JP2002257550A - 圧電振動ジャイロ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度で性能のばらつき及び劣化が少なく容
易に組み立て実装が可能な接続支持構造を有する圧電振
動ジャイロを提供すること。 【解決手段】 ここでの一軸方向に延びた屈曲振動子で
ある棒状の圧電振動子１１を複数の導電性の支持部材１
２を用いて枠体１４に接続支持固定して成る接続支持構
造では、各支持部材１２の形状を改良し、圧電振動子１
１の屈曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面と接合される中
央接合片部１２ａと、中央接合片部１２ａの両側からそ
れぞれ一軸方向を含む一平面上における一軸方向と垂直
な方向に延在する局部を含むように線状に屈曲して延び
た線状屈曲片部１２ｂと、線状屈曲片部１２ｂの端側に
それぞれ設けられて枠体２４の所定箇所に配設された導
電部２５と接合される端側接合片部１２ｃとによる一体
的に形成された全体が一平面上に配置される平坦な板状
とし、枠体２４も全体が平坦な板状としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、主として自動車の
ナビゲーションシステムやカメラ一体型ＶＴＲの手振れ
防止装置等に用いられるジャイロスコープに属される棒
状屈曲振動を利用した圧電振動ジャイロであって、詳し
くは屈曲振動子である棒状の圧電振動子を支持部材を用
いて枠体に接続支持固定して成る接続支持構造を改良し
た圧電振動ジャイロに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の圧電振動ジャイロは、振
動している物体に回転角速度が与えられると、その振動
方向と垂直な方向にコリオリ力が発生するという力学現
象を利用したジャイロスコープとして知られている。

【０００３】一般に、圧電振動ジャイロでは、互いに直
交する２つの異なる方向の励振とその検出とが可能であ
るように構成した複合振動系において、一方の振動を励
振した状態で振動体（圧電振動子）自体を２つの振動面
が交わる線と平行な軸を中心軸として回転させると、上
述したコリオリ力の作用によりこの振動と直角な方向に
力が作用し、その方向に新たに他方の振動が振動され
る。この新たな振動の大きさは、入力側の振動の大きさ
及び振動体に加えられた回転角速度に比例するため、入
力電圧を一定にした場合、出力電圧の大きさから回転角
速度の大きさを求めることができる。因みに、振動体に
電極パターンが形成された状態では、入力側の振動の大
きさは振動体の駆動電極に印加される入力電圧としての
駆動電圧により発生する駆動振動の振幅を示し、出力電
圧は検出電極から得られる検出電圧となる。

【０００４】図３は、従来の圧電振動ジャイロ３０の要
部を成す圧電振動子３１を支持部材３２を用いて枠体３
４に接続支持固定して成る接続支持構造を示した外観全
体の斜視図である。

【０００５】ここでの接続支持構造は、一軸方向に延び
た屈曲振動子である円柱棒状の圧電振動子３１における
屈曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面として、その外周側
面の局部において一軸方向に沿ってほぼ対向して帯状に
設けられた図示されない電極上の所定の間隔を隔てた２
箇所（但し、圧電振動子３１の上側面，下側面における
対向部分を含む総計４箇所としても良い）に対し、導電
性の弾性材質から成る支持部材３２の略中央部分に一体
的に形成された長方形状の中央接合片部３２ａの全体を
半田付け或いは導電性接着剤により接合すると共に、こ
の中央接合片部３２ａから両側にそれぞれ高さ方向屈曲
部３２ｂ′を含んで線状に屈曲して延びた線状屈曲片部
３２ｂの端側に形成された端側接合片部３２ｃの全体を
非導電性の枠体３４の平坦面の所定箇所（但し、ここで
も図示される範囲の一対の支持部材３２の両端に相当す
る４箇所を示す以外、枠体３４の上面，下面における対
向部分を含む総計８箇所としても良い）に配設された導
電部３５に半田付け或いは導電性接着剤により接合する
ことにより、圧電振動子３１をそれぞれ支持部材３２を
用いて枠体３４に接続支持固定して成っている。

【０００６】即ち、ここでの各支持部材３２は、何れも
導電性の弾性材質から成るもので、圧電振動子３１の屈
曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面と接合されると共に、
一軸方向に延びて幅広に拡大された長方形状の中央接合
片部３２ａと、この中央接合片部３２ａの両端からそれ
ぞれ一軸方向を含む一平面上における一軸方向と垂直な
方向に延びた局部、及び一平面と垂直な方向で規定され
る高さ方向に延びた高さ方向屈曲部３２ｂ′を含むよう
に線状に屈曲して延びた細長い線状屈曲片部３２ｂと、
これらの線状屈曲片部３２ｂの端側にそれぞれ設けられ
て枠体３４の所定箇所に配設された導電部３５と接合さ
れると共に、一軸方向に延びて幅広に拡大された長方形
状の端側接合片部３２ｃとが一体的に形状されて成って
いる。又、枠体３４は、導電部３５の外方で一軸方向に
沿って延在する対向辺部からそれぞれ一平面と垂直な方
向で規定される高さ方向へ延びた鍔部を有している。

【０００７】このような接続支持構造は、各支持部材３
２の両端側が枠体３４に取り付けられるが、このときに
圧電振動子３１の屈曲運動に対して各支持部材３２によ
る拘束を少なくすることで安定したジャイロ特性を得る
必要により、各支持部材３２の材質を弾性を有する弾性
材質としている。

【０００８】因みに、圧電振動ジャイロ３０を完成品と
して作製する場合、更に圧電振動子３１の外周面に電極
パターンとして配備された電極（詳しくは駆動用電極，
検出用電極，及び共通アース用電極を含む）に対してリ
ード線等を介して電気回路系としての駆動・検出用回路
を接続する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述した圧電振動ジャ
イロの場合、その接続支持構造に用いられる各支持部材
が平坦な形状でなく、線状屈曲片部において高さ方向屈
曲部を含むように平坦面に対して高さ方向に屈曲された
形状を有するものであるため、支持部材を作成するとき
に曲げ加工を施す必要があるが、この曲げ加工によって
支持部材の形状にばらつきが生じ易く、こうしたばらつ
きを有する支持部材を用いると圧電振動子に加えられる
ストレスが変化してしまい、これが性能を劣化させる要
因となってしまうという問題がある。

【００１０】又、上述した圧電振動ジャイロの場合、組
み立て実装時に位置決め及び実装のために各支持部材自
体をハンドリングしているが、このハンドリングによる
各支持部材の位置決めが非常に困難であって、しばしば
実装直前に最終的に不要な箇所を切断する必要がある
等、組み立て実装を容易に行うことができないという問
題がある他、各支持部材がハンドリングにより変形され
易く、こうしたときに感度低下を引き起こし易いという
問題もある。

【００１１】本発明は、このような問題点を解消すべく
なされたもので、その技術的課題は、高感度で性能のば
らつき及び劣化が少なく容易に組み立て実装が可能な接
続支持構造を有する圧電振動ジャイロを提供することに
ある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、一軸方
向に延びた屈曲振動子である棒状の圧電振動子を複数の
導電性の支持部材を用いて枠体に接続支持固定して成る
接続支持構造を有する圧電振動ジャイロにおいて、複数
の支持部材は、圧電振動子の屈曲振動節点近傍の表面と
接合される中央接合片部と、中央接合片部の両側からそ
れぞれ一軸方向を含む一平面上における該一軸方向と垂
直な方向に延在する局部を含むように線状に屈曲して延
びた線状屈曲片部と、線状屈曲片部の端側にそれぞれ設
けられて枠体の所定箇所に配設された導電部と接合され
る端側接合片部とが一体的に形成され、且つ該中央接合
片部，該線状屈曲片部，及び該端側接合片部による全体
が該一平面上に配置される平坦な板状であり、枠体は、
全体が平坦な板状である圧電振動ジャイロが得られる。

【００１３】又、本発明によれば、上記圧電振動ジャイ
ロにおいて、複数の支持部材は、端側接合片部から一平
面上における一軸方向と垂直な方向に延在する位置決め
固定部を一体的に有しており、枠体は、導電部の外方で
一軸方向に沿って延在する対向辺部からそれぞれ平面と
垂直な方向で規定される高さ方向へ延びた鍔部を有し、
且つ該鍔部には位置決め固定部を支持するために切り欠
かれた切り欠き部が形成された圧電振動ジャイロが得ら
れる。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下に実施例を挙げ、本発明の圧
電振動ジャイロについて、図面を参照して詳細に説明す
る。

【００１５】図１は、本発明の一実施例に係る圧電振動
ジャイロ１０の要部を成す圧電振動子１１を支持部材１
２を用いて枠体１４に接続支持固定して成る接続支持構
造を示した外観全体の斜視図である。

【００１６】ここでの接続支持構造は、一軸方向に延び
た屈曲振動子である円柱棒状の圧電振動子１１における
屈曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面として、その外周側
面の局部において一軸方向に沿ってほぼ対向して帯状に
設けられた図示されない電極上の所定の間隔を隔てた２
箇所（但し、ここでも圧電振動子１１の上側面，下側面
における対向部分を含む総計４箇所としても良い）に対
し、導電性の弾性材質から成る支持部材１２の略中央部
分に一体的に形成された長方形状の中央接合片部１２ａ
の全体を半田付け或いは導電性接着剤により接合すると
共に、この中央接合片部１２ａから両側にそれぞれ線状
に屈曲して延びた線状屈曲片部１２ｂの端側に形成され
た端側接合片部１２ｃの全体を非導電性の枠体１４の平
坦面の所定箇所（但し、ここでも図示される範囲の一対
の支持部材１２の両端に相当する４箇所以外、枠体１４
の上面，下面における対向部分を含む総計８箇所として
も良い）に配設された導電部１５に半田付け或いは導電
性接着剤により接合することにより、圧電振動子１１を
それぞれ支持部材１２を用いて枠体１４に接続支持固定
して成っている。

【００１７】但し、ここでの接続支持構造の場合、中央
接合片部１２ａ，線状屈曲片部１２ｂ，及び端側接合片
部１２ｃが一体的に形成されて成る支持部材１２の全体
が一平面上に配置されるように平坦な板状となってお
り、枠体１４は全体が平坦な板状となっている。

【００１８】即ち、ここでの各支持部材１２は、何れも
導電性の弾性材質から成るもので、圧電振動子１１の屈
曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面と接合されると共に、
一軸方向に延びて幅広に拡大された長方形状の中央接合
片部１２ａと、この中央接合片部１２ａの両端からそれ
ぞれ一軸方向を含む一平面上における一軸方向と垂直な
方向に延びた局部を含むように線状に屈曲して延びた細
長い線状屈曲片部１２ｂと、これらの線状屈曲片部１２
ｂの端側にそれぞれ設けられて枠体１４の所定箇所に配
設された導電部１５と接合されると共に、一軸方向に延
びて幅広に拡大された長方形状の端側接合片部１２ｃと
が一平面上に配置されるように平坦な板状で一体的に形
状されて成っている。又、枠体１４は、導電部１５の外
方で一軸方向に沿って延在する対向辺部からそれぞれ一
平面と垂直な方向で規定される高さ方向へ延びた鍔部を
有しておらず、導電部１５の外方の対向辺部を含む全体
が平坦な板状となっている。

【００１９】このような構成の各支持部材１２及び枠体
１４を用いた接続支持構造の場合、各支持部材１２にお
ける中央接合片部１２ａ，線状屈曲片部１２ｂ，及び端
側接合片部１２ｃによる全体が一平面上に配置されるよ
うに平坦な板状であって、一平面上と垂直な方向で規定
される高さ方向屈曲部を持たない形状であることによ
り、支持部材１２を作成するときの加工が曲げ加工を要
する支持部材３２を作成する場合よりも格段に簡単とな
り、形状にばらつきを生じ難く簡単に量産することがで
きるため、支持部材１２の形状のばらつきに起因する圧
電振動子１１の性能劣化を防止できる。又、各支持部材
１２の全体が平坦な形状であり、枠体１４も全体が平坦
な板状であることにより、組み立て実装時に位置決め及
び実装のために各支持部材１２自体をハンドリングする
手間が掛からず、各支持部材１２の位置決めが簡単にな
り、実装直前に最終的に不要な箇所を切断するような必
要が殆どなくなる等、組み立て実装を容易に行うことが
できる他、各支持部材１２がハンドリングにより変形さ
れ難く、こうしたときにしばしば生じていた感度低下の
問題を解消できる。

【００２０】従って、このような接続支持構造を適用し
て圧電振動ジャイロ１０を作成すれば、高感度で性能の
ばらつき及び劣化が少なく容易に組み立て実装が可能と
なり、高性能（感度）な圧電振動ジャイロ１０を容易に
効率良く量産できる。

【００２１】図２は、本発明の他の実施例に係る圧電振
動ジャイロ２０の要部を成す圧電振動子２１を支持部材
２２を用いて枠体２４に接続支持固定して成る接続支持
構造を示した外観全体の斜視図である。

【００２２】この接続支持構造の場合、先の一実施例の
場合と比べ、支持部材２２が中央接合片部２２ａ，線状
屈曲片部２２ｂ，及び端側接合片部２２ｃを有する他、
端側接合片部２２ｃから一平面上における一軸方向と垂
直な方向に延在する位置決め固定部２２ｄを一体的に有
している点と、枠体２４が導電部２５の外方で一軸方向
に沿って延在する対向辺部からそれぞれ平面と垂直な方
向で規定される高さ方向へ延びた鍔部を有し、且つ鍔部
には位置決め固定部２２ｄを支持するために切り欠かれ
た切り欠き部２６が形成された点とが相違している。

【００２３】即ち、ここでの接続支持構造は、一軸方向
に延びた屈曲振動子である円柱棒状の圧電振動子２１に
おける屈曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面として、その
外周側面の局部において一軸方向に沿ってほぼ対向して
帯状に設けられた図示されない電極上の所定の間隔を隔
てた２箇所（但し、ここでも圧電振動子２１の上側面，
下側面における対向部分を含む総計４箇所としても良
い）に対し、導電性の弾性材質から成る支持部材２２の
略中央部分に一体的に形成された長方形状の中央接合片
部２２ａの全体を半田付け或いは導電性接着剤により接
合すると共に、この中央接合片部２２ａから両側にそれ
ぞれ線状に屈曲して延びた線状屈曲片部２２ｂの端側に
形成された端側接合片部２２ｃの全体を非導電性の枠体
２４の平坦面の所定箇所（但し、ここでも図示される範
囲の一対の支持部材２２の両端に相当する４箇所以外、
枠体２４の上面，下面における対向部分を含む総計８箇
所としても良い）に配設された導電部２５に半田付け或
いは導電性接着剤により接合するとき、端側接合片部２
２ｃから延びた位置決め固定部２２ｄが枠体２４の鍔部
に形成された切り欠き部２６に支持（但し、上述した増
設構成を適用する場合には図示のような上面側に切り欠
き部２６が形成された鍔部を有する構成とする以外、下
面側にも同様に切り欠き部２６が形成された鍔部を有す
る構成とすれば良い）され、組み立て実装時の位置決め
及び実装が極めて簡単に行われて接合されることによ
り、圧電振動子２１をそれぞれ支持部材２２を用いて枠
体２４に接続支持固定して成っている。

【００２４】即ち、ここでの各支持部材２２は、何れも
導電性の弾性材質から成るもので、圧電振動子２１の屈
曲振動節点Ｎ１，Ｎ２近傍の表面と接合されると共に、
一軸方向に延びて幅広に拡大された長方形状の中央接合
片部２２ａと、この中央接合片部２２ａの両端からそれ
ぞれ一軸方向を含む一平面上における一軸方向と垂直な
方向に延びた局部を含むように線状に屈曲して延びた細
長い線状屈曲片部２２ｂと、これらの線状屈曲片部２２
ｂの端側にそれぞれ設けられて枠体２４の所定箇所に配
設された導電部２５と接合されると共に、一軸方向に延
びて幅広に拡大された長方形状の端側接合片部２２ｃ
と、これらの端側接合片部２２ｃからそれぞれ一平面上
における一軸方向と垂直な方向に延在する位置決め固定
部２２ｄとが一平面上に配置されるように平坦な板状で
一体的に形状されて成っている。又、枠体２４は、導電
部２５の外方で一軸方向に沿って延在する対向辺部から
それぞれ一平面と垂直な方向で規定される高さ方向へ延
びた鍔部を有しており、鍔部には上述したように位置決
め固定部２２ｄを支持するために切り欠かれた切り欠き
部２６が形成されている。

【００２５】このような構成の各支持部材２２及び枠体
２４を用いた接続支持構造の場合、各支持部材２２にお
ける中央接合片部２２ａ，線状屈曲片部２２ｂ，端側接
合片部２２ｃ，及び位置決め固定部２２ｄによる全体が
一平面上に配置されるように平坦な板状であって、一平
面上と垂直な方向で規定される高さ方向屈曲部を持たな
い形状であることにより、支持部材２２を作成するとき
の加工が支持部材１２を作成する場合と比べて幾分複雑
化されるものの、曲げ加工を要する従来の支持部材３２
を作成する場合よりは簡単となり、形状にばらつきを生
じ難く簡単に量産することができるため、支持部材２２
の形状のばらつきに起因する圧電振動子１１の性能劣化
を防止できる。又、各支持部材２２の全体が平坦な形状
であり、枠体２４の鍔部には各支持部材２２の位置決め
固定部２２ｄを支持するための切り欠き部２６が形成さ
れていることにより、組み立て実装時に枠体２４の鍔部
に形成された切り欠き部２６に各支持部材２２の位置決
め固定部２２ｄが支持されて位置決め及び実装が自動的
に行われ、各支持部材２２自体をハンドリングする必要
がなく各支持部材２２の位置決めが非常に簡単になり、
実装直前に最終的に不要な箇所を切断するような必要が
なくなる等、組み立て実装を極めて容易に行うことがで
きる他、各支持部材２２がハンドリングにより変形され
ることがなくなるため、感度低下の問題を完全に解消で
きる。

【００２６】従って、このような接続支持構造を適用し
て圧電振動ジャイロ２０を作成すれば、一実施例の場合
の圧電振動ジャイロ１０よりも一層高感度で性能のばら
つき及び劣化が少なく容易に組み立て実装が可能とな
り、圧電振動ジャイロ１０よりも一層高性能（感度）な
圧電振動ジャイロ２０を容易に効率良く量産できる。

【００２７】尚、上述した各実施例の圧電振動ジャイロ
１０，２０の場合、何れも一軸方向に延びた円柱棒状の
圧電振動子１１，２１を用いた場合を説明したが、これ
を一軸方向に延びた角柱棒状の圧電振動子に形状変更し
て各支持部材１２，２２を用いて枠体１４，２４に接続
支持固定する構成としても良い。但し、この接続支持構
造の場合には、角柱棒状の圧電振動子の側面における屈
曲振動節点近傍の表面に各支持部材１２，２２が接合さ
れる構成となる。又、各実施例では各支持部材１２，２
２を圧電振動子１１，２１に設けられた電極上の所定箇
所に接続固定する場合を説明したが、これに代えて各支
持部材１２，２２を圧電振動子１１，２１上の電極以外
の屈曲振動節点近傍の表面に接続固定される構成として
も良い。更に、各実施例で説明した各支持部材１２，２
２の細部形状は、あくまでも具体的に例示したもので、
全体が一平面上に配置されるという基本構成を満たす限
り、用途や圧電振動子の形状に応じて適宜変更すること
ができる。

【００２８】

【発明の効果】以上に説明した通り、本発明の圧電振動
ジャイロによれば、一軸方向に延びた屈曲振動子である
棒状の圧電振動子を複数の導電性の支持部材を用いて枠
体に接続支持固定して成る接続支持構造を改良し、圧電
振動子の屈曲振動節点近傍の表面と接合される中央接合
片部と、この中央接合片部の両側からそれぞれ一軸方向
を含む一平面上における一軸方向と垂直な方向に延在す
る局部を含むように線状に屈曲して延びた線状屈曲片部
と、これらの線状屈曲片部の端側にそれぞれ設けられて
枠体の所定箇所に配設された導電部と接合される端側接
合片部とによる一体的に形成された各支持部材の形状を
全体が一平面上に配置される平坦な板状とし、枠体の方
も全体が平坦な板状とするか、或いは更に各支持部材の
形状を端側接合片部からそれぞれ一平面上における一軸
方向と垂直な方向に延在する位置決め固定部を一体的に
有するものとすると共に、枠体の方の形状を導電部の外
方で一軸方向に沿って延在する対向辺部からそれぞれ平
面と垂直な方向で規定される高さ方向へ延びた鍔部に位
置決め固定部を支持するために切り欠かれた切り欠き部
が形成された構成としているので、何れの場合にも各支
持部材の全体が一平面上に配置されるように平坦な板状
であって、一平面上と垂直な方向で規定される高さ方向
屈曲部を持たない形状であることにより支持部材を作成
するときの加工が簡単となり、その形状にばらつきによ
る圧電振動子の性能劣化を防止できるようになる他、前
者の構成の場合には組み立て実装時に位置決め及び実装
のために各支持部材自体をハンドリングする手間が殆ど
掛からず、各支持部材の位置決めが簡単になって、組み
立て実装を容易に行うことができるようになり、後者の
構成の場合には組み立て実装時に枠体の鍔部に形成され
た切り欠き部に各支持部材の位置決め固定部が支持され
ることにより組み立て実装時に位置決め及び実装が自動
的に行われて各支持部材自体をハンドリングする必要な
く各支持部材の位置決めが非常に簡単になり、一層組み
立て実装を容易に行うことができるようになる。従っ
て、このような接続支持構造を適用して圧電振動ジャイ
ロを作成すれば、高感度で性能のばらつき及び劣化が少
なく容易に組み立て実装が可能となり、結果として高性
能（感度）な圧電振動ジャイロを容易に効率良く量産で
きる（前者の構成よりも後者の構成の方が一層顕著にな
る）ようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る圧電振動ジャイロの要
部を成す圧電振動子を支持部材を用いて枠体に接続支持
固定して成る接続支持構造を示した外観全体の斜視図で
ある。

【図２】本発明の他の実施例に係る圧電振動ジャイロの
要部を成す圧電振動子を支持部材を用いて枠体に接続支
持固定して成る接続支持構造を示した外観全体の斜視図
である。

【図３】従来の圧電振動ジャイロの要部を成す圧電振動
子を支持部材を用いて枠体に接続支持固定して成る接続
支持構造を示した外観全体の斜視図である。

【符号の説明】

１０，２０，３０ 圧電振動ジャイロ １１，２１，３１ 圧電振動子 １２，２２，３２ 支持部材 １２ａ，２２ａ，３２ａ 中央接合片部 １２ｂ，２２ｂ，３２ｂ 線状屈曲片部 １２ｃ，２２ｃ，３２ｃ 端側接合片部 １４，２４，３４ 枠体 １５，２５，３５ 導電部 ２２ｄ 位置決め固定部 ２６ 切り欠き部 ３２ｂ′ 高さ方向屈曲部 Ｎ１，Ｎ２ 屈曲振動節点

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山崎 修 兵庫県宍粟郡山崎町須賀沢231番地 トー キンセラミクス株式会社内 Ｆターム(参考） 2F105 AA02 AA08 BB02 BB15 CC08 CD13

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一軸方向に延びた屈曲振動子である棒状
   の圧電振動子を複数の導電性の支持部材を用いて枠体に
   接続支持固定して成る接続支持構造を有する圧電振動ジ
   ャイロにおいて、前記複数の支持部材は、前記圧電振動
   子の屈曲振動節点近傍の表面と接合される中央接合片部
   と、前記中央接合片部の両側からそれぞれ前記一軸方向
   を含む一平面上における該一軸方向と垂直な方向に延在
   する局部を含むように線状に屈曲して延びた線状屈曲片
   部と、前記線状屈曲片部の端側にそれぞれ設けられて前
   記枠体の所定箇所に配設された導電部と接合される端側
   接合片部とが一体的に形成され、且つ該中央接合片部，
   該線状屈曲片部，及び該端側接合片部による全体が該一
   平面上に配置される平坦な板状であり、前記枠体は、全
   体が平坦な板状であることを特徴とする圧電振動ジャイ
   ロ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の圧電振動ジャイロにおい
   て、前記複数の支持部材は、前記端側接合片部から前記
   一平面上における前記一軸方向と垂直な方向に延在する
   位置決め固定部を一体的に有しており、前記枠体は、前
   記導電部の外方で前記一軸方向に沿って延在する対向辺
   部からそれぞれ前記一平面と垂直な方向で規定される高
   さ方向へ延びた鍔部を有し、且つ該鍔部には前記位置決
   め固定部を支持するために切り欠かれた切り欠き部が形
   成されたことを特徴とする圧電振動ジャイロ。