンを含有する合金で
ある。

【００４０】本発明の一態様では、前記封止部位の金属
は、モリブデン或いはモリブデンを含有する合金であ
る。

【００４１】本発明の一態様では、前記メッキ処理は、
亜鉛、金、錫、ニッケル、ロジウム、パラジウム、クロ
ム、カドミウムからなる金属、或いはこれらの金属を１
種類以上含む合金からなるメッキ処理である。

【００４２】本発明の一態様では、前記封止部位の材質
とは異なる材質からなる構成部材は、鉄とニッケルを含
む合金部材である。

【００４３】本発明の一態様では、前記封止部位の材質
とは異なる材質からなる構成部材は、ガラス部材及び鉄
とニッケルを含む合金部材である。

【００４４】本発明の一態様では、前記密封容器がガラ
ス製であり、前記密封容器に接続する前記管状排気管の
接続部材が低融点ガラスである。

【００４５】本発明の一態様では、前記密封容器の熱膨
張係数Ａと前記密封容器に接続する前記管状排気管の接
続部材の熱膨張係数Ｂとの間に、下記式 （熱膨張係数Ａ）×0.95≦（熱膨張係数Ｂ）≦（熱膨張
係数Ａ）×1.10 で示す関係が成立する。

【００４６】本発明の一態様では、前記低融点ガラスの
熱膨張係数Ｃと、前記熱膨張係数Ａ及び前記熱膨張係数
Ｂとの間に、下記式 （熱膨張係数Ａ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
係数Ａ）×1.05 又は、 （熱膨張係数Ｂ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
係数Ｂ）×1.05 で示す関係が成立する。

【００４７】本発明の一態様では、前記封止部位の金属
と、前記金属と異なる金属部材とを銀ロウ付けにより接
続し、前記管状排気管を形成する。

【００４８】

【作用】本発明によれば、排気管封止部が金属であるこ
とから、ガラス製排気管封止部位を封止する際に発生す
るガラス含有構造水などのガスはほとんど放出される事
が無い。

【００４９】密封容器に接続されている排気管が複数本
あり、封止部位が金属製である排気管が一本で、その他
の排気管封止部位がガラス製であっても、本発明による
金属性排気管封止部位を最後に封止することにより、他
のガラス製排気管の封止時に放出されるガスは、金属性
封止部位を持つ排気管より密封容器外へ排気され、排気
管封止時の放出ガスが密封容器内に滞留することによる
弊害を取り除く事が可能になる。

【００５０】封止時の放出ガスがほとんど無いことによ
り、密封容器内に設置される容器内圧力維持のための部
材(ゲッタなど)の配置についても、部材点数を減らす事
が可能となり、複雑な容器内構成を緩和でき、製造コス
トを低くする事が可能となる。

【００５１】ガラス製排気管を封止する際に懸念されて
いた、肉溜まりの発生とこれに付随する微小破壊(クラ
ック)の発生、リークの発生などの懸念を排除でき、封
止工程の信頼性、歩留まりの向上に寄与できる。

【００５２】また、ガラス製排気管の場合に求められる
封止部位の肉厚や、排気管外径等に関する仕様を緩和す
る事が可能になり、その結果、部品コストを低減する事
が可能となる。

【００５３】また、金属製排気管封止部位の封止予定部
位のみが他に比べて薄いので、排気管の強度を保ちなが
らも切断を容易に行うことができ、封止工程の歩留まり
が向上する。

【００５４】また、金属封止部の金属面にメッキ処理が
施されていることから、排気管を密封容器に接合するパ
ネル封着時に該金属表面の酸化が生じ無いため、排気管
封止時に金属酸化物が金属表面から剥がれてパネル内及
び製造装置に飛散することが無く、金属酸化物によるパ
ネル内部の汚染や製造装置の排気装置へのダメージも無
い。

【００５５】更にまた、金属排気管の接続部材を密封容
器の熱膨張係数に近い鉄とニッケルを含む合金又は、鉄
とニッケルを含む合金とガラスにする事で、接続部材を
密封容器に接続する際に、密封容器にクラックが生じる
事が無く、歩留まりが向上する。

【００５６】これらによって、画像表示装置の画像品位
及び信頼性の向上が可能となると同時に、製造装置の稼
働期間が延び、製造歩留まりが向上することで製造コス
トを下げることが可能となる。

【００５７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した好適な実
施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。

【００５８】図４は、本発明における金属製排気管封止
部位を封止する工程を示している。図４（ａ）では、画
像表示装置としての密封容器１１２と、密封容器内を大
気圧以下に排気するための排気管１１１と、内面がメッ
キ処理された金属性排気管封止部位４０１と、排気系装
置(不図示)と排気管１１１を接続している接続部４０３
と、金属製排気管封止部位４０１を圧着封止するための
装置(ピンチャーと呼ばれる油圧式締切り装置、以後ピン
チャーと呼ぶ)４０２と、ピンチャー４０２の稼動締め
切り部４０４(ビットと呼ばれる部位、以後、ビットと呼
ぶ)に油圧による圧力を与えるための油圧装置４０５が
示されている。なお、ビット４０４は固定された固定側
ビット４０４ａと稼動する稼動側ビット４０４ｂから構
成されている。

【００５９】図４(ａ)では、密封容器１１２内を大気圧
以下の状態に排気管１１１を通じて大気圧以下に排気し
つつ、ピンチャーを封止予定部、すなわち、固定側ビット
４０４ａを金属製排気管の封止部位４０１の端面に接触
させ、稼動側ビットを金属製排気管の封止部位４０１の
端面から離してセッティングしているところを示してい
る。

【００６０】図４（ｂ）では、油圧装置４０５からの圧
力で,稼動側ビット４０４ｂが動き始め、排気管１１１の
外径以下に、排気管形状を変形させ始めているところを
示している。

【００６１】図４(ｃ)では、更に稼動側ビット４０４ｂ
が動き、排気管１１１の肉厚以下にまで排気管形状を変
形させ、圧着封止状態へ進んでいる事を示している。

【００６２】図４(ｄ)では、稼動側ビット４０４ｂと固
定側ビット４０４ａに挟まれて加わった圧力により、排
気管１１１が圧着され、封じ切られる。そして、密封容
器側と排気系側とに離れると共に、稼動側ビット４０４
ｂが後退し始めているところを示している。

【００６３】図５は、本発明による金属製管状排気管封
止部位を有する排気管構成の一例を示したものである。
図５において、金属製管状排気管５００は円筒形状の排
気管であり、該金属製管状排気管５００の表面はメッキ
処理部位５０４で表面処理されており、金属製排気管封
止部位５０１は金属製管状排気管５００の封止予定部位
であり、金属製管状排気管５００の他の部位より薄い事
を示している。

【００６４】更に、密封容器に接続するための接続用部
材５０３と、気密性を保持するための密封性接着剤５０
２を用いて接続した金属製管状排気管５００からなる構
成の排気管を用いることができる。

【００６５】密封性接着剤５０２としては、銀ロウ部材
等を使用する事ができるが、気密性が保持されれば、そ
の他の接着部材であっても構わない。そして、接続用部
材５０３としては、鉄とニッケルを含む合金部材を用い
る事ができる。

【００６６】図６は、図５で示した構成の排気管を密封
容器６０１と排気系装置(不図示)に接続する一例を示
し、密封容器６０１とは接続用部材５０３を低融点ガラ
ス６０３で接続し、排気系機構（装置）とは金属製管状
排気管５００を排気管接続部６０４のＯ‐リング６０６
を用いて接続している一例を示している。

【００６７】図６に示す密封容器６０１と接続用部材５
０３との接続方法の一例としては、密封容器６０１を封
着する際に図５に示す排気管の接続用部材５０３を低融
点ガラス６０３で同時に接続することで、排気管の接合
した密封容器６０１を作製する。

【００６８】更に、図６に示すように、Ｏ−リング６０
６を用いた排気管接続部６０４で、排気装置側に接続す
る事ができる。

【００６９】図７は、排気装置との接続方法が図６とは
異なる例であり、接続用部材５０５を密封性接着剤５０
６で接着し、該接続用部材５０５を排気系機構側７０３
の接続部７０２とを低融点ガラス７０１を用いて接続し
ている他の例を示している。なお、接続用部材５０３と
接続用部材５０５及び密封性接着剤５０２と密封性接着
剤５０６は同一材質である。

【００７０】図８は、排気管部における個別の放出ガス
測定を行うために、図７に示す密封容器６０１をガラス
基板８０１にし変えて、ガラス基板８０１と排気管から
なる構成を示している。

【００７１】また、図９は、本発明による金属製管状排
気管封止部位を有する排気管構成の他の例を示したもの
である。図９において、金属製管状排気管５００は円筒
形状の排気管であり、該金属製管状排気管５００の表面
はメッキ処理部位５０４で表面処理されており、金属製
排気管封止部位５０１は金属製管状排気管５００の封止
予定部位であり、金属製管状排気管５００の他の部位よ
り薄い事を示している。

【００７２】金属製管状排気管５００は、図９に示すよ
うに、密封容器に対しては密封容器側接続用部材１１０
１を用い、接続用部材５０３とは気密性を保持するため
に低融点ガラス６０３を使用して接続し、また金属製管
状排気管５００とは密封性接着剤５０２を使用して接続
された構成の排気管を好適に用いることができる。

【００７３】密封性接着剤５０２としては、銀ロウ部材
等を使用する事ができるが、気密性が保持されれば、そ
の他の接着部材であっても構わない。そして、接続用部
材５０３としては、鉄とニッケルを含む合金部材を用い
る事ができる。また、低融点ガラス６０３にはフリット
ガラスが好適に用いられるが、密封性接着剤５０２と同
様に、機密性が保持さればその他の接着剤であっても構
わない。

【００７４】図１０は、図９で示した構成の排気管が、
密封容器６０１と低融点ガラス６０３で接続され、排気
系装置とは金属製管状排気管５００を排気管接続部６０
４のＯ‐リング６０６を用いて接続している一例を示し
ている。

【００７５】図１０に示す密封容器６０１と接続用部材
５０３との接続方法の一例としては、以下のような方法
を用いて行うことができる。

【００７６】密封容器６０１を封着する際に図９に示す
密封容器側接続用部材９０１を低融点ガラス６０３で同
時に接続することで、密封容器側接続用部材１１０１の
接合した密封容器６０１を作製する。

【００７７】その一方で、接続用部材５０３をあらかじ
め金属製管状排気管５００に密封性接着剤５０２を用い
て接続した排気管部材を準備しておく。

【００７８】排気系装置に接続する前に、前述した密封
容器側接続用部材９０１と接続用部材５０３を密封性接
着剤５０２を用いて接続し、図１０に示すような密封容
器に接続された排気管構成を作製する。

【００７９】更に、図１０に示すように、O-リング６０
６を用いた排気管接続部６０４で、排気装置側に接続す
る事ができる。

【００８０】図１１は、排気装置との接続方法が図１０
の例とは異なる例であり、接続用部材５０５を密封性接
着剤５０６で接着し、更に排気系側接続用部材１１０１
を低融点ガラス１１０２で接続し、該排気系側接続用部
材１１０１を排気系機構側７０３の接続部７０２とを低
融点ガラス７０１を用いて接続している他の例を示して
いる。なお、接続用部材５０３と接続用部材５０５及び
密封性接着剤５０２と密封性接着剤５０６、密封容器側
接続用部材９０１と排気系側接続用部材１１０１は同一
材質である。

【００８１】図１２は、排気管部における個別の放出ガ
ス測定を行うために、図１１に示す密封容器をガラス基
板８０１に変えて、ガラス基板８０１と排気管からなる
構成にした一例を示している。

【００８２】図１３は図１に示す画像表示装置を図４に
示す工程で圧着封止する際に用いた製造装置の一例を示
す。ビット４０４の位置を位置検出器１３０２を用いて
排気管封止部位の圧着状態を検知し、制御装置１３０１
で油圧装置４０５を制御する製造装置を示す。

【００８３】図１は、本発明における画像表示装置とし
ての密封容器の構成を示す概略図の一例である。図１に
おいて、１０１はリアプレート、１０５は透明なガラス
基板であるフェースプレート、１０７はフェースプレー
ト１０５の内側に塗布された蛍光体、１０６は蛍光体１
０７の表面に施されたメタルバック、１０９は外枠、１
０８は低融点ガラスとしてのフリットガラス、１１０は
密封容器内の圧力維持のために設置されたゲッタであ
る。

【００８４】図２（ａ）は、リアプレート１０１上に設
置された表面伝導型電子放出素子、及び、同電子源を駆
動するための配線などの一部を示した概略図である。同
図において、２００は複数ある内の一つの表面伝導型電
子放出素子、２０２は上配線、２０１は下配線、２０３
は上配線２０２と下配線２０１を電気的に絶縁する層間
絶縁膜、２０４は配線パッドを示している。

【００８５】図２（ｂ）は表面伝導型電子放出素子２０
０の構造を拡大して示した概略図である。同図におい
て、２０５、２０６は素子電極、２０７は導電性薄膜、
２０８は電子放出部である。

【００８６】図３は画像表示装置のブロック図を示した
一例である。同図において、３０８は画像表示装置、３
０２は表示装置本体としての平板状表示パネル、３０１
は平板状表示パネル内における画像表示部、３０４，３
０５は素子電極（図２（ｂ）における２０５，２０６）
に電圧を印加するための変調信号側Ｘｎ(図２（ａ）に
おける下配線２０１)配線と、走査信号側Ｙｎ（図２
（ａ）における上配線２０２）配線を表し、３０６は変
調信号側Ｘｎ配線と、走査信号側Ｙｎ配線を駆動するた
めの駆動回路部を表し、高圧印加装置３０７は、前述の
フェースプレートに電子を衝突させるため、フェースプ
レート側に高電圧を印加するための装置を示している。

【００８７】まず、表面伝導型電子放出素子を用いた平
板型画像表示装置例について述べる。図１の構成におい
て、リアプレート１０１としてソーダガラス、ホウケイ
酸ガラス、石英ガラス、SiO₂を表面に形成したガラス基
板及び、アルミナ等のセラミック基板等の絶縁性基板が
用いられ、フェースプレート１０５としては透明なソー
ダガラス等のガラス基板が用いられる。

【００８８】表面伝導型電子放出素子１０２(図２
（ａ）における２００)の素子電極１０４(図２（ｂ）に
おける２０５，２０６)の材料としては、一般的導電体
が用いられ、例えば、Ni，Cr，Au，Mo，W，Pt，Ti，A
l，Cu，Pd等の金属或いは合金、及び、Pd，Ag，Au，RuO
₂，Pd−Ag等の金属或いは金属酸化物とガラス等から構
成される印刷導体、In₂O₃−SnO₂等の透明導電体、及
び、ポリシリコンなどの半導体材料等から適宜選択され
る。

【００８９】素子電極の作製法は真空蒸着法、スパッタ
法、化学気相堆積法等を用いる事で上記電極材料を成膜
でき、フォトリソグラフィ技術(エッチング、リフトオ
フなどの加工技術も含む)等によって所望の形状に加工
するか、その他の印刷法によっても作製可能である。要
するに、前記の素子電極材料の形状を所望の形状に形成
できればよく、特に製法は問わない。

【００９０】図２（ｂ）に示す素子電極間隔Ｌは好まし
くは数百ｎｍから数百μｍである。再現性良く作製する
事が要求されるため、より好ましい素子電極間Ｌは数μ
ｍから数十μｍである。

【００９１】素子電極長さＷは電極の抵抗値、電子放出
特性等から数μｍから数百μｍが好ましく、また、素子
電極２０５、２０６の膜厚は数十ｎｍから数μｍが好ま
しい。

【００９２】なお、図２（ｂ）に示した構成だけでな
く、リアプレート１０１上に導電性薄膜２０７、素子電
極２０５、２０６の電極の順に形成させた構成にしても
よい。

【００９３】導電性薄膜２０７は良好な電子放出特性を
得るためには、微粒子で構成された微粒子膜が特に好ま
しく、その膜厚は、素子電極２０５、２０６へのステッ
プカバレージ、素子電極２０５、２０６間の抵抗値及
び、後述する通電フォーミング条件などによって設定さ
れるが、好ましくは0.1ｎｍから数百ｎｍで、特に好ま
しくは１ｎｍから５０ｎｍである。

【００９４】その抵抗値は、Rsが10²〜10⁷Ω/□の値で
ある。なおRs は、厚さがt、幅がw、長さがlの薄膜の抵
抗Rを、R=Rs(l/w)とおいたときに現れる量である。ま
た、導電性薄膜２０７を構成する材料は、Ｐｄ,Ｐｔ,Ｒ
ｕ,Ａｇ,Ａｕ,Ｔｉ,Ｉｎ,Ｃｕ,Ｃｒ,Ｆｅ,Ｚｎ,Ｓｎ,Ｔ
ａ,Ｗ,Ｐｂ等の金属、ＰｂＯ,ＳｎＯ₂,Ｉｎ₂Ｏ₃,Ｐｂ
Ｏ,Ｓｂ₂Ｏ₃等の酸化物、ＨｆＢ₂,ＺｒＢ₂,ＬａＢ₆,Ｃ
ｅＢ₆,ＹＢ₄,ＧｄＢ₄等の硼化物、ＴｉＣ,ＺｒＣ,Ｈｆ
Ｃ,ＴａＣ,ＳｉＣ,ＷＣ等の炭化物、ＴｉＮ,ＺｒＮ,Ｈ
ｆＮ等の窒化物、Ｓｉ,Ｇｅ等の半導体、カーボンなど
を挙げる事ができる。

【００９５】なお、ここで述べる微粒子膜とは、複数の
微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒
子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互い
に隣接、或いは重なり合った状態(島状も含む) の膜を
指しており、微粒子の直径は0.1ｎｍから数百ｎｍであ
り、好ましくは、１ｎｍから２０ｎｍである。

【００９６】導電性薄膜２０７の作製法は素子電極２０
５、２０６を設けたリアプレート１０１に、有機金属溶
液を塗布して乾燥させる事により有機金属薄膜を形成す
る。ここで、有機金属溶液とは、前述の導電性薄膜２０
７を形成する金属を主元素とする有機金属化合物の溶液
の事を言う。

【００９７】その後、有機金属薄膜を加熱焼成処理し、
リフトオフ、エッチング等によりパターニングし、導電
性薄膜２０７を形成する。

【００９８】なお、導電性薄膜２０７を形成として、有
機金属溶液の塗布法により説明したが、これに限るもの
でなく真空蒸着法、スパッタ法、化学気相堆積法、分散
塗布法、ディッピング法、スピンナー法等によって形成
される場合もある。

【００９９】電子放出部２０８は導電性薄膜２０７の一
部に形成された高抵抗の亀裂であり、通電フォーミング
と呼ばれる処理により形成される。通電フォーミング
は、素子電極２０５、２０６間に不図示の電極より通電
を行い、導電性薄膜２０７を局所的に破壊、変形もしく
は変質せしめ、構造を変化形成させるものである。

【０１００】通電時の電圧波形は特にパルス波形が好ま
しく、パルス波高値が一定の電圧パルスを連続的に印加
する場合とパルス波高値を増加させながら、電圧パルス
を印加する場合とがある。

【０１０１】一例として、パルス波高値が一定電圧とし
た場合に付いて説明する。パルス波形は三角波形を用
い、パルス幅を数μsec〜１０msec、パルス間隔を数μs
ec〜１００msec、波高値( 通電フォーミング時のピー
ク電圧 )を表面伝導型電子放出素子２００の形態に応
じて適宜選択し、好ましい大気圧以下の圧力、例えば、
６.６７×１０^-3Pa程度以下の圧力下で、数秒から数十
分印加する。

【０１０２】なお、素子電極２０５、２０６間に印加す
る波形は三角波形に限定する事はなく、矩形波など所望
の波形を用いてもよい。

【０１０３】一方、徐々に波高値を増加させながら電圧
パルスを印加する場合は、三角波の波高値(通電フォー
ミング時のピーク電圧)は、例えば、０.１Vステップ程
度づつ増加させ、適当な圧力下で印加する。

【０１０４】なお、この場合の通電フォーミング処理は
パルス間のある時間、導電性薄膜３０７を局所的に破
壊、変形しない程度の電圧、例えば、０.１V程度の電圧
を印加し、素子電流を測定し、抵抗値を求め、例えば、
１MΩ以上の抵抗を示したときに通電フォーミングを終
了としても良い。

【０１０５】通電フォーミングが終了した素子に、活性
化と呼ぶ処理を施す事が望ましい。活性化処理とは、例
えば、1.33×１０^-2〜１０^-3Pa程度の圧力で、通電フォ
ーミング同様、適当な圧力中に存在する有機物質に起因
する炭素、及び、炭素化合物を導電性薄膜上に堆積させ
素子電流(素子電極２０５、２０６間に流れる電流)、放
出電流(電子放出部２０８より放出される素子電流)を著
しく変化させる処理である。

【０１０６】活性化処理は素子電流と放出電流を測定し
ながら、例えば、放出電流が飽和した時点で終了する。

【０１０７】印加する電圧パルスは画像表示時の動作駆
動電圧化、それよりも大きな電圧で行う事が好ましい。
形成された亀裂内には、０.１ｎｍから数十ｎｍの粒径
の導電性微粒子を有する事もある。導電性微粒子は導電
性薄膜２０７を構成する物質の少なくとも一部の元素を
含んでいる。また、電子放出部２０８及び、その近傍の
導電性薄膜２０７は炭素及び、炭素化合物を有する事も
ある。

【０１０８】なお、表面伝導型電子放出素子２００とし
てリアプレート１０１の面上に平面状に表面伝導型電子
放出素子２００を形成した平面型の他、リアプレート１
０１に垂直な面上に形成した垂直型でもよく、更には、
熱カソードを用いた熱電子源、電界放出型電子放出素子
等、要するに電子放出素子を用いた平板型画像表示装置
を例にするならば、電子を放出する素子であれば、特に
制限はされない。

【０１０９】次に、表面伝導型電子放出素子２００の配
列、及び、同素子に画像表示用の電気(電力)信号を供給
する配線に付いて説明する。

【０１１０】配線の例としてそれぞれ直交した二つの配
線(Y：上配線２０２、及び、X：下配線２０１、これを
単純マトリクス配線と呼ぶ)を用いる事ができ、表面型
電子放出素子２００の素子電極２０５、２０６のそれぞ
れに、上配線２０２からは配線パッド２０４を通して、
下配線２０１からは直接電気的に接続する。

【０１１１】上配線２０２、配線パッド２０４、及び、
下配線２０１はスクリーン印刷法、オフセット印刷法な
どの印刷法によって複数作製する。

【０１１２】使用する導電性ペーストは、Ａｇ,Ａｕ,Ｐ
ｄ,Ｐｔ等の貴金属、Ｃｕ,Ｎｉ等の卑金属の単独、ない
しは、これらを任意に組み合わせた金属を含み、印刷機
で配線パターンを印刷後、５００℃以上の温度で焼成す
る。形成された上下印刷配線などの厚さは、数μｍ 〜
数百μｍ程度である。

【０１１３】更に、少なくとも上下配線２０２と下配線
２０１が重なるところには、ガラスペーストを印刷、焼
成(５００℃以上)した厚さ数〜数百μｍ程度の層間絶縁
膜２０３を挟み、電気的な絶縁をとる。

【０１１４】Y方向の上配線２０２の端部は表面伝導型
電子放出素子２００のY側の行を入力信号に応じて走査
するための画像表示信号である走査信号を印加するた
め、図３に示すように、走査側電極駆動手段としての駆
動回路部３０６と電気的に接続されることになる。

【０１１５】一方、X方向の下配線の端部は、表面伝導
型電子放出素子２００の列の各列を入力信号に応じて変
調するための画像表示信号である変調信号を印加するた
め、図３に示すように、変調信号駆動手段としての駆動
回路部３０６と電気的に接続されることになる。また、
リアプレート１０１には真空排気するための穴が設けら
れている。

【０１１６】フェースプレート１０５の内側に塗布され
た蛍光体１０７はモノクロームの場合は単一の蛍光体の
みからなるが、カラー画像を表示する場合、赤、緑、青
の三原色を発光する蛍光体とブラックストライプ或い
は、ブラックマトリックスを境界にして画素を形成する
必要がある。

【０１１７】作製法としては蛍光体スラリーを用いたフ
ォトリソグラフィー法、或いは印刷法があり、所望の大
きさの画素にパターニングし、それぞれの色の蛍光体を
形成する。

【０１１８】更に、高分子膜のフィルミングによりアル
ミニウム等の金属薄膜を成膜し、作製したメタルバック
１０６を蛍光体１０７の表面に塗布する。メタルバック
１０６には高電圧を印加するため、図３に示すように、
高圧印加装置と３０７と電気的に接続されることにな
る。

【０１１９】フェースプレート１０５には、更に導電性
を高めるため蛍光体１０７とフェースプレート１０５の
間に透明導電薄膜を設けてもよい。

【０１２０】外枠１０９の材質としてフェースプレート
１０５、又はリアプレート１０１と同材質、或いはそれ
らとほぼ同程度の熱膨張率を持つガラス、セラミック
ス、又は、金属などを使用する事ができる。

【０１２１】更に、外枠１０９にはゲッタ１１０を設置
する。或いは、外枠以外の支持部材を密封容器内部に設
置し、これにゲッタを設置することもできる。

【０１２２】リアプレート１０１、外枠１０９、フェー
スプレート１０５の順に挟み、フリットガラス１０８を
フェースプレート１０５、リアプレート１０１と外枠１
０９が接する部分に塗布し、また、リアプレート１０１
の穴にリアプレート１０１と下記に示す関係式からなる
熱膨張係数を持つ排気管１１１を設置し、接続部にフリ
ットガラス１０８を塗布し、電気炉などで加熱し封着す
る。

【０１２３】リアプレートの熱膨張係数をＡ、排気管の
接続部材の熱膨張係数をＢ、フリットガラスの熱膨張係
数をＣとすると、 Ａ×0.95≦Ｂ≦Ａ×1.10、Ａ×0.75≦Ｃ≦Ａ×1.05、Ｂ
×0.75≦Ｃ≦Ｂ×1.0 の関係式が成り立つ。

【０１２４】本発明においては、図５に示すような構成
の排気管を初め作製しておいて、排気管１１１として密
封容器の封着を行う際に同時に接合する事により、本発
明で述べる密封容器を得る事ができる。

【０１２５】図５に示すような構成の排気管を作製する
方法は、まず金属製管状排気管５００を旋盤などで研削
し、金属製排気管封止部位５０１を作製する。研削する
量は、排気管としての強度を保持しながらピンチャーで
切断し易くなる量が良く、金属製管状排気管５００の厚
みの３０％から７０％の研削量が適宜用いられる。

【０１２６】次に、研削された金属製管状排気管５００
をメッキ処理する。メッキは金属性管状排気管５００の
表面が熱による酸化で金属酸化物の形成を防止するため
に行い、金属製管状排気管５００の表面にメッキ処理部
位５０４が形成されていれば良い。

【０１２７】メッキ処理を行う方法としては、電解メッ
キ、無電解メッキ、合金メッキ、複合メッキ、レイデン
ト、アルマイト処理等々から適宜選択することができ
る。メッキ処理により形成されるメッキ処理部位５０４
の厚みは１μｍ〜１０００μｍから適宜選択され、好ま
しくは５μｍ〜２００μｍが適宜用いられる。

【０１２８】次に、接続用部材５０３を密封性接着剤５
０２で接着して排気管１１１を作製する。また、他の排
気管構成例として図９に示すように、接続用部材５０３
に密封容器側接続用部材９０１を低融点ガラス９０２で
接着した構成の排気管１１１を用いることもできる。

【０１２９】なお、密封容器側接続用部材９０１は予め
密封容器６０１に接着しておいて、その後接続用部材５
０３の接着された排気管と接続しても良いし、密封容器
側接続用部材９０１を接着した排気管１１１を密封容器
に接続しても良い。

【０１３０】外枠１０９の材質は、フェースプレート１
０５又はリアプレート１０１と同材質、或いはそれらと
ほぼ同程度の熱膨張率を持つガラス、セラミックス又は
金属などを使用する。

【０１３１】更に、外枠１０９にはゲッタ１１０を設置
する。そして、フリットガラス１０８をフェースプレー
ト１０５及びリアプレート１０１と外枠１０９が接する
部分に塗布し、リアプレート１０１、外枠１０９、フェ
ースプレート１０５を接触させる。

【０１３２】また、リアプレート１０１には、穴（図示
せず）が設けられており、そこに、リアプレート１０１
と排気管１１１を設置し、その接続部にもフリットガラ
ス１０８を塗布し、電気炉などで加熱し封着する。

【０１３３】なお、カラー表示の画像表示装置の場合は
表面伝導型電子放出素子１０２と蛍光体１０７の画素
(不図示)を一対一に対応させるため、フェースプレート
１０５とリアプレート１０１の位置合わせを行い封着す
る。

【０１３４】以上の工程により、リアプレート１０１、
外枠１０９、フェースプレート１０５で囲まれる空間
は、大気圧以下の圧力に密封維持可能な容器が形成され
る。排気管１１１の端部には排気系につながったアダプ
タ（図６及び図１０における,排気管接続部６０４、図
７及び図１１における排気系機構側の接続部７０２）を
接続し、排気系装置によって前記密封容器内を概ね１.
３３×１０^-3Ｐａ程度以下の圧力まで減圧排気する。

【０１３５】更に、前述の通電フォーミング、すなわち
素子電極１０４（図２（ｂ）における２０５、２０６）
にフォーミング用電気信号を印加し、通電処理を行い、
更には活性化処理を行う。

【０１３６】次に、前記密封容器内を前記排気系装置に
よって減圧排気しながら前記密封容器全体を加熱脱ガス
する。

【０１３７】次に、ゲッタ１１０を外部より高周波加熱
し、Ｂａを主成分とするゲッタ材をフラッシュする。

【０１３８】次に、図４に示すように排気管１１１のチ
ップオフ工程について説明する。まず、図４（ａ）に示
すように、ピンチャー４０２の固定側ビット４０４ａが
金属製排気管封止部位４０１の端面の位置になり、稼動
側ビット４０４ｂが金属製排気管封止部位４０１の端面
から離れた位置になるようにセッティングする。

【０１３９】次に、図４（ｂ）に示すように、油圧装置
４０５からの油圧圧力を加えることにより、稼動側ビッ
ト４０４ｂを稼動させ、固定側ビット４０４ａとの間で
排気管１１１の金属製排気管封止部位４０１を潰し、そ
の径を小さくする。

【０１４０】次に、図４（ｃ）に示すように、稼動側ビ
ット４０４ｂで更に金属製排気管封止部位４０１を潰
し、金属製排気管封止部位４０１の肉厚以下にまで排気
管形状を変形させ、圧着封止する。

【０１４１】次に、図４（ｄ）に示すように、圧着封止
終了後、油圧装置４０５からの油圧圧力を停止し、稼動
側ビット４０４ｂを圧着封止された金属製排気管封止部
位４０１から引き離す。

【０１４２】上述した一連の処理により、密封容器は、
画像表示装置となる。上述したように作製した画像表示
装置において、上配線２０２に接続された走査駆動手段
（図３における３０５、３０６）、下配線２０１に接続
された変調駆動手段（図３における３０４、３０６）よ
り、各表面伝導型電子放出素子１０２、２００に画像信
号である走査信号と変調信号を提供する。

【０１４３】それらの差電圧として駆動電圧すなわち電
気信号が印加され、導電性薄膜２０７を電流が流れ、そ
の一部が亀裂である電子放出部２０８より電子が前記電
気信号に従った電子ビームとなって放出され、メタルバ
ック１０６、蛍光体１０７に印加された高電圧(１〜１
０ＫＶ)によって加速され、蛍光体１０７に衝突し蛍光
体を発光させ、画像を表示する。

【０１４４】なお、ここでのメタルバック１０６の目的
は、蛍光体のうち内面側への光をフェースプレート１０
５側へ鏡面反射する事により輝度を向上する事、電子ビ
ーム加速電圧を印加するための電極として作用する事、
前記密封容器内で発生した負イオンの衝突によるダメー
ジからの蛍光体１０７の保護などである。

【０１４５】上述した電子源として表面伝導型電子放出
素子のほか、電界放出型電子放出素子を用いたものや、
単純マトリクス型のほか、電子源から出た電子ビームを
制御電極(グリッド電極配線)を用いて制御し画像を表示
する画像表示装置、プラズマ放電を利用した画像表示装
置などにおいても、本発明の画像表示装置の製造法を応
用する事ができる。

【０１４６】要するに、密封容器に排気管が接続されて
おり、この排気管を用い、密封容器内を大気圧以下に保
持する事を必要とする機器・装置であれば、本発明の金
属製管状排気管封止部位を有する画像表示装置の製造方
法、製造装置、及び画像表示装置は応用ができる。

【０１４７】

【実施例】以下、本発明について、実施例を用いて具体
的に説明する。

【０１４８】（実施例１）図４〜図５、図８、図１４、
図１５を用いて本発明について説明する。厚さ２.８mm
のソーダガラス基板（ＳＬ；日本板ガラス製 熱膨張係
数：８６×１０-7（１/℃））製の容器を準備した。

【０１４９】次に、図５に示すように、金属製管状排気
管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍ
ｍ）長さ１００ｍｍの銅製排気管を使用し、金属製管状
排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍ
に旋盤装置で研削し、金属製排気管封止部位５０１を形
成した。

【０１５０】次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入
れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に
形成した。

【０１５１】次に、接続用部材５０３には外径１０ｍ
ｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金で
あるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を
前記銅製排気管にあわせ、図５に示す構成を保持できる
ように円筒形に加工し、更に、金属製排気管封止部位の
部材と密封性接着剤５０２として銀ロウ部材を使用し、
金属製管状排気管５００に密封性を確保しつつ接続し
た。更に、図８に示すように金属管状排気管５００の排
気系機構７０３側に銀ロウ部材５０６を使用し、接続用
部材５０５を接続しソーダガラス基板に接続する排気管
を作製した。

【０１５２】このようにして準備、作製した排気管に対
してソーダガラス基板８０１と接続するために、フリッ
トガラス６０３（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８
１熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて、４
１０℃、２０分間加熱して固定接続した。ガラス基板端
面から排気管の接続用部材５０３端部まで、約１３５ｍ
ｍであった。

【０１５３】上述のように作製したものにはガラス基板
にクラックや割れ等は全く発生していなかった。この容
器を排気系装置の台(不図示)に固定する。

【０１５４】その後、図８に示すように金属製管状排気
管５００の接続用部材５０５と排気系機構側の接続部７
０２とを、上述したものと同じフリットガラス７０１を
用いて密封接続した。

【０１５５】なお、不図示ではあるが、排気系装置に
は、排気管接続部７０２以降に圧力の観察に用いられる
真空ゲージ（通称 BAゲージ）、排気中のガス種の観
察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられ
る四重極質量分析装置(通称 Q-mass)および、差圧流量
法(通称、オリフィス法又はスループット法)によるガス
放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置
されている。

【０１５６】上記のように排気系装置の台(不図示)上に
セッティングされた銅排気管を通して真空ポンプ等の外
部の排気系装置(不図示)により、圧力が１.３３×１０
^-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェッ
クを行ったがリークは無かった。

【０１５７】次に、前記容器を２５０℃で８時間、加熱
し、構成部材の脱ガスを行った。内部の構成部材表面な
どに付着（吸着）している、水をはじめとするガスの放
出と大気圧力以下の極低圧力を維持するため、密封容器
を排気装置に接続した後、加熱することは有効である。

【０１５８】加熱脱ガス後の排気管内部の雰囲気情報
は、排気系装置側の接続部以降に取り付けられた真空ゲ
ージとQ-mass（四重極質量分析装置）、及び封止直後の
放出ガス観察のためのオリフィス法に必要な圧力計(真
空計)の数値から観察を行った。

【０１５９】容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定
するまで待った後、銅排気管の中心部を（ガラス基板か
ら約６７．５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ
締切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着
し封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に排気
系装置側より容易に切り離れた。

【０１６０】なお、銅排気管の外径などが更に大きくな
った場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置ＡＬ
Ｍ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。

【０１６１】ガラス基板表面から銅排気管を観察する
と、図１５に示すように銅排気管内部に異物等は無くき
れいなことが観察された。

【０１６２】本実施例における封止直後の放出ガス量の
変化を図１４に示す。なお、図１４に記載される『封止
での総放出ガス量』とは、封止直後から1000秒後までの
放出ガス積算量の値である。

【０１６３】（参考例１）実施例１で使用した銅排気管
封止部位を有する排気管構成に替えて、図１７に示すよ
うなガラス製排気管として外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、
長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日
本電気ガラス製）と、ガラス製排気管を加熱溶融するた
めの加熱封止冶具をあらかじめ取り付けておいた容器を
用いた以外は実施例１と同様の処理を行い、加熱脱ガス
までを行った。

【０１６４】その後、容器の温度が室温まで戻り、雰囲
気が安定するまで待った後、加熱封止冶具を用いて、ガ
ラス製排気管を軟化・溶融させ、更に排気系機構側の接
続部７０２を管軸方向の排気系機構７０３側へ移動させ
ることで軟化・溶融したガラス部位を延伸させた。

【０１６５】引き続き、延伸変形した部位をハンドガス
バーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。

【０１６６】なお、ガラス製排気管を加熱し軟化・溶融
した状態で管軸方向の排気装置側に延伸するための機構
は、図１７では不図示となっている。

【０１６７】本参考例における封止直後の放出ガス量の
変化を図１４に示す。 実施例１、参考例１での封止直後の放出ガス変化から明
らかなように、金属製封止部位を封止した場合、放出ガ
スの増大、すなわち圧力の変化が非常に少ない事がわか
る。

【０１６８】また、ガラス製排気管の加熱溶融により封
止処理放出されるガス種は、ガラス内に含有される構造
水が最も多いことも判明した。

【０１６９】画像表示装置としての密封容器が、同様に
ガラス製排気管の加熱溶融による封止を用いた製造方法
で作製された場合、放出された構造水などが、電子放出
する電子源にとって悪影響を及ぼすことは明白である。

【０１７０】これを防ぐには、封止時の放出ガスをすば
やく吸着させる機構・部材の設置や、密封容器内に設置
されたゲッタ部材などが放出ガスを充分に吸着排気する
まで放置しておくしかなく、密封容器内の構成を複雑に
したり、生産タクトの短縮化への障害になることは明ら
かである。

【０１７１】（参考例２）実施例１で銅排気管の封止部
位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、容器
を作製した。銅排気管の中心部を（ガラス基板から約６
５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置
（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を
行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着さ
れて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れな
かった。

【０１７２】圧着封止部が完全に切り離されなかったた
め、別途金属はさみを用いて切り離す必要があった。

【０１７３】（参考例３）実施例１で銅排気管にＮｉ金
属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にして、容器
を作製した。封止後の放出ガス量変化は実施例1と同様
に良好な結果であった。

【０１７４】次に、ガラス基板表面から銅排気管を見る
と、図１５に示すように多数の異物が銅排気管内部に多
数存在しているのが観察された。排気管をガラス基板か
ら引き剥がし、銅排気管内部にある異物を分析したとこ
ろ、銅の酸化物であることが判明した。

【０１７５】（参考例４）実施例１で接続用部材５０３
を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したもの
には、排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、ソ
ーダガラス基板にクラックが生じてしまったものがあっ
た。

【０１７６】実施例１、参考例１〜参考例４の結果より
も明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較し、
金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての封止処
理はガス放出量の方が明らかに少ない。

【０１７７】更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄
くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧
着し封止することができ、封止の歩留まりが高い。

【０１７８】更に、金属排気管をあらかじめメッキ処理
しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことができ、
排気管内に異物の混入が無い。

【０１７９】更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を
密封容器に対して用いることで、排気管接続時にガラス
基板にクラックが生じないので、排気管接続の歩留まり
が高い。

【０１８０】（実施例２）画像表示装置としての密封容
器１１２の作製方法について、図１〜図６を使って説明
する。 リアプレート１０１として厚さ2.8mm、大きさ240mm×32
0mm、フェースプレート１０５として厚さ2.8mm、大きさ
190mm×270mmのソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製熱
膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用いた。

【０１８１】リアプレート1０1には、穴径Φ６.0mmの排
気管用の穴が一箇所開いている。 電子源である表面伝導型電子放出素子１０２の素子電極
１０４は、白金を蒸着法によって成膜し、フォトリソグ
ラフィ技術(エッチング、リフトオフ法等の加工技術を
含む)によって加工し、膜厚１００nｍ、電極間隔L=２μ
ｍ、素子電極長さW＝３００μｍの形状に加工した。

【０１８２】導電性薄膜２０７として有機金属溶液であ
る有機パラジウム(奥野製薬(株)製、ＣＣＰ-４２３０)
含有溶液を塗布した後、３００℃で１０分間の加熱処理
をして、パラジウムを主成分とする微粒子(平均粒径8ｎ
ｍ)からなる微粒子膜を形成し、フォトリソグラフィ技
術(エッチング、リフトオフなどの加工技術を含む)によ
って加工し、２００×１００μmの導電性薄膜２０７と
した。

【０１８３】次に、上配線２０２(１００本)の幅は５０
０μm、厚さ１２μm、下配線２０１(２００本)配線パッ
ド２０４(２００００個)の幅は３００μm、厚さは８μm
であり、それぞれＡｇペーストインキを印刷、焼成し形
成した。

【０１８４】層間絶縁層２０３はガラスペーストを印
刷、焼成(焼成温度５５０℃)し、厚さは２０μmとし
た。

【０１８５】一方、フェースプレート１０５には、蛍光
体１０７として、グリーンの蛍光体(化成オプトニクス
(株)製、Ｐ２２ＧＮ４)を塗布し、更にメタルバック１
０６として厚さ２００nmのアルミニウムを、高分子フィ
ルミングを用いて作製した。

【０１８６】外枠１０９の形状は、厚さ６mm、外形１５
０mm×２３０mm、幅１０mm、材質はソーダガラス(Ｓ
Ｌ；日本板ガラス製 熱膨張係数：８６×１０-7（１/
℃）)を用い、ゲッタ１１０としてバリウムゲッタを取
り付けた。

【０１８７】前記外枠１０９をリアプレート１０１と前
記フェースプレート１０５で挟み、該フェースプレート
１０１、リアプレート１０５と外枠１０９が接する部分
に塗布するフリットガラス１０８として、日本電気ガラ
ス(株)製のＬＳ-３０８１（熱膨張係数：７４×１０-7
（１/℃））を用い、４１０℃、２０分間加熱し固定し
た。

【０１８８】次に、排気管として図５で示す金属製排気
管封止部位５０１を持つ金属製管状排気管５００とし
て、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ１０
０ｍｍの銅製排気管を使用し、旋盤装置により金属製管
状排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍ
ｍに研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。

【０１８９】次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入
れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に
形成した。

【０１９０】次に、接続用部材５０３には外径１０ｍ
ｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金で
あるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を
前記銅製排気管にあわせ、密封性接着剤５０２として銀
ロウ部材を使用し、密封性を確保しながら接続し、ソー
ダガラス基板に接続する排気管を作製した。

【０１９１】このようにして準備、作製した排気管をリ
アプレート１０１の排気用穴に図６で示すような密封容
器側からの管状排気管（密封容器側接続用部材５０５）
として、上述したフリットガラスを用いて４１０℃、２
０分間加熱して固定接続した。リアプレート裏面から排
気管の銅排気管５００端部まで、１１５ｍｍであった。

【０１９２】上述のように作製した、密封容器はクラッ
クや割れ等は全く発生していなかった。この密封容器を
排気系装置の台(不図示)に固定する。

【０１９３】その後、図６に示すように銅製排気管端部
を、Ｏ‐リングを用いた排気装置側接続部６０１に接続
した。

【０１９４】なお、実施例１で前述したように、排気系
装置には排気管接続部以降に圧力の観察に用いられる真
空ゲージ（通称 BAゲージ）、排気中のガス種の観察、
或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四
重極質量分析装置(通称 Q-mass)および、差圧流量法
(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガス
放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置
されている。

【０１９５】上記のように排気系装置の台(不図示)上に
セッティングされた密封容器内を排気管１１１、すなわ
ち本発明においては、銅排気管封止部位を有する排気管
を通して外部の真空排気系(不図示)により、圧力が1.33
×１０^-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リーク
チェックを行ったがリークは無かった。

【０１９６】フォーミングは三角波形(底辺１msec、周
期１０msec、波高値５Ｖ)の電圧パルス６０秒間印加
し、電子放出部２０８を形成し、更に、活性化も行っ
た。

【０１９７】次に前記密封容器全体を２５０℃で８時
間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。密封容器内部
の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじ
めとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持す
るため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱するこ
とは有効である。

【０１９８】次に、ゲッタ部材１１０を外部より高周波
加熱し、Ｂaを主成分とするゲッタ材の蒸着膜を形成さ
せる、ゲッタ処理を行った。 加熱脱ガス、ゲッタ処理後の密封容器内部の圧力と雰囲
気情報は真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）と
で監視を行った。

【０１９９】密封容器が室温まで戻った後、金属製排気
管封止予定部位を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置
（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、封止予定部位を圧着し封
止を行った。圧着封止部分は完全に切り離され、画像表
示装置を作製した。

【０２００】ゲッタ部材蒸着膜に変化は無いことから、
ゲッタ部材の蒸着膜を変化させるガス種の発生が無いこ
とや、密封容器内の圧力が維持されている事がわかる。

【０２０１】なお、金属製排気管の外径などが大きくな
った場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置 Ａ
ＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。

【０２０２】上述の方法で金属性排気管封止部位を封止
した画像表示装置を用い、図３に示すような画像表示手
段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に
蛍光体１０７とメタルバック１０６に５KV印加し発光さ
せ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像
表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像
表示装置が製造できる事を確認した。

【０２０３】（参考例５）実施例２で使用した金属製排
気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１６に示
すような外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍの
ソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス製）
とガラス製排気管の封止冶具を取り付けた以外は、実施
例２と全く同様の方法で,加熱脱ガス、ゲッタ処理まで
を行った。

【０２０４】その後、参考例１と同様の方法で、加熱封
止冶具を用い、ガラス製排気管を軟化・溶融させた後、
排気管接続部を管軸方向の排気装置側へ移動させること
で軟化・溶融したガラス部位を延伸した後、延伸変形し
た部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完
了させた。

【０２０５】封止終了後、ゲッタ部材の蒸着膜を観察し
たところ、排気管近傍の蒸着膜が僅かではあるが、後退
縮小している事が観察された。

【０２０６】これは、ガラス製排気管の加熱溶融封止時
に放出されるガス種による影響と推測された。

【０２０７】このように作製した画像表示装置を実施例
２と同様の方法で表示動作確認をしたところ、実施例２
で作製した画像表示装置と比較して、表示画面が全体的
に少し暗くなっていた。

【０２０８】また、実施例２で作製した画像表示装置と
信頼性を比較するために寿命試験を行ったところ、寿命
が半分程度しかなくガラス製排気管の加熱溶融封止時に
放出されるガス種による影響と推測された。

【０２０９】（参考例６）実施例２で銅排気管の封止部
位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、画像
表示装置を作製した。

【０２１０】銅排気管の中心部（ガラス基板から７５ｍ
ｍの位置）を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置（Ａ
ＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を行っ
た。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着されて
真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れなかっ
たので、金属はさみを用いて排気形装置から切り離す必
要があった。

【０２１１】（参考例７）実施例２で銅排気管の内面に
Ｎｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にし
て、画像表示装置を作製した。この画像表示装置を分解
して調べたところ、図１５に示すような異物がフェース
プレート及びリアプレートの内側に多数付着しており、
分析したところ銅酸化物であることがわかった。

【０２１２】銅排気管を密封容器に接続する際に加熱す
ることで、銅表面に銅酸化物ができ、これが銅排気管を
圧着封止する際に、剥がれ落ちてパネル内に飛散したも
のと推測される。

【０２１３】（参考例８）実施例２で接続用部材５０３
を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したもの
の中には排気管をフリットガラスで加熱接続する際に、
リアプレート１０１にクラックが生じてしまうものがあ
った。

【０２１４】実施例２、参考例５〜参考例８の結果より
も明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較し、
金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての画像表
示装置製造方法の方が、封止工程の信頼性、画像表示装
置製造方法の信頼性が向上する。

【０２１５】更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄
くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧
着し封止することができ、画像表示装置の製造歩留まり
が著しく向上する。

【０２１６】更に、金属排気管をあらかじめメッキ処理
しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことができ、
画像表示装置の画像品位が向上する。

【０２１７】更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を
密封容器に対して用いることで、排気管接続時に密封容
器にクラックが生じないので、画像表示装置の製造歩留
まりが著しく向上する。

【０２１８】（実施例３）実施例２において、図７に示
すＦＮ５０からなる接続用部材５０５を銀ロウ部材５０
６を使用し、密封性を確保しつつ接続した銅排気管を、
更に、接続用部材５０５を排気系機構側の接続部７０２
に低融点ガラス７０１を用いて接続排気した以外は全く
同様にして、画像表示装置を作製した。

【０２１９】実施例２と同様に、図３に示すような画像
表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、
同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５ＫＶ印加
し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均
一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方
法で画像表示装置が製造できることを確認した。

【０２２０】（実施例４）図４、図９、図１２、図１
４、図１５を用いて本発明の他の実施例について説明す
る。

【０２２１】厚さ２.８mmソーダガラス基板801（ＳＬ；
日本板ガラス製 熱膨張係数：８６×１０-7（１/
℃））製の容器を準備した。

【０２２２】外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ３０ｍｍ
のソーダガラス製のガラス排気管（日本板硝子（株）
製；Ｌ２９Ｆ 熱膨張係数：９２×１０-7（１/℃））
を図１２で示すように、ガラス基板８０１側からの管状
排気管（密封容器側接続用部材９０１）として接続する
ため、前述のガラス排気管をフリットガラス６０３（日
本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１ 熱膨張係数：７
４×１０-7（１/℃））を用いて、４１０℃、２０分間
焼成し、ガラス基板８０１に接続した。

【０２２３】次に、図９に示すように、金属製管状排気
管５００として、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍ
ｍ）長さ８０ｍｍの銅製排気管を使用し、金属製管状排
気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍに
旋盤装置で研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成
した。

【０２２４】次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入
れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に
形成した。

【０２２５】次に、接続用部材５０３には外径１０ｍ
ｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金で
あるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を
前記銅製排気管にあわせ、図９に示す構成を保持できる
ように円筒形に加工し、密封性接着剤５０２として銀ロ
ウ部材を使用し、金属製管状排気管５００の密封容器接
続側に密封性を確保しつつ接続した。

【０２２６】次に、図１２に示すように金属製管状排気
管５００の排気系機構７０３側に、同様に接続用部材５
０５を密封性接着剤５０６として銀ロウ部材を用い密封
性を確保しつつ接続した。

【０２２７】その後、排気系機構側の接続用部材５０５
に、外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ３０ｍｍのソーダ
ガラス製のガラス排気管１１０１（日本板ガラス（株）
製；Ｌ２９Ｆ 熱膨張係数：９２×１０-7（１/℃））
を低融点ガラス１１０２として前述のフリットガラスを
用い、ハンドガスバーナ等を用いて溶融塗布し、密封接
続した。

【０２２８】このようにして準備、作製した排気管に対
してソーダガラス基板８０１側の密封容器側接続用部材
９０１と接続するために、フリットガラス９０２（日本
電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８１ 熱膨張係数：７４
×１０-7（１/℃））を用いて、４１０℃、２０分間加
熱して固定接続した。ガラス基板端面から排気管の接続
用部材５０３端部まで、１７０ｍｍであった。

【０２２９】上述のように作製した容器を排気系装置の
台(不図示)に固定する。その後、図１２に示すように金
属製管状排気管５００の排気系側接続用部材１１０１と
排気系機構側の接続部７０２とを、上述したものと同じ
フリットガラス７０１を用いて密封接続した。

【０２３０】なお、不図示ではあるが、排気系装置に
は、排気管接続部７０２以降に圧力の観察に用いられる
真空ゲージ（通称 BAゲージ）、排気中のガス種の観
察、或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられ
る四重極質量分析装置(通称 Q-mass)および、差圧流量
法(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガ
ス放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配
置されている。

【０２３１】上記のように排気系装置の台(不図示)上に
セッティングされた銅排気管を通して真空ポンプ等の外
部の排気系装置(不図示)により、圧力が１.３３×１０
^-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リークチェッ
クを行ったがリークは無かった。

【０２３２】次に、前記封止検討用サンプル全体を２５
０℃で８時間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。内
部の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をは
じめとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持
するため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱する
ことは有効である。

【０２３３】加熱脱ガス後の排気管内部の雰囲気情報
は、排気系装置側の接続部以降に取り付けられた真空ゲ
ージとQ-mass（四重極質量分析装置）、及び封止直後の
放出ガス観察のためのオリフィス法に必要な圧力計(真
空計)の数値から観察を行った。

【０２３４】容器の温度が室温まで戻り、雰囲気が安定
するまで待った後、銅排気管の中心部を（ガラス基板か
ら８５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装
置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止
を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に排気系装置
側より切り離れた。

【０２３５】なお、銅排気管の外径などが更に大きくな
った場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置ＡＬ
Ｍ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。

【０２３６】本実施例における封止直後の放出ガス量の
変化を図１４に示す。なお、図１４に記載される『封止
での総放出ガス量』とは、封止直後から1000秒後までの
放出ガス積算量の値である。

【０２３７】容器のガラス基板表面から銅排気管を観察
すると、図１５に示すように銅排気管内部に異物等は無
くきれいなことが観察された。

【０２３８】排気装置の圧力は、その後数日観察したが
圧力は安定しており、封止部からの真空リーク発生の兆
候すら見ることはできなかった。

【０２３９】（参考例９）実施例４で使用した銅排気管
封止部位を有する排気管構成に替えて、図１７に示すよ
うなガラス製排気管として外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、
長さ１２０ｍｍのソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日
本電気ガラス製）と、ガラス製排気管を加熱溶融するた
めの加熱封止冶具をあらかじめ取り付けておいた容器を
用いた以外は実施例１と同様の処理を行い、加熱脱ガス
までを行った。

【０２４０】その後、容器の温度が室温まで戻り、雰囲
気が安定するまで待った後、加熱封止冶具を用いて、ガ
ラス製排気管を軟化・溶融させ、更に排気系機構側の接
続部７０２を管軸方向の排気系機構７０３側へ移動させ
ることで軟化・溶融したガラス部位を延伸させた。

【０２４１】引き続き、延伸変形した部位をハンドガス
バーナーを用いて溶断し、封止を完了させた。

【０２４２】なお、ガラス製排気管を加熱し軟化・溶融
した状態で管軸方向の排気装置側に延伸するための機構
は、図１７では不図示となっている。

【０２４３】本参考例における封止直後の放出ガス量の
変化を図１４に示す。 実施例４、参考例９での封止直後の放出ガス変化から明
らかなように、金属製封止部位を封止した場合、放出ガ
スの増大、すなわち圧力の変化が非常に少ない事がわか
る。

【０２４４】また、ガラス製排気管の加熱溶融により封
止処理放出されるガス種は、ガラス内に含有される構造
水が最も多いことも判明した。

【０２４５】画像表示装置としての密封容器が、同様に
ガラス製排気管の加熱溶融による封止を用いた製造方法
で作製された場合、放出された構造水などが、電子放出
する電子源にとって悪影響を及ぼすことは明白である。

【０２４６】これを防ぐには、封止時の放出ガスをすば
やく吸着させる機構・部材の設置や、密封容器内に設置
されたゲッタ部材などが放出ガスを充分に吸着排気する
まで放置しておくしかなく、密封容器内の構成を複雑に
したり、生産タクトの短縮化への障害になることは明ら
かである。

【０２４７】（参考例１０）実施例４で銅排気管の封止
部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、容
器を作製した。銅排気管の中心部を（ガラス基板から７
０ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締切装置
（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し封止を
行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に圧着さ
れて真空を保っていたが、排気系装置側から切り離れな
かった。

【０２４８】圧着封止部が完全に切り離されなかったた
め、金属はさみを用いて排気系装置より切り離す必要が
あった。

【０２４９】（参考例１１）実施例４で銅排気管の内面
にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にし
て、容器を作製した。封止後の放出ガス量変化は実施例
1と同様に良好な結果であった。

【０２５０】次に、ガラス基板表面から銅排気管を見る
と、図１５に示すように多数の異物が銅排気管内部に存
在しているのが観察された。排気管をガラス基板から引
き剥がし、銅排気管内部にある異物を分析したところ、
銅の酸化物であることが判明した。

【０２５１】（参考例１２）実施例４で接続用部材５０
３を使わない以外は全く同様にして、容器を作製したも
のの中には排気管をフリットガラスで加熱接続する際
に、ソーダガラス基板にクラックが生じてしまうものが
あった。

【０２５２】（実施例５）画像表示装置としての密封容
器１１２の作製方法について、図１〜図４、図９〜図１
０を使って説明する。 リアプレート１０１として厚さ2.8mm、大きさ240mm×32
0mm、フェースプレート１０５として厚さ2.8mm、大きさ
190mm×270mmのソーダガラス(ＳＬ；日本板ガラス製熱
膨張係数：８６×１０-7（１/℃）)を用いた。

【０２５３】リアプレート1０1には、穴径Φ６.0mmの排
気管用の穴が一箇所開いている。 電子源である表面伝導型電子放出素子１０２の素子電極
１０４は、白金を蒸着法によって成膜し、フォトリソグ
ラフィ技術(エッチング、リフトオフ法等の加工技術を
含む)によって加工し、膜厚１００nｍ、電極間隔L=２μ
ｍ、素子電極長さW＝３００μｍの形状に加工した。

【０２５４】導電性薄膜２０７として有機金属溶液であ
る有機パラジウム(奥野製薬(株)製、ＣＣＰ-４２３０)
含有溶液を塗布した後、３００℃で１０分間の加熱処理
をして、パラジウムを主成分とする微粒子(平均粒径8ｎ
ｍ)からなる微粒子膜を形成し、フォトリソグラフィ技
術(エッチング、リフトオフなどの加工技術を含む)によ
って加工し、２００×１００μmの導電性薄膜２０７と
した。

【０２５５】次に、上配線２０２(１００本)の幅は５０
０μm、厚さ１２μm、下配線２０１(２００本)配線パッ
ド２０４(２００００個)の幅は３００μm、厚さは８μm
であり、それぞれＡｇペーストインキを印刷、焼成し形
成した。

【０２５６】層間絶縁層２０３はガラスペーストを印
刷、焼成(焼成温度５５０℃)し、厚さは２０μmとし
た。

【０２５７】一方、フェースプレート１０５には、蛍光
体１０７として、グリーンの蛍光体(化成オプトニクス
(株)製、Ｐ２２ＧＮ４)を塗布し、更にメタルバック１
０６として厚さ２００nmのアルミニウムを、高分子フィ
ルミングを用いて作製した。

【０２５８】外枠１０９の形状は、厚さ６mm、外形１５
０mm×２３０mm、幅１０mm、材質はソーダガラス(Ｓ
Ｌ；日本板ガラス製 熱膨張係数：８６×１０-7（１/
℃）)を用い、ゲッタ１１０としてバリウムゲッタを取
り付けた。

【０２５９】前記外枠１０９をリアプレート１０１と前
記フェースプレート１０５で挟み、該フェースプレート
１０１、リアプレート１０５と外枠１０９が接する部分
に塗布するフリットガラス１０８として、日本電気ガラ
ス(株)製のＬＳ-３０８１（熱膨張係数：７４×１０-7
（１/℃））を用い、４１０℃、２０分間加熱し固定し
た。

【０２６０】なおこの時同時に、外径１０ｍｍ、内径８
ｍｍ、長さ３０ｍｍのソーダガラス製のガラス排気管
（日本板ガラス（株）製；Ｌ２９Ｆ 熱膨張係数：９２
×１０-7（１/℃））を図１０で示すように、密封容器
６０１側からの管状排気管（密封容器側接続用部材９０
１）として接続するため、前述のガラス排気管をフリッ
トガラス６０３（日本電気ガラス（株）製ＬＳ-３０８
１ 熱膨張係数：７４×１０-7（１/℃））を用いて接
続した。

【０２６１】次に、排気管として図９で示す金属製排気
管封止部位５０１を持つ金属製管状排気管５００とし
て、肉厚１ｍｍ、外径１０ｍｍ（内径８ｍｍ）長さ８０
ｍｍの銅製排気管を使用し、旋盤装置により金属製管状
排気管５００の中央部を厚み０．５ｍｍ、長さ２０ｍｍ
ほど研削し、金属製排気管封止部位５０１を形成した。

【０２６２】次に、この銅製排気管全体をメッキ浴に入
れ、電解メッキ処理によりＮｉ金属を７５μｍの膜厚に
形成した。

【０２６３】次に、接続用部材５０３には外径１０ｍ
ｍ、内径６ｍｍ、長さ２０ｍｍの鉄とニッケルの合金で
あるＦＮ５０（熱膨張係数：９４×１０-7（１/℃）を
前記銅製排気管にあわせ、密封性接着剤５０２として銀
ロウ部材を使用し、密封性を確保しながら接続し、ソー
ダガラス基板に接続する排気管を作製した。

【０２６４】このようにして準備、作製した排気管は、
リアプレート裏面から排気管の銅排気管５００端部ま
で、１１５ｍｍであった。

【０２６５】上述のように作製した、密封容器はクラッ
クや割れ等は全く発生していなかった。この密封容器を
排気系装置の台(不図示)に固定する。

【０２６６】その後、図１０に示すように銅製排気管端
部を、Ｏ‐リングを用いた排気管接続部６０４に接続し
た。

【０２６７】なお、実施例４で前述したように、排気系
装置には排気管接続部以降に圧力の観察に用いられる真
空ゲージ（通称、BAゲージ）、排気中のガス種の観察、
或いは、接続部等のリークチェックなどに用いられる四
重極質量分析装置(通称 Q-mass)および、差圧流量法
(通称、オリフィス法又は、スループット法)によるガス
放出量の測定のために必要な圧力計(真空計)などが配置
されている。

【０２６８】上記のように排気系装置の台(不図示)上に
セッティングされた密封容器内を排気管１１１、すなわ
ち本発明においては、銅排気管封止部位を有する排気管
を通して外部の真空排気系(不図示)により、圧力が1.33
×１０^-3Ｐａ以下になるまで排気した。その後、リーク
チェックを行ったがリークは無かった。

【０２６９】フォーミングは三角波形(底辺１msec、周
期１０msec、波高値５Ｖ)の電圧パルス６０秒間印加
し、電子放出部２０８を形成し、更に、活性化も行っ
た。

【０２７０】次に、前記密封容器全体を２５０℃で８時
間、加熱し、構成部材の脱ガスを行った。密封容器内部
の構成部材表面などに付着（吸着）している、水をはじ
めとするガスの放出と大気圧力以下の極低圧力を維持す
るため、密封容器を排気装置に接続した後、加熱するこ
とは有効である。

【０２７１】次に、ゲッタ部材１１０を外部より高周波
加熱し、Ｂaを主成分とするゲッタ材の蒸着膜を形成さ
せる、ゲッタ処理を行った。 加熱脱ガス、ゲッタ処理後の密封容器内部の圧力と雰囲
気情報は真空ゲージとQ-mass（四重極質量分析装置）と
で監視を行った。

【０２７２】密封容器が室温まで戻った後、金属製排気
管封止予定部位を住電朝日精工（株）製パイプ締切装置
（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、封止予定部位を圧着し封
止を行った。

【０２７３】圧着封止部分は完全に切り離され、画像表
示装置を作製した。 ゲッタ部材蒸着膜に変化は無いことから、ゲッタ部材の
蒸着膜を変化させるガス種の発生が無いことや、密封容
器内の圧力が維持されている事がわかる。

【０２７４】なお、金属製排気管の外径などが大きくな
った場合は、住電朝日精工（株）製パイプ締切装置 Ａ
ＬＭ-１０-２Ｂを使用する事も可能である。

【０２７５】上述の方法で金属性排気管封止部位を封止
した画像表示装置を用い、図３に示すような画像表示手
段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、同時に
蛍光体１０７とメタルバック１０６に５KV印加し発光さ
せ、表示動作を確認したところ、明るくて、均一な画像
表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方法で画像
表示装置が製造できる事を確認した。

【０２７６】（参考例１３）実施例５で使用した金属製
排気管封止部位を有する排気管構成に替えて、図１６に
示すような外径１０ｍｍ、内径８ｍｍ、長さ１２０ｍｍ
のソーダガラス製排気管（Ｌ２９Ｆ；日本電気ガラス
製）とガラス製排気管の封止冶具を取り付けた以外は、
実施例４と全く同様の方法で,加熱脱ガス、ゲッタ処理
までを行った。

【０２７７】その後、参考例９と同様の方法で、加熱封
止冶具を用い、ガラス製排気管を軟化・溶融させた後、
排気管接続部を管軸方向の排気装置側へ移動させること
で軟化・溶融したガラス部位を延伸した後、延伸変形し
た部位をハンドガスバーナーを用いて溶断し、封止を完
了させた。

【０２７８】封止終了後、ゲッタ部材の蒸着膜を観察し
たところ、排気管近傍の蒸着膜が僅かではあるが、後退
縮小している事が観察された。これは、ガラス製排気管
の加熱溶融封止時に放出されるガス種による影響と推測
された。

【０２７９】このように作製した画像表示装置を実施例
４と同様の方法で表示動作確認をしたところ、実施例５
で作製した画像表示装置と比較して、表示画面が全体的
に暗く、特に排気管周辺が極端に暗くなっていた。

【０２８０】（参考例１４）実施例５で銅排気管の封止
部位を旋盤装置で研削しない以外は全く同様にして、画
像表示装置を作製した。銅排気管の中心部を（ガラス基
板から７５ｍｍの位置）住電朝日精工（株）製パイプ締
切装置（ＡＬＭ-１０Ｍ）を用いて、銅排気管を圧着し
封止を行った。銅排気管は締切装置稼動と同時に充分に
圧着されて真空を保っていたが、排気系装置側から切り
離れなかった。

【０２８１】圧着封止部が完全に切り離されなかったた
め、金属はさみを用いて排気系装置より切り離す必要が
あった。

【０２８２】（参考例１５）実施例５で銅排気管の内面
にＮｉ金属のメッキ処理を行わない以外は全く同様にし
て、画像表示装置を作製した。

【０２８３】この画像表示装置を分解して調べたとこ
ろ、図１５に示すような異物がフェースプレート及びリ
アプレートの内側に多数付着しており、分析したところ
銅酸化物であることがわかった。

【０２８４】銅排気管を密封容器に接続する際に加熱す
ることで、銅表面に銅酸化物ができ、これが銅排気管を
圧着封止する際に、剥がれ落ちてパネル内に飛散したも
のと推測される。

【０２８５】（参考例１６）実施例５で接続用部材５０
３と密封容器側接続用部材９０１を使わない以外は全く
同様にして、容器を作製したものの中には排気管をフリ
ットガラスで加熱接続する際に、リアプレート１０１に
クラックが生じてしまうものがあった。

【０２８６】実施例５、参考例１３〜参考例１６の結果
よりも明らかなように、ガラス製排気管封止処理と比較
し、金属製排気管封止部位を有する排気管を用いての画
像表示装置製造方法の方が、封止工程の信頼性、画像表
示装置製造方法の信頼性を向上する事ができる。

【０２８７】更に、金属製排気管封止部位が他に比べ薄
くなっていることで、排気管の強度を保ちつつ容易に圧
着し封止することができ、画像表示装置の製造歩留まり
が著しく向上する。

【０２８８】更に、金属排気管内部をあらかじめメッキ
処理しておくことで、金属酸化物の発生を防ぐことがで
き、画像表示装置の画像品位が向上する。

【０２８９】更に、熱膨張係数を考慮した接続用部材を
密封容器に対して用いることで、排気管接続時に密封容
器にクラックが生じないので、画像表示装置の製造歩留
まりが著しく向上する。

【０２９０】（実施例６）実施例５において、図１１に
示すＦＮ５０からなる接続用部材５０５を銀ロウ部材５
０６を使用し、密封性を確保しつつ接続し、更に排気系
側接続用部材１１０１として を用い、フリットガラス
１１０２で接続した銅排気管を、更に、排気系側接続用
部材１１０１を排気系機構側の接続部７０２に低融点ガ
ラス７０１を用いて接続排気した以外は全く同様にし
て、画像表示装置を作製した。

【０２９１】実施例５と同様に、図３に示すような画像
表示手段に接続し、画像信号を電子放出素子に供給し、
同時に蛍光体１０７とメタルバック１０６に５ＫＶ印加
し発光させ、表示動作を確認したところ、明るくて、均
一な画像表示が得られ、本発明の画像表示装置の製造方
法で画像表示装置が製造できることを確認した。

【０２９２】（実施例７）実施例１で使用したガラス基
板８０１に変えて下記に示す熱膨張係数を有するガラス
基板との組み合わせで、金属排気管を接続するための容
器を作製した以外は、全く実施例１と同様の方法で容器
を作製し、排気系装置の接続部への接続と排気を行っ
た。

【０２９３】ガラス基板８０１と接続用部材５０３とを
低融点ガラス（フリットガラス）６０３で接続した場
合、接続部分の接着状態が重要であり、接続時及び接続
後の接続用部材とフリットガラスとの剥離や、接続端部
におけるガラス基板側の微少破壊（亀裂・クラック）発
生、排気系装置への接続排気後の微少破壊（亀裂・クラ
ック）発生や、剥離の発生の有無から検討した。

【０２９４】

【表１】

【０２９５】○・・・何ら異常の発生は無し。 △・・・フリット塗布状態、焼成後の降温速度等の条件
によっては、剥離・クラックが発生した。 ×・・・剥離・クラックの発生が頻発した。 なお、熱膨張係数の数値は室温から３００℃の値であ
る。

【０２９６】以上の結果から、接続部材の熱膨張係数が
ガラス基板の熱膨張係数の０．９５〜１．１０倍の範囲
に入っていれば好適であることが判明した。

【０２９７】（実施例８）実施例７と同様に、使用する
低融点ガラス（フリットガラス）とガラス基板と接続部
材との関係を、室温から３００℃までの熱膨張係数に着
目し、実施例７で使用したガラス基板と接続用部材の組
み合わせに対し、ＬＳ３０８１以外に下表に示す低融点
ガラスを各封着温度で使用し、実施例７と同様の観察を
行なった。結果を下表に示す。

【０２９８】

【表２】

【０２９９】○、△、×・・・実施例７と同じ意味の記
号 以上の結果より、低融点ガラスの熱膨張係数が、低融点
ガラスで接続される部材の各熱膨張係数の０．７５倍〜
１．０５倍の時、好ましい接着状態が保持される事が判
明した。

【０３００】（実施例９）実施例４で使用したガラス基
板８０１と密封容器側接続用部材９０１としてのガラス
製排気管部材に変えて、下記に示す熱膨張係数を有する
ガラス基板とガラス製排気管部材との組み合わせで、金
属排気管を接続するための容器を作製した以外は、全く
実施例４と同様の方法で容器を作製し、排気系装置の接
続部への接続と排気を行った。

【０３０１】ガラス基板８０１と密封容器側接続用部材
９０１とを低融点ガラス（フリットガラス）６０３で接
続した場合、接続部分の接着状態が重要であり、接続時
及び接続後の密封容器側接続用部材とフリットガラスと
の剥離や、接続端部におけるガラス基板側の微少破壊
（亀裂・クラック）発生、排気系装置への接続排気後の
微少破壊（亀裂・クラック）発生や、剥離の発生の有無
から検討した。

【０３０２】

【表３】

【０３０３】○、△、×・・・実施例７と同じ意味の記
号 なお、熱膨張係数の数値は室温から３００℃の値であ
る。

【０３０４】以上の結果から、密封容器側接続用部材の
熱膨張係数がガラス基板の熱膨張係数の０．９５〜１．
１０倍の範囲に入っていれば好適であることが判明し
た。

【０３０５】（実施例１０）実施例９と同様に、使用す
る低融点ガラス（フリットガラス）とガラス基板と密封
容器側接続用部材との関係を、室温から３００℃までの
熱膨張係数に着目し、実施例９で使用したガラス基板と
密封容器側接続用部材の組み合わせに対し、ＬＳ３０８
１以外に下表に示す低融点ガラスを各封着温度で使用
し、実施例７と同様の観察を行なった。結果を下表に示
す。

【０３０６】

【表４】

【０３０７】○、△、×・・・実施例７と同じ意味の記
号 以上の結果より、低融点ガラスの熱膨張係数が、低融点
ガラスで接続される部材の各熱膨張係数の０．７５倍〜
１．０５倍の時、好ましい接着状態が保持される事が判
明した。

【０３０８】（実施例１１）実施例１で使用した銅製管
状排気管に替えて、銀製管状排気管を用いて容器を作製
した以外は、実施例１と全く同様の方法で容器を作製し
た。

【０３０９】その結果、銀製管状排気管は、銅製排気管
と比較して、変形しやすい欠点はあるものの、放出ガス
等の懸念は、銅製排気管と同様の結果が得られた。

【０３１０】（実施例１２）実施例４で使用した銅製管
状排気管に替えて、銀製管状排気管を用いて容器を作製
した以外は、実施例３と全く同様の方法で容器を作製し
た。

【０３１１】その結果、銀製管状排気管は、銅製排気管
と比較して、変形しやすい欠点はあるものの、放出ガス
等の懸念は、銅製排気管と同様の結果得られた。

【０３１２】（実施例１３）図１３は、本実施例の製造
装置を示す図である。図１３において、１３０２はピン
チャ−装置４０３のビット４０４の位置を検出する位置
検出器であり、１３０１は位置検出器１３０２から情報
により油圧装置４０５を制御する制御装置である。

【０３１３】なお、その他の引用符号は、図４（ａ）な
どに付した部材と同一の部材が同じものであることを示
す。

【０３１４】本実施例では、ビット４０４の位置を検出
し、それによって得られる排気管の厚さの情報を基に、
油圧装置４０５を制御しながら排気管１１１をチップオ
フする製造装置について説明する。

【０３１５】画像表示装置は実施例２と同様にゲッタを
ゲッタ処理まで行った。次に、チップオフ工程を以下の
ように行った。

【０３１６】銅排気管封止部位４０１に固定側のビット
４０４ａを当てた状態にし、稼動側のビット４０４ｂが
銅排気管封止部位４０１から１ｃｍ離れた状態での位置
を位置検知器１３０２で検出し、０位置とする。

【０３１７】油圧装置４０５に制御装置１３０１から信
号を送り油圧を発生させ、稼動ビット４０４ｂを動かし
銅排気管封止部位４０１圧着する。このときの油圧装置
４０５の圧力は１Ｋｇ/cm^２であった。

【０３１８】この状態で１分後に、稼動側のビット４０
４ｂの位置が2ｃｍ移動したことを位置検出器１００２
で検出した。そこで、銅排気管封止部位４０１が圧着封
止されたと判断し、制御装置１３０１から油圧装置４０
５に信号を送り、油圧を止めた。

【０３１９】その後、稼動側のビット４０４ｂが銅排気
管封止部位から２ｃｍ離れたことを位置検出器１００２
で検出し、圧着封止を完了した。

【０３２０】本実施例では、銅排気管封止部位４０１の
圧着封止状態をビットの位置を位置検出器１３０２で検
出することで、圧着封止を行った。そのため、圧着封止
工程の終了判断ができ、実施例２の歩留まり以上に歩留
まりが向上し、歩留まりは９８％であった。

【０３２１】

【発明の効果】本発明により、ガラス製排気管と比較
し、排気管の封止信頼性を大幅に向上する効果がある。

【０３２２】本発明により、これまで、ガラス製排気管
封止の際に放出され、密封容器内に滞留していた封止時
の放出ガスを大幅に減少する事ができる。

【０３２３】これにより、排気管封止後の画像表示装置
としての密封容器内の圧力を、短時間で所望の圧力まで
する事ができ、製造時間を短縮する事が可能になる。

【０３２４】また、封止時の放出ガスが少ないことか
ら、ガラス排気管封止の際に設置されていたゲッタ部材
などの、圧力維持構成部材点数を減らす事ができ、コス
トの低下に効果がある。

【０３２５】更に、金属面にメッキ処理が施されている
ことから、排気管を密封容器に接合するパネル封着時に
該金属表面の酸化が生じ無いため、排気管封止時に金属
酸化物が金属表面から剥がれてパネル内及び製造装置に
飛散することが無く、金属酸化物によるパネル内部の汚
染や製造装置の排気装置へのダメージも無い。

【０３２６】これらにより、これまでガラス製排気管封
止時の放出ガス及び金属排気管の酸化に起因する画像表
示品質の低下、すなわち、電子放出素子における電子源
の劣化、或いは、放電セルにおける素子劣化などを軽減
できる。

【０３２７】また、金属製排気管封止部位の封止予定部
位のみが他に比べて薄いので、排気管の強度を保ちなが
らも切断を容易に行うことができ、封止工程の歩留まり
が向上し、画像表示装置のコスト低下に効果がある。

【０３２８】更にまた、金属排気管の接続部材を密封容
器の熱膨張係数に近い鉄とニッケルを含む合金又は、鉄
とニッケルを含む合金とガラスにすることで、排気管を
密封容器に接続する際に、密封容器にクラックが生じる
事が無く、歩留まりが向上し、画像表示装置のコスト低
下に効果がある。

【０３２９】また、このような圧着封止を機械化するこ
とができることにより、加熱コイルや、バーナー火炎な
どを用いる工程と比較し、作業者の安全性や製造装置の
安全性を向上する事ができる。

【０３３０】更に、機械化によって画像表示装置の製造
数量の増加を図ることができる。また、画像表示装置の
製造工程を最適な条件で行えるため、画像表示装置の歩
留まりが向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による密封容器（平板型画像表示装置）
の構成を示す概略図である。

【図２】本発明による表面伝導型電子放出素子を用いた
リアプレート及び表面伝導型電子放出素子２００の構造
を拡大して示す構成概略図である。

【図３】本発明による画像表示装置のブロック概略図で
ある。

【図４】本発明による金属製管状排気管の封止工程の概
略図である。

【図５】本発明による金属製排気管封止部位を有する排
気管構成の第一の例を示す概略図である。

【図６】本発明による図５の構成排気管を有する密封容
器の排気装置への接続例を示す概略図である。

【図７】本発明による図５の構成排気管を有する密封容
器の排気装置への他の接続例を示す概略図である。

【図８】本発明における排気管と容器との接続の構成例
を示す概略図である。

【図９】本発明による金属製排気管封止部位を有する排
気管構成の第二の例を示す概略図である。

【図１０】本発明による図９の構成排気管を有する密封
容器の排気装置への接続例を示す概略図である。

【図１１】本発明による図９の構成排気管を有する密封
容器の排気装置への他の接続例を示す概略図である。

【図１２】本発明による排気管と容器との接続の構成例
を示す概略図である。

【図１３】本発明による画像表示装置の製造装置を示す
概略図である。

【図１４】本発明と従来例による圧着封止後における放
出ガス量変化を示す特性図である。

【図１５】メッキ処理の有無による圧着封止後の異物発
生状況を示す顕微鏡写真である。

【図１６】従来のガラス排気管を有する構成の密封容器
の排気系への接続を示す概略図である。

【図１７】ガラス製排気管と基板とを接続する構成例を
示す概略図である。

【符号の説明】

１０１ リアプレート １０２、２００ 表面伝導型電子放出素子 １０３ 配線 １０４、２０５、２０６ 素子電極 １０５ フェースプレート １０６ メタルバック １０７ 蛍光体 １０８ フリットガラス １０９ 外枠 １１０ ゲッタ １１１ 排気管 １１２、６０１ 密封容器 ２０１ 下配線 ２０２ 上配線 ２０３ 層間絶縁層 ２０４ 配線パッド ２０７ 導電性薄膜 ２０８ 電子放出部 ３０１ 画像表示域 ３０２ 平板状表示パネル ３０３ 光点発光域 ３０４ 変調信号側Ｘｎ配線 ３０５ 走査信号側Ｙｎ配線 ３０６ 駆動回路部 ３０７ 高圧印加装置 ３０８ 画像表示装置 ４０１ 金属製排気管封止部位 ４０２ ピンチャー ４０３、６０４、７０２ 排気系接続部 ４０４ ビット ４０４ａ 固定側ビット ４０４ｂ
稼動側ビット ４０５ 油圧装置 ５００ 金属製管状排気管 ５０１ 金属製排気管封止部位 ５０２、５０６ 密封性接着剤 ５０３、５０５ 接続用部材 ５０４ メッキ処理部位 ６０２ 排気孔 ６０３、７０１、９０２、１１０２ 低融点ガラス ６０５ 締め付けキャップ ６０６ Ｏ-リング ６０７ スペーサー ６０８ ネジ部 ７０２ 排気系機構側の接続部 ７０３ 排気系機構（装置） ８０１ ガラス板 ９０１ 密封容器側接続用部材 １１０１ 排気系側接続用部材 １３０１ 制御装置 １３０２ 位置検知器 １６０１ ガラス製排気管 １６０２ 封止治具

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山下 眞孝 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 安藤 友和 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 西村 孝司 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２ 株式 会社東芝深谷工場内 (72)発明者 清野 和之 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２ 株式 会社東芝深谷工場内 Ｆターム(参考） 5C012 AA05 5C032 AA01 BB17 5C036 EE14 EE17 EF01 EF06 EF09 EG07 EH11

Claims (32)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部を大気圧より低い圧力に保持する密
   封容器と、 前記密封容器内に設けられた蛍光体と、 前記蛍光体を発光させる発光機構と、 前記密封容器内を大気圧以下の状態に維持するために封
   止された封止部位が金属からなるとともに、他の部位と
   異なる厚みとされてなる少なくとも１本の管状排気管と
   を備えることを特徴とする画像表示装置。
2. 【請求項２】 前記管状排気管は、前記封止部位がメッ
   キ処理されてなるとともに、前記封止部位の材質とは異
   なる材質の複数構成部材から構成されていることを特徴
   とする請求項１に記載の画像表示装置。
3. 【請求項３】 前記封止部位は、封止予定部位と前記封
   止予定部位以外の部位からなり、前記封止予定部位にお
   ける厚みが前記封止予定部位以外の部位の厚みの３０％
   〜７０％の範囲内の値であることを特徴とする請求項１
   又は２に記載の画像表示装置。
4. 【請求項４】 前記封止部位の金属は、銅或いは銅を含
   有する合金であることを特徴とする特徴とする請求項１
   〜３のいずれか１項に記載の画像表示装置。
5. 【請求項５】 前記封止部位の金属は、アルミニウム或
   いはアルミニウムを含有する合金であることを特徴とす
   る特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像
   表示装置。
6. 【請求項６】 前記封止部位の金属は、銀或いは銀を含
   有する合金であることを特徴とする特徴とする請求項１
   〜３のいずれか１項に記載の画像表示装置。
7. 【請求項７】 前記封止部位の金属は、タングステン或
   いはタングステンを含有する合金であることを特徴とす
   る請求項１〜３のいずれか１項に記載の画像表示装置。
8. 【請求項８】 前記封止部位の金属は、モリブデン或い
   はモリブデンを含有する合金であることを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか１項に記載の画像表示装置。
9. 【請求項９】 前記メッキ処理は、亜鉛、金、錫、ニッ
   ケル、ロジウム、パラジウム、クロム、カドミウムから
   なる金属、或いはこれらの金属を１種類以上含む合金か
   らなるメッキ処理であることを特徴とする請求項２〜７
   のいずれか１項に記載の画像表示装置。
10. 【請求項１０】 前記封止部位の材質とは異なる材質か
    らなる構成部材は、鉄とニッケルを含む合金部材である
    ことを特徴とする請求項２〜８のいずれか１項に記載の
    画像表示装置。
11. 【請求項１１】 前記封止部位の材質とは異なる材質か
    らなる構成部材は、ガラス部材及び鉄とニッケルを含む
    合金部材であることを特徴とする請求項２〜８のいずれ
    か１項に記載の画像表示装置。
12. 【請求項１２】 前記密封容器がガラス製であり、前記
    密封容器に接続する前記管状排気管の接続部材が低融点
    ガラスであることを特徴とする請求項１〜１０のいずれ
    か１項に記載の画像表示装置。
13. 【請求項１３】 前記密封容器の熱膨張係数Ａと前記密
    封容器に接続する前記管状排気管の接続部材の熱膨張係
    数Ｂとの間に、下記式 （熱膨張係数Ａ）×0.95≦（熱膨張係数Ｂ）≦（熱膨張
    係数Ａ）×1.10 で示す関係が成立することを特徴とする請求項１〜１２
    のいずれか１項に記載の画像表示装置。
14. 【請求項１４】 前記低融点ガラスの熱膨張係数Ｃと、
    前記熱膨張係数Ａ及び前記熱膨張係数Ｂとの間に、下記
    式 （熱膨張係数Ａ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
    係数Ａ）×1.05 又は、 （熱膨張係数Ｂ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
    係数Ｂ）×1.05 で示す関係が成立することを特徴とする請求項１２及び
    １３に記載の画像表示装置。
15. 【請求項１５】 前記封止部位の金属と、前記金属と異
    なる金属部材とが銀ロウ付けにより接続され、前記管状
    排気管が形成されていることを特徴とする請求項１０又
    は１１に記載の画像表示装置。
16. 【請求項１６】 内部を大気圧より低い圧力に保持する
    密封容器内に蛍光体及び前記蛍光体を発光させる発光機
    構とを備えた画像表示装置の製造方法であって、 前記画像表示装置は、前記密封容器内を大気圧以下の状
    態に維持するために封止された封止部位が金属からなる
    とともに、他の部位と異なる厚みとされてなる少なくと
    も１本の管状排気管備えており、 前記管状排気管を通じて前記密封容器内を大気圧以下の
    所定圧力となるように排気する第１の工程と、 前記封止部位を圧着して封止し、切り離す第２の工程と
    を含むことを特徴とする画像表示装置の製造方法。
17. 【請求項１７】 前記管状排気管は、前記封止部位がメ
    ッキ処理されてなるとともに、前記封止部位の材質とは
    異なる材質の複数構成部材から構成されていることを特
    徴とする請求項１６に記載の画像表示装置の製造方法。
18. 【請求項１８】 前記第２の工程において、前記封止部
    位における封止が、所定の圧着手段により前記封止部位
    を圧着するとともに切り離し、前記封止部位における封
    止を行うことを特徴とする請求項１６又は１７に記載の
    画像表示装置の製造方法。
19. 【請求項１９】 前記圧着手段による前記金属製排気管
    封止部位の圧着状態は、該圧着手段である油圧式締め切
    り装置の稼動締め切り部の位置を検出することで判断す
    ることを特徴とする請求項１８に記載の画像形成装置の
    製造方法。
20. 【請求項２０】 前記封止部位は、封止予定部位と前記
    封止予定部位以外の部位からなり、前記封止予定部位に
    おける厚みが前記封止予定部位以外の部位の厚みの３０
    ％〜７０％の範囲内の値であることを特徴とする請求項
    １６〜１９のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造
    方法。
21. 【請求項２１】 前記封止部位の金属は、銅或いは銅を
    含有する合金であることを特徴とする特徴とする請求項
    １６〜２０のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造
    方法。
22. 【請求項２２】 前記封止部位の金属は、アルミニウム
    或いはアルミニウムを含有する合金であることを特徴と
    する特徴とする請求項１６〜１９のいずれか１項に記載
    の画像表示装置の製造方法。
23. 【請求項２３】 前記封止部位の金属は、銀或いは銀を
    含有する合金であることを特徴とする特徴とする請求項
    １６〜１９のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造
    方法。
24. 【請求項２４】 前記封止部位の金属は、タングステン
    或いはタングステンを含有する合金であることを特徴と
    する請求項１６〜１９のいずれか１項に記載の画像表示
    装置の製造方法。
25. 【請求項２５】 前記封止部位の金属は、モリブデン或
    いはモリブデンを含有する合金であることを特徴とする
    請求項１６〜１９のいずれか１項に記載の画像表示装置
    の製造方法。
26. 【請求項２６】 前記メッキ処理は、亜鉛、金、錫、ニ
    ッケル、ロジウム、パラジウム、クロム、カドミウムか
    らなる金属、或いはこれらの金属を１種類以上含む合金
    からなるメッキ処理であることを特徴とする請求項１７
    〜２５のいずれか１項に記載の画像表示装置。
27. 【請求項２７】 前記封止部位の材質とは異なる材質か
    らなる構成部材は、鉄とニッケルを含む合金部材である
    ことを特徴とする請求項１７〜２６のいずれか１項に記
    載の画像表示装置の製造方法。
28. 【請求項２８】 前記封止部位の材質とは異なる材質か
    らなる構成部材は、ガラス部材及び鉄とニッケルを含む
    合金部材であることを特徴とする請求項１７〜２６のい
    ずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
29. 【請求項２９】 前記密封容器がガラス製であり、前記
    密封容器に接続する前記管状排気管の接続部材が低融点
    ガラスであることを特徴とする請求項１７〜２８のいず
    れか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
30. 【請求項３０】 前記密封容器の熱膨張係数Ａと前記密
    封容器に接続する前記管状排気管の接続部材の熱膨張係
    数Ｂとの間に、下記式 （熱膨張係数Ａ）×0.95≦（熱膨張係数Ｂ）≦（熱膨張
    係数Ａ）×1.10 で示す関係が成立することを特徴とする請求項１６〜２
    ９のいずれか１項に記載の画像表示装置の製造方法。
31. 【請求項３１】 前記低融点ガラスの熱膨張係数Ｃと、
    前記熱膨張係数Ａ及び前記熱膨張係数Ｂとの間に、下記
    式 （熱膨張係数Ａ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
    係数Ａ）×1.05 又は、 （熱膨張係数Ｂ）×0.75≦（熱膨張係数Ｃ）≦（熱膨張
    係数Ｂ）×1.05 で示す関係が成立することを特徴とする請求項２９及び
    ３０に記載の画像表示装置の製造方法。
32. 【請求項３２】 前記封止部位の金属と、前記金属と異
    なる金属部材とを銀ロウ付けにより接続し、前記管状排
    気管を形成することを特徴とする請求項２７又は２８に
    記載の画像表示装置の製造方法。