JP2002313002A - 磁気ディスク装置用リング状スペーサ - Google Patents
磁気ディスク装置用リング状スペーサInfo
- Publication number
- JP2002313002A JP2002313002A JP2002030886A JP2002030886A JP2002313002A JP 2002313002 A JP2002313002 A JP 2002313002A JP 2002030886 A JP2002030886 A JP 2002030886A JP 2002030886 A JP2002030886 A JP 2002030886A JP 2002313002 A JP2002313002 A JP 2002313002A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- shaped spacer
- magnetic disk
- magnetic recording
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】取付構造を複雑化せずに複数枚の磁気記録用ハ
ードディスク（磁気ディスク）の位置ズレや破損を防止
する。 【解決手段】磁気記録用ハードディスク装置において複
数枚の磁気記録用ハードディスク５間に取り付けられる
リング状スペーサ２４であって、前記リング状スペーサ
２４が前記磁気記録用ハードディスク５の熱膨張係数の
±１０％の範囲の材料よりなり、かつ前記リング状スペ
ーサ２４の表面に導電膜が形成されていることを特徴と
するリング状スペーサ。リング状スペーサ２４の材質が
ガラスであることが好ましく、導電膜はＳｎＯ２からな
ることが好ましい。
ードディスク（磁気ディスク）の位置ズレや破損を防止
する。 【解決手段】磁気記録用ハードディスク装置において複
数枚の磁気記録用ハードディスク５間に取り付けられる
リング状スペーサ２４であって、前記リング状スペーサ
２４が前記磁気記録用ハードディスク５の熱膨張係数の
±１０％の範囲の材料よりなり、かつ前記リング状スペ
ーサ２４の表面に導電膜が形成されていることを特徴と
するリング状スペーサ。リング状スペーサ２４の材質が
ガラスであることが好ましく、導電膜はＳｎＯ２からな
ることが好ましい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録用ハードデ
ィスク（以下、単に磁気ディスクという）装置における
磁気ディスクの取付構造に用いられるリング状スペー
サ、前記リング状スペーサを介して前記磁気ディスクを
取り付けてなる磁気ディスクの取付構造、および前記磁
気ディスクの取付構造を有する磁気ディスク装置に関す
る。
ィスク（以下、単に磁気ディスクという）装置における
磁気ディスクの取付構造に用いられるリング状スペー
サ、前記リング状スペーサを介して前記磁気ディスクを
取り付けてなる磁気ディスクの取付構造、および前記磁
気ディスクの取付構造を有する磁気ディスク装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁気ディスク用基板材料として
は、アルミニウム、ガラス、セラミックス、カーボンな
どが用いられてきたが、現在はサイズや用途に応じて主
にアルミニウムおよびガラスが用いられている。これら
の材料により構成された複数枚の磁気ディスクは、磁気
ディスク装置の回転駆動機構に連結されたハブ構成部に
スペーサを介し等間隔に取り付けられる。
は、アルミニウム、ガラス、セラミックス、カーボンな
どが用いられてきたが、現在はサイズや用途に応じて主
にアルミニウムおよびガラスが用いられている。これら
の材料により構成された複数枚の磁気ディスクは、磁気
ディスク装置の回転駆動機構に連結されたハブ構成部に
スペーサを介し等間隔に取り付けられる。
【０００３】近年、磁気ディスクの高記録密度化に伴
い、磁気ヘッドと磁気ディスク間の浮上間隔を極小化す
ること、磁気ディスクの磁気記録媒体層を薄膜化するこ
と等が要求されており、また耐衝撃性向上のため、機械
的強度に優れるガラス、結晶化ガラスまたはセラミック
ス基板よりなる磁気ディスクを使用した磁気ディスク装
置が提案されている。
い、磁気ヘッドと磁気ディスク間の浮上間隔を極小化す
ること、磁気ディスクの磁気記録媒体層を薄膜化するこ
と等が要求されており、また耐衝撃性向上のため、機械
的強度に優れるガラス、結晶化ガラスまたはセラミック
ス基板よりなる磁気ディスクを使用した磁気ディスク装
置が提案されている。
【０００４】以下、図２に従来の磁気ディスク装置の取
付構造を説明する要部断面図を示す。同図において、１
は回転駆動機構に連結されたスピンドル、２は軸受け、
３はハブ本体、４はリング状スペーサ、５は複数枚の磁
気ディスク、６は固定円板をそれぞれ示す。上記複数枚
の磁気ディスク５は、スピンドル１と連結されたハブ本
体３にそれぞれリング状スペーサ４を介して嵌挿され、
さらにその上に固定円板６を介してネジ７によって固定
することにより、所定間隔をもって取り付けられてい
る。
付構造を説明する要部断面図を示す。同図において、１
は回転駆動機構に連結されたスピンドル、２は軸受け、
３はハブ本体、４はリング状スペーサ、５は複数枚の磁
気ディスク、６は固定円板をそれぞれ示す。上記複数枚
の磁気ディスク５は、スピンドル１と連結されたハブ本
体３にそれぞれリング状スペーサ４を介して嵌挿され、
さらにその上に固定円板６を介してネジ７によって固定
することにより、所定間隔をもって取り付けられてい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来、ハブ本体および
リング状スペーサは金属製のものが用いられていた。こ
のため、基板にガラス、結晶化ガラスまたはセラミック
スを用いる場合、熱膨張係数の差を生じ不具合をきた
す。例えば、ガラス基板の熱膨張係数αが８０×１０
−７／℃前後であるのに対し、ハブ本体およびリング状
スペーサ等の金属の熱膨張係数αは２３０×１０−７／
℃前後である場合、その差が大きいため、磁気ディスク
の駆動時の温度変化によって磁気ディスクの位置ズレを
生じたり、場合によっては過大な熱応力を生じ磁気ディ
スクが破損するおそれがある。特に、磁気ディスクの位
置ズレはトラックミス（Ｔｒａｃｋ Ｍｉｓｒｅｓｉｓ
ｔｒａｔｉｏｎ）を引き起こすため、高記録密度化のう
えで大きな障害となる。
リング状スペーサは金属製のものが用いられていた。こ
のため、基板にガラス、結晶化ガラスまたはセラミック
スを用いる場合、熱膨張係数の差を生じ不具合をきた
す。例えば、ガラス基板の熱膨張係数αが８０×１０
−７／℃前後であるのに対し、ハブ本体およびリング状
スペーサ等の金属の熱膨張係数αは２３０×１０−７／
℃前後である場合、その差が大きいため、磁気ディスク
の駆動時の温度変化によって磁気ディスクの位置ズレを
生じたり、場合によっては過大な熱応力を生じ磁気ディ
スクが破損するおそれがある。特に、磁気ディスクの位
置ズレはトラックミス（Ｔｒａｃｋ Ｍｉｓｒｅｓｉｓ
ｔｒａｔｉｏｎ）を引き起こすため、高記録密度化のう
えで大きな障害となる。
【０００６】また、上記欠点解消のため、リング状スペ
ーサ等にガラス基板と熱膨張係数が近いα＝８０×１０
−７／℃前後の材料、例えばアルミナセラミックス材料
などを用いることも提案されている。しかし、ガラス、
結晶化ガラスまたはセラミックスの熱膨張係数は基板の
種類によりそれぞれ異なるため、一つのスペーサ材料で
全種類の基板に対応することは困難である。
ーサ等にガラス基板と熱膨張係数が近いα＝８０×１０
−７／℃前後の材料、例えばアルミナセラミックス材料
などを用いることも提案されている。しかし、ガラス、
結晶化ガラスまたはセラミックスの熱膨張係数は基板の
種類によりそれぞれ異なるため、一つのスペーサ材料で
全種類の基板に対応することは困難である。
【０００７】例えばガラスを用いる場合、ディスク・コ
ロージョンの原因となるアルカリが含有されていない、
耐久性が高い無アルカリガラスを用いることが望ましい
が、無アルカリガラス材料で高い熱膨張係数を持つもの
は限られている。例えばＴＦＴ−ＬＣＤ用基板として広
く用いられている無アルカリガラスの熱膨張係数は３０
〜５０×１０−７／℃と極めて低い。これらの汎用的な
材料をディスク基板に使用できれば、量産効果によるコ
ストダウンが期待できるが、金属製のハブ本体およびリ
ング状スペーサとの熱膨張係数差が大きいため前述のよ
うな問題を生じ使用できない。
ロージョンの原因となるアルカリが含有されていない、
耐久性が高い無アルカリガラスを用いることが望ましい
が、無アルカリガラス材料で高い熱膨張係数を持つもの
は限られている。例えばＴＦＴ−ＬＣＤ用基板として広
く用いられている無アルカリガラスの熱膨張係数は３０
〜５０×１０−７／℃と極めて低い。これらの汎用的な
材料をディスク基板に使用できれば、量産効果によるコ
ストダウンが期待できるが、金属製のハブ本体およびリ
ング状スペーサとの熱膨張係数差が大きいため前述のよ
うな問題を生じ使用できない。
【０００８】一方、単純にリング状スペーサ等にディス
ク基板と同一材料のガラス、結晶化ガラスまたはセラミ
ックス材料を用いる場合、これらは脆性材料であるた
め、ワレ、破損などが生じやすく、装置の信頼性が低下
する問題がある。また、これら材料の多くは絶縁体であ
るため、磁気ディスクの回転駆動時等において静電気が
発生しやすく、ゴミやほこりを吸着し安定した記録、再
生の妨げとなる問題もある。
ク基板と同一材料のガラス、結晶化ガラスまたはセラミ
ックス材料を用いる場合、これらは脆性材料であるた
め、ワレ、破損などが生じやすく、装置の信頼性が低下
する問題がある。また、これら材料の多くは絶縁体であ
るため、磁気ディスクの回転駆動時等において静電気が
発生しやすく、ゴミやほこりを吸着し安定した記録、再
生の妨げとなる問題もある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題は、リング状ス
ペーサがディスク基板とほぼ同一の熱膨張係数であり、
十分な機械的強度を有し、かつ静電気が発生しにくい導
電性を有することによって解決される。
ペーサがディスク基板とほぼ同一の熱膨張係数であり、
十分な機械的強度を有し、かつ静電気が発生しにくい導
電性を有することによって解決される。
【００１０】すなわち、本発明は、磁気記録用ハードデ
ィスク装置において複数枚の磁気記録用ハードディスク
間に取り付けられるリング状スペーサであって、前記リ
ング状スペーサが前記磁気記録用ハードディスクの熱膨
張係数の±１０％の範囲の材料よりなり、かつ前記リン
グ状スペーサの表面に導電膜が形成されていることを特
徴とするリング状スペーサを提供する。
ィスク装置において複数枚の磁気記録用ハードディスク
間に取り付けられるリング状スペーサであって、前記リ
ング状スペーサが前記磁気記録用ハードディスクの熱膨
張係数の±１０％の範囲の材料よりなり、かつ前記リン
グ状スペーサの表面に導電膜が形成されていることを特
徴とするリング状スペーサを提供する。
【００１１】また、本発明においては、リング状スペー
サの材質がガラスであることが好ましい。また、本発明
においては、導電膜がＳｎＯ２からなることが好まし
い。
サの材質がガラスであることが好ましい。また、本発明
においては、導電膜がＳｎＯ２からなることが好まし
い。
【００１２】また、本発明においては、スピンドルに連
結されたハブ本体に、前記リング状スペーサを介して磁
気記録用ハードディスクを取り付けてなることを特徴と
する磁気記録用ハードディスクの取付構造、および前記
磁気記録用ハードディスクの取付構造を有する磁気記録
用ハードディスク装置を提供する。
結されたハブ本体に、前記リング状スペーサを介して磁
気記録用ハードディスクを取り付けてなることを特徴と
する磁気記録用ハードディスクの取付構造、および前記
磁気記録用ハードディスクの取付構造を有する磁気記録
用ハードディスク装置を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施の形態にお
いては、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁
気ディスクを実装するリング状スペーサの材質が、前記
磁気ディスクと熱膨張係数が実質的に同等の材料、具体
的には使用時において磁気ディスクの熱膨張係数の±１
０％の範囲の材料よりなり、かつ当該リング状スペーサ
の取付け時の状態における少なくとも露出部表面に導電
膜が形成されていることを特徴としている。
いては、ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁
気ディスクを実装するリング状スペーサの材質が、前記
磁気ディスクと熱膨張係数が実質的に同等の材料、具体
的には使用時において磁気ディスクの熱膨張係数の±１
０％の範囲の材料よりなり、かつ当該リング状スペーサ
の取付け時の状態における少なくとも露出部表面に導電
膜が形成されていることを特徴としている。
【００１４】この構成によれば、熱膨張係数差による磁
気ディスクの位置ズレや、熱応力に起因する破損を防止
できる。また、リング状スペーサの取付け時の状態にお
ける少なくとも露出部表面に導電膜を形成することによ
り、静電気の発生を防止し、ゴミやほこりの吸着を防止
できると同時に、耐擦傷性や耐衝撃性等の強度も向上さ
せうる。
気ディスクの位置ズレや、熱応力に起因する破損を防止
できる。また、リング状スペーサの取付け時の状態にお
ける少なくとも露出部表面に導電膜を形成することによ
り、静電気の発生を防止し、ゴミやほこりの吸着を防止
できると同時に、耐擦傷性や耐衝撃性等の強度も向上さ
せうる。
【００１５】導電膜としては、ＳｎＯ２膜、Ｓｎのドー
プされたＩｎ２Ｏ３膜、ＧａのドープされたＺｎＯ膜等
が利用されるが、なかでもＳｎＯ２膜は、表面硬度が高
く、耐擦傷性に優れているため、特に好ましい材料であ
る。このＳｎＯ２膜としてはＦまたはＳｂのドープされ
たＳｎＯ２膜であってもよい。
プされたＩｎ２Ｏ３膜、ＧａのドープされたＺｎＯ膜等
が利用されるが、なかでもＳｎＯ２膜は、表面硬度が高
く、耐擦傷性に優れているため、特に好ましい材料であ
る。このＳｎＯ２膜としてはＦまたはＳｂのドープされ
たＳｎＯ２膜であってもよい。
【００１６】導電膜の形成方法は特に限定されず、化学
蒸着法、スプレイ法等が挙げられる。ここで、化学蒸着
法とは、熱分解して所定組成の膜を形成しうる物質、例
えば金属有機化合物を加熱、気化させ、これをキャリア
ガス、例えば空気、酸素、不活性ガスでコーティング室
に運び、リング状スペーサの表面上で、雰囲気中または
前記材料表面上の酸素または水と反応させることにより
所定組成の膜を形成させる方法をいう。また、スプレイ
法とは、原料物質を有機溶剤に溶解させ、これをリング
状スペーサの表面上にスプレイして熱分解させて、表面
に膜を形成させる方法をいう。
蒸着法、スプレイ法等が挙げられる。ここで、化学蒸着
法とは、熱分解して所定組成の膜を形成しうる物質、例
えば金属有機化合物を加熱、気化させ、これをキャリア
ガス、例えば空気、酸素、不活性ガスでコーティング室
に運び、リング状スペーサの表面上で、雰囲気中または
前記材料表面上の酸素または水と反応させることにより
所定組成の膜を形成させる方法をいう。また、スプレイ
法とは、原料物質を有機溶剤に溶解させ、これをリング
状スペーサの表面上にスプレイして熱分解させて、表面
に膜を形成させる方法をいう。
【００１７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例について
説明する。図１は本発明の磁気ディスクの取付構造の実
施例を示す要部断面図である。図において、ハブ本体２
３、リング状スペーサ２４および固定円板２６は、ガラ
ス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディスク５
と熱膨張係数が実質的に同等の材料により作成し、かつ
表面にＳｎＯ２膜を形成しておく。ハブ２３に、リング
状スペーサ２４を介して１枚、または複数枚のガラス、
結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディスク５を配
設し、その上に固定円板２６をネジ７によって締め付け
た取付構造とする。これにより、熱膨張係数差による磁
気ディスクの位置ズレや、熱応力に起因する破損を防止
できる。
説明する。図１は本発明の磁気ディスクの取付構造の実
施例を示す要部断面図である。図において、ハブ本体２
３、リング状スペーサ２４および固定円板２６は、ガラ
ス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディスク５
と熱膨張係数が実質的に同等の材料により作成し、かつ
表面にＳｎＯ２膜を形成しておく。ハブ２３に、リング
状スペーサ２４を介して１枚、または複数枚のガラス、
結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディスク５を配
設し、その上に固定円板２６をネジ７によって締め付け
た取付構造とする。これにより、熱膨張係数差による磁
気ディスクの位置ズレや、熱応力に起因する破損を防止
できる。
【００１８】なお、上記締め付けネジ７と各ガラス、結
晶化ガラスまたはセラミックス部材との熱膨張差による
歪みは、バネ座金２７の介在によって吸収され、磁気デ
ィスク５に対する熱応力発生等の不具合は生じない。
晶化ガラスまたはセラミックス部材との熱膨張差による
歪みは、バネ座金２７の介在によって吸収され、磁気デ
ィスク５に対する熱応力発生等の不具合は生じない。
【００１９】ＳｎＯ２膜は、リング状スペーサの表面を
数百℃に上げた状態で、ＳｎＣｌ４を噴霧して形成し
た。ここで、熱膨張係数α＝８５×１０−７／℃のアル
ミノシリケートガラスの表面にＳｎＯ２膜を形成した場
合の表面擦り傷を、膜がない場合と比較して観察評価し
た。評価は異なる１０枚について実施した。その結果、
表１に示すとおり、ＳｎＯ２膜によって加傷度合いが著
しく抑制できている。
数百℃に上げた状態で、ＳｎＣｌ４を噴霧して形成し
た。ここで、熱膨張係数α＝８５×１０−７／℃のアル
ミノシリケートガラスの表面にＳｎＯ２膜を形成した場
合の表面擦り傷を、膜がない場合と比較して観察評価し
た。評価は異なる１０枚について実施した。その結果、
表１に示すとおり、ＳｎＯ２膜によって加傷度合いが著
しく抑制できている。
【００２０】ＳｎＯ２膜付きの試料は１０枚全数ともわ
ずかに加傷が認められただけであったが、ＳｎＯ２膜を
付けない試料は１０枚全数とも著しい加傷が認められ、
ＳｎＯ２膜による顕著な効果が認められる。
ずかに加傷が認められただけであったが、ＳｎＯ２膜を
付けない試料は１０枚全数とも著しい加傷が認められ、
ＳｎＯ２膜による顕著な効果が認められる。
【００２１】
【表１】
【００２２】
【発明の効果】本発明のリング状スペーサを用いること
によって、リング状スペーサ表面の導電膜により、静電
気の発生を防止し、ゴミやほこりの吸着を防止できると
同時に、耐擦傷性や耐衝撃性等も向上させうることがで
きる。また、取付構造を複雑化することなく、複数枚の
ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディス
クを使用しても、取付構造部と磁気ディスクの熱膨張係
数の差に起因する位置ズレや熱応力による破損を防止で
き、また位置ズレによるミストラック等が生じず磁気デ
ィスク装置の信頼性が著しく向上する等優れた効果を奏
する。
によって、リング状スペーサ表面の導電膜により、静電
気の発生を防止し、ゴミやほこりの吸着を防止できると
同時に、耐擦傷性や耐衝撃性等も向上させうることがで
きる。また、取付構造を複雑化することなく、複数枚の
ガラス、結晶化ガラスまたはセラミックス製磁気ディス
クを使用しても、取付構造部と磁気ディスクの熱膨張係
数の差に起因する位置ズレや熱応力による破損を防止で
き、また位置ズレによるミストラック等が生じず磁気デ
ィスク装置の信頼性が著しく向上する等優れた効果を奏
する。
【図１】本発明のリング状スペーサを用いた磁気ディス
クの取付構造を示す要部断面図である。
クの取付構造を示す要部断面図である。
【図２】従来の磁気ディスクの取付構造を示す要部断面
図である。
図である。
１：スピンドル ２：軸受け ３：ハブ本体 ４：リング状スペーサ ５：磁気ディスク ６：固定円盤 ７：ネジ ２３：ハブ本体 ２４：リング状スペーサ ２６：固定円盤 ２７：バネ座金
Claims (5)
- 【請求項１】磁気記録用ハードディスク装置において複
数枚の磁気記録用ハードディスク間に取り付けられるリ
ング状スペーサであって、前記リング状スペーサが前記
磁気記録用ハードディスクの熱膨張係数の±１０％の範
囲の材料よりなり、かつ前記リング状スペーサの表面に
導電膜が形成されていることを特徴とするリング状スペ
ーサ。 - 【請求項２】前記リング状スペーサの材質がガラスであ
る請求項１に記載のリング状スペーサ。 - 【請求項３】前記導電膜がＳｎＯ２膜である請求項１ま
たは２に記載のリング状スペーサ。 - 【請求項４】スピンドルに連結されたハブ本体に、請求
項１、２または３に記載のリング状スペーサを介して磁
気記録用ハードディスクを取り付けてなることを特徴と
する磁気記録用ハードディスクの取付構造。 - 【請求項５】請求項４に記載の磁気記録用ハードディス
クの取付構造を有する磁気記録用ハードディスク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002030886A JP2002313002A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | 磁気ディスク装置用リング状スペーサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002030886A JP2002313002A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | 磁気ディスク装置用リング状スペーサ |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10226240A Division JP2000057727A (ja) | 1998-08-10 | 1998-08-10 | 磁気記録用ハードディスクの取付構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002313002A true JP2002313002A (ja) | 2002-10-25 |
Family
ID=19192492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002030886A Withdrawn JP2002313002A (ja) | 2002-02-07 | 2002-02-07 | 磁気ディスク装置用リング状スペーサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002313002A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2008029854A1 (ja) * | 2006-09-08 | 2010-01-21 | 株式会社アルバック | ドライエッチング装置及び方法 |
| CN103426442A (zh) * | 2012-05-25 | 2013-12-04 | 希捷科技有限公司 | 匹配cte的驱动器 |
-
2002
- 2002-02-07 JP JP2002030886A patent/JP2002313002A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2008029854A1 (ja) * | 2006-09-08 | 2010-01-21 | 株式会社アルバック | ドライエッチング装置及び方法 |
| CN103426442A (zh) * | 2012-05-25 | 2013-12-04 | 希捷科技有限公司 | 匹配cte的驱动器 |
| JP2013246866A (ja) * | 2012-05-25 | 2013-12-09 | Seagate Technology Llc | Ｃｔｅ整合駆動装置 |
| CN103426442B (zh) * | 2012-05-25 | 2015-06-24 | 希捷科技有限公司 | 匹配cte的驱动器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0239028B1 (en) | Magnetic recording medium | |
| JP2002523852A (ja) | ハードディスク蒸気潤滑剤注入 | |
| JP2002313002A (ja) | 磁気ディスク装置用リング状スペーサ | |
| JP2000057727A (ja) | 磁気記録用ハードディスクの取付構造 | |
| JP4984444B2 (ja) | 潤滑剤、磁気ヘッドスライダ、磁気記録媒体および磁気記録装置 | |
| CA2184737A1 (en) | Diamond-like carbon coated transducers for magnetic recording media | |
| EP0216079B1 (en) | Manufacturing method of carbon film and use thereof | |
| JPH0580745B2 (ja) | ||
| JP2003308672A (ja) | 磁気ディスク用リング状スペーサの加工方法および磁気ディスク用リング状スペーサ | |
| JP4399549B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| US20240071419A1 (en) | Glass spacer and hard disk drive device | |
| JPH0823930B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP4657959B2 (ja) | 成膜装置及び磁気ディスクの製造方法 | |
| JPH0432011B2 (ja) | ||
| JPS63160014A (ja) | 磁気デイスク用基板の製造方法 | |
| JP2001176056A (ja) | 磁気ディスクおよび磁気記録装置 | |
| JPS5823468B2 (ja) | 耐摩耗性薄膜の製造方法 | |
| JP4961157B2 (ja) | 成膜装置及び磁気ディスクの製造方法 | |
| JP2003217111A (ja) | 磁気ディスク用ガラス基板およびその製造方法、ならびに該基板を用いた磁気記録媒体 | |
| JP2007026516A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、及び基板アダプタ | |
| JPH04171615A (ja) | 碍子 | |
| JP2500896B2 (ja) | 磁気テ―プ | |
| JP2624473B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| Fujiyama et al. | 607 Influence of O_2 Gas Partial Pressure and Substrate Temperature on Wear Resistance of Al_2O_3 films deposited by Radio-Frequency Magnetron Sputtering | |
| JP2008060480A (ja) | 有機半導体膜の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050214 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20050404 |