JP2002289093A

JP2002289093A - ガス放電型表示装置の製造方法

Info

Publication number: JP2002289093A
Application number: JP2001086457A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Watanabe; 拓渡邉; Masaki Aoki; 正樹青木; Kazuya Hasegawa; 和也長谷川
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2001-03-23
Filing date: 2001-03-23
Publication date: 2002-10-04

Abstract

(57)【要約】【課題】グリーンシートを用いて誘電体層や隔壁下地
層或は隔壁を形成する上で、工程が簡素で、焼成時に多
くのエネルギを要することなく、形成される誘電体層な
どに気泡が生じるのを抑制することのできるガス放電型
表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】誘電体層１３を形成する工程は、第１グリ
ーンシート１１０をラミネートする第１ラミネートステ
ップ、第２グリーンシート１２０をラミネートする第２
ラミネートステップ及びラミネートされた第１グリーン
シート１１０及び第２グリーンシート１２０を焼成する
焼成ステップからなる。第１第１グリーンシート１１０
の方が第２グリーンシート１２０よりも柔軟性が大きく
なるよう、可塑剤の含有量が多く設定されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルをはじめとするガス放電型表示装置の製造方
法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガス放電型表示装置として代表的なプラ
ズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと記載する。）
は、例えば次のように製造される。前面ガラス基板に表
示電極を形成し、その上に誘電体ガラスからなる誘電体
層及び保護膜を形成する。

【０００３】一方、背面ガラス基板上にアドレス電極を
形成し、その上に隔壁下地層を兼ねる誘電体層を形成
し、更にその上に隔壁を形成する。そして隔壁の間に、
各色蛍光体ペーストを塗布し焼成してペースト内の樹脂
成分等を除去することにより各色蛍光体層（Ｒ，Ｇ，
Ｂ）を形成する。蛍光体焼成後、前面ガラス基板または
背面ガラス基板の外周部に封着用ガラスフリットを塗布
して封着ガラス層を形成し、両基板を重ね合わせて加熱
することによって封着する。そして、内部空間を排気し
た後に放電ガスを封入する。

【０００４】ところで、誘電体層を形成する方法として
は、誘電体ガラス材料を含むペーストを、スクリーン印
刷法或はダイコート法で塗布して、塗布膜を焼成する方
法が従来から広く用いられているが、その他に誘電材料
を含有するグリーンシートをラミネートして焼成する方
法も知られている。誘電体層を形成する際に、印刷法や
ダイコート法を用いる場合とグリーンシート法を用いる
場合とを比較すると、印刷法やダイコート法の場合は、
塗布工程・乾燥工程・焼成工程と３段階の工程が必要で
あるのに対して、グリーンシート法は、ラミネート工程
・焼成工程と２段階の工程で済むので簡便である。ま
た、グリーンシート法の方が膜厚が均一な誘電体層を形
成しやすいし、ペーストと比べるとグリーンシートの方
が保管も容易である。

【０００５】また、隔壁を形成する方法としては、ガラ
スペーストを所定のピッチで塗布し焼成する方法が知ら
れているが、この他に、隔壁材料を含むグリーンシート
をラミネートして、サンドブラストで不要部分を取り除
くと共に焼成することによって隔壁を形成する方法も知
られている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電極が
形成された基板上において、電極エッジ部には段差があ
るため、この上を覆ってグリーンシートをラミネートす
る際に、当該エッジ部に空気を巻き込みやすい。そし
て、空気が巻き込まれると、形成される誘電体層や隔壁
において、電極との間に気泡が生じるため、耐圧不良や
放電光の透過率減衰といった問題も生じる。

【０００７】このような課題に対して、例えば、特開平
１１−６５４８１号公報に開示されているように、基板
に予め液状もしくは半液状の誘電体材料を塗布してお
き、誘電性グリーンシートをラミネートする技術もあ
り、気泡発生を抑えるのに有効であるが、この場合、流
動性の誘電体材料を塗布する工程が必要となるので、工
程の簡素さが失われる。

【０００８】一方、グリーンシートにおける可塑剤含有
量を多くして柔軟性を高めることによっても気泡発生を
抑えることは可能と考えられるが、可塑剤を多く含有さ
せると焼成時にそれを焼失させるのに多くの時間とエネ
ルギが必要となる。本発明は、これらの課題に鑑み、グ
リーンシートを用いて誘電体層や隔壁下地層或は隔壁を
形成する上で、工程が簡素で、焼成時に多くのエネルギ
を要することなく、形成される誘電体層などに気泡が生
じるのを抑制することのできるガス放電型表示装置の製
造方法を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明におけるガス放電型表示装置の製造方法で
は、誘電体層、隔壁下地層或は隔壁を形成する工程にお
いて、基板上に、電極を蔽うように、可塑剤を含有する
第１グリーンシートを積層するステップと、その後に、
第１グリーンシートの上に、第１グリーンシートにおけ
る可塑剤含有量より少ない可塑剤を含有する第２グリー
ンシートを積層するステップと、積層された第１グリー
ンシート及び第２グリーンシートを焼成する焼成ステッ
プとを設けた。

【００１０】ここでいう「可塑剤含有量」は、一定重量
のグリーンシート中に含まれる可塑剤量を指すものであ
る。この製造方法によれば、先ず電極上に第１グリーン
シートを積層させるが、この第１グリーンシートは、可
塑剤含有量を大きく設定して柔軟性を持たせることがで
きるので、空気の巻き込みを抑制することができる。次
に、第２グリーンシートを積層させるが、この第２グリ
ーンシートは可塑剤含有量を少なく設定することがで
き、それによって全体の可塑剤含有量を低く抑えること
ができる。よって焼成時において消費するエネルギも低
く抑えることができる。

【００１１】また、グリーンシートを複数回積層する必
要はあるが、上記従来技術のように流動性の誘電体材料
を塗布する場合と比べると工程は簡素である。ここで、
全体の可塑剤含有量をできるだけ低く抑えるために、第
２グリーンシートの厚さは第１グリーンシートの厚さに
対して同等以上に設定するのが好ましい。

【００１２】また、上記目的は、誘電体層、隔壁下地層
或は隔壁を形成する工程において、基板上に、電極を蔽
うように、含有される可塑剤の濃度が厚さ方向に勾配を
有するグリーンシートを積層するステップと、積層され
たグリーンシートを焼成するステップとを設けることに
よっても、同様にして達成される。

【００１３】

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明のガス放
電型表示装置の製造方法について、交流面放電型ＰＤＰ
の製造方法を例にとって説明する。図１は、本実施形態
にかかる交流面放電型ＰＤＰを示す斜視図であって、こ
のＰＤＰは次のように製造される。

【００１４】（全体的な製造方法について）前面ガラス
基板１１に、感光性銀ペーストを塗布し、露光・現像・
焼成して表示電極１２を形成し、その上に誘電体ガラス
からなる誘電体層１３及び保護膜１４を形成する。一
方、背面ガラス基板２１上に、銀ペーストを塗布・焼成
してアドレス電極２２を形成し、その上に誘電体層２３
を形成し、更にその上に隔壁２４を形成する。そして隔
壁２４の間に、各色蛍光体ペーストを塗布し、５００℃
程度で焼成してペースト内の樹脂成分等を除去すること
により各色蛍光体層２５（Ｒ，Ｇ，Ｂ）を形成する。

【００１５】蛍光体焼成後、前面ガラス基板１１または
背面ガラス基板２１の外周部に封着用ガラスフリットを
塗布して封着ガラス層を形成し、両基板を重ね合わせて
加熱することによって封着する。そして、内部空間３０
を排気した後に放電ガスを封入する。なお、誘電体層２
３は、その上に隔壁を形成するための下地層としての役
割も果している。また、誘電体層２３には、誘電体ガラ
スの他に白色顔料である酸化チタンが含まれており、可
視光を反射する反射層としての役割も果している。

【００１６】（誘電体層１３及び誘電体層２３を形成す
る方法について）誘電体層１３及び誘電体層２３は共
に、基板上に電極を蔽うように、誘電体ガラスを含み柔
軟性のあるグリーンシートをラミネートし、そのグリー
ンシート上に、誘電体ガラスを含み柔軟性のより少ない
グリーンシートをラミネートし、ラミネートされたグリ
ーンシートを焼成することによって形成する。

【００１７】以下、表示電極１２が形成された前面ガラ
ス基板１１上に誘電体層１３を形成する方法について詳
述するが、アドレス電極２２が形成された背面ガラス基
板２１上に誘電体層２３を形成する方法もこれと同様で
ある。誘電体層１３を形成する工程は、図２（ａ）に示
すように第１グリーンシート１１０をラミネートする第
１ラミネートステップ、図２（ｂ）に示すように第２グ
リーンシート１２０をラミネートする第２ラミネートス
テップ及び図２（ｃ）に示すようにラミネートされた第
１グリーンシート１１０及び第２グリーンシート１２０
を焼成する焼成ステップの３つのステップからなる。

【００１８】（第１グリーンシート１１０及び第２グリ
ーンシートについての説明）先ず、第１ラミネートステ
ップで用いる第１グリーンシート１１０及び第２ラミネ
ートステップで用いる第２グリーンシート１２０につい
て説明する。この第１グリーンシート１１０及び第２グ
リーンシート１２０は共に、基本的には、従来から使用
されているグリーンシートと同様の組成であって、ガラ
ス粉末，熱可塑性樹脂，可塑剤が混合された混合物がシ
ート状に成形されたものである。

【００１９】ガラス粉末は、誘電体層を形成する主要成
分であって、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系の他に、Ｐｂ
Ｏ−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−ＺｎＯ系、ＰｂＯ−Ｂ₂Ｏ₃−Ｓ
ｉＯ₂−ＺｎＯ−（ＢａＯ＋ＣａＯ）系、ＺｎＯ−Ｂｉ₂
Ｏ₃−Ｂ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂−（ＣａＯ＋ＳｒＯ＋ＢａＯ）系
なども用いることができ、これらを混合して用いても良
い。

【００２０】熱可塑性樹脂は、シート状に形成すると共
にラミネート加工できるようにするために用いられる。
ポリブチルメタアクリレート樹脂の他に、ポリメチルメ
タアクリレート樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、エチ
ルセルロース樹脂なども用いることができ、これらを混
合して用いても良い。可塑剤は、シートに柔軟性を付与
する役割を果すものであって、ジオクチルフタレートの
他に、ブチルベンジルフタレート、ジイソオクチルフタ
レート、ジカプリルフタレート、ジブチルフタレートな
ども用いることができ、これらを混合して用いても良
い。

【００２１】ここで、使用するガラス粉末の種類、熱可
塑性樹脂の種類、可塑剤の種類について、第１グリーン
シート１１０と第２グリーンシート１２０とで同じ種類
のものを用いても良いし、別々の種類のものを用いても
よい。但し、第１グリーンシート１１０の方が第２グリ
ーンシート１２０よりも柔軟性が大きくなるように、第
１グリーンシート１１０と第２グリーンシート１２０に
おけるガラス粉末，熱可塑性樹脂，可塑剤の配合比率が
調整されている。

【００２２】具体的には、このようなグリーンシートに
おいて、ガラス粉末に対する熱可塑性樹脂並びに可塑剤
の配合比率が大きいほど柔軟性が大きくなるので、第２
グリーンシート１２０よりも第１グリーンシート１１０
のガラス粉末の配合比率を少なく設定し、その分、熱可
塑性樹脂及び可塑剤の配合比率を大きく設定することに
よっても柔軟性を調整することができる。

【００２３】特に、可塑剤の添加量は、グリーンシート
の柔軟性に及ぼす影響が大きく、ガラス粉末の配合比率
は同等であっても、可塑剤の添加量を増減することによ
ってその柔軟性は大きく変わる。従って、第２グリーン
シートより第１グリーンシート１１０における可塑剤の
添加量を多く設定することによって、その柔軟性を容易
に調整することができる。

【００２４】（各ステップについての説明）第１ラミネートステップ：図２（ａ）は、第１ラミネー
トステップの様子を示す図である。このステップでは、
表示電極１２が形成された前面ガラス基板１１上に第１
グリーンシート１１０をラミネートする。具体的には、
表示電極１２が形成された前面ガラス基板１１を加熱
し、図２（ａ）に示すように、これに第１グリーンシー
ト１１０を重ね合せながら、１対のラミネータローラ１
０１・１０２間を通過させて押圧することによってラミ
ネートする。なお、図示はしていないが、第１グリーン
シート１１０は、ロール状に巻かれているところから供
給されるようになっている。

【００２５】第２ラミネートステップ：図２（ｂ）は、
この第２ラミネートの様子を示す図である。この第２ラ
ミネートでは、第１グリーンシート１１０がラミネート
された前面ガラス基板１１上に、第２グリーンシート１
２０をラミネートする。具体的には、第１ラミネートス
テップと同様であって、第１グリーンシート１１０がラ
ミネートされた前面ガラス基板１１を加熱し、図２
（ｂ）に示すように、これに第２グリーンシート１２０
を重ね合せながら、１対のラミネータローラ１０１・１
０２間を通過させることによって押圧する。

【００２６】焼成ステップ：図２（ｃ）は、焼成の様子
を示す図である。第１グリーンシート１１０及び第２グ
リーンシート１２０がラミネートされた前面ガラス基板
１１を、空気中で加熱することによって焼成する。この
焼成温度は、第１グリーンシートに含まれる誘電体ガラ
スの軟化点及び第２グリーンシートに含まれる誘電体ガ
ラスの軟化点のいずれよりも高い温度とし、焼成時間
は、グリーンシート中の樹脂成分が焼失するのに十分な
時間とする。

【００２７】このように焼成することによって、第１グ
リーンシート１１０及び第２グリーンシート１２０中の
樹脂成分が焼失すると共に誘電体ガラスが焼結し、図２
（ｄ）に示すように誘電体層１３が形成される。この焼
成ステップにおいてグリーンシートは収縮するので、誘
電体層１３の膜厚は、通常、第１，第２グリーンシート
の合計膜厚の半分程度となる。

【００２８】（効果についての説明）上記のような誘電
体層１３の形成方法によれば、以下に説明するように、
工程が比較的簡素で、焼成時に多くのエネルギを要する
ことなく、且つ空気を巻き込むことによって誘電体層に
気泡が生じるのを抑制することができる。図３は、従来
の一般的なグリーンシート法で誘電体層３１３を形成す
る工程を示す図である。

【００２９】この場合、（ａ）のように表示電極１２を
形成した前面ガラス基板１１上に、誘電材料を主成分と
するグリーンシート３１０をラミネートし、（ｂ）のよ
うに焼成することによって、（ｃ）のように誘電体層１
３が形成されるが、表示電極１２のエッジ部１２ａには
表示電極１２の厚み分だけ段差があるので、（ａ）に示
すように、グリーンシート３１０をラミネートするとき
に、この部分に空気が巻き込まれて隙間ができやすい。

【００３０】そして、このように巻き込まれた空気は、
（ｂ）に示す焼成時においても外に抜けにくいにので、
形成された誘電体層３１３においても気泡３１０ａとし
て残ることになる。ここで、グリーンシート３１０自体
の組成を調整する（具体的には可塑剤の含有量を通常よ
り多く設定する）ことによって、その柔軟性を高めてお
けば、空気が巻き込まれるのを抑えることは可能である
が、このように可塑剤含有量を高めた場合、焼成時に多
くの時間とエネルギが必要となる。

【００３１】これに対して、本実施形態の誘電体層形成
方法では、第１グリーンシート１１０の柔軟性を大きく
することによって、第１ラミネートステップにおける空
気の巻き込みを防止することができる。一方、第２ラミ
ネートステップで第２グリーンシート１２０をラミネー
トする際には、既に電極上には第１グリーンシート１１
０が覆われており、第１グリーンシート１１０の表面に
は段差があっても緩やかなので、第２グリーンシートは
柔軟性が小さくても空気が巻き込まれることはない。従
って、第２グリーンシートにおける可塑剤量を少な目に
設定し、誘電体材料の含有量を十分に確保することがで
きるので、、焼成時において多くの時間とエネルギを要
することもない。

【００３２】また、本実施形態においては、ラミネート
を２回行う必要があるものの工程は簡素であり装置的な
負担も少ない。即ち、従来技術で述べたような基板に予
め液状もしくは半液状の誘電体材料を塗布しておき、誘
電性グリーンシートをラミネートする技術の場合は、塗
布装置とラミネート装置が必要であるのに対して、本実
施形態においては、第１ラミネートステップと第２ラミ
ネートステップとを同じラミネート装置で行うことがで
きるので、塗布装置は不要である。

【００３３】（第１グリーンシート１１０と第２グリー
ンシートの厚さについての考察）第１グリーンシート１
１０は、電極層の厚さ程度は必要であるが、あまり大き
く設定しなくても、第１ラミネートステップにおいて空
気巻き込みを抑える効果は十分に得ることができる。一
方、第１グリーンシートの厚さを小さく（第２グリーン
シートの厚さを大きく）設定する方が、焼成時における
消費する時間とエネルギを低減することができる。

【００３４】このような観点から、一般的に、第１グリ
ーンシート１１０の厚さを第２グリーンシート１２０の
厚さより小さく設定するのが望ましいということも言え
る。（焼成時の雰囲気についての考察）焼成工程は、焼成炉
内で行うが、焼成炉の内部に、酸素やドライエアーを強
制的に流し込んで、焼成時に酸素が十分に含まれている
雰囲気を形成することが好ましい。

【００３５】この理由は、次の通りである。一般的に
は、昇温時においてグリーンシート中の有機物が大部分
が燃焼されるものの、酸素が不足した雰囲気では、有機
物の燃焼が不十分となり、有機物やカーボンが残存した
り炉の内壁にタールが付着したりすることがある。これ
に対して、焼成時において酸素が十分に含まれている雰
囲気を形成すると、有機物の燃焼が促進され、焼成後の
誘電体層に有機物やカーボンが残存したりしにくくな
り、その結果、耐電圧の高い誘電体層を形成することが
できる。また、焼成炉の内壁に付着するタールを低減で
きるので、焼成炉の管理も容易となる。

【００３６】特に、本実施形態の場合、第１グリーンシ
ート１１０中の可塑剤量が通常より多いので、焼成炉の
内部に、酸素やドライエアーを強制的に流し込むことに
よって、有機物を十分に燃焼させることが好ましい。な
お、焼成炉に流す酸素やドライエアの流量は、焼成炉の
大きさによる。また、酸素やドライエアーは、常温〜可
塑剤の燃焼完了温度（本実施形態では５５０℃）の温度
雰囲気のときだけ流通させ、燃焼完了温度を越える範囲
では流通させないようにする方が無駄がなく好ましい。

【００３７】また、焼成炉内を大気圧より高い圧力に加
圧した状態で、酸素やドライエアを送り込むと、酸素分
圧を高めることができる。従って、燃焼反応が促進さ
れ、焼成後の誘電体層中に残存する有機物やカーボンを
低減する効果が高められる。（実験１）

【００３８】

【表１】

【００３９】上で説明した方法に基づいて、誘電体層を
形成した。但し、第１グリーンシート及び第２グリーン
シートにおける可塑剤含有量（ｗｔ％）を、表１に示す
Ａ1〜Ａ11のようにいろいろな値に変えて行った。な
お、表１に示すＡ1〜Ａ11の中で、Ａ6，Ａ10は、実施例
にかかるものであって、第１グリーンシートの可塑剤含
有量を第２グリーンシートの可塑剤含有量よりも大きく
設定されている。

【００４０】一方、Ａ1，Ａ2，Ａ4，Ａ5，Ａ7，Ａ8，Ａ
11は、比較例にかかるものであって、第１グリーンシー
トの可塑剤含有量が第２グリーンシートの可塑剤含有量
に対して同等以下に設定されている。また、Ａ3，Ａ9
も、比較例にかかるものであって、第２グリーンシート
には可塑剤が含有されていない。以下の条件については
共通である。

【００４１】第１，第２グリーンシートにおいて、誘電
体ガラスは、組成がＰｂＯ−Ｂ2Ｏ3−ＳｉＯ2で軟化点
が５６０℃のものを用い、熱可塑性樹脂としてはポリブ
チルメタアクリレート樹脂を用い、可塑剤としてはジオ
クチルフタレートを用いた。第１，第２グリーンシート
中の誘電体ガラス含有量は、いずれも一定値（できれ
ば、シート中における誘電体ガラス含有量の数値を補充
してください。）に設定し、可塑剤含有量を大きく設定
する場合は、その分だけ樹脂含有量を低く設定した。ま
た、第１，第２グリーンシートの厚さは、いずれも３０
μｍに設定した。

【００４２】ラミネート時において、基板を加熱する温
度は８０℃〜１２０℃、ローラの搬送速度は１ｍ／分、
押圧力は２．５ｋｇ／ｃｍ²とした。焼成は、誘電体ガ
ラスの軟化点５６０℃よりも１０℃高い焼成温度５７０
℃で１０分間行った。このようなＡ1〜Ａ11の方法で形
成された誘電体層は、いずれも膜厚が３０μｍであっ
た。また、膜を顕微鏡で観察することによって、電極付
近に気泡がどの程度発生しているかを調べた。その結果
は、表１に示す通りである。

【００４３】考察：表１の結果において、第１グリーン
シート及び第２グリーンシートの可塑剤含有量が２ｗｔ
％以上のＡ4，Ａ5，Ａ6，Ａ7，Ａ8，Ａ10，Ａ11と比べ
ると、第１グリーンシート及び第２グリーンシートの一
方又は両方の可塑剤含有量が０ｗｔ％であるＡ1，Ａ2，
Ａ3，Ａ9では、誘電体層において気泡が多く発生してい
る。これより、第１グリーンシート及び第２グリーンシ
ートの可塑剤含有量を２ｗｔ％以上として柔軟性を確保
するのが好ましいことがわかる。

【００４４】特に、第１グリーンシートの可塑剤含有量
を４ｗｔ％〜６ｗｔ％とし、第２グリーンシートの可塑
剤含有量をそれより少なく設定した実施例Ａ6，Ａ10に
おいては、気泡の発生が極めて少ないという結果が得ら
れている。なお、比較例のＡ7，Ａ8，Ａ11は、第１グリ
ーンシートの可塑剤含有量が４ｗｔ％〜６ｗｔ％である
が、第２グリーンシートの可塑剤含有量がそれと同等以
上であり、実施例Ａ6，Ａ10と比べると気泡の発生は多
いことがわかる。

【００４５】（実験２）

【００４６】

【表２】

【００４７】上記実験１と同様、第１グリーンシート及
び第２グリーンシートにおける可塑剤含有量（ｗｔ％）
をいろいろな値に変えると共に、第１，第２グリーンシ
ートの厚さも、いろいろな値に変えて行った。即ち、表
２に示すＢ5，Ｂ7，Ｂ9，Ｂ10の方法では、表１のＡ5，
Ａ7，Ａ9，Ａ10の方法において、第１，第２グリーンシ
ートの厚さを変えたものである。

【００４８】なお、表２に示すＢ1〜Ｂ11の中で、Ｂ6，
Ｂ7は、実施例かかるものであって、第１グリーンシー
トの可塑剤含有量が第２グリーンシートの可塑剤含有量
よりも大きく設定されし、Ｂ1，Ｂ2，Ｂ4，Ｂ5，Ｂ8，
Ｂ9，Ｂ10は、比較例にかかるものであって、第１グリ
ーンシートの可塑剤含有量が第２グリーンシートの可塑
剤含有量に対して同等以下に設定した。また、Ｂ3，Ｂ1
1も、比較例にかかるものであって、第２グリーンシー
トに可塑剤は含有されていない。

【００４９】ラミネート時における加熱温度、ローラの
搬送速度、押圧力、焼成温度などの条件は実験１と同様
である。Ｂ1〜Ｂ11の方法で形成した各誘電体層につい
て、電極付近に気泡が発生している程度を調べた。その
結果は、表２に示す通りである。考察：実験１と同様
に、第１グリーンシート及び第２グリーンシートの可塑
剤含有量が２ｗｔ％以上のＢ4〜Ｂ10と比べると、第１
グリーンシート及び第２グリーンシートの一方又は両方
の可塑剤含有量が０ｗｔ％であるＢ1，Ｂ2，Ｂ11では、
誘電体層において気泡が多く発生している。これより、
第１グリーンシート及び第２グリーンシートの可塑剤含
有量を２ｗｔ％以上として柔軟性を確保するのが好まし
いことがわかる。

【００５０】（本実施形態の変形例について）本実施形
態では、誘電体層を形成するのに、第１グリーンシート
及び第２グリーンシートという２枚のグリーンシートを
ラミネートさせる例を示したが、３枚以上のグリーンシ
ートをラミネートさせる場合も、最初に電極上にラミネ
ートするグリーンシートは可塑剤含有量を多く設定し、
その上にラミネートする複数枚のグリーンシートはいす
れもこれより可塑剤含有量を少なく設定することによっ
て、同様に実施することができ、同様の効果を奏する。

【００５１】〔実施の形態２〕上記実施の形態１では、
誘電体層１３を形成するのに、第１ラミネートステップ
及び第２ラミネートステップと、２度のラミネートを行
ったが、本実施形態では、先ず、可塑剤の濃度が厚さ方
向に勾配を有する誘電性のグリーンシートを形成し、こ
のグリーンシートの可塑剤濃度の高い側が、表示電極１
２が形成された前面ガラス基板１１に対向するようにラ
ミネートする。

【００５２】この方法によっても、上記実施の形態１と
同様に、工程が比較的簡素で、焼成時に多くのエネルギ
を要することなく、且つ空気が巻き込まれて誘電体層に
気泡が生じるのを抑制することができる。以下に、具体
的に説明する。可塑剤の濃度が厚さ方向に勾配を有する
誘電性のグリーンシートは、上記実施の形態１で説明し
た第１グリーンシート１１０と第２グリーンシート１２
０とを貼り合わせる（ラミネート）ことによって作製す
ることができる。

【００５３】このように貼り合わされた積層グリーンシ
ートは、第２グリーンシート１２０の側よりも第１グリ
ーンシート１１０の側が柔軟性が高く、厚さ方向におい
て柔軟性に勾配を有していることになる。そして、表示
電極１２が形成された前面ガラス基板１１を加熱し、図
４（ａ）に示すように、これに積層グリーンシートを重
ね合せながら、１対のラミネータローラ１０１・１０２
間を通過させることによって押圧する。

【００５４】ここで、積層グリーンシートの第１グリー
ンシート１１０側（柔軟性が高い側）が、表示電極１２
に対向するようにラミネートするので、表示電極１２の
エッジ部に空気が巻き込まれにくい。このように積層グ
リーンシートをラミネートした後は、実施の形態１と同
様にして、図４（ｂ）に示すように焼成ステップを行う
ことによって、図４（ｃ）に示すように誘電体層１３が
形成される。

【００５５】本実施形態においても、第２グリーンシー
トにおける可塑剤量は少な目に設定して誘電体材料の含
有量を十分に確保することにより、焼成時において多く
の時間とエネルギが消費されるのを回避できる。また、
上記実施の形態１と比べると、本実施形態においては、
予め第１グリーンシートと第２グリーンシートを貼り合
わせる手間はかかるが、基板上へのラミネートは１回で
済むので、より作業性に優れる。

【００５６】なお、実施の形態１において説明した第１
グリーンシート１１０と第２グリーンシートの厚さにつ
いての考察や、焼成時の雰囲気についての考察は、本実
施の形態においてそのまま適用することができる。〔実施の形態３〕上記実施の形態１，２では、誘電体層
を形成する場合について説明したが、本実施の形態で
は、隔壁を形成する場合について説明する。

【００５７】即ち、従来から、隔壁材料を含有するグリ
ーンシートをラミネートし、サンドブラストによって不
要な部分を除去し、焼成することによって隔壁を形成す
る方法が知られているが、この隔壁材料を含有するグリ
ーンシートをラミネートする際にも、上記実施の形態
１，２で説明した方法は適用できる。そして、この場
合、工程が比較的簡素で、焼成時に多くのエネルギを要
することなく、且つ空気が巻き込まれて隔壁層に気泡が
生じるのを抑制することができる。

【００５８】以下、この隔壁形成方法について具体的に
説明する。先ず、実施の形態１又は実施の形態２で説明
したのと同様の方法で、図５（ａ）に示すように、アド
レス電極２２が形成された背面ガラス基板２１上に、第
１グリーンシート２１０及び第２グリーンシート２２０
をラミネートする。この第１グリーンシート２１０及び
第２グリーンシート２２０は、上記実施の形態で用いた
第１グリーンシート１１０及び第２グリーンシート１２
０と同様、隔壁剤材料粉末，熱可塑性樹脂，可塑剤など
を混合し、シート状に成形したものであるが、隔壁材料
粉末には、ガラス粉末の他に、アルミナからなるフィラ
ー粉末（骨材）、酸化チタン（ＴｉＯ₂）からなる顔料
粉末も添加されている。

【００５９】そして、第１グリーンシート２１０は、可
塑剤含有量を大きく設定して柔軟性を高めてあり、第２
グリーンシート２２０は、第１グリーンシート２１０よ
りも可塑剤含有量を小さく設定している。なお、使用す
る第１グリーンシート２１０及び第２グリーンシート２
２０の合計厚さは、形成しようとする隔壁の高さに合わ
せて設定する。通常、隔壁高さは誘電体層と比べるとか
なり大きいので、この合計厚さは、実施形態１，２で用
いた第１グリーンシート１１０及び第２グリーンシート
１２０の合計厚さよりもかなり大きく設定することにな
る。

【００６０】但し、全体の可塑剤含有量をできるだけ低
く抑えるために、第１グリーンシート２１０の厚さは、
第１グリーンシート１１０と同様にできるだけ薄く設定
し、第２グリーンシート１２０を厚めに設定することが
好ましい。次に、図５（ｂ）に示すように、上記のよう
にラミネートしたグリーンシート２１０，２２０の上
に、感光性ドライフィルムレジスト（以下、ＤＦＲと称
する。）をラミネートすることによって被覆膜２３０を
形成し、この被覆膜２３０上に、隔壁パターンに相当す
る部分だけを覆うフォトマスク２４０を載せ、紫外線光
（ＵＶ光）を照射して露光を行う。

【００６１】次に、１％炭酸ナトリウム水溶液の現像液
を使用して現像を行い、現像後直ちに水洗する。これに
よって、図５（ｃ）に示すように、被覆膜２３０は、Ｕ
Ｖ照射された部分が除去され、隔壁パターンに相当する
部分だけが残る。上記のように被覆膜２３０をパターン
形成した後、グリーンシート２１０，２２０をサンドブ
ラスト加工することによって不要な部分を削り取る。

【００６２】具体的には、図５（ｄ）に示すように、ブ
ラストノズル２５０から研磨材（例えばガラスビーズ
材）２５１を噴射しながら、このブラストノズル２５０
を、図中白抜矢印で示すように、被覆膜２３０表面に沿
って全体にわたって走査させる。これによって、グリー
ンシート２１０，２２０に対して、被覆膜２３０が除か
れた領域だけにブラスト加工が施されて削り取られる。

【００６３】尚、このブラスト加工する深さについて
は、図では、第１グリーンシート２１０と第２グリーン
シート２２０との境界付近まで削っているが、もっと浅
くグリーンシート２２０の途中まで削ってもよいし、更
に深く第１グリーンシート２１０に侵入するまで削って
もよい。上記のようにブラスト加工した後の背面ガラス
基板２１を、剥離液（例えば５％水酸化ナトリウム水溶
液）に浸漬することによって、被覆膜２３０を剥離す
る。図５（ｅ）は、このようにしてグリーンシート２１
０，２２０が隔壁形状にパターニングされた様子（焼成
前隔壁層）を示している。

【００６４】次に、焼成ステップにおいて、被覆膜を剥
離した後の背面ガラス基板２１を、ピーク温度が隔壁材
料中のガラス粉末の軟化温度より若干高い温度（約５５
０℃）となるようにプロファイル形成された焼成炉内で
加熱する。これによって、パターニングされたグリーン
シート２１０，２２０（焼成前隔壁層）中の隔壁材料が
焼結され、図５（ｆ）に示すように隔壁層２２４が形成
される。

【００６５】なお、このように形成された隔壁層２２４
は、図１における誘電体層２３と隔壁２４とを合せたも
のに相当する。以上の本実施形態の隔壁形成法によれ
ば、ラミネート時にアドレス電極２２のエッジ部に空気
が巻き込まれにくく、且つ、焼成時に多くのエネルギを
要することもない。

【００６６】なお、本実施の形態では、隔壁形状を形成
するのにサンドブラスト法を用いる例を示したが、感光
性のグリーンシートを用いてフォトリソ法で隔壁形状を
形成場合も、同様に実施することができる。また、実施
の形態１で説明した第１グリーンシート１１０と第２グ
リーンシートの厚さについての考察や、焼成時の雰囲気
についての考察は、本実施の形態でもそのまま適用でき
る。（その他の事項）上記各実施の形態においては、電極を
形成した基板上にグリーンシートをラミネートする際
に、通常の大気圧下で行うものとして説明したが、これ
を減圧雰囲気下（好ましくは大気圧に対して１／１０以
下の圧力）で行えば、仮に電極エッジ部に空気が巻き込
まれたとしても、大気圧雰囲気下にもどしたときにその
空気体積が小さくなるので、気泡発生の抑制効果を更に
向上させることができる。

【００６７】上記実施の形態では、焼成温度について、
ガラス材料の軟化点よりも１０℃程度高い温度で焼成す
ることとしたが、ガラス材料の軟化点よりも１００℃程
度高い温度で焼成すると、焼成時に膜から空気が抜けや
すいので、気泡を更に低減できるものと期待できる。但
しこの場合、焼成炉における消費エネルギが大きくなり
焼成時間も多く必要となる。

【００６８】上記実施の形態では、交流面放電型ＰＤＰ
を例にとって説明したが、本発明は、対向放電型ＰＤ
Ｐ、直流型ＰＤＰなどにも適用できる。

【００６９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、ガス放
電型表示装置の誘電体層、隔壁下地層或は隔壁を形成す
る工程において、基板上に、電極を蔽うように、可塑剤
を含有する第１グリーンシートを積層するステップと、
その後に、第１グリーンシートの上に、第１グリーンシ
ートにおける可塑剤含有量より少ない可塑剤を含有する
第２グリーンシートを積層するステップと、積層された
第１グリーンシート及び第２グリーンシートを焼成する
焼成ステップとを設けることによって、空気の巻き込み
を抑制することができると共に、焼成時において消費す
るエネルギも低く抑えることができ、工程も比較的簡素
である。

【００７０】特に、この製法を誘電体層形成に用いれ
ば、耐電圧の高い誘電体層を比較的容易に形成すること
ができる点で有益である。また、誘電体層、隔壁下地層
或は隔壁を形成する工程において、基板上に、電極を蔽
うように、含有される可塑剤の濃度が厚さ方向に勾配を
有するグリーンシートを積層するステップと、積層され
たグリーンシートを焼成するステップとを設けることに
よっても、これと同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態にかかる交流型ＰＤＰの斜視図であ
る。

【図２】実施の形態１にかかる誘電体形成方法を示す図
である。

【図３】従来のグリーンシート法による誘電体層形成方
法を示す図である。

【図４】実施の形態２にかかる誘電体形成方法を示す図
である。

【図５】実施の形態３にかかる隔壁形成方法を示す図で
ある。

【符号の説明】

１１前面ガラス基板１２表示電極１３誘電体層１４保護膜２１背面ガラス基板２２アドレス電極２３誘電体層２４隔壁１０１・１０２ラミネータローラ１１０，２１０第１グリーンシート１２０，２２０第２グリーンシート２２４隔壁層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長谷川和也大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内Ｆターム(参考） 5C027 AA05 AA09 5C040 GD07 GD09 GF18 GF19 JA09 JA17 JA19 JA22 KA14 KA17 KB03 KB06 KB19 KB28 MA23 MA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】電極が設けられた基材上に、前記電極を
蔽うように、誘電材料及び可塑剤を含有する第１グリー
ンシートを積層する第１積層ステップと、前記第１積層ステップの後に、第１グリーンシートの上
に、誘電材料を含有し前記第１グリーンシートにおける
可塑剤含有量よりも可塑剤含有量が少ない第２グリーン
シートを積層する第２積層ステップと、積層された第１グリーンシート及び第２グリーンシート
を焼成する焼成ステップとを備えることを特徴とするガ
ス放電型表示装置の製造方法。
【請求項２】電極が設けられた基材上に、当該電極を
蔽うように、誘電材料を含有し且つ可塑剤濃度が厚さ方
向に勾配を有するグリーンシートを積層する積層ステッ
プと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップとを
備えることを特徴とするガス放電型表示装置の製造方
法。
【請求項３】電極が設けられた基材上に、前記電極を
蔽うように、隔壁下地材料及び可塑剤を含有する第１グ
リーンシートを積層する第１積層ステップと、前記第１積層ステップの後に、第１グリーンシートの上
に、隔壁下地材料を含有し前記第１グリーンシートにお
ける可塑剤含有量よりも可塑剤含有量が少ない第２グリ
ーンシートを積層する第２積層ステップと、積層された第１グリーンシート及び第２グリーンシート
を焼成する焼成ステップと、前記焼成ステップによって形成された隔壁下地層の上に
隔壁を形成する隔壁形成ステップと備えることを特徴と
するガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項４】電極が設けられた基板上に、当該電極を
蔽うように、隔壁下地材料を含有し且つ可塑剤濃度が厚
さ方向に勾配を有するグリーンシートを積層する積層ス
テップと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップと、前記焼成ステップによって形成された隔壁下地層の上に
隔壁を形成する隔壁形成ステップと備えることを特徴と
するガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項５】電極が設けられた基材上に、隔壁材料及
び可塑剤を含有する第１グリーンシートを積層する第１
積層ステップと、前記第１積層ステップの後に、第１グリーンシートの上
に、隔壁材料を含有し前記第１グリーンシートにおける
可塑剤含有量よりも可塑剤含有量が少ない第２グリーン
シートを積層する第２積層ステップと、積層されたグリーンシートにおける不要部分を除去する
除去ステップと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップとを
備えることを特徴とするガス放電型表示装置の製造方
法。
【請求項６】電極が設けられた基板上に、当該電極を
蔽うように、隔壁材料を含有し且つ可塑剤濃度が厚さ方
向に勾配を有するグリーンシートを積層する積層ステッ
プと、積層されたグリーンシートにおける不要部分を除去する
除去ステップと、積層されたグリーンシートを焼成する焼成ステップとを
備えることを特徴とするガス放電型表示装置の製造方
法。
【請求項７】前記第２グリーンシートは、前記第１グリーンシートの厚さに対して同等以上の厚さ
を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項
に記載のガス放電型表示装置の製造方法。
【請求項８】前記焼成ステップでは、大気中よりも酸素が多く含まれる雰囲気中で焼成するこ
とを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載のガ
ス放電型表示装置の製造方法。
【請求項９】前記焼成ステップでは、乾燥空気中で焼成することを特徴とする請求項１〜７の
いずれか１項に記載のガス放電型表示装置の製造方法。