JP2002260534A

JP2002260534A - 回転陽極型ｘ線管の製造方法および製造装置

Info

Publication number: JP2002260534A
Application number: JP2001054703A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Sugiura; 弘行杉浦
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2001-02-28
Filing date: 2001-02-28
Publication date: 2002-09-13

Abstract

(57)【要約】【課題】回転部分の回転バランスを大気中で容易にか
つ高精度に測定でき、あるいは、回転バランスの調整を
そのまま大気中で行うことができる回転陽極型Ｘ線管の
製造方法および製造装置を提供すること。【解決手段】空気が吹き出す吐出開口Ｗ２およびこの
吐出開口Ｗ２から吹き出した空気が流れ込む吸入開口Ｗ
１を有し、回転陽極型Ｘ線管を構成する回転体２６を嵌
合する固定支持治具１４と、吐出開口Ｗ２から吹き出す
空気を送り出すコンプレッサ２０と、回転体２６を回転
させるステータ１５とから構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、陽極ターゲット
が固定された回転体の回転バランスを測定し、あるい
は、必要に応じてその回転バランスを修正する回転陽極
型Ｘ線管の製造方法および製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】回転陽極型Ｘ線管は、陽極ターゲットを
回転可能に支持する回転機構および陽極ターゲットに電
子ビームを照射する陰極構体、前記陽極ターゲットや回
転機構、陰極構体を収納する真空外囲器などから構成さ
れている。そして、高速で回転する陽極ターゲットに対
して電子ビームを照射し、陽極ターゲットからＸ線を放
出させる構成になっている。陽極ターゲットを支持する
回転機構は回転体および固定体などで構成され、回転体
と固定体の間に軸受が設けられている。

【０００３】回転陽極型Ｘ線管の軸受には、ボールベア
リングなどのころがり軸受、あるいは、軸受面にらせん
溝を形成し、ガリウム（Ｇａ）やガリウム−インジウム
−錫（Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ）合金などの液体金属潤滑剤を
らせん溝などに充填する動圧式すべり軸受が用いられて
いる。後者の動圧式すべり軸受を用いた例は、特開昭６
０−１１７５３１号、特開平２−２２７９４８号、特開
平５−１４４３９６号の各公報に開示されている。

【０００４】ここで、動圧式すべり軸受を用いた従来の
回転陽極型Ｘ線管について図１１を参照して説明する。
符号１１１は回転陽極型Ｘ線管を構成する真空外囲器
で、真空外囲器１１１は金属製の径大部１１１ａおよび
ガラス製の径小部１１１ｂなどから構成され、径大部１
１１ａと径小部１１１ｂは封着リング１１１ｃで連結さ
れている。径大部１１１ａの一部にＸ線放射窓１１１ｄ
が形成され、真空外囲器１１１の外に電磁コイルをもつ
ステータ１１２が配置されている。

【０００５】真空外囲器１１１内に円盤状の陽極ターゲ
ット１１３が収納され、陽極ターゲット１１３に対向し
て陰極構体１１４が設けられている。陽極ターゲット１
１３は支持シャフト１１５にピン１１６や固定ねじ１１
７で固定されている。支持シャフト１１５は回転機構１
１８に結合され、陽極ターゲット１１３は回転機構１１
８によって回転可能に支持されている。

【０００６】回転機構１１８は有底円筒状の回転体１１
９および回転体１１９に嵌合された固定体１２０などか
ら構成されている。回転体１１９は、支持シャフト１１
５が固定された鉄合金製の中間円筒１２１および中間円
筒１２１内側の図示下端部に接合された内側円筒１２
２、中間円筒１２１の外側に接合された銅製の外側円筒
１２３を有している。内面が軸受面となる内側円筒１２
２と中間円筒１２１との間に、半径方向の幅寸法が０．
１〜１ｍｍの範囲の断熱間隙１２４が設けられている。
また、内側円筒１２２の下端開口はフランジ状のスラス
トリング１２５で封止されている。

【０００７】固定体１２０はスラストリング１２５を貫
通し、その下端部は封着リング１２６に封止されてい
る。封着リング１２６および真空外囲器１１１の径小部
１１１ｂはシールリング１２７を介して気密接合してい
る。

【０００８】回転体１１９と固定体１２０の嵌合部分、
たとえば内側円筒１２２と固定体１１９の嵌合部分およ
びスラストリング１２５と固定体１２０の嵌合部分に、
２組のラジアル方向の動圧式すべり軸受１２８およびス
ラスト方向の動圧式すべり軸受１２９が設けられてい
る。

【０００９】２つのラジアル方向の動圧式すべり軸受１
２８は、軸方向に所定の間隔をもって固定体１５の外周
面に設けられたヘリンボンパターンらせん溝１２８ａ、
１２８ｂなどから形成されている。スラスト方向の動圧
式すべり軸受１２９の１つは、図１２に示すように、固
定体１２０の図示上端面１２０ａに設けられたサークル
状のヘリンボンパターンらせん溝１２９ａなどから形成
されている。もう１つのスラスト方向の動圧式すべり軸
受１２９は、図１３に示すように、固定体１２０の段差
面と接するスラストリング１２５上面に設けられたサー
クル状のヘリンボンパターンらせん溝１２９ｂなどから
形成されている。

【００１０】上記した動圧式すべり軸受１２８、１２９
部分の内側円筒１２２と固定体１２０の軸受面、および
スラストリング１２５と固定体１２０の軸受面は、動作
中、約２０μｍの軸受間隙を保つように設定されてい
る。

【００１１】固定体１２０は、その中央にリザーバ１３
０が軸方向に形成されている。また、内側円筒１２２お
よび固定体１２０間の隙間とリザーバ１３０とを結ぶダ
クト１３１が半径方向に形成されている。動圧式すべり
軸受１２８、１２９およびリザーバ１３０、ダクト１３
１の各部分には、Ｇａ−Ｉｎ−Ｓｎ合金のような液体金
属潤滑剤が充填されている。

【００１２】上記の回転陽極型Ｘ線管を動作させる場
合、ステータ１１２に駆動電圧を供給し、ステータ１１
２が発生する回転磁界によって陽極ターゲット１１３を
回転させる。そして、高速で回転する陽極ターゲット１
１３に対して陰極構体１１４から電子ビームを照射し、
陽極ターゲット１１３からＸ線を発生させる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】回転陽極型Ｘ線管は、
陽極ターゲットを高速で回転させる必要があり、陽極タ
ーゲットを支持する回転機構の回転バランスは高精度に
調整される。そのため、陽極ターゲットが固定された回
転機構を真空外囲器内に配置し、気密封止する前に回転
バランスの測定が行われる。

【００１４】この測定で、回転にアンバランスが検出さ
れると、陽極ターゲットの一部たとえば図１１の符号Ａ
部分を削り取るなどして回転バランスが調整される。一
度の削り取りで十分な回転バランスが得られない場合
は、その後、さらに回転バランスの測定および調整が繰
り返される。

【００１５】ところで、回転機構の軸受として動圧式す
べり軸受が用いられる場合、回転バランスを測定するた
めに回転機構を空気に晒すと、Ｇａ合金などの液体金属
潤滑剤の表面や液体金属潤滑剤で濡れた軸受面が酸化
し、正常な軸受性能が得られなくなる。

【００１６】そのため、従来の回転陽極型Ｘ線管の製造
方法では、たとえば回転バランスの測定および調整を真
空装置内で行い、そのまま回転陽極型Ｘ線管を構成する
真空外囲器内に組み込むという方法が採用されており、
作業が繁雑化している。

【００１７】この発明は、上記した欠点を解決し、回転
部分の回転バランスを大気中で容易にかつ高精度に測定
でき、あるいは、回転バランスの調整をそのまま大気中
で行うことができる回転陽極型Ｘ線管の製造方法および
製造装置を提供することを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明の回転陽極型Ｘ
線管の製造方法は、気体が吹き出す吐出開口およびこの
吐出開口から吹き出した気体が流れ込む吸入開口を有す
る固定支持治具の前記吐出開口に前記気体を供給し、前
記吐出開口から前記気体を吹き出す第１工程と、前記固
定支持治具に回転陽極型Ｘ線管の回転体を嵌合する第２
工程と、前記回転体に回転力を与える回転力発生装置に
電力を供給し前記回転体を回転させる第３工程と、この
第３工程の後、前記回転力発生装置に対する電力の供給
を停止し、前記回転体を自由に回転させる第４工程と、
前記回転体が自由に回転する状態で前記回転体の回転バ
ランスを測定する第５工程とからなっている。

【００１９】また、この発明の回転陽極型Ｘ線管の製造
装置は、気体が吹き出す吐出開口およびこの吐出開口か
ら吹き出した気体が流れ込む吸入開口を有し、回転陽極
型Ｘ線管を構成する回転体を嵌合する固定支持治具と、
前記吐出開口から吹き出す前記気体を送り出す気体供給
装置と、前記回転体を回転させる回転力発生装置とを具
備している。

【００２０】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態について図１〜
図１０を参照して説明する。各図とも対応する部分には
同じ符号を付し、図２以下では重複する説明は一部省略
している。

【００２１】符号１１は固定盤で、固定盤の上下に振動
検出器１２ａ、１２ｂが取り付けられている。また、固
定盤１１に基台１３が固定され、基台１３に円柱状の固
定支持治具１４が固定されている。固定支持治具１４は
その中心軸が重力方向と一致する向きに固定されてい
る。固定支持治具１４の上方には、回転力を発生する回
転力発生装置たとえばステータ１５が固定支持治具１４
を囲む形で固定盤１１に固定されている。ステータ１５
は駆動電源Ｐに接続され、駆動電源Ｐから供給される電
力によって回転磁界を発生する。

【００２２】固定支持治具１４は、回転陽極型Ｘ線管の
陽極ターゲットを回転可能に支持する回転機構のたとえ
ば円柱状固定体とほぼ同じ形状および外径に形成されて
いる。固定支持治具１４のたとえば中央に、その上端面
から下端面まで貫通する排気用通路１６が軸方向に設け
られ、排気用通路１６は流量調整器１７を介して排気口
１８に接続されている。

【００２３】排気用通路１６を囲んでたとえば４本の給
気用通路１９が軸方向に設けられている。給気用通路１
９は円周方向に９０°の等間隔に設けられている。給気
用通路１９は、たとえば下端面から上端面の近くまで軸
方向に伸びる主通路部分１９ａおよびそれぞれの主通路
部分１９ａから半径方向に伸びる副通路部分１９ｂから
構成されている。

【００２４】排気用通路１６の開口部分Ｗ１たとえば吸
入開口は、固定支持治具１４の図示上端の陽極ターゲッ
ト側に位置する端面たとえば回転軸と直交するスラスト
端面に開口している。副通路部分１９ｂの開口部分Ｗ２
たとえば吐出開口は、固定支持治具１４の外周面たとえ
ば軸に平行なラジアル面に開口している。開口部分Ｗ１
はたとえばラジアル面の円周方向に９０°の等間隔で開
口している。給気用通路１９の下端部は高圧空気などの
高圧気体を送り出す気体供給装置たとえばコンプレッサ
２０に接続されている。

【００２５】符号２１は回転陽極型Ｘ線管を構成する陽
極ターゲットで、陽極ターゲット２１は支持シャフト２
２の先端部にピン２３や固定ねじ２４で固定されてい
る。支持シャフト２２は、陽極ターゲット２１を回転可
能に支持する回転機構の回転体２６の部分に結合されて
いる。

【００２６】回転体２６は、たとえば支持シャフト２２
が結合された中間円筒２７および中間円筒２７の外側に
接合された外側円筒２８、中間円筒２７の内側に接合さ
れた内側円筒２９の３層構造で構成されている。中間円
筒２７と内側円筒２８との間に、半径方向の幅寸法が
０．１〜１ｍｍの断熱間隙（図示せず）が設けられてい
る。

【００２７】そして、支持シャフト２２を介して陽極タ
ーゲット２１および回転体２６が連結した回転構造体の
たとえば回転体２６が固定支持治具１４の外側に嵌合さ
れている。この場合、回転体２６の回転軸と固定支持治
具１４の中心軸とが一致し、また、両者の軸は重力方向
に一致している。

【００２８】図１に示すように、回転構造体の回転体２
６を固定支持治具１４に嵌合する場合、まず、コンプレ
ッサ２０から給気用通路１９に高圧空気が送られる。高
圧空気は給気用通路１９の主通路部分１９ａから副通路
部分１９ｂへと流れ、副通路部分１９ｂの開口部分Ｗ２
から吹き出す。

【００２９】その後、図２に示すように、陽極ターゲッ
ト２１および回転体２６が一体化した回転構造体を、た
とえば回転体下端の開口部分をスラストリングで封止し
ない状態で、固定支持治具１４の上方から矢印Ｙ１で示
すように嵌合する。

【００３０】このとき、開口部分Ｗ２から吹き出す空気
が固定支持治具１４と内側円筒２８の隙間を矢印Ｙ方向
（図１）に流れる。この空気の流れで事実上の静圧空気
軸受が形成され回転構造体が浮上し、回転構造体は浮上
したまま定位置に定まる。開口部分Ｗ２から吹き出した
空気は、その後、隙間の図示下端から排出され、あるい
は開口部分Ｗ２から排気用通路１６に流れ込み排出口１
８から排出される。

【００３１】陽極ターゲット２１の変更などによって回
転構造体の重量が相違した場合は、排出口１８から排出
される空気の量を流量調整器１７で制御して浮力を調整
し、回転構造体を定位置に浮上させる。また、コンプレ
ッサ２０から送り出される高圧空気の圧力は常に一定と
なるようにし、同時に、圧力変動が±１０％以内になる
ように制御する。

【００３２】上記したように、回転構造体が浮上し固定
支持治具１４と嵌合した状態で、回転構造体の回転バラ
ンスが測定される。このとき、駆動電源Ｐからステータ
１５に電力を供給し、ステータ１５に電流を流して回転
磁界を発生させる。この回転磁界で回転体２６が高速回
転し、この状態で回転構造体の回転バランスが測定され
る。

【００３３】たとえば回転アンバランスがあると、振動
が発生しその振動が基台１３などを通して振動検出器１
２ａ、１２ｂに伝わる。振動検出器１２ａ、１２ｂで検
出された振動データは回転バランス測定器（図示せず）
などに送られ、回転アンバランスの大きさなどが測定さ
れる。

【００３４】なお、駆動電源Ｐには、ステータ１５に供
給する交流電圧を制御する機能が付加されている。たと
えば回転体２６を所定の回転数で回転させる機能および
回転数を加速させるブースト機能、回転体２６を減速す
るブレーキ機能、交流電圧を供給せずに回転体２６を自
由に回転させるフリーラン機能などが付加されている。

【００３５】たとえば、回転開始時はブースト機能によ
って所定の回転数まで上昇させる。回転数が所定の値に
到達したら交流電圧の供給を停止しフリーラン状態とす
る。フリーラン状態は、回転構造体が浮上しているため
ほとんど回転抵抗がなく所用の回転数で回りつづける。
この状態は、ステータ１５に加えられる交流電圧と回転
体との相互振動による測定誤差が生じない。そのため、
たとえばフリーラン状態で回転バランスを測定し、回転
構造体単体のアンバランスを高精度に測定できるように
している。回転を停止させる場合はブレーキ機能が利用
される。

【００３６】回転バランスの測定が終了した後、回転に
アンバランスがある場合は、たとえば陽極ターゲットの
所定位置の素材を所定量だけ削り取り、回転バランスが
調整される。また、必要な場合は、回転バランスの測定
や調整が繰り返される。回転バランスを繰り返し測定す
る場合も、固定支持治具に回転体は嵌合するだけでよ
く、作業が容易で作業能率が向上する。

【００３７】上記した手順で、回転バランスの調整が完
了すると、矢印Ｙ２（図２）で示すように、固定支持治
具１４から回転構造体が取り外され、らせん溝などを有
する固定体が回転体２６の内部に嵌合され組立てが行わ
れる。また、軸受部分に液体金属潤滑剤を供給して真空
外囲器内に組み込み、その後、排気工程に移行する。

【００３８】上記した構成によれば、回転構造体の回転
バランスを大気中で容易に、かつ高精度に測定でき、必
要に応じてそのまま大気中で回転バランスを調整でき
る。その結果、回転バランスの測定作業や調整作業の作
業効率が向上する。

【００３９】次に、回転構造体が浮上する動作について
図３を参照して説明する。給気用通路１９の開口部分Ｗ
２から高圧空気が吹き出し、吹き出した高圧空気は、符
号Ｒで示した領域内の矢印Ｙで示すように、各開口部分
Ｗ２から上下方向に流れる。このとき、高圧空気の吹き
出しによる圧力が軸対称に均等に発生し、固定支持治具
１４の外面と回転構造体たとえば内側円筒２９の内面が
常に等間隔に保たれる。

【００４０】なお、高圧空気が固定支持治具１４および
内側円筒２９間の数１０μｍ程度の小さな隙間を流れた
場合、たとえば図３の符号Ｐで示した領域を流れた場
合、流体膜圧力効果によって図４の符号Ｃに示すような
圧力が発生する。図４（ａ）の横軸は空気の進行方向を
示し、縦軸は圧力の大きさを示している。この圧力は円
周方向全体にわたり軸対称に均等に発生し、図４（ｂ）
に示すように、固定支持治具１４外面と内側円筒２９内
面との隙間Ｇ１を常に等間隔に保つように作用する。

【００４１】開口部分Ｗ２から吹き出した空気の一部は
たとえば下端開放部へと進み、下端開放部たとえば図３
の符号Ｑで示す領域では、矢印Ｙ０で示すように全周に
わたって半径方向に高圧空気が噴出される。この噴出時
に、固定支持治具１４の図示半径方向に均等な圧力が発
生する。この圧力は、固定支持治具１４外面と内側円筒
２９内面との隙間を常に等間隔に保つように作用する。

【００４２】また、空気の一部は上方に向かい、固定支
持治具１４の図示上端のスラスト端面と回転体２６たと
えば内側円筒２９の底面とが対向するスラスト部Ｓ、た
とえば図３の符号Ｓで示す領域に進む。

【００４３】スラスト部Ｓでは、図５に示すように、ス
ラスト部Ｓに入る空気の圧力Ｐ１と排気用通路１６から
排出する空気の圧力Ｐ２との差圧Ｂ（Ｂ＝Ｐ１−Ｐ２）
が発生する。この差圧Ｂは回転構造体を保持する力とし
て作用する。しかし、差圧Ｂだけでは、通常、回転構造
体の全重量を安定に保持できる力が得られない。この場
合、たとえば差圧Ｂ＜回転構造体の荷重圧とし、回転構
造体の回転体２６の底面が固定支持治具１４のスラスト
端面の近くまで下がるようにし、スラスト部Ｓの隙間Ｇ
２がたとえば５００μｍ以下になるようにしている。

【００４４】また、スラスト部Ｓでは、空気の流れによ
る流体膜圧力効果によって図４の符号Ｃに示すような圧
力が発生する。スラスト部Ｓでは、さらに図５の矢印Ｙ
３で示すように、固定支持治具１５の広い外周部分から
固定支持治具１４の中心に設けられた開口部分Ｗ１の狭
い外周部分へと空気が流れる。この空気の流れで、図７
の符号Ｄで示すように、くさび形状の流体膜圧力が生じ
る。図７（ａ）の右側Ｒは固定支持治具１４の広い外周
部分に相当し、左側Ｌは開口部分Ｗ１の狭い外周部分に
相当している。

【００４５】したがって、スラスト部Ｓには、図８で示
すように、それぞれの空気の流れで発生する圧力Ｂ、
Ｃ、Ｄが合成され、回転構造体の全重量を十分に保持す
る圧力となり、回転構造体が浮上する。

【００４６】回転構造体の荷重がさらに大きい場合は、
スラスト部Ｓの隙間Ｇ２が狭くなり圧力Ｃ、Ｄが大きく
なる。逆に、回転構造体の荷重が小さい場合は、スラス
ト部Ｓの隙間Ｇ２が大きくなり圧力Ｃ、Ｄは小さくな
る。その結果、スラスト部Ｓは一種の自動調心機能をも
ち、回転構造体は停止状態や回転状態に関係なく安定に
浮上する。

【００４７】次に、本発明の他の実施形態として、回転
体および固定支持治具の各部分を抜き出して示した図９
を参照して説明する。

【００４８】この実施形態の場合、固定支持治具１４に
フランジ状部材３１が設けられている。フランジ状部材
３１と回転体２６たとえば内側円筒２９の下端部との間
に小さな隙間ｇが設けられている。この場合、固定支持
治具１４およびフランジ状部材３１と回転体２６との隙
間ｇたとえば符号Ｌで示された領域に空気が流れる。こ
の流れによる流体膜圧力によって、回転軸に平行なスラ
スト方向に浮力が生じ、回転構造体の重量を確実に保持
できる。

【００４９】次に、本発明の他の実施形態として、固定
支持治具の部分を抜き出して示した図１０を参照して説
明する。この実施形態の場合、固定支持治具１４の中央
に給気用通路１９が設けられ、給気用通路１９の外側に
複数の排気用通路１６が設けられている。そして、回転
軸方向に離れた給気用通路１９のたとえば２箇所に、複
数の副通路部分１９ｂが円周方向に等間隔に、かつ半径
方向に設けられている。この構成の場合、固定支持治具
１４と回転体（図示せず）との隙間を流れる気体の流れ
は、矢印Ｙで示すように図１の場合と同じになり、回転
構造体に対する浮力が発生する。

【００５０】上記の固定支持治具１４は、回転バランス
の測定のために何度も繰り返し使用される。また、嵌合
する回転体２６を傷付けないようにする必要がある。そ
のため、固定支持治具１４と回転体２６が嵌合する表面
どうしの硬度を相違させている。硬度の相違は、たとえ
ばロックウエル硬さの場合はＨＲＣ硬度差が１０以上、
また、ビッカース硬さの場合は硬度差が１００以上であ
ることが望ましい。

【００５１】たとえば回転体２６の軸受部が軟質の金属
の場合は固定支持治具１４としてセラミックなどが使用
される。また、回転体２６の軸受部が硬質の金属の場合
には、固定支持治具１４として樹脂などが使用される。
また、回転体２６の軸受部と固定支持治具１４が同じ金
属の場合は、たとえば固定支持治具１４を焼き入れ、焼
きなましなどの熱処理を行い、両者の硬さを相違させ
る。また、固定支持治具１４の表面にＴｉＮコーティン
グなどを施して硬さを変えることもできる。

【００５２】上記の実施形態では、軸方向における１つ
の位置に、副通路部分１９ｂをたとえば軸回りの円周方
向に９０°間隔で４個設けている。しかし、中心軸を囲
む円周方向に等間隔に設ければ３個以上の複数個で形成
することができる。

【００５３】また、高圧気体として空気を用いた場合で
説明している。しかし、空気に代えて、不活性ガスなど
を用いることもできる。不活性ガスを用いれば軸受構成
部材の酸化が防止される。

【００５４】

【発明の効果】この発明によれば、回転構造体の回転バ
ランスを大気中で測定できる回転陽極型Ｘ線管の製造方
法および製造装置を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す構造図で一部を断面で
示している。

【図２】本発明の実施形態を示す構造図で、固定支持治
具と回転構造体の嵌合方法を説明する図でその一部を断
面で示している。

【図３】本発明の実施形態を説明する断面図である。

【図４】本発明の実施形態を説明する断面図で、回転構
造体に対する浮力を説明する図である。

【図５】本発明の実施形態に使用される回転構造体に浮
力が生じる状態を説明する図である。

【図６】本発明の実施形態に使用される回転構造体に浮
力が生じる状態を説明する図である。

【図７】本発明の実施形態に使用される回転構造体に浮
力が生じる状態を説明する図である。

【図８】本発明の実施形態に使用される回転構造体に浮
力が生じる状態を説明する図である。

【図９】本発明の他の実施形態を説明する断面図であ
る。

【図１０】本発明の他の実施形態を説明する断面図であ
る。

【図１１】従来例を説明する断面図である。

【図１２】従来例に使用される動圧式すべり軸受を示す
図である。

【図１３】従来例に使用される動圧式すべり軸受を示す
図である。

【符号の説明】

１１…固定盤１２ａ、１２ｂ…振動検出器１３…基台１４…固定支持治具１５…ステータ１６…排気用通路１７…流量調整器１８…排出口１９…給気用通路２０…コンプレッサ２１…陽極ターゲット２２…支持用シャフト２６…回転体２７…中間円筒２８…外側円筒２９…内側円筒Ｗ１…排気用通路の吸入開口Ｗ２…給気用通路の吐出開口

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体が吹き出す吐出開口およびこの吐出
開口から吹き出した気体が流れ込む吸入開口を有する固
定支持治具の前記吐出開口に前記気体を供給し、前記吐
出開口から前記気体を吹き出す第１工程と、前記固定支
持治具に回転陽極型Ｘ線管の回転体を嵌合する第２工程
と、前記回転体に回転力を与える回転力発生装置に電力
を供給し前記回転体を回転させる第３工程と、この第３
工程の後、前記回転力発生装置に対する電力の供給を停
止し、前記回転体を自由に回転させる第４工程と、前記
回転体が自由に回転する状態で前記回転体の回転バラン
スを測定する第５工程とからなる回転陽極型Ｘ線管の製
造方法。
【請求項２】気体が吹き出す吐出開口およびこの吐出
開口から吹き出した気体が流れ込む吸入開口を有し、回
転陽極型Ｘ線管を構成する回転体を嵌合する固定支持治
具と、前記吐出開口から吹き出す前記気体を送り出す気
体供給装置と、前記回転体を回転させる回転力発生装置
とを具備した回転陽極型Ｘ線管の製造装置。
【請求項３】固定支持治具に、吐出開口から吹き出す
気体を流す給気用通路および吸入開口から吸入された気
体を流す排気用通路が設けられた請求項２記載の回転陽
極型Ｘ線管の製造装置。
【請求項４】吸入開口は、回転陽極型Ｘ線管の陽極タ
ーゲット側に位置する軸に対して直交する固定支持治具
の端面に設けられている請求項２記載の回転陽極型Ｘ線
管の製造装置。
【請求項５】固定支持治具に嵌合した回転陽極型Ｘ線
管の回転体を有し、固定支持治具の吸入開口が設けられ
た端面とこの端面と対向する前記回転体の面との間隔が
５００μｍ以下である請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管
の製造装置。
【請求項６】固定支持治具に嵌合した回転陽極型Ｘ線
管の回転体を有し、前記回転体と前記固定支持治具との
互いに嵌合する面の硬度が相違する請求項２記載の回転
陽極型Ｘ線管の製造装置。
【請求項７】固定支持治具に嵌合した回転陽極型Ｘ線
管の回転体を有し、かつ、前記回転体の端部開口を塞ぐ
形で前記端部開口と所定の間隔で配置されるフランジ状
部材が設けられた請求項２記載の回転陽極型Ｘ線管の製
造装置。
【請求項８】排気用通路に、この排気用通路に流れる
気体の流量を調整する流量調整装置が接続されている請
求項３記載の回転陽極型Ｘ線管の製造装置。