JP2002258575A - 記号付けプラットフォームにて、カラーレジストレーションを測定し、レジストレーションエラーを決定する方法 - Google Patents
記号付けプラットフォームにて、カラーレジストレーションを測定し、レジストレーションエラーを決定する方法Info
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Abstract
トレーションの測定に必要な、空間的な精度を下げるこ
とによって、カラーレジストレーションプロセスを合理
化する。 【解決手段】黒色分離を表す黒色記号付け材料、及び非
黒色分離を表す非黒色記号付け材料を用いて、画像受容
部上で、テストパターン58の第一の領域及びテストパタ
ーンの第二の領域を記号付けし、光源で第一の領域を照
射して、反射された光線を検知し、第二の領域を光源で
照射して、反射された光線を検知し、そして、第一の領
域で反射された光線と、第二の領域で反射された光線を
比較することによって、非黒色分離及び黒色分離の間の
レジストレーションを決定する。
Description
ルレンダリングシステムに関連し、より詳細には多色記
号プラットフォームでカラーレジストレーションを測定
し、レジストレーションエラーを決定するための装置及
び改善された方法に関連する。
において、個々の色分離画像を形成して移転する、多色
記号プラットフォームでは、個々の色画像についての適
切な、あるいは正確なレジストレーションは、通常重要
で困難な問題である。良い品質の複合色画像を提供する
ために、多色記号付けエンジンが様々な色分離に対して
層をなす際に必要な正確性について、厳格な規格が課さ
れる。例えば、レジストレーションエラーは、画像受信
部の動作エラーから、あるいは、個々の色分離の現像ア
ライメントエラーから発生しうる。記号プラットフォー
ムで、レジストレーションを改善するための技術は、時
たま、表面へのレジストレーション指示記号の付加、そ
のような記号の検知、レジストレーション状態の評価、
レジストレーション状況が存在する際のレジストレーシ
ョンエラーの程度の決定、及び、レジストレーションエ
ラーを訂正するための記号付けプラットフォーム部の制
御を伴う。機械化された、あるいは人間系の双方の検知
システムが用いられ、カラーレジストレーションを測定
し、処理方向及び垂直(プロセスに交差する)方向のレ
ジストレーションエラーを決定する。
れるように、カラーレジストレーションを改善する共通
の方法は、画像カラーレジストレーション記号(例えば
シェヴロン記号)の拡散反射率を測定するために、2段
式の検知器を用いることである。プロセス及び垂直(プ
ロセスに交差する)のレジストレーションエラーは、画
像受信部の速度を、検知器を通過するシェヴロン記号の
時間中心に関連付ける、タイミング関数から決定され
る。この技術は、検知器の正確な構築及びアライメン
ト,拡散反射率の正確な測定,画像受信部の速度の正確
な測定あるいは正確な制御、及び、カラーレジストレー
ション測定を実行してレジストレーションエラーを決定
するための大きなプロセス余裕を要求する。
5,909,235に記述されるような、カラーレジストレー
ションを改善する他の通常の方法は、カラーレジストレ
ーション記号の順序あるいは多色テストパッチの組のい
ずれかの拡散反射率を測定するために光センサを使用す
ることである。カラーレジストレーション記号の順序を
用いてカラーレジストレーションが検知されると、上述
のシェヴロン記号技術に良く似た、タイミング関数に基
づいてプロセス及び垂直(プロセスに交差する)レジス
トレーションエラーが決定される。この技術には、拡散
反射率の正確な測定,画像受信部の速度の正確な測定あ
るいは正確な制御,及び、カラーレジストレーション測
定を実行し、レジストレーションエラーを決定するため
の大きなプロセス余裕が必要である。
色テストパッチの組を用いて光センサーでカラーレジス
トレーションが検知されると、見当付けされるべき、黒
でない各色についてテストパッチが必要となる。各多色
テストパッチは、予め定められたレジストレーション条
件での、黒のレジストレーション記号の組の上の色レジ
ストレーション記号の組を含む。予め定められた各レジ
ストレーション条件について、予期される反射値及びレ
ジストレーションエラーが知られている。プロセスレジ
ストレーションを測定するために、少なくとも2つ、好
ましくは5つのテストパッチがグループ化される。垂直
(プロセスに交差する)レジストレーションを測定する
ために、少なくとも2つ、好ましくは5つの、テストパ
ッチがグループ化される。各パッチの実際の反射が測定
され、各パッチの、予め定められたレジストレーション
条件に対応する、予想された値と比較される。テストパ
ッチのプロセスグループのための測定値と予想値を比較
し、予め定められた複数のレジストレーション条件につ
いての、既知のプロセスレジストレーションエラーの間
を補間することによって、あるいは予め定められた複数
のレジストレーション条件についての、既知のプロセス
レジストレーションエラーから外挿することによって、
プロセス方向の、実際のレジストレーションエラーが、
推定される。垂直(プロセスに交差する)方向の、実際
のレジストレーションエラーは、テストパッチの垂直
(プロセスに交差する)グループを用いて、同様のやり
方で推定される。この技術には、反射率及の正確な測定
及び、カラーレジストレーション測定を実行してレジス
トレーションエラーを決定するための、大きいプロセス
余裕が必要とされる。
プラットフォームにおいて、トナー集中,現像可能性,
半透明の紙と透明な紙の間の区別,及び,光沢、を含む
様々なプロセスを制御するために、しばらく用いられて
きたパラメータである。しかし、多色記号付けプラット
フォームでの、色のレジストレーションを制御するため
のパラメータとしての、反射率、及びそれに対応するテ
ストパターンの濃さは、用いられて来なかった。カラー
レジストレーションの測定、及びそれに引き続くレジス
トレーションエラ−の決定のための技術は、制御パター
ンとしての多色テストパターンの、反射率あるいは濃度
を用いる装置及び方法を採用することによって、従来技
術より改善されうる。多色記号プラットフォームでの、
カラーレジストレーションの測定に必要な、空間的な精
度を下げ、レジストレーションエラーを決定するために
必要なプロセス余裕を減少することによって、カラーレ
ジストレーションプロセスを合理化するためのニーズが
存在する。
それ以上の非黒色のレジストレーションを決定するため
に、テストパターンの反射率あるいは濃度のいずれかを
使用する、カラーレジストレーション測定システムを持
つ、多色記号プラットフォームを提供する。
ら、黒色を基準とした非黒色のカラーレジストレーショ
ンエラーの程度を決定するの方法を提供する。
照したその記述から明らかになる。しかし、図面は、本
発明の実施例の説明の目的のみのためにあり、本発明を
限定するものと理解されるべきでない。
特徴を盛り込んだ、記号付けプラットフォーム10のブロ
ック図である。記号付けプラットフォーム10は、入力1
2,制御器16,及び記号付けエンジン22を含む。入力12
は、デジタル画像データ14を制御器16に提供する。入力
12はスキャナ,個々のコンピュータ,分散されたコンピ
ュータネットワーク,電子格納装置,デジタル画像を生
成、あるいは格納することができる、いかなる装置でも
ありうる。制御器16は、記号付けエンジン22に提供さ
れ、かつ、該エンジンとコンパチブルな機械読み取り可
能な画像データ18を生成するために、デジタル画像デー
タ14を処理する。制御器16はまた、記号付けエンジン22
の中で、動作(例えば、画像受信部移動速度,記号付け
部の位置決め,記号付け材料の分配等)を制御する制御
信号20を提供する。記号付けエンジン22は、制御器16か
ら、機械読み取り可能な画像データ18を受信し、人が読
めるバージョンのデジタル画像を生成する。記号付けエ
ンジン22は、検知されたパラメータ測定値を見積もり,
調節して電気信号を生成する記号付けプロセス及び記号
付け回路内で、あるパラメータ(例えばテストパターン
画像の反射率等)を検知するセンサを含む。電気信号
は、記号付けプラットフォーム10内で、カラーレジスト
レーションの制御を促進するために、フィードバック信
号24として、制御器16に提供される。記号付けエンジン
22は、トナー記号付け,インク記号付け,あるいは、記
号付け材料を用いて、人が読み取り可能な画像を生成可
能ないかなる記号付け技術を使用できる。
盛り込んだ単一経路の多色電子写真記号付けエンジン
(“単一経路記号付けエンジン”)30の概略図を示す。
電子写真記号付け技術は周知なので、図2及び以下の説
明は、記号付けプラットフォームの様々な処理ステーシ
ョンの簡単なあらましを提供し、本発明と、以下説明さ
れる実施例及び他の実施例との関係を明確にする。単一
経路記号付けエンジン30は、光受容ベルト32,色分離ス
テーションの4つの組(34,36,38,40),光センサ4
2,ターゲット基板経路44,移転ステーション46,注入
ステーション48,及びクリーニングステーション50を含
む。各色分離ステーション(34,36,38,40)は、荷電
ステーション(C1...C4),画像化及び露光ステ
ーション(E1...E4),及び現像ステーション
(D1...D4)を含む。これによって、単一経路記
号付けエンジン30は、4つの色分離(例えば、シアン,
黄色,マゼンタ,及び黒)からの複合フルカラー画像を
現像することが可能である。
けエンジン30の光受容ベルト32の部分を示す。本発明の
実施例として、2つの印刷画像エリア及びテストパター
ン画像エリアが光受容ベルトの表面に示される。他の実
施例も可能であることに注意してほしい。プロセス方向
の矢印52は、光受容ベルト32の動きの方向を示す。光受
容ベルト32の表面は、ターゲット基板45に移転されるべ
き、トナー画像を現像するための、少なくとも一つのペ
ージ画像エリア54の一部分を含む。光受容ベルト32の表
面はまた、テストパターン画像エリア56と呼ばれる画像
テストパターン58のための、印刷ページ画像エリア54の
周囲に沿ったエリアを含む。印刷ページ画像エリア54及
びテストパターン画像エリア56は、電荷保持可能な、画
像化領域である。他の実施例では、図4に示すように、
テストパターン58は、印刷ページ画像エリア54のいずれ
の中にでも画像化され得、別のテストパターン画像エリ
ア56を不必要としている。この実施例では、一つの印刷
ページ画像エリアが、画像テストパターンのために用い
られるときの、光受容ベルトの表面上の2つの印刷ペー
ジ画像エリアを示す。更に他の実施例では、テストパタ
ーン58は、複数の印刷ページ画像エリア54の間の、光受
容ベルト32の文書間エリアの中に画像化されうる。更に
他の実施例では、光受容ベルト32の代わりに、回転ドラ
ム(図示せず)が使用さうる。再度図2を参照する。電
子写真プロセスは、第一の色分離ステーション34の荷電
ステーションC1から始まる。以下の議論では、基本的
に、電子写真プロセスの1周期を通じて、一つの光伝導
性の画像化領域(印刷ページ画像化エリア54あるいはテ
ストパターン画像エリア56のいずれか)を追跡する。画
像化領域は、光受容ベルト32によって、プロセス方向矢
印52で示されるように、完全なプロセスを含む様々なス
テーションを通過して、時計回りに前進させられる。画
像化領域は、そこでコロナ発生装置が、比較的高い,実
質的に均一の,好ましくは負のポテンシャルの領域を荷
電する、荷電ステーションC1を通過する。次に、荷電
された画像化領域が、画像化及び露光ステーションE1
を通過して前進させられる。画像化及び露光ステーショ
ンE1では、均一に荷電された画像化領域が、レーザあ
るいは発光ダイオード(LED)アレイのような光源を
その領域に集束し、第一の色分離ステーション34からの
必要な出力を表す、静電気的に潜在する画像を生成する
ために、表面の特定のエリアを放電することによって露
光される。次に、画像化領域は、現像ステーションD1
を通じて前進させられる。現像ステーションD1では、
現像システムは、担体細粒及び荷電したトナー粒子から
なる現像物質を、静電気的潜在画像と接触するように前
進させる。第一の色分離の中で、第一の現像されたトナ
ー画像からのトナー粒子が、第一の色分離中に、静電気
的潜在画像の上に積層する。
の色分離ステーション36に前進するに従って継続する。
第二の色分離ステーション36では、画像化領域は、そこ
でコロナ再荷電装置が用いられて、画像化領域中の色が
付いたエリアと色の付かないエリアの両方の電圧レベル
を実質的に均一なレベルに上げる、荷電ステーションC
2を通過する。再荷電装置は、光受容器を予め定められ
たレベルに再荷電するように動作する。次に、再荷電さ
れた画像化領域は、画像化及び露光ステーションE2を
通して前進させられる。画像化及び露光ステーションE
2では、均一に荷電された画像化領域が選択的に放電さ
れ、第二の色分離ステーション36からの必要な出力を表
す潜在的な画像を生成する。次に、画像化領域は、現像
ステーションD2を通して前進させられる。現像ステー
ションD2では、現像システムは、静電気的潜在画像
に、トナー粒子を与える。トナー粒子は、第二の色分離
の中で、画像化領域の上に第二の現像済みトナー画像層
を形成する。例えば、第二の色分離は黄色でありうる。
の色分離ステーション38及び第四の色分離ステーション
40を通って、前進するに従って継続する。第三の色分離
ステーション38において、第二の色分離ステーション36
におけると同様に、画像化領域は荷電ステーションC
3,画像化及び露光ステーションE3,及び現像ステー
ションD3を通過する。現像ステーションD3からのト
ナー粒子は、第三の色分離での、画像化領域上の第三の
現像済みトナー層を形成する。例えば、第三の色分離は
マゼンタでありうる。第四の色分離ステーション40で
は、画像化領域は、第二の色分離ステーション36におけ
ると同様のやり方で、荷電ステーションC4,画像化及
び露光ステーションE4,及び現像ステーションD4を
通って通過する。現像ステーションD4からのトナー粒
子は、第四の色分離において、画像化領域上に、第四の
現像されたトナー画像層を形成する。例えば、第四の色
分離はシアンでありうる。
フルカラー複合トナー画像が、光受容ベルト32の画像化
領域上で現像される。図に示されるように、次に、光受
容ベルト32は、光センサ42を通過して前進する。現在説
明している実施例では、光センサ42は、テストパターン
画像エリア56のために規定されたエリアの上側で、光受
容ベルト32の上側に位置し、光受容ベルト32の方向に向
けられている。上述の現像済みの画像化領域がテストパ
ターン画像エリア56であって、現像済みの画像がカラー
レジストレーションテストパターン58であったと仮定す
ると、光受容ベルト32が光センサ42を通過すると、テス
トパターン画像エリア56が光センサ42の下を通過する。
別の実施例では、カラーレジストレーションテストパタ
ーン58は、印刷ページ画像エリア54で画像化され、光セ
ンサ42は、印刷ページ画像エリア54の上に位置する。こ
の、別の実施例は光受容ベルト32に関してスペースを節
約できる一方、それは印刷ページとカラーレジストレー
ションテストパターンの同時画像化を許容しない。
みの画像化領域が印刷ページ画像エリア54であったと仮
定すると、フルカラー複合トナー画像を含む印刷ページ
画像エリア54は、移転ステーション46に前進する。印刷
ページ画像エリア54が移転ステーション46に前進するに
つれて、ターゲット基板45は同時に、ターゲット基板経
路44に沿って、移転ステーション46に送られる。移転ス
テーション46において、ターゲット基板45が光受容ベル
ト32の上の印刷ページ画像エリア54と接触するように入
り込んでくると、トナー粒子は印刷ページ画像エリア54
から引き寄せられて、ターゲット基板45に移転され、移
転済みターゲット基板47を形成するように、ターゲット
基板45の背面が荷電される。移転済みターゲット基板47
は引き続き、ターゲット基板経路44に沿って、注入ステ
ーション48まで進む。注入ステーション48で、移転済み
のターゲット基板47は、加熱された注入器ローラと加圧
ローラの間を通過し、トナー粒子は永続的に移転済みタ
ーゲット基板47に付着され、注入済みターゲット基板49
を形成する。注入ステーション48の後、シュート(図示
せず)が注入済みターゲット基板を捕獲トレイ(図示せ
ず)までガイドして、そこでオペレータがターゲット基
板を入手可能となる。移転動作の後、光受容ベルト32
は、移転ステーション46からクリーニングステーション
50へ前進する。クリーニングステーション50では、残余
トナー粒子が光受容ベルトから除去され、また別の電子
写真サイクルのための準備がなされる。
ーション46と注入ステーション48の間に位置し得、移転
済みターゲット基板47がターゲット基板経路44に沿って
進む際に、移転済みターゲット基板47上のカラーレジス
トレーションテストパターン58を検知するための方向に
向けられ得る。明らかに、この、別の実施例は、カラー
レジストレーションテストパターン58が、で印刷ページ
画像エリア54で画像化され、ターゲット基板45に移転さ
れることを要求する。更に他の実施例では、光センサ42
は、注入ステーション48と捕獲トレイ(図示せず)の間
に位置得、注入済みターゲット基板49がターゲット基板
経路44に沿って進むに際して、注入済みターゲット基板
49上のカラーレジストレーションテストパターン58検知
するための方向に向けられうる。この、他の実施例で
は、光センサ42は、単一経路記号付けエンジン30の外
側、多分、記号付けプラットフォーム10の仕上げアセン
ブリ(図示せず)内に位置しうる。更に他の実施例で
は、光センサ42は、周辺装置として、マーキングプラッ
トフォーム10の外側に位置しうる。この、他の実施例で
は、光センサ42は、インターフェースケーブルを介して
記号付けプラットフォーム10に接続され、カラーレジス
トレーションテストパターン58が検知されうるように、
オペレータは、注入済みターゲット基板49を光センサ42
の下に位置しなければならない。
ーレジストレーションテストパターン58は、4つの領域
(58a,58b,58c,58d)を含む。これによ
り、本発明は、カラーレジストレーションを、4つの自
由度で測定する。4つの自由度は、プロセス方向(D
r)での負(-)及び正(+)、及び、交差プロセス方
向(Dr’)での負(-)及び正(+)である。図に示
されるように、4つの領域は、負(-)の交差プロセス
領域58a,正(+)の交差プロセス領域58b,負
(-)のプロセス領域58c,及び正(+)のプロセス
領域58dを含む。4つの領域(58a,58b,58
c,58d)のそれぞれは、それぞれの最表面部に位置
する、第一のパターン及び第二のパターンを含む。第一
のパターンは、黒の記号付け材料を用いて生成される。
第二のパターンは、非黒色の記号付け材料を用いて生成
される。本発明の目的用に、第一のパターンは第二のパ
ターン上の表面部にありうるし、その逆もありうる。一
つのカラーレジストレーションテストパターン58が、多
色記号付けプラットフォームで実現される各非黒色に用
いられる。現在説明されている実施例では、図3及び図
4で示されるように、3つのカラーレジストレーション
テストパターン58が、3つの非黒色(例えば黄色,マゼ
ンタ,及びシアン)の各カラーレジストレーションを測
定するために採用されている。
それらのアライメントが、黒と非黒色の色分離の間のレ
ジストレーションエラーによって影響されるように規定
され位置される。完璧なレジストレーション条件の下で
は、黒パターンと非黒色パターンは、記号付け材料で、
完全に背景表面を覆う。従って、もしカラーレジストレ
ーションエラーが存在するなら、カラーレジストレーシ
ョンテストパターン58の一つあるいはそれ以上の領域
(58a,58b,58c,58d)に記号付け材料を
持たない部分が残る。背景表面は、カラーレジストレー
ションテストパターン58内の、いかなる記号付けされて
いないスペースにとっても可視的である。本発明に従っ
て、背景表面が高反射的で、黒パターン及び非黒色パタ
ーンを生成するために用いられた記号付け材料がより十
分に反射的でない場合、光センサ42は、テストパターン
領域(58a,58b,58c,58d)を光源で照射
し、テスト領域(58a,58b,58c,58d)の
反射率あるいは濃度のいずれかを測定することによって
レジストレーションエラーを検知できる。更に、もし、
レジストレーションエラーが検知されたら、反射率ある
いは濃度の測定は処理され、レジストレーションエラー
の推定値が計算される。
ラーレジストレーションテストパターン58の交差プロセ
ス領域(58a,58b)の両方を主に参照する。カラ
ーレジストレーションテストパターンの2つの交差プロ
セス領域(58a,58b)の黒のパターン60が図5aに示
される。黒のパターン60は、複数の黒帯62及び複数の空
白64を含む。黒のパターン60は黒帯62から始まり、空白
64と黒帯64の間で互い違いになり、最終的に、黒帯62で
終わる。黒帯62は、第一フィルパターンを用いて示され
ていることを知って欲しい。実際には、黒帯は十分に固
定されている。図に示されるように、黒パターン中60の
各黒帯62と各空白64は、幅が等しい。等しい寸法が好ま
しいが、黒帯62が空白64より狭く,あるいは広くとなる
別の寸法も可能である。
は、図5aに示されるような、各黒帯62と各空白64の特
定の幅、及び対応するカラーレジストレーションテスト
パターン58の寸法は、いくつかのファクターに基づかな
ければならない。第一に、測定を、機器の位置が多少ず
れても、正確な測定ができるるために、黒帯62の幅は光
センサ42の視野より遥かに小さくなければならない。第
二に、空白64の幅は、黒及び非黒色の色分離の間で発生
が予期される、最大レジストレーションエラーの2倍よ
り広くなければならない。十分な安全マージンが好まれ
るが、これらの2つの制限内のいかなる幅も許容され
る。
非黒色パターン66が図5bに示される。2つの特徴的な
部分、左の部分68と右部分70、が図5bに存在すること
に注意してほしい。左の部分68は、負(-)の交差プロ
セス領域58aと対応する。右の部分70は、正(+)の交
差プロセス領域58bと対応する。両セクション(68,7
0)は、右の部分70が、予め定められた距離だけ、左部
分68の右にずれていることを除いて、同一である。各部
分(68,70)は、複数の非黒色帯72及び複数の空白74を
含む。各部分(68,70)のパターンは、非黒色帯72から
始まり、空白74と非黒色帯72の間で互い違いになり、最
終的に、非黒色帯72で終わる。非黒色帯72は、黒帯62を
示すために用いられた第一のフィルパターンとは異なる
第二のフィルパターンを用いて示されていることを知っ
て欲しい。実際には、非黒帯72は十分に固定されてい
る。非黒色パターン66中での、いかなる非黒色帯び72と
いかなる一つの空白74の組合せ幅は、黒パターン60内の
いかなる黒帯62といかなる空白の組合せ幅と実質的に等
しくなければならない。更に詳細には、各非黒色帯72の
幅は、最適値として、黒色帯62の幅の1.5倍であり、空
白74の幅は、最適値として、黒色帯62の幅の0.5倍であ
る。最適化された寸法が好ましいが、非黒色帯72と空白
74がお互いに異なる割合であるような、他の寸法も可能
である。
が、左部分68と比較して、空白74幅と等しい距離だけ上
にずれている、ことを知って欲しい。これにより、左部
分68と右部分70の間の関係は、非常に細い水平線が、非
黒色パターン66の両部分を通過し得るようになってお
り、左部分68、あるいは右部分70、あるいはの双方(6
8,70)内の非黒色帯72を常に遮るようになっている。
言い換えれば、水平線は決して、少なくとも一つの非黒
色帯72を遮ることを避けることできない。さらに、非黒
色パターン66の部分(68,70)の間のオフセットによっ
て、左部分68の一つの非黒色帯72の端部及び、右部分70
の一つの非黒色帯72の端部が同じ右の線上に沿っている
ような、多数の点が生成される。そのような水平線と一
致する、非黒色帯72の端部は、非見当合せ端部76と呼ば
れる。そのような水平線と一致しない、非黒色帯72の反
対の端部は、見当合せ端部78と呼ばれる。なお、図5a
及び図5bの各々が本発明の特徴を表している。
び図5bの非黒色パターン66は、、交差プロセスレジス
トレーションエラーを測定すべく、カラーレジストレー
ションテストパターン58の2つの領域(58a,58b)を
形成するために、お互いに重なって位置している。本発
明の目的のために、黒パターン60は、非黒色パターン66
の上にありうるし、その逆でありうる。組み合わせれた
パターンの鍵は、物理的に2つのパターンを位置させる
ことによって、非黒色パターン66の各見当合せ端部78
が、正確に黒パターン60の反対側の黒帯62の端部と一致
するようにすることである。これにより、黒パターン60
と非黒色パターン66の組合せが、記号付け材料で完全に
背景表面を覆う、完璧なレジストレーション条件が定義
される。更に、これにより、非黒色パターン66の見当合
せ端部78と反対側の黒帯62の端部の間の分離が最もわず
かである、背面の表面を露呈させるような点が定義され
る。そのような正確な、黒パターンと非黒色パターンの
位置決めが、ページ記述言語(PDL)あるいは、制御
器16内のパターンを定義するために用いられるビットマ
ップデータによって達成され、その位置決めは、機械読
み取り可能な画像データ18を介して、記号付けエンジン
(22あるいは30)に伝達される。図6は、黒パターン60
及び非黒色パターン66が、完璧なレジストレーションに
結合された状態を示す。
に、図7aは、負(-)の交差プロセレジストレーショ
ンエラーとともに表示された、カラーレジストレーショ
ンテストパターン58の交差プロセス領域(58a,58b)
を示す。もし、パターンが負(-)の交差プロセスレジ
ストレーションエラーを表すプロセスによって印刷され
れば、このようになる。図に示されるように、負(-)
の交差プロセスレジストレーションエラーによれば、非
黒色パターン66は、黒パターン60及び図6の完璧なレジ
ストレーション条件に対して、下にずらされる。最も少
ない下方向へのずれが、カラーレジストレーションテス
トパターン58の負(-)の交差プロセス領域58aで、線
を開き、背景表面を露呈させることは明白である。
トレーションエラーとともに表示された、カラーレジス
トレーションテストパターン58の交差プロセス領域(58
a,58b)を示す。もし、パターンが正(+)の交差レ
ジストレーションエラーを表すプロセスによって印刷さ
れれば、このようになる。図に示されるように、正
(+)の交差プロセスレジストレーションがあると、非
黒色パターン66は、黒パターン60及び図6の完璧なレジ
ストレーション条件に比較して、上方向にずらされる。
最も少ない上方向へのずれは、カラーレジストレーショ
ンテストパターン58の正+)の交差プロセス領域58b
で、線を開き、背景表面を露呈させることは明白であ
る。なお、図7a及び図7bのp双方が本発明の特徴を
表している。
は、本発明の一つの実施例に対応した、光受容ベルト32
の上から見た、光受容ベルト32上の、カラーレジストレ
ーションテストパターン58についてのものであったこと
を理解して欲しい。カラーレジストレーションテストパ
ターン58が、光受容ベルト32の上ではなく、ターゲット
基板45あるいは中間基板の上で検知されるような、数多
くの他の実施例について議論されてきた。そのような他
の実施例では、カラーレジストレーションテストパター
ン58は、ターゲット基板45あるいは中間基板の上で眺め
られたときには、交差プロセス方向Dr’で反転される
こと、及び、交差プロセスレジストレーションに関する
左と右の関係が反転されることが理解されなければなら
ない。同様に、カラーレジストレーションテストパター
ン58の負(-)及び正(+)の領域(58a,58b,58c,
58d)は、与えられた参照点に対する相対的なものであ
り、いかなる実施例においても、実際には、反転される
かもしれない。また、いかなる実施例における、カラー
レジストレーションテストパターン58を含む領域(58
a,58b,58c,58d)の順序あるいは位置に関して、
いかなる組合せも許容される。
ンテストパターン58の各領域(58a,58b,58c,58
d)の反射率あるいは濃度を測定する。これらの4つの
測定によって、非黒色の、現在のカラーレジストレーシ
ョンが、負(-)交差プロセス,正(+)交差プロセス,
負(-)プロセス、及び正(+)プロセス方向、に対して
測定されていることが示される。各測定のために、光セ
ンサー42は、光源によって領域(例えば58a)を照射
し、全領域(例えば58a)の代表的な副部分の平均反射
率(Ravg)あるいは平均濃度(Dravr)を検知
する。試料表面の反射率は、一般的には、試料表面によ
って反射された光エネルギー(Rs)と、完璧な反射表
面によって反射されうる総光エネルギー(Rt)との比
によって表される。Rtはまた、試料表面を照射する入
射光エネルギーとしても特徴付けられることを理解して
欲しい。この比は、反射率として知られ、以下の方程式
で表される。
は、ある反射率(R)に対応する。濃度(Dr)は、以
下の方程式に示されるように、10を底とする反射率
(R)のロガリズムの負数である。
ターン58の領域(例えば58a)は、試料表面(Rs)で
ある。領域(例えば58a)の反射率あるいは濃度(D
r)の測定は、背景表面(Rb)と比較された、相対的
測定である。そのような状態で、背景表面の反射率(R
b)は方程式
以下の方程式で与えられる。
めに、背景表面の反射率(Rb)は高くなければなら
ず、カラーレジストレーションテストパターン58を生成
するために用いられる黒及び非黒色記号付け材料の反射
率は、非常に低くなければならない。例えば、もし、背
景表面が白なら、可視スペクトラムでの全ての光に対し
て高い反射となる。黒パターン60を生成するために用い
られる、黒の記号付け材料は、可視スペクトラムでの全
ての光に対して、白に比べて、非常に低い反射率を持
つ。従って、黒色の色素は、黒の鮮鋭度によって全ての
色を吸収するため、テストパターンの黒部分の測定のた
めの照射の色は、決定的ではない。しかし、非黒色パタ
ーン66を生成するために用いられる非黒色記号付け材料
が、白に比べて、非常に小さな反射率を持つために、照
射光の色、あるいは検知される光の色は、非黒色の補色
でなければならない(即ち、黄色に対して青の光,マゼ
ンタに対して緑の光,シアンに対して赤の光)。それゆ
え、光センサ42は、カラーレジストレーションテストパ
ターン58の領域(例えば58)を補色の色の光線で照射、
あるいは、検知器と共に補色のフィルタあるいはレンズ
を用いなければならない。議論されたように、広い面積
の光センサ42が、カラーレジストレーションテストパタ
ーン58の各領域(58a,58b,58c,58d)の平均反射
率(Ravr)あるいは平均濃度(Dravr)を測定
する。光センサ42は、フィードバック信号24として、そ
の測定結果を制御器16に与える。反射率測定のために
は、制御器16は、方程式
(Dravg)に変換しうる。そのような変換は、背景
反射率(Rb)が1.0の反射率に正規化される、という
仮定に基づく。これは、実際の、記号付け材料なしの、
クリーンな背景表面の、光センサ42による反射率の測定
は、表面の更なる測定のための基準と考えられることを
意味する。これによって、方程式
率が1.0であると測定するように校正されたときの、与
えられた試料の反射率である。
の相補領域に基づく測定値への、あるいは各領域の測定
値から完璧なレジストレーション用の記憶された既知の
値への、平均反射率(Ravr)あるいは平均濃度(D
ravr)に基づいて、レジストレーションエラーが存
在するか否かを決定するために、動作する。もし、レジ
ストレーションエラーが確認されれば、制御器16は測定
値を用いて、レジストレーションエラーを推定する。最
後に、制御器16は、ミスレジストレーション状態を訂正
するために動作する。
均濃度(Dravr)の測定を理解するために、結合さ
れた黒パターンと非黒色パターンが、完璧なレジストレ
ーション状態で、どのように、異なった反射率の3つの
領域を持ち、それに従って、異なる濃度を持つ、複合パ
ターンを生成するかを理解しなければならない。完璧な
レジストレーションでは、図6に示されるように、複合
パターンは、順番に反復性の黒領域80,黒/非黒色の混
合された領域82,及び非黒色領域84を含む。図8aは、
黒領域80,黒/非黒色の混合された領域82,及び非黒色
領域84を順番に持つ、図6の負(−)交差プロセス領域
58aの部分の拡大図を示す。領域(例えば58a)の平均
反射率(Ravr)は、各エリア(80,82,84)の反射
率あるいは濃度を顕微鏡的に測定し、その後平均化プロ
セスをマニュアルで実行することによって計算できる。
領域(例えば58a)の平均濃度(Dravr)は、平均
反射率(Ravr)から計算されうる。また、領域(例
えば58a)の平均反射率(Ravr)は、各領域の平均
濃度から計算されうる。例えば、図8aを参照し、非黒
色がマゼンタと仮定すると、異なる反射率/濃度を持つ
3つの領域は、黒領域80,黒/マゼンタの混合領域82,
及びマゼンタの領域84である。各エリア(80,82,84)
の反射率及び濃度、及び背景表面の反射率及び濃度を測
定するために、緑の光源を持つ顕微鏡的なセンサーを使
用したと仮定すると、その領域(例えば58a)について
の平均反射率(Ravr)及び平均濃度(Dravr)
の計算は、以下の表の基準に従うことになる。
0,82,84)の重み付けされた微細反射率を合計するこ
とによって計算される。平均濃度(Dravr)は、方
程式
る。もし必要なら、方程式
(80,82,84)の反射率が、各エリア(80,82,84)の
濃度から計算されうる。
は背景を測定する際のゼロ値が生成されれば、方程式
各エリア(80,82,84)の反射のため、各エリア(80,
82,84)の重み付けされた反射のため、領域(例えば58
a)の平均反射率(Ravg)のため、そして、領域
(例えば58a)の平均濃度(Dravg)のために計算
された値を示す。反射率は、測定済みの顕微鏡的濃度か
ら、方程式
は、計算済みの反射率に、領域(例えば58a)に対する
エリア(80,82,84)の範囲を乗算することによって計
算される。平均反射率(Ravg)は、各エリア(80,
82,84)の重み付けされた反射率を合計することによっ
て計算される。平均濃度(Dravg)は方程式
ーレジストレーションエラーを推定するかを理解するた
めには、カラーレジストレーションエラーが存在すると
きに、いかに、黒パターンと非黒色パターンの結合が、
異なった反射率を(そして、それに従って、異なる濃度
を)持つ4つの領域からなる複合パターンを生成するか
を、理解しなければならない。例えば、図7aに示され
るように、負の(−)交差プロセスレジストレーション
エラーの場合、負の(−)交差プロセス領域58aでの複
合パターンは、順番に反復する黒の領域80,黒/非黒色
の混合領域82,非黒色領域84,及び、背景表面を露呈さ
せる記号付けされない領域86を含む。図8bは、順番
に、黒の領域80,黒/非黒色の混合領域82,非黒色領域
84,及び、記号付けされない領域、を持つ、図7aの負
の(−)交差プロセス領域58a部分の拡大図を示す。記
号付けされない領域86はゼロであり、それゆえ図8aに
は示されないことを知って欲しい。完璧なレジストレー
ションの場合において説明されたように、異なる反射率
/濃度の、複数のエリア(80,82,84,86)を持つ領域
(例えば58a)の平均反射率(Ravg)及び平均濃度
(Dravg)は、各エリア(80,82,84,86)の重み
付けされた反射率を決定することによって計算される。
更に、以下の方程式を用いてカラーレジストレーション
エラーを予想するために、カラーレジストレーションエ
ラーが存在するときの、領域(例えば58a)の平均濃度
(De)と組み合わされた、相補領域(例えば58b)の
測定済みの平均濃度、あるいは、Deと組み合わされ
た、完璧なレジストレーション用領域の平均濃度の既知
の値(Dr)の格納値を用いることができる。
“De”はカラーレジストレーションエラーを持つ平均
濃度、Drは完璧なレジストレーション用のあるいは相
補領域(例えば58b)用の平均濃度である。
マクロの光学センサを用いて測定されるかもしれない。
一方、測定は、顕微鏡的光学センサを用い、平均値を、
個々の測定値からあるいは領域内の各エリアから計算し
てなされるかもしれない。以下の例は、測定が、顕微鏡
的視野を持つ光センサーを用いてなされることを想定す
る。カラーレジストレーションエラーが存在するとき
の、領域(例えば58a)の平均反射率(Ravg)を計
算するためには、試料の表面の総エリアに対する、エリ
ア(80,82,84,86)の範囲が考慮されねばならぬこと
を理解しなければならない。カラーレジストレーション
テストパターンの設計に基づいて、領域(例えば58a)
平均反射率(Ravg)を表す最小の試料表面は、黒パ
ターン60中の、一つの黒帯62と一つの空白64のの結合さ
れた幅である。もし、黒帯62の幅が、方程式
た“a”であり、結合された幅は“2a”である。最小
試料表面の総エリアに対する、各エリア(80,82,84,
86)の範囲は、各エリア(80,82,84,86)の幅と関連
して観察されうる。図8aを参照すると、“a”に対応
させると、黒エリア80の幅は“a/2”であり、黒/非
黒色の混合カラーエリア82の幅は“a/2”で、非黒色
のカラーエリア84の幅は“a”である。図8bを参照し
て、記号付けされていないエリア86(“x”として規定
される)の発生によって、黒エリア80及び非黒色カラー
エリア84の幅が、それらに対応する図8aの幅に比べて
より小さくなっており、これによって、黒/非黒色混合
カラーエリア82の幅が、対応する8aの幅より大きくな
っていることに注意して欲しい。カラーレジストレーシ
ョンエラーが存在するとき、“x”はゼロより大きいこ
とに注意して欲しい。逆に、完璧なレジストレーション
下では、“x”はゼロに等しい。これらの特徴は、カラ
ーレジストレーションエラーが存在するときに、領域
(例えば58a)に対する各エリア(80,82,84,86)の
範囲を決定するために用いられ得る。例えば、非黒色が
マゼンタと仮定すると、領域(例えば58a)中の、各4
つのエリア(80,82,84,86)の範囲が、以下の方程式
を用いて決定されうる、
は、測定済み、あるいは、計算済みの各エリア(80に対
してRk,82に対してRmk,84に対してRk,86に対
してRb)内の反射率と、各エリアの範囲を、乗算する
ことによって計算される。カラーレジストレーションエ
ラーが存在するときの、領域(例えば58a)の平均反射
率(Ravg,x>0)は、以下の方程式に従って、各
エリア(80,82,84,86)の重み付けされた反射率を累
計することによって計算される。
璧なレジストレーションでの平均反射率(Ravg,x
=0)を表す以下の方程式が導かれる。
0)を、方程式
以下の方程式が導かれる。
以下の方程式が導かれる。
さい値であり、上述のように、それぞれが総エリアの一
部分を占有するという事実から、Rmkの代わりにRm
Rkを用いることには合理性がある。方程式
が導かれる。
かれる。
ない反射率を持って検知されることに基づく。それゆ
え、カラーレジストレーションエラー推定の目的のため
には、黒エリアの反射率(Rk)及び非黒色エリアの反
射率(Rm)がほぼ同一の反射率を持つと考えうる。方
程式
結合すると、以下の方程式が得られる。
反射率値(Rm)はそれぞれ、測定済みの値Ravg,
x=0でほぼ近似できる。方程式
得られる。
=0)と置換し、(Ravg,x>0)を(Dravg,
x>0)と置換することによって、以下の方程式が得ら
れる。
ジストレーションエラーを推定するために用いられる方
程式として特定された方程式
クロあるいは比較的広いエリアの測定を行い、その視野
を通して測定値が平均化される、光センサー42が本発明
に最も適していることが仮定される。もし、光センサ42
が、濃度データを提供するなら、方程式
ンサ42が反射データを表すなら、方程式
リア82,及び非黒領域84の反射率(方程式
ストレーションエラーを推定することに注意して欲し
い。実際には、これらのエリアは正確には等しくない。
それにも関わらず、実際のレジストレーションエラーが
ゼロに近づくと、方程式
は、ゼロに近づく。これは、テストパターン58の固有の
特性である。なぜなら、実際のレジストレーションエラ
ーがゼロに近づくと、相補領域(例えば58a,58b)の
反射/濃度測定値はお互いに近づき、完璧なレジストレ
ーションでの値に近づくからである。これ故に、方程式
決定するために、及び、レジストレーションエラーが存
在するときに、それを推定するための簡易化された、そ
して、適切な手段を提供するために好適である。
レジストレーションテストパターン58の拡大図が示され
ている。この図には、カラーレジストレーションテスト
パターンの2つの組が含まれる。58a及び58bは、交差
プロセスレジストレーションの測定を可能とし、58c及
び58dは、プロセス方向のレジストレーションの測定を
可能とする。この図は、カラーレジストレーションテス
トパターン58の4つの領域(58a,58b,58c,58d)
が、本発明の実施例に従って、光受容器上で一つの色の
分離のために用いられるために開発された場合を示す。
ある色分離のカラーレジストレーションの意味付けは主
に、交差プロセス領域(58a,58b)を参照して説明さ
れてきたが、他の2つの領域58c,及び58dは、領域58
a,58bと同一であるが、プロセス方向のカラーレジス
トレーションエラーを示すために、異なる方向に回転さ
せられていることに注意して欲しい。正の(+)交差プ
ロセス領域58bは、領域58aの方向に対して、約180度
右に回転させられている。負の(−)プロセス領域58c
は、領域58aに対して、約90度右方向に回転させられ
ている。正(+)プロセス領域58dは、領域58aに対し
て約270度右に回転させられている。これによって、い
かなる領域での反射率及び濃度の測定及び計算も、領域
58aで説明された測定及び計算と同一である。本発明の
カラーレジストレーションテストパターン58は、図3,
4,9に示された領域(58a,58b,58c,58d)に限定
されないことが理解される。反対に、本発明は、以上の
発明の詳細な説明及び特許請求の範囲の意図及び目的の
範囲に含まれるような、カラーレジストレーションテス
トパターン58の全ての代替物,変形物,均等物に適用さ
れることが意図されている。
トフォームのブロック図。
真記号付けエンジン。
ら見た、光受容ベルトの部分の上面図。
ら見た、別の光受容ベルトの部分の上面図。
む、横断プロセスカラーレジストレーションテストパタ
ーン。
ーションエラーを持つ、図6のテストパターン。
ーションエラーを持つ、図6のテストパターン。
図6のテストパターンの部分の拡大図。
つ、図6のテストパターンの部分の拡大図。
レーションテストパターンの拡大図。
Claims (5)
- 【請求項1】(a)黒色分離を表す黒色記号付け材料、
及び非黒色分離を表す非黒色記号付け材料を用いて、画
像受容部上で、テストパターンの第一の領域及びテスト
パターンの第二の領域を記号付けし、 (b)光源で前記第一の領域を照射して、反射された光
線を検知し、 (c)光源で前記第二の領域を照射して、反射された光
線を検知し、そして、 (d)前記第一の領域で反射された光線と、前記第二の
領域で反射された光線を比較することによって、前記非
黒色分離及び前記黒色分離の間のレジストレーションを
決定するステップを含む、多色記号付けプラットフォー
ムでレジストレーションを測定するための方法。 - 【請求項2】ステップ(d)が、 (e)前記第一の領域から検知された光線を、前記第一
の領域の反射率を示す第一の信号に変換し、 (f)前記第二の領域から検知された光線を、前記第二
の領域の反射率を示す第二の信号に変換し、 (g)前記第一の信号及び前記第二の信号を互いに比較
することによって、前記非黒色分離、及び前記黒色分離
が、互いに適切なレジストレーションであるか否かを決
定するステップを更に含む、請求項1に記載の多色記号
付けプラットフォームでレジストレーションを測定する
ための方法。 - 【請求項3】(h)前記非黒色分離及び前記黒色分離
が、互いに適切なレジストレーションでないときに、レ
ジストレーションエラーの量を推定するステップを更に
含む、請求項2に記載の多色記号付けプラットフォーム
でレジストレーションを測定するための方法。 - 【請求項4】(a)黒色分離を表す黒の記号付け材料、
及び、非黒色分離を表す非黒色記号付け材料を用いて、
画像受容部上のテストパターンの第一の領域を記号付け
し、 (b)前記第一の領域を光源で照射し、反射された光線
を検知し、 (c)前記第一の領域によって反射された光線と、第一
の格納された既知の基準値を比較することによって、前
記非黒色分離及び前記黒色分離の間のレジストレーショ
ンを決定するステップを含む、多色記号付けプラットフ
ォームでレジストレーションを測定するための方法。 - 【請求項5】複数の記号付け材料であって、各記号付け
材料が異なる色分離を表す記号付け材料を記号付けする
ための画像記号付け部と、 複数の記号付け材料を受容するための画像受容部と、 前記画像受容部上の複数のテストパターンであって、各
テストパターンが、前記異なる色分離に応じたレジスト
レーションを表示するように配置された2つの記号付け
材料を含むテストパターンの記号付けを制御するための
制御器と、 前記複数のテストパターンのいずれか一つによって、前
記テストパターンを照射する光源に対する角度で、反射
された光線を測定するためのセンサーを含む、多色記号
付けプラットフォームにおける画像レジストレーション
検知システム。
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