JP2002307293A - 研磨クロス - Google Patents
研磨クロスInfo
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- Laminated Bodies (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロールオフを小さくしながら、研磨クロスの
寿命を長くすることができる研磨クロスを提供するこ
と。 【解決手段】 研磨クロス１は、厚みが０．２〜２．０
ｍｍであり、弾性圧縮率が５０〜４％である表面層１１
と、表面層１１の裏面側に積層されており、厚みが０．
２〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が２〜０．１％であ
る中間支持層１２と、中間支持層１２の裏面側に積層さ
れており厚みが０．１５〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮
率が５０〜４％である裏面層１３と、を有している。
寿命を長くすることができる研磨クロスを提供するこ
と。 【解決手段】 研磨クロス１は、厚みが０．２〜２．０
ｍｍであり、弾性圧縮率が５０〜４％である表面層１１
と、表面層１１の裏面側に積層されており、厚みが０．
２〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が２〜０．１％であ
る中間支持層１２と、中間支持層１２の裏面側に積層さ
れており厚みが０．１５〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮
率が５０〜４％である裏面層１３と、を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シリコン、ガリウ
ム砒素やインジウム燐などの半導体基板または半導体ウ
エハ、各種基板、ガラス、ＬＣＤ、ディスクなどの表面
を研磨する際に使用する研磨クロスに関する。特に、ニ
ッケルメッキアルミニウムディスク基板、ガラスディス
ク基板、シリコンウエハ、化合物ウエハ等の被加工物の
研磨に好適な研磨クロスに関する。
ム砒素やインジウム燐などの半導体基板または半導体ウ
エハ、各種基板、ガラス、ＬＣＤ、ディスクなどの表面
を研磨する際に使用する研磨クロスに関する。特に、ニ
ッケルメッキアルミニウムディスク基板、ガラスディス
ク基板、シリコンウエハ、化合物ウエハ等の被加工物の
研磨に好適な研磨クロスに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に半導体ウエハの研磨は、研磨クロ
スを下定盤側に保持し、研磨対象物である半導体ウエハ
を上定盤側に保持して、研磨スラリーを供給しながら、
半導体ウエハと研磨クロスを加圧した状態で相対的に摺
動させることによって行われる。またニッケルメッキア
ルミニウムディスク基板の研磨工程においては、研磨ク
ロスを上下の定盤側にそれぞれ貼り付け、上下定盤間に
半導体ウエハ保持用孔を有するキャリアを配置し、研磨
対象物である半導体ウエハを該キャリアの保持用孔内に
配設して、研磨スラリーを供給しながら、半導体ウエハ
と研磨クロスを加圧した状態で相対的に摺動させること
によって行われる。
スを下定盤側に保持し、研磨対象物である半導体ウエハ
を上定盤側に保持して、研磨スラリーを供給しながら、
半導体ウエハと研磨クロスを加圧した状態で相対的に摺
動させることによって行われる。またニッケルメッキア
ルミニウムディスク基板の研磨工程においては、研磨ク
ロスを上下の定盤側にそれぞれ貼り付け、上下定盤間に
半導体ウエハ保持用孔を有するキャリアを配置し、研磨
対象物である半導体ウエハを該キャリアの保持用孔内に
配設して、研磨スラリーを供給しながら、半導体ウエハ
と研磨クロスを加圧した状態で相対的に摺動させること
によって行われる。
【０００３】ところで、最近では半導体ウエハ表面の高
平坦度がさらに必要とされ、半導体ウエハ表面の平坦性
を向上させるため、比較的高硬度の研磨クロスが使用さ
れてきたが、研磨加工時の研磨クロス自体の劣化による
早期寿命、および研磨対象物への傷等が発生している。
すなわち、シリコンウエハなどの研磨による平坦性は、
高硬度、低圧縮率の研磨クロスを使用した時に向上が見
られる。この理由は、使用する研磨クロスが高硬度化さ
れることによるモビリティーの減少に起因しており、研
磨対象物の表面に存在する突起などに対してより高い平
坦性を保持したまま研磨加工できることにある。
平坦度がさらに必要とされ、半導体ウエハ表面の平坦性
を向上させるため、比較的高硬度の研磨クロスが使用さ
れてきたが、研磨加工時の研磨クロス自体の劣化による
早期寿命、および研磨対象物への傷等が発生している。
すなわち、シリコンウエハなどの研磨による平坦性は、
高硬度、低圧縮率の研磨クロスを使用した時に向上が見
られる。この理由は、使用する研磨クロスが高硬度化さ
れることによるモビリティーの減少に起因しており、研
磨対象物の表面に存在する突起などに対してより高い平
坦性を保持したまま研磨加工できることにある。
【０００４】しかし、研磨クロスが硬すぎると、被加工
物にスクラッチや傷が入りやすく、また被加工物のバッ
チ内の板厚のばらつきおよび定盤の平面精度の誤差、研
磨時の定盤の変形による研磨圧力分布のばらつきを吸収
できず、研磨加工圧力のばらつきが生じる。その結果、
研磨クロスの表面層（ナップ層ともいう）が早く摩擦し
たり、目詰まりを起こして、安定した研磨結果が得られ
ないという欠点がある。
物にスクラッチや傷が入りやすく、また被加工物のバッ
チ内の板厚のばらつきおよび定盤の平面精度の誤差、研
磨時の定盤の変形による研磨圧力分布のばらつきを吸収
できず、研磨加工圧力のばらつきが生じる。その結果、
研磨クロスの表面層（ナップ層ともいう）が早く摩擦し
たり、目詰まりを起こして、安定した研磨結果が得られ
ないという欠点がある。
【０００５】逆に、研磨クロスのナップ層とベース層が
柔らかすぎると、被加工物のロールオフが悪化するとい
う欠点がある。
柔らかすぎると、被加工物のロールオフが悪化するとい
う欠点がある。
【０００６】このように、従来の研磨クロスを用いた研
磨加工では、ロールオフの小さいことと研磨クロスの寿
命が長いことは相反する傾向があった。
磨加工では、ロールオフの小さいことと研磨クロスの寿
命が長いことは相反する傾向があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の欠点を
解消するためになされたものであって、その目的とする
ところは、ロールオフを小さくしながら、研磨クロスの
寿命を長くすることができる研磨クロスを提供すること
にある。
解消するためになされたものであって、その目的とする
ところは、ロールオフを小さくしながら、研磨クロスの
寿命を長くすることができる研磨クロスを提供すること
にある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨クロスは、
厚みが０．２〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が５０〜
４％である表面層と、該表面層の裏面側に積層されてお
り、厚みが０．１５〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が
２〜０．１％である中間支持層と、該中間支持層の裏面
側に積層されており、厚みが０．２〜２．０ｍｍであ
り、弾性圧縮率が５０〜４％である裏面層と、を有して
おり、そのことにより上記目的が達成される。
厚みが０．２〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が５０〜
４％である表面層と、該表面層の裏面側に積層されてお
り、厚みが０．１５〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が
２〜０．１％である中間支持層と、該中間支持層の裏面
側に積層されており、厚みが０．２〜２．０ｍｍであ
り、弾性圧縮率が５０〜４％である裏面層と、を有して
おり、そのことにより上記目的が達成される。
【０００９】一つの実施態様では、前表面層がポリウレ
タンよりなり、その厚みが０．３〜０．７ｍｍであり、
弾性圧縮率が５０〜４％であり、前記中間支持層が、Ｐ
ＥＴフィルムよりなり、その厚みが０．１５〜１．０ｍ
ｍであり、弾性圧縮率が２〜０．１％であり、前記裏面
層が不織布よりなり、その厚みが０．４〜２．０ｍｍで
あり、弾性圧縮率が２０〜３％である。
タンよりなり、その厚みが０．３〜０．７ｍｍであり、
弾性圧縮率が５０〜４％であり、前記中間支持層が、Ｐ
ＥＴフィルムよりなり、その厚みが０．１５〜１．０ｍ
ｍであり、弾性圧縮率が２〜０．１％であり、前記裏面
層が不織布よりなり、その厚みが０．４〜２．０ｍｍで
あり、弾性圧縮率が２０〜３％である。
【００１０】本発明の作用は次の通りである。
【００１１】本発明の研磨クロスは少なくとも三層構造
からなり、表面層と、中間支持層と、裏面層と、を有す
る。
からなり、表面層と、中間支持層と、裏面層と、を有す
る。
【００１２】表面層は、いわゆるナップ構造で軟質であ
り、それにより研磨工程においてスクラッチ、傷の発生
を防ぎ、またナップ部に研磨材を保持して被加工物の研
磨を行う。
り、それにより研磨工程においてスクラッチ、傷の発生
を防ぎ、またナップ部に研磨材を保持して被加工物の研
磨を行う。
【００１３】２層目の中間支持層は、ポリエチレンテレ
フタレートなどの硬質構造で形成され、被加工物のロー
ルオフ、外周部のダレが生じないように、研磨クロスに
コシを持たせ、局部変形しないようにする。
フタレートなどの硬質構造で形成され、被加工物のロー
ルオフ、外周部のダレが生じないように、研磨クロスに
コシを持たせ、局部変形しないようにする。
【００１４】３層目の裏面層は、不織布などで形成され
た軟質弾性構造を有し、被加工物のバッチ内の板厚バラ
ツキおよび定盤の平面精度の誤差、研磨時の変形による
研磨圧力分布のバラツキを軽減する。
た軟質弾性構造を有し、被加工物のバッチ内の板厚バラ
ツキおよび定盤の平面精度の誤差、研磨時の変形による
研磨圧力分布のバラツキを軽減する。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。
【００１６】図１〜図３に示すように、本発明の研磨ク
ロス１１は少なくとも表面層１１と、中間支持層１２
と、裏面層１３とを有する。この裏面層１３の裏面側に
は両面粘着テープが適宜積層され、またその粘着テープ
の裏面側に離型シートを剥離可能に貼着される。
ロス１１は少なくとも表面層１１と、中間支持層１２
と、裏面層１３とを有する。この裏面層１３の裏面側に
は両面粘着テープが適宜積層され、またその粘着テープ
の裏面側に離型シートを剥離可能に貼着される。
【００１７】表面層１１は、ポリウレタンよりなる発泡
層にて形成され、その厚みは０．２〜２．０ｍｍであ
り、その弾性圧縮率は５０〜４％である。表面層１１の
好ましい厚みは０．３〜０．７ｍｍであり、また好まし
い弾性圧縮率は４０〜６％である。
層にて形成され、その厚みは０．２〜２．０ｍｍであ
り、その弾性圧縮率は５０〜４％である。表面層１１の
好ましい厚みは０．３〜０．７ｍｍであり、また好まし
い弾性圧縮率は４０〜６％である。
【００１８】中間支持層１２はＰＥＴフィルム等よりな
り、その厚みは０．１５〜２．０ｍｍであり、またその
弾性圧縮率は２〜０．１％である。中間支持層１２の好
ましい厚みは０．３〜１．０ｍｍであり、好ましい弾性
圧縮率は２〜０．１％である。
り、その厚みは０．１５〜２．０ｍｍであり、またその
弾性圧縮率は２〜０．１％である。中間支持層１２の好
ましい厚みは０．３〜１．０ｍｍであり、好ましい弾性
圧縮率は２〜０．１％である。
【００１９】裏面層１３は不織布等よりなり、その厚み
は０．２〜２．０ｍｍであり、またその弾性圧縮率は５
０〜４％である。裏面層１３の好ましい厚みは０．４〜
１．５ｍｍであり、好ましい弾性圧縮率は１５〜８％で
ある。
は０．２〜２．０ｍｍであり、またその弾性圧縮率は５
０〜４％である。裏面層１３の好ましい厚みは０．４〜
１．５ｍｍであり、好ましい弾性圧縮率は１５〜８％で
ある。
【００２０】上記表面層１１としては、従来よりこの種
の研磨クロスの発泡層を形成するものが使用でき、例え
ば、基材にウレタン樹脂のＤＭＦ溶液をコーティング
し、その層を湿式凝固させ、温水中で洗浄、熱風で乾燥
を行って形成することができる。この発泡層の表面は平
滑加工され発泡層の表面には多数の独立発泡の吸着用孔
が形成されるものである。
の研磨クロスの発泡層を形成するものが使用でき、例え
ば、基材にウレタン樹脂のＤＭＦ溶液をコーティング
し、その層を湿式凝固させ、温水中で洗浄、熱風で乾燥
を行って形成することができる。この発泡層の表面は平
滑加工され発泡層の表面には多数の独立発泡の吸着用孔
が形成されるものである。
【００２１】また、表面層１１の裏面側に設けられる中
間支持層１２としては、ＰＥＴシート、硬質ウレタンシ
ート等の基材シートを使用することができる。
間支持層１２としては、ＰＥＴシート、硬質ウレタンシ
ート等の基材シートを使用することができる。
【００２２】本発明の研磨クロス１は、以下のようにし
て作製することができる。
て作製することができる。
【００２３】（１）図２に示すように、ＰＥＴフィルム
１２にナップ層となるウレタン樹脂組成物を塗工し、湿
式凝固させナップ層１１を形成する。次に、両面粘着テ
ープ１４で不織布１３をＰＥＴフィルム１２裏面に貼り
付ける。
１２にナップ層となるウレタン樹脂組成物を塗工し、湿
式凝固させナップ層１１を形成する。次に、両面粘着テ
ープ１４で不織布１３をＰＥＴフィルム１２裏面に貼り
付ける。
【００２４】（２）図３に示すように、ＰＥＴフィルム
にナップ層となるウレタン樹脂組成物を塗布し、湿式凝
固させナップ層１１を形成する。次に、これをフィルム
より剥がして巻き取り、硬質ウレタンシート１２に両面
粘着テープ１４等で貼り付け、次に両面粘着テープ１５
で不織布１３を該シート１２の裏面に貼り付ける。
にナップ層となるウレタン樹脂組成物を塗布し、湿式凝
固させナップ層１１を形成する。次に、これをフィルム
より剥がして巻き取り、硬質ウレタンシート１２に両面
粘着テープ１４等で貼り付け、次に両面粘着テープ１５
で不織布１３を該シート１２の裏面に貼り付ける。
【００２５】本発明の研磨クロスは、表面層はポリウレ
タン等のナップ構造であり、軟質でスクラッチ、傷の発
生を防ぎ、ナップ部に研磨材を保持して被加工物の研磨
を行う役割をする。
タン等のナップ構造であり、軟質でスクラッチ、傷の発
生を防ぎ、ナップ部に研磨材を保持して被加工物の研磨
を行う役割をする。
【００２６】２層目の中間支持層はＰＥＴフィルムなど
の硬質構造であり、被加工物のロールオフ、すなわち外
周部のダレが生じないように、研磨クロスにコシを持た
せ、局部変形しないようにする。
の硬質構造であり、被加工物のロールオフ、すなわち外
周部のダレが生じないように、研磨クロスにコシを持た
せ、局部変形しないようにする。
【００２７】３層目は不織布構造であり、被加工物のバ
ッチ内の板厚ばらつきおよび定盤精度の誤差、研磨時の
変形を不織布の変形で吸収する。通常この被加工物の枚
数は１〜１００枚である。
ッチ内の板厚ばらつきおよび定盤精度の誤差、研磨時の
変形を不織布の変形で吸収する。通常この被加工物の枚
数は１〜１００枚である。
【００２８】
【実施例】以下、本発明を実施例により詳細に説明す
る。なお、以下で「部」は重量部を意味する。
る。なお、以下で「部」は重量部を意味する。
【００２９】本実施例で用いた試験方法を以下に示す。 １）ロールオフの測定方法 接触式の表面粗さ計で、被加工物の外周部から７−６ｍ
ｍから外周まで、縦倍率１０万倍×横倍率２０倍で測定
し、形状をチャートに記録する。（東京精密サーフコム
を用いた。） チャンファー寸法からチャートが急激に下降した位置を
チャンファー端として、例えば、図４に示すように、チ
ャンファー長さが０．２ｍｍのとき、ディスク（被加工
物）の外径が９５ｍｍのものは、下降した位置をディス
ク中心から４７．３ｍｍとして、横軸上の位置を４７．
０ｍｍと、４３．０ｍｍを決め、測定形状とのそれぞれ
の交点（Ｐ１、Ｐ２）を直線Ｌで結び、その２点間で、
その直線Ｌと測定形状が縦軸方向にもっとも離れた距離
をロールオフの値としてμmで表示する。 ２）圧縮率（ＪＩＳ Ｌ−１０９６に準拠した。） 先端が０．２０ｃｍ2のダイヤルゲージで荷重６０ｇ、
測定圧力３００ｇ／ｃｍ2で研磨クロスの厚みを測定
し、その測定値をＴ１とする。
ｍから外周まで、縦倍率１０万倍×横倍率２０倍で測定
し、形状をチャートに記録する。（東京精密サーフコム
を用いた。） チャンファー寸法からチャートが急激に下降した位置を
チャンファー端として、例えば、図４に示すように、チ
ャンファー長さが０．２ｍｍのとき、ディスク（被加工
物）の外径が９５ｍｍのものは、下降した位置をディス
ク中心から４７．３ｍｍとして、横軸上の位置を４７．
０ｍｍと、４３．０ｍｍを決め、測定形状とのそれぞれ
の交点（Ｐ１、Ｐ２）を直線Ｌで結び、その２点間で、
その直線Ｌと測定形状が縦軸方向にもっとも離れた距離
をロールオフの値としてμmで表示する。 ２）圧縮率（ＪＩＳ Ｌ−１０９６に準拠した。） 先端が０．２０ｃｍ2のダイヤルゲージで荷重６０ｇ、
測定圧力３００ｇ／ｃｍ2で研磨クロスの厚みを測定
し、その測定値をＴ１とする。
【００３０】次に、荷重３６０ｇ、測定圧力１８００ｇ
／ｃｍ2で研磨クロスを測定する。その測定値をＴ２と
する。圧縮率Ｃは下記の式で計算する。
／ｃｍ2で研磨クロスを測定する。その測定値をＴ２と
する。圧縮率Ｃは下記の式で計算する。
【００３１】計算式：圧縮率Ｃ（％）＝（（Ｔ１−Ｔ
２）／Ｔ１）×１００ ３）研磨量の測定 研磨前のディスクの重量を精密秤でグラム単位で測定す
る。その測定値をＷ１とする。次に、研磨前のディスク
の重量を精密秤でグラム単位で測定する。その測定値を
Ｗ２とする。ニッケル−リンのメッキ膜の比重をＣＯと
する。 ＣＯ＝７．８８５ 研磨量ｔは下記の式で計算する。
２）／Ｔ１）×１００ ３）研磨量の測定 研磨前のディスクの重量を精密秤でグラム単位で測定す
る。その測定値をＷ１とする。次に、研磨前のディスク
の重量を精密秤でグラム単位で測定する。その測定値を
Ｗ２とする。ニッケル−リンのメッキ膜の比重をＣＯと
する。 ＣＯ＝７．８８５ 研磨量ｔは下記の式で計算する。
【００３２】ｔ＝（Ｗ１−Ｗ２）／（Ｓ×ＣＯ）×１０
０００００μm Ｓ＝（Ｄｏ×Ｄｏ−Ｄｉ×Ｄｉ）×π／４ Ｄｏ：ディスクの外径９５ｍｍ Ｄｉ：ディスクの内径２５ｍｍ 秤量秤：Ｍｅｔｔ；ｅｒ ＡＥ100（下４桁まで：０．
００１ｇ） （実施例１）ポリエステル系高密度不織布（厚み：０．
８ｍｍ、圧縮率：２０％）上に、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム（厚み：０．２ｍｍ、圧縮率：０．１
％）を両面粘着テープにて貼り付け、そのフィルム上
に、ポリウレタン樹脂（固形分、約３０％、粘度約１
０，０００ｃｐｓ）を塗工して、水中で凝固させた。そ
の後、温水（約８０℃）で洗浄し、乾燥（約６５℃）さ
せ、涙滴状の構造を持つナップ層を形成した。形成した
ナップ層の表面を研磨し、開口（約６０μm）させ、図
１に示す研磨クロスを得た。このナップ層の厚みは０．
５ｍｍ、圧縮率は１５％であった。
０００００μm Ｓ＝（Ｄｏ×Ｄｏ−Ｄｉ×Ｄｉ）×π／４ Ｄｏ：ディスクの外径９５ｍｍ Ｄｉ：ディスクの内径２５ｍｍ 秤量秤：Ｍｅｔｔ；ｅｒ ＡＥ100（下４桁まで：０．
００１ｇ） （実施例１）ポリエステル系高密度不織布（厚み：０．
８ｍｍ、圧縮率：２０％）上に、ポリエチレンテレフタ
レートフィルム（厚み：０．２ｍｍ、圧縮率：０．１
％）を両面粘着テープにて貼り付け、そのフィルム上
に、ポリウレタン樹脂（固形分、約３０％、粘度約１
０，０００ｃｐｓ）を塗工して、水中で凝固させた。そ
の後、温水（約８０℃）で洗浄し、乾燥（約６５℃）さ
せ、涙滴状の構造を持つナップ層を形成した。形成した
ナップ層の表面を研磨し、開口（約６０μm）させ、図
１に示す研磨クロスを得た。このナップ層の厚みは０．
５ｍｍ、圧縮率は１５％であった。
【００３３】得られた研磨クロスについて、上記試験に
基づいて物性を測定し、その結果を表１に示した。
基づいて物性を測定し、その結果を表１に示した。
【００３４】この研磨クロスを研磨機定盤に取り付け、
ニッケルメッキアルミニウムディスクを研磨したとこ
ろ、平坦性が向上し、寿命が従来に比べて約１０％延び
た。 （比較例１）ポリエステル系高密度不織布（厚み：０．
８ｍｍ、圧縮率：２０％）に、実施例１と同様に、ポリ
ウレタン樹脂を含浸させ、湿式凝固、乾燥、表面加工を
施してナップ層を形成した。形成したナップ層の表面を
研磨し、開口（約６０μm）させ、図５に示す研磨クロ
スを得た。このナップ層の厚みは０．５ｍｍ、圧縮率は
１５％であった。
ニッケルメッキアルミニウムディスクを研磨したとこ
ろ、平坦性が向上し、寿命が従来に比べて約１０％延び
た。 （比較例１）ポリエステル系高密度不織布（厚み：０．
８ｍｍ、圧縮率：２０％）に、実施例１と同様に、ポリ
ウレタン樹脂を含浸させ、湿式凝固、乾燥、表面加工を
施してナップ層を形成した。形成したナップ層の表面を
研磨し、開口（約６０μm）させ、図５に示す研磨クロ
スを得た。このナップ層の厚みは０．５ｍｍ、圧縮率は
１５％であった。
【００３５】この研磨クロスについて実施例１と同様に
物性を測定した。その結果を表１に示した。 （比較例２）ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚
み：０．２ｍｍ、圧縮率：０．１％）上に、実施例１と
同様に、ポリウレタン樹脂を塗布し、湿式凝固、乾燥、
表面加工を施してナップ層を形成した。形成したナップ
層の表面を研磨し、開口（約６０μm）させ、図６に示
す研磨クロスを得た。このナップ層の厚みは０．５ｍ
ｍ、圧縮率は１５％であった。
物性を測定した。その結果を表１に示した。 （比較例２）ポリエチレンテレフタレートフィルム（厚
み：０．２ｍｍ、圧縮率：０．１％）上に、実施例１と
同様に、ポリウレタン樹脂を塗布し、湿式凝固、乾燥、
表面加工を施してナップ層を形成した。形成したナップ
層の表面を研磨し、開口（約６０μm）させ、図６に示
す研磨クロスを得た。このナップ層の厚みは０．５ｍ
ｍ、圧縮率は１５％であった。
【００３６】この研磨クロスについて実施例１と同様に
物性を測定した。その結果を表１に示した。
物性を測定した。その結果を表１に示した。
【００３７】
【表１】
【００３８】
【発明の効果】本発明によれば、表面層のナップ部で、
研磨の際のスクラッチ、傷の発生を防ぎ、ナップ部に研
磨材を保持して被加工物の研磨を行い、また比較的硬質
の中間支持層によって被加工物のロールオフを防止し、
裏面層によって被加工物のバッチ内の板厚ばらつきおよ
び定盤精度の誤差、研磨時の変形を不織布の変形で吸収
することができる。
研磨の際のスクラッチ、傷の発生を防ぎ、ナップ部に研
磨材を保持して被加工物の研磨を行い、また比較的硬質
の中間支持層によって被加工物のロールオフを防止し、
裏面層によって被加工物のバッチ内の板厚ばらつきおよ
び定盤精度の誤差、研磨時の変形を不織布の変形で吸収
することができる。
【００３９】従って、ロールオフを小さくしながら、研
磨クロスの寿命を長くすることができる。本発明の研磨
クロスは、特にニッケルメッキアルミニウムディスク用
として好適である。
磨クロスの寿命を長くすることができる。本発明の研磨
クロスは、特にニッケルメッキアルミニウムディスク用
として好適である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨クロスの一実施形態の要部断面図
である。
である。
【図２】図１で示す研磨クロスの概略断面図である。
【図３】本発明の研磨クロスの他の実施形態の概略断面
図である。
図である。
【図４】ロールオフを説明する図である。
【図５】従来の研磨クロスの要部断面図である。
【図６】従来の他の研磨クロスの要部断面図である。
１ 研磨クロス １１ 表面層 １２ 中間支持層 １３ 裏面層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６２２Ｆ // Ｃ０８Ｌ 75:04 Ｃ０８Ｌ 75:04 (72)発明者 宮本 一隆 奈良県大和郡山市池沢町172 ロデール・ ニッタ株式会社奈良工場内 (72)発明者 濱田 繁治 奈良県大和郡山市池沢町172 ロデール・ ニッタ株式会社奈良工場内 Ｆターム(参考） 3C058 AA07 AA09 CB01 CB10 DA17 4F071 AA53 BC01 BC02 DA19 4F100 AK42B AK51A BA03 BA07 BA26 DG15C GB41 GB90 JK07A JK07B JK07C JL00 YY00A YY00B YY00C
Claims (2)
- 【請求項１】 厚みが０．２〜２．０ｍｍであり、弾性
圧縮率が５０〜４％である表面層と、該表面層の裏面側
に積層されており、厚みが０．２〜２．０ｍｍであり、
弾性圧縮率が２〜０．１％である中間支持層と、該中間
支持層の裏面側に積層されており、厚みが０．１５〜
２．０ｍｍであり、弾性圧縮率が５０〜４％である裏面
層と、を有する研磨クロス。 - 【請求項２】 前記表面層がポリウレタンよりなり、そ
の厚みが０．３〜０．７ｍｍであり、弾性圧縮率が５０
〜４％であり、前記中間支持層が、ＰＥＴフィルムより
なり、その厚みが０．１５〜１．０ｍｍであり、弾性圧
縮率が２〜０．１％であり、前記裏面層が不織布よりな
り、その厚みが０．４〜２．０ｍｍであり、弾性圧縮率
が２０〜３％である請求項１に記載の研磨クロス。
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