JPH08327560A - 形状検査装置及び形状検査方法 - Google Patents

形状検査装置及び形状検査方法

Info

Publication number
JPH08327560A
JPH08327560A JP7131531A JP13153195A JPH08327560A JP H08327560 A JPH08327560 A JP H08327560A JP 7131531 A JP7131531 A JP 7131531A JP 13153195 A JP13153195 A JP 13153195A JP H08327560 A JPH08327560 A JP H08327560A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
code
contour
image
section
coordinates
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP7131531A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumihiko Yamamoto
文彦 山元
Hitoshi Kihara
均 木原
Yasuhiro Nagai
靖泰 永井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP7131531A priority Critical patent/JPH08327560A/ja
Publication of JPH08327560A publication Critical patent/JPH08327560A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9508Capsules; Tablets

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 形状検査装置に於いて、不良箇所の位置を特
定し、かつ被検出物の不良を速く検出する。 【構成】 基準画像と検査画像の輪郭は、チェーンコー
ド化処理され、所定の区間毎に区分けされて、夫々メモ
リ40、41に格納される。両メモリ40、41は、両メモリ4
0、41に格納されたコード列間の許容誤差が、予め設定
された比較回路5に繋がる。比較回路5は、両メモリ40、
41に格納されたコード列を区間順に比較し、許容誤差以
上の差を検出した時に、該差の情報を、比較した区間位
置のデータとともに出力する。描画回路6は比較回路5か
らの情報に基づき、不良箇所と不良箇所が存在する区間
をディスプレイ7に表示する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物、例えば錠剤
の外形形状の正誤を検出する形状検査装置及び形状検査
方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】物の製造工程に於いて、物の外形形状の
正誤を検査する業務を自動化するために、図1に示すよ
うな形状検査装置(1)が提案されている。斯種検査装置
は、錠剤等の形状検査に用いることが多く、以下の記載
では、被検査物として錠剤を例示する。該検査装置(1)
は、ベルトコンベア(12)により搬送されてきた錠剤(2)
の上方にカメラ(10)を、カメラ(10)の側方に、錠剤(2)
を斜め上方から照らすランプ(11)を夫々設ける。ランプ
(11)により照射された錠剤(2)の画像は、カメラ(10)を
介して、画像処理回路(3)に送られる。画像処理回路
(3)では、得られた画像を2値化処理し、該2値化画像
に基づき画像認識処理が実行される。
【0003】まず画像処理回路(3)には、検出すべき錠
剤(2)の正規の画像データを基準画像データとして記憶
させておく。前記2値化画像データと基準画像データを
比較し、錠剤(2)が正規の形状か否かを判断する。この
判断手法としては、画像の面積を基準画像データと比較
する所謂ラベリング処理による手法、又は画像データの
輪郭線を測定し、該輪郭線の長さを基準画像データと比
較する手法がある。ここでラベリング処理とは、画像デ
ータ中に画素が隣接して存在する場合、それらの画素群
を1つのグループと看做して、数字又は記号によるラベ
ルを割り当てる処理であり、一般的には上下左右の何れ
かに隣接画素が存在しているときに、1グループと看做
す4連結ラベリング処理が用いられる(「画像処理の基
本技法」(技術評論社発行)45頁〜49頁参照)。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の形状検査装置で
は、画像データの面積又は周囲長で、錠剤(2)の形状が
正規か否かを検査しているので、例えば錠剤(2)の形状
に欠けや膨らみ等の不良箇所があるときに、錠剤(2)の
形状が不良であることは判別できても、どの箇所が不良
であるかが判らない。また、両画像データの全ての要素
を比較して不良を判別しているから、判別結果を得るま
でに時間が掛る。本発明は、被検出物の形状の不良を検
出する形状検査装置に於いて、不良箇所の位置を特定
し、かつ被検出物の不良を速く検出することを目的とす
る。
【0005】
【課題を解決する為の手段】形状検査装置は、取り込ん
だ画像の輪郭上に複数の分割点を設定し、各分割点の位
置をコードで表わすチェーンコード処理回路(9)と、基
準画像の輪郭を示すコード列を、所定区間毎に区分して
格納するメモリ(40)と、該区分に対応した区間毎に被検
査物の輪郭を示すコード列を格納するメモリ(41)と、両
メモリ(40)(41)に接続されるとともに、両メモリ(40)(4
1)に格納されたコード列間の許容誤差が予め設定され、
両メモリ(40)(41)に格納されたコード列を区間順に比較
し、許容誤差以上の差を検出した時に、該差の情報を、
比較した区間位置のデータとともに出力する比較回路
(5)を具えている。また、比較回路(5)に予め設定され
た許容誤差は、コード列から得られる区間長に対する許
容誤差、及び輪郭上の分割点の座標に対する許容誤差と
から成る。
【0006】
【作用及び効果】比較回路(5)は両メモリ(40)(41)に格
納されたコード列を区間順に比較し、区間長及び分割点
の座標に対する許容誤差を越える差を検出したときに
は、該差の情報を、比較した区間位置のデータとともに
出力する。従って、被検査物に不良箇所があるときに、
どの位置に該不良箇所が存在しているかが特定できる。
また、区間順に不良箇所を検索するので、錠剤(2)の全
面積や全周長を比較する従来の装置に比して、不良箇所
の発見が素速くできる。
【0007】
【実施例】以下、本発明の一実施例につき図面を用いて
詳述する。図1に示すように、形状検査装置(1)は、従
来と同様に、カメラ(10)と、錠剤(2)を照射するランプ
(11)と、カメラ(10)に連結した画像処理回路(3)を具え
る。カメラ(10)は、ランプ(11)に照射された錠剤(2)を
映写し、その映写画像は画像処理回路(3)に送られる。
本実施例では、画像処理回路(3)での画像処理に特徴が
ある。図2は画像処理回路(3)の内部構成を示すブロッ
ク図である。画像処理回路(3)は入力側から出力側に向
かって、2値化処理回路(30)、ノイズ処理回路(31)、チ
ェーンコード処理回路(9)を順に具え、該チェーンコー
ド処理回路(9)は、切換えスイッチ(8)を介して、2つ
のコード列メモリ(40)(41)に選択的に接続する。切換え
スイッチ(8)の近傍には、CPU(4)が設けられ、該切
換えスイッチ(8)は、CPU(4)により切り換えられ
る。コード列メモリ(40)(41)の出力端は、比較回路(5)
に接続されている。比較回路(5)からの図形情報は、描
画回路(6)に送られ、描画回路(6)は描いた画像をディ
スプレイ(7)に表示する。以下、各回路の動作を図3及
び図4のフローチャートを用いて説明する。
【0008】まず、カメラ(10)により、基準となる錠剤
(2)の画像を取り込む(S1)。取り込まれた錠剤(2)の
画像を、2値化処理回路(30)にて所定のスレッショルド
レベルで、図11に示すように2値化処理する(S2)。
この後、2値化画像はノイズ処理回路(31)にて、収縮及
び膨張からなるノイズ除去処理を施す。収縮処理とは次
に示すものである。収縮処理前の画素状態を図12(a)
に、収縮処理後の画素状態を図12(b)に示す。図12
では、図形要素を゛1゛で、それ以外の画像部分をドッ
トで示す。
【0009】先ず画面を画素単位の区画に分割し、画面
上の各画素を検出する。そして、画素がドットである地
点の上下左右に位置する画素を画面から消す。例えば、
図12(a)に於いては、2行2列目の画素が゛1゛であ
り、上下左右の画素がドットであるから、図12(b)に
於いては、該2行2列目の画素がドットとなる。膨張処
理とは、収縮処理とは逆に任意の画素の上下左右に位置
する地点に、画素がない場合に画素を生じさせる処理で
ある。図12(c)は図12(b)に示す画素状態を膨張処理
した後の画素状態である(前記「画像処理の基本技法」
(技術評論社発行)54頁〜56頁参照)。このような収
縮・膨張処理を数回施すことで、ノイズは除去される。
【0010】ノイズが除去された後の画像は、チェーン
コード処理回路(9)に送られる(S3)。CPU(4)は切
換えスイッチ(8)を、一方のコード列メモリ(40)に繋
ぐ。ここで、チェーンコード処理とは、画像の輪郭線上
に、基準点と複数の分割点を設定し、基準点に対する各
分割点の向きを、方向コードと呼ばれる数字で表わし、
画像の輪郭を数字列で表現するものである(「コンピュ
ータ画像処理」(産報出版)93頁〜95頁参照)。方向
コードとは、図5に示すように、基準点に対する分割点
の方向を、0〜7までの数字で順に示したものである。
基準点に対する分割点の方向が、0〜7までの方向に一
致しない時は、最寄りの方向コードで示す。本実施例に
於いては、図6に示すように、まずX−Y座標上に、錠
剤(2)の輪郭を設けるとともに、該輪郭線上に時計方向
に、互いに離れた4つの点A、B、C、Dを等間隔に設
定する。最初の基準点をAとし、その座標を(0、0)と
する。この後に、A〜B、B〜C、C〜D、D〜Aの4
つの区間について、夫々複数の分割点を等間隔に設定し
て、後述するように、各分割点の座標位置を方向コード
で表わし、各区間長についてチェーンコード配列を作成
する。尚、錠剤(2)の形状は円形であるが、図6では説
明の便宜上、8角形に近似して示す。
【0011】チェーンコード配列の手順は以下に示され
る。各区間内に於いて、複数の分割点を等間隔に定め
る。図6に示す例では、角部に1つの分割点(20)を、該
点(20)と点A、Bとの間に、夫々分割点(21)(22)を定め
る。次に基準となる点に対し隣の点がどの方向に位置し
ているかを、Aから順に左回りに検索し、方向コードで
表わす。実際のチェーンコード処理では各区間内に於い
て、多数の分割点を設定するが、図6では説明の便宜
上、分割点を3つとする。
【0012】図6に於いて、基準点Aに対し反時計方向
側で隣り合う分割点(21)は、X軸の負方向かつY軸の正
方向に位置する。即ち、分割点(21)の方向コードは、図
5に示す「5」のコードになる。チェーンコード処理回
路(9)は一旦「5」のコードを記憶し、分割点(21)の座
標を(−1、1)とする。次に、基準点を分割点(21)に置
き換え、該点(21)から反時計方向側で隣り合う分割点(2
0)を測定する。分割点(20)の方向コードは「5」にな
る。チェーンコード処理回路(9)は先に記憶した「5」
のコードに続けて、分割点(20)の方向コードである
「5」を記憶し、該点(20)の座標を(−2、2)とする。
【0013】以下、同様の操作を繰り返すと、区間A〜
Bに於いては、チェーンコード配列は5566となり、
点Bの座標は(−2、4)となる。以下、上記操作を他の
区間に於いても実施し、錠剤(2)の輪郭線全周の分割点
についてチェーンコード配列を得る。チェーンコード配
列は、切換えスイッチ(8)を介してコード列メモリ(40)
に記憶される。尚、各分割点の座標は、後記するよう
に、比較回路(5)にてチェーンコード配列から復元され
る。
【0014】図3のフローチャートにて、基準となるべ
き錠剤(2)のチェーンコード配列が、コード列メモリ(4
0)に格納完了されると(S5)、使用者は検査画像を取り
込むか否かを決める(S6)。検査画像を取り込むとき
は、ベルトコンベア(12)を操作して、検査すべき錠剤
(2)をカメラ(10)に対向した位置に設定する。CPU
(4)は切換えスイッチ(8)を切り換えて、先にチェーン
コード配列が記憶されたコード列メモリ(40)とは異なる
コード列メモリ(41)と、チェーンコード処理回路(9)を
電気的に接続する(S7)。画像処理回路(3)は検査すべ
き錠剤(2)の画像についても、上記と同様の処理を行な
って、得られたチェーンコード配列をコード列メモリ(4
1)に格納する。
【0015】コード列メモリ(41)にチェーンコード配列
が入力完了されると、CPU(4)は比較回路(5)を操作
し、比較回路(5)は両コード列メモリ(40)(41)に格納さ
れたチェーンコード配列から得られる区間長を各区間毎
に比較する(S8)。例えば、区間A〜Bに於いては、チ
ェーンコード配列は5566と4つのコードから成るの
で、区間長は4である。比較回路(5)には予め各区間毎
に区間長の許容誤差、及び各コードから読み取れる各分
割点の座標の許容誤差が記憶されている。ここにおい
て、区間長の許容誤差及び各分割点の座標の許容誤差
は、基準となる錠剤(2)に対し、欠けや膨らみがあって
も、錠剤(2)の効能上許される量から決定される。ま
た、例えば図8に示すように、錠剤(2)の周囲に亘って
僅かな凹凸が連続した形状であれば、区間長が許容誤差
を越えるにも拘らず、錠剤(2)の効能上、許されるもの
もある。かかる錠剤(2)まで不良と看做さないように、
区間長の許容誤差に加えて、各分割点の座標の許容誤差
まで設定しているのである。
【0016】比較回路(5)は1つの区間に於いて、区間
長の差が許容誤差内であれば(S9)、次の区間について
比較する。比較回路(5)は錠剤(2)の輪郭全周について
比較を行なったか否かを判断し(S11)、全ての区間に於
いて、許容誤差以内であると判断すれば、異常なしとの
信号を発する(S12)。1つの区間に於いて、チェーンコ
ード配列から得られる区間長の差が許容誤差外であれ
ば、ステップS10に移行し、コードから分割点の座標を
復元し、該区間内の点の座標どうしを比較する。座標差
が許容誤差以内であれば、次の区間の区間長を比較する
(S11)。座標差が許容誤差を越えていれば、比較回路
(5)は、該区間内に欠陥があると判断し、許容誤差を越
える分割点の座標を、描画回路(6)に送る。描画回路
(6)は、比較回路(5)が欠陥と判断される箇所を描き
(S13)、ディスプレイ(7)に表示する(S14)。
【0017】フローチャートのステップS8からS14に
示される比較回路(5)の動作を、図7に示すように、区
間A〜Bにて、凹み(28)がある場合を想定して具体的に
示す。以下の記載に於いて、区間長の許容誤差を1と、
座標の許容誤差を0.5と夫々仮定する。凹み(28)は分
割点(20)から点Bに亘って形成され、予めチェーンコー
ド処理回路(9)にて、チェーンコード配列が作成されて
いる。凹み(28)の輪郭上には、3つの分割点(23)(24)(2
5)が設定され、分割点(23)から点Bまでのチェーンコー
ド配列は0664となる。従って、区間A〜Bに於いて
は、チェーンコード配列は550664となり、区間長
は6となる。前述の如く、錠剤(2)の正規の画像では、
チェーンコード配列は5566であり、区間長が4であ
るから、区間長の差は2となる。比較回路(5)は、区間
長の差が許容誤差以上であるから、区間A〜B内に不良
箇所があることを判別する。基準点Aから2つめの分割
点(20)までは、コードが一致し、該点(20)から点Bまで
の間で、コードが異なるから、この間に、不良箇所があ
ることが判る。
【0018】比較回路(5)は、不良箇所を示すコード列
0664から、各分割点(20)(23)(24)(25)の座標を求め
る。次に、該座標と基準画像の座標を比較する。図9
(a)は区間A〜Bに於ける基準画像のコード列と座標
を、図9(b)は検査画像のコード列と座標を、夫々表わ
したものである。両画像の座標を比較すると、分割点(2
2)及び凹み(28)上の分割点(23)(24)(25)の座標について
は、相手側の画像の座標に対して許容誤差内に納まるも
のがない。即ち、検査画像に示される錠剤(2)は、基準
画像に示される錠剤(2)の画像に対し、区間A〜Bに於
いて、不良箇所があることが判る。比較回路(5)は、不
良箇所を構成する分割点(22)(23)(24)(25)、及び分割点
(23)(24)(25)を挟む点Bと分割点(20)の座標データを描
画回路(6)に送る。描画回路(6)は該座標データに基づ
いて、図形を描く。
【0019】該図形は、図10に示すように凹み(28)が
あることを示す長方形状となり、ディスプレイ(7)に
は、凹み(28)の図形及び区間A〜Bが示される。このよ
うにして錠剤(2)の不良箇所の区間及び形状が判る。デ
ィスプレイ(7)を見ている作業者は、該錠剤(2)が不良
であると判断したときには、錠剤(2)を取り出し、ディ
スプレイ(7)に表示された区間により、不良箇所とその
形状を素速く確認できる。尚、不良と判断された錠剤
(2)を、不良箇所とその形状を確認した後に、ベルトコ
ンベア(12)にて更に搬送する。この後に、画像処理回路
(3)に連繋した取出し装置(図示せず)により、該錠剤
(2)を抜き取ることもできるが、該取出し装置は、公知
技術であり記載を省略する。
【0020】本実施例に於いては、錠剤(2)の輪郭を、
所定の区間に区分けし、区間毎に不良箇所を検索し、不
良箇所があればその形状を表示する。従って、錠剤(2)
の全面積や全周長を比較する従来の装置に比して、不良
箇所の発見が素速くでき、不良箇所の位置も容易に特定
できる。本実施例に於いては、被検査物として錠剤を例
示したが、錠剤に限らず、種々の形状の検査装置に本実
施例が応用可能であるのは、言うまでもない。
【0021】上記実施例の説明は、本発明を説明するた
めのものであって、特許請求の範囲に記載の発明を限定
し、或は範囲を減縮する様に解すべきではない。又、本
発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求の範囲
に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能であることは
勿論である。
【図面の簡単な説明】
【図1】形状検査装置の全体構成を示す図である。
【図2】画像処理回路の回路構成を示すブロック図であ
る。
【図3】画像処理回路内の処理を示すフローチャートで
ある。
【図4】画像処理回路内の処理を示すフローチャートで
ある。
【図5】方向コードを示す図である。
【図6】基準画像の分割点を示す図である。
【図7】検査画像の分割点を示す図である。
【図8】錠剤の周囲に凹凸があるときの分割点を示す図
である。
【図9】(a)は基準画像の、(b)は検査画像の、夫々チェ
ーンコード配列と、座標を示す図である。
【図10】錠剤の凹みを示す図である。
【図11】2値化画像を示す図である。
【図12】収縮・膨張処理を示す図である。
【符号の説明】
(4) CPU (5) 比較回路 (9) チェーンコード処理回路 (10) カメラ (40) コード列メモリ (41) コード列メモリ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 カメラ(10)で取り込んだ被検査物の画像
    を2値化処理し、基準画像と比較して、被検査物の正誤
    を検査する形状検査装置に於いて、 取り込んだ画像の輪郭上に複数の分割点を略等間隔に設
    定し、各分割点から隣の分割点までの方向をコードで表
    わすチェーンコード処理回路(9)と、 基準画像の輪郭を示すコード列を、所定区間毎に区分し
    て格納するメモリ(40)と、 該区分に対応した区間毎に被検査物の輪郭を示すコード
    列を格納するメモリ(41)と、 両メモリ(40)(41)に接続されるとともに、両メモリ(40)
    (41)に格納されたコード列間の許容誤差が予め設定され
    ており、両メモリ(40)(41)に格納されたコード列を区間
    順に比較し、許容誤差以上の差を検出した時に、該差の
    情報を、比較した区間位置のデータとともに出力する比
    較回路(5)を具えたことを特徴とする形状検査装置。
  2. 【請求項2】 比較回路(5)に予め設定された許容誤差
    は、コード列から得られる区間長に対する許容誤差、及
    び輪郭上の分割点の座標に対する許容誤差とから成る請
    求項1に記載の形状検査装置。
  3. 【請求項3】 基準画像の輪郭を示すコードと、被検査
    物の輪郭を示すコードを、所定区間毎に区分して、夫々
    メモリ(40)(41)に格納し、両メモリ(40)(41)に格納され
    たコード列を区間順に比較し、許容誤差以上の両コード
    列の差を、比較した区間位置とともに出力する形状検査
    方法。
JP7131531A 1995-05-30 1995-05-30 形状検査装置及び形状検査方法 Withdrawn JPH08327560A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7131531A JPH08327560A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 形状検査装置及び形状検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7131531A JPH08327560A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 形状検査装置及び形状検査方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08327560A true JPH08327560A (ja) 1996-12-13

Family

ID=15060258

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7131531A Withdrawn JPH08327560A (ja) 1995-05-30 1995-05-30 形状検査装置及び形状検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08327560A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006059662A1 (ja) * 2004-11-30 2006-06-08 Kabushiki Kaisha Toshiba 表示デバイスの検査装置および検査方法
US7181059B2 (en) * 1999-08-05 2007-02-20 Orbotech Ltd. Apparatus and methods for the inspection of objects
WO2008068144A1 (en) * 2006-12-06 2008-06-12 I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. A sensor device for controlling pharmaceutical products
KR100939424B1 (ko) * 2008-04-28 2010-01-28 선문대학교 산학협력단 유리 기판의 결함 검사 방법
JP2012122965A (ja) * 2010-12-10 2012-06-28 Tokyu Car Corp 外観検査装置及び外観検査方法
KR101326029B1 (ko) * 2011-03-04 2013-11-07 (주)나임기술 이물 선별 시스템의 영상처리 방법
CN108072663A (zh) * 2017-08-03 2018-05-25 朱林清 工件缺陷在线分析装置
CN115661146A (zh) * 2022-12-26 2023-01-31 乐比(广州)健康产业有限公司 一种液体挥发剂的生产质量检测方法

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7181059B2 (en) * 1999-08-05 2007-02-20 Orbotech Ltd. Apparatus and methods for the inspection of objects
US7206443B1 (en) 1999-08-05 2007-04-17 Orbotech Ltd. Apparatus and methods for the inspection of objects
US7388978B2 (en) 1999-08-05 2008-06-17 Orbotech Ltd. Apparatus and methods for the inspection of objects
WO2006059662A1 (ja) * 2004-11-30 2006-06-08 Kabushiki Kaisha Toshiba 表示デバイスの検査装置および検査方法
US8060329B2 (en) 2004-11-30 2011-11-15 Kabushiki Kaisha Toshiba Display-device inspection apparatus and inspection method
WO2008068144A1 (en) * 2006-12-06 2008-06-12 I.M.A. Industria Macchine Automatiche S.P.A. A sensor device for controlling pharmaceutical products
KR100939424B1 (ko) * 2008-04-28 2010-01-28 선문대학교 산학협력단 유리 기판의 결함 검사 방법
JP2012122965A (ja) * 2010-12-10 2012-06-28 Tokyu Car Corp 外観検査装置及び外観検査方法
KR101326029B1 (ko) * 2011-03-04 2013-11-07 (주)나임기술 이물 선별 시스템의 영상처리 방법
CN108072663A (zh) * 2017-08-03 2018-05-25 朱林清 工件缺陷在线分析装置
CN115661146A (zh) * 2022-12-26 2023-01-31 乐比(广州)健康产业有限公司 一种液体挥发剂的生产质量检测方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4776023A (en) Pattern inspection method
JPH07209196A (ja) 錠剤検査システム
US7415362B2 (en) Image defect inspection apparatus
JPH08327560A (ja) 形状検査装置及び形状検査方法
JP4104213B2 (ja) 欠陥検出方法
JP3368644B2 (ja) 配線パターン検査装置及びその方法
JP2710527B2 (ja) 周期性パターンの検査装置
JPH06109446A (ja) 配線パターン検査装置
JP2003203218A (ja) 外観検査装置および方法
JP2001099625A (ja) パターン検査装置およびパターン検査方法
KR19990049102A (ko) 웨이퍼 디펙트 분류 방법
JP2002267619A (ja) 欠陥検査方法及び装置
JPH06288739A (ja) 配線パターン検査装置
JP3042941B2 (ja) 画像処理による傷検査方法
JPS6385432A (ja) 線状欠陥の検査方法
CN114441554B (zh) 检测方法
JP2887683B2 (ja) Icパッケージ検査装置及びicパッケージ検査方法
JPH02108167A (ja) 光学検査装置
JPH01112468A (ja) プリント基板検査装置
JPH05272945A (ja) リードの曲がり検査装置
JP2819905B2 (ja) 配線パターン検査装置
JP3210713B2 (ja) 所定の特徴及び許容差の識別のための画像化パターンの収縮、拡張及び処理を用いた幾何学的パターン検査方法及び装置
JP2000294139A (ja) 周期性パターンの欠陥検査方法及び装置
JPH04138345A (ja) 配線パターン検査装置
JPH10255056A (ja) 円形体の欠陥検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20020806