JP2002250706A - 分析装置 - Google Patents
分析装置Info
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- JP2002250706A JP2002250706A JP2001049215A JP2001049215A JP2002250706A JP 2002250706 A JP2002250706 A JP 2002250706A JP 2001049215 A JP2001049215 A JP 2001049215A JP 2001049215 A JP2001049215 A JP 2001049215A JP 2002250706 A JP2002250706 A JP 2002250706A
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- ray
- cursor
- analyzer
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 一つの表示画面上に複数のスペクトルを立体
的に比較表示する場合、それらのスペクトルを目視によ
って簡単かつ定量的に比較することができるようにした
分析装置を提供すること。 【解決手段】 装置全体を制御し測定部１，１３からの
信号に基づいて演算を行う演算制御装置１９と、この演
算制御装置１９に接続または付設された表示装置２６の
一つの表示画面２６Ａ上に複数のスペクトル２９Ａ〜２
９Ｃを三次元的に比較表示するように構成された分析装
置において、前記表示画面２６Ａ上に、前記スペクトル
２９Ａ〜２９Ｃを比較表示している方向にカーソル３１
を任意の位置に移動自在に表示できるようにした。
的に比較表示する場合、それらのスペクトルを目視によ
って簡単かつ定量的に比較することができるようにした
分析装置を提供すること。 【解決手段】 装置全体を制御し測定部１，１３からの
信号に基づいて演算を行う演算制御装置１９と、この演
算制御装置１９に接続または付設された表示装置２６の
一つの表示画面２６Ａ上に複数のスペクトル２９Ａ〜２
９Ｃを三次元的に比較表示するように構成された分析装
置において、前記表示画面２６Ａ上に、前記スペクトル
２９Ａ〜２９Ｃを比較表示している方向にカーソル３１
を任意の位置に移動自在に表示できるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばＸ線分析
装置などの分析装置に関する。
装置などの分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線分析装置の一つに、走査型電子顕微
鏡（以下、ＳＥＭという）と、このＳＥＭに取り付けら
れた半導体Ｘ線検出器からの信号を処理するエネルギー
分散型のＸ線分析装置（以下、ＥＤＸという）とを一体
的に組み合わせてなるエネルギー分散型Ｘ線マイクロア
ナライザがある。このようなエネルギー分散型Ｘ線マイ
クロアナライザは、数μｍという微小領域の元素分析を
行う装置で、ＳＥＭによる像観察と同時に、Ｘ線分析装
置によって観察している部分の「定性分析」、「定量分
析」、「Ｘ線像による元素分布の分析」などを行うこと
ができるところから、従来より金属、セラミックス、半
導体などの材料の研究に利用されているが、近年では、
製品のトラブル解析など品質管理の分野などにおいても
利用されるようになってきている。
鏡（以下、ＳＥＭという）と、このＳＥＭに取り付けら
れた半導体Ｘ線検出器からの信号を処理するエネルギー
分散型のＸ線分析装置（以下、ＥＤＸという）とを一体
的に組み合わせてなるエネルギー分散型Ｘ線マイクロア
ナライザがある。このようなエネルギー分散型Ｘ線マイ
クロアナライザは、数μｍという微小領域の元素分析を
行う装置で、ＳＥＭによる像観察と同時に、Ｘ線分析装
置によって観察している部分の「定性分析」、「定量分
析」、「Ｘ線像による元素分布の分析」などを行うこと
ができるところから、従来より金属、セラミックス、半
導体などの材料の研究に利用されているが、近年では、
製品のトラブル解析など品質管理の分野などにおいても
利用されるようになってきている。
【０００３】ところで、従来のエネルギー分散型Ｘ線マ
イクロアナライザにおいては、分析の結果得られる複数
のＸ線スペクトルを比較表示する場合、例えば図６に示
すように、一つの表示画面に三次元方向に立体的に表示
するようにしていた。すなわち、この図６は、例えば装
置全体を制御し測定部からの信号に基づいて演算を行う
演算制御装置としてのコンピュータに付設された表示装
置の表示画面６１の一例を示すもので、表示画面６１に
例えば２つのＸ線スペクトル６２，６３を同時に表示し
ている。この場合、表示画面６１の手前側に表されるＸ
線スペクトル６２については、全線を実線で表し、この
Ｘ線スペクトル６２の後ろに隠れるスペクトル６３につ
いては、隠線表示（図中の符号ａ，ｂで示す部分）して
見やすくしたり、Ｘ軸６４、Ｙ軸６５にそれぞれ目盛り
（図中の符号ｃ，ｄで示す部分）を付けるなどしてＸ線
スペクトル６２，６３を相互に比較し、分析できるよう
にしてある。なお、６６はＺ軸である。
イクロアナライザにおいては、分析の結果得られる複数
のＸ線スペクトルを比較表示する場合、例えば図６に示
すように、一つの表示画面に三次元方向に立体的に表示
するようにしていた。すなわち、この図６は、例えば装
置全体を制御し測定部からの信号に基づいて演算を行う
演算制御装置としてのコンピュータに付設された表示装
置の表示画面６１の一例を示すもので、表示画面６１に
例えば２つのＸ線スペクトル６２，６３を同時に表示し
ている。この場合、表示画面６１の手前側に表されるＸ
線スペクトル６２については、全線を実線で表し、この
Ｘ線スペクトル６２の後ろに隠れるスペクトル６３につ
いては、隠線表示（図中の符号ａ，ｂで示す部分）して
見やすくしたり、Ｘ軸６４、Ｙ軸６５にそれぞれ目盛り
（図中の符号ｃ，ｄで示す部分）を付けるなどしてＸ線
スペクトル６２，６３を相互に比較し、分析できるよう
にしてある。なお、６６はＺ軸である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の表示方式に
おいては、表示画面６１における一番手前側のＸ線スペ
クトル６２については、その対応する位置に目盛りを付
したＸ軸６４が設けられているので、このＸ線スペクト
ル６２についての定量は、前記Ｘ軸６４を参照すること
により比較的容易に行うことができる。しかし、Ｘ線ス
ペクトル６３のように２番目以降のものについては、定
量のための目盛りがないので、複数のＸ線スペクトルを
定量的に比較することは難しく、また、誤差を生ずる可
能性があった。
おいては、表示画面６１における一番手前側のＸ線スペ
クトル６２については、その対応する位置に目盛りを付
したＸ軸６４が設けられているので、このＸ線スペクト
ル６２についての定量は、前記Ｘ軸６４を参照すること
により比較的容易に行うことができる。しかし、Ｘ線ス
ペクトル６３のように２番目以降のものについては、定
量のための目盛りがないので、複数のＸ線スペクトルを
定量的に比較することは難しく、また、誤差を生ずる可
能性があった。
【０００５】上述のような課題は、エネルギー分散型Ｘ
線マイクロアナライザなどのＸ線分析装置のみならず、
表示画面上に複数のスペクトルを三次元的に比較表示す
るように構成された他の分析装置、例えば螢光Ｘ線分析
装置や、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）や
ラマン分光装置などにおいても生じているところであ
る。
線マイクロアナライザなどのＸ線分析装置のみならず、
表示画面上に複数のスペクトルを三次元的に比較表示す
るように構成された他の分析装置、例えば螢光Ｘ線分析
装置や、フーリエ変換赤外分光光度計（ＦＴ−ＩＲ）や
ラマン分光装置などにおいても生じているところであ
る。
【０００６】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、一つの表示画面上に複数のスペ
クトルを立体的に比較表示する場合、それらのスペクト
ルを目視によって簡単かつ定量的に比較することができ
るようにした分析装置を提供することである。
たもので、その目的は、一つの表示画面上に複数のスペ
クトルを立体的に比較表示する場合、それらのスペクト
ルを目視によって簡単かつ定量的に比較することができ
るようにした分析装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、装置全体を制御し測定部からの信号
に基づいて演算を行う演算制御装置と、この演算制御装
置に接続または付設された表示装置の一つの表示画面上
に複数のスペクトルを三次元的に比較表示するように構
成された分析装置において、前記表示画面上に、前記ス
ペクトルを比較表示している方向にカーソルを任意の位
置に移動自在に表示できるようにしている（請求項
１）。
め、この発明では、装置全体を制御し測定部からの信号
に基づいて演算を行う演算制御装置と、この演算制御装
置に接続または付設された表示装置の一つの表示画面上
に複数のスペクトルを三次元的に比較表示するように構
成された分析装置において、前記表示画面上に、前記ス
ペクトルを比較表示している方向にカーソルを任意の位
置に移動自在に表示できるようにしている（請求項
１）。
【０００８】上記分析装置においては、複数のスペクト
ルを比較表示している方向にカーソルを設けたことによ
り、比較している例えば二つのスペクトルの対応する位
置関係が明確になり、それぞれのＸ座標およびＹ座標に
基づいて二つのスペクトルを目視によっても簡単に定量
的に比較することができる。
ルを比較表示している方向にカーソルを設けたことによ
り、比較している例えば二つのスペクトルの対応する位
置関係が明確になり、それぞれのＸ座標およびＹ座標に
基づいて二つのスペクトルを目視によっても簡単に定量
的に比較することができる。
【０００９】そして、上記分析装置において、カーソル
上の一点からＸ軸への垂線およびＹ軸への垂線を表示で
きるようにした場合（請求項２）、前記目視による定量
比較をより簡単しかも確実に行うことができる。
上の一点からＸ軸への垂線およびＹ軸への垂線を表示で
きるようにした場合（請求項２）、前記目視による定量
比較をより簡単しかも確実に行うことができる。
【００１０】また、上記分析装置において、カーソルを
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の三方向に伸縮自在な立体カーソルと
した場合（請求項３）、比較したい領域を確実に対応さ
せることができ、きわめて簡単に一目で定量的な比較を
行うことができる。
Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の三方向に伸縮自在な立体カーソルと
した場合（請求項３）、比較したい領域を確実に対応さ
せることができ、きわめて簡単に一目で定量的な比較を
行うことができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を、図面を参照
しながら説明する。図１〜図４は、この発明の一実施例
を示す。まず、図１は、この発明の分析装置の一例とし
てのエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザの構成を
概略的に示すもので、この図において、１はＳＥＭで、
次のように構成されている。すなわち、２は試料室（図
示していない）の内部上方に設けられる電子銃、３はこ
の電子銃２から試料室の内部下方に配置された試料４に
向けて発せられる電子線５を二次元方向（互いに直交す
るｘ方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイル、６は
この電子線走査コイル３を制御する電子線走査電源、７
はディジタル・アナログ変換器（ＤＡＣ）である。な
お、試料４は、例えば試料ステージ（図示していない）
に載置され、ｘ，ｙ方向に移動できるようにしてある。
しながら説明する。図１〜図４は、この発明の一実施例
を示す。まず、図１は、この発明の分析装置の一例とし
てのエネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザの構成を
概略的に示すもので、この図において、１はＳＥＭで、
次のように構成されている。すなわち、２は試料室（図
示していない）の内部上方に設けられる電子銃、３はこ
の電子銃２から試料室の内部下方に配置された試料４に
向けて発せられる電子線５を二次元方向（互いに直交す
るｘ方向とｙ方向）に走査する電子線走査コイル、６は
この電子線走査コイル３を制御する電子線走査電源、７
はディジタル・アナログ変換器（ＤＡＣ）である。な
お、試料４は、例えば試料ステージ（図示していない）
に載置され、ｘ，ｙ方向に移動できるようにしてある。
【００１２】そして、図１において、８は対物レンズで
ある。９は電子線５を試料４に照射したときに試料４か
ら発生する二次電子および試料４において反射される電
子１０を検出する二次電子および反射電子検出器、１１
は増幅器、１２はアナログ・ディジタル変換器（ＡＤ
Ｃ）である。
ある。９は電子線５を試料４に照射したときに試料４か
ら発生する二次電子および試料４において反射される電
子１０を検出する二次電子および反射電子検出器、１１
は増幅器、１２はアナログ・ディジタル変換器（ＡＤ
Ｃ）である。
【００１３】また、図１において、１３はＥＤＸで、例
えば次のように構成されている。すなわち、１４は電子
線５が試料４に照射されたとき試料４から放出される特
性Ｘ線１５を検出するＸ線検出器で、例えばＳｉ検出器
からなる。１６はパルスプロセッサ、１７はマルチチャ
ネル波高分析器（ＭＣＡ）、１８はスペクトルメモリで
ある。
えば次のように構成されている。すなわち、１４は電子
線５が試料４に照射されたとき試料４から放出される特
性Ｘ線１５を検出するＸ線検出器で、例えばＳｉ検出器
からなる。１６はパルスプロセッサ、１７はマルチチャ
ネル波高分析器（ＭＣＡ）、１８はスペクトルメモリで
ある。
【００１４】さらに、図１において、１９は測定部とし
てのＳＥＭ１およびＥＤＸ１３を制御したり、これらか
ら送られてくる信号を処理する演算制御装置としてのコ
ンピュータで、ＣＰＵ２０、オペレーションシステム２
１、ＳＥＭ１を制御するプログラムを内蔵したメモリ２
２、ＥＤＸ１３を制御するプログラムを内蔵したメモリ
２３、画像メモリ２４およびデータバス２５からなる。
２６はＳＥＭ画像やＥＤＸ画像を表示する表示装置とし
てのＣＲＴ、２７は入力装置としてのキーボードやマウ
スである。
てのＳＥＭ１およびＥＤＸ１３を制御したり、これらか
ら送られてくる信号を処理する演算制御装置としてのコ
ンピュータで、ＣＰＵ２０、オペレーションシステム２
１、ＳＥＭ１を制御するプログラムを内蔵したメモリ２
２、ＥＤＸ１３を制御するプログラムを内蔵したメモリ
２３、画像メモリ２４およびデータバス２５からなる。
２６はＳＥＭ画像やＥＤＸ画像を表示する表示装置とし
てのＣＲＴ、２７は入力装置としてのキーボードやマウ
スである。
【００１５】上記構成よりなるエネルギー分散型Ｘ線マ
イクロアナライザにおいては、ＣＲＴ２６の画面上に表
示されたＳＥＭ画像における分析位置を、例えばマウス
で指定することにより、この指定された分析対象位置に
電子線５を照射するとともに、ＥＤＸ１３がＸ線スペク
トルの取り込みを開始するようにプログラムされてい
る。
イクロアナライザにおいては、ＣＲＴ２６の画面上に表
示されたＳＥＭ画像における分析位置を、例えばマウス
で指定することにより、この指定された分析対象位置に
電子線５を照射するとともに、ＥＤＸ１３がＸ線スペク
トルの取り込みを開始するようにプログラムされてい
る。
【００１６】すなわち、上記エネルギー分散型Ｘ線マイ
クロアナライザにおいては、ＳＥＭ１によって、二次電
子や反射電子の像をも得ることができ、これによって、
図２に示すように、試料４のＳＥＭ像２８をＣＲＴ２６
の表示画面２６Ａ上に表示することができる。そして、
この表示を見ながら、オペレータは分析すべき位置、例
えば、同図において符号２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃで示す
点を、マウス２７Ａによって指定することにより、これ
らの指定された試料４上の位置に電子線５を順次照射す
る。そして、この照射と同時に、コンピュータ１９がＥ
ＤＸ１３に対してＸ線スペクトルの取込みを開始するよ
うに指令する。この指令に基づいてＥＤＸ１３はＸ線ス
ペクトルの取り込みを開始し、ＣＰＵ２０が取り込んだ
データを演算処理などすることにより、図３（Ａ），
（Ｂ），（Ｃ）で示すようなＸ線スペクトル２９Ａ，２
９Ｂ，２９Ｃが順次得られる。そして、これらのＸ線ス
ペクトル２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃは、図４に示すよう
に、同一の表示画面２６Ａ上に立体的に表示される。な
お、図４において、３０Ｘ，３０Ｙ，３０Ｚは、それぞ
れ直交した関係にあるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸であり、Ｘ軸３
０Ｘ、Ｙ軸３０Ｙには適宜の目盛り（図示していない）
が付してある。
クロアナライザにおいては、ＳＥＭ１によって、二次電
子や反射電子の像をも得ることができ、これによって、
図２に示すように、試料４のＳＥＭ像２８をＣＲＴ２６
の表示画面２６Ａ上に表示することができる。そして、
この表示を見ながら、オペレータは分析すべき位置、例
えば、同図において符号２８Ａ，２８Ｂ，２８Ｃで示す
点を、マウス２７Ａによって指定することにより、これ
らの指定された試料４上の位置に電子線５を順次照射す
る。そして、この照射と同時に、コンピュータ１９がＥ
ＤＸ１３に対してＸ線スペクトルの取込みを開始するよ
うに指令する。この指令に基づいてＥＤＸ１３はＸ線ス
ペクトルの取り込みを開始し、ＣＰＵ２０が取り込んだ
データを演算処理などすることにより、図３（Ａ），
（Ｂ），（Ｃ）で示すようなＸ線スペクトル２９Ａ，２
９Ｂ，２９Ｃが順次得られる。そして、これらのＸ線ス
ペクトル２９Ａ，２９Ｂ，２９Ｃは、図４に示すよう
に、同一の表示画面２６Ａ上に立体的に表示される。な
お、図４において、３０Ｘ，３０Ｙ，３０Ｚは、それぞ
れ直交した関係にあるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸であり、Ｘ軸３
０Ｘ、Ｙ軸３０Ｙには適宜の目盛り（図示していない）
が付してある。
【００１７】そして、上記エネルギー分散型Ｘ線マイク
ロアナライザにおいては、前記複数（実施例では３つ）
のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃを同一の表示画面２６
Ａ上に立体的に表示するに際して、前記表示画面２６Ａ
には、複数のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃを比較表示
している方向、すなわち、Ｚ軸３０Ｚと平行な方向に複
数のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃの対応する位置関係
を示すためのカーソル３１が表示されるとともに、この
カーソル３１の位置を示すために、起点位置３１ａから
Ｘ軸３０Ｘに垂直（Ｙ軸３０Ｙと平行）に下ろした線３
２と、前記起点位置３１ａからＹ軸３０Ｙに垂直（Ｘ軸
３０Ｘと平行）に下ろした線３３とが表示されるように
構成されている。
ロアナライザにおいては、前記複数（実施例では３つ）
のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃを同一の表示画面２６
Ａ上に立体的に表示するに際して、前記表示画面２６Ａ
には、複数のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃを比較表示
している方向、すなわち、Ｚ軸３０Ｚと平行な方向に複
数のＸ線スペクトル２９Ａ〜２９Ｃの対応する位置関係
を示すためのカーソル３１が表示されるとともに、この
カーソル３１の位置を示すために、起点位置３１ａから
Ｘ軸３０Ｘに垂直（Ｙ軸３０Ｙと平行）に下ろした線３
２と、前記起点位置３１ａからＹ軸３０Ｙに垂直（Ｘ軸
３０Ｘと平行）に下ろした線３３とが表示されるように
構成されている。
【００１８】前記カーソル３１は、例えばマウスを操作
したりまたは表示画面２６Ａ上のキーを操作することに
よってリアルタイムでＸ軸、Ｙ軸の両方向の任意の位置
に移動させることができ、その移動に伴って、前記Ｘ軸
上への垂線３２、Ｙ軸上への垂線３３も移動できるよう
にしてある。
したりまたは表示画面２６Ａ上のキーを操作することに
よってリアルタイムでＸ軸、Ｙ軸の両方向の任意の位置
に移動させることができ、その移動に伴って、前記Ｘ軸
上への垂線３２、Ｙ軸上への垂線３３も移動できるよう
にしてある。
【００１９】上記分析装置においては、複数のＸ線スペ
クトル２９Ａ〜２９Ｃを比較表示している方向にカーソ
ル３１を設けたことにより、例えば二つのＸ線スペクト
ル２９Ａと２９Ｃとを比べる場合、カーソル３１の起点
３０ａを一方のＸ線スペクトル２９Ａ上の点に一致させ
ることにより、前記点に対応する他方のＸ線スペクトル
２９Ｃ上の点とを比較することができる。したがって、
二つのＸ線スペクトル２９Ａ，２９Ｃの対応する位置関
係が明確になり、それぞれのＸ座標およびＹ座標に基づ
いて二つのＸ線スペクトル２９Ａ，２９Ｃを目視によっ
ても簡単に定量的に比較することができる。
クトル２９Ａ〜２９Ｃを比較表示している方向にカーソ
ル３１を設けたことにより、例えば二つのＸ線スペクト
ル２９Ａと２９Ｃとを比べる場合、カーソル３１の起点
３０ａを一方のＸ線スペクトル２９Ａ上の点に一致させ
ることにより、前記点に対応する他方のＸ線スペクトル
２９Ｃ上の点とを比較することができる。したがって、
二つのＸ線スペクトル２９Ａ，２９Ｃの対応する位置関
係が明確になり、それぞれのＸ座標およびＹ座標に基づ
いて二つのＸ線スペクトル２９Ａ，２９Ｃを目視によっ
ても簡単に定量的に比較することができる。
【００２０】そして、上記実施例のように、カーソル３
１上の一点（起点）３１ａからＹ軸およびＸ軸にそれぞ
れ平行な線３２，３３を表示できるようにした場合に
は、一方のＸ線スペクトル２９Ａ上に位置する起点３１
ａのＸ，Ｙ座標を（Ｘ1 ，Ｙ1）とするとき、これに対
応する他方の点のＸ，Ｙ座標を簡単に求めることがで
き、前記目視による定量比較をより簡単しかも確実に行
うことができる。
１上の一点（起点）３１ａからＹ軸およびＸ軸にそれぞ
れ平行な線３２，３３を表示できるようにした場合に
は、一方のＸ線スペクトル２９Ａ上に位置する起点３１
ａのＸ，Ｙ座標を（Ｘ1 ，Ｙ1）とするとき、これに対
応する他方の点のＸ，Ｙ座標を簡単に求めることがで
き、前記目視による定量比較をより簡単しかも確実に行
うことができる。
【００２１】図５は、この発明の他の実施例を示すもの
で、この実施例においては、カーソルを立体的なものと
している。すなわち、この図において、３４は立体カー
ソルで、Ｘ軸方向カーソル３４Ｘ、Ｙ軸方向カーソル３
４Ｙ、Ｚ軸方向カーソル３４ＺがＸ軸、、Ｙ軸、Ｚ軸方
向にそれぞれ広がりをもつ直方体形状とし、前記各軸方
向に伸縮自在な立体カーソルとしたものである。このよ
うな立体カーソル３４によれば、比較したい領域を確実
に対応させることができ、きわめて簡単に一目で定量的
な比較を行うことができる。なお、３５，３６はそれぞ
れ立体カーソル３４における起点３４ａからＸ軸への垂
線、Ｙ軸への垂線である。
で、この実施例においては、カーソルを立体的なものと
している。すなわち、この図において、３４は立体カー
ソルで、Ｘ軸方向カーソル３４Ｘ、Ｙ軸方向カーソル３
４Ｙ、Ｚ軸方向カーソル３４ＺがＸ軸、、Ｙ軸、Ｚ軸方
向にそれぞれ広がりをもつ直方体形状とし、前記各軸方
向に伸縮自在な立体カーソルとしたものである。このよ
うな立体カーソル３４によれば、比較したい領域を確実
に対応させることができ、きわめて簡単に一目で定量的
な比較を行うことができる。なお、３５，３６はそれぞ
れ立体カーソル３４における起点３４ａからＸ軸への垂
線、Ｙ軸への垂線である。
【００２２】なお、エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナ
ライザとしては、上述のＳＥＭとＥＤＸからなるものの
ほかに、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）とＥＤＸとを組み
合わせたものもあるが、この発明はこのようなエネルギ
ー分散型Ｘ線マイクロアナライザにも同様に適用するこ
とができ、また、螢光Ｘ線分析装置にも同様に適用する
ことができる。すなわち、この発明は、装置全体を制御
し測定部からの信号に基づいて演算を行う演算制御装置
と、この演算制御装置に接続または付設された表示装置
の一つの表示画面上に複数のスペクトルを三次元的に比
較表示するように構成された分析装置の全てにおいて同
様に適用することができる。
ライザとしては、上述のＳＥＭとＥＤＸからなるものの
ほかに、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）とＥＤＸとを組み
合わせたものもあるが、この発明はこのようなエネルギ
ー分散型Ｘ線マイクロアナライザにも同様に適用するこ
とができ、また、螢光Ｘ線分析装置にも同様に適用する
ことができる。すなわち、この発明は、装置全体を制御
し測定部からの信号に基づいて演算を行う演算制御装置
と、この演算制御装置に接続または付設された表示装置
の一つの表示画面上に複数のスペクトルを三次元的に比
較表示するように構成された分析装置の全てにおいて同
様に適用することができる。
【００２３】また、表示装置としてはＣＲＴ以外の例え
ば液晶を用いたものなども使用してよいことはいうまで
もない。
ば液晶を用いたものなども使用してよいことはいうまで
もない。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、この発明では、装
置全体を制御し測定部からの信号に基づいて演算を行う
演算制御装置と、この演算制御装置に接続または付設さ
れた表示装置の一つの表示画面上に複数のスペクトルを
三次元的に比較表示するように構成された分析装置にお
いて、前記表示画面上に、前記スペクトルを比較表示し
ている方向にカーソルを任意の位置に移動自在に表示で
きるようにしているので、一つの表示画面上に複数のス
ペクトルを立体的に比較表示した場合、それらのスペク
トルを目視によって簡単かつ定量的にしかも精度よく比
較することができる。
置全体を制御し測定部からの信号に基づいて演算を行う
演算制御装置と、この演算制御装置に接続または付設さ
れた表示装置の一つの表示画面上に複数のスペクトルを
三次元的に比較表示するように構成された分析装置にお
いて、前記表示画面上に、前記スペクトルを比較表示し
ている方向にカーソルを任意の位置に移動自在に表示で
きるようにしているので、一つの表示画面上に複数のス
ペクトルを立体的に比較表示した場合、それらのスペク
トルを目視によって簡単かつ定量的にしかも精度よく比
較することができる。
【図１】この発明の分析装置の一例としてのエネルギー
分散型Ｘ線マイクロアナライザの構成の一例を概略的に
示す図である。
分散型Ｘ線マイクロアナライザの構成の一例を概略的に
示す図である。
【図２】前記エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザ
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図３】前記エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザ
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図４】前記エネルギー分散型Ｘ線マイクロアナライザ
の動作説明図である。
の動作説明図である。
【図５】この発明の他の実施例を示す図である。
【図６】従来技術を説明するための図である。
１，１３…測定部、１９…演算制御装置、２６…表示装
置、２６Ａ…表示画面、２９Ａ〜２９Ｃ…スペクトル、
３１…カーソル、３１ａ…起点、３２…Ｘ軸への垂線、
３３…Ｙ軸への垂線、３４…立体カーソル、３４ａ…起
点、３５…Ｘ軸への垂線、３６…Ｙ軸への垂線。
置、２６Ａ…表示画面、２９Ａ〜２９Ｃ…スペクトル、
３１…カーソル、３１ａ…起点、３２…Ｘ軸への垂線、
３３…Ｙ軸への垂線、３４…立体カーソル、３４ａ…起
点、３５…Ｘ軸への垂線、３６…Ｙ軸への垂線。
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F041 SA07 SA08 2G001 AA03 BA05 BA07 CA01 DA01 EA03 FA06 GA01 GA04 GA06 JA11 JA13 PA11 2G020 AA06 BA02 BA03 BA05 BA17 CA04 CA12 CB45 CC22 CD14 CD16 CD22 CD35 CD37 CD52
Claims (3)
- 【請求項１】 装置全体を制御し測定部からの信号に基
づいて演算を行う演算制御装置と、この演算制御装置に
接続または付設された表示装置の一つの表示画面上に複
数のスペクトルを三次元的に比較表示するように構成さ
れた分析装置において、前記表示画面上に、前記スペク
トルを比較表示している方向にカーソルを任意の位置に
移動自在に表示できるようにしたことを特徴とする分析
装置。 - 【請求項２】 カーソル上の一点からＸ軸への垂線およ
びＹ軸への垂線を表示できるようにしてなる請求項１に
記載の分析装置。 - 【請求項３】 カーソルをＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の三方向に
伸縮自在な立体カーソルとしてなる請求項１に記載の分
析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001049215A JP2002250706A (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001049215A JP2002250706A (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002250706A true JP2002250706A (ja) | 2002-09-06 |
Family
ID=18910353
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001049215A Pending JP2002250706A (ja) | 2001-02-23 | 2001-02-23 | 分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002250706A (ja) |
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