JP2002299990A - 水晶デバイス - Google Patents

水晶デバイス

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JP2002299990A
JP2002299990A JP2001095661A JP2001095661A JP2002299990A JP 2002299990 A JP2002299990 A JP 2002299990A JP 2001095661 A JP2001095661 A JP 2001095661A JP 2001095661 A JP2001095661 A JP 2001095661A JP 2002299990 A JP2002299990 A JP 2002299990A
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JP
Japan
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base
wiring layer
lid
thermal expansion
glass
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JP2001095661A
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English (en)
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Takuya Ouchi
卓也 大内
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161—Cap
    • H01L2924/1615—Shape
    • H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161—Cap
    • H01L2924/1615—Shape
    • H01L2924/16195—Flat cap [not enclosing an internal cavity]

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】基体と蓋体とからなる容器内部に水晶振動子を
気密に収容して成る水晶デバイスにおいて、基体と蓋体
の線熱膨張係数差に起因する熱応力により蓋体の基体に
対する接合信頼性が低い。 【解決手段】上面に搭載部を有し、該搭載部から外表面
にかけて導出された配線層２を有する基体１と、前記基
体１の搭載部に固定され、電極が前記配線層２に電気的
に接続されている水晶振動子５と、前記基体１の上面に
取着され、前記水晶振動子５を気密に収容する蓋体３と
から成る水晶デバイス６であって、前記基体１の線熱膨
張係数が１４×１０-6／℃乃至２０×１０-6／℃（４０
〜４００℃）であり、かつ蓋体３の剛性率が５０ＧＰａ
以下である。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンピュータ等の
情報処理装置や携帯電話等の電子装置において、時間お
よび周波数の基準源として使用される水晶デバイスに関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータ等の情報処理装置や携帯電
話等の電子装置において時間および周波数の基準源とし
て使用される水晶デバイスは、一般に、四角板状の水晶
基板に電圧印加用の電極を形成して成る水晶振動子を、
水晶振動子収納用パッケージ内に気密に収容することに
よって形成されている。
【０００３】前記水晶振動子収納用パッケージは、一般
に、酸化アルミニウム質焼結体等の電気絶縁材料から成
り、上面中央部に水晶振動子を収容する空所を形成する
ための凹部、および凹部表面から外表面にかけて導出さ
れたタングステン、モリブデン等の高融点金属等の金属
材料から成る配線層を有する基体と、鉄−ニッケル−コ
バルト合金、鉄−ニッケル合金等の金属材料から成る蓋
体とから構成されている。
【０００４】そして、水晶振動子の電極を基体の凹部内
表面に露出する配線層及びその周辺の基体表面に導電性
接着材を介して取着することにより、水晶振動子が凹部
内に接着固定されるとともに配線層に電気的に接続さ
れ、しかる後、基体の上面に蓋体を取着し、基体と蓋体
とから成る容器内部に水晶振動子を気密に収容すること
によって製品としての水晶デバイスが完成する。
【０００５】なお、蓋体の基体に対する取着は、一般
に、基体上面に凹部を取り囲むようにしてロウ付け用メ
タライズ層を形成しておくとともにこのロウ付け用メタ
ライズ層に鉄−ニッケル−コバルト合金や鉄−ニッケル
合金等から成る金属枠体を銀ロウ等のロウ材を介して取
着し、この金属枠体に金属材料から成る蓋体をシーム溶
接で接合するという手段で行なわれている。
【０００６】更に前記水晶デバイスの外部電気回路基板
への実装は、基体の外表面に導出された配線層を外部電
気回路基板の配線導体に半田等の導電性接続材を介して
接続することによって行われ、水晶振動子は配線層を介
し外部電気回路に電気的に接続されるとともに外部電気
回路から印加される電圧に応じて所定の周波数で振動す
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
水晶デバイスは、水晶振動子の線熱膨張係数が約１８×
１０-6／℃（４０〜４００℃）であるのに対し、水晶振
動子が搭載固定される酸化アルミニウム質焼結体から成
る基体の線熱膨張係数が約７×１０-6／℃（４０〜４０
０℃）であり、大きく相違すること、基体に水晶振動子
を固定する導電性接着材等の固定材が硬質のエポキシ樹
脂と導電性粉末とから成り変形しにくいこと等から、外
部環境の変化に伴って基体と水晶振動子の両者に繰り返
し熱が作用すると基体と水晶振動子との線熱膨張係数差
に起因する熱応力が固定材に繰り返し作用し、固定材に
機械的な破壊を招来して水晶振動子の固定材を介しての
固定が破れ、その結果、水晶デバイスとしての機能が喪
失するという欠点を有していた。
【０００８】そこで、上記欠点を解消するため、基体の
線熱膨張係数を水晶振動子の線熱膨張係数に近似するよ
うに高くし、基体と水晶振動子との間に大きな熱応力が
生じることを防止するという手段が考えられる。
【０００９】しかしながら、基体の線熱膨張係数を水晶
振動子に近似するように高くした場合、鉄−ニッケル−
コバルト合金、鉄−ニッケル合金等から成る蓋体の線熱
膨張係数が約４×１０-6／℃〜６×１０-6／℃（４０〜
４００℃）であり、基体との線熱膨張係数に対して大き
な差（約１０×１０-6／℃以上）を有すること、鉄−ニ
ッケル−コバルト合金、鉄−ニッケル合金等から成る蓋
体の剛性率が約８０〜１００ＧＰａと高く変形しにくい
こと等から、外部環境の変化に伴って基体と蓋体に繰り
返し熱が作用すると基体と蓋体との間に両者の線熱膨張
係数差に起因して大きな熱応力が生じるとともに該熱応
力によって基体にクラックや割れを発生したり、基体と
蓋体とからなる容器の気密封止が破れたりし、その結
果、基体と蓋体とから成る容器内部に収容する水晶振動
子を長期間にわたり正確、かつ安定に作動させることが
できないという欠点が誘発される。
【００１０】本発明は上記欠点に鑑み案出されたもので
あり、その目的は水晶振動子を長期間にわたり正常、か
つ安定に作動させることができる高信頼性の水晶デバイ
スを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、上面に搭載部
を有し、該搭載部から外表面にかけて導出された配線層
を有する基体と、前記基体の搭載部に固定され、電極が
前記配線層に電気的に接続されている水晶振動子と、前
記基体の上面に取着され、前記水晶振動子を気密に収容
する蓋体とから成る水晶デバイスであって、前記基体の
線熱膨張係数が１４×１０-6／℃乃至２０×１０-6／℃
（４０〜４００℃）であり、かつ前記蓋体の剛性率が５
０ＧＰａ以下であることを特徴とするものである。
【００１２】本発明の水晶デバイスによれば、基体の線
熱膨張係数を１４×１０-6／℃乃至２０×１０-6／℃
（４０〜４００℃）とし、水晶振動子の線熱膨張係数に
近似させたことから基体に水晶振動子を固定した後、外
部環境の変化に伴って基体と水晶振動子の両者に繰り返
し熱が作用したとしても基体と水晶振動子との間には両
者の線熱膨張係数差に起因する大きな熱応力が発生する
ことはなく、これによって水晶振動子を基体に確実、強
固に固定することができ、水晶振動子を正確に作動させ
ることができる。
【００１３】また同時に本発明の水晶デバイスによれ
ば、蓋体の剛性率を５０ＧＰａ以下としたことから、基
体と蓋体との間に線熱膨張係数の差があり、両者に熱が
作用し、両者間に大きな熱応力が発生したとしても、そ
の熱応力は蓋体を適度に変形させることによって効果的
に吸収され、その結果、基体に蓋体を確実、強固に取着
させて容器の気密封止を完全となし、これによって容器
内部に収容する水晶振動子を長期間にわたり安定、かつ
正確に作動させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】次に本発明の水晶デバイスについ
て添付の図面を基にして詳細に説明する。図１は本発明
の水晶デバイスの一実施例を示す断面図であり、図１に
おいて、１は基体、２は配線層、３は蓋体である。この
基体１と蓋体３とにより形成される容器４内に水晶振動
子５を気密に収容することにより水晶デバイス６が形成
される。
【００１５】前記基体１は、線熱膨張係数が１４×１０
-6／℃乃至２０×１０-6／℃（４０〜４００℃）のガラ
スセラミック焼結体や結晶性ガラス等から成り、その上
面に水晶振動子５を収容するための空所となる凹部１ａ
が設けてあり、該凹部１ａ内に水晶振動子５が収容され
る。
【００１６】前記基体１はその線熱膨張係数が１４×１
０-6／℃〜２０×１０-6／℃（４０〜４００℃）であ
り、水晶振動子５の線熱膨張係数（約１８×１０−6／
℃：４０〜４００℃）に近似することから、基体１の凹
部１ａ内に水晶振動子５を搭載収容した後、両者に熱が
作用しても両者間に大きな熱応力が発生することはな
く、その結果、水晶振動子５を基体１の凹部１ａ内に確
実、強固に固定することができる。
【００１７】前記線熱膨張係数が１４×１０-6／℃〜２
０×１０-6／℃（４０〜４００℃）の基体１は、具体的
には、例えば、酸化バリウムを５〜６０重量％含有する
ガラスと、４０〜４００℃における線熱膨張係数が８×
１０-6／℃以上の金属酸化物粒子を含むフィラーとから
なり、前記ガラスおよび／またはフィラー中にジルコニ
ウム（Ｚｒ）化合物をＺｒＯ2換算で０．１〜２５重量
％の割合で含有させたガラスセラミック焼結体が好適に
使用される。
【００１８】前記ガラスセラミック焼結体は、ガラス成
分として酸化バリウムを５〜６０重量％含有するガラス
を用いることが大事である。この酸化バリウム含有ガラ
スは低軟化点であり、比較的高い線熱膨張係数を有して
いるために、ガラス量を少なく、かつ高熱膨張のフィラ
ーを多く添加することが可能であり、高い線熱膨張係数
を有する焼結体が容易に得られる。酸化バリウムの量を
５〜６０重量％の範囲とするのは、５重量％より少ない
とガラスの低軟化点化が困難となるとともに線熱膨張係
数が低くなり、高熱膨張のガラスセラミック焼結体を作
製するのが難しく、６０重量％より多いとガラス化が困
難であり、特性が不安定となりやすく、また耐薬品性が
著しく低下してしまうためである。特に酸化バリウムの
量は２０〜４０重量％が望ましい。
【００１９】またこのガラス中には鉛（Ｐｂ）を実質的
に含まないことが望ましい。鉛は毒性を有するため製造
工程中での被毒を防止するための格別な装置および管理
を必要とするために焼結体を安価に製造することができ
なくなるためである。鉛が不純物として不可避的に混入
する場合を考慮すると、鉛の含有量は０．０５重量％以
下であることが望ましい。
【００２０】更にこのガラスの４０〜４００℃における
線熱膨張係数が７×１０-6／℃〜１８×１０-6／℃、特
に８×１０-6／℃〜１３×１０-6／℃であることが望ま
しい。これは線熱膨張係数が上記範囲を逸脱するとフィ
ラーとの熱膨張差が生じ、ガラスセラミック焼結体の強
度の低下の原因になるためである。
【００２１】また更に、前記酸化バリウム含有ガラスの
屈伏点は、４００〜８００℃、特に４００〜７００℃で
あることが望ましい。これは酸化バリウム含有ガラスお
よびフィラーからなる混合物を成形する場合、有機樹脂
等の成形用バインダーを添加するが、このバインダーを
効率的に除去するとともに基体１と同時に焼成される後
述する配線層２との焼成条件のマッチングを図るため必
要であり、屈伏点が４００℃より低いとガラスが低い温
度で焼結が開始されるために、例えば、銀（Ａｇ）、銅
（Ｃｕ）等の焼結開始温度が６００〜８００℃の配線層
２との同時焼成ができず、また成形体の緻密化が低温で
開始するためにバインダーは分解揮散できなくなりバイ
ンダー成分が残留し特性に影響を及ぼす結果になるため
である。また屈伏点が８００℃より高いとガラス量を多
くしないと焼結しにくくなるため、高価なガラスを大量
に必要とするために焼結体のコストを高めることにな
る。
【００２２】前記の特性を満足するガラスとしては、前
記酸化バリウム以外に、少なくとも酸化珪素（Ｓｉ
Ｏ2）を２５〜６０重量％の割合で含み、残部が酸化ホ
ウ素（Ｂ2Ｏ3）、酸化アルミニウム（Ａｌ2Ｏ3）、酸化
カルシウム（ＣａＯ）、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、
酸化チタン（ＴｉＯ2）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）の群から
選ばれる少なくとも１種によって構成される。
【００２３】一方、前記ガラスと組み合わせるフィラー
成分としては、４０〜４００℃における線熱膨張係数が
８×１０-6／℃以上の金属酸化物を少なくとも含有する
ことが焼結体の高熱膨張化を図る上で大事である。線熱
膨張係数が８×１０-6／℃以上の金属酸化物を含有しな
いと、ガラスセラミック焼結体の線熱膨張係数を１４×
１０-6／℃以上に高めることができないためである。
【００２４】このような線熱膨張係数が８×１０-6／℃
以上の金属酸化物としては、クリストバライト（ＳｉＯ
2）、クォーツ（ＳｉＯ2）、トリジマイト（Ｓｉ
Ｏ2）、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ2）、ウオ
ラストナイト（ＣａＯ・ＳｉＯ2）、モンティセラナイ
ト（ＣａＯ・ＭｇＯ・ＳｉＯ2）、ネフェリン（Ｎａ2Ｏ
・Ａｌ2Ｏ3・ＳｉＯ2）、メルビナイト（３ＣａＯ・Ｍ
ｇＯ・２ＳｉＯ2）、アケルマイト（２ＣａＯ・ＭｇＯ
・２ＳｉＯ2）マグネシア（ＭｇＯ）、カーネギアイト
（Ｎａ2Ｏ・Ａｌ2Ｏ3・２ＳｉＯ2）、エンスタタイト
（ＭｇＯ・ＳｉＯ2）、ペタライト（ＬｉＡｌＳｉ
4Ｏ10）、ヒスイ（Ｎａ2Ｏ・Ａｌ2Ｏ3・４ＳｉＯ2）の
群から選ばれる少なくとも一種以上が挙げられる。これ
らの中でも、クリストバライト、クォーツ、トリジマイ
ト等のＳｉＯ2系材料やフォルステライト、エンスタタ
イトの群から選ばれる一種が高熱膨張化を図る上で望ま
しい。
【００２５】前記ガラスとフィラーは、焼成温度や最終
的に得られるガラスセラミック焼結体の熱膨張特性など
の目的に応じて適当な比率で混合される。前記酸化バリ
ウム含有ガラスは、フィラー無添加では収縮開始温度は
７００℃以下で、８５０℃以上では溶融してしまい、配
線層２等を配設することができない。しかし、フィラー
を混合することにより焼成過程において結晶の析出が起
こり、フィラー成分を液相焼結させるための液相を適切
な温度で形成させることができる。また、成形体全体の
収縮開始温度を上昇させることができるため、このフィ
ラーの含有量の調整により配線層２との同時焼成条件の
マッチングを図ることができる。
【００２６】前記ガラスとフィラーの比率は前記ガラス
粉末を２０〜８０体積％と、フィラー粉末を８０〜２０
体積％との割合とすることが好適である。このガラスと
フィラー成分の量を上記の範囲とするのはガラス成分量
が２０体積％より少ない、言い換えればフィラーが８０
体積％より多いと液相焼結することが難しく、焼成温度
が高くなり配線層２との同時焼成時に配線層２が溶融し
てしまう恐れがある。またガラスが８０体積％より多
い、言い換えるとフィラーが２０体積％より少ないと焼
結体の特性がガラスの特性に大きく依存してしまい、材
料特性の制御が困難となるとともに、焼結開始温度が低
くなるために配線層２との同時焼成が難しくなるという
問題が生じる。またガラス量が多いために原料のコスト
も高くなる傾向にある。
【００２７】また、フィラー成分量は、酸化バリウムの
屈伏点に応じ、その量を適宜調整することが望ましい。
すなわち、ガラスの屈伏点が４００〜７００℃と低い場
合、低温での焼結性が高まるためフィラーの含有量は４
０〜８０体積％と比較的多く配合できる。これに対し
て、ガラスの屈伏点が７００〜８００℃と高い場合、焼
結性が低下するためフィラーの含有量は２０〜５０体積
％と比較的少なく配合することが望ましい。
【００２８】更に前記ガラスセラミック焼結体は、前記
フィラー成分中および／またはガラス成分中にジルコニ
ウム化合物（Ｚｒ化合物）を酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2）換算で０．１〜２５重量％の割合で含有させておく
ことが大事である。前記Ｚｒ化合物は酸化バリウム含有
ガラスに溶融し、ガラスの耐酸化性を高める作用をな
し、これによってガラスセラミック焼結体の耐薬品性を
向上させることができるとともに酸性溶液あるいはアル
カリ性溶液での処理後のガラスセラミック焼結体の外観
の変化や配線層２の被着強度の劣化を抑制することが可
能となる。
【００２９】前記Ｚｒ化合物としては、例えば、ＺｒＯ
2、ＺｒＳｉＯ4、ＣａＯ・ＺｒＯ2、ＺｒＢ2、ＺｒＰ2
Ｏ7、ＺｒＢの群から選ばれる少なくとも一種が挙げら
れる。このＺｒ化合物は化合物粉末としてフィラー成分
中の一成分として混合する。この場合、添加時のＺｒ化
合物、特にＺｒＯ2のＢＥＴ比表面積によって、ガラス
セラミック焼結体の耐薬品性が変化する傾向にあり、Ｂ
ＥＴ比表面積が２５ｍ 2／ｇ以上であることが望まし
く、ＢＥＴ比表面積が２５ｍ2／ｇよりも小さいと耐薬
品性の改善効果が小さくなる傾向にある。また他の配合
形態としては、ガラス粉末として酸化バリウム（Ｂａ
Ｏ）、酸化珪素（ＳｉＯ2）以外の成分として酸化ジル
コニウム（ＺｒＯ2）を含有するガラスを用いてもよ
い。
【００３０】なお、前記Ｚｒ化合物を上記範囲としたの
は、０．１重量よりも少ないと耐薬品性の改善効果が低
く、２５重量％よりも多いと線熱膨張係数が１４×１０
-6／℃よりも低くなるためである。特にＺｒ化合物はＺ
ｒＯ2換算で０．２〜１０重量％が望ましい。
【００３１】その他に、着色成分として、酸化クロム、
酸化コバルト、酸化マンガン、酸化ニッケルの群から選
ばれる少なくとも１種を配合してもよい。
【００３２】前記ガラスセラミック焼結体は上記のよう
に調合されたガラス粉末とフィラー粉末との混合物に、
適当な成形の有機樹脂バインダーを添加した後、ドクタ
ーブレード法や圧延法、金型プレス法等の成形手段によ
り任意の形状、例えば、シート状に成形し、しかる後、
焼成することによって製作される。
【００３３】また前記基体１は、凹部１ａの表面から外
表面にかけて配線層２が導出されており、配線層２の凹
部１ａ表面に露出する部位に水晶振動子５の電極が導電
性接着材７を介して接着固定され、外表面に導出された
部位は外部電気回路基板の配線導体に半田等のロウ材を
介して接続される。
【００３４】前記配線層２は、凹部１ａ内に収容される
水晶振動子５と外部電気回路基板の配線導体とを電気的
に接続する作用をなし、銅、銀、ニッケル、パラジウ
ム、金のうちの一種以上から成る金属材料により形成さ
れており、銅から成る場合であれば、銅粉末に適当な有
機溶剤、有機バインダー等を添加混合して得た金属ペー
ストを、基体１となるグリーンシートの表面にスクリー
ン印刷法等で所定パターンに印刷塗布しておくことによ
って形成される。
【００３５】なお、前記配線層２は、その露出する表面
をニッケル、銅、金等の耐食性およびロウ材の濡れ性の
良好な金属から成るめっき層（不図示）で被覆しておく
と、配線層２の酸化腐食を良好に防止することができる
とともに、配線層２に対する半田等のロウ材の濡れ性を
良好とすることができ、外部電気回路基板の配線導体に
対する配線層２の接続をより一層容易、かつ確実なもの
とすることができる。従って、前記配線層２は、その露
出する表面をニッケル、銅、金等のめっき層、例えば、
順次被着された厚み１μｍ〜１０μｍのニッケルまたは
ニッケル合金めっき層、厚み０．１〜３μｍの金めっき
層で被覆しておくことが好ましい。
【００３６】また前記配線層２の表面をニッケル、銅、
金等のめっき層で被覆する場合、その最表面の算術平均
粗さ（Rａ）を１．５μｍ以下、自乗平均平方根粗さ（R
ｍｓ）を１．８μｍ以下としておくと最表面の光の反射
率が４０％以上となって水晶振動子５を配線層２に導電
性接着材７を介して接着する際、その位置決め等の作業
が容易となる。従って、前記配線層２の表面をニッケ
ル、銅、金等のめっき層で被覆する場合、その最表面の
算術平均粗さ（Rａ）を１．５μｍ以下、自乗平均平方
根粗さ（Rｍｓ）を１．８μｍ以下としておくことが好
ましい。
【００３７】更に前記配線層２の表面を被覆するニッケ
ル、銅、金等からなるめっき層の最表面の算術平均粗さ
（Rａ）を１．５μｍ以下、自乗平均平方根粗さ（Rｍ
ｓ）を１．８μｍ以下とするには、例えば、配線層２を
従来周知のワット浴にイオウ化合物等の光沢剤を添加し
た電解ニッケルめっき液に浸漬して配線層２の表面にニ
ッケルめっき層を被着させ、しかる後、シアン系の電解
金めっき液中に浸漬し、ニッケルメッキ層表面に金めっ
き層を被着させることによって行なわれる。
【００３８】更にまた配線層２には水晶振動子５が導電
性接着材７を介して接着固定され、同時に水晶振動子５
の電極が配線層２に電気的に接続される。
【００３９】前記導電性接着材７は、一般に、銀粉末等
の導電性粉末をエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂に添加す
ることによって形成されており、配線層２上に水晶振動
子５を、未硬化の熱硬化性樹脂に導電性粉末を添加して
成る未硬化の接着材を介して、位置決めセットし、未硬
化の熱硬化性樹脂を加熱硬化することによって水晶振動
子５を凹部１ａ内の所定位置に固定するとともに水晶振
動子５の電極を配線層２に電気的に接続する。
【００４０】前記水晶振動子５が導電性接着材７を介し
て接着固定されている基体１はまたその上面に蓋体３が
金属枠体８を介して取着され、これによって基体１と蓋
体３とから成る容器４内部に水晶振動子５が気密に収容
され、水晶デバイス６となる。
【００４１】前記金属枠体８は蓋体３を基体１に接合さ
せる際の下地金属材として作用し、基体１上面への取着
は、まず基体１の上面で、凹部１ａを取り囲むように予
め枠状のロウ付け用メタライズ層９を被着させておき、
該ロウ付け用メタライズ層９に金属枠体８を銀ロウ等の
ロウ材を介しロウ付けすることによって行なわれる。
【００４２】なお、前記ロウ付け用メタライズ層９は、
例えば、配線層２と同一材料、同一方法によって基体１
上面の凹部１ａを取り囲む位置に形成される。
【００４３】また前記金属枠体８には蓋体３が接合さ
れ、これによって基体１と金属枠体８と蓋体３とから成
る容器４内部に水晶振動子５が気密に収容される。
【００４４】前記金属枠体８に蓋体３を接合する方法と
しては、例えば、金属枠体８上に金属製の蓋体３を載置
させるとともに蓋体３の外縁部をシーム溶接することに
よって行われる。
【００４５】前記金属枠体８に蓋体３をシーム溶接によ
って接合する場合、前記金属枠体８の上面と側面との間
の角部に曲率半径が５〜３０μｍの丸みを形成しておく
と金属枠体８の上面側にバリが形成されることがなくな
り、金属枠体８と蓋体３とを確実、強固に接合させて容
器４の気密封止の信頼性を極めて高いものとなすことが
できる。従って、前記金属枠体８はその上面と側面との
間の角部を曲率半径が５〜３０μｍの丸みをもたせるよ
うにしておくことが好ましい。
【００４６】更に前記金属枠体８に接合される蓋体３
は、剛性率が５０ＧＰａ以下の材料、具体的には銅、
金、銀の一種以上から成る金属、またはこの金属にニッ
ケル、アルミニウム、錫、亜鉛等の金属や、リン、シリ
コン等を添加した合金から成り、例えば、銅のインゴッ
ト（塊）に圧延加工、打抜き加工等の周知の金属加工を
施すことによって形成される。
【００４７】前記蓋体３は、その剛性率が５０ＧＰａ以
下であることから、基体１の線熱膨張係数と蓋体３の線
熱膨張係数とが大きく相違し、両者間に両者の線熱膨張
係数差に起因する大きな熱応力が発生したとしても、そ
の熱応力は蓋体３を適度に変形させることによって効果
的に吸収され、これによって基体１に割れやクラックを
発生することなく、基体１に蓋体３を強固に取着させて
容器の気密封止を完全となし、容器４内部に収容する水
晶振動子５を長期間にわたり安定、かつ正確に作動させ
ることができる。
【００４８】なお、前記蓋体３はその剛性率が５０Ｇｐ
ａを超えると蓋体３が変形し難くなり、基体１と蓋体３
との間に発生する熱応力を蓋体３が充分に吸収すること
ができなくなって基体１にクラックや割れを発生した
り、基体１と蓋体３とからなる容器４の気密封止が破れ
たりしてしまう。従って、前記蓋体３はその剛性率が５
０Ｇｐａ以下に特定される。また前記蓋体３はその剛性
率が１５ＧＰａ以下になると変形し易くなりすぎ、基体
１に蓋体３をシーム溶接等によって強固に接合させるこ
とができなくなったり、蓋体３が容器４内部に収容する
水晶振動子５等に接触して水晶振動子５を正常に作動さ
せることが困難となる危険性がある。従って、前記蓋体
３はその剛性率を１５Ｇｐａ〜５０Ｇｐａとしておくこ
とが好ましい。
【００４９】かくして上述の水晶デバイス６によれば、
配線層２を外部電気回路に接続し、水晶振動子５の電極
に所定の電圧を印加させることによって水晶振動子５が
所定の周波数で振動し、コンピュータ等の情報処理装置
や携帯電話等の電子装置において時間および周波数の基
準源として使用される。
【００５０】なお、本発明は上述の実施例に限定される
ものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば
種々の変更は可能であり、例えば、図２に示すように、
配線層２の一部に高さが３０μｍ〜１００μｍ程度の突
起１０を形成しておくと、この突起１０がスペーサーと
なって配線層２と水晶振動子５との間に一定のスペース
が確保され、このスペースに十分な固定材７が入り込ん
で水晶振動子５を配線層２に極めて強固に接着固定する
ことができる。
【００５１】また上述の水晶デバイス６では、基体１上
面に凹部１ａを設け、該凹部１ａ内に水晶振動子５を収
容するようになしたが、これを図３に示す如く、平坦な
基体１上に水晶振動子５を搭載固定し、該固定された水
晶振動子５を椀状の蓋体３で気密に封止するようになし
た水晶デバイス６にも適用し得る。
【００５２】
【発明の効果】本発明の水晶デバイスによれば、基体の
線熱膨張係数を１４×１０-6／℃乃至２０×１０-6／℃
（４０〜４００℃）とし、水晶振動子の線熱膨張係数に
近似させたことから基体に水晶振動子を固定した後、外
部環境の変化に伴って基体と水晶振動子の両者に繰り返
し熱が作用したとしても基体と水晶振動子との間には両
者の線熱膨張係数差に起因する大きな熱応力が発生する
ことはなく、これによって水晶振動子を基体に確実、強
固に固定することができ、水晶振動子を正確に作動させ
ることができる。
【００５３】また同時に本発明の水晶デバイスによれ
ば、蓋体の剛性率を５０ＧＰａ以下としたことから、基
体と蓋体との間に線熱膨張係数の差があり、両者に熱が
作用し、両者間に大きな熱応力が発生したとしても、そ
の熱応力は蓋体を適度に変形させることによって効果的
に吸収され、その結果、基体に蓋体を確実、強固に取着
させて容器の気密封止を完全となし、これによって容器
内部に収容する水晶振動子を長期間にわたり安定、かつ
正確に作動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の水晶デバイスの一実施例を示す断面図
である。
【図２】本発明の水晶デバイスの他の実施例を示す要部
断面図である。
【図３】本発明の水晶デバイスの他の実施例を示す断面
図である。
【符号の説明】
１・・・・・基体 １ａ・・・・凹部 ２・・・・・配線層 ３・・・・・蓋体 ４・・・・・容器 ５・・・・・水晶振動子 ６・・・・・水晶デバイス ７・・・・・導電性接着材 ８・・・・・金属枠体 ９・・・・・ロウ付け用メタライズ層 １０・・・・突起
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０３Ｈ 9/10 Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｃ 9/19 41/18 １０１Ａ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】上面に搭載部を有し、該搭載部から外表面
    にかけて導出された配線層を有する基体と、前記基体の
    搭載部に固定され、電極が前記配線層に電気的に接続さ
    れている水晶振動子と、前記基体の上面に取着され、前
    記水晶振動子を気密に収容する蓋体とから成る水晶デバ
    イスであって、 前記基体の線熱膨張係数が１４×１０-6／℃乃至２０×
    １０-6／℃（４０〜４００℃）であり、かつ前記蓋体の
    剛性率が５０ＧＰａ以下であることを特徴とする水晶デ
    バイス。
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