JP2002286764A - 電流センサ、ダブル電流センサ及び電流検知装置 - Google Patents

電流センサ、ダブル電流センサ及び電流検知装置

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JP2002286764A
JP2002286764A JP2001083989A JP2001083989A JP2002286764A JP 2002286764 A JP2002286764 A JP 2002286764A JP 2001083989 A JP2001083989 A JP 2001083989A JP 2001083989 A JP2001083989 A JP 2001083989A JP 2002286764 A JP2002286764 A JP 2002286764A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 微弱な直流電流の検知を高感度、高精度に行
え、小型で生産性の良い電流センサを提供する。 【解決手段】 検知対象の直流電流が流れる信号線30
が中央部を略垂直に貫通する平面基板10の片面に、M
I(磁気インピーダンス)素子12がその磁界検知方向
が基板10の表面に沿うように実装され、これを包囲す
るように交流バイアス磁界印加用のコイルが実装され
る。更にギャップ部26aを有する略C字形の平板状の
磁性体コア26が信号線30を囲み、ギャップ部26a
に素子12が入るように実装される。駆動時は、素子1
2に高周波電流、コイルに低周波の交流バイアス電流が
流され、信号線30の電流からコア26を介して素子1
2に掛かる磁界とコイルからの交流バイアス磁界に応じ
て、素子10に流れる高周波電流の振幅が変化し、信号
線30の直流電流を検知できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、信号線に流れる微
弱な直流電流を検知する電流センサ、特に磁気インピー
ダンス素子を用いた高感度な電流センサ、この電流セン
サ2つから構成されるダブル電流センサ、及びこれらを
用いて電流検知を行う電流検知装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、信号線に流れる電流を検知する電
流センサとしては、カレントトランスやホール素子が使
用されてきたが、省エネルギー要求の高まりで電流セン
サの市場が拡大し、性能的にはより木目細かい電流監視
に対応して、感度の高いものが要求されてきている。し
かし、従来の電流センサでは、感度の限界が見えつつあ
り、新しい電流センサの登場が期待されている。
【0003】その要求に対して、磁気検出素子として、
磁性体に高周波電流を流すとそのインピーダンスが外部
磁界により変化する磁気インピーダンス効果を利用した
磁気インピーダンス素子(以下、MI素子と略す)を用
いる考えがある。
【0004】特に、本出願人がすでに提案している特開
平8-330644号や特開平9-127218号等に記載されている図
11のMI素子112のように、非磁性基板114上
に、細長いつづら折り状パターンの磁性薄膜116を形
成して構成されるMI素子は、チップ抵抗のような小型
サイズでMR素子より2桁高い感度が得られる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】電流検知で検知対象の
信号線の電流がmAオーダーとなると、信号線の電流か
らの磁界を直接検知することは極めて微弱な磁界である
ことから不可能である。
【0006】このため、従来のホール素子を使った電流
センサでは、信号線を囲むギャップ部を有する磁性体コ
アのギャップ部内にホール素子を配置することで感度を
得ている。しかし、その構成でも数mA以下の電流検知
は極めて困難で、DCの電流検知でもドリフト等により
絶対精度が不十分である。
【0007】そこで、MI素子を使えば感度が上がり、
さらに直流磁界の検知に優れた本出願人が既に提案した
特開平9-127218号の技術を利用すれば、微弱な直流電流
の検知を高精度で行える電流センサが可能と考えられ
る。
【0008】そこで本発明の課題は、上記の技術を利用
して、微弱な直流電流の検知を高感度、高精度に行え、
しかも小型で生産性の良い電流センサ、ダブル電流セン
サ、及びこれらを用いた電流検知装置を提供することに
ある。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明によれば、検知対象の直流電流が流される信
号線が中央部を略垂直に貫通する平面基板と、磁界検知
方向が前記平面基板の表面に沿うようにして前記基板の
片面に実装された磁気インピーダンス素子と、この磁気
インピーダンス素子を包囲するように前記平面基板に実
装された交流バイアス磁界印加用のコイルと、1箇所に
ギャップ部を有する略C字形の平板状に形成され、前記
信号線を囲み、かつ前記ギャップ部に前記磁気インピー
ダンス素子が入るように前記平面基板の片面に実装され
た磁性体コアを有し、前記磁気インピーダンス素子に高
周波電流、前記コイルに低周波の交流バイアス電流を流
して駆動され、前記信号線の電流から前記磁性体コアを
介して前記磁気インピーダンス素子に掛かる磁界と前記
コイルからの交流バイアス磁界に応じて、磁気インピー
ダンス素子に流れる高周波電流の振幅が変化して、前記
信号線の直流電流を検知できるようにした電流センサの
構成を採用した。
【0010】また、この電流センサと、この電流センサ
の前記磁気インピーダンス素子に流す高周波電流を発振
する第1の発振回路と、前記電流センサのコイルに流す
矩形波の交流バイアス電流を発振する第2の発振回路
と、前記磁気インピーダンス素子の両端からこの素子に
流れる高周波電流の振幅の変化を取り出す検波回路と、
この検波回路の出力信号において前記矩形波の交流バイ
アス電流の電圧のハイレベルとローレベルに応じた信号
成分のそれぞれをサンプルホールドする2つのサンプル
ホールド回路と、この2つのサンプルホールド回路の出
力を差動増幅して電流検知信号を出力する差動増幅回路
を有する電流検知装置の構成を採用した。
【0011】また、前記電流センサ2つのそれぞれの前
記平面基板の磁気インピーダンス素子及び磁性体コアの
実装面と反対側の面どうしを接合して構成され、前記2
つの電流センサを駆動して2つの電流センサから得られ
る2つの出力信号を差動増幅して電流検知信号が得られ
るようにしたダブル電流センサの構成を採用した。
【0012】さらに、このダブル電流センサと、このダ
ブル電流センサの前記2つの電流センサのそれぞれの磁
気インピーダンス素子に流す高周波電流を発振する第1
の発振回路と、前記2つの電流センサのそれぞれのコイ
ルに流す矩形波の交流バイアス電流を発振する第2の発
振回路と、前記2つの電流センサのそれぞれの磁気イン
ピーダンス素子の両端からこの素子に流れる高周波電流
の振幅の変化を取り出す2つの検波回路と、前記2つの
検波回路のそれぞれの出力側に2つずつ接続され、それ
ぞれ2つの検波回路の出力信号において前記矩形波の交
流バイアス電流の電圧のハイレベルとローレベルに応じ
た信号成分のそれぞれをサンプルホールドする2つずつ
2組のサンプルホールド回路と、この2組のサンプルホ
ールド回路のそれぞれの2つのサンプルホールド回路の
出力を差動増幅する2つの第1の差動増幅回路と、この
2つの第1の差動増幅回路の出力を差動増幅して電流検
知信号を出力する第2の差動増幅回路を有する電流検知
装置の構成を採用した。
【0013】さらに、上記のダブル電流センサと、この
ダブル電流センサの前記2つの電流センサのそれぞれの
磁気インピーダンス素子に流す高周波電流を発振する第
1の発振回路と、前記2つの電流センサのそれぞれのコ
イルに流す矩形波の交流バイアス電流を発振する第2の
発振回路と、前記2つの電流センサのそれぞれの磁気イ
ンピーダンス素子の両端からこの素子に流れる高周波電
流の振幅の変化を取り出す2つの検波回路と、この2つ
の検波回路の出力信号を差動増幅する第1の差動増幅回
路と、この第1の差動増幅回路の出力信号において前記
矩形波の交流バイアス電流の電圧のハイレベルとローレ
ベルに応じた信号成分のそれぞれをサンプルホールドす
る2つのサンプルホールド回路と、この2つのサンプル
ホールド回路の出力を差動増幅して電流検知信号を出力
する第2の差動増幅回路を有する電流検知装置の構成を
採用した。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図を参照して本発明の実施
の形態を説明する。
【0015】[第1の実施形態]本発明の第1の実施形
態を図1〜5により説明する。まず図1〜3により、本
実施形態の電流センサの構成を説明する。図1は電流セ
ンサ全体の外観を示す斜視図、図2は図1中のコイル1
8とその支持部材28を取り払った状態の電流センサの
上面図、図3は電流センサのMI素子周辺の拡大斜視図
である。
【0016】これらの図において、10は表面が平面の
平板状の平面基板であり、略長方形に形成され、その中
央に孔10aが形成され、その孔10aの中央を検知対
象の直流電流が流される信号線30が垂直に貫通するよ
うに配置される。
【0017】この平面基板10の図中で上面に磁気検出
素子としてのMI素子12が実装されている。このMI
素子12は、先述のように、磁性体に直接高周波電流を
流すと外部磁界により磁性体のインピーダンス変化が生
ずる磁気インピーダンス効果を利用した素子である。
【0018】MI素子12は、図3に示すようにガラス
等の非磁性基板14上に、直線が複数回平行に折り返す
つづら折り状パターンの磁性薄膜16を形成して構成さ
れたもので、磁性薄膜16の両端16a,16bは、平
面基板10に引き回されている銅パターン(配線パター
ン)20に半田付けやワイヤボンディング等で接続され
ている。図3では半田22により半田付けされた例を示
している。
【0019】MI素子12の磁界検知方向は、矢印で示
すように磁性薄膜16のつづら折り状パターンの長手方
向になり、平面基板10の表面に沿った方向に選択され
ている。
【0020】平面基板10のMI素子12を実装した部
分の両脇には、切り欠き溝24a,24bが平面基板1
0の縁から延びて形成されている。そして、コイル18
が切り欠き溝24a,24bに挿入されて、MI素子1
2を包囲するように平面基板10に実装されている。そ
の実装の作業性を考えると、コイル18はボビンのよう
な支持部材28に固定されているほうが好ましい。この
コイル18は、MI素子12に対して低周波の交流バイ
アス磁界を掛ける為のもので、数Oeのバイアス磁界を
掛けるように後述のように矩形波の交流バイアス電流が
流される。
【0021】この電流センサの組み立てでは、まずMI
素子12を平面基板10の上面に実装し、次に、コイル
18を平面基板10の縁から切り欠き溝24a,24b
に挿入して実装し、その後、磁性体コア26を平面基板
10の上面に組み付ける。
【0022】磁性体コア26は、パーマロイやアモルフ
ァス等の高透磁率磁性材からなり、1箇所にギャップ部
26aを有する略C字形の平板状に形成される。そし
て、平面基板10の孔10aを囲み(すなわち信号線3
0を囲み)、かつギャップ部26aにMI素子12が入
るようにして、平面基板10の上面に実装される。ここ
で、磁性体コア26のギャップ部26aを挟んで対抗す
る両端がMI素子12の磁界検知方向の両端に近接して
いることにより、信号線30に流れる電流からの磁界が
磁性体コア26を介してMI素子12に対してその磁界
検知方向に掛かるように構成されている。そして、ギャ
ップ部26aの磁界効率を考えて、ギャップ部26a内
にMI素子12、特に磁性薄膜16が入るように構成さ
れている。
【0023】次に、上記の電流センサを用いた電流検知
装置の回路構成とその動作を図4の回路図により説明す
る。
【0024】図4において、素子駆動発振回路40は、
MI素子12に流すMHz帯の高周波電流を発振する発
振回路であり、バッファ42を介してMI素子12(詳
しく云うと、その磁性薄膜16)に接続される。
【0025】また、コイルバイアス発振回路44は、コ
イル18に流す矩形波でkHz帯の低周波の交流バイア
ス電流を発振する発振回路であり、バッファ46を介し
てコイル18に接続される。
【0026】また、MI素子12の両端には検波回路4
8が接続され、その出力側にはサンプルホールド回路5
0,52が接続され、さらにその出力側には差動増幅回
路54が接続されている。
【0027】電流センサの駆動時には、素子駆動回路4
0から上記の高周波電流がMI素子12に流されるとと
もに、コイルバイアス発振回路44から上記の矩形波の
交流バイアス電流がコイル18に流される。
【0028】そして、図1及び図2中の信号線30に流
れる直流電流から磁性体コア26を介してMI素子12
に磁界が掛かり、この磁界とコイル18からの交流バイ
アス磁界に応じて、MI素子12のインピーダンスが変
化し、これに流れる高周波電流の振幅が変化する。この
振幅の変化の成分が検波回路48の検波により信号とし
て取り出される。
【0029】検波回路48の出力信号はサンプルホール
ド回路50,52に入力される。サンプルホールド回路
50は、コイルバイアス発振回路44から直接印加され
る矩形波の交流バイアス電流の電圧のハイレベルのタイ
ミングで検波回路48の出力信号をサンプルホールド
し、サンプルホールド回路52は、コイルバイアス発振
回路44からインバータ49を介して反転して印加され
る矩形波の交流バイアス電流の電圧のローレベルのタイ
ミングで検波回路48の出力信号をサンプルホールドす
る。すなわち、サンプルホールド回路50,52は、検
波回路48の出力信号において上記矩形波の交流バイア
ス電流の電圧のハイレベルとローレベルに応じた信号成
分のそれぞれをサンプルホールドする。
【0030】さらにサンプルホールド回路50,52の
出力信号が差動増幅回路54で差動増幅され、その差動
増幅回路54の出力信号が信号線30に流れる直流電流
に対応した電流検知信号として出力される。
【0031】ここで、コイル18によりMI素子12に
交流バイアス磁界をかけるのは、既に出願人が提案して
いる特開平9-127218号における交流バイアスの
考え方を応用したものであり、図5に示すように、MI
素子のV字特性に対して、交流バイアス磁界を印加し、
プラス側の磁界Hb+及びマイナス側の磁界Hb−に対
するセンサ出力(検波後出力)を取り出して比較するこ
とで、磁性体コア26のギャップ部26aに発生する磁
界を定量的に扱うことができる。この交流バイアスを用
いる手法は、ゼロ点つまり電流ゼロの出力値が安定する
ことに、絶大なる効果がある。
【0032】以上のような本実施形態によれば、電流セ
ンサは、磁気検出素子として高感度のMI素子を用いる
とともに磁性体コア26を用いて感度を高めることがで
きる。また、電流センサは全体として薄くコンパクトに
構成でき、生産性も良い。また、電流検知装置では、前
記の高感度の電流センサを用いるとともに、上記の交流
バイアスを用いる手法で直流電流の検知を高感度かつ高
精度に行うことができる。
【0033】[第2の実施形態]次に、さらに検知精度
を上げた本発明の第2の実施形態を図6〜図10により
説明する。上述した第1の実施形態でも、電流センサの
周囲の外部ノイズ、具体的にはトランスやメカ部品から
発生する磁界の影響を回避するためには、シールド部材
で囲むことで、ある程度は対処できるが、さらに外乱に
強く安定性を高くしたダブル電流センサとそれを用いた
電流検知装置について説明する。
【0034】まず、本実施形態のダブル電流センサの構
成を図6〜図8により説明する。
【0035】図6〜図8に示すダブル電流センサは、第
1の実施形態の電流センサ2つで構成され、この2つの
電流センサのそれぞれの平面基板10のMI素子12及
び磁性体コア26の実装面と反対側の面どうしを接合し
て構成されている。なお、一方の電流センサの各構成部
材の参照符号にはダッシュを付してある。
【0036】ここで、単純に2つの電流センサの平面基
板10,10′どうしを貼り合わせるのではなく、外乱
の磁界などを考慮して2つ電流センサのMI素子12,
12′と磁性体コア26,26′の相対位置を考慮し、
図6〜図8のようにする必要がある。それについて図8
で説明する。
【0037】図8に示すように、信号線30に直流電流
を図の紙面の表から裏に向かう方向に流すと、表裏の磁
性体コア26,26′内に右回りの磁束Φが発生する。
すると、表側の磁性体コア26のギャップ部26aには
磁界Hg、裏側の磁性体コア26′のギャップ部26
a′には磁界Hg′が発生する。
【0038】ここで、MI素子12,12′は互いに所
定間隔を隔てて平行であって、それぞれの磁界検知方向
が磁界Hg,Hg′に沿った同一方向(図中で上下方
向)であり、このMI素子12,12′に対してコイル
18,18′から同相の交流バイアス磁界Hbを掛ける
ものとする。そして、MI素子12に掛かる磁界Hgと
MI素子12′に掛かる磁界Hg′が逆方向になるよう
なMI素子12,12′と磁性体コア26,26′の配
置となっている。これにより、表裏のMI素子12,1
2′に対して外乱磁界は同相、信号線30の電流による
磁界は逆相となるため、2つの電流センサの出力の差動
増幅により外乱磁界をキャンセルしてS/Nの良い検知
が可能となる。
【0039】次に、上記のダブル電流センサを用いた電
流検知装置の回路構成について説明する。
【0040】その回路構成としては、先述した第1の実
施形態の図4で示した素子駆動発振回路40、バッファ
42、コイルバイアス発振回路44、バッファ46、検
波回路48、インバータ49、サンプルホールド回路5
0,52及び差動増幅回路54からなる回路構成を表裏
の電流センサのMI素子12,コイル18とMI素子1
2′,コイル18′のそれぞれに同様に接続して2組設
け、さらに差動増幅回路を設けて、最後に前記2組の回
路構成の出力を差動増幅して電流検知信号を出力する構
成とすればよい。前記2組の回路構成のそれぞれの動作
は第1の実施形態の回路構成と共通なので、その説明は
省略する。
【0041】ただし、注意事項として、コイル18,1
8′のそれぞれに流れる交流バイアス電流が同相になる
ように、コイル18,18′のそれぞれに流す交流バイ
アス電流を発振するコイルバイアス発振回路を同期させ
るか、共通にする必要がある。
【0042】なお、上記2組の回路構成の内で素子駆動
発振回路40とコイルバイアス発振回路44は共通にす
ること、すなわちそれぞれ1つとして、1つの素子駆動
発振回路40からMI素子12,12′に高周波電流を
流し、1つのコイルバイアス発振回路44からコイル1
8,18′に交流バイアス電流を流すこともできる。
【0043】さらに、図9に示すように、素子駆動発振
回路40とコイルバイアス発振回路44を共通にした上
に、MI素子12,12′に流れる高周波電流の外部磁
界に応じた振幅の変化を取り出す検波回路48,48′
の出力信号を差動増幅する差動増幅回路53を挿入する
ことにより、サンプルホールド回路50,52と差動増
幅回路54も共通の1組にすることができる。なお、図
9の構成では、コイル18,18′はコイルバイアス発
振回路44に直列に接続されているので、コイル18,
18′に流れる交流バイアス電流は同相となる。
【0044】この図9の回路構成の動作を説明してお
く。ダブル電流センサの駆動時には、素子駆動回路40
から高周波電流がMI素子12,12′に流されるとと
もに、コイルバイアス発振回路44から矩形波の交流バ
イアス電流がコイル18,18′に流される。
【0045】そして、信号線30に流れる直流電流から
磁性体コア26,26′を介してMI素子12,12′
に磁界が掛かり、この磁界とコイル18,18′からの
交流バイアス磁界に応じて、MI素子12,12′のイ
ンピーダンスが変化し、これに流れる高周波電流の振幅
が変化する。この振幅の変化のそれぞれの成分が検波回
路48,48′の検波により2つの信号として取り出さ
れ、さらに差動増幅回路53で差動増幅される。
【0046】差動増幅回路53の出力信号はサンプルホ
ールド回路50,52に入力され、サンプルホールド回
路50,52は、差動増幅回路53の出力信号において
上記矩形波の交流バイアス電流の電圧のハイレベルとロ
ーレベルに応じた信号成分のそれぞれをサンプルホール
ドする。
【0047】さらにサンプルホールド回路50,52の
出力信号が差動増幅回路54で差動増幅され、その差動
増幅回路54の出力信号が信号線30に流れる直流電流
に対応した電流検知信号として出力される。
【0048】以上説明した本実施形態のダブル電流セン
サと電流検知装置によれば、前述した理由により第1の
実施形態よりS/Nがよく、高感度、高精度に電流検知
を行うことができる。
【0049】実際に、図6〜図8のダブル電流センサの
構成と、図9の電流検知装置の回路構成で電流を計測し
た結果を図10に示してある。なお、その構成で、具体
的には、MI素子12,12′は、非磁性基板14とし
て直方体のガラス基板に、磁界検知方向の長さが1.5m
mのつづら折り状パターンの磁性薄膜16を形成したも
のを使用し、磁性体コア26,26′には厚さ0.2m
mのパーマロイコアで、ギャップ部26a,26a′の
ギャップ間隔が2mm、平均磁路半径4mmの略C字形
の平板状のコアを用いた。
【0050】その計測の結果、図10に示すように、電
流検知装置の測定電流に対する出力電圧の直線性は極め
て良好で、電流検知の分解能は1mA以下が得られ、ゼ
ロ点も安定した検知が確認できた。
【0051】ちなみに、ダブル電流センサの片側の電流
センサのみ動作させると、第1の実施形態の動作と同じ
になるが、そうした場合の計測の結果、直線性は確保さ
れたが、分解能は2〜3mAとやや悪くなった。しか
し、十分実用レベルである。
【0052】なお、ダブル電流センサは、その用途によ
り要求される条件に応じて、表裏の2つの電流センサの
構成で使用するか、片側の1つの電流センサのみの構成
で使用するか使い分ければよい。いずれにしても従来よ
りも高感度、高精度に直流電流の検知を行うことができ
る。
【0053】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高感度な磁気インピーダンス素子を用い、さらに略C字
形の平板状の磁性体コアを介して検知対象の信号線の直
流電流からの磁界を磁気インピーダンス素子に掛ける構
成により、微弱な直流電流の検知を高感度、高精度に行
え、しかも薄くコンパクトで生産性の良い電流センサを
提供することができ、さらにこの電流センサ2つ接合し
て構成され、より外乱に強く直流電流の検知をより高精
度に行えるダブル電流センサを提供することができる。
さらに、前記の電流センサないしダブル電流センサを用
いて、微弱な直流電流の検知を高感度、高精度に行える
優れた電流検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態による電流センサの構
成を示す斜視図である。
【図2】同電流センサのコイル18とその支持部材28
を取り払った状態の上面図である。
【図3】同電流センサのMI素子周辺の拡大斜視図であ
る。
【図4】同電流センサを用いた電流検知装置の回路構成
を示すブロック回路図である。
【図5】同電流センサのMI素子の出力特性と、それに
交流バイアス磁界を掛けることによる作用を説明する線
図である。
【図6】本発明の第2の実施形態によるダブル電流セン
サの構成を示す上面図である。
【図7】同ダブル電流センサの側面図である。
【図8】同ダブル電流センサにおいてそれぞれ2つのM
I素子と磁性体コアの配置とMI素子にかかる電流から
の磁界、バイアス磁界の関係などを示す説明図である。
【図9】同ダブル電流センサを用いた電流検知装置の回
路構成の一例を示すブロック回路図である。
【図10】図9の構成の電流検知装置で実際に電流を測
定した結果の電流対出力特性を示す線図である。
【図11】MI素子の斜視図である。
【符号の説明】
10,10′ 平面基板 12,12′ MI素子(磁気インピーダンス素子) 14 非磁性基板 16 磁性薄膜 18,18′ コイル 20 銅パターン 22 半田 24a,24b 切り欠き溝 26,26′ 磁性体コア 26a,26a′ ギャップ部 28 コイルの支持部材 30 検知対象の直流電流が流される信号線 40 素子駆動発振回路 44 コイルバイアス発振回路 48,48′検波回路 50,52 サンプルホールド回路 53,54 差動増幅回路

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検知対象の直流電流が流される信号線が
    中央部を略垂直に貫通する平面基板と、 磁界検知方向が前記平面基板の表面に沿うようにして前
    記基板の片面に実装された磁気インピーダンス素子と、 この磁気インピーダンス素子を包囲するように前記平面
    基板に実装された交流バイアス磁界印加用のコイルと、 1箇所にギャップ部を有する略C字形の平板状に形成さ
    れ、前記信号線を囲み、かつ前記ギャップ部に前記磁気
    インピーダンス素子が入るように前記平面基板の片面に
    実装された磁性体コアを有し、 前記磁気インピーダンス素子に高周波電流、前記コイル
    に低周波の交流バイアス電流を流して駆動され、前記信
    号線の電流から前記磁性体コアを介して前記磁気インピ
    ーダンス素子に掛かる磁界と前記コイルからの交流バイ
    アス磁界に応じて、磁気インピーダンス素子に流れる高
    周波電流の振幅が変化して、前記信号線の直流電流を検
    知できるようにしたことを特徴とする電流センサ。
  2. 【請求項2】 前記磁性体コアのギャップ部を挟んで対
    向する両端が前記磁気インピーダンス素子の磁界検知方
    向の両端に近接することを特徴とする請求項1に記載の
    電流センサ。
  3. 【請求項3】 前記平面基板の磁気インピーダンス素子
    実装部の両脇に切り欠き溝が前記平面基板の縁から延び
    て形成されており、前記コイルは、前記切り欠き溝に挿
    入されて、磁気インピーダンス素子を包囲するように前
    記平面基板に実装されたことを特徴とする請求項1また
    は2に記載の電流センサ。
  4. 【請求項4】 請求項1から3までのいずれか1項に記
    載の電流センサと、 この電流センサの前記磁気インピーダンス素子に流す高
    周波電流を発振する第1の発振回路と、 前記電流センサのコイルに流す矩形波の交流バイアス電
    流を発振する第2の発振回路と、 前記磁気インピーダンス素子の両端からこの素子に流れ
    る高周波電流の振幅の変化を取り出す検波回路と、 この検波回路の出力信号において前記矩形波の交流バイ
    アス電流の電圧のハイレベルとローレベルに応じた信号
    成分のそれぞれをサンプルホールドする2つのサンプル
    ホールド回路と、 この2つのサンプルホールド回路の出力を差動増幅して
    電流検知信号を出力する差動増幅回路を有することを特
    徴とする電流検知装置。
  5. 【請求項5】 請求項1から3までのいずれか1項に記
    載の電流センサ2つのそれぞれの前記平面基板の磁気イ
    ンピーダンス素子及び磁性体コアの実装面と反対側の面
    どうしを接合して構成され、前記2つの電流センサを駆
    動して2つの電流センサから得られる2つの出力信号を
    差動増幅して電流検知信号が得られるようにしたことを
    特徴とするダブル電流センサ。
  6. 【請求項6】 前記2つの電流センサのそれぞれの前記
    磁気インピーダンス素子の磁界検知方向が同一方向であ
    って、前記2つの電流センサのそれぞれのコイルからそ
    れぞれの磁気インピーダンス素子に対して同相の交流バ
    イアス磁界を掛けるようにしたことを特徴とする請求項
    5に記載のダブル電流センサ。
  7. 【請求項7】 前記2つの電流センサのそれぞれに対し
    て前記信号線の電流による磁界が逆方向に掛かるよう
    に、2つの電流センサのそれぞれの前記磁性体コアを構
    成したことを特徴とする請求項5または6に記載のダブ
    ル電流センサ。
  8. 【請求項8】 請求項5から7までのいずれか1項に記
    載のダブル電流センサと、 このダブル電流センサの前記2つの電流センサのそれぞ
    れの磁気インピーダンス素子に流す高周波電流を発振す
    る第1の発振回路と、 前記2つの電流センサのそれぞれのコイルに流す矩形波
    の交流バイアス電流を発振する第2の発振回路と、 前記2つの電流センサのそれぞれの磁気インピーダンス
    素子の両端からこの素子に流れる高周波電流の振幅の変
    化を取り出す2つの検波回路と、 前記2つの検波回路のそれぞれの出力側に2つずつ接続
    され、それぞれ2つの検波回路の出力信号において前記
    矩形波の交流バイアス電流の電圧のハイレベルとローレ
    ベルに応じた信号成分のそれぞれをサンプルホールドす
    る2つずつ2組のサンプルホールド回路と、 この2組のサンプルホールド回路のそれぞれの2つのサ
    ンプルホールド回路の出力を差動増幅する2つの第1の
    差動増幅回路と、 この2つの第1の差動増幅回路の出力を差動増幅して電
    流検知信号を出力する第2の差動増幅回路を有すること
    を特徴とする電流検知装置。
  9. 【請求項9】 請求項5から7までのいずれか1項に記
    載のダブル電流センサと、 このダブル電流センサの前記2つの電流センサのそれぞ
    れの磁気インピーダンス素子に流す高周波電流を発振す
    る第1の発振回路と、 前記2つの電流センサのそれぞれのコイルに流す矩形波
    の交流バイアス電流を発振する第2の発振回路と、 前記2つの電流センサのそれぞれの磁気インピーダンス
    素子の両端からこの素子に流れる高周波電流の振幅の変
    化を取り出す2つの検波回路と、 この2つの検波回路の出力信号を差動増幅する第1の差
    動増幅回路と、 この第1の差動増幅回路の出力信号において前記矩形波
    の交流バイアス電流の電圧のハイレベルとローレベルに
    応じた信号成分のそれぞれをサンプルホールドする2つ
    のサンプルホールド回路と、 この2つのサンプルホールド回路の出力を差動増幅して
    電流検知信号を出力する第2の差動増幅回路を有するこ
    とを特徴とする電流検知装置。
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