JP2002246098A - 真空チャンバー電力供給用の電流導入端子 - Google Patents
真空チャンバー電力供給用の電流導入端子Info
- Publication number
- JP2002246098A JP2002246098A JP2001042220A JP2001042220A JP2002246098A JP 2002246098 A JP2002246098 A JP 2002246098A JP 2001042220 A JP2001042220 A JP 2001042220A JP 2001042220 A JP2001042220 A JP 2001042220A JP 2002246098 A JP2002246098 A JP 2002246098A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- current
- terminal
- tip
- spring material
- coil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 メンテナンス時等に、端子先端チップと相手
電極チップとが分離しにくい事から生じる、端子先端チ
ップと相手電極チップとの間に生じる位置ズレ等によっ
ても、コイル状のクラッドバネ材を用いることにより、
通電材がバネ材と連動し、位置ズレ等はコイル状のクラ
ッドバネ材の全体に一様な応力変形として吸収すること
が可能となり、通電材の無理な変形を防止することが可
能となるものである。 【解決手段】 相手電極チップ２０に接触する端子先端
チップ２５と電流導入側の筒状部品２６とを、通電材２
１とバネ材２８との組合せから成るコイル状のクラッド
バネ材２７にて接続する。コイル状のクラッドバネ材２
７は、バネ材２８の外周を通電材２９で被覆して形成し
たものであっても良いし、通電材２９の外周をバネ材２
８で被覆して形成したものであっても良い。
電極チップとが分離しにくい事から生じる、端子先端チ
ップと相手電極チップとの間に生じる位置ズレ等によっ
ても、コイル状のクラッドバネ材を用いることにより、
通電材がバネ材と連動し、位置ズレ等はコイル状のクラ
ッドバネ材の全体に一様な応力変形として吸収すること
が可能となり、通電材の無理な変形を防止することが可
能となるものである。 【解決手段】 相手電極チップ２０に接触する端子先端
チップ２５と電流導入側の筒状部品２６とを、通電材２
１とバネ材２８との組合せから成るコイル状のクラッド
バネ材２７にて接続する。コイル状のクラッドバネ材２
７は、バネ材２８の外周を通電材２９で被覆して形成し
たものであっても良いし、通電材２９の外周をバネ材２
８で被覆して形成したものであっても良い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置等の高
真空チャンバーに電力を供給するための電流導入端子に
係るものである。
真空チャンバーに電力を供給するための電流導入端子に
係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造装置のステッパー加工
装置に於ける電力供給方式は、図３に示す如く、シリコ
ンウエハー(１)をセットするテーブル(２)に装着された
相手電極チップ(３)ごとに、電流導入端子(４)が配置さ
れている。そして、この電流導入端子(４)と相手電極チ
ップ(３)とを球面接触させて通電する方式が採用されて
いる。この電力供給方式に於ける電流導入端子(４)は、
図３に示す如く、筒状部品(５)、端子先端チップ(６)、
通電材製でスネイクベンド状に折り曲げられた通電帯
(７)及びコイルバネ(８)とから構成されている。そし
て、筒状部品(５)と端子先端チップ(６)との間に介装さ
せたコイルバネ(８)の作用により、端子先端チップ(６)
を相手電極チップ(３)に所定の面圧で球面接触させる方
式となっている。
装置に於ける電力供給方式は、図３に示す如く、シリコ
ンウエハー(１)をセットするテーブル(２)に装着された
相手電極チップ(３)ごとに、電流導入端子(４)が配置さ
れている。そして、この電流導入端子(４)と相手電極チ
ップ(３)とを球面接触させて通電する方式が採用されて
いる。この電力供給方式に於ける電流導入端子(４)は、
図３に示す如く、筒状部品(５)、端子先端チップ(６)、
通電材製でスネイクベンド状に折り曲げられた通電帯
(７)及びコイルバネ(８)とから構成されている。そし
て、筒状部品(５)と端子先端チップ(６)との間に介装さ
せたコイルバネ(８)の作用により、端子先端チップ(６)
を相手電極チップ(３)に所定の面圧で球面接触させる方
式となっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記構成の電流導入端
子(４)を採用した電力供給方式に於いて、真空チャンバ
ー内にシリコンウエハー(１)をセットするテーブル(２)
に装着される相手電極チップ(３)は銅材で形成し、電流
導入端子(４)側の端子先端チップ(６)はステンレス製が
一般的である。そして、シリコンウエハー(１)をセット
するテーブル(２)に電力を供給する際、電流導入端子
(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ(３)とが、
所定の面圧で球面接触した状態で長時間、高温雰囲気に
晒されると、局部面圧により、その球面接触部が癒着し
て離れにくくなる現象が生じる。
子(４)を採用した電力供給方式に於いて、真空チャンバ
ー内にシリコンウエハー(１)をセットするテーブル(２)
に装着される相手電極チップ(３)は銅材で形成し、電流
導入端子(４)側の端子先端チップ(６)はステンレス製が
一般的である。そして、シリコンウエハー(１)をセット
するテーブル(２)に電力を供給する際、電流導入端子
(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ(３)とが、
所定の面圧で球面接触した状態で長時間、高温雰囲気に
晒されると、局部面圧により、その球面接触部が癒着し
て離れにくくなる現象が生じる。
【０００４】その為、メンテナンス時や、段取り替え時
に真空チャンバー内のテーブル(２)を分解する時に行わ
れる、電流導入端子(４)の端子先端チップ(６)と、相手
電極チップ(３)との分離の際に、端子先端チップ(６)が
相手電極チップ(３)にくっついたまま動く場合が多く、
電流導入端子(４)の通電帯(７)はその動きに追随できず
破損する事態を生じ易いものであった。
に真空チャンバー内のテーブル(２)を分解する時に行わ
れる、電流導入端子(４)の端子先端チップ(６)と、相手
電極チップ(３)との分離の際に、端子先端チップ(６)が
相手電極チップ(３)にくっついたまま動く場合が多く、
電流導入端子(４)の通電帯(７)はその動きに追随できず
破損する事態を生じ易いものであった。
【０００５】この通電材製の通電帯(７)は、電流導入端
子(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ(３)との
分離の際に、端子先端チップ(６)が相手電極チップ(３)
に、くっついたまま動く事があっても、図３に示す如く
スネイクベンド状に形成していることにより、多少の移
動には対応し得るよう形成されている。しかしながら、
上記の移動の他、熱変形、加重変化などの様々の理由に
よる大きな位置ズレ移動又は高温時の繰り返し応力等に
は対応する事ができず、通電材製の通電帯(７)の直線部
よりは曲がり部に変形が集中し、曲がり部に破損を生じ
ることが多いものであった。
子(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ(３)との
分離の際に、端子先端チップ(６)が相手電極チップ(３)
に、くっついたまま動く事があっても、図３に示す如く
スネイクベンド状に形成していることにより、多少の移
動には対応し得るよう形成されている。しかしながら、
上記の移動の他、熱変形、加重変化などの様々の理由に
よる大きな位置ズレ移動又は高温時の繰り返し応力等に
は対応する事ができず、通電材製の通電帯(７)の直線部
よりは曲がり部に変形が集中し、曲がり部に破損を生じ
ることが多いものであった。
【０００６】本発明は上述の如き課題を解決し、メンテ
ナンス時、通電中の熱変形、加重変化などの様々の理由
による位置ズレ移動等に対応し、通電部分の破損を生じ
ることが無いようにしようとするものであって、限られ
たスペースの中で、通電材の通電面積を確保し、必要量
の通電を可能とし、通電部分の破損を防止しながら、電
流導入端子(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ
(３)とが、所定の面圧で接触可能となるようにしたもの
である。
ナンス時、通電中の熱変形、加重変化などの様々の理由
による位置ズレ移動等に対応し、通電部分の破損を生じ
ることが無いようにしようとするものであって、限られ
たスペースの中で、通電材の通電面積を確保し、必要量
の通電を可能とし、通電部分の破損を防止しながら、電
流導入端子(４)の端子先端チップ(６)と相手電極チップ
(３)とが、所定の面圧で接触可能となるようにしたもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上述の如き課題
を解決するため、相手電極チップに接触する端子先端チ
ップと電流導入側の筒状部品とを、通電材とバネ材との
組合せから成るコイル状のクラッドバネ材にて接続して
成るものである。
を解決するため、相手電極チップに接触する端子先端チ
ップと電流導入側の筒状部品とを、通電材とバネ材との
組合せから成るコイル状のクラッドバネ材にて接続して
成るものである。
【０００８】また、コイル状のクラッドバネ材は、バネ
材の外周を通電材で被覆して形成したものであっても良
い。
材の外周を通電材で被覆して形成したものであっても良
い。
【０００９】また、コイル状のクラッドバネ材は、通電
材の外周をバネ材で被覆して形成したものであっても良
い。
材の外周をバネ材で被覆して形成したものであっても良
い。
【００１０】
【作用】本発明は上述の如く構成したものであるから、
メンテナンス時等に、電流導入端子の端子先端チップと
相手電極チップとが癒着し、分離しにくい状態であり、
この分離のために大きな力が作用したり、端子先端チッ
プと相手電極チップとの間に位置ズレを生じても、通電
材とバネ材とのクラッド化によって、通電材がバネ材と
連動することにより、通電材が局部的に大きなな変形を
生じることが無い。位置ズレ等はコイル状のクラッドバ
ネ材全体で、一様な応力変形として吸収することが可能
となり、通電材の無理な局部的な変形を防止することが
可能となる。
メンテナンス時等に、電流導入端子の端子先端チップと
相手電極チップとが癒着し、分離しにくい状態であり、
この分離のために大きな力が作用したり、端子先端チッ
プと相手電極チップとの間に位置ズレを生じても、通電
材とバネ材とのクラッド化によって、通電材がバネ材と
連動することにより、通電材が局部的に大きなな変形を
生じることが無い。位置ズレ等はコイル状のクラッドバ
ネ材全体で、一様な応力変形として吸収することが可能
となり、通電材の無理な局部的な変形を防止することが
可能となる。
【００１１】また、従来公知の通電材製でスネイクベン
ドされた通電帯に比較し、通電材とバネ材とから成るコ
イル状のクラッドバネ材とすることにより、通電材の延
べ長さを３〜６倍長くすることが可能で有ると共に、バ
ネ材の補強により通電材の局部的な異常変形を防止する
ことが可能となる。
ドされた通電帯に比較し、通電材とバネ材とから成るコ
イル状のクラッドバネ材とすることにより、通電材の延
べ長さを３〜６倍長くすることが可能で有ると共に、バ
ネ材の補強により通電材の局部的な異常変形を防止する
ことが可能となる。
【００１２】また、コイル状のクラッドバネ材は、バネ
材の外周を通電材で被覆して形成したものであっても良
いし、通電材の外周をバネ材で被覆して形成したもので
あっても良い。
材の外周を通電材で被覆して形成したものであっても良
いし、通電材の外周をバネ材で被覆して形成したもので
あっても良い。
【００１３】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面に於いて説明す
れば、(２０)は相手電極チップで、シリコンウエハーを
セットするテーブルに装着され銅材により形成されてい
る。この相手電極チップ(２０)の下面は弧状凹部(２３)
とし、電流導入端子(２４)の端子先端チップ(２５)に接
続している。この端子先端チップ(２５)は、ステンレス
材により形成し、電流導入端子(２４)を構成する筒状部
品(２６)に、クラッドバネ材(２７)を介して接続してい
る。
れば、(２０)は相手電極チップで、シリコンウエハーを
セットするテーブルに装着され銅材により形成されてい
る。この相手電極チップ(２０)の下面は弧状凹部(２３)
とし、電流導入端子(２４)の端子先端チップ(２５)に接
続している。この端子先端チップ(２５)は、ステンレス
材により形成し、電流導入端子(２４)を構成する筒状部
品(２６)に、クラッドバネ材(２７)を介して接続してい
る。
【００１４】このクラッドバネ材(２７)は、コイル外径
１１ｍｍ、線径２ｍｍとし、バネ材(２８)の外周を通電
材(２９)で被覆して形成する。このバネ材(２８)はイン
コネル材を外径１．２ｍｍとし、このバネ材(２８)の外
周を厚み０．４ｍｍの好ましくは無酸素銅製の通電材
(２９)で被覆する。
１１ｍｍ、線径２ｍｍとし、バネ材(２８)の外周を通電
材(２９)で被覆して形成する。このバネ材(２８)はイン
コネル材を外径１．２ｍｍとし、このバネ材(２８)の外
周を厚み０．４ｍｍの好ましくは無酸素銅製の通電材
(２９)で被覆する。
【００１５】また、このクラッドバネ材(２７)の一方の
端部には、端子先端チップ(２５)を接続し、他方の端部
には筒状部品(２６)を接続している。そして、この端子
先端チップ(２５)及び筒状部品(２６)のクラッドバネ材
(２７)側には、固定爪(３０)を突出形成し、この固定爪
(３０)をカシメる事により、端子先端チップ(２５)及び
筒状部品(２６)をクラッドバネ材(２７)に固定してい
る。また、このカシメ固定後、固定爪(３０)と部材との
固定部に銀鑞付け等のろう付け作業を好ましくは真空中
で行う。そして、インコネル材の時効処理(７３２℃・
１５時間)を施す。
端部には、端子先端チップ(２５)を接続し、他方の端部
には筒状部品(２６)を接続している。そして、この端子
先端チップ(２５)及び筒状部品(２６)のクラッドバネ材
(２７)側には、固定爪(３０)を突出形成し、この固定爪
(３０)をカシメる事により、端子先端チップ(２５)及び
筒状部品(２６)をクラッドバネ材(２７)に固定してい
る。また、このカシメ固定後、固定爪(３０)と部材との
固定部に銀鑞付け等のろう付け作業を好ましくは真空中
で行う。そして、インコネル材の時効処理(７３２℃・
１５時間)を施す。
【００１６】本発明の実施例は上述の如く構成したもの
であるから、メンテナンス時等に、電流導入端子(２４)
の端子先端チップ(２５)と相手電極チップ(２０)とが癒
着し、分離しにくいものとなり、この分離のために大き
な力が作用したり、端子先端チップ(２５)と相手電極チ
ップ(２０)との間に位置ズレを生じても、通電材(２９)
がバネ材(２８)と連動することにより、通電材(２９)に
局部的な変形を生じることが無い。
であるから、メンテナンス時等に、電流導入端子(２４)
の端子先端チップ(２５)と相手電極チップ(２０)とが癒
着し、分離しにくいものとなり、この分離のために大き
な力が作用したり、端子先端チップ(２５)と相手電極チ
ップ(２０)との間に位置ズレを生じても、通電材(２９)
がバネ材(２８)と連動することにより、通電材(２９)に
局部的な変形を生じることが無い。
【００１７】その為、位置ズレ等はコイル状のクラッド
バネ材(２７)の全体に一様な応力変形として吸収するこ
とが可能となり、通電材(２９)の無理な変形を防止する
ことが可能となる。また、従来公知の通電材製のスネイ
クベンドされた通電帯(７)に比較し、コイル状のクラッ
ドバネ材(２７)とすることにより、通電材(２９)の延べ
長さを３〜６倍長くすることが可能で有ると共に、バネ
材(２８)の補強により異常変形を防止し、通電材の疲労
破損が生じにくいものとなる。
バネ材(２７)の全体に一様な応力変形として吸収するこ
とが可能となり、通電材(２９)の無理な変形を防止する
ことが可能となる。また、従来公知の通電材製のスネイ
クベンドされた通電帯(７)に比較し、コイル状のクラッ
ドバネ材(２７)とすることにより、通電材(２９)の延べ
長さを３〜６倍長くすることが可能で有ると共に、バネ
材(２８)の補強により異常変形を防止し、通電材の疲労
破損が生じにくいものとなる。
【発明の効果】本発明は上述の如く構成したものである
から、メンテナンス時等に、端子先端チップと相手電極
チップとが分離しにくい事から生じる、端子先端チップ
と相手電極チップとの間に生じる位置ズレ等によって
も、コイル状のクラッドバネ材を用いることにより、通
電材がバネ材と連動し、位置ズレ等はコイル状のクラッ
ドバネ材の全体に一様な応力変形として吸収することが
可能となり、通電材の無理な変形を防止することが可能
となるものである。
から、メンテナンス時等に、端子先端チップと相手電極
チップとが分離しにくい事から生じる、端子先端チップ
と相手電極チップとの間に生じる位置ズレ等によって
も、コイル状のクラッドバネ材を用いることにより、通
電材がバネ材と連動し、位置ズレ等はコイル状のクラッ
ドバネ材の全体に一様な応力変形として吸収することが
可能となり、通電材の無理な変形を防止することが可能
となるものである。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】クラッドバネ材の拡大断面図。
【図３】従来公知例の一部断面図。
２０ 相手電極チップ ２５ 端子先端チップ ２６ 筒状部品 ２７ クラッドバネ材 ２８ バネ材 ２９ 通電材
Claims (3)
- 【請求項１】 相手電極チップに接触する端子先端チッ
プと、電流導入側の筒状部品とを、通電材とバネ材との
組合せから成るコイル状のクラッドバネ材にて接続した
ことを特徴とする真空チャンバー電力供給用の電流導入
端子。 - 【請求項２】 コイル状のクラッドバネ材は、バネ材の
外周を通電材で被覆して形成したことを特徴とする請求
項１の真空チャンバー電力供給用の電流導入端子。 - 【請求項３】 コイル状のクラッドバネ材は、通電材の
外周をバネ材で被覆して形成したことを特徴とする請求
項１の真空チャンバー電力供給用の電流導入端子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001042220A JP2002246098A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 真空チャンバー電力供給用の電流導入端子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001042220A JP2002246098A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 真空チャンバー電力供給用の電流導入端子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002246098A true JP2002246098A (ja) | 2002-08-30 |
| JP2002246098A5 JP2002246098A5 (ja) | 2008-02-14 |
Family
ID=18904550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001042220A Pending JP2002246098A (ja) | 2001-02-19 | 2001-02-19 | 真空チャンバー電力供給用の電流導入端子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002246098A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004152536A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Otax Co Ltd | 電子部品用ソケット |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211383A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-11 | Yokowo Co Ltd | 電気接続用コネクタ |
| JPH11162270A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Fujitsu Ltd | 電気的接続装置、接触子製造方法、及び半導体試験方法 |
| JPH11163066A (ja) * | 1997-11-29 | 1999-06-18 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ試験装置 |
| WO2000003251A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact |
| JP2000243500A (ja) * | 1999-02-18 | 2000-09-08 | Yokowo Co Ltd | スプリングコネクタおよびその製造方法 |
-
2001
- 2001-02-19 JP JP2001042220A patent/JP2002246098A/ja active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07211383A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-11 | Yokowo Co Ltd | 電気接続用コネクタ |
| JPH11162270A (ja) * | 1997-11-28 | 1999-06-18 | Fujitsu Ltd | 電気的接続装置、接触子製造方法、及び半導体試験方法 |
| JPH11163066A (ja) * | 1997-11-29 | 1999-06-18 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ試験装置 |
| WO2000003251A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | Nhk Spring Co., Ltd. | Conductive contact |
| JP2000243500A (ja) * | 1999-02-18 | 2000-09-08 | Yokowo Co Ltd | スプリングコネクタおよびその製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004152536A (ja) * | 2002-10-29 | 2004-05-27 | Otax Co Ltd | 電子部品用ソケット |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100911676B1 (ko) | 콘택터, 그의 제조 방법 및 콘택터를 사용한 시험 방법 | |
| KR101145283B1 (ko) | 스프링 접촉 어셈블리 | |
| EP1136827B1 (en) | Contactor having LSI-circuit-side contact piece and test-board-side contact piece for testing semiconductor device and manufacturing method thereof | |
| EP2647088B1 (en) | Electrical connector with embedded shell layer | |
| US8698513B2 (en) | Probe and method of manufacturing probe | |
| TWI588494B (zh) | Probe and inspection socket provided with the probe | |
| US20150287518A1 (en) | High temperature electromagnetic coil assemblies including brazed braided lead wires | |
| KR20040013010A (ko) | 도전성 접촉자 | |
| US4397086A (en) | Method of fabricating a socket type electrical contact | |
| JP7021874B2 (ja) | コンタクトプローブ及び検査治具 | |
| JP2007258115A (ja) | 加熱装置 | |
| JP3925702B2 (ja) | セラミックヒーター | |
| US20160308297A1 (en) | Spring connector | |
| TW201015084A (en) | Inspection unit | |
| JP2002246098A (ja) | 真空チャンバー電力供給用の電流導入端子 | |
| WO2010140184A1 (ja) | プローブ及びプローブ装置 | |
| JP2010010061A (ja) | 超伝導導体の接続方法、接続部材 | |
| JP4624372B2 (ja) | 多層電気プローブ | |
| CN111986881A (zh) | 线圈部件及其制造方法 | |
| JPH08167456A (ja) | ゼロ・インサーション・フォース・コネクタ及びこれを使用した多ピンコネクタ着脱装置 | |
| JP2013205188A (ja) | スプリングプローブ | |
| JPH11154610A (ja) | インダクタ及びその製造方法 | |
| JPH02860B2 (ja) | ||
| JP2006058005A (ja) | セラミックグロープラグ及びその製造方法 | |
| JPH09115948A (ja) | 半導体素子の実装方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20060919 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071226 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071226 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100226 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100304 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100624 |