JP2002254287A - ワイヤソーのワイヤ送り方法及び送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤの送り動作に伴い、加工用ローラ上の
中間部分の環状溝に摩耗が発生するのを抑制することが
できて、加工用ローラの使用寿命を延ばすことができる
とともに、高精度の加工を行うことができるワイヤソー
のワイヤ送り方法及び送り装置を提供する。 【解決手段】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
ヤを一方向へ所定の送り量で送った後に、他方向へ前記
一方向の送り量よりも少ない送り量で送る。これを一送
りサイクルとして繰り返すことにより、ワイヤを一方向
へ一定量ずつ前進させる。加工用ローラ上でワイヤの一
方向送り時の加減速送り領域と他方向送り時の加減速送
り領域とがラップしないように、ワイヤの送り量を制御
する。この場合、ワイヤの一送りサイクル中で、その一
方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方に
て、ワイヤの送り量を変化させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ワイヤソーにお
いて複数の加工用ローラ間に巻回されたワイヤを送り制
御するためのワイヤの送り方法及び送り装置に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ワイヤソーにおいては、１本の
ワイヤの両端が一対のリールに巻き付けられ、両リール
間において、複数の加工用ローラ間に前記ワイヤが所定
ピッチで多数回巻回されている。前記各加工用ローラに
は多数の環状溝が形成され、ワイヤはこれらの環状溝に
周回される。そして、加工用ローラ用モータ及びリール
用モータの回転制御により、ワイヤを一方向へ所定の送
り量で送った後に、他方向へ前記一方向の送り量よりも
少ない送り量で送り、これを一送りサイクルとして繰り
返すことによって、ワイヤを一方向へ一定量ずつ前進さ
せるようになっている。このワイヤの前進及び後退によ
りシリコンインゴット等のワークがウェーハ状にスライ
ス加工される。

【０００３】すなわち、ワイヤの一送りサイクルでは、
図１１に示すように、ワイヤを一方向（加工用ローラの
正転側、以下は単に正転側という）へ、ｔ１（sec）の
時間内で速度Ｖ１（m/min）に達するまで加速送りし、
速度Ｖ１（m/min）でＴ１（sec）の時間だけ定速送りし
た後、ｔ１（sec）の時間内で速度ゼロになるまで減速
送りする。続いて、ワイヤを他方向（加工用ローラの逆
転側、以下は単に逆転側という）へ、ｔ２（sec）の時
間内で速度Ｖ２（m/min）に達するまで加速送りし、速
度Ｖ２（m/min）でＴ２（sec）の時間だけ定速送りした
後、ｔ２（sec）の時間内で速度ゼロになるまで減速送
りする。

【０００４】この場合、加工用ローラ上におけるワイヤ
長さは、ワイヤの正転側の加速送り領域及び減速送り領
域ではｌ１（m）、正転側の定速送り領域ではＬ１
（m）、逆転側の加速送り領域及び減速送り領域ではｌ
２（m）、逆転側の定速送り領域ではＬ２（m）となって
いる。また、加工用ローラ上におけるワイヤ巻数は、ワ
イヤの正転側の加速送り領域及び減速送り領域ではｗ１
（巻）、正転側の定速送り領域ではＷ１（巻）、逆転側
の加速送り領域及び減速送り領域ではｗ２（巻）、逆転
側の定速送り領域ではＷ２（巻）となっている。

【０００５】このような方法でワイヤ送りを行った場
合、同じく図１１の下部に示すように、ワイヤの送り速
度の変更領域、すなわち、ワイヤの正転側の加速送り領
域及び減速送り領域、並びにワイヤの逆転側の加速送り
領域及び減速送り領域において、ワイヤに大きな張力変
動が発生する。このため、ワイヤの送り動作が不安定に
なり、特に、ワイヤ張力が過大になることによって、そ
の状態のときにワイヤの周回が行われた領域における前
記環状溝の摩耗量が大きくなり、所定の加工精度を確保
するのが困難になる。

【０００６】よって、ワイヤソーでは、一対のリールと
加工用ローラとの間のワイヤの走行経路中にダンサーア
ームが設けられ、それらのダンサーアーム上のダンサロ
ーラにワイヤが掛けられている。そして、ワイヤの張力
変動に伴うダンサーアームの回動量がエンコーダで検出
され、その検出結果に基づいて加工用ローラ用モータ及
び一対のリール用モータの回転数が制御されて、ワイヤ
の張力変動が吸収されるようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようにダンサーアームを含む張力吸収機構を装備した場
合でも、ワイヤの張力変動を十分に吸収することができ
ず、ワイヤの正転側及び逆転側の加減速送り領域では、
依然としてワイヤに張力変動が発生するのが現状であっ
た。このため、特にワイヤの正転側送り時の加減速送り
領域と逆転側送り時の加減速送り領域とが、加工用ロー
ラ上の同一箇所の環状溝でラップした場合、そのラップ
部分の環状溝が大きく摩耗する。そして、摩耗量の大き
な環状溝の領域が広がると、加工精度が著しく低下する
という問題があった。以下に、その詳細を説明する。

【０００８】従来のワイヤソーにおけるワイヤ送り方法
において、例えば、以下の条件が設定されていたとす
る。すなわち、図１２及び図１３に示すように、加工用
ローラ上でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定され
ていたとする。この場合、ワイヤの正転側においては、
定速送り領域の速度Ｖ１が６００（m/min）、加減速送
り領域の時間ｔ１が６（sec）、定速送り領域の時間Ｔ
１が２３（sec）に設定されている。さらに、ワイヤの
正転側における加減速送り領域のワイヤ長さｌ１が３０
（m）、定速送り領域のワイヤ長さＬ１が２３０（m）
で、加減速送り領域のワイヤ巻数ｗ１が１４（巻）、定
速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１が１０９（巻）に設定され
ている。

【０００９】これに対して、ワイヤの逆転側において
は、定速送り領域の速度Ｖ２が６００（m/min）、加減
速送り領域の時間ｔ２が６（sec）、定速送り領域の時
間Ｔ２が１３（sec）に設定されている。また、ワイヤ
の逆転側における加減速送り領域のワイヤ長さｌ２が３
０（m）、定速送り領域のワイヤ長さＬ２が１３０（m）
で、加減速送り領域のワイヤ巻数ｗ２が１４（巻）、定
速送り領域のワイヤ巻数Ｗ２が６２（巻）に設定されて
いる。

【００１０】このような設定において、ワイヤ送りが行
われた場合、図１２に示すように、１サイクル目の正転
時には、加工用ローラの一端側（図１２及び図１３の左
側。以下は正転側という）に向かって他端側（図１２及
び図１３の右側。以下は逆転側という）からワイヤが巻
回送りされる。これにより、加工用ローラ上の逆転側端
部には、加速送り領域ｗ１の１４（巻）、定速送り領域
Ｗ１の１０９（巻）及び減速送り領域ｗ１の１４（巻）
のワイヤが巻き付けられる。

【００１１】次の１サイクル目の逆転時には、加工用ロ
ーラの逆転側に向かって正転側からワイヤが巻回送りさ
れる。これにより、加工用ローラ上の正転側端部には、
加速送り領域ｗ２の１４（巻）、定速送り領域Ｗ２の６
２（巻）及び減速送り領域ｗ２の１４（巻）のワイヤが
巻き付けられる。これとともに、加工用ローラ上の逆転
側端部においては、前記１サイクル目の正転時に巻き付
けられたワイヤが、１サイクル目の逆転巻数分、すなわ
ち１４＋６２＋１４（巻）分だけ後退（巻き戻し）され
て、加速送り領域ｗ１の１４（巻）、及び定速送り領域
Ｗ１の余り分３３（巻）だけ残される。

【００１２】続いて、２サイクル目の正転時には、加工
用ローラ上の逆転側端部に、加速送り領域ｗ１の１４
（巻）、定速送り領域Ｗ１の１０９（巻）及び減速送り
領域ｗ１の１４（巻）のワイヤが新たに巻き付けられ
る。これにより、前記１サイクル目の逆転時に、加工用
ローラ上の逆転側端部に残されていた加速送り領域ｗ１
の１４（巻）、及び定速送り領域Ｗ１の余り分３３
（巻）のワイヤ部分が、２サイクル目の正転巻数分、す
なわち１４＋１０９＋１４（巻）分だけ正転側に前進さ
れる。また、１サイクル目の逆転時に、加工用ローラ上
の正転側端部に巻き付けられていた加減速送り領域ｗ２
の各１４（巻）及び定速送り領域Ｗ２の６２（巻）のワ
イヤ部分は、正転送りに伴って加工用ローラ上から送り
出される。

【００１３】さらに、２サイクル目の逆転時には、加工
用ローラ上の正転側端部に、加速送り領域ｗ２の１４
（巻）、定速送り領域Ｗ２の６２（巻）及び減速送り領
域ｗ２の１４（巻）のワイヤが巻き付けられる。これに
より、加工用ローラ上の逆転側端部では、前記２サイク
ル目の正転時に巻き付けられたワイヤが、２サイクル目
の逆転巻数分、すなわち１４＋６２＋１４（巻）分だけ
後退されて、加速送り領域ｗ１の１４（巻）、及び定速
送り領域Ｗ１の余り分３３（巻）だけ残される。これと
ともに、１サイクル目の正転時における加速送り領域ｗ
１の１４（巻）、及び定速送り領域Ｗ１の余り分３３
（巻）のワイヤ部分も後退されて、加工用ローラ上の逆
転側端部に残される。

【００１４】以下、図１２及び図１３に示すように、３
サイクル目〜６サイクル目においても、前記１サイクル
目及び２サイクル目と同様の正転側及び逆転側の送り動
作が行われる。そして、７サイクル目の正転時には、図
１３に示すように、加工用ローラ上の逆転側端部に、加
速送り領域ｗ１の１４（巻）、定速送り領域Ｗ１の１０
９（巻）及び減速送り領域ｗ１の１４（巻）のワイヤが
新たに巻き付けられる。また、このワイヤの巻き付け部
分に続いて加工用ローラ上には、６サイクル目〜１サイ
クル目の正転時において残された加速送り領域ｗ１の１
４（巻）、及び定速送り領域Ｗ１の余り分３３（巻）の
ワイヤ部分が、正転側端部に向かって順に巻き付けられ
ることになる。

【００１５】さらに、７サイクル目の逆転時には、加工
用ローラ上の正転側端部に、加速送り領域ｗ２の１４
（巻）、定速送り領域Ｗ２の６２（巻）及び減速送り領
域ｗ２の１４（巻）のワイヤが巻き付けられる。また、
このワイヤの巻き付け部分に続いて加工用ローラ上に
は、１サイクル目〜６サイクル目の正転時において残さ
れた加速送り領域ｗ１の１４（巻）、及び定速送り領域
Ｗ１の余り分３３（巻）のワイヤ部分が、逆転側端部に
向かって順に巻き付けられることになる。そして、８サ
イクル目以降は、図１３に示すように、前記７サイクル
目の正転側及び逆転側の送り動作が繰り返し行われる。

【００１６】このように、ワイヤの送り動作が行われた
場合、図１２及び図１３に斜線を施して示すように、加
工用ローラ上の長さ方向の中間部分には、ワイヤの正転
側送り時と逆転側送り時との双方における加減速送り領
域のラップ部分が、一定の巻数Ｗ３の間隔おきで所定巻
数Ｗ４ずつ交互に出現する。すなわち、ワイヤの間隔巻
数Ｗ３が３７（巻）で、ラップ巻数Ｗ４が１０（巻）の
ラップ部分が、加工用ローラの長さ方向において周期的
に繰り返し現れることになる。つまり、ワイヤの正転側
移動時においても、逆転側移動時においても、常にワイ
ヤの張力変動部分によって巻回される１０（巻）の環状
溝が加工用ローラの長さ方向に一定間隔をおいて出現す
る。

【００１７】そして、このワイヤの正転側送り時及び逆
転側送り時の加減速送り領域、前記のようにワイヤに張
力変動が生じるため、両送り時の加減速送り領域の各ラ
ップ部分では、すなわち１０（巻）の環状溝では、ワイ
ヤの張力変動が重合されて作用する。このため、加工用
ローラ上の各ラップ部分の環状溝には、所定巻数Ｗ４の
１０（巻）分ずつ、深溝状の摩耗が発生することになっ
た。そして、このように、１０（巻）分の広い幅領域に
おける環状溝が深溝状になるため、ワークに対する加工
精度が著しく低下することになるとともに、加工用ロー
ラの寿命を低下させる原因となった。

【００１８】この発明は、このような従来の技術に存在
する問題点に着目してなされたものである。その目的
は、ワイヤの送り動作に伴い、加工用ローラ上の中間部
分の環状溝に摩耗が発生するのを抑制することができ
て、加工用ローラの使用寿命を延ばすことができるとと
もに、高精度の加工を行うことができるワイヤソーのワ
イヤ送り方法及び送り装置を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項１に記載の発明は、複数の加工用ローラ間
に巻回されたワイヤを一方向へ所定の送り量で送った後
に、他方向へ前記一方向の送り量よりも少ない送り量で
送り、これを一送りサイクルとして繰り返すことによ
り、ワイヤを一方向へ前進させるようにしたワイヤ送り
方法において、前記加工用ローラ上でワイヤの一方向送
り時の加減速送り領域と他方向送り時の加減速送り領域
とがラップしないように、ワイヤの送り量を制御するこ
とを特徴とするものである。なお、ここで、「ラップし
ない」とは、連続する正転と逆転との双方において、加
減速送り領域が加工用ローラの長さ方向において一定長
さ領域存在しないことを指す。

【００２０】従って、この請求項１に記載の発明によれ
ば、ワイヤの送り動作時に、加工用ローラ上でワイヤの
一方向送り時の加減速送り領域と他方向送り時の加減速
送り領域とが大きくラップするのを回避することができ
る。このため、加工用ローラ上の中間部分において、一
定の間隔おきで所定巻数分の環状溝に摩耗が発生するの
を抑制することができる。よって、加工用ローラの使用
寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行
うことができる。

【００２１】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記ワイヤの一送りサイクル中で、そ
の一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方
にて、ワイヤの送り量を変化させることを特徴とするも
のである。

【００２２】従って、この請求項２に記載の発明によれ
ば、ワイヤの各送りサイクルにおいて、一方向送り時の
ワイヤ送り量と他方向送り時のワイヤ送り量との少なく
ともいずれか一方を変化させることにより、加工用ロー
ラ上で一方向送り時と他方向送り時との加減速送り領域
がラップしないようにすることができる。

【００２３】請求項３に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記ワイヤの送り量を定量ずつ変化さ
せることを特徴とするものである。従って、この請求項
３に記載の発明によれば、一方向送り時と他方向送り時
との少なくともいずれか一方のワイヤ送り量を定量ずつ
変化させることにより、加工用ローラ上で加減速送り領
域のラップ部分が広範囲に発生するのを回避することが
できる。

【００２４】請求項４に記載の発明は、請求項２に記載
の発明において、前記ワイヤの送り量をランダムに変化
させることを特徴とするものである。従って、この請求
項４に記載の発明によれば、一方向送り時と他方向送り
時との少なくともいずれか一方のワイヤ送り量をランダ
ムに変化させることにより、加工用ローラ上で加減速送
り領域のラップ部分が広範囲に発生するのを回避するこ
とができる。

【００２５】請求項５に記載の発明は、請求項２〜請求
項４のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
ワイヤの送り量の変化量が予め決められた複数の送りサ
イクル内で合計ゼロとなるように制御することを特徴と
するものである。

【００２６】従って、この請求項５に記載の発明によれ
ば、複数の送りサイクル内でワイヤ送り量の変化量が最
終的にゼロに戻されることになり、ワイヤの送り動作に
伴って、ワイヤの送り量が増加または減少方向に変化し
てしまって、加工精度に悪影響を及ぼすおそれを防止す
ることができる。

【００２７】請求項６に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、前記ワイヤの一送りサイクル中で、そ
の一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方
の送り量を、前記加工用ローラ上での一方向送り時と他
方向送り時との加減速送り領域がラップしないように設
定することを特徴とするものである。

【００２８】従って、この請求項６に記載の発明によれ
ば、ワイヤの一送りサイクル中で、その一方向送りと他
方向送りとの少なくともいずれか一方の送り量を任意に
設定することにより、加工用ローラ上で加減速送り領域
のラップ部分が発生するのを回避することができる。

【００２９】請求項７に記載の発明は、請求項２〜請求
項６のうちのいずれか一項に記載の発明において、前記
各送りサイクルにおけるワイヤの一方向送り時及び他方
向送り時の定速送り領域の速度を一定にすることを特徴
とするものである。

【００３０】従って、この請求項７に記載の発明によれ
ば、ワイヤの一方向送り時及び他方向送り時の定速送り
領域の速度を一定に保つことで、所定の加工精度を維持
することができる。

【００３１】請求項８に記載のワイヤソーのワイヤ送り
装置に係る発明は、複数の加工用ローラ間に巻回された
ワイヤを送るワイヤ送り手段と、そのワイヤ送り手段を
制御する制御手段とを備え、前記請求項１〜請求項７の
うちのいずれか一項に記載のワイヤ送り方法を行うよう
にしたことを特徴とするものである。

【００３２】従って、この請求項８に記載の発明によれ
ば、前記請求項１〜請求項７に記載と同様の作用を得る
ことができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】（第１実施形態）以下に、この発
明の第１実施形態を、図１〜図４に基づいて説明する。

【００３４】図１に示すように、この実施形態のワイヤ
ソーにおいては、３本の加工用ローラ１１，１２，１３
が所定の間隔をおいて配設され、これらの各加工用ロー
ラ１１，１２，１３の外周にはそれぞれ多数の環状溝１
１ａ，１２ａ，１３ａが所定ピッチで形成されている。
１本のワイヤ１４は、一対のリール１６，１７に両端が
それぞれ巻き付けられている。そして、両リール１６，
１７間において、ワイヤ１４が加工用ローラ１１，１
２，１３の環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａ間に連続して
巻回されている。

【００３５】そして、ワイヤ送り手段としての加工用ロ
ーラ用モータ１８及び一対のリール用モータ１９，２０
の回転により、ワイヤ１４が一方向（加工用ローラ１
１，１２，１３の正転側）へ所定の送り量で送られた後
に、他方向（加工用ローラ１１，１２，１３の逆転側）
へ前記正転側の送り量よりも少ない送り量で送られる。
この正転側送りと逆転側送りとが一送りサイクルとして
繰り返し行われることにより、ワイヤ１４が正転側へ前
進されるようになっている。そして、このワイヤ１４の
走行状態で、加工用ローラ１１，１２間のワイヤ１４に
ワーク２１が押し付けられることにより、ワーク２１が
所定の厚さをなすようにスライス状に切断されるように
なっている。

【００３６】前記一対のリール１９，２０と加工用ロー
ラ１１，１２，１３との間のワイヤ１４の走行経路中に
はダンサーアーム２２，２３が設けられ、それらの先端
のダンサローラ２２ａ，２３ａにはワイヤ１４が掛けら
れている。そして、ワイヤ１４の走行中に張力変動が発
生したとき、ダンサーアーム２２，２３が回動され、そ
の回動量に基づいてエンコーダ２４，２５からワイヤ張
力変動の検出信号が出力されるようになっている。な
お、両ダンサアーム２２は、それぞれウェイト２２ａを
有し、ワイヤ１４に対して所定の張力を付与するように
なっている。

【００３７】図２に示すように、制御手段としての制御
装置２６は、前記エンコーダ２４，２５からの検出信号
を入力して、その検出信号に応じて加工用ローラ用モー
タ１８及び一対のリール用モータ１９，２０の回転数
（回転速度）を制御する。また、制御装置２６は、ワイ
ヤ１４の一送りサイクル中の逆転送り時において、メモ
リ２７に記憶されたデータに基づいて、加工用ローラ用
モータ１８及び一対のリール用モータ１９，２０の回転
を制御し、逆転側送りにおけるワイヤ１４の送り量を定
量ずつ変化させる。これにより、加工用ローラ１１，１
２，１３上でワイヤ１４の正転側送り時の加減速送り領
域と逆転側送り時の加減速送り領域とがラップしないよ
うに制御している。

【００３８】すなわち、この実施形態のワイヤ送り方法
では、図３及び図４に示すように、加工用ローラ１１，
１２，１３内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定
されている。そして、ワイヤ１４の正転及と逆転とにお
ける巻数の差が４９となるように設定されている。この
ため、ワイヤは巻数４９分ずつ歩進的に進行する。

【００３９】すなわち、ワイヤ１４の正転側において
は、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り領域及び
減速送り領域のワイヤ巻数ｗ１が１４（巻）、定速送り
領域のワイヤ巻数Ｗ１が１０９（巻）となるように設定
されている。また、このワイヤ１４の正転側における定
速送り領域の速度Ｖ１は、例えば６００（m/min）等の
一定に保たれるようになっている。

【００４０】これに対して、ワイヤ１４の逆転側におい
ては、加速送り領域及び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ２
が１４（巻）に設定されるとともに、定速送り領域のワ
イヤ巻数Ｗ２が平均６０となるように、５８〜６０
（巻）の範囲内で定量ずつ変化されるようになってい
る。例えば、図３及び図４に示すように、１サイクル目
には６０（巻）、２サイクル目には５８（巻）、３サイ
クル目には６２（巻）、４サイクル目には５９（巻）、
５サイクル目には６１（巻）のように変化される。そし
て、この５サイクル分の送り変化が繰り返し行われると
ともに、５サイクル内で平均送り量に対する変化量が合
計ゼロになるよう制御される。さらに、このワイヤ１４
の逆転側においても、定速送り領域の速度Ｖ２が、例え
ば６００（m/min）等の一定に保たれるようになってい
る。

【００４１】よって、この設定状態でワイヤ送りを行な
った場合には、前述した図１２及び図１３に示す従来の
ワイヤ送りの場合とほぼ同様で、加工用ローラ１１，１
２，１３上に図３及び図４に示すようなワイヤ１４の巻
き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクルの
逆転側送りにおける定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ２が５
８〜６０（巻）の範囲内で定量ずつ順に変化されるた
め、加工用ローラ１１，１２，１３の逆転側端部に残る
前サイクルの定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１の余り部が
３３〜３７（巻）の範囲で変化する。このため、図３及
び図４に斜線を施して示すように、加工用ローラ１１，
１２，１３上でワイヤ１４の正転側送り時の加減速送り
領域と逆転側送り時の加減速送り領域とがラップする部
分の巻数Ｗ４が、従来の１０（巻）から１〜７（巻）の
範囲に大幅に減少する。従って、正転と逆転とにおける
巻数の差を大きくすれば、ラップ部分が存在しないよう
にすることも可能になる。

【００４２】従って、この実施形態によれば、以下のよ
うな効果を得ることができる。 （１） このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、
前記ワイヤ１４の一送りサイクル中で、その逆転側送り
におけるワイヤ１４の送り量を定量ずつ変化させること
により、加工用ローラ１１，１２，１３上でワイヤ１４
の正転側送り時の加減速送り領域と逆転側送り時の加減
速送り領域とがラップしないように制御している。

【００４３】このため、ワイヤ１４の送り動作時に、加
工用ローラ１１，１２，１３上でワイヤ１４の正転側送
り時の加減速送り領域と逆転側送り時の加減速送り領域
とが大きくラップするのを回避することができる。この
ため、加工用ローラ１１，１２，１３上の中間部分にお
いて、一定の間隔おきで所定巻数分の環状溝１１ａ，１
２ａ，１３ａに摩耗が発生するのを抑制することができ
る。よって、加工用ローラ１１，１２，１３の使用寿命
を延ばすことができるとともに、高精度の加工を行うこ
とができる。

【００４４】（２） このワイヤソーのワイヤ送り方法
においては、前記ワイヤ１４の送り量の変化量が正転と
逆転との差に対して予め決められた複数の送りサイクル
内でゼロとなるように制御している。このため、複数の
送りサイクル内でワイヤ送り量の前記差に対する変化量
がゼロに戻されることになり、ワイヤ１４の送り動作に
伴って、ワイヤ１４の送り量が増加または減少方向に変
化することを防止できる。従って、ワイヤ１４をその全
長にわたって予め定められた回数だけ正確に使用でき、
ワイヤ１４の使用回数が所定回数未満でワイヤ１４を無
駄に使用したり、逆に所定回数以上使用されて加工精度
に悪影響を及ぼしたり、断線したりするおそれを防止す
ることができる。

【００４５】（３） このワイヤソーのワイヤ送り方法
においては、前記各送りサイクルにおけるワイヤ１４の
正転側送り時及び逆転側送り時の定速送り領域の速度Ｖ
１，Ｖ２を一定にするようになっている。このため、ワ
イヤ１４の正転側送り時及び逆転側送り時における定速
送り領域の速度Ｖ１，Ｖ２の変動に起因して、所定の加
工精度が維持できなくなるようなことを防止できる。

【００４６】（第２実施形態）次に、この発明の第２実
施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明
する。

【００４７】さて、この第２実施形態のワイヤ送り方法
では、図５及び図６に示すように、加工用ローラ１１，
１２，１３内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定
されている。そして、ワイヤ１４の正転側においては、
加速送り領域及び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ１が１４
（巻）に設定されるとともに、定速送り領域のワイヤ巻
数Ｗ１が１１０〜１１４（巻）の範囲内で定量ずつ変化
されるようになっている。例えば、図５及び図６に示す
ように、１サイクル目には１１２（巻）、２サイクル目
には１１０（巻）、３サイクル目には１１４（巻）、４
サイクル目には１１１（巻）、５サイクル目には１１３
（巻）のように変化される。そして、この５サイクル分
の送り変化が繰り返し行われるとともに、５サイクル内
で変化量が合計ゼロになるよう制御される。

【００４８】これに対して、ワイヤ１４の逆転側におい
ては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り領域及
び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ２が１４（巻）、定速送
り領域のワイヤ巻数Ｗ２が６２（巻）となるように設定
されている。そして、ワイヤ１４の正転側及び逆転側に
おける定速送り領域の速度Ｖ１，Ｖ２は、例えば６００
（m/min）等の一定に保たれるようになっている。

【００４９】よって、この設定状態でワイヤ送りを行な
った場合には、前述した図３及び図４に示す第１実施形
態のワイヤ送りの場合とほぼ同様で、加工用ローラ１
１，１２，１３上に図５及び図６に示すようなワイヤ１
４の巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイ
クルの正転側送りにおける定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ
１が１１０〜１１４（巻）の範囲内で定量ずつ順に変化
されるため、加工用ローラ１１，１２，１３の逆転側端
部に残る前サイクルの定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１の
余り部が３４〜３８（巻）の範囲で変化する。このた
め、図５及び図６に斜線を施して示すように、加工用ロ
ーラ１１，１２，１３上でワイヤ１４の正転側送り時の
加減速送り領域と逆転側送り時の加減速送り領域とがラ
ップする部分の巻数Ｗ４が、従来の１０（巻）から１〜
７（巻）の範囲に大幅に減少する。従って、この第２実
施形態においても、正転と逆転とにおける巻数の差を大
きくすれば、ラップ部分が存在しないようにすることも
可能になる。

【００５０】従って、この第２実施形態によれば、前記
第１実施形態における（１）〜（３）に記載の効果とほ
ぼ同様の効果を得ることができる。 （第３実施形態）次に、この発明の第３実施形態を、前
記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

【００５１】さて、この第３実施形態のワイヤ送り方法
では、図７及び図８に示すように、加工用ローラ１１，
１２，１３内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に設定
されている。そして、ワイヤ１４の正転側においては、
従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り領域及び減速
送り領域のワイヤ巻数ｗ１が１４（巻）、定速送り領域
のワイヤ巻数Ｗ１が１０９（巻）となるように設定され
ている。

【００５２】これに対して、ワイヤ１４の逆転側におい
ては、加速送り領域及び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ２
が従来方法と同様の１４（巻）に設定されるとともに、
定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ２が従来方法の６２（巻）
から５８（巻）に変更して設定されている。そして、こ
のワイヤ１４の正転側及び逆転側におけるワイヤ巻数Ｗ
１，Ｗ２の設定によって、加工用ローラ１１，１２，１
３上での正転側送り時と逆転側送り時との加減速送り領
域がラップしないようになっている。

【００５３】すなわち、この設定状態でワイヤ送りを行
なった場合には、前述した図１２及び図１３に示す従来
のワイヤ送りの場合とほぼ同様で、加工用ローラ１１，
１２，１３上に図７及び図８に示すようなワイヤ１４の
巻き付け部分が順に形成される。この場合、各サイクル
のワイヤ逆転側送りにおける定速送り領域のワイヤ巻数
Ｗ２が５８（巻）に変更して設定されているため、図８
に斜線を施して示すように、ワイヤ１４の正転側送り時
と逆転側送り時との加減速送り領域のラップ部分が、加
工用ローラ１１，１２，１３の正転側端部のみに限定し
て出現することになる。そして、加工用ローラ１１，１
２，１３の端部は、ワーク切断にほとんど関与しないた
め、環状溝１１ａ，１２ａ，１３ａの摩耗量が多くなっ
ても、加工上問題は生じない。

【００５４】従って、この第３実施形態によれば、前記
第１実施形態における（１）及び（３）に記載の効果に
加えて、以下のような効果を得ることができる。 （４） このワイヤソーのワイヤ送り方法においては、
前記加工用ローラ１１，１２，１３上での正転側送り時
と逆転側送り時との加減速送り領域がラップしないよう
に、ワイヤ１４の一送りサイクル中で、その逆転側の送
り量を任意に変更して設定している。このため、簡単な
制御によって、加工用ローラ１１，１２，１３上で加減
速送り領域のラップ部分が発生するのを回避することが
できる。

【００５５】（第４実施形態）次に、この発明の第４実
施形態を、前記第１実施形態と異なる部分を中心に説明
する。

【００５６】さて、この第４実施形態のワイヤ送り方法
では、図９及び図１１に示すように、加工用ローラ１
１，１２，１３内でのワイヤの総巻数が４４１（巻）に
設定されている。そして、ワイヤ１４の正転側において
は、加速送り領域及び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ１が
従来方法と同様の１４（巻）に設定されるとともに、定
速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１が従来方法の１０９（巻）
から１１４（巻）に変更して設定されている。

【００５７】これに対して、ワイヤ１４の逆転側におい
ては、従来のワイヤ送り方法と同様に、加速送り領域及
び減速送り領域のワイヤ巻数ｗ２が１４（巻）、定速送
り領域のワイヤ巻数Ｗ２が６２（巻）となるように設定
されている。そして、このワイヤ１４の正転側及び逆転
側におけるワイヤ巻数Ｗ１，Ｗ２の設定によって、加工
用ローラ１１，１２，１３上での正転側送り時と逆転側
送り時との加減速送り領域がラップしないようになって
いる。

【００５８】すなわち、この設定状態でワイヤ送りを行
なった場合には、前述した図７及び図８に示す第３実施
形態の場合とほぼ同様で、加工用ローラ１１，１２，１
３上に図９及び図１０に示すようなワイヤ１４の巻き付
け部分が順に形成される。この場合、各サイクルのワイ
ヤ正転側送りにおける定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１が
１１４（巻）に変更して設定されているため、図１０に
斜線を施して示すように、ワイヤ１４の正転側送り時と
逆転側送り時との加減速送り領域のラップ部分が、加工
用ローラ１１，１２，１３の正転側端部のみに限定して
僅かに出現することになる。そして、前記第３の実施形
態と同様に、加工用ローラ１１，１２，１３の端部は、
ワーク切断にほとんど関与しないため、環状溝１１ａ，
１２ａ，１３ａの摩耗量が多くなっても、加工上問題は
生じない。

【００５９】従って、この第４実施形態によれば、前記
各実施形態における（１）、（３）及び（４）に記載の
効果とほぼ同様の効果を得ることができる。 （変更例）なお、この実施形態は、次のように変更して
具体化することも可能である。

【００６０】・ 前記第１及び第２実施形態では、ワイ
ヤ１４の逆転側送り時または正転側送り時における定速
送り領域のワイヤ巻数Ｗ２，Ｗ１を定量ずつ変化させて
いるが、このワイヤ巻数Ｗ２，Ｗ１をランダムに変化さ
せるようにしてもよい。

【００６１】・ 前記第１及び第２実施形態では、ワイ
ヤ１４の正転側送り時と逆転側送り時とのいずれか一方
における定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１またはＷ２を定
量ずつ変化させているが、各サイクルにおいて正転側送
り時及び逆転側送り時におけるワイヤ巻数Ｗ１，Ｗ２を
同時に変化させるようにしてもよい。

【００６２】・ 前記第１及び第２実施形態では、ワイ
ヤ１４の正転側または逆転側における定速送り領域のワ
イヤ巻数Ｗ１，Ｗ２を変化させているが、加減速送り領
域のワイヤ巻数ｗ１，ｗ２を変化させるようにしてもよ
い。

【００６３】・ 前記第３及び第４実施形態では、ワイ
ヤ１４の正転側送り時と逆転側送り時とのいずれか一方
における定速送り領域のワイヤ巻数Ｗ１またはＷ２を従
来方法の場合と変更して設定しているが、正転側送り時
及び逆転側送り時におけるワイヤ巻数Ｗ１，Ｗ２を同時
に従来方法の場合と変更して設定してもよい。

【００６４】・ 前記第３及び第４実施形態では、ワイ
ヤ１４の正転側または逆転側における定速送り領域のワ
イヤ巻数Ｗ１，Ｗ２を従来方法の場合と変更して設定し
ているが、加減速送り領域のワイヤ巻数ｗ１，ｗ２を従
来方法の場合と変更して設定するようにしてもよい。

【００６５】・ 前記各実施形態では、ワイヤ１４の正
転側送り時及び逆転側送り時における速度Ｖ１，Ｖ２を
一定に保つようにしているが、この送り速度Ｖ１，Ｖ２
を変更して、ワイヤ１４の送り量を変化させるようにし
てもよい。

【００６６】以上のように構成した場合でも、前記実施
形態とほぼ同様の効果を得ることができる。

【００６７】

【発明の効果】以上、実施形態で例示したように、この
発明においては、ワイヤの送り動作時に、加工用ローラ
上でワイヤの一方向送り時の加減速送り領域と他方向送
り時の加減速送り領域とが大きくラップするのを回避す
ることができる。このため、加工用ローラ上の中間部分
において、一定の間隔おきで所定巻数分の環状溝に異常
摩耗が発生するのを抑制することができ、加工用ローラ
の使用寿命を延ばすことができるとともに、高精度の加
工を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態のワイヤソーを示す概略構成
図。

【図２】 図１のワイヤソーの回路構成を示すブロック
図。

【図３】 第１実施形態のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【図４】 同じく第１実施形態のワイヤ送り方法を示す
説明図。

【図５】 第２実施形態のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【図６】 同じく第２実施形態のワイヤ送り方法を示す
説明図。

【図７】 第３実施形態のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【図８】 同じく第３実施形態のワイヤ送り方法を示す
説明図。

【図９】 第４実施形態のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【図１０】 同じく第４実施形態のワイヤ送り方法を示
す説明図。

【図１１】 従来のワイヤ送り方法を示す説明図。

【図１２】 同じく従来のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【図１３】 同じく従来のワイヤ送り方法を示す説明
図。

【符号の説明】

１１，１２，１３…加工用ローラ、１４…ワイヤ、１
６，１７…リール、１８…ワイヤ送り手段としての加工
用ローラ用モータ、１９，２０…ワイヤ送り手段として
のリール用モータ、２６…制御手段としての制御装置、
Ｗ１，Ｗ２…定速送り領域のワイヤ巻数、Ｖ１，Ｖ２…
定速送り領域のワイヤ速度。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
   ヤを一方向へ所定の送り量で送った後に、他方向へ前記
   一方向の送り量よりも少ない送り量で送り、これを一送
   りサイクルとして繰り返すことにより、ワイヤを一方向
   へ前進させるようにしたワイヤ送り方法において、 前記加工用ローラ上でワイヤの一方向送り時の加減速送
   り領域と他方向送り時の加減速送り領域とがラップしな
   いように、ワイヤの送り量を制御することを特徴とする
   ワイヤソーのワイヤ送り方法。
2. 【請求項２】 前記ワイヤの一送りサイクル中で、その
   一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方に
   て、ワイヤの送り量を変化させることを特徴とする請求
   項１に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
3. 【請求項３】 前記ワイヤの送り量を定量ずつ変化させ
   ることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソーのワイ
   ヤ送り方法。
4. 【請求項４】 前記ワイヤの送り量をランダムに変化さ
   せることを特徴とする請求項２に記載のワイヤソーのワ
   イヤ送り方法。
5. 【請求項５】 前記ワイヤの送り量の変化量が予め決め
   られた複数の送りサイクル内で合計ゼロとなるように制
   御することを特徴とする請求項２〜請求項４のうちのい
   ずれか一項に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
6. 【請求項６】 前記ワイヤの一送りサイクル中で、その
   一方向送りと他方向送りとの少なくともいずれか一方の
   送り量を、前記加工用ローラ上での一方向送り時と他方
   向送り時との加減速送り領域がラップしないように設定
   することを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーのワ
   イヤ送り方法。
7. 【請求項７】 前記各送りサイクルにおけるワイヤの一
   方向送り時及び他方向送り時の定速送り領域の速度を一
   定にすることを特徴とする請求項２〜請求項６のうちの
   いずれか一項に記載のワイヤソーのワイヤ送り方法。
8. 【請求項８】 複数の加工用ローラ間に巻回されたワイ
   ヤを送るワイヤ送り手段と、そのワイヤ送り手段を制御
   する制御手段とを備え、前記請求項１〜請求項７のうち
   のいずれか一項に記載のワイヤ送り方法を行うようにし
   たことを特徴とするワイヤソーのワイヤ送り装置。