JP2002307743A - レーザー露光装置 - Google Patents
レーザー露光装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 部材の寸法精度や組立て精度を厳格に行わな
くても各レーザー光の光軸ズレを補正することのできる
レーザー露光装置を提供すること。 【解決手段】 カラー画像を形成するための赤レーザー
光源１０、緑レーザー光源１１、青レーザー光源１２
と、各レーザー光源１０，１１，１２から出力される各
レーザー光を同軸上に合成する合成光学系Ｃと、各レー
ザー光源１０，１１，１２から合成光学系Ｃへ至るまで
の光路に夫々設けられた反射ミラー１６，１７，１８
と、反射ミラー１６，１７，１８によるレーザー光の反
射角度を調整する調整機構とを備え、この調整機構は反
射ミラー１６，１７，１８を支持する部材をヒータ１
９，２０，２１又は圧電素子により変形する。
くても各レーザー光の光軸ズレを補正することのできる
レーザー露光装置を提供すること。 【解決手段】 カラー画像を形成するための赤レーザー
光源１０、緑レーザー光源１１、青レーザー光源１２
と、各レーザー光源１０，１１，１２から出力される各
レーザー光を同軸上に合成する合成光学系Ｃと、各レー
ザー光源１０，１１，１２から合成光学系Ｃへ至るまで
の光路に夫々設けられた反射ミラー１６，１７，１８
と、反射ミラー１６，１７，１８によるレーザー光の反
射角度を調整する調整機構とを備え、この調整機構は反
射ミラー１６，１７，１８を支持する部材をヒータ１
９，２０，２１又は圧電素子により変形する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー光により
カラー画像を形成するレーザー露光装置に関する。
カラー画像を形成するレーザー露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかるレーザー露光装置として、レーザ
ー光を用いてペーパー等の感光材料にカラー画像を形成
するものが知られている。この装置は、レーザー光源と
して、赤・緑・青の各色のレーザー光源を備えている。
各光源から赤レーザー光、緑レーザー光、青レーザー
光が別々に出力されるが、これらは合成光学系を用いて
１本のレーザー光に (同一光軸上に) 合成される。合成
光学系は、プリズムやダイクロックミラーを用いて、３
色のレーザー光を１本のレーザー光に合成する。
ー光を用いてペーパー等の感光材料にカラー画像を形成
するものが知られている。この装置は、レーザー光源と
して、赤・緑・青の各色のレーザー光源を備えている。
各光源から赤レーザー光、緑レーザー光、青レーザー
光が別々に出力されるが、これらは合成光学系を用いて
１本のレーザー光に (同一光軸上に) 合成される。合成
光学系は、プリズムやダイクロックミラーを用いて、３
色のレーザー光を１本のレーザー光に合成する。
【０００３】この合成されたレーザー光は、ポリゴンミ
ラーやｆθレンズにより構成される走査光学系を用いて
走査することにより、感光材料の乳剤面に画像を露光形
成することができる。走査光学系によるレーザー光の走
査方向 (主走査方向) は、感光材料の搬送方向と直交す
る方向であり、感光材料を搬送方向 (副走査方向) に沿
って搬送しながら、レーザー光の主走査を行うことによ
り、感光材料に順次画像を露光形成していくことができ
る。
ラーやｆθレンズにより構成される走査光学系を用いて
走査することにより、感光材料の乳剤面に画像を露光形
成することができる。走査光学系によるレーザー光の走
査方向 (主走査方向) は、感光材料の搬送方向と直交す
る方向であり、感光材料を搬送方向 (副走査方向) に沿
って搬送しながら、レーザー光の主走査を行うことによ
り、感光材料に順次画像を露光形成していくことができ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のように３色のレ
ーザー光を合成光学系により光軸を合致させて１本のレ
ーザー光に合成しているが、完全に光軸を一致させるこ
とは難しい。その理由は、合成光学系を構成する各部材
の寸法バラツキや、組立て誤差や、環境温度の変化によ
り実際にはわずかのズレが発生する。かかる光軸ズレが
発生すると、感光材料の乳剤面において各色が特に副走
査方向においてズレが発生する。これにより、画質の低
下を招来する。かかる問題を解決する手段として、合成
光学系を構成する各部材の寸法精度を上げたり、組立て
時の調整を厳格に行うという手段が考えられるが、寸法
精度を上げるにしても限界があり、組立て時に厳格な調
整を行うと調整時間や調整コストがかかる。
ーザー光を合成光学系により光軸を合致させて１本のレ
ーザー光に合成しているが、完全に光軸を一致させるこ
とは難しい。その理由は、合成光学系を構成する各部材
の寸法バラツキや、組立て誤差や、環境温度の変化によ
り実際にはわずかのズレが発生する。かかる光軸ズレが
発生すると、感光材料の乳剤面において各色が特に副走
査方向においてズレが発生する。これにより、画質の低
下を招来する。かかる問題を解決する手段として、合成
光学系を構成する各部材の寸法精度を上げたり、組立て
時の調整を厳格に行うという手段が考えられるが、寸法
精度を上げるにしても限界があり、組立て時に厳格な調
整を行うと調整時間や調整コストがかかる。
【０００５】本発明は上記実情に鑑みてなされたもので
あり、その課題は、部材の寸法精度や組立て精度を厳格
に行わなくても各レーザー光の光軸ズレを補正すること
のできるレーザー露光装置を提供することである。
あり、その課題は、部材の寸法精度や組立て精度を厳格
に行わなくても各レーザー光の光軸ズレを補正すること
のできるレーザー露光装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明に係るレーザー露光装置は、カラー画像を形成す
るための第１レーザー光源、第２レーザー光源、第３レ
ーザー光源と、前記各レーザー光源から出力される各レ
ーザー光を同一光軸上に合成する合成光学系と、前記各
レーザー光源から前記合成光学系へ至るまでの光路又は
合成光学系に設けられた反射ミラーと、前記反射ミラー
による前記レーザー光の反射角度を調整する調整機構と
を備え、前記調整により、前記各レーザー光の光軸ズレ
を補正するように構成したことを特徴とするものであ
る。この構成によると、各レーザー光源から合成光学系
へ至るまでの夫々の光路に反射ミラーが設けられてい
る。あるいは、合成光学系において、レーザー光を合成
するために各レーザー光について夫々反射ミラーが設け
られている。そして、この反射ミラーによるレーザー光
の反射角度を調整することができる。この調整機構によ
り、各レーザー光を合成する場合の光軸ズレを、各反射
ミラーの反射角度を調整することにより補正することが
できる。つまり、部材の寸法バラツキが存在していたと
しても、反射角度の調整により光軸ズレを補正すること
ができる。また、組立て時における調整も行わなくて良
い。その結果、部材の寸法精度や組立て精度を厳格に行
わなくても各レーザー光の光軸ズレを補正することので
きるレーザー露光装置を提供することができる。
本発明に係るレーザー露光装置は、カラー画像を形成す
るための第１レーザー光源、第２レーザー光源、第３レ
ーザー光源と、前記各レーザー光源から出力される各レ
ーザー光を同一光軸上に合成する合成光学系と、前記各
レーザー光源から前記合成光学系へ至るまでの光路又は
合成光学系に設けられた反射ミラーと、前記反射ミラー
による前記レーザー光の反射角度を調整する調整機構と
を備え、前記調整により、前記各レーザー光の光軸ズレ
を補正するように構成したことを特徴とするものであ
る。この構成によると、各レーザー光源から合成光学系
へ至るまでの夫々の光路に反射ミラーが設けられてい
る。あるいは、合成光学系において、レーザー光を合成
するために各レーザー光について夫々反射ミラーが設け
られている。そして、この反射ミラーによるレーザー光
の反射角度を調整することができる。この調整機構によ
り、各レーザー光を合成する場合の光軸ズレを、各反射
ミラーの反射角度を調整することにより補正することが
できる。つまり、部材の寸法バラツキが存在していたと
しても、反射角度の調整により光軸ズレを補正すること
ができる。また、組立て時における調整も行わなくて良
い。その結果、部材の寸法精度や組立て精度を厳格に行
わなくても各レーザー光の光軸ズレを補正することので
きるレーザー露光装置を提供することができる。
【０００６】本発明の好適な実施形態として、前記調整
機構は、前記反射ミラーを支持する部材をヒータにより
変形することで前記調整を行うものがあげられる。反射
ミラーを支持する部材をヒータにより変形することによ
り、反射角度を変え、光軸ズレを補正することができ
る。調整はヒータを加熱すればよいので、簡単な構成に
より光軸ズレを補正することができる。
機構は、前記反射ミラーを支持する部材をヒータにより
変形することで前記調整を行うものがあげられる。反射
ミラーを支持する部材をヒータにより変形することによ
り、反射角度を変え、光軸ズレを補正することができ
る。調整はヒータを加熱すればよいので、簡単な構成に
より光軸ズレを補正することができる。
【０００７】本発明の別の好適な実施形態として、前記
調整機構は、前記反射ミラーを支持する部材を圧電素子
により変形することで前記調整を行うものがあげられ
る。反射ミラーを支持する部材を圧電素子により変形す
ることにより、反射角度を変え、光軸ズレを補正するこ
とができる。調整は圧電素子を駆動するば良いので、簡
単な構成により光軸ズレを補正することができる。
調整機構は、前記反射ミラーを支持する部材を圧電素子
により変形することで前記調整を行うものがあげられ
る。反射ミラーを支持する部材を圧電素子により変形す
ることにより、反射角度を変え、光軸ズレを補正するこ
とができる。調整は圧電素子を駆動するば良いので、簡
単な構成により光軸ズレを補正することができる。
【０００８】本発明の更に別の好適な実施形態として、
前記各レーザー光の光軸ズレ量のデータを入力する入力
部と、前記入力されたデータに基づいて前記調整機構に
よる調整量を制御する制御部とを更に備えているものが
あげられる。
前記各レーザー光の光軸ズレ量のデータを入力する入力
部と、前記入力されたデータに基づいて前記調整機構に
よる調整量を制御する制御部とを更に備えているものが
あげられる。
【０００９】光軸ズレ量のデータとして、例えば、各レ
ーザー光源により感光材料に所定の画像を露光し、得ら
れた画像から光軸ズレ量データを測定することができ
る。このデータを入力部により入力することにより、調
整機構により調整することができる。データに基づいた
制御を行うことにより、確実な制御 (調整) を行うこと
ができる。
ーザー光源により感光材料に所定の画像を露光し、得ら
れた画像から光軸ズレ量データを測定することができ
る。このデータを入力部により入力することにより、調
整機構により調整することができる。データに基づいた
制御を行うことにより、確実な制御 (調整) を行うこと
ができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係るレーザー露光装置の
好適な実施形態を図面を用いて説明する。図１は、レー
ザー露光装置が用いられている画像形成装置の構成を示
す図である。
好適な実施形態を図面を用いて説明する。図１は、レー
ザー露光装置が用いられている画像形成装置の構成を示
す図である。
【００１１】＜画像形成装置の構成＞この画像形成装置
は、大きく分けてプリンター部Ｒ１とプロセッサー部Ｒ
２とから構成される。プリンター部Ｒ１には、２種類の
ペーパーマガジン１，２が着脱可能になっており、いず
れかのペーパーマガジン１，２から写真感光材料である
ペーパーＰが引き出されていき、所定の搬送経路に沿っ
て搬送される。ペーパーＰは、ペーパーマガジン１，２
の内部にロール状に収容されている。ペーパーマガジン
１，２から引き出されるペーパーＰは長尺状であるが、
ペーパーカッター３によりプリントサイズにカットさ
れ、レーザー露光装置１００に送り込まれる。
は、大きく分けてプリンター部Ｒ１とプロセッサー部Ｒ
２とから構成される。プリンター部Ｒ１には、２種類の
ペーパーマガジン１，２が着脱可能になっており、いず
れかのペーパーマガジン１，２から写真感光材料である
ペーパーＰが引き出されていき、所定の搬送経路に沿っ
て搬送される。ペーパーＰは、ペーパーマガジン１，２
の内部にロール状に収容されている。ペーパーマガジン
１，２から引き出されるペーパーＰは長尺状であるが、
ペーパーカッター３によりプリントサイズにカットさ
れ、レーザー露光装置１００に送り込まれる。
【００１２】レーザー露光装置１００の詳細は後述する
が、レーザーエンジン５を備えており、レーザー光Ｌを
ライン状の出力部から出力する。また、搬送経路途上に
露光用の搬送ローラ対５ａ，５ｂを備えており、カット
されたペーパーＰを挟持して一定速度で搬送する。ペー
パーＰの乳剤面に画像データにより光変調されたレーザ
ー光を照射することにより、画像を露光形成することが
できる。また、制御部４を備えており、画像形成装置の
各部の作動を制御する。プロセッサー部Ｒ２には現像処
理槽６が設けられており、レーザー光により形成された
潜像を顕在化させる。プロセッサー部Ｒ２において、所
定の現像処理・乾燥処理が行われた後、装置外部の集積
装置７にオーダー毎に集積される。＜レーザー露光装置
の構成＞図２において、レーザー露光装置１００は大き
く分けてレーザー光源部Ａ１と、レーザー走査部Ａ２と
を備えている。レーザー光源部Ａ１は、赤レーザー光源
１０と、緑レーザー光源１１と、青レーザー光源１２
と、各レーザー光源１０，１１，１２から出力されるレ
ーザー光を変調する音響光学素子 (以下、音響光学素子
をＡＯＭと省略する。) １３，１４，１５と、各ＡＯＭ
１３，１４，１５をそれぞれ駆動するＡＯＭドライバ４
６，４７，４８ (図４参照) とを備えている。
が、レーザーエンジン５を備えており、レーザー光Ｌを
ライン状の出力部から出力する。また、搬送経路途上に
露光用の搬送ローラ対５ａ，５ｂを備えており、カット
されたペーパーＰを挟持して一定速度で搬送する。ペー
パーＰの乳剤面に画像データにより光変調されたレーザ
ー光を照射することにより、画像を露光形成することが
できる。また、制御部４を備えており、画像形成装置の
各部の作動を制御する。プロセッサー部Ｒ２には現像処
理槽６が設けられており、レーザー光により形成された
潜像を顕在化させる。プロセッサー部Ｒ２において、所
定の現像処理・乾燥処理が行われた後、装置外部の集積
装置７にオーダー毎に集積される。＜レーザー露光装置
の構成＞図２において、レーザー露光装置１００は大き
く分けてレーザー光源部Ａ１と、レーザー走査部Ａ２と
を備えている。レーザー光源部Ａ１は、赤レーザー光源
１０と、緑レーザー光源１１と、青レーザー光源１２
と、各レーザー光源１０，１１，１２から出力されるレ
ーザー光を変調する音響光学素子 (以下、音響光学素子
をＡＯＭと省略する。) １３，１４，１５と、各ＡＯＭ
１３，１４，１５をそれぞれ駆動するＡＯＭドライバ４
６，４７，４８ (図４参照) とを備えている。
【００１３】ＡＯＭ１５の構成を簡単に説明すると、音
響光学効果を生じる音響光学媒質と、ＡＯＭドライバ４
８から入力される高周波信号により超音波を出力する圧
電素子と、音響光学媒体を通過してきた超音波を吸収す
る超音波吸収体とを備えている。ＡＯＭ１５に入射され
た青レーザー光は、ＡＯＭドライバ４８からの高周波信
号の周波数や振幅の大きさに応じて回折され、ＡＯＭ１
５からは複数本の回折された青レーザー光が出力され
る。ＡＯＭ１５の光路の下手側には遮蔽板 (不図示) が
設けられており、回折光のうち最も強度のある１次回折
光のみを通過させるようにしている。以上のように、Ａ
ＯＭドライバ４８により画像データに対応した高周波信
号を生成し、この高周波信号をＡＯＭ１５に供給するこ
とにより、青レーザー光を画像データに対応した光変調
をさせることができる。以上の点は他のＡＯＭ１３, １
４に関しても同じである。
響光学効果を生じる音響光学媒質と、ＡＯＭドライバ４
８から入力される高周波信号により超音波を出力する圧
電素子と、音響光学媒体を通過してきた超音波を吸収す
る超音波吸収体とを備えている。ＡＯＭ１５に入射され
た青レーザー光は、ＡＯＭドライバ４８からの高周波信
号の周波数や振幅の大きさに応じて回折され、ＡＯＭ１
５からは複数本の回折された青レーザー光が出力され
る。ＡＯＭ１５の光路の下手側には遮蔽板 (不図示) が
設けられており、回折光のうち最も強度のある１次回折
光のみを通過させるようにしている。以上のように、Ａ
ＯＭドライバ４８により画像データに対応した高周波信
号を生成し、この高周波信号をＡＯＭ１５に供給するこ
とにより、青レーザー光を画像データに対応した光変調
をさせることができる。以上の点は他のＡＯＭ１３, １
４に関しても同じである。
【００１４】各ＡＯＭ１３，１４，１５から出力された
各レーザー光は、反射ミラー１６，１７，１８により９
０゜方向転換され、エキスパンダ・レンズ２２，２３，
２４およびＮＤフィルター２５，２６，２７を介して合
成光学系Ｃに入射される。各反射ミラー１６，１７，１
８は、支持部材１６ａ，１７ａ，１８ａにより取り付け
支持されており、各支持部材１６ａ，１７ａ，１８ａの
裏面には、反射ミラー１６，１７，１８によるレーザー
光の反射角度を調整するためのヒータ１９，２０，２１
が夫々設けられている。
各レーザー光は、反射ミラー１６，１７，１８により９
０゜方向転換され、エキスパンダ・レンズ２２，２３，
２４およびＮＤフィルター２５，２６，２７を介して合
成光学系Ｃに入射される。各反射ミラー１６，１７，１
８は、支持部材１６ａ，１７ａ，１８ａにより取り付け
支持されており、各支持部材１６ａ，１７ａ，１８ａの
裏面には、反射ミラー１６，１７，１８によるレーザー
光の反射角度を調整するためのヒータ１９，２０，２１
が夫々設けられている。
【００１５】さらに、各レーザー光を合成するために合
成光学系Ｃが設けられており、合成光学系Ｃは、光路の
下流側から順に配置された第１反射部２８と、第２反射
部２９と、第３反射部３０とを備えている。第１反射部
２８よりも下流側の光路においては各レーザー光が合成
された状態になる。各反射部２８，２９，３０は、ダイ
クロックプリズム又はダイクロックミラーにより構成す
ることができる。
成光学系Ｃが設けられており、合成光学系Ｃは、光路の
下流側から順に配置された第１反射部２８と、第２反射
部２９と、第３反射部３０とを備えている。第１反射部
２８よりも下流側の光路においては各レーザー光が合成
された状態になる。各反射部２８，２９，３０は、ダイ
クロックプリズム又はダイクロックミラーにより構成す
ることができる。
【００１６】＜レーザー走査部の構成＞合成されたレー
ザー光は、レーザー走査部Ａ２にて走査される。レーザ
ー走査部Ａ２は、ポリゴンミラー３１と、ｆθレンズ３
２と、走査開始位置制御用のミラー３３と、ミラー３３
から反射されてくるレーザー光を検出する光センサー３
４とを備えている。
ザー光は、レーザー走査部Ａ２にて走査される。レーザ
ー走査部Ａ２は、ポリゴンミラー３１と、ｆθレンズ３
２と、走査開始位置制御用のミラー３３と、ミラー３３
から反射されてくるレーザー光を検出する光センサー３
４とを備えている。
【００１７】ポリゴンミラー３１は、ポリゴンドライバ
３５により駆動制御され、図２の時計方向に回転するこ
とにより、各レーザー光をペーパーＰの上を走査 (主走
査)して二次元画像を露光形成する。ｆθレンズ３２
は、ポリゴンミラー３１により等角速度に偏向されたレ
ーザー光を、ペーパーＰ上で等速になるように補正す
る。これにより歪曲収差が補正される。レーザー光が出
力されるライン状の出力部には、保護ガラス (不図示)
が設けられており、装置内部にごみや埃が侵入するのを
防止する。ペーパーＰは図２の紙面に垂直な方向（副走
査方向) に駆動され、ペーパーＰを挟持して搬送する搬
送ローラ対５ａ，５ｂと、これらを駆動するパルスモー
タ３９を備えている。ペーパーＰを副走査方向に搬送さ
せながら、前述のレーザー走査部Ａ２におけるレーザー
光の主走査により、デジタル画像をペーパーＰの乳剤面
に順次露光形成することができる。
３５により駆動制御され、図２の時計方向に回転するこ
とにより、各レーザー光をペーパーＰの上を走査 (主走
査)して二次元画像を露光形成する。ｆθレンズ３２
は、ポリゴンミラー３１により等角速度に偏向されたレ
ーザー光を、ペーパーＰ上で等速になるように補正す
る。これにより歪曲収差が補正される。レーザー光が出
力されるライン状の出力部には、保護ガラス (不図示)
が設けられており、装置内部にごみや埃が侵入するのを
防止する。ペーパーＰは図２の紙面に垂直な方向（副走
査方向) に駆動され、ペーパーＰを挟持して搬送する搬
送ローラ対５ａ，５ｂと、これらを駆動するパルスモー
タ３９を備えている。ペーパーＰを副走査方向に搬送さ
せながら、前述のレーザー走査部Ａ２におけるレーザー
光の主走査により、デジタル画像をペーパーＰの乳剤面
に順次露光形成することができる。
【００１８】＜調整機構＞図３は、図２で説明した反射
ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整するための調
整機構を示す図である。まず、この調整機構の必要性に
ついて説明する。
ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整するための調
整機構を示す図である。まず、この調整機構の必要性に
ついて説明する。
【００１９】図２に示すように、３色のレーザー光を合
成光学系Ｃにより光軸を合致させて１本のレーザー光に
合成しているが、完全に光軸を一致させることは難し
い。合成光学系Ｃを構成する各部材（プリズムやミラ
ー）の寸法バラツキや、反射ミラー１６，１７，１８の
組立て誤差や、環境温度の変化により実際にはわずかの
ズレが発生する。かかる光軸ズレが発生すると、ペーパ
ーＰの乳剤面において各色のズレが副走査方向において
発生する。これにより、画質の低下を招来する。かかる
問題を解決する手段として、合成光学系Ｃを構成する各
部材の寸法精度を上げたり、組立て時の調整を厳格に行
うという手段が考えられるが、寸法精度を上げるにして
も限界があり、組立て時に厳格な調整を行うと調整時間
や調整コストがかかる。そこで、本発明においては、各
レーザー光の光軸ズレの補正を簡単に行うことができる
ような構成を採用している。図３により、赤レーザー光
源１０に関するレーザー光を反射する反射ミラー１６に
ついて説明するが、他の反射ミラー１７，１８について
も同様である。反射ミラー１６は支持部材１６ａにより
支持され、さらに支持部材１６ａは基台１６ｂに対して
取り付けられている。 なお、支持部材１６ａと反射ミ
ラー１６とは別部品として表現されているが、支持部材
１６ａの表面に反射面となる材料を蒸着して反射ミラー
１６を形成しても良い。
成光学系Ｃにより光軸を合致させて１本のレーザー光に
合成しているが、完全に光軸を一致させることは難し
い。合成光学系Ｃを構成する各部材（プリズムやミラ
ー）の寸法バラツキや、反射ミラー１６，１７，１８の
組立て誤差や、環境温度の変化により実際にはわずかの
ズレが発生する。かかる光軸ズレが発生すると、ペーパ
ーＰの乳剤面において各色のズレが副走査方向において
発生する。これにより、画質の低下を招来する。かかる
問題を解決する手段として、合成光学系Ｃを構成する各
部材の寸法精度を上げたり、組立て時の調整を厳格に行
うという手段が考えられるが、寸法精度を上げるにして
も限界があり、組立て時に厳格な調整を行うと調整時間
や調整コストがかかる。そこで、本発明においては、各
レーザー光の光軸ズレの補正を簡単に行うことができる
ような構成を採用している。図３により、赤レーザー光
源１０に関するレーザー光を反射する反射ミラー１６に
ついて説明するが、他の反射ミラー１７，１８について
も同様である。反射ミラー１６は支持部材１６ａにより
支持され、さらに支持部材１６ａは基台１６ｂに対して
取り付けられている。 なお、支持部材１６ａと反射ミ
ラー１６とは別部品として表現されているが、支持部材
１６ａの表面に反射面となる材料を蒸着して反射ミラー
１６を形成しても良い。
【００２０】支持部材１６ａの反射作用面とは反対側の
裏面にヒータ１９が設けられている。ヒータ１９を駆動
して支持部材１６ａを加熱することにより、図３（ｂ）
に示すように支持部材１６ａを変形させる。これによ
り、反射ミラー１６によるレーザー光の反射角度を変え
ることができる。なお、ヒータ１９の加熱により支持部
材１６ａを変形させる構成については、特定の機構のも
のに限定されるものではない。例えば、バイメタルや形
状記憶合金の原理を利用して支持部材１６ａを変形させ
ることができる。
裏面にヒータ１９が設けられている。ヒータ１９を駆動
して支持部材１６ａを加熱することにより、図３（ｂ）
に示すように支持部材１６ａを変形させる。これによ
り、反射ミラー１６によるレーザー光の反射角度を変え
ることができる。なお、ヒータ１９の加熱により支持部
材１６ａを変形させる構成については、特定の機構のも
のに限定されるものではない。例えば、バイメタルや形
状記憶合金の原理を利用して支持部材１６ａを変形させ
ることができる。
【００２１】＜ブロック構成図＞図４は、制御ブロック
構成図である。画像データ記憶部３６は、露光処理すべ
き画像データが記憶されており、ネガフィルムからスキ
ャナーにより読み込まれるものの他、デジタルカメラ等
の記録媒体から取り込むようにしても良い。
構成図である。画像データ記憶部３６は、露光処理すべ
き画像データが記憶されており、ネガフィルムからスキ
ャナーにより読み込まれるものの他、デジタルカメラ等
の記録媒体から取り込むようにしても良い。
【００２２】コントローラ３７は、レーザー露光装置１
００の各部の作動を制御するものであり、図４には主要
な機能が示されている。画像データ記憶部３６に記憶さ
れている画像データは、各ＡＯＭドライバ４６，４７，
４８に送られて、レーザー光を変調するための信号が生
成される。レーザードライバ３８は、各レーザー光源１
０，１１，１２を駆動する。
００の各部の作動を制御するものであり、図４には主要
な機能が示されている。画像データ記憶部３６に記憶さ
れている画像データは、各ＡＯＭドライバ４６，４７，
４８に送られて、レーザー光を変調するための信号が生
成される。レーザードライバ３８は、各レーザー光源１
０，１１，１２を駆動する。
【００２３】また、コントローラ３７には、入力部４０
が接続されており、光軸ズレ量データが入力される。例
えば、キーボードにより光軸ズレ量データを入力するこ
とができる。補正量算出部４１（調整量を制御する制御
部に相当する。）は、入力された光軸ズレ量データに基
づいて調整量を算出する。 ここで、調整量とはヒータ
の加熱温度である。記憶装置 (不図示) に、光軸ズレ量
データと調整量との関係 (テーブル) をあらかじめ測定
して求め、記憶装置に登録しておく。そして、入力され
た光軸ズレ量データに対応する調整量を求め、ヒータを
加熱する。
が接続されており、光軸ズレ量データが入力される。例
えば、キーボードにより光軸ズレ量データを入力するこ
とができる。補正量算出部４１（調整量を制御する制御
部に相当する。）は、入力された光軸ズレ量データに基
づいて調整量を算出する。 ここで、調整量とはヒータ
の加熱温度である。記憶装置 (不図示) に、光軸ズレ量
データと調整量との関係 (テーブル) をあらかじめ測定
して求め、記憶装置に登録しておく。そして、入力され
た光軸ズレ量データに対応する調整量を求め、ヒータを
加熱する。
【００２４】光軸ズレ量の測定は、例えば、次のように
行う。赤、緑、青レーザー光によりペーパーＰに別々に
画像を露光する。露光させる画像としては、搬送幅方向
に沿った直線が一例としてあげられる。各レーザー光に
光軸ズレがあれば、赤レーザー光で形成した直線、緑レ
ーザー光で形成した直線、青レーザー光で形成した直線
が副走査方向にずれる。この副走査方向のズレ量を適宜
の方法で測定し、入力部４０により入力する。補正量算
出部４１は、入力された光軸ズレ量データに基づいて各
ヒータ１９，２０，２１の加熱温度を決定し、各ヒータ
１９，２０，２１を駆動する。 これにより、各反射ミ
ラー１６，１７，１８の反射角度を調整する。その結
果、各レーザー光の光軸ズレを補正し、３色のレーザー
光の光軸を合致させることができる。
行う。赤、緑、青レーザー光によりペーパーＰに別々に
画像を露光する。露光させる画像としては、搬送幅方向
に沿った直線が一例としてあげられる。各レーザー光に
光軸ズレがあれば、赤レーザー光で形成した直線、緑レ
ーザー光で形成した直線、青レーザー光で形成した直線
が副走査方向にずれる。この副走査方向のズレ量を適宜
の方法で測定し、入力部４０により入力する。補正量算
出部４１は、入力された光軸ズレ量データに基づいて各
ヒータ１９，２０，２１の加熱温度を決定し、各ヒータ
１９，２０，２１を駆動する。 これにより、各反射ミ
ラー１６，１７，１８の反射角度を調整する。その結
果、各レーザー光の光軸ズレを補正し、３色のレーザー
光の光軸を合致させることができる。
【００２５】＜別実施形態＞ （１）図３では、ヒータを用いた調整機構を説明した
が、圧電素子を用いた調整機構を採用しても良い。この
場合の制御ブロックの一部を図５に示す。ヒータの代わ
りに、各反射ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整
するための圧電素子１９’，２０’，２１’が設けられ
ている。圧電素子１９’，２０’，２１’を駆動するこ
とにより、ヒータの場合と同様に支持部材１６ａ，１７
ａ，１８ａを変形させることができる。
が、圧電素子を用いた調整機構を採用しても良い。この
場合の制御ブロックの一部を図５に示す。ヒータの代わ
りに、各反射ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整
するための圧電素子１９’，２０’，２１’が設けられ
ている。圧電素子１９’，２０’，２１’を駆動するこ
とにより、ヒータの場合と同様に支持部材１６ａ，１７
ａ，１８ａを変形させることができる。
【００２６】（２）本実施形態では、合成光学系Ｃへ至
るまでの反射ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整
するようにしているが、合成光学系Ｃに設けられた反射
ミラーの反射角度を調整するようにしても良い。 （３）本発明による調整を行うタイミングは、定期的に
行うこともできるし、画質の低下が見られた場合に、そ
の都度行うこともできる。
るまでの反射ミラー１６，１７，１８の反射角度を調整
するようにしているが、合成光学系Ｃに設けられた反射
ミラーの反射角度を調整するようにしても良い。 （３）本発明による調整を行うタイミングは、定期的に
行うこともできるし、画質の低下が見られた場合に、そ
の都度行うこともできる。
【図１】画像形成装置の構成を示す模式図
【図２】レーザー露光装置の構成を示す模式図
【図３】調整機構の構成を示す概念図
【図４】ヒータを用いた場合の制御ブロック図
【図５】圧電素子を用いた場合の制御ブロック図
５ レーザーエンジン １０Ｒ，１０Ｇ，１０Ｂ レーザー光源 １３，１４，１５ ＡＯＭ １６，１７，１８ 反射ミラー １６ａ，１７ａ，１８ａ 支持部材 １９，２０，２１ ヒータ １００ レーザー露光装置 Ｃ 合成光学系 Ｐ ペーパー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｎ 1/113 Ｈ０４Ｎ 1/04 １０４Ａ Ｆターム(参考） 2C362 AA07 AA10 BA04 BA48 BA51 BA64 BA87 2H041 AA12 AB14 AC07 AC08 AZ00 AZ05 2H045 BA02 BA24 CA95 DA41 2H106 AB04 BA55 BH00 5C072 AA03 BA19 DA04 HA02 HA08 HA13
Claims (4)
- 【請求項１】 カラー画像を形成するための第１レーザ
ー光源、第２レーザー光源、第３レーザー光源と、 前記各レーザー光源から出力される各レーザー光を同一
光軸上に合成する合成光学系と、 前記各レーザー光源から前記合成光学系へ至るまでの光
路又は合成光学系に設けられた反射ミラーと、 前記反射ミラーによる前記レーザー光の反射角度を調整
する調整機構とを備え、前記調整により、前記各レーザ
ー光の光軸ズレを補正するように構成したことを特徴と
するレーザー露光装置。 - 【請求項２】 前記調整機構は、前記反射ミラーを支持
する部材をヒータにより変形することで前記調整を行う
ことを特徴とする請求項１に記載のレーザー露光装置。 - 【請求項３】 前記調整機構は、前記反射ミラーを支持
する部材を圧電素子により変形することで前記調整を行
うことを特徴とする請求項１に記載のレーザー露光装
置。 - 【請求項４】 前記各レーザー光の光軸ズレ量のデータ
を入力する入力部と、 前記入力されたデータに基づいて前記調整機構による調
整量を制御する制御部とを更に備えていることを特徴と
する請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザー露光
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001111258A JP2002307743A (ja) | 2001-04-10 | 2001-04-10 | レーザー露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001111258A JP2002307743A (ja) | 2001-04-10 | 2001-04-10 | レーザー露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002307743A true JP2002307743A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18962892
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001111258A Withdrawn JP2002307743A (ja) | 2001-04-10 | 2001-04-10 | レーザー露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002307743A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007279021A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-10-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式欠陥検査装置 |
| WO2009154134A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 株式会社日立製作所 | 光ビーム走査型画像投影装置 |
| KR101031779B1 (ko) | 2008-11-20 | 2011-04-29 | 한국표준과학연구원 | 다중광노출법 기반 초고분해능 리소그래피 장치 및 방법 |
-
2001
- 2001-04-10 JP JP2001111258A patent/JP2002307743A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007279021A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-10-25 | Hitachi High-Technologies Corp | 光学式欠陥検査装置 |
| WO2009154134A1 (ja) * | 2008-06-18 | 2009-12-23 | 株式会社日立製作所 | 光ビーム走査型画像投影装置 |
| US8569727B2 (en) | 2008-06-18 | 2013-10-29 | Hitachi, Ltd. | Light beam scanning image projection apparatus |
| JP5444217B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2014-03-19 | 株式会社日立製作所 | 光ビーム走査型画像投影装置 |
| KR101031779B1 (ko) | 2008-11-20 | 2011-04-29 | 한국표준과학연구원 | 다중광노출법 기반 초고분해능 리소그래피 장치 및 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070105 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080701 |