JP2002286807A - テストヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで高い接触位置精度が得られる新し
い構成のテストヘッドの実現。 【解決手段】 被検査物100の複数の電極に接触し、複
数の接続線との間の電気的接続を形成するテストヘッド
であって、複数の電極にそれぞれ接触する導電性の複数
のソリッドピン70と、複数のソリッドピンをそれぞれ摺
動可能に保持する複数の穴を有する非導電性のソリッド
ピン保持部材52と、一方の側が各接続線8に接続され、
他方の側に付勢された状態で移動可能に保持されたプラ
ンジャを有し、プランジャの先端68が各ソリッドピン70
にそれぞれ接触し、接続線とソリッドピンを電気的に接
続する複数のプローブ60と、複数のプローブを保持する
複数の穴を有する非導電性のプローブ保持部材51とを備
える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板、半
導体基板及び液晶基板などの上に形成された複数の電極
とテスタなどに接続される接続線との間の電気的接続を
形成するテストヘッドに関し、特に複数の電極に接触す
るコンタクトピンの接触位置精度を向上したテストヘッ
ドに関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板、半導体基板及び液晶基板
などは、それらの上に形成された回路と外部電源及び信
号線との接続を行うための電極が設けられている。プリ
ント基板や液晶基板の場合には、例えば、これらの電極
にコネクタの端子を取り付ける。一方、これらの製造工
程では、それらの上に形成した回路が正常に動作するか
の検査を行う必要があるが、この検査は上記の電極にコ
ンタクトピンを接触させ、テスタからコンタクトピンを
介して電源やテスト信号を印加すると共に、出力される
信号をテスタで検出し、所定の信号が得られるかを検出
することにより行う。電極とテスタに接続される接続線
との間のコンタクトピンを含む構造をテストヘッドと呼
ぶ。また、コンタクトピンには、単に導線を配列したも
のやパイプ内を摺動可能に保持されたものなどがあり、
一般に単に導線を配列したものは電極が非常に短いピッ
チで配列された半導体装置などの場合に使用され、パイ
プ内を摺動可能に保持されたものは電極の配列ピッチが
比較的大きいプリント基板や液晶基板などの場合に使用
される。このようなパイプ内を摺動可能に保持されたコ
ンタクトピンをプランジャ、パイプを含めた部材をプロ
ーブと呼ぶので、ここでもこの語を使用する。本発明
は、プローブを有するテストヘッドに関する発明であ
り、以下の説明では、プリント基板や液晶基板などの電
極に接触する場合を例として説明を行うが、本発明は、
プリント基板や液晶基板などの測定に使用されるテスト
ヘッドに限定されるものでなく、半導体装置のテストヘ
ッドであってもプローブを使用するものには適用可能で
ある。更に、本発明は、プリント基板や液晶基板及び半
導体装置の電極に直接接触するテストヘッドだけでな
く、電極に接続するテストヘッドとテスタの間に設けら
れる中継の役割を果たすテストヘッドなどにも適用可能
である。

【０００３】図１は、プリント基板や液晶基板などを電
気的に検査するための検査装置の全体構成を示す図であ
る。図示のように、ベース３の上にはＸＹＺステージ４
が設けられ、更にベース３には支柱５が設けられ、それ
にアーム６が設けられている。検査対象の基板１００
は、ＸＹＺステージ４の上に保持され、アーム６に保持
されたテストヘッド９のコンタクトピン１０に電極が接
触するように移動される。テストヘッド９のコンタクト
ピン１０は、それぞれ導線８に接続されており、導線８
はコネクタ７と２を介してテスタ１に接続される。これ
により、テスタ１と基板１００の電極が電気的に接続さ
れ、検査を行うことができる。

【０００４】近年、回路基板や液晶基板の高集積化に伴
って、テストヘッド９のコンタクトピン１０の本数は増
加しており、多いものではその本数が１万を越える場合
も生じている。コンタクトピン１０の本数が増加して
も、テストヘッド９のコンタクトピン１０と電極の接触
部分では、すべてのピンがほぼ同じ接触圧で接触するこ
とが必要である。もし接触していないピンが存在した
り、接触圧の差が大きいと正常な検査を行うことができ
ないという問題を生じる。そこで、テストヘッド９のコ
ンタクトピン１０には、付勢された状態で移動可能に保
持されたプランジャを有するプローブが使用される。図
２は、プローブの構造を説明する図である。なお、以下
の図では図示を容易にするために実際の形状より直径を
長くして示すが、実際にはプローブは非常に細長いもの
であり、プローブの長さと直径の比は１００以上になる
場合もある。

【０００５】図２に示すように、プローブは、金属製の
パイプ１１の一方の端に導電性のワイヤ８を入れてカシ
メるなどの方法で固定する。これにより金属製のパイプ
１１とワイヤ８が電気的に接続される。なお、電気的に
接続できるのであれば、どのような方法で固定してもよ
い。次に、パイプ１１の内部に導電性の材料で作られた
ばね１２を入れ、更にプランジャ１７を入れる。プラン
ジャ１７は、中間の部分１４の直径が両側の部分１３，
１５の径より小さくなっており、その部分のパイプ１１
の一部がカシメられており、ばね１２がプランジャ１７
を押しても抜けないように保持される。プランジャ１７
は、先端に何も接触していない状態ではばね１２の力で
下側に押し下げられており、基板１００が上昇するとプ
ランジャ１７の先端に接触し、プランジャ１７を押し上
げる。これにより、ほぼ一定の接触圧が得られる。な
お、テストヘッド９の筐体は非導電性（絶縁性）で、筐
体には基板の電極の配列に対応して精密に穴が加工さ
れ、その穴にプローブが組み込まれて固定される。固定
は各種の方法で行われ、例えば、図２ではパイプ１１の
上下を挟むことで固定している。なお、図示の関係でプ
ランジャ１７の部分１３及び１５とパイプ１１の内壁の
間に大きな隙間があるように示したが、実際には摺動可
能なはめあい公差に従って隙間が設定されている。この
点は、以下の図においても同様である。

【０００６】図２のプローブではプランジャ１７が摺動
するので磨耗したり損傷して使用できなくなる場合が生
じる。上記のように、１つのテストヘッドで１万以上の
プローブを使用する場合もあり、１個のプローブが故障
してテストヘッド全体を交換したのでは効率が悪いとい
う問題がある。そこで、プローブが故障した場合には、
故障したプローブのみを交換することが行われるが、そ
のためにプローブの交換が容易に行える構造として、図
３に示すような両面プローブと呼ばれる構造が考えられ
た。

【０００７】図３は、両面プローブを使用したテストヘ
ッドの構成を示す図である。図３に示すように、ワイヤ
８をカシメたターミナル２９をターミナル保持部材２１
の穴に配置する。穴の上側の径は、図示のようにターミ
ナル２９の径より小さく（ワイヤ８の径よりは大き
い）、下方には抜くことができるが、上方には抜けない
ようになっている。なお、ターミナル保持部材２１に
は、第１のプローブ保持部材２２Ａが隣接して配置され
る。

【０００８】第２のプローブ保持部材２２Ｂには両面プ
ローブ３０を挿入する穴が設けられている。両面プロー
ブ３０のパイプ３１の上側の端は第１のプローブ保持部
材２２Ａの穴に入り、両面プローブ３０の第１のプラン
ジャ３２の先端がターミナル２９に接触する。先端ガイ
ド部材２３には両面プローブ３０のパイプ３１の下側の
端が入る穴が設けられている。参照番号２６と２７は、
第１のプローブ保持部材２２Ａと第２のプローブ保持部
材２２Ｂ及び第２のプローブ保持部材２２Ｂと先端ガイ
ド部材２３の間隔を規制するスペーサであり、これらの
部材とスペーサは、ターミナル２９と両面プローブ３０
を組み込んだ後位置決めされてねじ２８により一体に固
定される。なお、同様に反対側の端もねじで固定され、
図示していないが多数のターミナル２９と両面プローブ
３０が取り付けられる。

【０００９】図４は、両面プローブ３０の構造を示す図
である。図示のように、パイプ３１の両側に第１のプラ
ンジャと第２のプランジャが摺動可能に挿入されてお
り、その間に設けたばね３７によりそれぞれ外側に付勢
される。第１のプランジャと第２のプランジャには、そ
れぞれ両側の部分３３、３６及び３８、４１よりも径の
小さな部分３４及び３９が設けられており、またパイプ
３１のその部分がカシメられており、ばね３７によりそ
れぞれ外側に付勢しても第１のプランジャと第２のプラ
ンジャが抜けないようになっている。

【００１０】図３及び図４に示すように、第２プランジ
ャは、先端部４３の径が小さく、途中に径の大きな部分
４２が設けられている。一方、先端ガイド部材２３の穴
は、上側の部分の径は第２プランジャの途中の部分４２
より大きく、下側の部分の径は第２プランジャの先端部
４３より大きいが途中の部分４２の径よりは小さくなっ
ており、第２プランジャ、すなわちプローブ３０が先端
ガイド部材２３より下に抜けることはない。

【００１１】組み立てる場合には、ターミナル保持部材
２１とプローブ保持部材２２Ａ及び２１Ｂと先端ガイド
部材２３を穴が水平になるように配置し、ターミナル保
持部材２１の穴にそれぞれターミナル２９を挿入し、プ
ローブ保持部材２２Ｂの穴に両面プローブ３０を挿入
し、更に両面プローブ３０の上側をプローブ保持部材２
２Ａの穴に、プローブ３０の下側を先端ガイド部材２３
の穴に挿入し、ターミナル保持部材２１とプローブ保持
部材２２Ａ及び２１Ｂと先端ガイド部材２３とスペーサ
２６と２７を位置合せして、ねじ２８で結合して固定す
る。上記のように、ターミナル２９はターミナル保持部
材２１から上方には抜けないようになっており、プロー
ブ３０は先端ガイド部材２３より下に抜けないようにな
っているので、上記のように組み立てることにより、タ
ーミナル２９とプローブ３０は抜け落ちることがなくな
り、第１プランジャはターミナル２９に所定の接触圧で
接触する。また、第２プランジャは先端部４３が先端ガ
イド部材２３の先に突き出し、上方へ移動可能である。

【００１２】ここで、先端ガイド部材２３は、上記のよ
うに、プローブ３０が抜け落ちるのを防止しているが、
それと共に第２プランジャの先端部４３の先端ガイド部
材２３からの突き出し量を一定にしている。すなわち、
第２プランジャの軸心方向の先端位置を揃える役割を果
たしている。また、先端ガイド部材２３の穴は第２プラ
ンジャの径の大きな部分４２及び先端部４３の径に対し
て充分に大きく、第２プランジャがスムーズに移動でき
るようになっている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】近年、プリント基板や
液晶基板などの高密度化に伴って、電極の配列ピッチは
益々小さくなる傾向にあり、それに応じて、テストヘッ
ドのコンタクトピン（プランジャ）の先端の基板との接
触位置精度は一層厳しくなっている。しかし図３及び図
４に示す両面プローブでは、第２のプランジャは、例え
ば、直径が０．２ｍｍで長さが７ｍｍ程度のものであ
り、そこに図４に示すような段差を加工するとある程度
の曲がりを生じるのが避けられない。また、パイプ３１
も直径が０．２ｍｍで長さが１２ｍｍ程度のものであ
り、これにかしめなどの加工を行うとやはりある程度の
曲がりを生じるのが避けられない。もし、第２のプラン
ジャやパイプが曲がると第２プランジャの移動方向が偏
位して基板との接触位置がずれ、高い接触位置精度が得
られないという問題が生じる。

【００１４】ここで、先端ガイド部材２３の穴と第２プ
ランジャの径の公差を小さくして接触位置精度を向上す
ることが考えられるが、上記のようにプローブが曲がる
と摺動部分に力がかかり摺動させるのに大きな力が必要
になり、特に摺動部分のはめあい公差が小さくなるとス
ムーズな摺動が難しくなる。また、穴の公差を小さくし
た場合、接触位置精度には先端ガイド部材２３の穴に収
容される第２のプランジャの部分４２と先端部４３の長
さも関係するが、この部分を長くすると第２のプランジ
ャ全体が更に長くなり、加工が一層難しくなるという問
題が生じる。もちろんこれらの問題が生じないように加
工精度を上げることも可能ではあるが、その場合には製
造コストが大幅に増加するので現実的には問題がある。

【００１５】本発明は、このような要求に答えられる、
低コストで高い接触位置精度が得られる新しい構成のテ
ストヘッドを実現することを目的とする。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記目的を実現するた
め、本発明のテストヘッドは、被検査物の複数の電極に
接触するプランジャの先端に、摺動可能に保持されたソ
リッドピンを設け、プランジャがこのソリッドピンを付
勢しながら摺動するように構成する。すなわち、本発明
のテストヘッドは、被検査物の複数の電極に接触し、複
数の接続線との間の電気的接続を形成するテストヘッド
であって、複数の電極にそれぞれ接触する導電性の複数
のソリッドピンと、複数のソリッドピンをそれぞれ摺動
可能に保持する複数の穴を有する非導電性のソリッドピ
ン保持部材と、一方の側が各接続線に接続され、他方の
側に付勢された状態で移動可能に保持されたプランジャ
を有し、プランジャの先端が各ソリッドピンにそれぞれ
接触し、接続線とソリッドピンを電気的に接続する複数
のプローブと、複数のプローブを保持する複数の穴を有
する非導電性のプローブ保持部材とを備えることを特徴
とする。

【００１７】本発明のテストヘッドによれば、被検査物
の複数の電極に接触するのはソリッドピンであり、ソリ
ッドピンはプローブのプランジャにより付勢され、ソリ
ッドピン自体には付勢機構を設けないので摺動部のはめ
あい公差を小さくしてもスムーズに摺動することが可能
であり、はめあい公差が小さいのでソリッドピンの位置
や傾きの誤差は小さく、電極との接触位置精度を高くす
ることが可能である。

【００１８】また、本発明によれば、接触位置精度を決
定するソリッドピンは分離されているので、たとえ摺動
部分を長くしてもそれほど長くなることはなく、形状も
簡単であり、容易に高精度に加工できるので、製造コス
トも小さい。更に、プランジャは先端のガイド部材に収
容される部分が必要なくなるので短くでき、単にソリッ
ドピンを付勢するだけなのでそれほどの加工精度も要求
されないので、加工が容易で製造コストが小さくでき
る。従って、たとえソリッドピンを別部材にしても全体
としての製造コストは従来例に比べて小さく、接触位置
精度は大幅に向上する。

【００１９】ソリッドピンは、ソリッドピン保持部材に
対して、プローブの側には抜けるが、これと逆方向には
抜けないように保持されるようにする。そのためには、
例えば、ソリッドピン保持部材の穴は、プローブの側が
大きく、複数の電極と対抗する側が小さい穴とし、ソリ
ッドピンは、複数の電極に接触する側にソリッドピン保
持部材の小さな穴より小さい部分を有し、少なくとも大
きな穴より小さく且つ小さな穴より大きい部分を有する
ようにする。なお、ソリッドピンのプローブの側にソリ
ッドピン保持部材の小さな穴より小さい部分を設けて、
軸心に垂直な対称面を有するようにすれば、ソリッドピ
ンをソリッドピン保持部材の穴に入れる時にソリッドピ
ンの挿入方向がどちらでもよく、組み立てが容易にな
る。

【００２０】同様に、プローブは、プローブ保持部材に
対して、ソリッドコンタクトピンの側には抜けるが、こ
れと逆方向には抜けないように保持する。プローブは、
図２に示したようなターミナルと一体のものでもよい
が、図３に示すようなターミナルと両面プローブとで構
成してもよい。これであれば、プローブの交換が容易に
行える。

【００２１】

【発明の実施の形態】図５は、本発明の第１実施例のテ
ストヘッドの構成を示す図であり、図６は第１実施例の
テストヘッドで使用されるプローブの構造を示す図であ
る。図５に示すように、第１実施例のテストヘッドで
は、プローブ６０を保持する穴を有するプローブ保持部
材と、ソリッドピン７０を摺動可能に保持する穴を有す
るソリッドピン保持部材５２が組み合わされ、ねじ５４
で固定される。ここでは、プローブ保持部材は穴加工を
容易にするために、５枚の板材５１Ａ〜５１Ｅを積層し
て構成したが、一体でもよい。プローブ保持部材５１Ａ
〜５１Ｅとソリッドピン保持部材５２は、セラミックや
合成樹脂などの非導電性の材料で作られる。なお、図で
はプローブ６０とソリッドピン７０は１組のみ示してい
るが、実際には被測定物の電極数に応じて多数の組が配
置されている。また、反対側もねじで固定される。

【００２２】プローブ保持部材５１Ａ〜５１Ｅで構成さ
れる穴の上側の径は、図示のようにプローブ６０の径よ
り小さく（ワイヤ８の径よりは大きい）、下方には抜く
ことができるが、上方には抜けないようになっている。
また、ソリッドピン７０は上側部分７１の径が下側の部
分７３の径より大きく、ソリッドピン保持部材５２も上
側の部分５８の径はソリッドピン７０の上側部分７１の
径より若干大きく、下側の部分５９の径はソリッドピン
７０の下側部分７３の径より若干大きいがソリッドピン
７０の上側部分７１の径より小さいので、ソリッドピン
７０は上側には抜けるが、下側には抜けないようになっ
ている。

【００２３】図６に示すように、プローブ６０は、金属
製のパイプ６１の一方の端に導電性のワイヤ８を入れて
パイプ６１の部分６２をカシメるなどの方法で固定す
る。これにより金属製のパイプ６１とワイヤ８が電気的
に接続される。次に、パイプ６１の部分６３をカシメた
後、導電性の材料で作られたばね６４を入れ、更にプラ
ンジャを入れる。プランジャは、中間の部分６７の直径
が両側の部分６５，６８の径より小さくなっており、そ
の部分のパイプ６１の一部６６をカシメて、ばね６４が
プランジャを押しても抜けないように保持される。プラ
ンジャは、先端に何も接触していない状態ではばね６４
の力で下側に押し下げられている。なお、パイプ６１及
びプランジャは高精度の可能な加工性が良い硬い材料を
使用し、加工後その表面に導電性の高い金などをめっき
することが望ましい。更に、ばね６４も金などをめっき
することが望ましい。また、プローブ保持部材５１Ａ〜
５１Ｅは非導電性（絶縁性）で、被測定物の電極の配列
に対応して精密に穴が加工され、その穴にプローブ６０
が組み込まれる。

【００２４】ソリッドピン７０も高精度の加工が可能な
硬い材料を使用し、加工後その表面に導電性の高い金な
どをめっきすることが望ましい。ソリッドピン７０は、
ソリッドピン保持部材５２の穴に摺動可能に保持され、
組み立てた状態ではプローブ６０のプランジャの先端が
ソリッドピン７０の上側の端に接触し、下方へ付勢す
る。ソリッドピン７０の上側の端は、プランジャの先端
の形状に合せて（ここでは円錐状に）加工されており、
プランジャの先端がソリッドピン７０の中心を押すよう
にすると共に、電気的に良好な接触がえられるようにし
ている。上記のように、組み立てた状態ではプランジャ
の先端がソリッドピン７０の上側の端を押しており、ソ
リッドピン７０の先端を押し上げると、ソリッドピン７
０とプランジャが一緒に上方へ移動する。この時、ソリ
ッドピン７０の先端には、ばね６４による押圧が印加さ
れる。すなわち、ソリッドピン７０の先端は、プランジ
ャと同じように移動可能に保持され、所定の接触圧が印
加されることになる。

【００２５】ソリッドピン７０とソリッドピン保持部材
５２の穴はそれぞれ低コストで高精度に加工することが
可能であり、それらの間のはめあい公差が小さくてもス
ムーズに摺動可能である。このようにはめあい公差を小
さくでき、更にはめあい部の長さも比較的長いので、ソ
リッドピン７０の位置や傾きの誤差は小さく、電極との
接触位置精度を高くできる。

【００２６】プランジャは、直接電極に接触せず、ソリ
ッドピン７０の上側の端を押すだけで、しかもソリッド
ピン７０の上側の端はプランジャの先端に合せて加工さ
れているので、プランジャの先端の位置や傾きの誤差は
電極との接触位置精度にほとんど影響しない。従って、
プローブ６０は高精度である必要はなく、低コストで製
造できる。従って、実施例のテストヘッドは全体として
の製造コストが従来例に比べて小さく、接触位置精度は
大幅に向上する。

【００２７】図７は、第１実施例のテストヘッドの組み
立て方法を示す図である。図示のように、プローブ保持
部材５１Ａ〜５１Ｄとソリッドピン保持部材５２を穴が
水平になるように置き、プローブ６０とソリッドピン７
０をそれぞれ穴に挿入する。この挿入は、それぞれ向き
合った側から行う。そして更にプローブ保持部材５１Ｅ
を挟んだ後、穴５５にねじ５４を通してねじ穴５７にね
じ込んで固定する。故障したプローブ６０又はソリッド
ピン７０を交換する場合には、ねじ５４を外して分解
し、故障したものを新しいものに交換し、再び組み立て
る。なお、本実施例では、プローブ保持部材５１Ｅを取
り外すとプローブ６０又はソリッドピン７０の先端が保
持部材から出ているので、交換の場合に故障したものを
抜き取るのが容易である。

【００２８】図８は、本発明の第２実施例のテストヘッ
ドの構成を示す図である。第２実施例では、ソリッドピ
ンとソリッドピン保持部材の部分は第１実施例と同じで
あるが、プローブの代わりに図３及び図４に示したター
ミナルと両面プランジャで構成し、保持部材も図３と同
様の構成とした点が異なる。ソリッドピン保持部材は第
１及び第２のソリッドピン保持部材８３Ａ及び８３Ｂの
２つの部分で構成され、第２のソリッドピン保持部材８
３Ｂが図５のソリッドピン保持部材５２と類似した構造
を有し、第１のソリッドピン保持部材８３Ａは図５のプ
ローブ保持部材５１Ｅと類似した構造を有している。

【００２９】第２実施例のテストヘッドは、第１実施例
と同様に接触位置精度を向上でき、更に第１実施例に比
べて故障しやすい両面プランジャの交換が容易になる。
以上第１及び第２実施例のテストヘッドを説明したが、
各種の変形例が可能である。例えば、図９の（Ａ）に示
すように、ソリッドピンを左右対称の形状とすることに
より、ソリッドピンのソリッドピン保持部材への挿入時
にソリッドピンの方向を考慮する必要がなくなり、組み
立てが容易になる。なお、この場合プローブのプランジ
ャの先端は、ソリッドピンの先端に合せて円錐状のくぼ
みにする。

【００３０】また、プローブを交換する時にソリッドピ
ンがソリッドピン保持部材から抜け落ちるのを防止する
ため、図９の（Ｂ）に示すように、図９の（Ａ）に示す
ようなソリッドピン２００をすべてソリッドピン保持部
材２２１に挿入した後、ソリッドピンの小さな径よりは
大きく、大きな径よりは小さい穴を有する板２２２を取
り付けることにより、ソリッドピン２００がソリッドピ
ン保持部材２２１から抜け落ちることがなくなり、プロ
ーブの交換が容易になる。なお、ソリッドピンを交換す
る時には板２２２を取り外す必要があり面倒であるが、
ソリッドピンの交換頻度はプローブの交換頻度に比べて
小さく、問題にならない。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高い接触位置精度が得られるテストヘッドが低コストで
実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明のテストヘッドが使用される例
である検査装置の全体構成を示す図である。

【図２】図２は、プランジャを有するプローブの構造を
説明する図である。

【図３】図３は、両面プローブを使用した従来のテスト
へドの構成を示す図である。

【図４】図４は、両面プローブの構造を示す図である。

【図５】図５は、本発明の第１実施例のテストヘッドの
構成を示す図である。

【図６】図６は、第１実施例で使用するプローブの構造
を示す図である。

【図７】図７は、第１実施例のテストヘッドの組み立て
方法を示す図である。

【図８】図８は、本発明の第２実施例のテストヘッドの
構成を示す図である。

【図９】図９は、本発明の変形例を説明する図である。

【符号の説明】

１…テスタ ８…ワイヤ ９…テストヘッド ５１Ａ〜５１Ｅ…プローブ保持部材 ５２…ソリッドピン保持部材 ６０…プローブ ７０…ソリッドピン １００…被検査物

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G003 AG03 AG12 AG20 AH05 2G011 AA01 AB01 AB03 AB07 AC06 AC14 AE01 2G014 AA01 AB21 AB59 AC10 2G132 AD15 AF04 AL03 AL11

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物の複数の電極に接触し、複数の
   接続線との間の電気的接続を形成するテストヘッドであ
   って、 前記複数の電極にそれぞれ接触する導電性の複数のソリ
   ッドピンと、 前記複数のソリッドピンをそれぞれ摺動可能に保持する
   複数の穴を有する非導電性のソリッドピン保持部材と、 一方の側が各接続線に接続され、他方の側に付勢された
   状態で移動可能に保持されたプランジャを有し、前記プ
   ランジャの先端が各ソリッドピンにそれぞれ接触し、前
   記接続線と前記ソリッドピンを電気的に接続する複数の
   プローブと、 前記複数のプローブを保持する複数の穴を有する非導電
   性のプローブ保持部材とを備えることを特徴とするテス
   トヘッド。
2. 【請求項２】 前記ソリッドピンは、前記ソリッドピン
   保持部材に対して、前記プローブの側には抜けるが、こ
   れと逆方向には抜けないように保持されている請求項１
   に記載のテストヘッド。
3. 【請求項３】 前記ソリッドピン保持部材の前記穴は、
   前記プローブの側が大きく、前記複数の電極と対抗する
   側が小さい穴であり、 前記ソリッドピンは、前記複数の電極に接触する側に前
   記ソリッドピン保持部材の前記小さな穴より小さい部分
   を有し、少なくとも前記大きな穴より小さく且つ前記小
   さな穴より大きい部分を有する請求項２に記載のテスト
   ヘッド。
4. 【請求項４】 前記ソリッドピンは、前記プローブの側
   に前記ソリッドピン保持部材の前記小さな穴より小さい
   部分を有し、軸心に垂直な対称面を有する請求項３に記
   載のテストヘッド。
5. 【請求項５】 前記プローブは、前記プローブ保持部材
   に対して、前記ソリッドピンの側には抜けるが、これと
   逆方向には抜けないように保持されている請求項１又は
   ２に記載のテストヘッド。
6. 【請求項６】 前記プローブは、 各接続線に接続されるターミナルと、 一方の側に、先端が付勢された状態で移動可能に保持さ
   れ、前記ターミナルに接触する第１のプランジャを有
   し、他方の側に先端が付勢された状態で移動可能に保持
   され、前記ソリッドピンに接触する第２のプランジャを
   有する両面プローブとを備え、 前記プローブ保持部材は、 複数の前記ターミナルを、前記両面プローブの側には抜
   けるが、これと逆方向には抜けないように保持するター
   ミナル保持部材と、 複数の前記両面プローブを保持する両面プローブ保持部
   材とを備える請求項１又は２に記載のテストヘッド。