JP2002251604A

JP2002251604A - 画像データ作成方法およびその装置

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Publication number: JP2002251604A
Application number: JP2001047563A
Authority: JP
Inventors: Masaru Yamaguchi; 優山口
Original assignee: Ibiden Co Ltd
Current assignee: Ibiden Co Ltd
Priority date: 2001-02-23
Filing date: 2001-02-23
Publication date: 2002-09-06

Abstract

(57)【要約】【課題】信頼性が高くかつ虚報を生じ難いマスタデー
タとして使用可能な画像データを作成する方法およびそ
の装置を提供すること。【解決手段】ＣＡＤ変換データを修正前のマスタデー
タとし，撮像データにおける隣接チェックによりこれを
修正して最終的なマスタデータとする。修正前のマスタ
データ中の「情報あり」のセルと同じ座標値の撮像デー
タ中のセルが「情報あり」のセルである場合には，その
情報は修正しない。撮像データ中の当該セルには情報が
ないが，その隣接範囲内に情報がある場合には，隣接範
囲内に情報が見出された位置へ，マスタデータ中の情報
を移動させて修正する。ブロック単位での処理や拡大・
縮小・回転によるずれの方向を補正する処理も可能であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，２つの画像データ
に基づいて，一方の画像データを参酌することにより他
方の画像データを修正した第３の画像データを作成する
方法およびその装置に関する。例えば，プリント配線板
等，表面に微細なパターンを有するもののパターン検査
のためのマスタデータを，その設計データと撮像データ
とに基づいて作成する場合に適用して好適な画像データ
作成方法およびその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板においては，表面パター
ンが仕様通りに正しく形成されているか否かをチェック
するパターン検査が必須である。このパターン検査は一
般的に，層間接続のための上層導体層の穴などを示す特
定の図形が，あるべき場所に正しくあるか否かにより行
われる。よって，そのような特定の図形があるべき場所
を示すマスタデータが用いられる。このためのマスタデ
ータは従来，プリント配線板の実物を撮像した撮像デー
タと，プリント配線板の設計データとのいずれかから作
成されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら，従来の
マスタデータの作成方法には，次のような問題点があっ
た。まず，撮像データから作成する場合の問題点を説明
する。すなわち，撮像データをそのままマスタデータに
変換するためには，理想的に製造されたプリント配線板
を用いなければならない。さもないと，撮像データを大
幅に手修正しないと実用可能なマスタデータが得られな
い。それに，それでも信頼性の低いマスタデータしか作
成できない。ところが現実にはそのような理想的な製品
を準備するのは非常に困難である。次に，設計データか
ら作成する場合の問題点を説明する。設計データをその
ままマスタデータに変換すると，設計と実物との微小な
ずれのため，虚報が沢山出てしまうのである。このた
め，虚報の処理が煩雑である。

【０００４】本発明は，前記した従来におけるマスタデ
ータの作成が有する問題点を解決するためになされたも
のである。すなわちその課題とするところは，信頼性が
高くかつ虚報を生じ難いマスタデータとして使用可能な
画像データを作成する方法およびその装置を提供するこ
とにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この課題の解決を目的と
してなされた本発明の画像データ作成方法では，第１の
画像データと第２の画像データとを対比して第３の画像
データを作成するにあたり，第１の画像データ中に情報
が存在する位置（１）に対応する第２の画像データ中の
領域（１）内に，当該情報に相当する情報が存在するか
否かを確認し，存在する場合に，第２の画像中の当該情
報が存在する位置に相当する第３の画像データ中の位置
に，当該情報に相当する情報を配置する。

【０００６】また，そのための画像データ作成装置は，
第１の画像データと第２の画像データとを対比して第３
の画像データを作成する装置であって，第１の画像デー
タ中に情報が存在する位置（１）に対応する第２の画像
データ中の領域（１）内に，当該情報に相当する情報が
存在するか否かを確認する確認手段と，確認手段により
情報の存在が確認された場合に，第２の画像中の当該情
報が存在する位置に相当する第３の画像データ中の位置
に，当該情報に相当する情報を配置する配置手段とを有
している。

【０００７】すなわち，まず第１の画像データから情報
が抽出される。第１の画像データ中に情報が発見される
と，その位置（１）に対応する第２の画像データ中の領
域（１）内に，当該情報に相当する情報が存在するか否
か確認される。情報の存在が確認されると，第３の画像
データ中に，当該情報に相当する情報が配置される。そ
の位置は，第２の画像中の当該情報が存在する位置に相
当する位置である。かくして，第３の画像データが作成
される。つまり本発明では，第１の画像データ中に情報
が存在すると，第２の画像データ中の領域（１）を参酌
することにより修正された上で，当該情報に相当する情
報が第３の画像データ中に配置されるのである。また，
第１の画像データ中の情報と全く無関係に第２の画像デ
ータ中に情報が存在していたとしても，その情報は無視
される。

【０００８】本発明の画像データ作成方法ではあるい
は，第１の画像データ中に情報がブロック状の２以上の
位置にわたって存在する場合に，当該位置群（１）に対
応する第２の画像データ中の領域（２）内に，当該情報
に相当する情報が存在するか否かを確認し，存在する場
合に，第２の画像中の当該情報が存在する位置に相当す
る第３の画像データ中の位置に，当該情報に相当する情
報を配置する。

【０００９】また，そのための画像データ作成装置は，
第１の画像データ中に情報がブロック状の２以上の位置
にわたって存在する場合に，当該位置群（１）に対応す
る第２の画像データ中の領域（２）内に，当該情報に相
当する情報が存在するか否かを確認するブロック確認手
段と，ブロック確認手段により情報の存在が確認された
場合に，第２の画像中の当該情報が存在する位置に相当
する第３の画像データ中の位置に，当該情報に相当する
情報を配置するブロック配置手段とを有している。

【００１０】すなわち，第１の画像データ中の情報は，
単独の位置に存在しているとは限らず，種々の要因によ
り，ブロック状の２以上の位置にわたって存在する場合
もある。そのような場合には，その位置群（１）を１つ
のブロックとして認識して処理するのである。

【００１１】ここにおいて，領域（１）は，位置（１）
に相当する第２の画像データ中の位置（２）およびその
周囲の所定の範囲を含むことが望ましい。同様に領域
（２）は，位置群（１）に相当する第２の画像データ中
の位置群（２）およびその周囲の所定の範囲を含むこと
が望ましい。

【００１２】ここで「相当する」とは，座標値が同じで
ある等，互いに等価な位置もしくは位置群であると認識
されることを意味する。具体的には，位置（２）もしく
は位置群（２）は，第１の画像データと第２の画像デー
タとを重ね合わせたときに位置（１）もしくは位置群
（１）と重なり合う第２の画像データ中の位置もしくは
位置群であることが望ましい。

【００１３】あるいは，位置（２）もしくは位置群
（２）は，第１の画像データと第２の画像データとを重
ね合わせたときに位置（１）もしくは位置群（１）と重
なり合う第２の画像データ中の位置もしくは位置群を，
第１の画像データと第２の画像データとの間の全体の変
換関係に基づくベクトルにより移動させた位置もしくは
位置群であることとしてもよい。全体の変換関係とは，
全体としての回転や縮小・拡大などの関係のことであ
る。このようにすると，第１の画像データと第２の画像
データとの間で角度や縮尺に相違がある場合にも適切に
第３の画像データを作成できる。

【００１４】ここで，領域（１）内に，当該情報に相当
する情報が，ブロック状の２以上の位置にわたって存在
する場合がある。このような場合には，第２の画像中の
当該情報が存在する位置のうち，位置（２）に最も近い
位置に相当する第３の画像データ中の位置に，当該情報
に相当する情報を配置すればよい。同様に領域（２）内
に，当該情報に相当する情報が位置群（１）より大きい
位置群（３）にわたって存在する場合がある。このよう
な場合には，位置群（３）のうち，位置群（２）から最
短の移動距離によって移動した位置群に相当する第３の
画像データ中の位置群に，当該情報に相当する情報を配
置すればよい。

【００１５】本発明は，第１の画像データが配線板のパ
ターンの設計データに基づくデータであり，第２の画像
データがその設計データによる製造品の撮像データに基
づくデータである場合に適用するとよい。この場合に作
成される第３の画像データは，配線板の良否検査のため
のマスタデータとして優れている。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下，本発明を具体化した実施の
形態について，添付図面を参照しつつ詳細に説明する。
本実施の形態は，プリント配線板の表面パターンを検査
するパターン検査装置として本発明を具体化したもので
ある。その要点は，マスタデータの作成方法にあること
はもちろんである。本実施の形態に係るパターン検査装
置は，図１のシステムブロック図に示すように，撮像系
２０と検査部３０とを有している。さらに，検査部３０
から出力されるパターンの欠陥を表示する欠陥表示用Ｃ
ＲＴ４１と，欠陥の個所を目視で確認するための欠陥確
認装置４２とが付設されている。

【００１７】まず，撮像系２０について説明する。撮像
系２０は，プリント配線板上に銅箔などで形成された配
線パターンを読み取ってパターン画像を取得する機能を
有している。このため，配線パターンを撮像するテーブ
ルカメラ部２１と，そのアナログ画像をデジタルに変換
するＡ／Ｄ変換部２２と，そのデジタル信号を２値化す
る２値化部２３とを有している。すなわち，２値化部２
３から出力されるパターン画像は，暗画素と明画素とか
らなる２値画像である。このパターン画像は，おおむ
ね，配線パターンのある場所の画素が明画素であり，そ
れ以外の場所の画素が暗画素である。それ以外の場所と
は，パターン間の隙間部分や，ビアホールの中の部分，
ピンホール等の欠陥などである。また，１画素のサイズ
は一般的に，１５μｍ四方程度である。

【００１８】次に，検査部３０について説明する。検査
部３０は，撮像系２０からパターン画像を受け取り，配
線パターンの形成の良否を検査する機能を有している。
この機能のため検査部３０は，以下の各部を有してい
る。すなわち，撮像系２０の２値化部２３からパターン
画像の入力を受けてその中に含まれる種々の特徴図形を
抽出する特徴抽出部３１，検査のためのマスタデータを
作成するマスタデータ作成部３２，そのマスタデータを
記憶するマスタデータメモリ部３３，特徴抽出部３１で
の抽出結果とマスタデータとを照合して配線パターンの
欠陥個所を検出する欠陥照合部３４，欠陥照合部３４の
検出結果について虚報の排除や統計処理などを行う検出
結果処理部３５，の各部である。

【００１９】検査部３０の各部について簡単に説明す
る。まず特徴抽出部３１は，前述のようにパターン画像
に含まれる特徴図形を抽出する部分である。抽出する特
徴図形の代表的な例は，層間接続のための穴の図形であ
る。このため特徴抽出部３１では，例えば図２に示すよ
うなアルゴリズムを用いて，パターン画像中に穴の図形
のある箇所を認識する。すなわち，小臨界円５１の内部
の領域５３の画素がすべて暗画素であり，かつ，大臨界
円５２の外側の全周にわたる領域５４の画素がすべて明
画素である場合に，領域５３およびそれに暗画素が連続
している範囲が，穴の図形として認識される。なお，特
徴図形の種類は穴以外にも種々あるので，それぞれごと
にアルゴリズムが存在する。以下の説明では，特記しな
い限り，特徴図形は穴であることとする。

【００２０】特徴抽出部３１では，パターン画像中の各
画素について特徴図形が認識されるか否かを決定する
と，６４（８² ）画素ずつを１つのセルにまとめる。以
下，セルにまとめたデータを撮像データと称する。すな
わち，撮像データにおいては，６４画素のうち１画素で
も前述のようなアルゴリズムにより特徴図形が認識され
た画素を含んでいれば，そのセルは「情報あり」のセル
である。一方，６４画素中に，特徴図形が認識された画
素が１画素も含まれなければ，そのセルは「情報なし」
のセルである。かかる撮像データが，マスタデータ作成
部３２や欠陥照合部３４に送られる。なお，セルのサイ
ズは可変である。

【００２１】次にマスタデータ作成部３２は，前述のよ
うに検査のためのマスタデータを作成する部分である。
マスタデータとは，検査対象のプリント配線板において
特徴図形が存在するはずの場所を示すデータである。こ
のためにマスタデータ作成部３２は，特徴抽出部３１か
ら撮像に基づく撮像データを受け取るとともに，そのプ
リント配線板のＣＡＤ変換データを受け取るようになっ
ている。ここでいうＣＡＤ変換データは，そのプリント
配線板のＣＡＤデータに基づき，当該特徴図形の設計上
の位置を，撮像データと同じセル単位の精細度で示すデ
ータである。撮像データとＣＡＤ変換データとにより実
際にマスタデータを作成する方法は後述する。作成され
たマスタデータは，マスタデータメモリ部３３に保存さ
れる。

【００２２】次に欠陥照合部３４は，前述のように特徴
抽出部３１から入力された撮像データとマスタデータメ
モリ部３３から入力されたマスタデータとをセル単位で
照合して，特徴図形の異常，すなわち不足や過剰を検出
する部分である。すなわち，マスタデータでは特徴図形
があるはずなのに撮像データでは特徴図形がないセル
は，「不足」のセルである。逆に，マスタデータでは特
徴図形がないはずなのに撮像データでは特徴図形がある
セルは，「過剰」のセルである。この検出結果は，検出
結果処理部３５に送られ，虚報の排除や統計処理などの
処理が行われる。

【００２３】上記のように構成された本実施の形態に係
るパターン検査装置の動作は，マスタデータ作成時の動
作と，検査実行時の動作とに区別される。マスタデータ
作成時には，マスタデータ作成用のプリント配線板の配
線パターンを撮像系２０で撮像し，その撮像データをマ
スタデータ作成部３２へ送る。また，そのプリント配線
板のＣＡＤ変換データもマスタデータ作成部３２に読み
込ませる。マスタデータ作成部３２ではこの２つのデー
タに基づいてマスタデータを作成し，マスタデータメモ
リ部３３に保存する。

【００２４】検査実行時には，検査対象のプリント配線
板（当然，マスタデータ作成用のものと同じ仕様のもの
である）の配線パターンを撮像系２０で撮像し，その撮
像データを欠陥照合部３４へ送る。また，マスタデータ
メモリ部３３から欠陥照合部３４へマスタデータを送
る。欠陥照合部３４ではこの２つのデータに基づいて特
徴図形の異常を検出する。検出結果については検出結果
処理部３５にて所定の処理がなされる。その後，欠陥表
示用ＣＲＴ４１での表示や，欠陥確認装置４２での目視
確認が可能である。

【００２５】続いて，マスタデータ作成部３２でのマス
タデータの作成方法について詳述する。この方法は，基
本的なセル単位法と，ブロック単位法とに大別される。
さらにこれらにおいてそれぞれ，方向補正を行うか否か
の双方の方法が可能である。

【００２６】（セル単位法，方向補正なし）最初に，最
も基本的な方法，すなわちセル単位法であって方向補正
なしの場合を説明する。その基本的な手順は，図３に示
すとおりである。必要なデータ（ＣＡＤ変換データおよ
び撮像データ）を読み込んだら，ＣＡＤ変換データを基
準としてマスタデータを作成する。すなわち，ＣＡＤ変
換データそのものを一旦マスタデータとし，撮像データ
における隣接チェックにより適宜移動させる。これによ
り修正したデータを最終的なマスタデータとするのであ
る。

【００２７】ここにおける，撮像データにおける隣接チ
ェックによるマスタデータの修正処理を，具体例ととも
に説明する。まず修正前のマスタデータ（すなわちＣＡ
Ｄ変換データ）中の「情報あり」のセルを抽出する。そ
して，抽出されたセルと同じ座標値を持つ撮像データ中
のセルおよびその隣接範囲をチェックするのである。

【００２８】その結果，例えば図４に示すように，抽出
されたセルと同じ座標値を持つ撮像データ中のセルその
ものが，「情報あり」のセルであった場合を考える。こ
の場合には当然，マスタデータ中の当該情報は修正され
ない。一方，図５に示すように，抽出されたセルと同じ
座標値を持つ撮像データ中のセル自体には情報がなく，
隣接範囲内に「情報あり」のセルがあった場合を考え
る。この場合には，マスタデータ中の当該情報が修正さ
れる。すなわち，マスタデータ中の当該情報は，撮像デ
ータにおける隣接範囲内にて情報が見出された位置と同
じ位置へ移動させられるのである。このようにして，マ
スタデータ中のすべての「情報あり」のセルについて処
理がなされると，マスタデータが最終的に確定する。確
定したマスタデータが，マスタデータメモリ部３３に保
存されるのである。

【００２９】また，この場合において，図６に示すよう
に，抽出されたセルと同じ座標値を持つ撮像データ中の
セル自体にもその隣接範囲にも情報が見当たらない事態
も考えうる。しかしこのようなことが起こった場合に
は，撮像データの取得に供したプリント配線板自体が程
度のあまりよくない，不適切なものであったと考えられ
る。よってこのような場合には，もっと程度のよい別の
プリント配線板で撮像しなおした方がよい。現実問題と
しては，通常の量産ラインで製造されたプリント配線板
であれば，明らかな不良品を除き，このようなことはま
ずない。

【００３０】このようにマスタデータの修正処理は，Ｃ
ＡＤ変換データを基本としてなされるのである。よっ
て，ＣＡＤ変換データ中の「情報あり」のセルと全く無
関係な位置に撮像データ中の情報が存在していても，そ
れによりマスタデータに情報が付加されることはない。
そのような情報は正しい穴情報ではなく異物や汚れに基
づくノイズであると考えられるからである。

【００３１】（ブロック単位法，方向補正なし）ＣＡＤ
変換データ（すなわち修正前のマスタデータ）や撮像デ
ータ中には，図７に示すように，「情報あり」のセルが
２つ以上集合してブロック状をなしている場合がある。
これは，ブロックをなす各セルにそれぞれ別々の穴情報
があるわけではない。セルの境界付近に位置する穴の情
報が，隣接するセルに跨っていることによるのである。
なお，図７中には３セルのブロックも挙げられている
が，これらは修正前のマスタデータ（すなわちＣＡＤ変
換データ）中には存在しない。ただし修正後のマスタデ
ータ中にはこのようなものが存在しうる。また，図７中
の各セルに付した数字は，ブロック内における単なるセ
ル番号である。

【００３２】修正前のマスタデータ中にこのようなブロ
ック状の情報が存在する場合に適切な処理をしようとす
るのがブロック単位法である。その方向補正なしの場合
の基本的な手順は，図８に示すとおりである。その図３
との相異点は，必要なデータを読み込んだ後，ＣＡＤ変
換データ（すなわち修正前のマスタデータ）においてブ
ロック認識を行っていることである。ブロック認識と
は，修正前のマスタデータ中の「情報あり」のセルのう
ち，２つ以上が集合してブロック状をなしているものを
認識することである。その結果，ブロック状をなさない
単独の情報であるとされたセル（図７中に「１セルのブ
ロック」と記載しているもの）については，前述のセル
単位法による場合と同じ隣接チェック処理が行われる。
２セルのブロックもしくは４セルのブロックであると認
識されたものについては，ブロック単位法に特有の隣接
チェック処理が行われる。

【００３３】まず，４セルのブロックについての隣接チ
ェック処理を説明する。図９に示すように，修正前のマ
スタデータ中に４セルのブロックが認識された位置と同
じ位置の撮像データ中の位置に４セルのブロック状に情
報があった場合には当然，マスタデータ中の当該情報は
修正されない。一方，図１０に示すように，撮像データ
中の当該位置の隣接範囲内でずれた位置に４セルのブロ
ック状に情報があった場合を考える。この場合には，マ
スタデータ中の当該情報が修正される。すなわち，マス
タデータ中の当該情報は，撮像データにおける隣接範囲
内にてブロック状に情報が見出された位置と同じ位置へ
移動させられるのである。この場合の移動のベクトル
は，修正前のマスタデータ中のブロックと撮像データ中
のブロックとのそれぞれの各セルに同様にセル番号を付
し，同じセル番号同士を結ぶ矢印で示される。

【００３４】さらに，撮像データ中の当該位置の隣接範
囲内に，図１１〜図１３に示すように，３セル以下のブ
ロック状に情報があった場合を考える。これらの場合に
は，マスタデータ中の当該情報が，必要に応じて移動さ
せられつつ，一部削除される。すなわち図１１のケース
では，マスタデータ中の当該情報が一部削除される。図
１２または図１３のケースでは，マスタデータ中の当該
情報が移動させられるとともに一部削除される。

【００３５】次に，２セルのブロックについての隣接チ
ェック処理を説明する。図１４に示すように，修正前の
マスタデータ中に２セルのブロックが認識された位置と
同じ位置の撮像データ中の位置に２セルのブロック状に
情報があった場合には当然，マスタデータ中の当該情報
は修正されない。また，図１５に示すように，撮像デー
タ中の当該ブロックが，修正前のマスタデータ中の２セ
ルのブロックを包含しさらに大きい場合にも，マスタデ
ータ中の当該情報は修正されない。すなわち，撮像デー
タ中の情報のブロックが修正前のマスタデータ中の情報
のブロックより大きくても，そのことによりマスタデー
タ中の情報のブロックが拡大されることはない。

【００３６】一方，図１６，図１７に示すように，修正
前のマスタデータ中に２セルのブロックが認識された位
置と同じ位置の撮像データ中の位置の範囲内に少なくと
も１つの「情報なし」のセルがあった場合を考える。こ
れらの場合には，マスタデータ中の当該情報が，撮像デ
ータ中の隣接範囲の状況に応じて移動させられる。ここ
で図１７のように，撮像データ中のブロックが修正前の
マスタデータ中のブロックより大きい場合には，移動量
が少なくて済むように移動のベクトルが決定される。こ
の場合でも，マスタデータ中の情報のブロックが拡大さ
れることはない。

【００３７】（方向補正あり）撮像データの基である実
際のプリント配線板は，品質に影響しない程度に，仕様
に対してわずかに変形（拡大，縮小，回転）している場
合がある。しかしながら，同一の製造ロットに属するプ
リント配線板は皆，このような変形に関して同じ傾向を
持っている。よって，不良品でない限り，そのまま撮像
してマスタデータの修正に供した方がよい。その場合に
適するのが，「方向補正あり」の方法である。この方法
の基本的な手順は，図１８に示すとおりである。その図
３や図８との相異点は，必要なデータを読み込んだ後，
板面の全領域に対してエリアを指定し，エリアごとにず
れ方向を決定する点にある。そして，その後の隣接チェ
ック処理は，エリアごとのずれ方向を考慮して行われ
る。

【００３８】エリアの指定とは，プリント配線板の板面
を，変形（拡大，縮小，回転）によるずれのベクトルが
ほぼ同じであると考えられる小領域に区分することであ
る。具体的には，図１９に示すように，板面の全領域
（縁辺部分を除く）を，３行×３列の計９つのエリアに
分割している。なお，エリア数は９つに限られない。ま
た，図１９では全エリアが同一サイズであるが，そうで
なくてもよい。指定した各エリアに決定されるずれ方向
の例を図２０および図２１に示す。図２０は，板面の中
央を中心に全体がわずかに拡大している場合（回転な
し）の例である。図２１は，板面の中央を中心に全体が
わずかに回転している場合（拡大・縮小なし）の例であ
る。図２０，図２１のいずれにおいても，中央のエリア
に「０」と記してあるのは，そのエリアにはずれがない
ことを意味している。ずれの方向とセルサイズとによ
り，ずれのベクトルが特定される。

【００３９】ずれのあるエリア内の穴情報については，
次のようにして隣接チェックが行われる。まず，ずれの
ある場合の隣接範囲であるが，ずれのない場合と異な
り，ずれの方向ごとに図２２に示される範囲が用いられ
る。図２２の各々において，太線で囲まれた範囲がそれ
ぞれの隣接範囲である。これらのうち，中央の「０」の
エリアではむろん，先述の場合と同様に隣接チェックが
行われる。

【００４０】「０」以外のエリアでも，図２３に示すよ
うに，修正前のマスタデータ中の「情報あり」のセルの
座標値に対する撮像データ中の隣接範囲（ずれ方向を考
慮したもの）がチェックされる。そして，隣接範囲の状
況によりマスタデータ中の情報が移動させられる。ここ
で図２４に示すように，ずれ方向を考慮した隣接範囲外
に情報があっても，それによりマスタデータが修正され
ることはない。そのような情報は，異物や汚れによる不
良情報であると考えられるからである。なお，図２５に
示すように，ずれ方向を考慮した隣接範囲外に情報がな
かった場合には，ずれのベクトルのみを考慮してマスタ
データを修正すればよい。なお，図２３〜図２５では，
ずれの方向が左上向きのエリアを例に挙げて説明した
が，他の方向にずれているエリアでも同様である。

【００４１】なお，各ずれ方向ごとの隣接範囲は，図２
２に示したものに替えて図２６に示すものを用いてもよ
い。また，方向補正を行う場合でも，前述のブロック単
位法が可能であることはもちろんである。

【００４２】以上詳細に説明したように本実施の形態で
は，プリント配線板の表面パターンを検査するパターン
検査装置において検査のためのマスタデータをマスタデ
ータ作成部３２で作成するにあたり，検査対象のプリン
ト配線板のＣＡＤ変換データと，マスタデータ作成用の
プリント配線板の配線パターンを撮像系２０で撮像した
撮像データとの双方を使用することとしている。そし
て，ＣＡＤ変換データを一旦マスタデータとし，撮像デ
ータにおける隣接チェックにより適宜移動させ，これに
より修正されたデータを最終的なマスタデータとするこ
ととしている。

【００４３】このため，設計仕様と実物との間の微小な
位置ずれが反映されたマスタデータが得られる。よっ
て，検査時に発生する虚報が少なくて済む。その一方
で，マスタデータ作成のために特別のプリント配線板を
用意する必要がなく，通常の量産レベルの良品で十分で
ある。よって，信頼性の高いマスタデータを容易に作成
できるものである。

【００４４】さらに，ブロック単位法を用いることによ
り，より実際のプリント配線板に合わせた信頼度の高い
マスタデータが得られるものである。また，方向補正を
用いることにより，実際のプリント配線板が設計仕様に
対して若干拡大または縮小されていたり，あるいは回転
したりしている場合であっても，そのプリント配線板に
よく適合するマスタデータが得られるものである。かく
して作成されたマスタデータにより，余計な虚報が少な
く信頼度の高いパターン検査ができるのである。

【００４５】なお，本実施の形態は単なる例示にすぎ
ず，本発明を何ら限定するものではない。したがって本
発明は当然に，その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改
良，変形が可能である。例えば，本実施の形態では，プ
リント配線板のパターン検査装置におけるマスタデータ
の作成に本発明を適用したが，２つの画像データから第
３の画像データを作成する他の用途にも適用可能であ
る。また，「隣接範囲」は，図４等に示したような１セ
ル分の隣接範囲に限らず，異なる隣接範囲（２セル分な
ど）を用いてもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば，信頼性が高くかつ虚報を生じ難いマスタデータ
として使用可能な画像データを作成する方法およびその
装置が提供されている。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施の形態に係るパターン検査装置のブロック
構成図である。

【図２】パターン画像から穴の図形を抽出するためのア
ルゴリズムを示す概念図である。

【図３】実施の形態に係るマスタデータの作成方法の基
本手順を示すフローチャートである。

【図４】修正前のマスタデータと撮像データとの対比を
示す図である。

【図５】修正前のマスタデータと撮像データとの対比に
よるマスタデータの修正を示す図である。

【図６】修正前のマスタデータと撮像データとの対比を
示す図である。

【図７】ブロック状の穴情報を示す図である。

【図８】実施の形態に係るマスタデータの作成方法（ブ
ロック単位法）の基本手順を示すフローチャートであ
る。

【図９】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
（ブロック単位法）を示す図である。

【図１０】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１１】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１２】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１３】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１４】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
（ブロック単位法）を示す図である。

【図１５】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
（ブロック単位法）を示す図である。

【図１６】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１７】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（ブロック単位法）を示す図
である。

【図１８】実施の形態に係るマスタデータの作成方法
（方向補正ありの場合）の基本手順を示すフローチャー
トである。

【図１９】板面のエリア指定を示す図である。

【図２０】各エリアに決定されるずれ方向の例を示す図
である。

【図２１】各エリアに決定されるずれ方向の例を示す図
である。

【図２２】ずれのある場合の隣接チェックに用いられる
隣接範囲をずれの方向ごとに示す図である。

【図２３】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（方向補正ありの場合）を示
す図である。

【図２４】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（方向補正ありの場合）を示
す図である。

【図２５】修正前のマスタデータと撮像データとの対比
によるマスタデータの修正（方向補正ありの場合）を示
す図である。

【図２６】ずれのある場合の隣接チェックに用いられる
隣接範囲をずれの方向ごとに示す図である。

【符号の説明】

２０撮像系３０検査部３２マスタデータ作成部３３マスタデータメモリ部

フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA03 AA07 AA14 BB01 CC01 DD00 FF01 FF04 FF61 JJ03 JJ09 JJ26 QQ04 QQ23 QQ25 QQ38 RR06 RR08 SS04 SS13 UU05 5B057 AA03 BA02 BA29 CA08 CA12 CA16 CB06 CB12 CB16 CE09 CE12 DA03 DA08 DB02 DB08 DC09 DC16 DC33 DC39 5L096 AA06 BA03 CA02 EA35 EA43 FA06 FA65 HA07 JA09 JA11 KA13

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の画像データと第２の画像データと
を対比して第３の画像データを作成する画像データ作成
方法において，第１の画像データ中に情報が存在する位
置（１）に対応する第２の画像データ中の領域（１）内
に，当該情報に相当する情報が存在するか否かを確認
し，存在する場合に，第２の画像中の当該情報が存在す
る位置に相当する第３の画像データ中の位置に，当該情
報に相当する情報を配置することを特徴とする画像デー
タ作成方法。
【請求項２】第１の画像データと第２の画像データと
を対比して第３の画像データを作成する画像データ作成
方法において，第１の画像データ中に情報がブロック状
の２以上の位置にわたって存在する場合に，当該位置群
（１）に対応する第２の画像データ中の領域（２）内
に，当該情報に相当する情報が存在するか否かを確認
し，存在する場合に，第２の画像中の当該情報が存在す
る位置に相当する第３の画像データ中の位置に，当該情
報に相当する情報を配置することを特徴とする画像デー
タ作成方法。
【請求項３】請求項１に記載する画像データ作成方法
において，前記領域（１）が，前記位置（１）に相当す
る第２の画像データ中の位置（２）およびその周囲の所
定の範囲を含むことを特徴とする画像データ作成方法。
【請求項４】請求項３に記載する画像データ作成方法
において，前記領域（１）内に，当該情報に相当する情
報が，ブロック状の２以上の位置にわたって存在する場
合に，第２の画像中の当該情報が存在する位置のうち前
記位置（２）に最も近い位置に相当する第３の画像デー
タ中の位置に，当該情報に相当する情報を配置すること
を特徴とする画像データ作成方法。
【請求項５】請求項２に記載する画像データ作成方法
において，前記領域（２）が，前記位置群（１）に相当
する第２の画像データ中の位置群（２）およびその周囲
の所定の範囲を含むことを特徴とする画像データ作成方
法。
【請求項６】請求項５に記載する画像データ作成方法
において，前記領域（２）内に，当該情報に相当する情
報が前記位置群（１）より大きい位置群（３）にわたっ
て存在する場合に，前記位置群（３）のうち，前記位置
群（２）から最短の移動距離によって移動した位置群に
相当する第３の画像データ中の位置群に，当該情報に相
当する情報を配置することを特徴とする画像データ作成
方法。
【請求項７】請求項３から請求項６までのいずれか１
つに記載する画像データ作成方法において，前記位置
（２）もしくは前記位置群（２）が，第１の画像データ
と第２の画像データとを重ね合わせたときに前記位置
（１）もしくは前記位置群（１）と重なり合う第２の画
像データ中の位置もしくは位置群であることを特徴とす
る画像データ作成方法。
【請求項８】請求項３から請求項６までのいずれか１
つに記載する画像データ作成方法において，前記位置
（２）もしくは前記位置群（２）が，第１の画像データ
と第２の画像データとを重ね合わせたときに前記位置
（１）もしくは前記位置群（１）と重なり合う第２の画
像データ中の位置もしくは位置群を，第１の画像データ
と第２の画像データとの間の全体の変換関係に基づくベ
クトルにより移動させた位置もしくは位置群であること
を特徴とする画像データ作成方法。
【請求項９】請求項１から請求項８までのいずれか１
つに記載する画像データ作成方法において，第１の画像
データが配線板のパターンの設計データに基づくデータ
であり，第２の画像データがその設計データによる製造
品の撮像データに基づくデータであることを特徴とする
画像データ作成方法。
【請求項１０】第１の画像データと第２の画像データ
とを対比して第３の画像データを作成する画像データ作
成装置において，第１の画像データ中に情報が存在する
位置（１）に対応する第２の画像データ中の領域（１）
内に，当該情報に相当する情報が存在するか否かを確認
する確認手段と，前記確認手段により情報の存在が確認
された場合に，第２の画像中の当該情報が存在する位置
に相当する第３の画像データ中の位置に，当該情報に相
当する情報を配置する配置手段とを有することを特徴と
する画像データ作成装置。
【請求項１１】第１の画像データと第２の画像データ
とを対比して第３の画像データを作成する画像データ作
成装置において，第１の画像データ中に情報がブロック
状の２以上の位置にわたって存在する場合に，当該位置
群（１）に対応する第２の画像データ中の領域（２）内
に，当該情報に相当する情報が存在するか否かを確認す
るブロック確認手段と，前記ブロック確認手段により情
報の存在が確認された場合に，第２の画像中の当該情報
が存在する位置に相当する第３の画像データ中の位置
に，当該情報に相当する情報を配置するブロック配置手
段とを有することを特徴とする画像データ作成装置。