JPH07296746A

JPH07296746A - 画像表示装置とその製造方法

Info

Publication number: JPH07296746A
Application number: JP6090792A
Authority: JP
Inventors: Yoshikazu Sakano; 嘉和坂野; Shinichi Kawate; 信一河手
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-04-28
Filing date: 1994-04-28
Publication date: 1995-11-10

Abstract

(57)【要約】【目的】製造歩留りを向上し、製造コストを低減する
ことができるとともに、安全性を向上することのできる
の画像表示装置を実現すること。【構成】内部に画像表示部材が配設された第１の外囲
器と、前記第１の外囲器全体を囲む第２の外囲器と、を
有することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平面型の画像表示装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、画像形成を行なう蛍光表示管、プ
ラズマディスプレイ、電界放出型のスピントタイプの電
子線発生装置を用いた表示装置、古典的な従来の表面伝
導形電子放出素子を用いた表示装置など、蛍光体を励起
し発光表示させる画像表示装置は、平面で、かつ、明る
くて見やすいなどの利点を有しており、産業上、積極的
に応用され、また、期待されている。

【０００３】例として、それらの画像表示装置の従来の
外囲器を図７乃至図９にそれぞれ示した。

【０００４】画像表示装置の従来の外囲器は、図７に示
した様にリアプレート７２１とフェースプレート７２２
と枠部材７２３を封着材７２４を介して接合するもの
や、図８に示す様にリアプレート８２１とフェースプレ
ート８２２を封着材８２４を介して接合するものがあ
る。

【０００５】特開平３−２３６１４３号公報には、図９
に示すように複数のリアプレート９２１と複数の排気管
９２５とを封着材（不図示）を介して複数の真空室を設
けた構造の装置が開示されている。具体的には、低融点
フリットガラスを主成分としたペースト状の封着材を印
刷、スプレイなどの手段により両プレートの接合部に塗
布した後、両プレートもしくは両プレートと枠部材（不
図示）とを積層し、加圧および加熱焼成を行なうことに
よってリアプレート９２１、フェースプレート９２２、
枠部材および封着材による気密封着、もしくはリアプレ
ート９２１、フェースプレート９２２、および封着材に
よる気密封着を達成し、その後内部を排気管９２５から
真空排気し、所望の真空度（圧力）もしくは雰囲気を形
成する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の画像表示装置の外囲器には、以下に記載するような
問題点がある。

【０００７】図７および図８に示した単層構造体のもの
においては、（１）画像表示装置の構造時における気密
封着不良等による外囲器の微小リークが発生した場合に
は、装置はそのまま不良となるために、製造歩留りが悪
いといった問題点がある。

【０００８】（２）大気圧を耐える構造、すなわちリア
プレート、フェースプレートともに板厚を厚くし、耐大
気圧構造体としなければならないために、両プレートの
板厚が増加ばかりでなく、重量も増加するために特殊な
製造装置が必要になり、製造コストが増すなどといった
問題点がある。特に、大画面の画像形成装置においてこ
のような問題点が顕著である。

【０００９】また、図７乃至図９のいずれに示したもの
においても、（３）１つの外囲器からなる単層構造体、
もしくはフェースプレートを共通とするリアプレート側
のみの２つの外囲器からなる２層構造体であるために、
温度差による熱応力、圧力、衝撃等によって外囲器に、
割れ、破壊等が発生すると、フェースプレート側に壊れ
た外囲器の破片が飛散しやすく危険であるという問題点
がある。

【００１０】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、製造歩留りを
向上し、製造コストを低減することができるとともに、
安全性を向上することのできるの画像表示装置を実現す
ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の画像表示装置
は、内部に画像表示部材が配設された第１の外囲器と、
前記第１の外囲器全体を囲む第２の外囲器と、を有する
ことを特徴とする。

【００１２】この場合、第１の外囲器は、異なる色の蛍
光部材を備えたフェースプレートと、該フェースプレー
トと対向配置される電子線発生装置を備えたリアプレー
トにより構成され、前記第１の外囲器と前記フェースプ
レートとの間の、各蛍光部材の間となる位置に支持部材
が設けられてもよい。

【００１３】本発明のさらに他の形態による画像表示装
置は、内部に画像表示部材が配設された第１の外囲器
と、前記第１の外囲器を囲む第２の外囲器と、を有する
画像表示装置において、第１の外囲器は、異なる色の蛍
光部材を備えたフェースプレートと、該フェースプレー
トと対向配置される電子線発生装置を備えたリアプレー
トにより構成され、前記フェースプレートの各蛍光部材
の間となる位置には第１の外囲器内を複数に分割する柱
が形成されており、該柱には第１の外囲器内の圧力を共
通とするための孔が形成されていることを特徴とする。

【００１４】本発明のさらに他の形態による画像表示装
置は、内部に画像表示部材が配設された第１の外囲器
と、前記第１の外囲器を囲む第２の外囲器と、を有する
画像表示装置において、第１の外囲器は、異なる色の蛍
光部材を備えたフェースプレートと、該フェースプレー
トと対向配置される電子線発生装置を備えたリアプレー
トにより構成され、前記リアプレートには、第１の外囲
器をフェースプレートの各蛍光部材の間となる位置にて
複数に分割する柱が形成されており、該柱には第１の外
囲器内の圧力を共通とするための孔が形成されているこ
とを特徴とする。

【００１５】上記のいずれにおいても、第１の外囲器内
に不活性ガスが封入されてもよい。

【００１６】さらに、前記第２の外囲器内の圧力が前記
第１の外囲器内の圧力よりも低くしてもよい。

【００１７】本発明の画像表示装置の製造方法は、上述
したような画像表示装置の製造方法であって、第２の外
囲器の排気を行って圧力を調整した後に第１の外囲器の
排気を行って圧力を調整することを特徴とする。

【００１８】

【作用】本発明の画像表示装置のうち、第２の外囲器
が、画像表示部材が設けられた第１の外囲器全体を囲む
ものにおいては、外囲器に破損が生じたときの破片が、
フェースプレート側に片よって飛散することがない。

【００１９】第１の外囲器と前記フェースプレートとの
間の、各蛍光部材の間となる位置に支持部材を設けた場
合には、強度が増すとともに支持部材がブラックストラ
イプの効果を果たすので、表示画像の画質が向上する。

【００２０】フェースプレートまたはリアプレートに柱
を設けた場合には、上述した支持部材と同様に作用す
る。

【００２１】第２の外囲器内の圧力を第１の外囲器内の
圧力より配設される第１の外囲器よりも低くした場合、
第１の外囲器に微小リークが生じても、画像表示部材が
配設される第１の外囲器から、これを囲む第２の外囲器
に向けて第１の外囲器内のガスが流れるので、画像表示
部材にダメージが加わることはない。

【００２２】また、第２の外囲器に微小リークが生じて
も、第１の外囲器内の雰囲気には当然関しないので、各
外囲器のいずれにリークが生じても画像表示部材にダメ
ージが加わわらないこととなる。

【００２３】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２４】（実施例１）図１は本発明の第１の実施例
の構成を示す断面図である。

【００２５】図１において、１０１は絶縁性基体からな
るリアプレート、１０２，１０３は素子電極、１０４は
電子放出部（領域）を有する微粒子膜、１０５は絶縁
層、１０６はフェースプレート、１０７は透明電極、１
０８は蛍光体、１０９はメタルバック、１１０は枠部
材、１１１は外囲器部材、１１２は第１の排気管、１１
５は第２の排気管、１１３は電極取り出し用のリード、
１１４は封着材である。

【００２６】本実施例の画像表示装置は、リアプレート
１０１、フェースプレート１０６および枠部材１１０に
より構成される内側の外囲器（第１の外囲器）を、外囲
器部材（第２の外囲器）１１１で囲み、内側の外囲器お
よび外囲器部材１１１には各室内をそれぞれ排気するた
めの第１の排気管１１２、第２の排気管１１５をそれぞ
れ設けたものである。

【００２７】本実施例の画像表示装置を以下の通り作製
した。

【００２８】（工程１）：リアプレート１０１として板
厚ｔ＝１．１ｍｍの青板ガラスを用い、有機溶剤により
充分に洗浄した後、真空蒸着技術フォトリソグラフィー
技術により、Ｎｉからなる素子電極１０２，１０３、絶
縁層１０５を形成した。

【００２９】この時、図２（ａ），（ｂ）の上面図およ
び正面図に示すように、素子電極１０２，１０３の間隔
Ｌ₁は３μｍとし、素子電極の幅Ｗ₁を５００μｍ、その
厚さｄを１０００Åとした。

【００３０】（工程２）：次に、所定の部分に有機パラ
ジウム（奥野製薬（株）製、ｃｃｐ−４２３０）含有溶
液を塗布した後、３００℃で１０分間の加熱処理をし
て、酸化パラジウム（ＰｄＯ）微粒子（平均粒径：７０
Å）からなる微粒子膜１０４を形成した。その幅（素子
の幅）Ｗを３００μｍとし、素子電極１０２，１０３の
ほぼ中央部に配置した。また、膜厚は１００Å、シート
抵抗値は５×１０４Ω／口であった。

【００３１】なお、ここで述べる微粒子膜とは、複数の
微粒子が集合した膜であり、その微細構造として、微粒
子が個々に分散配置した状態のみならず、微粒子が互い
に隣接あるいは重なり合った状態（島状も含む）の膜を
指し、その粒径とは前記状態で粒子形状が認識可能な状
態についての径を言う。

【００３２】（工程３）：次に、素子電極１０２，１０
３の間に電圧を印加し、微粒子膜１０４を通電処理（フ
ォーミング処理）することにより、電子放出部２０１を
作製した。

【００３３】さらに、本発明に用いた表面伝導形電子放
出素子を詳述するならば、電子放出材料を含む微粒子膜
としては、粒径が数十Åから数μｍの導電性微粒子の
膜、あるいはこれら導電性微粒子が分散したカーボン薄
膜などが挙げられる。中でも特に、その材料の具体例を
挙げるならば、Ｐｄ，Ａｇ，Ａｕ，Ｔｉ，Ｉｎ，Ｃｕ，
Ｃｒ，Ｆｅ，Ｚｎ，Ｓｎ，Ｔａ，Ｗ，Ｐｂなどの金属；
ＰｄＯ，ＳｎＯ₂，Ｉｎ₂Ｏ₃，ＰｂＯ，Ｓｂ₂Ｏ₃などの
酸化物導電体；ＨｆＢ₂，ＺｒＢ₂，ＬａＢ₆，ＣｅＢ₆，
ＹＢ₄，ＧｄＢ₄などの硼化物；ＴｉＣ，ＺｎＣ，Ｈｆ
Ｃ，ＴａＣ，ＳｉＣ，ＷＣなどの炭化物；ＴｉＮ，Ｚｒ
Ｎ，ＨｆＮなどの窒化膜；Ｓｉ，Ｇｅなどの半導体；カ
ーボン；ＡｇＭｇ；ＮｉＣｕ；ＰｂＳｎなどである。そ
してこれらの膜は、真空蒸着法、スパッタ法、化学的気
相堆積法、分散塗布型、ディッピング法、スピナー法な
どによって形成される。

【００３４】さらに、本発明では単純マトリックス構造
の電子線発生装置を形成したが、他に電子線発生部の裏
面に制御電極を形成し、制御する構造や、電子線発生の
上方に電子通過孔を有した制御電極を配置する構造など
がある。

【００３５】（工程４）：次に、板厚ｔ＝１０ｍｍの青
板ガラスを用いた外囲器部材１１１と枠部材１１０に、
ディスペンサーを用いた低融点ガラス（日本電気硝子
（株）製、ＬＳ−３０８１）とエチルセルロースとを溶
剤に溶かして得られた溶液を塗布形成した。

【００３６】（工程５）：次に、電子線発生装置が形成
されたリアプレート１０１と枠部材１１０とフェースプ
レート１０６と排気管１１２と電子取り出し用のリード
１１３を所定の位置に配置、積層し上方からおもりによ
り加圧し、大気中で封着熱処理温度４１０℃、封着熱処
理時間６０ｍｉｎの条件下で焼成し、電子線発生装置を
含む内側の外囲器を形成した。

【００３７】（工程６）：次に、（工程５）で作製した
電子線発生装置を含む内側の外囲器と、外囲器部材１１
１と第１の排気管１１２、第２の排気管１１５とを電子
線発生装置を含む内側の外囲器と同様に焼成し、画像表
示装置を形成した。

【００３８】（工程７）：次に、真空排気装置により第
１の排気管１１２により内側の外囲器内を真空度（圧
力）を１×１０^-6ｔｏｒｒとなるまで排気し、第２の排
気管１１５により外側の外囲器内の真空度（圧力）を１
×１０^-8ｔｏｒｒとなるまで排気した。内側の外囲器を
先に真空排気するのは、先に外側の外囲器を真空排気す
ると、内側の外囲器が内部から外に拡がる方向に力が加
わることとなり、破損が生じ易いためである。上記のよ
うに内側の外囲器を先に真空排気することにより歩留り
よく作製することができる。

【００３９】上記のように作製した本実施例の画像表示
装置は、外側の外囲器で耐大気圧構造体としたことで、
リアプレート１０１の板厚を薄くできたため、容易にリ
アプレート１０１に電子線発生装置を形成できた。

【００４０】また、外側の外囲器内の圧力を内側の外囲
器内の圧力より低くしたことから、仮に内側の外囲器で
微小リークが発生、もしくは外側の外囲器で微小リーク
が発生しても、電子線発生装置になんらダメージをあた
えることのない気密性に優れた画像表示装置を作製する
ことができた。

【００４１】（実施例２）図３は本発明の画像表示装置
の第２の実施例の構成を示す模式的断面図である。

【００４２】本実施例では、フェースプレート３０６に
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体３０８を形成し
たものを用いた。また、フェースプレート３０６とリア
プレート３０１により構成される内側の外囲器と、該内
側の外囲器を囲む外囲器部材３１１の間に支持部材３１
５を設け、内側の外囲器と外側の外囲器を固定した。特
にフェースプレート３０６側はＲ，Ｇ，Ｂの各蛍光体３
０８の間に支持部材３１５を設けた構造とした以外は実
施例１と同様にして装置を作製した。また、内側の外囲
器内は第１の排気管３１２から１×１０^-6ｔｏｒｒ程度
まで真空排気し、外側の外囲器内は第２の排気管３１５
によって同様に真空排気した後、不活性ガスであるＮ₂
を封入した。本実施例におけるこの他の構成部材であ
る、素子電極３０２，３０３、微粒子膜３０４、絶縁膜
３０５、透明電極３０７、メタルバック３０８リード３
１３および封着材３１４のそれぞれは、図１に示した素
子電極１０２，１０３、微粒子膜１０４、絶縁膜１０
５、透明電極１０７、メタルバック１０８、リード１１
３および封着材１１４と同様の構成であるために説明は
省略する。

【００４３】その結果、実施例１と同様に外側の外囲器
で耐大気圧構造体体、外側の外囲器に内側の外囲器を支
持部材３１６により固定したことで、強度を向上するこ
とができ、リアプレート３０１を薄くできたばかりか、
外側の外囲器内の圧力を、加圧、減圧とどの様な圧力に
も対応することができた。

【００４４】そのため、仮に内側の外囲器に微小リーク
が発生しても、不活性ガスのリークがあるのみで電子線
発生装置にはなんらダメージを与えることのない画像表
示装置を作製することができた。

【００４５】本実施例の画像表示装置の場合には、内側
の外囲器に雰囲気の変化が見られるたときには、外側の
外囲器を所望の真空まで再排気すれば気密性にはなんら
問題のないものとできる。

【００４６】また、本実施例では、Ｒ，Ｇ，Ｂの各蛍光
体３０８の間に支持部材３１５を設けたことで、支持部
材３１５がブラックストライプの機能をつとめ、より鮮
明なフルカラーの表示画像を得ることができた。

【００４７】なお、本実施例では、不活性ガスにＮ₂を
用いたが、電子線発生装置の特性を劣化させないガスで
あればどの様なガスでも良く、例をあげるならばＡｒ，
Ｈｅ等がある。

【００４８】（実施例３）図４は本発明の画像表示装置
の第３の実施例における外囲器の構成を示す模式的断面
図である。

【００４９】本実施例では、リアプレート４０１上にフ
ェースプレート４０６を設けて内側の外囲器とし、これ
を外囲器部材４１１にて囲んだものである。外囲器部材
４１１は、リアプレート４０１側となる部材とフェース
プレート４０６側となる部材を封着材４１４にて接合し
たものである。

【００５０】フェースプレート４０６には複数の柱が設
けられ、内側の外囲器は複数に分割されるが、柱には孔
４１７が設けられているため、第１の排気管４１２によ
って真空排気される内側の外囲器内は同じ圧力に保たれ
る。外囲器部材４１１はフェースプレート４０６と接
し、また、リアプレート４０１とは複数の支持部材４１
６を介して封着材４１４により接合されている。支持部
材４１６は、フェースプレート４０６の柱に対応する箇
所に配設されるもので、第２の排気管４１５により真空
排気されたときに外囲器部材４１１内の圧力が速やかに
均一となるようにフェースプレート４０６の柱と同様の
孔４１８が設けられている。

【００５１】フェースプレート４０６には、図１および
図３に示した実施例２と同様に透明電極、蛍光体、メタ
ルバックが設けられ、リアプレート４０１には素子電
極、微粒子膜、絶縁膜からなる電子線発生装置が設けら
れる。製造工程は実施例１と同様であるために説明は省
略する。

【００５２】本実施例においては、フェースプレート４
０６の柱がブラックストライプの機能をつとめ、より鮮
明なフルカラーの表示画像を得ることができ、より少な
い構成部品で実施例１および実施例２と同様の効果の画
像表示装置を作製することができ、製造コストを低くす
ることができた。

【００５３】さらに、複数の柱を設けて内側の外囲器は
複数に分割したことにより内側の外囲器の強度を向上す
ることができた。

【００５４】（実施例４）図５は本発明の画像表示装置
の第４の実施例における外囲器の構成を示す模式的断面
図である。

【００５５】本実施例は、リアプレート５０１上に、内
側の外囲器を形成するフェースプレート５０６と外囲器
部材５１１とを封着材５１４によって接合したものであ
る。第２の排気管５１５によって真空排気される外囲器
部材５１１は、その内側面がフェースプレート５０６と
接するように設けられている。フェースプレート５０６
には複数の柱が設けられ、内側の外囲器は複数に分割さ
れるが、柱には孔５１７が設けられているため、第１の
排気管５１２によって真空排気される内側の外囲器内は
同じ圧力に保たれる。フェースプレート５０６には、図
１および図３に示した実施例と同様に透明電極、蛍光
体、メタルバックが設けられ、リアプレート５０１には
素子電極、微粒子膜、絶縁膜からなる電子線発生装置が
設けられる。製造工程は実施例１と同様であるために説
明は省略する。

【００５６】本実施例においても、図４に示した第３の
実施例と同様にフェースプレート５０６の柱がブラック
ストライプの機能をつとめ、より鮮明なフルカラーの表
示画像を得ることができ、実施例１乃至実施例３と同様
の効果の画像表示装置を作製することができた。

【００５７】（実施例５）図７は本発明の画像表示装置
の第５の実施例の外囲器の構成を示す模式的断面図であ
る。

【００５８】本実施例では、リアプレート６０１を図面
上方に向けて突出する複数の柱が形成され、平板状のフ
ェースプレート６０６と封着材６１４によって接合され
て内側の外囲器を構成するものとし、該内側の外囲器を
外囲器部材６１１にて囲んだものである。外囲器部材６
１１は、リアプレート６０１と接する板状部材とフェー
スプレート６０６とを柱状の部材を封着材６１４にて接
合したものである。

【００５９】上述したようにリアプレート６０１には複
数の柱が設けられているため、内側の外囲器は複数に分
割されるが、柱には孔６１９が設けられているため、第
１の排気管６１２によって真空排気される内側の外囲器
内は同じ圧力に保たれる。

【００６０】フェースプレート６０６には、図１および
図３に示した実施例と同様に透明電極、蛍光体、メタル
バックが設けられ、リアプレート６０１には素子電極、
微粒子膜、絶縁膜からなる電子線発生装置が設けられ
る。製造工程は実施例１と同様であるために説明は省略
する。

【００６１】本実施例においては、リアプレート６０６
の柱がブラックストライプの機能をつとめ、より鮮明な
フルカラーの表示画像を得ることができ、実施例１乃至
実施例３と同様の効果の画像表示装置を作製することが
できた。

【００６２】（実施例６）本実施例では、電子線発生装
置にフィラメントを用いた蛍光表示管を用いた以外は実
施例１と同様にして装置を作製した（不図示）。

【００６３】その結果、リアプレート１上に形成された
電子線発生装置の相違にもかかわらず、実施例１と同様
の効果が確認できた。

【００６４】（実施例７）本実施例では、電子線発生装
置としてプラズマ発生装置を用いた以外は実施例１と同
様にして装置を作製した（不図示）。

【００６５】その結果、リアプレート１上に形成された
電子線発生装置の相違にもかかわらず、実施例１と同様
の効果が確認できた。

【００６６】図１において、１０６はフェースプレー
ト、１０１は電子線発生装置が形成されたリアプレー
ト、１１０は枠部材、１１１は外側の外囲器を形成する
外囲器部材を示す。

【００６７】上述した各実施例において用いられる材料
および封着作業について、図１に示した第１の実施例を
参照して説明する。

【００６８】枠部材１１０、フェースプレート１０６、
リアプレート１０１は絶縁性を有するものであればどの
ような部材で形成されていても構わないが、これらの熱
膨張係数がほぼ同一となるように材料を選択することが
好ましい。また、特に、その材料の具体例を挙げるなら
ば、青板、石英などのガラス基体、Ａｌ₂Ｏ₃などのセラ
ミックス基体などである。

【００６９】また、図３乃至図５のそれぞれに示したよ
うに、フェースプレート２０６，３０６，４０６と枠部
材２１０，３１０，４１０とを一体とした構造としても
よい。

【００７０】また、封着材１１４は、リアプレート１０
１、フェースプレート１０６が枠部材１１０を介して気
密封着できる材料であれば、どのような材料で構成され
ていても構わない。中でも特に、その材料の具体例を挙
げるならば、非結晶性の低融点フリットガラス、結晶性
の低融点フリットガラスなどがあり、それらを有機溶剤
と混合したり、ニトロセルロースなどのバインダと、そ
のバインダを溶解させる有機溶剤とを混合させてペース
ト状に調合し、少なくとも封着材１１４の塗布作業温度
での粘着性があるものを用いる。

【００７１】また、封着材１１４の塗布方法は、印刷
法、スプレー法、ディスペンサーによる注入法などどの
ような方法であってもよく、封着材形成部に所望の封着
材を所望の量だけ塗布形成できればよい。

【００７２】次に、図１に示すように、電子線発生装置
が形成されたリアプレート１０１上に、封着材１１４が
形成された枠部材１１０を配置し、さらにその上方にフ
ェースプレート１０６を配置して、封着材１１４を用い
た低融点フリットガラスが溶融する温度、例えば約３５
０℃〜６５０℃の範囲内の温度で加熱して溶着させる。
また、必要に応じてフェースプレート１０６もしくはリ
アプレート１０１側から加圧する。

【００７３】次に、図１に示すように外囲器部材１１１
を同様に、封着材１１４に溶着させて外側の外囲器を形
成する。

【００７４】次に、排気管１１２より真空排気し、内側
と外側の両外囲器内を所望の圧力もしくは雰囲気を形成
する。

【００７５】以上のように製造された本発明の画像表示
装置は複数の外囲器から画像表示装置を形成しているこ
とから、外側の外囲器の圧力が内側の外囲器の圧力より
低い状態にある、もしくは、外側の外囲器内に不活性ガ
スを封入することができることから、画像表示装置の製
造時による気密封着不良等による外囲器の微小リークが
発生しても外側の外囲器の圧力がそれより低い圧力であ
れば内側の外囲器内の圧力が上昇することはない。ま
た、外側の外囲器に不活性ガスが封入されていれば内側
の外囲器内の雰囲気は次第に変化するものの、リアプレ
ート１０１に形成された電子線発生装置にダメージをあ
たえることはない。

【００７６】また、上述構造をとることにより、外側の
外囲器で大気圧を耐える構造体を形成すればよいことか
ら、リアプレート１０１、フェースプレート１０６の板
厚を薄くすることができる。

【００７７】また、リアプレート１０１上に形成される
電子線発生装置には、フィラメント状の熱電子源を用い
た蛍光表示管、放電を用いたプラズマディスプレイさら
にはバルク型の薄膜型に分類された冷陰極素子などがあ
る。

【００７８】例えばバルク型の例としては、ＦＥ［Ｗ．
Ｐ．Ｄｙｋｃ＆Ｗ．Ｗ．Ｄｏｌａｎ，“Ｆｉｅｌｄ
ｅｍｉｓｓｉｏｎ”，ＡｄｖａｎｃｅｉｎＥｌｅ
ｃｔｒｏｎＰｈｙｓｉｃｓ，８，８９（１９５６）］
や、ＡｖａｌａｎｃｈｅタイプやＮＥＡタイプの半導体
［Ｊ．Ａ．Ｂｕｒｔｏｎ，“Ｅｌｅｃｔｒｏｎｅｍｉ
ｓｓｉｏｎｆｒｏｍｓｉｌｉｃｏｎ”，Ｐｈｙｓ．
Ｒｅｖ．，１０８，１３４２（１９５７）］あるいはＭ
ｇＯ［“Ｔｕｎｇ−ｓｏｌｃｏｎｆｉｒｍｓｃｏｌｄ
ｃａｔｈｏｄｅｔｕｂｅ”，Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ
ｓＮｅｗｓ（２６，Ｊａｎ．１９５９）、他に、ホト
カソード等が知られている。

【００７９】一方、薄膜型の例としては、ＭＩＭ［Ｃ．
Ａ．Ｍｅａｄ，“Ｔｈｅｔｕｎｎｅｌ−ｅｍｉｓｓｉ
ｏｎａｍｐｌｉｆｉｅｒ，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ
ｓ．，３２，６４６（１９６１）］やスピントタイプ
［Ｃ．Ａ．Ｓｐｉｎｄｔ，“Ｐｈｙｓｉｃａｌｐｒｏ
ｐｅｒｔｉｅｓｏｆｔｈｉｎ−ｆｉｌｍｆｉｅｌ
ｄｅｍｉｓｓｉｏｎｃａｔｈｏｄｅｓｗｉｔｈｍ
ｏｌｙｂｄｅｎｕｍｃｏｎｅｓ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐ
ｈｙｓ．，４７，５２４８（１９７６）］あるいは表面
伝導形電子放出素子［Ｍ．Ｉ．Ｅｌｉｎｓｏｎ，Ｒａｄ
ｉｏＥｎｇ．ＥｌｅｃｔｒｏｎＰｈｙｓ．，１０，
（１９６５）］などがある。

【００８０】表面伝導形電子放出素子は、基板上に形成
された小面積に薄膜に、膜内に平行に電流を流すことに
より、電子放出が生じる現象を利用するものである。

【００８１】この表面伝導形電子放出素子としては、前
記エリンソンなどにより開発されたＳｎＯ₂（Ｓｂ）薄
膜を用いたもの、Ａｕ薄膜によるもの［Ｃ．Ｄｉｔｔｍ
ｅｒ：“ＴｈｉｎＳｏｌｉｄＦｉｌｍｓ”，９，３
１７（１９７２）］，ＩＴＯ薄膜によるもの［Ｍ．Ｈａ
ｒｔｗｅｌｌａｎｄＣ．Ｇ．Ｆｏｎｓｔａｄ：”Ｉ
ＥＥＥＴｒａｎｓ．ＥＤＣｏｎｆ．”，５１９（１
９７５），カーボン薄膜によるもの［荒木久ら：真空，
第２６巻，第１号，２２頁（１９８３）］などが報告さ
れている。

【００８２】また、特開平１−２００５３２号公報およ
び特開平２−５６８２２号公報においては、電極間に微
粒子膜を配置し、これに通電処理を施すことによって電
子放出部を設ける表面伝導形電子放出素子が示されてい
る。これらどのような電子発生装置を用いても構わな
い。

【００８３】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００８４】請求項１に記載したものにおいては、第１
の外囲器の板圧を薄くすることができ、第１の外囲器内
に形成される画像表示部材を容易に形成することができ
るため、製造コストを低減することができる効果があ
る。

【００８５】請求項２に記載のものにおいては、外囲器
全体の強度を向上することができるとともに画質を向上
することができる効果がある。

【００８６】請求項３および請求項４に記載のものにお
いては、構成部品を少なくすることができるため、上記
各効果のうち、製造コストをさらに低減することができ
る効果がある。

【００８７】請求項５に記載のものにおいては、第１の
外囲器に微小リークが発生したときにも、画像表示部材
に悪影響を与えることがないため、上記各効果に加え
て、安定した表示を行うことができる効果がある。

【００８８】請求項６に記載のものにおいては、第１の
外囲器または第２の外囲器のいずれに微小リークが生じ
ても画像表示部材に悪影響を与えることがないため、さ
らに安定した表示を行うことができる効果がある。

【００８９】請求項７に記載の方法においては、上記各
効果を奏する顔像表示装置を製造する際の歩留りを向上
することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の画像表示装置の第１の実施例の構成を
示す模式的断面図である。

【図２】（ａ），（ｂ）のそれぞれは、本発明にて製造
される電子線発生装置の上面図

【図３】本発明の画像表示装置の第２の実施例の構成を
示す模式的断面図である。

【図４】本発明の画像表示装置の第３の実施例の構成を
示す模式的断面図である。

【図５】本発明の画像表示装置の第４の実施例の構成を
示す模式的断面図である。

【図６】本発明の画像表示装置の第５の実施例の構成を
示す模式的断面図である。

【図７】従来例の構成を示す模式的断面図である。

【図８】従来例の構成を示す模式的断面図である。

【図９】従来例の構成を示す模式的断面図である。

【符号の説明】

１０１，３０１，４０１，５０１，６０１リアプレ
ート１０２，１０３，３０２，３０３素子電極１０４，３０４微粒子膜１０５，３０５絶縁膜１０６，３０６，４０６，５０６，６０６フェース
プレート１０７，３０７透明電極１０８，３０８蛍光体１０９，３０９メタルバック１１０枠部材１１１，３１１，４１１，５１１，６１１外囲器部
材１１２，３１２，４１２，５１２，６１２第１の排
気管１１３，３１３リード１１４，３１４，４１４，５１４，６１４封着材１１５，３１５，４１５，５１５，６１５第２の排
気管２０１電子放出部３１６，４１６支持部材４１７，５１７，６１９孔

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に画像表示部材が配設された第１の
外囲器と、前記第１の外囲器全体を囲む第２の外囲器と、を有する
ことを特徴とする画像表示装置。
【請求項２】請求項１記載の画像表示装置において、前記第１の外囲器は、異なる色の蛍光部材を備えたフェ
ースプレートと、該フェースプレートと対向配置される
電子線発生装置を備えたリアプレートにより構成され、前記第１の外囲器と前記フェースプレートとの間の、各
蛍光部材の間となる位置に支持部材が設けられているこ
とを特徴とする画像形成装置。
【請求項３】内部に画像表示部材が配設された第１の
外囲器と、前記第１の外囲器を囲む第２の外囲器と、を
有する画像表示装置において、第１の外囲器は、異なる色の蛍光部材を備えたフェース
プレートと、該フェースプレートと対向配置される電子
線発生装置を備えたリアプレートにより構成され、前記フェースプレートの各蛍光部材の間となる位置には
第１の外囲器内を複数に分割する柱が形成されており、
該柱には第１の外囲器内の圧力を共通とするための孔が
形成されていることを特徴とする画像表示装置。
【請求項４】内部に画像表示部材が配設された第１の
外囲器と、前記第１の外囲器を囲む第２の外囲器と、を
有する画像表示装置において、第１の外囲器は、異なる色の蛍光部材を備えたフェース
プレートと、該フェースプレートと対向配置される電子
線発生装置を備えたリアプレートにより構成され、前記リアプレートには、第１の外囲器をフェースプレー
トの各蛍光部材の間となる位置にて複数に分割する柱が
形成されており、該柱には第１の外囲器内の圧力を共通
とするための孔が形成されていることを特徴とする画像
表示装置。
【請求項５】請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
の画像表示装置において、第１の外囲器内に不活性ガスが封入されていることを特
徴とする画像表示装置。
【請求項６】請求項１乃至請求項５のいずれかに記載
の画像表示装置において、前記第２の外囲器内の圧力が前記第１の外囲器内の圧力
よりも低いことを特徴とする画像表示装置。
【請求項７】請求項１乃至請求項６のいずれかに記載
の画像表示装置の製造方法であって、第２の外囲器の排気を行って圧力を調整した後に第１の
外囲器の排気を行って圧力を調整することを特徴とする
画像表示装置。