JP2002251422A - トランジスタにおけるｓｐｉｃｅパラメータの抽出方法 - Google Patents
トランジスタにおけるｓｐｉｃｅパラメータの抽出方法Info
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- JP2002251422A JP2002251422A JP2001049504A JP2001049504A JP2002251422A JP 2002251422 A JP2002251422 A JP 2002251422A JP 2001049504 A JP2001049504 A JP 2001049504A JP 2001049504 A JP2001049504 A JP 2001049504A JP 2002251422 A JP2002251422 A JP 2002251422A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ＳＰＩＣＥパラメータを抽出する際に、パラメ
ータが禁止値を取っているか否かの確認を、効率良く行
い得る抽出を提供する。 【解決手段】 チャネル長Ｌを規定する２本のチャネル
長規定線と、チャネル幅Ｗを規定する２本のチャネル幅
規定線との４つの交点によって定義されるサイズ領域内
の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータをパ
ラメータ演算式を用いて演算する工程２４と、上記サイ
ズ領域を複数の直線にて格子状に分割して多数の交点を
求める工程と、パラメータの中で禁止値が設定されたパ
ラメータに対し、パラメータ演算式を使用して上記各交
点でのパラメータ値を演算するとともに、当該演算され
たパラメータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行
う工程３０とからなるパラメータの抽出方法である。
ータが禁止値を取っているか否かの確認を、効率良く行
い得る抽出を提供する。 【解決手段】 チャネル長Ｌを規定する２本のチャネル
長規定線と、チャネル幅Ｗを規定する２本のチャネル幅
規定線との４つの交点によって定義されるサイズ領域内
の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータをパ
ラメータ演算式を用いて演算する工程２４と、上記サイ
ズ領域を複数の直線にて格子状に分割して多数の交点を
求める工程と、パラメータの中で禁止値が設定されたパ
ラメータに対し、パラメータ演算式を使用して上記各交
点でのパラメータ値を演算するとともに、当該演算され
たパラメータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行
う工程３０とからなるパラメータの抽出方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、トランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法に関する。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＭＯＳ型トランジスタ用のＳＰＩＣＥモ
デルでは、トランジスタのサイズ依存性を精度良く表現
することが課題であった。これを解決するため、最も普
及しているＢＳＩＭ３モデルには、 Ｂｉｎｎｉｎｇ
（ビンニング）が可能なパラメータが多く用意されてい
る。 Ｂｉｎｎｉｎｇとは、パラメータＰにＬ依存性又
はＷ依存性を持たせることを目的としており、Ｐは４つ
の成分Ｐ０、ＰＬ、ＰＷ、ＰＬＷで構成されている。任
意のサイズ（Ｌ，Ｗ）におけるパラメータの値Ｐ（Ｌ，
Ｗ）は以下の式によって定義されている。
デルでは、トランジスタのサイズ依存性を精度良く表現
することが課題であった。これを解決するため、最も普
及しているＢＳＩＭ３モデルには、 Ｂｉｎｎｉｎｇ
（ビンニング）が可能なパラメータが多く用意されてい
る。 Ｂｉｎｎｉｎｇとは、パラメータＰにＬ依存性又
はＷ依存性を持たせることを目的としており、Ｐは４つ
の成分Ｐ０、ＰＬ、ＰＷ、ＰＬＷで構成されている。任
意のサイズ（Ｌ，Ｗ）におけるパラメータの値Ｐ（Ｌ，
Ｗ）は以下の式によって定義されている。
【０００３】Ｐ（Ｌ，Ｗ）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ+ＰＷ／Ｗ+
ＰＬＷ／（Ｌ×Ｗ） 図３４に、パラメータの抽出に用いるトランジスタのＬ
Ｗサイズ領域上での分布状態を示す。９つのトランジス
タＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５、Ｔｒ６、
Ｔｒ７、Ｔｒ８、Ｔｒ９のうち、一番外側にあるＴｒ
１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の４つのトランジスタによ
り囲まれる領域をエリア１（Ａｒｅａ１）とする。通
常、エリア１用のＳＰＩＣＥモデルパラメータを抽出す
る方法は２つある。
ＰＬＷ／（Ｌ×Ｗ） 図３４に、パラメータの抽出に用いるトランジスタのＬ
Ｗサイズ領域上での分布状態を示す。９つのトランジス
タＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４、Ｔｒ５、Ｔｒ６、
Ｔｒ７、Ｔｒ８、Ｔｒ９のうち、一番外側にあるＴｒ
１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の４つのトランジスタによ
り囲まれる領域をエリア１（Ａｒｅａ１）とする。通
常、エリア１用のＳＰＩＣＥモデルパラメータを抽出す
る方法は２つある。
【０００４】第１の抽出方法は、４つのトランジスタＴ
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４を含む４種類以上のトラ
ンジスタの電気特性の実測値に対して、シミュレーショ
ン値の誤差が最小となるようにＢｉｎｎｉｎｇパラメー
タを含むパラメータセットＰａｒａ１０を最適化して抽
出する方法である。
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４を含む４種類以上のトラ
ンジスタの電気特性の実測値に対して、シミュレーショ
ン値の誤差が最小となるようにＢｉｎｎｉｎｇパラメー
タを含むパラメータセットＰａｒａ１０を最適化して抽
出する方法である。
【０００５】但し、この抽出方法には欠点があり、最適
化の対象となるトランジスタが複数個あるため、最適化
に時間がかかること、抽出精度を上げるのが困難である
こと、及びＬＷサイズ領域を幾つかのサブ領域に分割し
ている場合、隣の領域との接点で特性が不連続になるこ
とである。
化の対象となるトランジスタが複数個あるため、最適化
に時間がかかること、抽出精度を上げるのが困難である
こと、及びＬＷサイズ領域を幾つかのサブ領域に分割し
ている場合、隣の領域との接点で特性が不連続になるこ
とである。
【０００６】これらの問題点を解決するための方法が、
以下に示す第２の抽出方法である。この第２の抽出方法
は、エリア１における４つのコーナ（角）でのトランジ
スタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の1つ１つに対し
てパラメータの最適化を行うことで、4つの単一のトラ
ンジスタ専用パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａ
ｒａ３、Ｐａｒａ４を抽出し、この４つのパラメータセ
ットからエリア１用のＳＰＩＣＥパラメータを算出する
方法である。
以下に示す第２の抽出方法である。この第２の抽出方法
は、エリア１における４つのコーナ（角）でのトランジ
スタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の1つ１つに対し
てパラメータの最適化を行うことで、4つの単一のトラ
ンジスタ専用パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａ
ｒａ３、Ｐａｒａ４を抽出し、この４つのパラメータセ
ットからエリア１用のＳＰＩＣＥパラメータを算出する
方法である。
【０００７】１つのトランジスタだけを対象としてパラ
メータを抽出する場合は、Ｂｉｎｎｉｎｇパラメータは
用いずに、直接、Ｐ（Ｌ，Ｗ）の値を最適化して抽出す
る。４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ
４のＬＷサイズは、図３４に示すように、（Ｌ１，Ｗ
１）、（Ｌ２，Ｗ２）、（Ｌ３，Ｗ３）、（Ｌ４，Ｗ
４）である。
メータを抽出する場合は、Ｂｉｎｎｉｎｇパラメータは
用いずに、直接、Ｐ（Ｌ，Ｗ）の値を最適化して抽出す
る。４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ
４のＬＷサイズは、図３４に示すように、（Ｌ１，Ｗ
１）、（Ｌ２，Ｗ２）、（Ｌ３，Ｗ３）、（Ｌ４，Ｗ
４）である。
【０００８】そして、パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ
２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４内にあるパラメータＰが各
サイズで取る値をＰ（Ｌ１，Ｗ１）、Ｐ（Ｌ２，Ｗ
２）、Ｐ（Ｌ３，Ｗ３）、Ｐ（Ｌ４，Ｗ４）とすると、
これらは以下の式を満足する。
２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４内にあるパラメータＰが各
サイズで取る値をＰ（Ｌ１，Ｗ１）、Ｐ（Ｌ２，Ｗ
２）、Ｐ（Ｌ３，Ｗ３）、Ｐ（Ｌ４，Ｗ４）とすると、
これらは以下の式を満足する。
【０００９】 Ｐ（Ｌ１，Ｗ１）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ１+ＰＷ／Ｗ１+ＰＬＷ／（Ｌ１×Ｗ１） Ｐ（Ｌ２，Ｗ２）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ２+ＰＷ／Ｗ２+ＰＬＷ／（Ｌ２×Ｗ２） Ｐ（Ｌ２，Ｗ２）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ３+ＰＷ／Ｗ３+ＰＬＷ／（Ｌ３×Ｗ３） Ｐ（Ｌ２，Ｗ２）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ４+ＰＷ／Ｗ４+ＰＬＷ／（Ｌ４×Ｗ４） これら４つの連立方程式を解くことで、Ｐ０、ＰＬ、Ｐ
Ｗ、ＰＬＷを間接的に求めるができ、ＬＷサイズ領域で
のパラメータが得られる。この方法では、第１番目の方
法における欠点は大幅に改善されているが、新たな問題
が生じており、以下、それについて説明する。
Ｗ、ＰＬＷを間接的に求めるができ、ＬＷサイズ領域で
のパラメータが得られる。この方法では、第１番目の方
法における欠点は大幅に改善されているが、新たな問題
が生じており、以下、それについて説明する。
【００１０】すなわち、ＢＳＩＭ３などに代表されるト
ランジスタのＳＰＩＣＥモデルには非常に多くのパラメ
ータが導入されており、パラメータの中には、値に禁止
値が設定されているものもある。そのため、単一のトラ
ンジスタを対象にしてパラメータを抽出する際には、最
適化を行うソフトウエア上にて、パラメータの値に制約
を持たせることで禁止値を取らないようにする手法が一
般に取られていた。
ランジスタのＳＰＩＣＥモデルには非常に多くのパラメ
ータが導入されており、パラメータの中には、値に禁止
値が設定されているものもある。そのため、単一のトラ
ンジスタを対象にしてパラメータを抽出する際には、最
適化を行うソフトウエア上にて、パラメータの値に制約
を持たせることで禁止値を取らないようにする手法が一
般に取られていた。
【００１１】しかし、この方法により、パラメータが禁
止値をとらないことを保証できるのは、最適化の対象と
したトランジスタだけであり、その他のサイズについて
は、パラメータが禁止値を取る可能性があった。
止値をとらないことを保証できるのは、最適化の対象と
したトランジスタだけであり、その他のサイズについて
は、パラメータが禁止値を取る可能性があった。
【００１２】また、ＳＰＩＣＥモデルは非常に複雑な式
によって構成されているため、パラメータが禁止された
値になっていないにも拘わらず、パラメータの組み合わ
せ次第では、本来、意図しない異常特性を生み出す場合
もあった。
によって構成されているため、パラメータが禁止された
値になっていないにも拘わらず、パラメータの組み合わ
せ次第では、本来、意図しない異常特性を生み出す場合
もあった。
【００１３】従来、このような事態を防止するために、
実際にシミュレーションを実行して、異常終了したり、
警告メッセージが出ないかをチェックする方法や、実際
に多くのサイズのトランジスタに対して電気特性のＳＰ
ＩＣＥシミュレーションを実行し、その結果を目視する
ことで、電気特性の異常の有無をチェックする方法が取
られていた。以下、図３５に基づき、その処理フローを
説明する。
実際にシミュレーションを実行して、異常終了したり、
警告メッセージが出ないかをチェックする方法や、実際
に多くのサイズのトランジスタに対して電気特性のＳＰ
ＩＣＥシミュレーションを実行し、その結果を目視する
ことで、電気特性の異常の有無をチェックする方法が取
られていた。以下、図３５に基づき、その処理フローを
説明する。
【００１４】まず、パラメータの抽出対象となるトラン
ジスタの電気特性の測定結果を、トランジスタの測定結
果格納部１００に格納する。次に、パラメータ抽出処理
１０１にて、図３４におけるエリア１用のパラメータＰ
ａｒａ１０を抽出し、ＬＷ領域用パラメータ格納部１０
２に格納する。
ジスタの電気特性の測定結果を、トランジスタの測定結
果格納部１００に格納する。次に、パラメータ抽出処理
１０１にて、図３４におけるエリア１用のパラメータＰ
ａｒａ１０を抽出し、ＬＷ領域用パラメータ格納部１０
２に格納する。
【００１５】次に、シミュレーション実行処理１０３に
て、Ｐａｒａ１０を使っていくつかの種類のサイズに対
して、ＳＰＩＣＥシミュレーションを実施して、パラメ
ータが禁止値を取ったことによるシミュレーションエラ
ーが起こらないかを調べる。
て、Ｐａｒａ１０を使っていくつかの種類のサイズに対
して、ＳＰＩＣＥシミュレーションを実施して、パラメ
ータが禁止値を取ったことによるシミュレーションエラ
ーが起こらないかを調べる。
【００１６】次に、パラメータ不備判定処理１０４に
て、パラメータが禁止値を取るような不備がある場合に
は、エラー内容判断処理１０７にて、どのパラメータに
不備があるかを確認した後、パラメータを再抽出させ
る。一方、パラメータに不備がない場合には、次の電気
特性のグラフ化処理１０５にて、いくつかの種類のサイ
ズに対してシミュレーションを実行し、ＭＯＳトランジ
スタの電気特性のバイアス依存性の波形、並びに電気特
性のＬ依存性及びＷ依存性を出力する。
て、パラメータが禁止値を取るような不備がある場合に
は、エラー内容判断処理１０７にて、どのパラメータに
不備があるかを確認した後、パラメータを再抽出させ
る。一方、パラメータに不備がない場合には、次の電気
特性のグラフ化処理１０５にて、いくつかの種類のサイ
ズに対してシミュレーションを実行し、ＭＯＳトランジ
スタの電気特性のバイアス依存性の波形、並びに電気特
性のＬ依存性及びＷ依存性を出力する。
【００１７】次に、最終特性判定処理１０６にて、電気
特性のグラフ化処理１０５による出力結果に、不連続点
などの異常特性があるか否かを判断し、異常特性がある
ことが判明した場合には、エラー内容判断処理１０７に
て、どのサイズでどのような不備があるかを確認した
後、パラメータを再抽出させる。一方、異常特性がない
場合には、処理を終了する。
特性のグラフ化処理１０５による出力結果に、不連続点
などの異常特性があるか否かを判断し、異常特性がある
ことが判明した場合には、エラー内容判断処理１０７に
て、どのサイズでどのような不備があるかを確認した
後、パラメータを再抽出させる。一方、異常特性がない
場合には、処理を終了する。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
のＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法によると、抽出され
たＳＰＩＣＥパラメータに不備の可能性があるととも
に、その不備をチェックするのに、多くの手間を要する
という問題があり、より具体的に説明すると、以下のよ
うに、３つの課題がある。
のＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法によると、抽出され
たＳＰＩＣＥパラメータに不備の可能性があるととも
に、その不備をチェックするのに、多くの手間を要する
という問題があり、より具体的に説明すると、以下のよ
うに、３つの課題がある。
【００１９】第一の課題は、ＳＰＩＣＥパラメータが禁
止値を取っているか否かを、シミュレーションの実行に
より確認する方法は、効率が非常に悪く、また確認でき
るトランジスタの数に限りがあり、確認漏れを起こす可
能性があるということ、第二の課題は、電気特性をグラ
フ化して異常特性があるか否かを目視により確認する作
業は効率が非常に悪く、また確認できるトランジスタの
数及び確認項目数に限度があり、したがって確認漏れを
起こす可能性があるということ、第三の課題は、第二の
課題を解決する手段を執ったとしても、完全に異常特性
の発生を防止できない場合があり、やはり、目視による
確認作業をなくすことができないということである。
止値を取っているか否かを、シミュレーションの実行に
より確認する方法は、効率が非常に悪く、また確認でき
るトランジスタの数に限りがあり、確認漏れを起こす可
能性があるということ、第二の課題は、電気特性をグラ
フ化して異常特性があるか否かを目視により確認する作
業は効率が非常に悪く、また確認できるトランジスタの
数及び確認項目数に限度があり、したがって確認漏れを
起こす可能性があるということ、第三の課題は、第二の
課題を解決する手段を執ったとしても、完全に異常特性
の発生を防止できない場合があり、やはり、目視による
確認作業をなくすことができないということである。
【００２０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１に係るトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩ
ＣＥパラメータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ
１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長
規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定
する２本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定
義されるサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰ
ＩＣＥパラメータを演算するパラメータ演算式を求める
工程と、上記サイズ領域を、複数の直線又は複数の曲線
にて分割するとともに、これら直線同士又は曲線同士の
交点、及びこれらの直線又はこれらの曲線と当該サイズ
領域を囲む外周線との交点を求める工程と、上記ＳＰＩ
ＣＥパラメータの中で禁止値が設定されたパラメータに
対し、上記パラメータ演算式を使用して上記各交点にお
けるパラメータ値を演算するとともに、当該演算された
パラメータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行う
工程とからなる方法である。
め、請求項１に係るトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩ
ＣＥパラメータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ
１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長
規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定
する２本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定
義されるサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰ
ＩＣＥパラメータを演算するパラメータ演算式を求める
工程と、上記サイズ領域を、複数の直線又は複数の曲線
にて分割するとともに、これら直線同士又は曲線同士の
交点、及びこれらの直線又はこれらの曲線と当該サイズ
領域を囲む外周線との交点を求める工程と、上記ＳＰＩ
ＣＥパラメータの中で禁止値が設定されたパラメータに
対し、上記パラメータ演算式を使用して上記各交点にお
けるパラメータ値を演算するとともに、当該演算された
パラメータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行う
工程とからなる方法である。
【００２１】また、請求項２に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
並びにこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周
線との交点を求める工程と、上記ＳＰＩＣＥパラメータ
の中で禁止値が設定されたパラメータに対し、上記パラ
メータ演算式を使用して上記各交点におけるパラメータ
値を演算し、且つパラメータ禁止値チェックソフトウエ
アにより、当該演算されたパラメータ値が禁止値を取っ
ているか否かの確認を行う工程とからなる方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
並びにこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周
線との交点を求める工程と、上記ＳＰＩＣＥパラメータ
の中で禁止値が設定されたパラメータに対し、上記パラ
メータ演算式を使用して上記各交点におけるパラメータ
値を演算し、且つパラメータ禁止値チェックソフトウエ
アにより、当該演算されたパラメータ値が禁止値を取っ
ているか否かの確認を行う工程とからなる方法である。
【００２２】また、請求項３に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
及びこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周線
との交点を求める工程と、上記ＳＰＩＣＥパラメータの
中で禁止値が設定されたパラメータのうちの１つを選択
するとともに、順次、各交点でのサイズ位置について、
上記パラメータ演算式を使用して上記各交点におけるパ
ラメータ値を演算し、且つパラメータ禁止値チェックソ
フトウエアにより、当該演算されたパラメータ値が禁止
値を取っているか否かの確認を行う工程と、残りの禁止
値が設定された各パラメータについて、順次、上記と同
様に、各交点におけるサイズ位置にて、禁止値を取って
いるか否かを確認する工程とからなる方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
及びこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周線
との交点を求める工程と、上記ＳＰＩＣＥパラメータの
中で禁止値が設定されたパラメータのうちの１つを選択
するとともに、順次、各交点でのサイズ位置について、
上記パラメータ演算式を使用して上記各交点におけるパ
ラメータ値を演算し、且つパラメータ禁止値チェックソ
フトウエアにより、当該演算されたパラメータ値が禁止
値を取っているか否かの確認を行う工程と、残りの禁止
値が設定された各パラメータについて、順次、上記と同
様に、各交点におけるサイズ位置にて、禁止値を取って
いるか否かを確認する工程とからなる方法である。
【００２３】また、請求項４に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
並びにこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周
線との交点を求める工程と、上記交点のうち１つの交点
を選択するとともに、この選択された交点のサイズ位置
にて、上記ＳＰＩＣＥパラメータの中で禁止値が設定さ
れた各パラメータについて、順次、上記パラメータ演算
式を使用してパラメータ値を演算し、且つパラメータ禁
止値チェックソフトウエアにより、当該演算されたパラ
メータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行う工程
と、残りの各交点におけるサイズ位置にて、上記ＳＰＩ
ＣＥパラメータの中で禁止値が設定された各パラメータ
について、順次、上記と同様に、パラメータを演算し、
且つパラメータ禁止値チェックソフトウエアにより、禁
止値を取っているか否かを確認する工程とからなる方法
である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル長
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数のチャネル長分割線にて分割
するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦
Ｗ１）を複数のチャネル幅分割線にて分割し、且つこれ
らチャネル長分割線及びチャネル幅分割線同士の交点、
並びにこれらの分割線と当該サイズ領域平面を囲む外周
線との交点を求める工程と、上記交点のうち１つの交点
を選択するとともに、この選択された交点のサイズ位置
にて、上記ＳＰＩＣＥパラメータの中で禁止値が設定さ
れた各パラメータについて、順次、上記パラメータ演算
式を使用してパラメータ値を演算し、且つパラメータ禁
止値チェックソフトウエアにより、当該演算されたパラ
メータ値が禁止値を取っているか否かの確認を行う工程
と、残りの各交点におけるサイズ位置にて、上記ＳＰＩ
ＣＥパラメータの中で禁止値が設定された各パラメータ
について、順次、上記と同様に、パラメータを演算し、
且つパラメータ禁止値チェックソフトウエアにより、禁
止値を取っているか否かを確認する工程とからなる方法
である。
【００２４】また、請求項５に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項２乃
至４のいずれかに記載のチャネル長分割線により、チャ
ネル長Ｌ（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を均等に分割するととも
に、チャネル幅分割線により、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ
≦Ｗ１）を均等に分割する方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項２乃
至４のいずれかに記載のチャネル長分割線により、チャ
ネル長Ｌ（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を均等に分割するととも
に、チャネル幅分割線により、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ
≦Ｗ１）を均等に分割する方法である。
【００２５】また、請求項６に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項２乃
至４のいずれかに記載のチャネル長分割線により、チャ
ネル長Ｌ（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を、値が小さい側（Ｌ２
側）に近い部分では狭い間隔にて、値が大きい側（Ｌ１
側）に近い部分では広い間隔で分割するとともに、チャ
ネル幅分割線により、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）
を、値が小さい側（Ｗ２側）に近い部分では狭い間隔に
て、値が大きい側（Ｗ１側）に近い部分では広い間隔に
て分割する方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項２乃
至４のいずれかに記載のチャネル長分割線により、チャ
ネル長Ｌ（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を、値が小さい側（Ｌ２
側）に近い部分では狭い間隔にて、値が大きい側（Ｌ１
側）に近い部分では広い間隔で分割するとともに、チャ
ネル幅分割線により、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）
を、値が小さい側（Ｗ２側）に近い部分では狭い間隔に
て、値が大きい側（Ｗ１側）に近い部分では広い間隔に
て分割する方法である。
【００２６】また、請求項７に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、チャネル幅Ｗ
１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）より広いチャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ１≦Ｗ３、Ｗ４≦Ｗ２）を規定する２本のチャネル
幅規定線と、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（Ｌ２＜Ｌ１）より
広いチャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ１≦Ｌ３、Ｌ４≦Ｌ
２）を規定する２本のチャネル長規定線との４つの交点
によって定義されるサイズ領域平面より広い拡張サイズ
領域についても、請求項１乃至６のいずれかに記載のＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を用いて、当該拡張サイ
ズ領域内で、禁止値が設定されたパラメータについて禁
止値を取っているか否かを確認する方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、チャネル幅Ｗ
１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）より広いチャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ１≦Ｗ３、Ｗ４≦Ｗ２）を規定する２本のチャネル
幅規定線と、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（Ｌ２＜Ｌ１）より
広いチャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ１≦Ｌ３、Ｌ４≦Ｌ
２）を規定する２本のチャネル長規定線との４つの交点
によって定義されるサイズ領域平面より広い拡張サイズ
領域についても、請求項１乃至６のいずれかに記載のＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を用いて、当該拡張サイ
ズ領域内で、禁止値が設定されたパラメータについて禁
止値を取っているか否かを確認する方法である。
【００２７】上記請求項１〜７に記載の各パラメータの
抽出方法によると、４つの点にて定義されるサイズ領域
内におけるＳＰＩＣＥパラメータをパラメータ演算式に
基づき演算する際に、サイズ領域内に設定された各交点
のサイズ位置について、それぞれパラメータ禁止値チェ
ックソフトウエアにより、禁止値が設定された各パラメ
ータに対して、禁止値を取るか否かの確認が行われるた
め、従来のように、パラメータの抽出に使用した交点以
外で、実際にシミュレーションを実行してパラメータが
禁止値を取っているか否かを確認する非効率的な方法と
は異なり、効率良く多くのサイズに対して検証を行い得
るとともに、サイズ領域内にて、各交点上を、順次、禁
止値を取っているか否かを確認するため、パラメータの
不備を見逃す可能性が格段に減少する。
抽出方法によると、４つの点にて定義されるサイズ領域
内におけるＳＰＩＣＥパラメータをパラメータ演算式に
基づき演算する際に、サイズ領域内に設定された各交点
のサイズ位置について、それぞれパラメータ禁止値チェ
ックソフトウエアにより、禁止値が設定された各パラメ
ータに対して、禁止値を取るか否かの確認が行われるた
め、従来のように、パラメータの抽出に使用した交点以
外で、実際にシミュレーションを実行してパラメータが
禁止値を取っているか否かを確認する非効率的な方法と
は異なり、効率良く多くのサイズに対して検証を行い得
るとともに、サイズ領域内にて、各交点上を、順次、禁
止値を取っているか否かを確認するため、パラメータの
不備を見逃す可能性が格段に減少する。
【００２８】また、請求項８に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記サイズ領域平面を、複数
の直線又は複数の曲線にて分割するとともに、これら直
線同士又は曲線同士の交点、及びこれらの直線又はこれ
らの曲線と当該サイズ領域を囲む外周線との交点を求め
る工程と、上記各交点でのサイズ位置について、上記パ
ラメータ演算式を使用してパラメータ値を演算するとと
もに、パラメータ連続性チェックソフトウエアにより、
上記演算されたパラメータ値の変動量を調べる工程とか
らなる方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラン
ジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記サイズ領域平面を、複数
の直線又は複数の曲線にて分割するとともに、これら直
線同士又は曲線同士の交点、及びこれらの直線又はこれ
らの曲線と当該サイズ領域を囲む外周線との交点を求め
る工程と、上記各交点でのサイズ位置について、上記パ
ラメータ演算式を使用してパラメータ値を演算するとと
もに、パラメータ連続性チェックソフトウエアにより、
上記演算されたパラメータ値の変動量を調べる工程とか
らなる方法である。
【００２９】また、請求項９に係るトランジスタにおけ
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８に
記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変動
量を調べる工程において、パラメータ値の桁数が変化し
たパラメータがあるか否かを判断する方法である。
るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８に
記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変動
量を調べる工程において、パラメータ値の桁数が変化し
たパラメータがあるか否かを判断する方法である。
【００３０】また、請求項１０に係るトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８
に記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変
動量を調べる工程において、パラメータ値のプラス・マ
イナスの極性が変化したパラメータがあるか否かを判断
する方法である。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８
に記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変
動量を調べる工程において、パラメータ値のプラス・マ
イナスの極性が変化したパラメータがあるか否かを判断
する方法である。
【００３１】また、請求項１１に係るトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８
に記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変
動量を調べる工程において、パラメータ値の絶対値の変
化が所定の倍数以上であるパラメータがあるか否かを判
断する方法である。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項８
に記載のサイズ領域内にて選択されたパラメータ値の変
動量を調べる工程において、パラメータ値の絶対値の変
化が所定の倍数以上であるパラメータがあるか否かを判
断する方法である。
【００３２】また、請求項１２に係るトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域の角に対応する４
つの交点でのサイズ位置における各トランジスタに対し
てそれぞれ抽出する工程と、これら抽出された各パラメ
ータ同士の値を比較し、桁数が変わっているか否か、プ
ラス・マイナスの極性が変わっているか否か、又は絶対
値の最大値と最小値の差が所定の倍数を超えている否か
を判断する工程とからなる方法である。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ
２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域の角に対応する４
つの交点でのサイズ位置における各トランジスタに対し
てそれぞれ抽出する工程と、これら抽出された各パラメ
ータ同士の値を比較し、桁数が変わっているか否か、プ
ラス・マイナスの極性が変わっているか否か、又は絶対
値の最大値と最小値の差が所定の倍数を超えている否か
を判断する工程とからなる方法である。
【００３３】また、請求項１３に係るトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、ＳＰＩＣＥパラメータの有効桁数を所定の桁数に設
定するとともに、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ
１）を規定する２本のチャネル長規定線と、チャネル幅
Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅
規定線との４つの交点によって定義されるサイズ領域内
の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演
算する方法を使用して、上記サイズ領域の角に対応する
４つの交点でのサイズ位置における各トランジスタに対
してそれぞれ抽出された各パラメータ値に基づき、上記
サイズ領域用ＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記パラメータ演算式を使用
して、上記サイズ領域の４つの角における各サイズ位置
についてそれぞれパラメータ値を演算する工程と、上記
サイズ領域の４つの角における各サイズ位置のトランジ
スタに対してそれぞれ抽出された各パラメータ値と上記
パラメータ演算式により４つの角における各サイズ位置
についてそれぞれ求められたパラメータ値とを比較し
て、両者の差が所定の数値以上であるか否かを判断する
方法である。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、ＳＰＩＣＥパラメータの有効桁数を所定の桁数に設
定するとともに、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ
１）を規定する２本のチャネル長規定線と、チャネル幅
Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２本のチャネル幅
規定線との４つの交点によって定義されるサイズ領域内
の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演
算する方法を使用して、上記サイズ領域の角に対応する
４つの交点でのサイズ位置における各トランジスタに対
してそれぞれ抽出された各パラメータ値に基づき、上記
サイズ領域用ＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記パラメータ演算式を使用
して、上記サイズ領域の４つの角における各サイズ位置
についてそれぞれパラメータ値を演算する工程と、上記
サイズ領域の４つの角における各サイズ位置のトランジ
スタに対してそれぞれ抽出された各パラメータ値と上記
パラメータ演算式により４つの角における各サイズ位置
についてそれぞれ求められたパラメータ値とを比較し
て、両者の差が所定の数値以上であるか否かを判断する
方法である。
【００３４】上記請求項８〜１３に記載の各パラメータ
の抽出方法によると、４つの点にて定義されるサイズ領
域内に設定された各交点について、パラメータ演算式に
基づき得られたパラメータ値の変動量の大小を判断する
ようにしたので、従来のようにトランジスタの電気特性
のシミュレーションを実行してその結果をグラフ化し目
視による確認を行う、前の段階にて、シミュレーション
の特性異常の原因となり得るパラメータの組合せを効率
的に発見することができる。
の抽出方法によると、４つの点にて定義されるサイズ領
域内に設定された各交点について、パラメータ演算式に
基づき得られたパラメータ値の変動量の大小を判断する
ようにしたので、従来のようにトランジスタの電気特性
のシミュレーションを実行してその結果をグラフ化し目
視による確認を行う、前の段階にて、シミュレーション
の特性異常の原因となり得るパラメータの組合せを効率
的に発見することができる。
【００３５】また、請求項１４に係るトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ
４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記サイズ領域を、複数の直
線又は複数の曲線にて分割するとともに、これら直線同
士又は曲線同士の交点、及びこれらの直線又はこれらの
曲線と当該サイズ領域を囲む外周線との交点を求める工
程と、上記パラメータ演算式を使用して任意の交点にお
けるパラメータ値を演算するとともに、当該任意の交点
を通過する上記直線又は曲線とサイズ領域外周線とが交
わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程と、これ
ら求められたパラメータ値に基づき上記任意の交点及び
両端交点における電気特性のシミュレーション値を求め
る工程と、上記両端交点におけるシミュレーション値同
士を結ぶ線分上で内挿法を用いて、上記任意の交点での
内挿値を求める工程と、上記内挿値を基準にして電気特
性値の許容範囲を設定するとともに、上記任意の交点に
おけるシミュレーション値が上記許容範囲内であるか否
かを判断する工程とからなる方法である（なお、上記パ
ラメータ演算式を求める工程および各パラメータ値を演
算する工程については、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフ
トウエアにて自動的に実行される工程でもある）。
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型トラ
ンジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であっ
て、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する
２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ
４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との４つ
の交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサイズ
位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラメー
タ演算式を求める工程と、上記サイズ領域を、複数の直
線又は複数の曲線にて分割するとともに、これら直線同
士又は曲線同士の交点、及びこれらの直線又はこれらの
曲線と当該サイズ領域を囲む外周線との交点を求める工
程と、上記パラメータ演算式を使用して任意の交点にお
けるパラメータ値を演算するとともに、当該任意の交点
を通過する上記直線又は曲線とサイズ領域外周線とが交
わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程と、これ
ら求められたパラメータ値に基づき上記任意の交点及び
両端交点における電気特性のシミュレーション値を求め
る工程と、上記両端交点におけるシミュレーション値同
士を結ぶ線分上で内挿法を用いて、上記任意の交点での
内挿値を求める工程と、上記内挿値を基準にして電気特
性値の許容範囲を設定するとともに、上記任意の交点に
おけるシミュレーション値が上記許容範囲内であるか否
かを判断する工程とからなる方法である（なお、上記パ
ラメータ演算式を求める工程および各パラメータ値を演
算する工程については、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフ
トウエアにて自動的に実行される工程でもある）。
【００３６】また、請求項１５に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上で内挿法を用いて、上記任意の
交点での内挿値を求める工程と、上記内挿値を基準にし
て電気特性値の許容範囲を設定するとともに、上記任意
の交点におけるシミュレーション値が上記許容範囲内で
あるか否かを判断する工程とからなる方法である（な
お、上記パラメータ演算式を求める工程および各パラメ
ータ値を演算する工程については、ＳＰＩＣＥシュミレ
ータのソフトウエアにて自動的に実行される工程でもあ
る）。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上で内挿法を用いて、上記任意の
交点での内挿値を求める工程と、上記内挿値を基準にし
て電気特性値の許容範囲を設定するとともに、上記任意
の交点におけるシミュレーション値が上記許容範囲内で
あるか否かを判断する工程とからなる方法である（な
お、上記パラメータ演算式を求める工程および各パラメ
ータ値を演算する工程については、ＳＰＩＣＥシュミレ
ータのソフトウエアにて自動的に実行される工程でもあ
る）。
【００３７】また、請求項１６に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上にて線形関数を用いた内挿法に
より、上記任意の交点での内挿値を求める工程と、上記
内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定すると
ともに、上記任意の交点におけるシミュレーション値が
上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、上記分
割線上の他の任意の交点についても、順次、上記各工程
と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシミュレ
ーション値が許容範囲内であるか否かを判断する工程と
からなる方法である（なお、上記パラメータ演算式を求
める工程および各パラメータ値を演算する工程について
は、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフトウエアにて自動的
に実行される工程でもある）。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上にて線形関数を用いた内挿法に
より、上記任意の交点での内挿値を求める工程と、上記
内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定すると
ともに、上記任意の交点におけるシミュレーション値が
上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、上記分
割線上の他の任意の交点についても、順次、上記各工程
と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシミュレ
ーション値が許容範囲内であるか否かを判断する工程と
からなる方法である（なお、上記パラメータ演算式を求
める工程および各パラメータ値を演算する工程について
は、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフトウエアにて自動的
に実行される工程でもある）。
【００３８】また、請求項１７に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上にて非線形関数を用いた内挿法
により、上記任意の交点での内挿値を求める工程と、上
記内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定する
とともに、上記任意の交点におけるシミュレーション値
が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、上記
分割線上の他の任意の交点についても、順次、上記各工
程と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシミュ
レーション値が許容範囲内であるか否かを判断する工程
とからなる方法である（なお、上記パラメータ演算式を
求める工程および各パラメータ値を演算する工程につい
ては、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフトウエアにて自動
的に実行される工程でもある）。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、ＭＯＳ型ト
ランジスタのＳＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であ
って、チャネル長Ｌ３、Ｌ４（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定す
る２本のチャネル長規定線と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４
（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２本のチャネル幅規定線との
４つの交点によって定義されるサイズ領域内の任意のサ
イズ位置におけるＳＰＩＣＥパラメータを演算するパラ
メータ演算式を求める工程と、上記規定されたチャネル
長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数のチャネル長分割線にて分
割するとともに、上記規定されたチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ
≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分割線にて分割する工程
と、上記パラメータ演算式を使用して上記分割線上の任
意の交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当
該任意の交点を通過する上記分割線とサイズ領域外周線
とが交わる両端交点にてパラメータ値を演算する工程
と、これら求められたパラメータ値に基づき上記任意の
交点及び両端交点における電気特性のシミュレーション
値を求める工程と、上記両端交点におけるシミュレーシ
ョン値同士を結ぶ線分上にて非線形関数を用いた内挿法
により、上記任意の交点での内挿値を求める工程と、上
記内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定する
とともに、上記任意の交点におけるシミュレーション値
が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、上記
分割線上の他の任意の交点についても、順次、上記各工
程と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシミュ
レーション値が許容範囲内であるか否かを判断する工程
とからなる方法である（なお、上記パラメータ演算式を
求める工程および各パラメータ値を演算する工程につい
ては、ＳＰＩＣＥシュミレータのソフトウエアにて自動
的に実行される工程でもある）。
【００３９】また、請求項１８に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、内
挿値に対する許容範囲の上限幅及び下限幅を、内挿値の
一定割合に設定した方法である。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、内
挿値に対する許容範囲の上限幅及び下限幅を、内挿値の
一定割合に設定した方法である。
【００４０】また、請求項１９に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、電
気特性のサイズ依存性が下方に突出するような場合、シ
ミュレーション値における許容範囲の上限を内挿値に設
定するとともに、許容範囲の下限幅を内挿値の一定割合
とする方法である。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、電
気特性のサイズ依存性が下方に突出するような場合、シ
ミュレーション値における許容範囲の上限を内挿値に設
定するとともに、許容範囲の下限幅を内挿値の一定割合
とする方法である。
【００４１】また、請求項２０に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、電
気特性のサイズ依存性が上方に突出するような場合、シ
ミュレーション値における許容範囲の下限を内挿値に設
定するとともに、許容範囲の上限幅を内挿値の一定割合
とする方法である。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、電
気特性のサイズ依存性が上方に突出するような場合、シ
ミュレーション値における許容範囲の下限を内挿値に設
定するとともに、許容範囲の上限幅を内挿値の一定割合
とする方法である。
【００４２】また、請求項２１に記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、両
端交点間に設定される内挿線の中央部から両端部に行く
にしたがってシミュレーション値の許容範囲を狭くする
方法である。
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法は、上記請求項
１４乃至１７のいずれかに記載の抽出方法において、両
端交点間に設定される内挿線の中央部から両端部に行く
にしたがってシミュレーション値の許容範囲を狭くする
方法である。
【００４３】上記請求項１４〜２１に記載の各パラメー
タの抽出方法によると、トランジスタにおける電気特性
のサイズ依存性を調べる際、依存性を調べる両端点のサ
イズ位置に対して電気特性のシミュレーションを行い、
この両端点のサイズ位置における電気特性のシミュレー
ション値に基づき、両端点間に存在するトランジスタの
電気特性を、例えば線形関数、非線形関数などを用いて
内挿法により求め、この求められた内挿値を基準にして
許容範囲を設定するとともに、そのトランジスタのシミ
ュレーション値が許容範囲内であるか否かを判断するよ
うにしたので、ＭＯＳ型トランジスタの電気特性をグラ
フ化して目視による確認を行う作業負担の軽減を図るこ
とができ、又は目視による確認作業を不要にすることが
できる。
タの抽出方法によると、トランジスタにおける電気特性
のサイズ依存性を調べる際、依存性を調べる両端点のサ
イズ位置に対して電気特性のシミュレーションを行い、
この両端点のサイズ位置における電気特性のシミュレー
ション値に基づき、両端点間に存在するトランジスタの
電気特性を、例えば線形関数、非線形関数などを用いて
内挿法により求め、この求められた内挿値を基準にして
許容範囲を設定するとともに、そのトランジスタのシミ
ュレーション値が許容範囲内であるか否かを判断するよ
うにしたので、ＭＯＳ型トランジスタの電気特性をグラ
フ化して目視による確認を行う作業負担の軽減を図るこ
とができ、又は目視による確認作業を不要にすることが
できる。
【００４４】
【発明の実施の形態】本発明に関しては、上述したよう
に、具体的な課題が３つあり、それぞれの課題ごとに、
本発明を複数の実施の形態に基づき、順次、説明する。
に、具体的な課題が３つあり、それぞれの課題ごとに、
本発明を複数の実施の形態に基づき、順次、説明する。
【００４５】第一の課題を解決するものとして、以下の
第１〜第９の実施の形態に示すＳＰＩＣＥパラメータの
抽出方法がある。まず、これらの実施の形態にて示され
る内容を分類すると、４つの抽出方法に分けることがで
きる。
第１〜第９の実施の形態に示すＳＰＩＣＥパラメータの
抽出方法がある。まず、これらの実施の形態にて示され
る内容を分類すると、４つの抽出方法に分けることがで
きる。
【００４６】１番目の抽出方法では、ＬＷ領域用のＳＰ
ＩＣＥパラメータに対して、サイズ領域内の任意のサイ
ズ位置のトランジスタを選択し、選択したサイズにおけ
る任意のＳＰＩＣＥパラメータ値を計算し、その値が不
適正な値を取っているか否かを判別する演算処理をする
ことにより、ＳＰＩＣＥパラメータ値を確認する方法で
ある（第１〜第９の実施の形態に相当する）。
ＩＣＥパラメータに対して、サイズ領域内の任意のサイ
ズ位置のトランジスタを選択し、選択したサイズにおけ
る任意のＳＰＩＣＥパラメータ値を計算し、その値が不
適正な値を取っているか否かを判別する演算処理をする
ことにより、ＳＰＩＣＥパラメータ値を確認する方法で
ある（第１〜第９の実施の形態に相当する）。
【００４７】２番目の抽出方法では、確認を行うトラン
ジスタのサイズを選択する際、ＬＷ領域を格子状に複数
の線によって分割し、チャネル長Ｌ又はチャネル幅Ｗが
小さいところほど格子を細かくし、逆にチャネル長Ｌ又
はチャネル幅Ｗが小さいところほど格子を粗くして、全
ての格子の交点についてＳＰＩＣＥパラメータの確認を
行う方法である（第４及び第８の実施の形態に相当す
る）。
ジスタのサイズを選択する際、ＬＷ領域を格子状に複数
の線によって分割し、チャネル長Ｌ又はチャネル幅Ｗが
小さいところほど格子を細かくし、逆にチャネル長Ｌ又
はチャネル幅Ｗが小さいところほど格子を粗くして、全
ての格子の交点についてＳＰＩＣＥパラメータの確認を
行う方法である（第４及び第８の実施の形態に相当す
る）。
【００４８】３番目の抽出方法は、ＳＰＩＣＥパラメー
タの抽出を行ったＬＷサイズ領域よりも広いサイズ領域
に対してＳＰＩＣＥパラメータを拡張して利用可能とす
る場合に対処するものであり、拡張したサイズ領域を所
定の方法で複数に分類して分割領域を定義し、それぞれ
の分割領域ごとに、上記２番目の抽出方法と同様に、分
割領域を格子状に区切り、ＳＰＩＣＥパラメータの確認
を行う方法である（第７〜第９の実施の形態に相当す
る）。
タの抽出を行ったＬＷサイズ領域よりも広いサイズ領域
に対してＳＰＩＣＥパラメータを拡張して利用可能とす
る場合に対処するものであり、拡張したサイズ領域を所
定の方法で複数に分類して分割領域を定義し、それぞれ
の分割領域ごとに、上記２番目の抽出方法と同様に、分
割領域を格子状に区切り、ＳＰＩＣＥパラメータの確認
を行う方法である（第７〜第９の実施の形態に相当す
る）。
【００４９】以下、第一の課題に対応する本発明の実施
の形態について説明する。まず、本発明の第１の実施の
形態に係るＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法を、図面に基づき説明する。
の形態について説明する。まず、本発明の第１の実施の
形態に係るＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法を、図面に基づき説明する。
【００５０】ここで、図１に基づき、本第１の実施の形
態に係る抽出方法を実現するためのコンピュータシステ
ムについて説明する。なお、このコンピュータシステム
は、第１の実施の形態より以降で説明する各実施の形態
に係るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法にも適用するも
のであり、これより以降の各実施の形態においては、適
用する旨を述べるとともに、その説明を省略するものと
する。
態に係る抽出方法を実現するためのコンピュータシステ
ムについて説明する。なお、このコンピュータシステム
は、第１の実施の形態より以降で説明する各実施の形態
に係るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法にも適用するも
のであり、これより以降の各実施の形態においては、適
用する旨を述べるとともに、その説明を省略するものと
する。
【００５１】また、ＳＰＩＣＥパラメータは、多数のパ
ラメータにより構成されており、通常、パラメータセッ
トとして扱われるが、以下に示す全ての実施の形態にお
いては、単に、パラメータとして記述するが、勿論、本
発明に係るパラメータの抽出方法は、パラメータセット
の残りのパラメータ（必ずしも、全てのパラメータでは
ないが、少なくとも、チェックを必要とするパラメー
タ）についても適用されるものである。
ラメータにより構成されており、通常、パラメータセッ
トとして扱われるが、以下に示す全ての実施の形態にお
いては、単に、パラメータとして記述するが、勿論、本
発明に係るパラメータの抽出方法は、パラメータセット
の残りのパラメータ（必ずしも、全てのパラメータでは
ないが、少なくとも、チェックを必要とするパラメー
タ）についても適用されるものである。
【００５２】図１に示すように、このコンピュータシス
テム１は、基本的に、演算処理部（以下、ＣＰＵとい
う）２と、主記憶部（メモリ又はメモリシステムとい
う）３と、外部記憶部（以下、ディスクという）４と、
入出力部であるキーボード５、マウス６及びグラフィッ
クディスプレイ（以下、ディスプレイという）７と、外
部との通信を行うための通信インターフェイス８と、こ
れら各構成要素同士の間で制御信号、データなどの各信
号の授受を行うためのシステムバス９とを具備してい
る。
テム１は、基本的に、演算処理部（以下、ＣＰＵとい
う）２と、主記憶部（メモリ又はメモリシステムとい
う）３と、外部記憶部（以下、ディスクという）４と、
入出力部であるキーボード５、マウス６及びグラフィッ
クディスプレイ（以下、ディスプレイという）７と、外
部との通信を行うための通信インターフェイス８と、こ
れら各構成要素同士の間で制御信号、データなどの各信
号の授受を行うためのシステムバス９とを具備してい
る。
【００５３】上記ＣＰＵ２は、システムバス９を介し
て、他の構成要素と信号の授受を行い、本発明に係るパ
ラメータの抽出方法を実現するソフトウエアを実行す
る。キーボード５はテキストデータの入力を行い、マウ
ス６は図形や位置データの入力を行う。ディスプレイ７
は、コンピュータシステム１のテキストデータと図形デ
ータの出力結果を表示する。
て、他の構成要素と信号の授受を行い、本発明に係るパ
ラメータの抽出方法を実現するソフトウエアを実行す
る。キーボード５はテキストデータの入力を行い、マウ
ス６は図形や位置データの入力を行う。ディスプレイ７
は、コンピュータシステム１のテキストデータと図形デ
ータの出力結果を表示する。
【００５４】ディスク７は、本発明の抽出方法を実現す
るソフトウエア及びそれに用いるデータを格納する。通
信インターフェース８は、他のコンピュータシステムと
の通信を受け持つ。
るソフトウエア及びそれに用いるデータを格納する。通
信インターフェース８は、他のコンピュータシステムと
の通信を受け持つ。
【００５５】また、メモリシステム３は、上記各ソフト
ウエアによって用いられるオペレーティングシステム１
０を含み、このオペレーティングシステム１０には、既
存のオペレーティングシステム、例えば、ＵＮＩＸ（登
録商標）、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）、ＬＩＮＵＸな
どを用いることができる。
ウエアによって用いられるオペレーティングシステム１
０を含み、このオペレーティングシステム１０には、既
存のオペレーティングシステム、例えば、ＵＮＩＸ（登
録商標）、Ｗｉｎｄｏｗｓ（登録商標）、ＬＩＮＵＸな
どを用いることができる。
【００５６】そして、このメモリシステム３の作動時に
は、パラメータの抽出方法を実行するためのトランジス
タパラメータ抽出ソフトウエア１１、 ＬＷ領域用パラ
メータ演算ソフトウエア１２、パラメータ禁止値チェッ
クソフトウエア１３、パラメータ連続性チェックソフト
ウエア１４及び特性判定ソフトウエア１５並びにこれら
の処理に用いられるデータをディスク４から読み出し、
メモリ内に格納する。
は、パラメータの抽出方法を実行するためのトランジス
タパラメータ抽出ソフトウエア１１、 ＬＷ領域用パラ
メータ演算ソフトウエア１２、パラメータ禁止値チェッ
クソフトウエア１３、パラメータ連続性チェックソフト
ウエア１４及び特性判定ソフトウエア１５並びにこれら
の処理に用いられるデータをディスク４から読み出し、
メモリ内に格納する。
【００５７】上記パラメータ抽出ソフトウエア１１は、
１つ以上のトランジスタを対象としてＳＰＩＣＥパラメ
ータを最適化して抽出するためのソフトウエアである。
上記ＬＷ領域用パラメータ演算ソフトウエア１２は、４
つの単体トランジスタ用のＳＰＩＣＥパラメータから、
この４つのトランジスタが囲うＬＷ領域用のパラメータ
を、パラメータ演算式（後述する）を用いて演算するソ
フトウエアである。
１つ以上のトランジスタを対象としてＳＰＩＣＥパラメ
ータを最適化して抽出するためのソフトウエアである。
上記ＬＷ領域用パラメータ演算ソフトウエア１２は、４
つの単体トランジスタ用のＳＰＩＣＥパラメータから、
この４つのトランジスタが囲うＬＷ領域用のパラメータ
を、パラメータ演算式（後述する）を用いて演算するソ
フトウエアである。
【００５８】上記パラメータ禁止値チェックソフトウエ
ア１３は、ＳＰＩＣＥパラメータが有効となるＬＷ領域
内の複数のサイズにおいて、ＳＰＩＣＥパラメータの値
が禁止された値を取っていないかを確認するためのソフ
トウエアである。
ア１３は、ＳＰＩＣＥパラメータが有効となるＬＷ領域
内の複数のサイズにおいて、ＳＰＩＣＥパラメータの値
が禁止された値を取っていないかを確認するためのソフ
トウエアである。
【００５９】上記パラメータ連続性チェックソフトウエ
ア１４は、ＬＷ領域内で各パラメータ値がどのように変
動しているかを監視するためのソフトウエアである。さ
らに、上記特性判定ソフトウエア１５は、飽和電流値、
しきい値等の電気特性のシミュレーション結果に不備が
ありそうか否かを判断するソフトウエアである。
ア１４は、ＬＷ領域内で各パラメータ値がどのように変
動しているかを監視するためのソフトウエアである。さ
らに、上記特性判定ソフトウエア１５は、飽和電流値、
しきい値等の電気特性のシミュレーション結果に不備が
ありそうか否かを判断するソフトウエアである。
【００６０】次に、図２に基づき、ＭＯＳ型トランジス
タのゲート長さ（チャネル長ともいう）Ｌ及びゲート幅
（チャネル幅ともいう）Ｗに関するＬＷ領域（以下、サ
イズ領域ともいう）について説明する。
タのゲート長さ（チャネル長ともいう）Ｌ及びゲート幅
（チャネル幅ともいう）Ｗに関するＬＷ領域（以下、サ
イズ領域ともいう）について説明する。
【００６１】図２は、サイズが異なる４つ（４種類）の
トランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４と、これ
ら４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４
により囲まれた長方形のＬＷ領域のエリア１（Ａｒｅａ
１）を示しており、図２の横軸はトランジスタのチャネ
ル長（ゲート長ともいう）Ｌを、縦軸はトランジスタの
チャネル幅（ゲート幅ともいう）Ｗを示している。
トランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４と、これ
ら４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４
により囲まれた長方形のＬＷ領域のエリア１（Ａｒｅａ
１）を示しており、図２の横軸はトランジスタのチャネ
ル長（ゲート長ともいう）Ｌを、縦軸はトランジスタの
チャネル幅（ゲート幅ともいう）Ｗを示している。
【００６２】それぞれのトランジスタにおけるサイズ
（Ｌ，Ｗ）の位置座標は、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔ
ｒ４の順に、（Ｌ１，Ｗ１）、（Ｌ１，Ｗ２）、（Ｌ
２，Ｗ１）、（Ｌ２，Ｗ２）とする。但し、Ｌ１とＬ２
の大小関係、及びＷ１とＷ２の大小関係は、図２に示す
ように、Ｌ２ ＜Ｌ１及びＷ２ ＜Ｗ１である。
（Ｌ，Ｗ）の位置座標は、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔ
ｒ４の順に、（Ｌ１，Ｗ１）、（Ｌ１，Ｗ２）、（Ｌ
２，Ｗ１）、（Ｌ２，Ｗ２）とする。但し、Ｌ１とＬ２
の大小関係、及びＷ１とＷ２の大小関係は、図２に示す
ように、Ｌ２ ＜Ｌ１及びＷ２ ＜Ｗ１である。
【００６３】すなわち、ＳＰＩＣＥパラメータを抽出す
るサイズ領域平面は、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜
Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線Ｍ１、Ｍ２
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線Ｎ１、Ｎ２とが交差する４つの交
点（Ｌ１，Ｗ１）、（Ｌ１，Ｗ２）、（Ｌ２，Ｗ１）、
（Ｌ２，Ｗ２）によって定義される。
るサイズ領域平面は、チャネル長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜
Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線Ｍ１、Ｍ２
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線Ｎ１、Ｎ２とが交差する４つの交
点（Ｌ１，Ｗ１）、（Ｌ１，Ｗ２）、（Ｌ２，Ｗ１）、
（Ｌ２，Ｗ２）によって定義される。
【００６４】また、２本のチャネル長規定線Ｍ１、Ｍ２
の間（Ｌ１とＬ２との間）を均等に分割する複数のチャ
ネル長分割線ｍと、２本のチャネル幅規定線Ｎ１、Ｎ２
の間（Ｗ１とＷ２との間）を均等に分割する複数のチャ
ネル幅分割線ｎとで、４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ
２、Ｔｒ３、Ｔｒ４にて囲まれるサイズ領域であるエリ
ア１を格子状に区切るとともに、チャネル長分割線ｍと
チャネル幅分割線ｎとの交点、チャネル長分割線ｍとエ
リア１を囲む外周線Ｓとの交点、及びチャネル幅分割線
ｎとエリア１を囲む外周線Ｓとの交点の中の１つのサイ
ズにおけるトランジスタをＴｒ５とする。
の間（Ｌ１とＬ２との間）を均等に分割する複数のチャ
ネル長分割線ｍと、２本のチャネル幅規定線Ｎ１、Ｎ２
の間（Ｗ１とＷ２との間）を均等に分割する複数のチャ
ネル幅分割線ｎとで、４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ
２、Ｔｒ３、Ｔｒ４にて囲まれるサイズ領域であるエリ
ア１を格子状に区切るとともに、チャネル長分割線ｍと
チャネル幅分割線ｎとの交点、チャネル長分割線ｍとエ
リア１を囲む外周線Ｓとの交点、及びチャネル幅分割線
ｎとエリア１を囲む外周線Ｓとの交点の中の１つのサイ
ズにおけるトランジスタをＴｒ５とする。
【００６５】次に、図３に基づき、パラメータ禁止値チ
ェックソフトウエア１３について説明する。図３は、パ
ラメータの禁止値をチェックするフローを示しており、
以下、このフローについて説明する。
ェックソフトウエア１３について説明する。図３は、パ
ラメータの禁止値をチェックするフローを示しており、
以下、このフローについて説明する。
【００６６】トランジスタの測定結果格納部２０には、
トランジスタの電気特性の測定結果が格納され、ここで
は、図２で示した４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、
Ｔｒ３、Ｔｒ４の測定結果が格納される。
トランジスタの電気特性の測定結果が格納され、ここで
は、図２で示した４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、
Ｔｒ３、Ｔｒ４の測定結果が格納される。
【００６７】次に、単体トランジスタ用パラメータ抽出
処理２３では、各トランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ
３、Ｔｒ４について、個々の測定結果だけを対象にし
て、すなわち上記測定結果格納部２０から測定結果を取
り込み、トランジスタパラメータ抽出ソフトウエア１１
を用いてパラメータを抽出する。
処理２３では、各トランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ
３、Ｔｒ４について、個々の測定結果だけを対象にし
て、すなわち上記測定結果格納部２０から測定結果を取
り込み、トランジスタパラメータ抽出ソフトウエア１１
を用いてパラメータを抽出する。
【００６８】これら抽出されたパラメータを、それぞれ
Ｐａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４とす
ると、これらＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４の４つのパラメータは、単体トランジスタ用パ
ラメータ格納部２１に格納される。
Ｐａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４とす
ると、これらＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４の４つのパラメータは、単体トランジスタ用パ
ラメータ格納部２１に格納される。
【００６９】次に、ＬＷ領域用パラメータの演算処理２
４では、上記ＬＷ領域用パラメータ演算ソフトウエア１
２を用いて、各パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐ
ａｒａ３、Ｐａｒａ４から、エリア１におけるＬＷ領域
用のパラメータＰａｒａ１０を算出し、そしてＬＷ領域
用パラメータ格納部２２に格納する。なお、パラメータ
Ｐａｒａ１０についての演算は、従来例の箇所で説明し
たように、４つの連立方程式を解いて Ｐ０、ＰＬ、Ｐ
Ｗ、ＰＬＷを求めることにより、ＬＷ領域でのパラメー
タが得られる。
４では、上記ＬＷ領域用パラメータ演算ソフトウエア１
２を用いて、各パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐ
ａｒａ３、Ｐａｒａ４から、エリア１におけるＬＷ領域
用のパラメータＰａｒａ１０を算出し、そしてＬＷ領域
用パラメータ格納部２２に格納する。なお、パラメータ
Ｐａｒａ１０についての演算は、従来例の箇所で説明し
たように、４つの連立方程式を解いて Ｐ０、ＰＬ、Ｐ
Ｗ、ＰＬＷを求めることにより、ＬＷ領域でのパラメー
タが得られる。
【００７０】次に、パラメータ禁止値チェックソフト処
理部３０における処理では、上記パラメータ禁止値チェ
ックソフトウエア１３を用いて、Ｐａｒａ１０が図２に
示したエリア１内で禁止値を取らないか否かを確認す
る。
理部３０における処理では、上記パラメータ禁止値チェ
ックソフトウエア１３を用いて、Ｐａｒａ１０が図２に
示したエリア１内で禁止値を取らないか否かを確認す
る。
【００７１】禁止値が見つからない場合には終了し、見
つかった場合には、エラー内容判断処理２９を経て、単
体トランジスタ用パラメータ抽出処理２３に戻り、Ｐａ
ｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の中で、
禁止値を取る原因と考えられるパラメータを再抽出す
る。
つかった場合には、エラー内容判断処理２９を経て、単
体トランジスタ用パラメータ抽出処理２３に戻り、Ｐａ
ｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の中で、
禁止値を取る原因と考えられるパラメータを再抽出す
る。
【００７２】なお、パラメータ禁止値チェックソフト処
理部３０での処理は、図１のパラメータ禁止値チェック
ソフトウエア１３により行うが、この処理については、
図４に示したフロー図に基づき、以下、詳しく説明す
る。
理部３０での処理は、図１のパラメータ禁止値チェック
ソフトウエア１３により行うが、この処理については、
図４に示したフロー図に基づき、以下、詳しく説明す
る。
【００７３】まず、設定部３９での初期設定について説
明する。ＬＷ領域パラメータ用格納部２２には、ＬＷ領
域用パラメータＰａｒａ１０が格納される。Ｐａｒａ１
０が有効となるＬＷ領域の範囲がパラメータ有効範囲格
納部３２に格納される。使用中のＳＰＩＣＥトランジス
タモデル上の制約により、禁止値が指定されているパラ
メータの全てのパラメータ名が、チェックするパラメー
タ名格納部３１に格納される。
明する。ＬＷ領域パラメータ用格納部２２には、ＬＷ領
域用パラメータＰａｒａ１０が格納される。Ｐａｒａ１
０が有効となるＬＷ領域の範囲がパラメータ有効範囲格
納部３２に格納される。使用中のＳＰＩＣＥトランジス
タモデル上の制約により、禁止値が指定されているパラ
メータの全てのパラメータ名が、チェックするパラメー
タ名格納部３１に格納される。
【００７４】また、これら禁止値が設定されているパラ
メータに対するチェック内容がパラメータのチェック内
容格納部３３に格納される。例えば、負値を取ってはい
けないとされているパラメータに対しては、チェック項
目としてパラメータが負値になっているかどうか判断す
る項目が設定される。
メータに対するチェック内容がパラメータのチェック内
容格納部３３に格納される。例えば、負値を取ってはい
けないとされているパラメータに対しては、チェック項
目としてパラメータが負値になっているかどうか判断す
る項目が設定される。
【００７５】なお、分割情報格納部２５Ｂは処理を開始
した後で使用されるので後で説明する。以上が設定部３
９の説明である。次に、上記設定部３９にて設定された
状態において、パラメータが禁止値を取るか否かの確認
を行う処理について説明する。
した後で使用されるので後で説明する。以上が設定部３
９の説明である。次に、上記設定部３９にて設定された
状態において、パラメータが禁止値を取るか否かの確認
を行う処理について説明する。
【００７６】まず、チェックするパラメータ選択処理３
４にて、チェックするパラメータ名格納部３１に格納さ
れたパラメータ名の中から、最初にチェックするパラメ
ータ名を１つ選択する。
４にて、チェックするパラメータ名格納部３１に格納さ
れたパラメータ名の中から、最初にチェックするパラメ
ータ名を１つ選択する。
【００７７】次に、領域分割線設定処理２５Ａにて、Ｌ
Ｗ領域パラメータの有効領域格納部３２に格納されてい
るＰａｒａ１０の有効範囲を読み取る。具体的には、図
２に示したＬ１、Ｌ２、Ｗ１、Ｗ２のサイズ（位置座
標）を読み取る。
Ｗ領域パラメータの有効領域格納部３２に格納されてい
るＰａｒａ１０の有効範囲を読み取る。具体的には、図
２に示したＬ１、Ｌ２、Ｗ１、Ｗ２のサイズ（位置座
標）を読み取る。
【００７８】次に、既に図２の説明で述べたように、エ
リア１を格子状に分割するチャネル長分割線ｍ及びチャ
ネル幅分割線ｎを設定する。そして、図２に示した交点
のサイズを分割情報格納部２５Ｂに格納する。なお、領
域分割線設定処理２５Ａについては、一度実行した後の
２回目以降の処理を飛ばし、チェックするサイズ選択処
理３５に移る。
リア１を格子状に分割するチャネル長分割線ｍ及びチャ
ネル幅分割線ｎを設定する。そして、図２に示した交点
のサイズを分割情報格納部２５Ｂに格納する。なお、領
域分割線設定処理２５Ａについては、一度実行した後の
２回目以降の処理を飛ばし、チェックするサイズ選択処
理３５に移る。
【００７９】次に、チェックするサイズ選択処理３５で
は、分割情報格納部２５Ｂに格納されている図２に示し
たエリア１内にある交点の１つを選択する。選択した交
点のサイズを（Ｌ５，Ｗ５）とする。
は、分割情報格納部２５Ｂに格納されている図２に示し
たエリア１内にある交点の１つを選択する。選択した交
点のサイズを（Ｌ５，Ｗ５）とする。
【００８０】次に、パラメータ値演算処理３６では、選
択したパラメータが、選択したサイズにて取る値を以下
の式に従って演算が行われる。 Ｐ（Ｌ５，Ｗ５）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ５+ＰＷ／Ｗ５+ＰＬ
Ｗ／（Ｌ５×Ｗ５） 次に、エラー有無の判断処理２６においては、Ｐ（Ｌ
５，Ｗ５）がパラメータのチェック内容格納部３３に格
納されているチェック項目に基づきチェックが行われ、
禁止値になっているか否かが判断される。禁止値である
場合は、その時の選択しているパラメータ名と選択して
いるサイズとパラメータ値などのエラー情報をエラー情
報格納部２７に格納し、エラー情報の出力処理２８に
て、エラー情報がコンピュータシステムのディスプレイ
５に出力表示されるか、又はディスク７にファイルとし
て出力される。
択したパラメータが、選択したサイズにて取る値を以下
の式に従って演算が行われる。 Ｐ（Ｌ５，Ｗ５）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ５+ＰＷ／Ｗ５+ＰＬ
Ｗ／（Ｌ５×Ｗ５） 次に、エラー有無の判断処理２６においては、Ｐ（Ｌ
５，Ｗ５）がパラメータのチェック内容格納部３３に格
納されているチェック項目に基づきチェックが行われ、
禁止値になっているか否かが判断される。禁止値である
場合は、その時の選択しているパラメータ名と選択して
いるサイズとパラメータ値などのエラー情報をエラー情
報格納部２７に格納し、エラー情報の出力処理２８に
て、エラー情報がコンピュータシステムのディスプレイ
５に出力表示されるか、又はディスク７にファイルとし
て出力される。
【００８１】次に、禁止値であった場合のエラー情報を
出力した後、又は禁止値でない場合に、次のサイズのチ
ェック必要性判断処理３７にて、図２で示した交点でま
だ選択されていないサイズがあれば、選択されていない
交点を選択するために、サイズ選択処理３５に戻る。
出力した後、又は禁止値でない場合に、次のサイズのチ
ェック必要性判断処理３７にて、図２で示した交点でま
だ選択されていないサイズがあれば、選択されていない
交点を選択するために、サイズ選択処理３５に戻る。
【００８２】全ての交点で選択しているパラメータが禁
止値を取っているか否かの確認が終了している場合は、
次のパラメータのチェックの必要性判断処理３８に移
る。このパラメータのチェックの必要性判断処理３８で
は、チェックするパラメータ名格納部３１に格納されて
いるパラメータ名の中で、まだ選択されていないパラメ
ータ名がある場合は、チェックするパラメータの選択処
理３４に戻る。
止値を取っているか否かの確認が終了している場合は、
次のパラメータのチェックの必要性判断処理３８に移
る。このパラメータのチェックの必要性判断処理３８で
は、チェックするパラメータ名格納部３１に格納されて
いるパラメータ名の中で、まだ選択されていないパラメ
ータ名がある場合は、チェックするパラメータの選択処
理３４に戻る。
【００８３】チェックするパラメータ名格納部３１に格
納した全てのパラメータ名がすでに選択されていて、禁
止値を取っているか否かをチェック済みである場合は処
理を終了する。
納した全てのパラメータ名がすでに選択されていて、禁
止値を取っているか否かをチェック済みである場合は処
理を終了する。
【００８４】このように、４つの点にて定義されるサイ
ズ領域平面内におけるパラメータをパラメータ演算式に
基づき演算する際に、サイズ領域平面内に設定された全
ての格子点である交点について、それぞれパラメータ禁
止値チェックソフトウエアにより、禁止値が設定された
各パラメータ名に対して、禁止値を取るか否かの確認が
行われるため、従来のように、パラメータの抽出に使用
したサ交点（サイズ）以外で、実際にシミュレーション
を実行してパラメータが禁止値を取っているか否かを確
認する非効率な方法とは異なり、効率良く多くのサイズ
に対して検証を行い得るとともに、サイズ領域平面内に
て、格子点上を、順次、禁止値を取っているか否かを確
認するため、パラメータの不備を見逃す可能性が格段に
減少する。
ズ領域平面内におけるパラメータをパラメータ演算式に
基づき演算する際に、サイズ領域平面内に設定された全
ての格子点である交点について、それぞれパラメータ禁
止値チェックソフトウエアにより、禁止値が設定された
各パラメータ名に対して、禁止値を取るか否かの確認が
行われるため、従来のように、パラメータの抽出に使用
したサ交点（サイズ）以外で、実際にシミュレーション
を実行してパラメータが禁止値を取っているか否かを確
認する非効率な方法とは異なり、効率良く多くのサイズ
に対して検証を行い得るとともに、サイズ領域平面内に
て、格子点上を、順次、禁止値を取っているか否かを確
認するため、パラメータの不備を見逃す可能性が格段に
減少する。
【００８５】ところで、上記第１の実施の形態において
は、エリア１における各分割線の幅が均等であると説明
したが、均等である必要はなく、幅を自由に設定しても
よい。また、複数のＬＷ領域に分割してパラメータを構
成する場合、分割数も領域ごとに変えることができる。
は、エリア１における各分割線の幅が均等であると説明
したが、均等である必要はなく、幅を自由に設定しても
よい。また、複数のＬＷ領域に分割してパラメータを構
成する場合、分割数も領域ごとに変えることができる。
【００８６】次に、本発明の第２の実施の形態における
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１の実施の形態では、図４のフローの中
で、禁止値が設定されているパラメータを１つ選択し
て、次に、図２に示した全ての交点のサイズに対してパ
ラメータ値のチェックを順番に行い、全ての交点のサイ
ズにて選択中のパラメータ値のチェックが終了した後、
他の禁止値が設定されているパラメータ名を選択して順
番に同様のチェックを行うようにしていたが、本第２の
実施の形態では、図５に示すように、チェックするパラ
メータの選択処理３４より先に、領域分割線設定処理２
５Ａとチェックするサイズの選択処理３５とを行い、且
つ次のサイズのチェック必要性判断処理３７と次のパラ
メータのチェックの必要性判断処理３８の順番を入れ替
えた手順にすることで、まずチェックする交点のサイズ
を選択し、次にチェックすべきパラメータ名を順番に選
択してチェックを行い、選択した交点のサイズで禁止値
が設定されている全パラメータ名に対するチェックが終
了した後、選択されていない他の交点のサイズに対して
順番に同様のチェックを実行するようにしたものであ
る。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１の実施の形態では、図４のフローの中
で、禁止値が設定されているパラメータを１つ選択し
て、次に、図２に示した全ての交点のサイズに対してパ
ラメータ値のチェックを順番に行い、全ての交点のサイ
ズにて選択中のパラメータ値のチェックが終了した後、
他の禁止値が設定されているパラメータ名を選択して順
番に同様のチェックを行うようにしていたが、本第２の
実施の形態では、図５に示すように、チェックするパラ
メータの選択処理３４より先に、領域分割線設定処理２
５Ａとチェックするサイズの選択処理３５とを行い、且
つ次のサイズのチェック必要性判断処理３７と次のパラ
メータのチェックの必要性判断処理３８の順番を入れ替
えた手順にすることで、まずチェックする交点のサイズ
を選択し、次にチェックすべきパラメータ名を順番に選
択してチェックを行い、選択した交点のサイズで禁止値
が設定されている全パラメータ名に対するチェックが終
了した後、選択されていない他の交点のサイズに対して
順番に同様のチェックを実行するようにしたものであ
る。
【００８７】次に、本発明の第３の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１及び第２の実施の形態では、チェックする
パラメータを、図３のフローの中の単体トランジスタ用
パラメータ抽出処理２３を、図１内で示したトランジス
タパラメータ抽出ソフトウエア１１で実行し、図３のＬ
Ｗ領域用パラメータの演算処理２４を、図１内で示した
ＬＷ領域用パラメータ演算用ソフトウエア１２を用いて
演算し、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を得てい
たが、トランジスタパラメータ抽出ソフトウエア１１に
より、直接、図２内で示したエリア１内の複数のトラン
ジスタを同時に対象として直接Ｐａｒａ１０を抽出する
ことも可能である。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１及び第２の実施の形態では、チェックする
パラメータを、図３のフローの中の単体トランジスタ用
パラメータ抽出処理２３を、図１内で示したトランジス
タパラメータ抽出ソフトウエア１１で実行し、図３のＬ
Ｗ領域用パラメータの演算処理２４を、図１内で示した
ＬＷ領域用パラメータ演算用ソフトウエア１２を用いて
演算し、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を得てい
たが、トランジスタパラメータ抽出ソフトウエア１１に
より、直接、図２内で示したエリア１内の複数のトラン
ジスタを同時に対象として直接Ｐａｒａ１０を抽出する
ことも可能である。
【００８８】したがって、図６に示すように、ＬＷ領域
用パラメータの抽出処理４０において、直接、抽出した
ＬＷ領域用パラメータＰａｒａ１０に対して、上記第１
又は第２の実施の形態で説明したパラメータ禁止値チェ
ックソフト処理部３０と同じ処理を施すようにしたもの
である。
用パラメータの抽出処理４０において、直接、抽出した
ＬＷ領域用パラメータＰａｒａ１０に対して、上記第１
又は第２の実施の形態で説明したパラメータ禁止値チェ
ックソフト処理部３０と同じ処理を施すようにしたもの
である。
【００８９】次に、本発明の第４の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。チャネル長Ｌとチャネル幅Ｗが小さい部分では、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータ値の値の変化率が大きくなり易く、
そのため、上記第１乃至第３のいずれかの実施の形態で
説明したパラメータのチェック方法では、パラメータの
不備を見逃す可能性（確率）がある。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。チャネル長Ｌとチャネル幅Ｗが小さい部分では、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータ値の値の変化率が大きくなり易く、
そのため、上記第１乃至第３のいずれかの実施の形態で
説明したパラメータのチェック方法では、パラメータの
不備を見逃す可能性（確率）がある。
【００９０】この対策として、図４又は図５に示す領域
分割線設定処理２５Ａにおいて、図２に示したように、
エリア１を格子状に均等に分割する際、この分割幅を限
りなく細かくすることで、パラメータ不備を見逃す確率
を減少させることができるが、これではチェックするサ
イズ数が多くなり効率的とは言えない。
分割線設定処理２５Ａにおいて、図２に示したように、
エリア１を格子状に均等に分割する際、この分割幅を限
りなく細かくすることで、パラメータ不備を見逃す確率
を減少させることができるが、これではチェックするサ
イズ数が多くなり効率的とは言えない。
【００９１】そこで、本第４の実施の形態では、図７の
破線にて示すように、チャネル長Ｌ及びチャネル幅Ｗの
値が小さい部分では、分割線ｍ、ｎの間隔、すなわち格
子が細かくなるように、逆に、チャネル長Ｌ及びチャネ
ル幅Ｍの値が大きい部分では、格子が粗くなるように分
割したものである。
破線にて示すように、チャネル長Ｌ及びチャネル幅Ｗの
値が小さい部分では、分割線ｍ、ｎの間隔、すなわち格
子が細かくなるように、逆に、チャネル長Ｌ及びチャネ
ル幅Ｍの値が大きい部分では、格子が粗くなるように分
割したものである。
【００９２】このようにすることにより、チェックする
サイズ数を減らした上で、禁止値を取るパラメータの検
出確率をほぼ同等に維持した状態で、効率的にチェック
を実行することが可能となる。
サイズ数を減らした上で、禁止値を取るパラメータの検
出確率をほぼ同等に維持した状態で、効率的にチェック
を実行することが可能となる。
【００９３】次に、本発明の第５の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１乃至第４の実施の形態における図４又は図
５にて示した領域分割線設定処理２５Ａでは、図２に示
したように、エリア１をＬ軸、Ｗ軸に対して水平、垂直
な直線で格子状に均等に分割していたが、Ｌ軸、Ｗ軸に
対して水平、垂直な直線で分割する必要はなく、図８に
示したように、Ｌ軸、Ｗ軸に対して斜めの分割線ｐによ
って、エリア１を分割してもよい。なお、斜めの分割線
ｐは、互いに平行でなくてもよく、また互いに垂直でな
くてもよい。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１乃至第４の実施の形態における図４又は図
５にて示した領域分割線設定処理２５Ａでは、図２に示
したように、エリア１をＬ軸、Ｗ軸に対して水平、垂直
な直線で格子状に均等に分割していたが、Ｌ軸、Ｗ軸に
対して水平、垂直な直線で分割する必要はなく、図８に
示したように、Ｌ軸、Ｗ軸に対して斜めの分割線ｐによ
って、エリア１を分割してもよい。なお、斜めの分割線
ｐは、互いに平行でなくてもよく、また互いに垂直でな
くてもよい。
【００９４】次に、本発明の第６の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。上記第１乃
至第５の実施の形態における図４又は図５に示した領域
分割線設定処理２５Ａでは、エリア１を直線で分割する
ようにしたが、本第６の実施の形態の抽出方法では、エ
リア１を曲線で分割したものである。勿論、ＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法は、上記各実施の形態にて説明し
たものと同様に行われる。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。上記第１乃
至第５の実施の形態における図４又は図５に示した領域
分割線設定処理２５Ａでは、エリア１を直線で分割する
ようにしたが、本第６の実施の形態の抽出方法では、エ
リア１を曲線で分割したものである。勿論、ＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法は、上記各実施の形態にて説明し
たものと同様に行われる。
【００９５】次に、本発明の第７の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１乃至第６の実施の形態においては、パラメ
ータをチェックするＬＷ領域を、パラメータ抽出に使用
した４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ
４が囲う領域としたが、実際にパラメータを使用する場
合はこれよりも広い領域に対して使用可能にする場合が
ある。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。上記第１乃至第６の実施の形態においては、パラメ
ータをチェックするＬＷ領域を、パラメータ抽出に使用
した４つのトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ
４が囲う領域としたが、実際にパラメータを使用する場
合はこれよりも広い領域に対して使用可能にする場合が
ある。
【００９６】すなわち、本第７の実施の形態において
は、図９にて示すように、Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１且つＷ２≦Ｗ
≦Ｗ１で規定されるサイズ領域のエリア１（Ａｒｅａ
１）用に抽出されたＳＰＩＣＥパラメータＰａｒａ１０
を、当該エリア１よりも広い領域、すなわちＬ４≦Ｌ≦
Ｌ３（但し、Ｌ１≦Ｌ３、 Ｌ４≦Ｌ２）且つＷ４≦Ｗ
≦Ｗ３（但し、Ｗ１≦Ｗ３、 Ｗ４≦Ｗ２）である拡張
サイズ領域のエリア２（Ａｒｅａ２）に対して拡張して
使用する場合に対処するものであり、それぞれ拡張され
た領域におけるサイズについても、パラメータが禁止値
を取るか否かをチェックする方法である。
は、図９にて示すように、Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１且つＷ２≦Ｗ
≦Ｗ１で規定されるサイズ領域のエリア１（Ａｒｅａ
１）用に抽出されたＳＰＩＣＥパラメータＰａｒａ１０
を、当該エリア１よりも広い領域、すなわちＬ４≦Ｌ≦
Ｌ３（但し、Ｌ１≦Ｌ３、 Ｌ４≦Ｌ２）且つＷ４≦Ｗ
≦Ｗ３（但し、Ｗ１≦Ｗ３、 Ｗ４≦Ｗ２）である拡張
サイズ領域のエリア２（Ａｒｅａ２）に対して拡張して
使用する場合に対処するものであり、それぞれ拡張され
た領域におけるサイズについても、パラメータが禁止値
を取るか否かをチェックする方法である。
【００９７】したがって、上記各実施の形態では、エリ
ア１を複数の分割線によって区切っていたが、Ｐａｒａ
１０をエリア２に拡張する際に、エリア１に対して行っ
ていた分割方法をエリア２にも適用し、すなわち図９に
示すように、エリア２においても分割線ｍ、ｎによって
分割し、各交点に対してパラメータの禁止値のチェック
を行う。
ア１を複数の分割線によって区切っていたが、Ｐａｒａ
１０をエリア２に拡張する際に、エリア１に対して行っ
ていた分割方法をエリア２にも適用し、すなわち図９に
示すように、エリア２においても分割線ｍ、ｎによって
分割し、各交点に対してパラメータの禁止値のチェック
を行う。
【００９８】すなわち、図４又は図５にて示したＬＷ領
域パラメータの有効領域格納部３２に、Ｌ１、Ｌ２、Ｗ
１、Ｗ２のサイズではなく、Ｌ３、Ｌ４、Ｗ３、Ｗ４の
サイズを格納し、他はすべて、上記各実施の形態にて説
明した処理と同じ処理でパラメータの禁止値のチェック
を行うようにしたものである。
域パラメータの有効領域格納部３２に、Ｌ１、Ｌ２、Ｗ
１、Ｗ２のサイズではなく、Ｌ３、Ｌ４、Ｗ３、Ｗ４の
サイズを格納し、他はすべて、上記各実施の形態にて説
明した処理と同じ処理でパラメータの禁止値のチェック
を行うようにしたものである。
【００９９】この抽出方法によると、パラメータの有効
領域を拡張した場合にも、容易に、パラメータのチェッ
クを行うことができる。次に、本発明の第８の実施の形
態に係るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基
づき説明する。
領域を拡張した場合にも、容易に、パラメータのチェッ
クを行うことができる。次に、本発明の第８の実施の形
態に係るＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基
づき説明する。
【０１００】上記第７の実施の形態においては、図９に
て示したエリア２を複数の分割線で区切ったが、実際に
は、領域を拡張するに際して、チャネル長Ｌやチャネル
幅Ｗが小さい方向に拡張した領域に対しては細かく区切
り、逆にチャネル長Ｌやチャネル幅Ｗが大きい方向に拡
張した領域に対しては、粗く区切るのが最適である。
て示したエリア２を複数の分割線で区切ったが、実際に
は、領域を拡張するに際して、チャネル長Ｌやチャネル
幅Ｗが小さい方向に拡張した領域に対しては細かく区切
り、逆にチャネル長Ｌやチャネル幅Ｗが大きい方向に拡
張した領域に対しては、粗く区切るのが最適である。
【０１０１】すなわち、本第８の実施の形態において
は、図１０に示すように、拡張されたサイズ領域を、エ
リア１１（Ａｒｅａ１１）からエリア１８（Ａｒｅａ１
８）までの８種類の領域に分けるとともに、各分割線
ｍ、ｎにより、チャネル長Ｌ及び（又は）チャネル幅Ｗ
が大きい方向に拡張した領域に対しては広く区切り、逆
に、チャネル長Ｌ及び（又は）チャネル幅Ｗが小さい方
向に拡張した領域に対しては狭く区切るようにしたもの
である。
は、図１０に示すように、拡張されたサイズ領域を、エ
リア１１（Ａｒｅａ１１）からエリア１８（Ａｒｅａ１
８）までの８種類の領域に分けるとともに、各分割線
ｍ、ｎにより、チャネル長Ｌ及び（又は）チャネル幅Ｗ
が大きい方向に拡張した領域に対しては広く区切り、逆
に、チャネル長Ｌ及び（又は）チャネル幅Ｗが小さい方
向に拡張した領域に対しては狭く区切るようにしたもの
である。
【０１０２】そして、このような区切り方で分割された
各エリアにおける各交点について、上記各実施の形態に
て示したと同様のパラメータの禁止値のチェックを行う
ことにより、効率的かつ効果的な処理を実行し得る。
各エリアにおける各交点について、上記各実施の形態に
て示したと同様のパラメータの禁止値のチェックを行う
ことにより、効率的かつ効果的な処理を実行し得る。
【０１０３】次に、本発明の第９の実施の形態に係るＳ
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。ＬＷ領域の拡張領域についての、ＳＰＩＣＥパラメ
ータの抽出を行う場合に、上記第７および第８の実施の
形態においては、 拡張領域でのＳＰＩＣＥパラメータ
は、エリア１に適用されるパラメータ演算式（Ｐａｒａ
１０）を使用したが、本第９の実施の形態においては、
各拡張領域ごとに、適用するパラメータ演算式を変える
ようにしたものである。
ＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明す
る。ＬＷ領域の拡張領域についての、ＳＰＩＣＥパラメ
ータの抽出を行う場合に、上記第７および第８の実施の
形態においては、 拡張領域でのＳＰＩＣＥパラメータ
は、エリア１に適用されるパラメータ演算式（Ｐａｒａ
１０）を使用したが、本第９の実施の形態においては、
各拡張領域ごとに、適用するパラメータ演算式を変える
ようにしたものである。
【０１０４】すなわち、本第９の実施の形態において
は、図１１に示すように、パラメータ抽出用ＴＥＧ（Ｔ
ｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）に存在するトラ
ンジスタがＴｅｇ＿Ｌｍｉｎ≦Ｌ≦Ｔｅｇ＿Ｌｍａｘ且
つＴｅｇ＿Ｗｍｉｎ≦Ｌ≦Ｔｅｇ＿Ｗｍａｘの領域内に
分布しており、これに対して、シミュレーションを可能
とする領域を、Ｓｉｍ＿Ｌｍｉｎ≦Ｌ≦Ｓｉｍ＿Ｌｍａ
ｘ且つＳｉｍ＿Ｗｍｉｎ≦Ｌ≦Ｓｉｍ＿Ｗｍａｘに拡張
させるものとする。
は、図１１に示すように、パラメータ抽出用ＴＥＧ（Ｔ
ｅｓｔ Ｅｌｅｍｅｎｔ Ｇｒｏｕｐ）に存在するトラ
ンジスタがＴｅｇ＿Ｌｍｉｎ≦Ｌ≦Ｔｅｇ＿Ｌｍａｘ且
つＴｅｇ＿Ｗｍｉｎ≦Ｌ≦Ｔｅｇ＿Ｗｍａｘの領域内に
分布しており、これに対して、シミュレーションを可能
とする領域を、Ｓｉｍ＿Ｌｍｉｎ≦Ｌ≦Ｓｉｍ＿Ｌｍａ
ｘ且つＳｉｍ＿Ｗｍｉｎ≦Ｌ≦Ｓｉｍ＿Ｗｍａｘに拡張
させるものとする。
【０１０５】図１１では、全ＬＷ領域を領域１から領域
１２までの１２個に分割している場合を示している。領
域６と領域７以外では、実際にパラメータ抽出に使用し
たトランジスタのサイズ領域よりも外側に領域が拡張さ
れている。例えば、領域１用のパラメータは、Ｌを拡張
した領域、Ｗを拡張した領域、ＬとＷの両方を拡張した
領域の３つの拡張領域に対して使用可能にされている。
なお、それぞれの拡張領域とその拡張元領域との関係を
矢印で示している。
１２までの１２個に分割している場合を示している。領
域６と領域７以外では、実際にパラメータ抽出に使用し
たトランジスタのサイズ領域よりも外側に領域が拡張さ
れている。例えば、領域１用のパラメータは、Ｌを拡張
した領域、Ｗを拡張した領域、ＬとＷの両方を拡張した
領域の３つの拡張領域に対して使用可能にされている。
なお、それぞれの拡張領域とその拡張元領域との関係を
矢印で示している。
【０１０６】したがって、どの領域のパラメータがどの
ような領域拡張を行うかという情報も必要であり、それ
に伴って、８種類の拡張チェック（図１２の番号４１〜
４８にて示す）のいずれかで行うかが判断される。
ような領域拡張を行うかという情報も必要であり、それ
に伴って、８種類の拡張チェック（図１２の番号４１〜
４８にて示す）のいずれかで行うかが判断される。
【０１０７】このような場合に対応したパラメータ禁止
値チェックを実行するフローを、図１２に基づき説明す
る。このチェックでは、パラメータ禁止値チェックソフ
ト処理部３０で行うことは、図４及び図５に示したフロ
ーと同じである。但し、設定部３９内のＬＷ領域パラメ
ータ格納部２２、チェックするパラメータ名格納部３
１、ＬＷ領域用パラメータの有効領域格納部３２、パラ
メータのチェック内容格納部３３、それからエラー有無
の判断処理２６、エラー情報格納部２７、エラー情報の
出力処理２８については、図１２に示している。
値チェックを実行するフローを、図１２に基づき説明す
る。このチェックでは、パラメータ禁止値チェックソフ
ト処理部３０で行うことは、図４及び図５に示したフロ
ーと同じである。但し、設定部３９内のＬＷ領域パラメ
ータ格納部２２、チェックするパラメータ名格納部３
１、ＬＷ領域用パラメータの有効領域格納部３２、パラ
メータのチェック内容格納部３３、それからエラー有無
の判断処理２６、エラー情報格納部２７、エラー情報の
出力処理２８については、図１２に示している。
【０１０８】また、設定部３９内に、新たに、領域拡張
情報格納部４９を設け、チェックの対象となるパラメー
タが、図１１に示す中のどの位置のパラメータであるか
という情報が格納される。
情報格納部４９を設け、チェックの対象となるパラメー
タが、図１１に示す中のどの位置のパラメータであるか
という情報が格納される。
【０１０９】この手順では、まずパラメータ禁止値チェ
ックソフト処理部３０にて、領域を拡張させる前の内部
の領域に対して、上記第１乃至６の実施の形態のいずれ
かで説明したパラメータの禁止値チェックを行う。
ックソフト処理部３０にて、領域を拡張させる前の内部
の領域に対して、上記第１乃至６の実施の形態のいずれ
かで説明したパラメータの禁止値チェックを行う。
【０１１０】次に、領域拡張情報格納部４９に格納され
ている情報に基づき、領域拡張チェック判別処理５０に
て、どの領域拡張に対してのチェックが必要か又は拡張
しないのでチェックを必要としないかを判断する。
ている情報に基づき、領域拡張チェック判別処理５０に
て、どの領域拡張に対してのチェックが必要か又は拡張
しないのでチェックを必要としないかを判断する。
【０１１１】そして、領域拡張に対してのチェックが必
要である場合、図１０にて示したエリア１１〜エリア１
８までの８種類のうち、どの領域に対するチェックが必
要となるかを判断する。
要である場合、図１０にて示したエリア１１〜エリア１
８までの８種類のうち、どの領域に対するチェックが必
要となるかを判断する。
【０１１２】次に、拡張領域チェックが必要であると判
断された場合は、拡張領域チェック部５１内で、必要な
部分のチェックを実行させ、エラー処理を行い、再び拡
張領域チェック判別処理５０を行う。各拡張チェックの
処理方法は、パラメータ禁止値チェックソフト処理部３
０で行うことと同様で、異なるのは、ＬＷ領域用パラメ
ータの有効領域格納部３２に格納する情報だけを、チェ
ックしようとしている領域のＬとＷの最大値と最小値と
する点である。
断された場合は、拡張領域チェック部５１内で、必要な
部分のチェックを実行させ、エラー処理を行い、再び拡
張領域チェック判別処理５０を行う。各拡張チェックの
処理方法は、パラメータ禁止値チェックソフト処理部３
０で行うことと同様で、異なるのは、ＬＷ領域用パラメ
ータの有効領域格納部３２に格納する情報だけを、チェ
ックしようとしている領域のＬとＷの最大値と最小値と
する点である。
【０１１３】そして、必要となる全ての拡張領域チェッ
クが終了しているか、又は図１１で示した領域６、７の
ように拡張しないため、始めから領域拡張チェックを行
わない場合には処理を終了する。
クが終了しているか、又は図１１で示した領域６、７の
ように拡張しないため、始めから領域拡張チェックを行
わない場合には処理を終了する。
【０１１４】上述したように、第２〜第９の実施の形態
においても、少なくとも、第１の実施の形態と同様の効
果を有している。次に、第三の課題を解決するものとし
て、以下の第１０〜第１４の実施の形態に示すパラメー
タの抽出方法がある。
においても、少なくとも、第１の実施の形態と同様の効
果を有している。次に、第三の課題を解決するものとし
て、以下の第１０〜第１４の実施の形態に示すパラメー
タの抽出方法がある。
【０１１５】まず、これらの実施の形態にて示される内
容を分類すると、５つの抽出方法に分けることができ
る。１番目の抽出方法では、ＳＰＩＣＥパラメータ内の
各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調べ、桁数が
変わるＳＰＩＣＥパラメータを見つける方法である（第
１０の実施の形態）。
容を分類すると、５つの抽出方法に分けることができ
る。１番目の抽出方法では、ＳＰＩＣＥパラメータ内の
各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調べ、桁数が
変わるＳＰＩＣＥパラメータを見つける方法である（第
１０の実施の形態）。
【０１１６】２番目の抽出方法では、ＳＰＩＣＥパラメ
ータ内の各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調
べ、プラスマイナスの極性が変わるＳＰＩＣＥパラメー
タを見つける方法である（第１１の実施の形態）。
ータ内の各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調
べ、プラスマイナスの極性が変わるＳＰＩＣＥパラメー
タを見つける方法である（第１１の実施の形態）。
【０１１７】３番目の抽出方法では、ＳＰＩＣＥパラメ
ータ内の各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調
べ、最大値と最小値の差が所定の倍数より大きいＳＰＩ
ＣＥパラメータを見つける方法である（第１２の実施の
形態）。
ータ内の各パラメータに対しＬＷ領域内での変動を調
べ、最大値と最小値の差が所定の倍数より大きいＳＰＩ
ＣＥパラメータを見つける方法である（第１２の実施の
形態）。
【０１１８】４番目の抽出方法では、４つの単体トラン
ジスタ用の抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータか
ら、上記４つの単体トランジスタが囲むＬＷ領域平面用
ＳＰＩＣＥパラメータを導出する際に、４つの単体トラ
ンジスタ用の抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータ内
の各パラメータ間で、その値の差を調べ、桁数が異なる
か、プラス・マイナスの極性が異なるか、または最大値
と最小値との差が所定の倍数より大きいパラメータを見
つける方法である（第１３の実施の形態）。
ジスタ用の抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータか
ら、上記４つの単体トランジスタが囲むＬＷ領域平面用
ＳＰＩＣＥパラメータを導出する際に、４つの単体トラ
ンジスタ用の抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータ内
の各パラメータ間で、その値の差を調べ、桁数が異なる
か、プラス・マイナスの極性が異なるか、または最大値
と最小値との差が所定の倍数より大きいパラメータを見
つける方法である（第１３の実施の形態）。
【０１１９】５番目の抽出方法は、４つの単体トランジ
スタ用に抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータから、
４つの単体トランジスタが囲むＬＷ領域平面用のＳＰＩ
ＣＥパラメータを演算する際に、パラメータ値の有効桁
数を所定の桁数に設定し、演算して求めた任意のＳＰＩ
ＣＥパラメータを使って逆に元となった４つの単体トラ
ンジスタ用のＳＰＩＣＥパラメータを演算し直し、これ
と元の４つの単体トランジスタ用のＳＰＩＣＥパラメー
タ内での値と比較してその差が所定の値より大きいパラ
メータを見つけることで、間接的にＳＰＩＣＥパラメー
タの値の変動量が大きいパラメータを見つける処理を行
う方法である。（第１４の実施の形態）以下、第三の課
題に対応する本発明の実施の形態について説明する。
スタ用に抽出された４つのＳＰＩＣＥパラメータから、
４つの単体トランジスタが囲むＬＷ領域平面用のＳＰＩ
ＣＥパラメータを演算する際に、パラメータ値の有効桁
数を所定の桁数に設定し、演算して求めた任意のＳＰＩ
ＣＥパラメータを使って逆に元となった４つの単体トラ
ンジスタ用のＳＰＩＣＥパラメータを演算し直し、これ
と元の４つの単体トランジスタ用のＳＰＩＣＥパラメー
タ内での値と比較してその差が所定の値より大きいパラ
メータを見つけることで、間接的にＳＰＩＣＥパラメー
タの値の変動量が大きいパラメータを見つける処理を行
う方法である。（第１４の実施の形態）以下、第三の課
題に対応する本発明の実施の形態について説明する。
【０１２０】まず、本発明の第１０の実施の形態に係る
ＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの
抽出方法を、図面に基づき説明する。なお、本第１０の
実施の形態に係るパラメータの抽出方法においては、上
述した第１の実施の形態で説明したものと同じコンピュ
ータシステムを使用するため、同一の構成要素について
は、同一の番号を付して、その詳細な説明を省略する。
ＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの
抽出方法を、図面に基づき説明する。なお、本第１０の
実施の形態に係るパラメータの抽出方法においては、上
述した第１の実施の形態で説明したものと同じコンピュ
ータシステムを使用するため、同一の構成要素について
は、同一の番号を付して、その詳細な説明を省略する。
【０１２１】すなわち、図２で示したエリア１用のＳＰ
ＩＣＥパラメータの中の各パラメータ値が、エリア１内
でどのように変動しているかを調べるとともに、Ｐａｒ
ａ１０が特性異常を引き起こす原因となるパラメータを
見つけるための処理フローを、図１３に基づき説明す
る。
ＩＣＥパラメータの中の各パラメータ値が、エリア１内
でどのように変動しているかを調べるとともに、Ｐａｒ
ａ１０が特性異常を引き起こす原因となるパラメータを
見つけるための処理フローを、図１３に基づき説明す
る。
【０１２２】主要な処理部分であるパラメータ連続性チ
ェック部６０での処理は、図１にて示したパラメータ連
続性チェックソフトウエア１４によって行われる。ま
ず、設定部３９での初期設定について説明する。
ェック部６０での処理は、図１にて示したパラメータ連
続性チェックソフトウエア１４によって行われる。ま
ず、設定部３９での初期設定について説明する。
【０１２３】ＬＷ領域パラメータ用格納部２２にＬＷ領
域用パラメータＰａｒａ１０を格納するとともに、Ｐａ
ｒａ１０が有効となるＬＷ領域の範囲をＬＷ領域パラメ
ータ有効範囲格納部３２に格納する。分割情報格納部２
５Ｂは処理を開始した後で使用されるので、後で説明す
る。以上が設定部３９である。
域用パラメータＰａｒａ１０を格納するとともに、Ｐａ
ｒａ１０が有効となるＬＷ領域の範囲をＬＷ領域パラメ
ータ有効範囲格納部３２に格納する。分割情報格納部２
５Ｂは処理を開始した後で使用されるので、後で説明す
る。以上が設定部３９である。
【０１２４】次に、領域分割線設定処理２５Ａにて、Ｌ
Ｗ領域パラメータの有効領域格納部３２に格納されてい
るＰａｒａ１０の有効範囲を読み取る。具体的には、図
２に示したＬ１、Ｌ２、Ｗ１、Ｗ２のサイズを読み取
る。
Ｗ領域パラメータの有効領域格納部３２に格納されてい
るＰａｒａ１０の有効範囲を読み取る。具体的には、図
２に示したＬ１、Ｌ２、Ｗ１、Ｗ２のサイズを読み取
る。
【０１２５】次に、上記第１の実施の形態の図２に関す
る説明で述べたように、エリア１を格子状に分割する分
割線ｍ、ｎを設定し、そして図２に示す全交点のサイズ
を分割情報格納部２５Ｂに格納する。
る説明で述べたように、エリア１を格子状に分割する分
割線ｍ、ｎを設定し、そして図２に示す全交点のサイズ
を分割情報格納部２５Ｂに格納する。
【０１２６】そして、チェックするパラメータの選択処
理３４にて、パラメータを１つ選択する。次に、パラメ
ータ値演算処理６８にて、図２に示した全交点のサイズ
において選択したパラメータが取る値を以下の式に従っ
て演算する。
理３４にて、パラメータを１つ選択する。次に、パラメ
ータ値演算処理６８にて、図２に示した全交点のサイズ
において選択したパラメータが取る値を以下の式に従っ
て演算する。
【０１２７】Ｐ（Ｌ５，Ｗ５）＝Ｐ０+ＰＬ／Ｌ５+ＰＷ
／Ｗ５+ＰＬＷ／（Ｌ５×Ｗ５）［交点のサイズを（Ｌ
５，Ｗ５）とした場合］ 次に、変動量の判断処理６９にて、全交点でのパラメー
タ値を比較し、パラメータ値の桁数が変わっているもの
が存在するか否かを判断する。存在する場合は変動量大
と判断し、存在しないものは変動量小と判断する。
／Ｗ５+ＰＬＷ／（Ｌ５×Ｗ５）［交点のサイズを（Ｌ
５，Ｗ５）とした場合］ 次に、変動量の判断処理６９にて、全交点でのパラメー
タ値を比較し、パラメータ値の桁数が変わっているもの
が存在するか否かを判断する。存在する場合は変動量大
と判断し、存在しないものは変動量小と判断する。
【０１２８】変動量大と判断した場合、その時の選択し
ているパラメータ名とパラメータ値の桁数が最大になる
サイズとパラメータ値、パラメータ値の桁数が最小にな
るサイズとパラメータ値などのエラー情報をエラー情報
格納部２７に格納し、エラー情報の出力処理２８にて、
エラー情報を図１に示すコンピュータシステム１のディ
スプレイ５に出力表示するか、又はディスク７にファイ
ルとして出力することにより、その後の、エラー内容判
断処理２９にて行われるエラー内容の分析及び再抽出処
理６１にて行われるＳＰＩＣＥパラメータの再抽出に役
立てられる。
ているパラメータ名とパラメータ値の桁数が最大になる
サイズとパラメータ値、パラメータ値の桁数が最小にな
るサイズとパラメータ値などのエラー情報をエラー情報
格納部２７に格納し、エラー情報の出力処理２８にて、
エラー情報を図１に示すコンピュータシステム１のディ
スプレイ５に出力表示するか、又はディスク７にファイ
ルとして出力することにより、その後の、エラー内容判
断処理２９にて行われるエラー内容の分析及び再抽出処
理６１にて行われるＳＰＩＣＥパラメータの再抽出に役
立てられる。
【０１２９】次に、変動量大と判断しエラー出力を終了
した後、又は変動量小と判断した後は、次のパラメータ
のチェック必要性判断処理３８にて、別のパラメータ名
を選択するために、チェックするパラメータの選択処理
３４に戻る。パラメータの変動量のチェックが必要な全
てのパラメータ名がすでに選択されていて、変動量がチ
ェック済みである場合は、処理を終了する。
した後、又は変動量小と判断した後は、次のパラメータ
のチェック必要性判断処理３８にて、別のパラメータ名
を選択するために、チェックするパラメータの選択処理
３４に戻る。パラメータの変動量のチェックが必要な全
てのパラメータ名がすでに選択されていて、変動量がチ
ェック済みである場合は、処理を終了する。
【０１３０】このように、４つの点にて定義されるサイ
ズ領域平面内に格子状に設定された全ての交点につい
て、パラメータ演算式に基づき得られたパラメータ値の
変動量の大小を判断するようにしたので、従来のように
トランジスタの電気特性のシミュレーションを実行して
その結果をグラフ化し目視による確認を行う、前の段階
で、シミュレーションの特性異常の原因となり得るパラ
メータの組合せを効率的に発見することができる。
ズ領域平面内に格子状に設定された全ての交点につい
て、パラメータ演算式に基づき得られたパラメータ値の
変動量の大小を判断するようにしたので、従来のように
トランジスタの電気特性のシミュレーションを実行して
その結果をグラフ化し目視による確認を行う、前の段階
で、シミュレーションの特性異常の原因となり得るパラ
メータの組合せを効率的に発見することができる。
【０１３１】次に、本発明の第１１の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。なお、本
第１１の実施の形態における抽出方法では、上述した第
１０の実施の形態で説明した、図１３のフローの中で、
パラメータ値演算処理６８までは同一の処理が施される
ため、それ以降について説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。なお、本
第１１の実施の形態における抽出方法では、上述した第
１０の実施の形態で説明した、図１３のフローの中で、
パラメータ値演算処理６８までは同一の処理が施される
ため、それ以降について説明する。
【０１３２】すなわち、パラメータ値演算処理６８にお
いて、全交点について、パラメータ値が求められた後、
変動量の判断処理６９にて、パラメータ値の変動量を判
断する際、パラメータ値の桁数ではなく、エリア１内で
プラス・マイナスの極性が変わるパラメータが存在する
か否かが調べられる。存在する場合は変動量大と判断
し、存在しない場合は変動量小と判断する。なお、それ
以後のフローについても、上記第１０の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われるため、その説明を省
略する。
いて、全交点について、パラメータ値が求められた後、
変動量の判断処理６９にて、パラメータ値の変動量を判
断する際、パラメータ値の桁数ではなく、エリア１内で
プラス・マイナスの極性が変わるパラメータが存在する
か否かが調べられる。存在する場合は変動量大と判断
し、存在しない場合は変動量小と判断する。なお、それ
以後のフローについても、上記第１０の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われるため、その説明を省
略する。
【０１３３】次に、本発明の第１２の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。なお、本
第１２の実施の形態における抽出方法においても、上述
した第１０の実施の形態で説明した図１３のフローの中
で、パラメータ値演算処理６８までは同一の処理が施さ
れるため、それ以降について説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を説明する。なお、本
第１２の実施の形態における抽出方法においても、上述
した第１０の実施の形態で説明した図１３のフローの中
で、パラメータ値演算処理６８までは同一の処理が施さ
れるため、それ以降について説明する。
【０１３４】すなわち、パラメータ値演算処理６８にお
いて、全交点についてパラメータ値が求められた後、変
動量の判断処理６９にて、パラメータ値の変動量を調べ
る際、パラメータ値の桁数ではなく、エリア１内で、パ
ラメータ値の絶対値の最大値と最小値との差が所定の倍
数以上（例えば、あるパラメータ値に対しては倍数以
上）となるパラメータが存在するか否かを調べる。存在
する場合は変動量大と判断し、存在しない場合は変動量
小と判断する。なお、それ以後のフローについても、上
記第１０の実施の形態にて説明したものと同じ処理が行
われるため、その説明を省略する。
いて、全交点についてパラメータ値が求められた後、変
動量の判断処理６９にて、パラメータ値の変動量を調べ
る際、パラメータ値の桁数ではなく、エリア１内で、パ
ラメータ値の絶対値の最大値と最小値との差が所定の倍
数以上（例えば、あるパラメータ値に対しては倍数以
上）となるパラメータが存在するか否かを調べる。存在
する場合は変動量大と判断し、存在しない場合は変動量
小と判断する。なお、それ以後のフローについても、上
記第１０の実施の形態にて説明したものと同じ処理が行
われるため、その説明を省略する。
【０１３５】次に、本発明の第１３の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。なお、本第１３の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法においては、上述した第１の実施の形態で説明
したものと同じコンピュータシステムを使用するため、
同一の構成要素については、同一の番号を付して、その
詳細な説明を省略する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。なお、本第１３の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法においては、上述した第１の実施の形態で説明
したものと同じコンピュータシステムを使用するため、
同一の構成要素については、同一の番号を付して、その
詳細な説明を省略する。
【０１３６】本第１３の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法は、単一のトランジスタだけを対象として、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であり、図２に基づ
き第１の実施の形態で説明した４つ（４種類）のサイズ
のトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４が囲う
ＬＷ領域のエリア１用のパラメータを抽出する場合、Ｔ
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用に個別に抽出した４つ
のパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４から、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を
算出する際、Ｐａｒａ１０を算出する前に、Ｐａｒａ
１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の４つのＳＰ
ＩＣＥパラメータの中の各パラメータ値の差を調べ、Ｐ
ａｒａ１０が特性異常を引き起こす原因となるパラメー
タを見つける方法である。
抽出方法は、単一のトランジスタだけを対象として、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であり、図２に基づ
き第１の実施の形態で説明した４つ（４種類）のサイズ
のトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４が囲う
ＬＷ領域のエリア１用のパラメータを抽出する場合、Ｔ
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用に個別に抽出した４つ
のパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４から、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を
算出する際、Ｐａｒａ１０を算出する前に、Ｐａｒａ
１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の４つのＳＰ
ＩＣＥパラメータの中の各パラメータ値の差を調べ、Ｐ
ａｒａ１０が特性異常を引き起こす原因となるパラメー
タを見つける方法である。
【０１３７】以下、このパラメータを見つけるためのフ
ローを、図１４に基づき説明する。この抽出方法におい
て主要な処理となる４つのコーナ（ Ｐａｒａ１、Ｐａ
ｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４）でのパラメータ連続
性チェック部６２における処理は、図１にて示したパラ
メータ連続性チェックソフトウエア１４によって行われ
る。
ローを、図１４に基づき説明する。この抽出方法におい
て主要な処理となる４つのコーナ（ Ｐａｒａ１、Ｐａ
ｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４）でのパラメータ連続
性チェック部６２における処理は、図１にて示したパラ
メータ連続性チェックソフトウエア１４によって行われ
る。
【０１３８】すなわち、まず単体トランジスタ用パラメ
ータ格納部２１に、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用
に個別に抽出した４つのパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒ
ａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４を格納する。
ータ格納部２１に、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用
に個別に抽出した４つのパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒ
ａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４を格納する。
【０１３９】次に、チェックするパラメータの選択処理
３４にて、パラメータ名を１つ選択する。次に、変動量
の判断処理６９にて選択したパラメータ名について、Ｐ
ａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の中で
それぞれ取っているパラメータ値同士をそれぞれ比較
し、桁数が変わるパラメータが存在するか否かを調べ
る。存在する場合は変動量大と判断し、存在しない場合
は変動量小と判断する。変動量大と判断した場合、その
時の選択しているパラメータ名、パラメータ値の桁数が
最大になるサイズ及びパラメータ値、パラメータ値の桁
数が最小になるサイズ及びパラメータ値などのエラー情
報をエラー情報格納部２７に格納する。
３４にて、パラメータ名を１つ選択する。次に、変動量
の判断処理６９にて選択したパラメータ名について、Ｐ
ａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の中で
それぞれ取っているパラメータ値同士をそれぞれ比較
し、桁数が変わるパラメータが存在するか否かを調べ
る。存在する場合は変動量大と判断し、存在しない場合
は変動量小と判断する。変動量大と判断した場合、その
時の選択しているパラメータ名、パラメータ値の桁数が
最大になるサイズ及びパラメータ値、パラメータ値の桁
数が最小になるサイズ及びパラメータ値などのエラー情
報をエラー情報格納部２７に格納する。
【０１４０】そして、エラー情報の出力処理２８にて、
エラー情報を図１のコンピュータシステムのディスプレ
イ５に出力表示するか、又はディスク７にファイルとし
て出力することで、その後の、エラー内容判断処理２８
で行うエラー内容の分析及び再抽出処理６１で行うＳＰ
ＩＣＥパラメータの再抽出に役立てられる。
エラー情報を図１のコンピュータシステムのディスプレ
イ５に出力表示するか、又はディスク７にファイルとし
て出力することで、その後の、エラー内容判断処理２８
で行うエラー内容の分析及び再抽出処理６１で行うＳＰ
ＩＣＥパラメータの再抽出に役立てられる。
【０１４１】次に、変動量大と判断してエラー出力処理
を終了した後か、または変動量小と判断した後は、次の
パラメータのチェック必要性判断処理３８にて、別のパ
ラメータ名を選択するために、チェックするパラメータ
の選択処理３４に戻る。変動量のチェックが必要な全て
のパラメータ名がすでに選択されていて、変動量がチェ
ック済みである場合は、４つのサイズでのパラメータ連
続性チェック部６２の処理を終了する。
を終了した後か、または変動量小と判断した後は、次の
パラメータのチェック必要性判断処理３８にて、別のパ
ラメータ名を選択するために、チェックするパラメータ
の選択処理３４に戻る。変動量のチェックが必要な全て
のパラメータ名がすでに選択されていて、変動量がチェ
ック済みである場合は、４つのサイズでのパラメータ連
続性チェック部６２の処理を終了する。
【０１４２】エラーがあった場合は、ＳＰＩＣＥパラメ
ータの再抽出処理６１を行い、エラーがない場合はＬＷ
領域用パラメータの演算処理２４にてＰａｒａ１、Ｐａ
ｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の４つに基づきエリア
１用のパラメータＰａｒａ１０を演算し、これをＬＷ領
域用パラメータ格納部２２に格納して処理を終了する。
ータの再抽出処理６１を行い、エラーがない場合はＬＷ
領域用パラメータの演算処理２４にてＰａｒａ１、Ｐａ
ｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４の４つに基づきエリア
１用のパラメータＰａｒａ１０を演算し、これをＬＷ領
域用パラメータ格納部２２に格納して処理を終了する。
【０１４３】なお、変動量の判断処理６９にて、桁数が
変わるパラメータがあるか否かを判断する替わりに、プ
ラス・マイナスの極性が変わるパラメータがあるか否か
を判断するようにしてもよい。
変わるパラメータがあるか否かを判断する替わりに、プ
ラス・マイナスの極性が変わるパラメータがあるか否か
を判断するようにしてもよい。
【０１４４】また、変動量の判断処理６９にて、桁数が
変わるパラメータがあるか否かを判断する替わりに、パ
ラメータ値の最大値と最小値の差が所定の倍数を超える
パラメータがあるか否かを判断するようにしてもよい。
変わるパラメータがあるか否かを判断する替わりに、パ
ラメータ値の最大値と最小値の差が所定の倍数を超える
パラメータがあるか否かを判断するようにしてもよい。
【０１４５】この抽出方法によると、Ｐａｒａ１０を算
出する前の段階で、異常特性を引き起こすＳＰＩＣＥパ
ラメータを発見することができ、したがってＰａｒａ１
０に対して行う他の確認作業の二度手間を防止すること
ができる。
出する前の段階で、異常特性を引き起こすＳＰＩＣＥパ
ラメータを発見することができ、したがってＰａｒａ１
０に対して行う他の確認作業の二度手間を防止すること
ができる。
【０１４６】次に、本発明の第１４の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。なお、本第１４の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法においては、上述した第１の実施の形態で説明
したものと同じコンピュータシステムを使用するため、
同一の構成要素については、同一の番号を付して、その
詳細な説明を省略する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。なお、本第１４の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法においては、上述した第１の実施の形態で説明
したものと同じコンピュータシステムを使用するため、
同一の構成要素については、同一の番号を付して、その
詳細な説明を省略する。
【０１４７】本第１４の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法は、単一のトランジスタだけを対象として、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であり、図２に基づ
き第１の実施の形態で説明した４つ（４種類）のサイズ
のトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４が囲う
ＬＷ領域のエリア１用のパラメータを抽出する場合、Ｔ
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用に個別に抽出した４つ
のパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４から、エリア１用パラメータＰａｒａ１０を算
出する際、パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒ
ａ３、Ｐａｒａ４内の各パラメータの変動量が大きいパ
ラメータがあるか否かをチェックする方法である。
抽出方法は、単一のトランジスタだけを対象として、Ｓ
ＰＩＣＥパラメータを抽出する方法であり、図２に基づ
き第１の実施の形態で説明した４つ（４種類）のサイズ
のトランジスタＴｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４が囲う
ＬＷ領域のエリア１用のパラメータを抽出する場合、Ｔ
ｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４用に個別に抽出した４つ
のパラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐ
ａｒａ４から、エリア１用パラメータＰａｒａ１０を算
出する際、パラメータＰａｒａ１、Ｐａｒａ２、Ｐａｒ
ａ３、Ｐａｒａ４内の各パラメータの変動量が大きいパ
ラメータがあるか否かをチェックする方法である。
【０１４８】以下、この変動量が大きいパラメータをチ
ェックするためのフローを、図１５に基づき説明する。
この抽出方法において、主要な処理となる有効桁数制限
によるパラメータ連続性チェック部６７の部分は、図１
にて示したパラメータ連続性チェックソフトウエア１４
によって行われる。
ェックするためのフローを、図１５に基づき説明する。
この抽出方法において、主要な処理となる有効桁数制限
によるパラメータ連続性チェック部６７の部分は、図１
にて示したパラメータ連続性チェックソフトウエア１４
によって行われる。
【０１４９】すなわち、まず４つの単体トランジスタ用
パラメータ格納部２１に、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔ
ｒ４用に個別に抽出した４つのパラメータＰａｒａ１、
Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４を格納する。
パラメータ格納部２１に、Ｔｒ１、Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔ
ｒ４用に個別に抽出した４つのパラメータＰａｒａ１、
Ｐａｒａ２、Ｐａｒａ３、Ｐａｒａ４を格納する。
【０１５０】次に、ＬＷ領域用パラメータの演算処理２
４にて、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を演算
し、これをＬＷ領域用パラメータ格納部２２に格納す
る。次に、パラメータの逆演算処理６３にて、Ｔｒ１、
Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の４つのサイズにおけるＰａｒ
ａ１０の値を演算し（逆演算し）、この演算により求め
られた４つのパラメータを、逆演算パラメータ格納部６
４に格納する。
４にて、エリア１用のパラメータＰａｒａ１０を演算
し、これをＬＷ領域用パラメータ格納部２２に格納す
る。次に、パラメータの逆演算処理６３にて、Ｔｒ１、
Ｔｒ２、Ｔｒ３、Ｔｒ４の４つのサイズにおけるＰａｒ
ａ１０の値を演算し（逆演算し）、この演算により求め
られた４つのパラメータを、逆演算パラメータ格納部６
４に格納する。
【０１５１】次に、両者の比較処理６５にて、４つの単
体トランジスタ用パラメータ格納部２１と逆演算パラメ
ータ格納部６４に格納されたパラメータ同士の値を比較
し、差の判定処理６６にて、全てのパラメータについ
て、両者の差が所定の値より小さい場合は処理を終了す
る。逆に、所定の値より大きいパラメータが存在する場
合は、どのパラメータがどのサイズの場合に差が大きく
なったかを、エラー情報格納部２７に格納し、エラー情
報の出力処理２８にて、どのパラメータがどのサイズの
場合に差が大きくなったかを図１のディスプレイ５に出
力するか、又はディスク７にファイルとして保存する。
体トランジスタ用パラメータ格納部２１と逆演算パラメ
ータ格納部６４に格納されたパラメータ同士の値を比較
し、差の判定処理６６にて、全てのパラメータについ
て、両者の差が所定の値より小さい場合は処理を終了す
る。逆に、所定の値より大きいパラメータが存在する場
合は、どのパラメータがどのサイズの場合に差が大きく
なったかを、エラー情報格納部２７に格納し、エラー情
報の出力処理２８にて、どのパラメータがどのサイズの
場合に差が大きくなったかを図１のディスプレイ５に出
力するか、又はディスク７にファイルとして保存する。
【０１５２】次に、エラー内容判断処理２９にて、出力
されているエラー情報を元にエラー内容を判断し、再抽
出処理６１にて、ＳＰＩＣＥパラメータの再抽出を行
う。上述した第１１〜第１４の実施の形態に係る抽出方
法においても、第１０の実施の形態に係る抽出方法と同
様の効果を有するとともに、第１〜第９の実施の形態及
び後述する第１５〜第１９の実施の形態にて述べるよう
なＰａｒａ１０に対して行う他の確認作業の二度手間を
防止することができる。
されているエラー情報を元にエラー内容を判断し、再抽
出処理６１にて、ＳＰＩＣＥパラメータの再抽出を行
う。上述した第１１〜第１４の実施の形態に係る抽出方
法においても、第１０の実施の形態に係る抽出方法と同
様の効果を有するとともに、第１〜第９の実施の形態及
び後述する第１５〜第１９の実施の形態にて述べるよう
なＰａｒａ１０に対して行う他の確認作業の二度手間を
防止することができる。
【０１５３】次に、第二の課題を解決するものとして、
以下の第１５〜第１９の実施の形態に示す抽出方法があ
る。まず、これらの実施の形態にて示される内容を分類
すると、４つの抽出方法に分けることができる。
以下の第１５〜第１９の実施の形態に示す抽出方法があ
る。まず、これらの実施の形態にて示される内容を分類
すると、４つの抽出方法に分けることができる。
【０１５４】１番目の抽出方法では、ＬＷ領域内でＳＰ
ＩＣＥシミュレーションによるＭＯＳ型トランジスタの
電気特性のＬ依存性又はＷ依存性を調べる際、依存性を
調べる両端のサイズに対してトランジスタの電気特性の
シミュレーションを行い、この両端サイズの特性からこ
の２点に存在するトランジスタを選択し、電気特性を線
形関数によって内挿値を求め、内挿値を基準とした許容
範囲を設定し、選択したトランジスタのシミュレーショ
ン値が許容範囲内であるか否かを判断する方法である
（第１５の実施の形態）。
ＩＣＥシミュレーションによるＭＯＳ型トランジスタの
電気特性のＬ依存性又はＷ依存性を調べる際、依存性を
調べる両端のサイズに対してトランジスタの電気特性の
シミュレーションを行い、この両端サイズの特性からこ
の２点に存在するトランジスタを選択し、電気特性を線
形関数によって内挿値を求め、内挿値を基準とした許容
範囲を設定し、選択したトランジスタのシミュレーショ
ン値が許容範囲内であるか否かを判断する方法である
（第１５の実施の形態）。
【０１５５】２番目の抽出方法では、Ｌ依存性又はＷ依
存性が線形関数より所定の関数に近い変化することがわ
かっている場合、内挿方法を所定の関数によって行う方
法である（第１６の実施の形態）。
存性が線形関数より所定の関数に近い変化することがわ
かっている場合、内挿方法を所定の関数によって行う方
法である（第１６の実施の形態）。
【０１５６】３番目の抽出方法では、Ｌ依存性又はＷ依
存性が必ず上に凸又は下に凸となることが決まっている
ＭＯＳ型トランジスタの電気特性を調べる際、許容範囲
の設定を内挿値の下側だけ、又は上側だけとする方法で
ある（第１７の実施の形態）。
存性が必ず上に凸又は下に凸となることが決まっている
ＭＯＳ型トランジスタの電気特性を調べる際、許容範囲
の設定を内挿値の下側だけ、又は上側だけとする方法で
ある（第１７の実施の形態）。
【０１５７】４番目の抽出方法では、許容範囲を設定す
る際、両端に近いサイズでは許容範囲小さくし、逆に中
央付近では許容範囲を大きくする方法である（第１８及
び第１９の実施の形態）。
る際、両端に近いサイズでは許容範囲小さくし、逆に中
央付近では許容範囲を大きくする方法である（第１８及
び第１９の実施の形態）。
【０１５８】以下、第二の課題に対応する本発明の実施
の形態について説明する。まず、本発明の第１５の実施
の形態に係るＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法を、図面に基づき説明する。
の形態について説明する。まず、本発明の第１５の実施
の形態に係るＭＯＳ型トランジスタにおけるＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法を、図面に基づき説明する。
【０１５９】なお、本第１５の実施の形態に係るパラメ
ータの抽出方法においては、上述した第１の実施の形態
で説明したものと同じコンピュータシステムを使用する
ため、同一の構成要素については、同一の番号を付し
て、その詳細な説明を省略する。
ータの抽出方法においては、上述した第１の実施の形態
で説明したものと同じコンピュータシステムを使用する
ため、同一の構成要素については、同一の番号を付し
て、その詳細な説明を省略する。
【０１６０】まず、図１６に基づき、 ＭＯＳ型トラン
ジスタのチャネル長及びチャネル幅に関するサイズ領域
について説明する。図１６は、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線Ｍ
３、Ｍ４と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規
定する２本のチャネル幅規定線Ｎ３、Ｎ４とが交差する
４つの交点（Ｌ３，Ｗ３）、（Ｌ３，Ｗ４）、（Ｌ４，
Ｗ３）、（Ｌ４，Ｗ４）によって定義されるエリア３
（ Ａｒｅａ３）及びこのエリア３内にあるサイズが異
なる７つ（７種類）のトランジスタＴｒ１１、Ｔｒ１
２、Ｔｒ１３、Ｔｒ１４、Ｔｒ１５、Ｔｒ１６、Ｔｒ１
７を示している。勿論、図１６の横軸はトランジスタの
チャネル長Ｌを、縦軸はトランジスタのチャネル幅Ｗを
示している。
ジスタのチャネル長及びチャネル幅に関するサイズ領域
について説明する。図１６は、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線Ｍ
３、Ｍ４と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規
定する２本のチャネル幅規定線Ｎ３、Ｎ４とが交差する
４つの交点（Ｌ３，Ｗ３）、（Ｌ３，Ｗ４）、（Ｌ４，
Ｗ３）、（Ｌ４，Ｗ４）によって定義されるエリア３
（ Ａｒｅａ３）及びこのエリア３内にあるサイズが異
なる７つ（７種類）のトランジスタＴｒ１１、Ｔｒ１
２、Ｔｒ１３、Ｔｒ１４、Ｔｒ１５、Ｔｒ１６、Ｔｒ１
７を示している。勿論、図１６の横軸はトランジスタの
チャネル長Ｌを、縦軸はトランジスタのチャネル幅Ｗを
示している。
【０１６１】図１７及び図１８はＭＯＳ型トランジスタ
の電気特性のシミュレーション結果が正常なものになっ
ているか否かの判断を行う際の基準を示すものである。
図１９はＭＯＳ型トランジスタの電気特性のシミュレー
ション結果のＬ依存性あるいはＷ依存性を調べ、異常が
あるか否かを確認するためのフローを示しており、主要
な処理部分である特性判定ソフト処理部７７での処理
は、図１にて示した特性判定ソフトウエア１５によって
行われる。
の電気特性のシミュレーション結果が正常なものになっ
ているか否かの判断を行う際の基準を示すものである。
図１９はＭＯＳ型トランジスタの電気特性のシミュレー
ション結果のＬ依存性あるいはＷ依存性を調べ、異常が
あるか否かを確認するためのフローを示しており、主要
な処理部分である特性判定ソフト処理部７７での処理
は、図１にて示した特性判定ソフトウエア１５によって
行われる。
【０１６２】以下、Ｌ依存性を調べる場合を例にして、
このフローについて説明する。まず、エリア３用に抽出
されたトランジスタのＳＰＩＣＥパラメータをＬＷ領域
用パラメータ格納部２２に格納する。次に、依存線設定
処理７９にて、チェックを実行したい依存線を設定す
る。Ｌ依存性をチェックする場合は、図１６に示すよう
なＷ４≦Ｗ５≦Ｗ３の位置にあるＷ＝Ｗ５を設定する。
このフローについて説明する。まず、エリア３用に抽出
されたトランジスタのＳＰＩＣＥパラメータをＬＷ領域
用パラメータ格納部２２に格納する。次に、依存線設定
処理７９にて、チェックを実行したい依存線を設定す
る。Ｌ依存性をチェックする場合は、図１６に示すよう
なＷ４≦Ｗ５≦Ｗ３の位置にあるＷ＝Ｗ５を設定する。
【０１６３】次に、端点でのシミュレーション実行処理
７０にて、トランジスタの（Ｌ，Ｗ）座標が（Ｌ３，Ｗ
５）のトランジスタＴｒ１５及び（Ｌ４，Ｗ５）のトラ
ンジスタＴｒ１６の電気特性のシミュレーションを実行
して、シミュレーション結果Ｓｉｍ１５及びＳｉｍ１６
を求める。
７０にて、トランジスタの（Ｌ，Ｗ）座標が（Ｌ３，Ｗ
５）のトランジスタＴｒ１５及び（Ｌ４，Ｗ５）のトラ
ンジスタＴｒ１６の電気特性のシミュレーションを実行
して、シミュレーション結果Ｓｉｍ１５及びＳｉｍ１６
を求める。
【０１６４】さらに、内部点でのシミュレーション実行
処理７１にて、Ｌ４≦Ｌ５≦Ｌ３の位置にあるＬ＝Ｌ５
において、（Ｌ，Ｗ）座標が（Ｌ５，Ｗ５）のトランジ
スタＴｒ１７の電気特性のシミュレーション結果Ｓｉｍ
１７を求める。
処理７１にて、Ｌ４≦Ｌ５≦Ｌ３の位置にあるＬ＝Ｌ５
において、（Ｌ，Ｗ）座標が（Ｌ５，Ｗ５）のトランジ
スタＴｒ１７の電気特性のシミュレーション結果Ｓｉｍ
１７を求める。
【０１６５】次に、内挿計算実行７２の処理にて、Ｓｉ
ｍ１５とＳｉｍ１６との値から、Ｔｒ１７の電気特性を
内挿により求める。この方法は、図１７に示すように、
Ｓｉｍ１５の点とＳｉｍ１６の点とを直線で結び、この
直線のＬ＝Ｌ５における値を線形に内挿し、この値を内
挿値１７とする。
ｍ１５とＳｉｍ１６との値から、Ｔｒ１７の電気特性を
内挿により求める。この方法は、図１７に示すように、
Ｓｉｍ１５の点とＳｉｍ１６の点とを直線で結び、この
直線のＬ＝Ｌ５における値を線形に内挿し、この値を内
挿値１７とする。
【０１６６】次に、許容範囲設定処理７３にて、内挿値
１７を中心とした電気特性についての許容範囲を、図１
７に示すような形で設定する。なお、許容範囲の大きさ
は内挿値１７の±５％というような所定の値で設定す
る。
１７を中心とした電気特性についての許容範囲を、図１
７に示すような形で設定する。なお、許容範囲の大きさ
は内挿値１７の±５％というような所定の値で設定す
る。
【０１６７】次に、第一次特性判定処理７４にて、図１
７に示すようにＳｉｍ１７値が許容範囲内なら電気特性
のシミュレーション結果に異常なしと判断して終了す
る。一方、図１８に示すように、Ｓｉｍ１７値が許容範
囲外なら電気特性のシミュレーション結果に異常がある
と判断する。
７に示すようにＳｉｍ１７値が許容範囲内なら電気特性
のシミュレーション結果に異常なしと判断して終了す
る。一方、図１８に示すように、Ｓｉｍ１７値が許容範
囲外なら電気特性のシミュレーション結果に異常がある
と判断する。
【０１６８】次に、異常の可能性がある場合は、電気特
性のグラフ表示処理７５にて、Ｔｒ１７について、電気
特性のシミュレーション波形をグラフ化し出力する。次
に、最終判定処理７６にて、グラフ化した波形に実際に
異常があるか否かを確認し、異常がなければ終了する。
異常があれば、エラー内容判断処理２９にて、エラー内
容を分析した上で、再抽出処理７８にてＳＰＩＣＥパラ
メータの再抽出を行う。
性のグラフ表示処理７５にて、Ｔｒ１７について、電気
特性のシミュレーション波形をグラフ化し出力する。次
に、最終判定処理７６にて、グラフ化した波形に実際に
異常があるか否かを確認し、異常がなければ終了する。
異常があれば、エラー内容判断処理２９にて、エラー内
容を分析した上で、再抽出処理７８にてＳＰＩＣＥパラ
メータの再抽出を行う。
【０１６９】なお、電気特性のＷ依存性を確認する場合
は、端点として、図２０に示すような（Ｌ６，Ｗ３）の
トランジスタＴｒ１８と、（Ｌ６，Ｗ４）のトランジス
タＴｒ９とを用い、内部点としては、Ｗ４≦Ｗ６≦Ｗ３
の位置にある（Ｌ６，Ｗ６）のトランジスタＴｒ２０を
用いれば良い。
は、端点として、図２０に示すような（Ｌ６，Ｗ３）の
トランジスタＴｒ１８と、（Ｌ６，Ｗ４）のトランジス
タＴｒ９とを用い、内部点としては、Ｗ４≦Ｗ６≦Ｗ３
の位置にある（Ｌ６，Ｗ６）のトランジスタＴｒ２０を
用いれば良い。
【０１７０】このように、ＬＷ領域内でＳＰＩＣＥシミ
ュレーションによるＭＯＳ型トランジスタにおける電気
特性のＬ依存性又はＷ依存性を調べる際、依存性を調べ
る両端点のサイズに対して電気特性のシミュレーション
を行い、この両端点のサイズにおける電気特性値に基づ
き、この２点間に存在するトランジスタを選択するとと
もにその電気特性を線形関数によって内挿法により求
め、この求められた内挿値を基準として許容範囲を設定
するとともに、選択したトランジスタのシミュレーショ
ン値が許容範囲内であるか否かを判断するようにしたの
で、ＭＯＳ型トランジスタの電気特性をグラフ化して、
目視による確認を行う作業負担を軽減し、又は目視によ
る確認作業を不要にすることができる。また、効率的に
確認できるので、より多くの数のトランジスタに対しよ
り多くのチェック項目を実行することができる。
ュレーションによるＭＯＳ型トランジスタにおける電気
特性のＬ依存性又はＷ依存性を調べる際、依存性を調べ
る両端点のサイズに対して電気特性のシミュレーション
を行い、この両端点のサイズにおける電気特性値に基づ
き、この２点間に存在するトランジスタを選択するとと
もにその電気特性を線形関数によって内挿法により求
め、この求められた内挿値を基準として許容範囲を設定
するとともに、選択したトランジスタのシミュレーショ
ン値が許容範囲内であるか否かを判断するようにしたの
で、ＭＯＳ型トランジスタの電気特性をグラフ化して、
目視による確認を行う作業負担を軽減し、又は目視によ
る確認作業を不要にすることができる。また、効率的に
確認できるので、より多くの数のトランジスタに対しよ
り多くのチェック項目を実行することができる。
【０１７１】次に、本発明の第１６の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５の実施の形態においては、トランジス
タのパラメータを内挿により抽出する際に、線形関数を
用いたが、本第１６の実施の形態に係るパラメータの抽
出方法においては、非線形関数を用いたものであり、し
たがって本第１６の実施の形態においては、この部分に
着目して説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５の実施の形態においては、トランジス
タのパラメータを内挿により抽出する際に、線形関数を
用いたが、本第１６の実施の形態に係るパラメータの抽
出方法においては、非線形関数を用いたものであり、し
たがって本第１６の実施の形態においては、この部分に
着目して説明する。
【０１７２】すなわち、上記第１５の実施の形態にて説
明した図１９のフローの中で、内部点についてのシミュ
レーション実行処理７１までは同一の処理が行われる。
そして、図２１に示すように、内挿計算実行処理７２に
おいては、Ｓｉｍ１５とＳｉｍ１６の値からＴｒ１７の
電気特性を内挿により求める際に、調べている電気特性
のＬ依存性又はＷ依存性が取ると考えられる所定の非線
形関数（波線にて示す）によってＳｉｍ１５とＳｉｍ１
６とを結び、この線上のＬ＝Ｌ５における値を内挿値１
７とするものである。
明した図１９のフローの中で、内部点についてのシミュ
レーション実行処理７１までは同一の処理が行われる。
そして、図２１に示すように、内挿計算実行処理７２に
おいては、Ｓｉｍ１５とＳｉｍ１６の値からＴｒ１７の
電気特性を内挿により求める際に、調べている電気特性
のＬ依存性又はＷ依存性が取ると考えられる所定の非線
形関数（波線にて示す）によってＳｉｍ１５とＳｉｍ１
６とを結び、この線上のＬ＝Ｌ５における値を内挿値１
７とするものである。
【０１７３】また、許容範囲を設定する許容範囲設定処
理７３以降のフローについては、上記第１５の実施の形
態で説明したものと同じ処理が行われる。広すぎる許容
範囲を設定すると、特性異常を誤って見逃す可能性があ
るが、この方法によると、許容範囲を線形に内挿する場
合と比較して小さく設定することが可能となり、異常特
性を見逃す可能性が減少する。
理７３以降のフローについては、上記第１５の実施の形
態で説明したものと同じ処理が行われる。広すぎる許容
範囲を設定すると、特性異常を誤って見逃す可能性があ
るが、この方法によると、許容範囲を線形に内挿する場
合と比較して小さく設定することが可能となり、異常特
性を見逃す可能性が減少する。
【０１７４】次に、本発明の第１７の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
電気特性のシミュレーション値の許容範囲の上下の幅
を、内挿値に対して均等であるとしたが、本第１７の実
施の形態に係るパラメータの抽出方法においては、Ｌ依
存性又はＷ依存性に応じて、内挿値の許容範囲を狭くし
たものであり、したがって本第１７の実施の形態におい
ては、この部分に着目して説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
電気特性のシミュレーション値の許容範囲の上下の幅
を、内挿値に対して均等であるとしたが、本第１７の実
施の形態に係るパラメータの抽出方法においては、Ｌ依
存性又はＷ依存性に応じて、内挿値の許容範囲を狭くし
たものであり、したがって本第１７の実施の形態におい
ては、この部分に着目して説明する。
【０１７５】すなわち、上記第１５及び第１６の実施の
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２２
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、調べ
ている電気特性のＬ依存性若しくはＷ依存性が下に凸の
非線形関数となる場合、又は内挿値より確実にシミュレ
ーション値が小さくなる場合には、許容範囲を内挿値１
７よりも小さい方にのみ設定する。
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２２
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、調べ
ている電気特性のＬ依存性若しくはＷ依存性が下に凸の
非線形関数となる場合、又は内挿値より確実にシミュレ
ーション値が小さくなる場合には、許容範囲を内挿値１
７よりも小さい方にのみ設定する。
【０１７６】また、第一次特性判定処理７４以降のフロ
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。このような許容範
囲の設定をすることにより、本来は下に凸な依存性を取
るべき場合、あるいは内挿値より確実にシミュレーショ
ン値が小さくなる場合に、電気特性が図２３に示すよう
に、取るべき値となっていない場合（シミュレーション
結果が上に凸となった場合）を確実に異常特性として判
断することができる。なお、上記とは逆に、調べている
電気特性のＬ依存性若しくはＷ依存性が上に凸の非線形
関数になる場合、又は内挿値より確実にシミュレーショ
ン値が大きくなる場合は、許容範囲を内挿値１７よりも
大きい方に設定すればよい。
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。このような許容範
囲の設定をすることにより、本来は下に凸な依存性を取
るべき場合、あるいは内挿値より確実にシミュレーショ
ン値が小さくなる場合に、電気特性が図２３に示すよう
に、取るべき値となっていない場合（シミュレーション
結果が上に凸となった場合）を確実に異常特性として判
断することができる。なお、上記とは逆に、調べている
電気特性のＬ依存性若しくはＷ依存性が上に凸の非線形
関数になる場合、又は内挿値より確実にシミュレーショ
ン値が大きくなる場合は、許容範囲を内挿値１７よりも
大きい方に設定すればよい。
【０１７７】次に、本発明の第１８の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
シミュレーション値の許容範囲を、関数上の任意の点で
の内挿値に対して一定の範囲としたが、本第１８の実施
の形態に係るパラメータの抽出方法においては、トラン
ジスタのサイズに応じて、内挿値の許容範囲を変化させ
るようにしたものであり、したがって本第１８の実施の
形態においては、この部分に着目して説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
シミュレーション値の許容範囲を、関数上の任意の点で
の内挿値に対して一定の範囲としたが、本第１８の実施
の形態に係るパラメータの抽出方法においては、トラン
ジスタのサイズに応じて、内挿値の許容範囲を変化させ
るようにしたものであり、したがって本第１８の実施の
形態においては、この部分に着目して説明する。
【０１７８】すなわち、上記第１５及び第１６の実施の
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２４
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、トラ
ンジスタのサイズによって許容範囲の大きさが変化され
る。具体的には、図２５に示すように、両端に近いサイ
ズでは許容範囲の幅を小さくし、逆に中央付近では許容
範囲の幅が大きくされる。
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２４
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、トラ
ンジスタのサイズによって許容範囲の大きさが変化され
る。具体的には、図２５に示すように、両端に近いサイ
ズでは許容範囲の幅を小さくし、逆に中央付近では許容
範囲の幅が大きくされる。
【０１７９】また、第一次特性判定処理７４以降のフロ
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。電気特性のサイズ
依存性が、図２６に示すように、下に凸で大きく窪んだ
形状をしており、且つこれが正常な特性である場合、中
央付近で異常特性と判定させないようにするため大きな
許容範囲を設定する必要がある。しかし、この大きな許
容範囲を全てのサイズに対して適用すると、図２７に示
すような異常特性の値まで正常な特性として処理するこ
とになる。このような場合に、本第１８の実施の形態に
係るパラメータの抽出方法が有効となる。
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。電気特性のサイズ
依存性が、図２６に示すように、下に凸で大きく窪んだ
形状をしており、且つこれが正常な特性である場合、中
央付近で異常特性と判定させないようにするため大きな
許容範囲を設定する必要がある。しかし、この大きな許
容範囲を全てのサイズに対して適用すると、図２７に示
すような異常特性の値まで正常な特性として処理するこ
とになる。このような場合に、本第１８の実施の形態に
係るパラメータの抽出方法が有効となる。
【０１８０】次に、本発明の第１９の実施の形態に係る
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
シミュレーション値の許容範囲の幅を、内挿値に対し
て、大きい方向及び小さい方向での幅を等しいものとし
たが、本第１９の実施の形態に係るパラメータの抽出方
法においては、トランジスタのサイズに応じて、内挿値
の許容範囲の幅を変化させるようにしたものであり、し
たがって本第１９の実施の形態においては、この部分に
着目して説明する。
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を、図面に基づき説明
する。上記第１５及び第１６の実施の形態においては、
シミュレーション値の許容範囲の幅を、内挿値に対し
て、大きい方向及び小さい方向での幅を等しいものとし
たが、本第１９の実施の形態に係るパラメータの抽出方
法においては、トランジスタのサイズに応じて、内挿値
の許容範囲の幅を変化させるようにしたものであり、し
たがって本第１９の実施の形態においては、この部分に
着目して説明する。
【０１８１】すなわち、上記第１５及び第１６の実施の
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２８
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、許容
範囲の幅を、内挿値より大きい方向と小さい方向とで異
なるようにしたものである。具体的には、図２９に示す
ように、サイズ依存性が下に凸である場合には、内挿値
より小さい方向については、許容範囲の幅が大きくされ
るとともに、内挿値より大きい方向については、許容範
囲の幅が小さくされる。
形態にて説明した図１９のフローの中で、内挿計算実行
処理７２までは同一の処理が行われる。そして、図２８
に示すように、許容範囲設定処理７３においては、許容
範囲の幅を、内挿値より大きい方向と小さい方向とで異
なるようにしたものである。具体的には、図２９に示す
ように、サイズ依存性が下に凸である場合には、内挿値
より小さい方向については、許容範囲の幅が大きくされ
るとともに、内挿値より大きい方向については、許容範
囲の幅が小さくされる。
【０１８２】また、第一次特性判定処理７４以降のフロ
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。なお、許容範囲の
幅の設定については、連続した範囲ではなく、図３０及
び図３１に示すように、その中間部分（例えば、内挿値
を求めるための関数近傍の範囲）について、許容範囲と
しない部分を設けてもよい。
ーについては、上記第１５及び第１６の実施の形態にて
説明したものと同じ処理が行われる。なお、許容範囲の
幅の設定については、連続した範囲ではなく、図３０及
び図３１に示すように、その中間部分（例えば、内挿値
を求めるための関数近傍の範囲）について、許容範囲と
しない部分を設けてもよい。
【０１８３】また、許容範囲を設定する際に、図３２及
び図３３に示すように、内挿を行うための関数のサイズ
依存性に応じた方向に許容範囲を設定してもよい。とこ
ろで、上述した第１５〜第１９の実施の形態において
は、図１６に示すように、４つのコーナのトランジスタ
により囲まれる領域の境界線上における２点間の電気特
性のＬ依存性又はＷ依存性をチェックするようにした
が、勿論、図１６に示すエリア３内に存在する任意の２
つのトランジスタを結ぶ直線上にて、電気特性のチェッ
クをしてもよい。
び図３３に示すように、内挿を行うための関数のサイズ
依存性に応じた方向に許容範囲を設定してもよい。とこ
ろで、上述した第１５〜第１９の実施の形態において
は、図１６に示すように、４つのコーナのトランジスタ
により囲まれる領域の境界線上における２点間の電気特
性のＬ依存性又はＷ依存性をチェックするようにした
が、勿論、図１６に示すエリア３内に存在する任意の２
つのトランジスタを結ぶ直線上にて、電気特性のチェッ
クをしてもよい。
【０１８４】また、上記第１０〜第１９の実施の形態に
おいては、ＳＰＩＣＥパラメータの抽出手順について、
詳しく説明しなかったが、第１〜第９の実施の形態にて
説明したと同様の手順が用いられる。例えば、サイズ領
域内のトランジスタの位置を決定する場合、直線又は曲
線同士の交点、Ｌ軸及びＷ軸に直交する分割線同士の交
点などが用いられる。
おいては、ＳＰＩＣＥパラメータの抽出手順について、
詳しく説明しなかったが、第１〜第９の実施の形態にて
説明したと同様の手順が用いられる。例えば、サイズ領
域内のトランジスタの位置を決定する場合、直線又は曲
線同士の交点、Ｌ軸及びＷ軸に直交する分割線同士の交
点などが用いられる。
【０１８５】
【発明の効果】上記請求項１〜７に記載のパラメータの
各パラメータの抽出方法によると、４つの点にて定義さ
れるサイズ領域内におけるＳＰＩＣＥパラメータをパラ
メータ演算式に基づき演算する際に、サイズ領域内に設
定された各交点のサイズ位置について、それぞれパラメ
ータ禁止値チェックソフトウエアにより、禁止値が設定
された各パラメータに対して、禁止値を取るか否かの確
認が行われるため、従来のように、パラメータの抽出に
使用した交点以外で、実際にシミュレーションを実行し
てパラメータが禁止値を取っているか否かを確認する非
効率的な方法とは異なり、効率良く多くのサイズに対し
て検証を行い得るとともに、サイズ領域内にて、各交点
上を、順次、禁止値を取っているか否かを確認するた
め、パラメータの不備を見逃す可能性が格段に減少す
る。
各パラメータの抽出方法によると、４つの点にて定義さ
れるサイズ領域内におけるＳＰＩＣＥパラメータをパラ
メータ演算式に基づき演算する際に、サイズ領域内に設
定された各交点のサイズ位置について、それぞれパラメ
ータ禁止値チェックソフトウエアにより、禁止値が設定
された各パラメータに対して、禁止値を取るか否かの確
認が行われるため、従来のように、パラメータの抽出に
使用した交点以外で、実際にシミュレーションを実行し
てパラメータが禁止値を取っているか否かを確認する非
効率的な方法とは異なり、効率良く多くのサイズに対し
て検証を行い得るとともに、サイズ領域内にて、各交点
上を、順次、禁止値を取っているか否かを確認するた
め、パラメータの不備を見逃す可能性が格段に減少す
る。
【０１８６】上記請求項８〜１４に記載のパラメータの
各パラメータの抽出方法によると、４つの点にて定義さ
れるサイズ領域内に設定された各交点について、パラメ
ータ演算式に基づき得られたパラメータ値の変動量の大
小を判断するようにしたので、従来のようにトランジス
タの電気特性のシミュレーションを実行してその結果を
グラフ化し目視による確認を行う、前の段階にて、シミ
ュレーションの特性異常の原因となり得るパラメータの
組合せを効率的に発見することができ、したがってＳＰ
ＩＣＥパラメータの信頼性を高めることができる。
各パラメータの抽出方法によると、４つの点にて定義さ
れるサイズ領域内に設定された各交点について、パラメ
ータ演算式に基づき得られたパラメータ値の変動量の大
小を判断するようにしたので、従来のようにトランジス
タの電気特性のシミュレーションを実行してその結果を
グラフ化し目視による確認を行う、前の段階にて、シミ
ュレーションの特性異常の原因となり得るパラメータの
組合せを効率的に発見することができ、したがってＳＰ
ＩＣＥパラメータの信頼性を高めることができる。
【０１８７】上記請求項１５〜２１に記載のパラメータ
の各パラメータの抽出方法によると、トランジスタにお
ける電気特性のサイズ依存性を調べる際、依存性を調べ
る両端点のサイズ位置に対して電気特性のシミュレーシ
ョンを行い、この両端点のサイズ位置における電気特性
のシミュレーション値に基づき、両端点間に存在するト
ランジスタの電気特性を、例えば線形関数、非線形関数
などを用いて内挿法により求め、この求められた内挿値
を基準にして許容範囲を設定するとともに、そのトラン
ジスタのシミュレーション値が許容範囲内であるか否か
を判断するようにしたので、ＭＯＳ型トランジスタの電
気特性をグラフ化して目視による確認を行う作業負担の
軽減を図ることができ、又は目視による確認作業を不要
にすることができる。
の各パラメータの抽出方法によると、トランジスタにお
ける電気特性のサイズ依存性を調べる際、依存性を調べ
る両端点のサイズ位置に対して電気特性のシミュレーシ
ョンを行い、この両端点のサイズ位置における電気特性
のシミュレーション値に基づき、両端点間に存在するト
ランジスタの電気特性を、例えば線形関数、非線形関数
などを用いて内挿法により求め、この求められた内挿値
を基準にして許容範囲を設定するとともに、そのトラン
ジスタのシミュレーション値が許容範囲内であるか否か
を判断するようにしたので、ＭＯＳ型トランジスタの電
気特性をグラフ化して目視による確認を行う作業負担の
軽減を図ることができ、又は目視による確認作業を不要
にすることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るパラメータの
抽出方法を実行するためのコンピュータシステムの概略
構成を示すブロック図である。
抽出方法を実行するためのコンピュータシステムの概略
構成を示すブロック図である。
【図２】同抽出方法におけるパラメータの禁止値をチェ
ックすべきＬＷ領域の分割状態を示す図である。
ックすべきＬＷ領域の分割状態を示す図である。
【図３】同抽出方法におけるパラメータの禁止値をチェ
ックする方法を示すフロー図である。
ックする方法を示すフロー図である。
【図４】同抽出方法におけるパラメータ禁止値チェック
ソフトウエアでの処理を示すフロー図である。
ソフトウエアでの処理を示すフロー図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る抽出方法にお
けるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理を
示すフロー図である。
けるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理を
示すフロー図である。
【図６】本発明の第３の実施の形態に係る抽出方法にお
けるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理を
示すフロー図である。
けるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理を
示すフロー図である。
【図７】本発明の第４の実施の形態に係る抽出方法にお
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
【図８】本発明の第５の実施の形態に係る抽出方法にお
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
【図９】本発明の第７の実施の形態に係る抽出方法にお
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
けるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の分
割状態を示す図である。
【図１０】本発明の第８の実施の形態に係る抽出方法に
おけるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の
分割状態を示す図である。
おけるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の
分割状態を示す図である。
【図１１】本発明の第９の実施の形態に係る抽出方法に
おけるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の
分割状態を示す図である。
おけるパラメータの禁止値をチェックすべきＬＷ領域の
分割状態を示す図である。
【図１２】本発明の第９の実施の形態に係る抽出方法に
おけるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理
を示すフロー図である。
おけるパラメータ禁止値チェックソフトウエアでの処理
を示すフロー図である。
【図１３】本発明の第１０の実施の形態に係る抽出方法
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
【図１４】本発明の第１３の実施の形態に係る抽出方法
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
【図１５】本発明の第１４の実施の形態に係る抽出方法
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
におけるパラメータ連続性チェックソフトウエアでの処
理を示すフロー図である。
【図１６】本発明の第１５の実施の形態に係る抽出方法
を説明するＬＷ領域を示す図である。
を説明するＬＷ領域を示す図である。
【図１７】同抽出方法におけるトランジスタの電気特性
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
【図１８】同抽出方法におけるトランジスタの電気特性
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
【図１９】同抽出方法における特性判定ソフトウエアで
の処理を示すフロー図である。
の処理を示すフロー図である。
【図２０】同実施の形態の変形例に係る抽出方法を説明
するＬＷ領域を示す図である。
するＬＷ領域を示す図である。
【図２１】本発明の第１６の実施の形態に係る抽出方法
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
【図２２】本発明の第１７の実施の形態に係る抽出方法
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
【図２３】同抽出方法におけるトランジスタの電気特性
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
【図２４】本発明の第１８の実施の形態に係る抽出方法
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
【図２５】同抽出方法における特性予測値のサイズ依存
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
【図２６】同抽出方法の作用効果を説明するためのトラ
ンジスタの電気特性のサイズ依存性と特性予測値の関係
を示すグラフである。
ンジスタの電気特性のサイズ依存性と特性予測値の関係
を示すグラフである。
【図２７】同抽出方法の作用効果を説明するためのトラ
ンジスタの電気特性のサイズ依存性と特性予測値の関係
を示すグラフである。
ンジスタの電気特性のサイズ依存性と特性予測値の関係
を示すグラフである。
【図２８】本発明の第１９の実施の形態に係る抽出方法
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
におけるトランジスタの電気特性のサイズ依存性と特性
予測値の関係を示すグラフである。
【図２９】同抽出方法における特性予測値のサイズ依存
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
【図３０】同抽出方法におけるトランジスタの電気特性
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
【図３１】同抽出方法における特性予測値のサイズ依存
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
【図３２】同抽出方法におけるトランジスタの電気特性
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
のサイズ依存性と特性予測値の関係を示すグラフであ
る。
【図３３】同抽出方法における特性予測値のサイズ依存
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
性と許容範囲の幅との関係を示すグラフである。
【図３４】トランジスタのＬＷサイズ領域における分布
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図３５】従来例のＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法を
示すフロー図である。
示すフロー図である。
１ コンピュータシステム ２ 演算処理部 ３ 主記憶部 １１ トランジスタパラメータ抽出ソフトウエア １２ ＬＷ領域用パラメータ演算用ソフトウエア １３ パラメータ禁止値チェックソフトウエア １４ パラメータ連続性チェックソフトウエア １５ 特性判定ソフトウエア ２０ トランジスタの測定結果格納部 ２１ 単体トランジスタ用パラメータ格納部 ２２ ＬＷ領域用パラメータ格納部 ２３ 単体トランジスタ用パラメータ抽出処理 ２４ ＬＷ領域用パラメータ演算処理 ２５Ａ 領域分割線設定処理 ２５Ｂ 分割情報格納部 ２７ エラー情報格納部 ２９ エラー内容判断処理 ３０ パラメータ禁止値チェックソフト処理部 ３１ チェックするパラメータ名格納部 ３２ ＬＷ領域パラメータの有効領域格納部 ３３ パラメータのチェック内容格納部 ３４ チェックするパラメータ選択処理 ３５ チェックするサイズ選択処理 ３６ パラメータ値演算処理 ３７ 次のサイズのチェック必要性判断処理 ３８ 次のパラメータのチェック必要性判断処理 ３９ 設定部 ４０ ＬＷ領域用パラメータの抽出処理 ４１〜４８ 拡張チェック ４９ 領域拡張情報格納部 ５０ 領域拡張チェック判別処理 ５１ 拡張領域チェック部 ６０ パラメータ連続性チェック部 ６１ 再抽出処理 ６２ ４つのコーナでのパラメータ連続性チェッ
ク部 ６３ パラメータの逆演算処理 ６４ 逆演算パラメータ格納部 ６５ 比較処理 ６６ 差の判定処理 ６７ 有効桁数制限によるパラメータ連続性チェ
ック部 ６８ パラメータ値演算処理 ６９ 変動量の判断処理 ７０ 端点でのシミュレーション実行処理 ７１ 内部点でのシミュレーション実行処理 ７２ 内挿計算実行処理 ７３ 許容範囲設定処理 ７４ 第一次特性判定処理 ７５ 電気特性のグラフ化処理 ７６ 最終特性判定処理 ７７ 特性判定処理ソフト部 ７８ 再抽出処理 ７９ 依存線設定処理
ク部 ６３ パラメータの逆演算処理 ６４ 逆演算パラメータ格納部 ６５ 比較処理 ６６ 差の判定処理 ６７ 有効桁数制限によるパラメータ連続性チェ
ック部 ６８ パラメータ値演算処理 ６９ 変動量の判断処理 ７０ 端点でのシミュレーション実行処理 ７１ 内部点でのシミュレーション実行処理 ７２ 内挿計算実行処理 ７３ 許容範囲設定処理 ７４ 第一次特性判定処理 ７５ 電気特性のグラフ化処理 ７６ 最終特性判定処理 ７７ 特性判定処理ソフト部 ７８ 再抽出処理 ７９ 依存線設定処理
Claims (21)
- 【請求項１】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラメ
ータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥ
パラメータを演算するパラメータ演算式を求める工程
と、 上記サイズ領域を、複数の直線又は複数の曲線にて分割
するとともに、これら直線同士又は曲線同士の交点、及
びこれらの直線又はこれらの曲線と当該サイズ領域を囲
む外周線との交点を求める工程と、 上記ＳＰＩＣＥパラメータの中で禁止値が設定されたパ
ラメータに対し、上記パラメータ演算式を使用して上記
各交点におけるパラメータ値を演算するとともに、当該
演算されたパラメータ値が禁止値を取っているか否かの
確認を行う工程とからなることを特徴とするトランジス
タにおけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項２】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラメ
ータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥ
パラメータを演算するパラメータ演算式を求める工程
と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）を複数のチャネル幅分
割線にて分割し、且つこれらチャネル長分割線及びチャ
ネル幅分割線同士の交点、並びにこれらの分割線と当該
サイズ領域平面を囲む外周線との交点を求める工程と、 上記ＳＰＩＣＥパラメータの中で禁止値が設定されたパ
ラメータに対し、上記パラメータ演算式を使用して上記
各交点におけるパラメータ値を演算し、且つ当該演算さ
れたパラメータ値が禁止値を取っているか否かの確認を
行う工程とからなることを特徴とするトランジスタにお
けるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項３】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラメ
ータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥ
パラメータを演算するパラメータ演算式を求める工程
と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）を複数のチャネル幅分
割線にて分割し、且つこれらチャネル長分割線及びチャ
ネル幅分割線同士の交点、及びこれらの分割線と当該サ
イズ領域平面を囲む外周線との交点を求める工程と、 上記ＳＰＩＣＥパラメータの中で禁止値が設定されたパ
ラメータのうちの１つを選択するとともに、順次、各交
点でのサイズ位置について、上記パラメータ演算式を使
用して上記各交点におけるパラメータ値を演算し、且つ
当該演算されたパラメータ値が禁止値を取っているか否
かの確認を行う工程と、 残りの禁止値が設定された各パラメータについて、順
次、上記と同様に、各交点におけるサイズ位置にて、禁
止値を取っているか否かを確認する工程とからなること
を特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメー
タの抽出方法。 - 【請求項４】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラメ
ータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥ
パラメータを演算するパラメータ演算式を求める工程
と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）を複数のチャネル幅分
割線にて分割し、且つこれらチャネル長分割線及びチャ
ネル幅分割線同士の交点、並びにこれらの分割線と当該
サイズ領域平面を囲む外周線との交点を求める工程と、 上記交点のうち１つの交点を選択するとともに、この選
択された交点のサイズ位置にて、上記ＳＰＩＣＥパラメ
ータの中で禁止値が設定された各パラメータについて、
順次、上記パラメータ演算式を使用してパラメータ値を
演算し、且つ当該演算されたパラメータ値が禁止値を取
っているか否かの確認を行う工程と、 残りの各交点におけるサイズ位置にて、上記ＳＰＩＣＥ
パラメータの中で禁止値が設定された各パラメータにつ
いて、順次、上記と同様に、パラメータを演算し、且つ
禁止値を取っているか否かを確認する工程とからなるこ
とを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメ
ータの抽出方法。 - 【請求項５】チャネル長分割線は、チャネル長Ｌ（Ｌ２
≦Ｌ≦Ｌ１）を均等に分割するとともに、チャネル幅分
割線は、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）を均等に分割
することを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載
のトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方
法。 - 【請求項６】チャネル長分割線により、チャネル長Ｌ
（Ｌ２≦Ｌ≦Ｌ１）を、値が小さい側（Ｌ２側）に近い
部分では狭い間隔にて、値が大きい側（Ｌ１側）に近い
部分では広い間隔で分割するとともに、チャネル幅分割
線により、チャネル幅Ｗ（Ｗ２≦Ｗ≦Ｗ１）を、値が小
さい側（Ｗ２側）に近い部分では狭い間隔にて、値が大
きい側（Ｗ１側）に近い部分では広い間隔にて分割する
ことを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のト
ランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項７】チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）より
広いチャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ１≦Ｗ３、Ｗ４≦Ｗ２）
を規定する２本のチャネル幅規定線と、チャネル長Ｌ
１、Ｌ２（Ｌ２＜Ｌ１）より広いチャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ１≦Ｌ３、Ｌ４≦Ｌ２）を規定する２本のチャネ
ル長規定線との４つの交点によって定義されるサイズ領
域平面より広い拡張サイズ領域についても、請求項１乃
至６のいずれかに記載のＳＰＩＣＥパラメータの抽出方
法を用いて、当該拡張サイズ領域内で、禁止値が設定さ
れたパラメータについて禁止値を取っているか否かを確
認することを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣ
Ｅパラメータの抽出方法。 - 【請求項８】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラメ
ータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域内の任意のサイズ位置におけるＳＰＩＣＥ
パラメータを演算するパラメータ演算式を求める工程
と、 上記サイズ領域平面を、複数の直線又は複数の曲線にて
分割するとともに、これら直線同士又は曲線同士の交
点、及びこれらの直線又はこれらの曲線と当該サイズ領
域を囲む外周線との交点を求める工程と、 上記各交点でのサイズ位置について、上記パラメータ演
算式を使用してパラメータ値を演算するとともに、上記
演算されたパラメータ値の変動量を調べる工程とからな
ることを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法。 - 【請求項９】サイズ領域内にて選択されたパラメータ値
の変動量を調べる工程において、パラメータ値の桁数が
変化したパラメータがあるか否かを判断することを特徴
とする請求項８に記載のトランジスタにおけるＳＰＩＣ
Ｅパラメータの抽出方法。 - 【請求項１０】サイズ領域内にて選択されたパラメータ
値の変動量を調べる工程において、パラメータ値のプラ
ス・マイナスの極性が変化したパラメータがあるか否か
を判断することを特徴とする請求項８に記載のトランジ
スタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項１１】サイズ領域内にて選択されたパラメータ
値の変動量を調べる工程において、パラメータ値の絶対
値の変化が所定の倍数以上であるパラメータがあるか否
かを判断することを特徴とする請求項８に記載のトラン
ジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項１２】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ１、Ｌ２
（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域の角に対応する４つの交点でのサイズ位置
における各トランジスタに対してそれぞれ抽出する工程
と、 これら抽出された各パラメータ同士の値を比較し、桁数
が変わっているか否か、プラス・マイナスの極性が変わ
っているか否か、又は絶対値の最大値と最小値の差が所
定の倍数を超えている否かを判断する工程とからなるこ
とを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパラメ
ータの抽出方法。 - 【請求項１３】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、ＳＰＩＣＥパラメータ
の有効桁数を所定の桁数に設定するとともに、チャネル
長Ｌ１、Ｌ２（ Ｌ２＜Ｌ１）を規定する２本のチャネ
ル長規定線と、チャネル幅Ｗ１、Ｗ２（Ｗ２＜Ｗ１）を
規定する２本のチャネル幅規定線との４つの交点によっ
て定義されるサイズ領域内の任意のサイズ位置における
ＳＰＩＣＥパラメータを演算する方法を使用して、上記
サイズ領域の角に対応する４つの交点でのサイズ位置に
おける各トランジスタに対してそれぞれ抽出された各パ
ラメータ値に基づき、上記サイズ領域用ＳＰＩＣＥパラ
メータを演算するパラメータ演算式を求める工程と、 上記パラメータ演算式を使用して、上記サイズ領域の４
つの角における各サイズ位置についてそれぞれパラメー
タ値を演算する工程と、 上記サイズ領域の４つの角における各サイズ位置のトラ
ンジスタに対してそれぞれ抽出された各パラメータ値と
上記パラメータ演算式により４つの角における各サイズ
位置についてそれぞれ求められたパラメータ値とを比較
して、両者の差が所定の数値以上であるか否かを判断す
ることを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法。 - 【請求項１４】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によって定義され
るサイズ領域を、複数の直線又は複数の曲線にて分割す
るとともに、これら直線同士又は曲線同士の交点、及び
これらの直線又はこれらの曲線と当該サイズ領域を囲む
外周線との交点を求める工程と、 上記任意の交点及び両端交点における電気特性のシミュ
レーション値を求める工程と、 上記両端交点におけるシミュレーション値同士を結ぶ線
分上で内挿法を用いて、上記任意の交点での内挿値を求
める工程と、 上記内挿値を基準にして電気特性値の許容範囲を設定す
るとともに、上記任意の交点におけるシミュレーション
値が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程とから
なることを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法。 - 【請求項１５】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によってサイズ領
域を定義する工程と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分
割線にて分割する工程と、 上記任意の交点及び両端交点における電気特性のシミュ
レーション値を求める工程と、 上記両端交点におけるシミュレーション値同士を結ぶ線
分上で内挿法を用いて、上記任意の交点での内挿値を求
める工程と、 上記内挿値を基準にして電気特性値の許容範囲を設定す
るとともに、上記任意の交点におけるシミュレーション
値が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程とから
なることを特徴とするトランジスタにおけるＳＰＩＣＥ
パラメータの抽出方法。 - 【請求項１６】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によってサイズ領
域を定義する工程と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分
割線にて分割する工程と、 上記任意の交点及び両端交点における電気特性のシミュ
レーション値を求める工程と、 上記両端交点におけるシミュレーション値同士を結ぶ線
分上にて線形関数を用いた内挿法により、上記任意の交
点での内挿値を求める工程と、 上記内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定す
るとともに、上記任意の交点におけるシミュレーション
値が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、 上記分割線上の他の任意の交点についても、順次、上記
各工程と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシ
ミュレーション値が許容範囲内であるか否かを判断する
工程とからなることを特徴とするトランジスタにおける
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項１７】ＭＯＳ型トランジスタのＳＰＩＣＥパラ
メータを抽出する方法であって、チャネル長Ｌ３、Ｌ４
（ Ｌ４＜Ｌ３）を規定する２本のチャネル長規定線
と、チャネル幅Ｗ３、Ｗ４（Ｗ４＜Ｗ３）を規定する２
本のチャネル幅規定線との４つの交点によってサイズ領
域を定義する工程と、 上記規定されたチャネル長（Ｌ４≦Ｌ≦Ｌ３）を複数の
チャネル長分割線にて分割するとともに、上記規定され
たチャネル幅（Ｗ４≦Ｗ≦Ｗ３）を複数のチャネル幅分
割線にて分割する工程と、 上記任意の交点及び両端交点における電気特性のシミュ
レーション値を求める工程と、 上記両端交点におけるシミュレーション値同士を結ぶ線
分上にて非線形関数を用いた内挿法により、上記任意の
交点での内挿値を求める工程と、 上記内挿値を基準として電気特性値の許容範囲を設定す
るとともに、上記任意の交点におけるシミュレーション
値が上記許容範囲内であるか否かを判断する工程と、 上記分割線上の他の任意の交点についても、順次、上記
各工程と同様の処理を行い、他の任意の交点におけるシ
ミュレーション値が許容範囲内であるか否かを判断する
工程とからなることを特徴とするトランジスタにおける
ＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項１８】内挿値に対する許容範囲の上限幅及び下
限幅を、内挿値の一定割合に設定したことを特徴とする
請求項１４乃至１７のいずれかに記載のトランジスタに
おけるＳＰＩＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項１９】電気特性のサイズ依存性が下方に突出す
るような場合、シミュレーション値における許容範囲の
上限を内挿値に設定するとともに、許容範囲の下限幅を
内挿値の一定割合としたことを特徴とする請求項１４乃
至１７のいずれかに記載のトランジスタにおけるＳＰＩ
ＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項２０】電気特性のサイズ依存性が上方に突出す
るような場合、シミュレーション値における許容範囲の
下限を内挿値に設定するとともに、許容範囲の上限幅を
内挿値の一定割合としたことを特徴とする請求項１４乃
至１７のいずれかに記載のトランジスタにおけるＳＰＩ
ＣＥパラメータの抽出方法。 - 【請求項２１】両端交点間に設定される内挿線の中央部
から両端部に行くにしたがってシミュレーション値の許
容範囲を狭くすることを特徴とする請求項１４乃至１７
のいずれかに記載のトランジスタにおけるＳＰＩＣＥパ
ラメータの抽出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001049504A JP2002251422A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | トランジスタにおけるｓｐｉｃｅパラメータの抽出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001049504A JP2002251422A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | トランジスタにおけるｓｐｉｃｅパラメータの抽出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002251422A true JP2002251422A (ja) | 2002-09-06 |
Family
ID=18910598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001049504A Pending JP2002251422A (ja) | 2001-02-26 | 2001-02-26 | トランジスタにおけるｓｐｉｃｅパラメータの抽出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002251422A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010067830A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Fujitsu Ltd | モデルパラメータ抽出プログラム |
| JP2010122946A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Nec Electronics Corp | 半導体デバイスモデルのモデルパラメータ抽出装置およびモデルパラメータ抽出プログラム |
| CN102004814A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-04-06 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 生成场效晶体管spice工艺角落模型的方法 |
-
2001
- 2001-02-26 JP JP2001049504A patent/JP2002251422A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010067830A (ja) * | 2008-09-11 | 2010-03-25 | Fujitsu Ltd | モデルパラメータ抽出プログラム |
| JP2010122946A (ja) * | 2008-11-20 | 2010-06-03 | Nec Electronics Corp | 半導体デバイスモデルのモデルパラメータ抽出装置およびモデルパラメータ抽出プログラム |
| CN102004814A (zh) * | 2010-10-12 | 2011-04-06 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 生成场效晶体管spice工艺角落模型的方法 |
| CN102004814B (zh) * | 2010-10-12 | 2014-12-10 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 生成场效晶体管spice工艺角落模型的方法 |
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