JP2002243656A - 外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents

外観検査方法及び外観検査装置

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JP2002243656A
JP2002243656A JP2001037497A JP2001037497A JP2002243656A JP 2002243656 A JP2002243656 A JP 2002243656A JP 2001037497 A JP2001037497 A JP 2001037497A JP 2001037497 A JP2001037497 A JP 2001037497A JP 2002243656 A JP2002243656 A JP 2002243656A
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義浩 佐々木
Masahiko Nagao
政彦 長尾
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Abstract

(57)【要約】 【課題】安価であるにも拘わらず高精度で外観検査を行
うことのできる外観検査方法及び外観検査装置を提供す
る。 【解決手段】リング照明器１３で照明されたＢＧＡを上
方から化めっら１０で撮影して原画像を得る。画像処理
ユニット１２は、この撮影により得られた原画像を２値
化し、この２値化により得られた２値化画像をラベリン
グする。そして、このラベリングにより得られたラベリ
ング画像の外周に接する外接矩形を形成し、該形成され
た外接矩形内のラベリング画像を反転し、該反転により
得られた画像のうちの前記外接矩形と前記外周とで形成
される領域の部分を除去し、該除去により得られた画像
を前記ラベリング画像に加算することにより検査用画像
を生成し、該生成された検査用画像に基づいて前記検査
対象物の合否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像処理により検
査対象物の外観検査を行う外観検査方法及び外観検査装
置に関し、特にＢＧＡ（Ball Grid Array）の突起部の
形状を精密に検査する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ＢＧＡタイプのパッケージを有す
る集積回路（ＩＣ）を撮像し、この撮影により得られた
画像を用いてその外観を検査する外観検査装置及び外観
検査方法が知られている。
【０００３】このような外観検査装置として、例えば、
特開平９−３１１０１４号公報は、「半導体集積回路装
置の突起部検査装置」を開示している。この突起部検査
装置は、検査対象突起部の概略座標と本来突起部がある
べき座標とを比較し、検査規格から大幅に外れていると
判断された突起部があった場合はズレ不良信号を出力
し、その突起部に対するその突起部に対する検査を打ち
切って次の突起部の位置検査に移り、検査規格から大幅
に外れていないと判定された突起部についてのみ高精度
判定要求を行う。
【０００４】次いで、この位置高精度判定要求に応答し
て、サブピクセル突起部座標データと本来突起部がある
べき座標とを比較して予め設定した位置ズレ許容範囲に
入っていなければ位置ズレ不良と判断する。これによ
り、はんだ突起部の位置ズレを精度良く、高速に検査で
きる。
【０００５】また、特開平８−２０３９７２号公報は、
「突起部検査装置」を開示している。この突起部検査装
置は、検査対象面を水平又は水平に近い斜め上方から照
明し、上方に取り付けられたカメラで画像を取り込む。
そして、得られた濃淡画像データを２値化処理し、ラベ
ル付け処理する。良否の判定は、第１の方式では、正常
な大きさの領域のラベル数と予め設定した突起部数を比
較出力して一致すれば良品と判定する。
【０００６】第２の方式では、ひとつ前の検出した突起
部に相当するラベルの中心座標を起点として次の突起部
の相対座標だけ離れた位置に中心座標を有するラベルを
検索していき全突起部に相当するラベルが検索されれば
良品と判定する。これにより、ＢＧＡ基盤上のはんだボ
ール、半導体装置上のバンプなどの突起部の欠落、サイ
ズ不良といった欠陥を検出できる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た公報に開示された技術は、何れもカメラを用いて取り
込まれた濃淡画像データをピクセル単位で２値化し、こ
の２値化画像データに基づいて突起部の良否を判断して
いる。従って、検査精度は２値化画像データのピクセル
の多寡に依存するので、安価な撮像素子を用いた外観検
査装置では、形状不良を検出できない場合があり、検査
精度が低いという問題を残している。
【０００８】そこで、本発明の目的は、安価であるにも
拘わらず高精度で外観検査を行うことのできる外観検査
方法及び外観検査装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様に係
る外観検査方法は、上記目的を達成するために、照明さ
れた検査対象物を上方から撮影し、該撮影により得られ
た原画像を２値化し、該２値化により得られた２値化画
像をラベリングし、該ラベリングにより得られたラベリ
ング画像の外周に接する外接矩形を形成し、該形成され
た外接矩形内のラベリング画像を反転し、該反転により
得られた画像のうちの前記外接矩形と前記外周とで形成
される領域の部分を除去し、該除去により得られた画像
を前記ラベリング画像に加算することにより検査用画像
を生成し、該生成された検査用画像に基づいて前記検査
対象物の合否を判定するように構成されている。
【００１０】この第１の態様に係る外観検査方法は、例
えばボール状の検査対象物を撮影して２値化することに
より得られるドーナツ形状のような中空部（ドーナツの
穴の部分）を有する２値化画像に基づいて検査対象物の
合否を判定するのに好適である。なお、本明細書では、
中空部とは、「１」の値を有するピクセルで囲まれた
「０」の値を有するピクセルが存在する領域をいい、ド
ーナツ形状の穴の部分が中空部に対応する。このような
２値化画像の中空部の大きさは、検査対象物の形状に依
存して変化するので検査精度に影響を与える。
【００１１】しかし、この第１の態様に係る外観検査方
法によれば、中空部が２値化画像の外周の２値と同一値
で埋め込まれた検査用画像を用いて検査対象物の合否が
判定されるので、中空部の大きさに依存しない検査を行
うことができ、検査対象物の検査精度を向上させること
ができる。なお、この第１の態様に係る外観検査方法
は、検査対象物の２値化画像がドーナツ形状である場合
に限らず、中空部を有する種々の２値化画像に適用でき
ることは勿論である。
【００１２】また、この第１の態様に係る外観検査方法
において、前記判定するステップは、前記加算によって
生成された検査用画像の面積、径及び面積比で表される
円形度の少なくとも１つに基づいて検査対象物の合否を
判定するように構成できる。
【００１３】また、この第１の態様に係る外観検査方法
は、前記検査用画像を生成するステップに、更に、前記
検査用画像の外周を形成する複数のピクセルの各々の周
囲をサブピクセル化し、以て検査用画像を生成するステ
ップを更に備えるように構成できる。なお、この明細書
では、隣り合う２つのピクセルの持つ濃度値に対して、
目的のスレッショルドレベル値が２つのピクセル値の中
間の何％の割合に相当するかを算出し、その割合に応じ
て２つのピクセル間の切り分け位置も、上記割合と同じ
比率で切り分けし、内側を「１」、外側を「０」とする
ことで、線引きを１ピクセルより小さい値の単位で決め
る技法をサブピクセル化と称する。
【００１４】この構成によれば、検査用画像の外周がサ
ブピクセル化されるので、高精度の検査用画像が得ら
れ、検査精を向上させることができる。また、サブピク
セル化する範囲は、検査用画像の全体ではなく、検査用
画像の外周を形成する複数のピクセルの各々の周囲のピ
クセルだけであるので、サブピクセル化を高速に行うこ
とができる。
【００１５】また、本発明の第２の態様に係る外観検査
方法は、上記と同様の目的で、照明された検査対象物を
上方から撮影し、該撮影により得られた原画像を２値化
し、該２値化により得られた２値化画像をラベリング
し、該ラベリングにより得られたラベリング画像に対応
する前記原画像の濃淡値の総和を算出し、該算出された
濃淡値の総和に基づいて前記検査対象物の合否を判定す
るように構成されている。
【００１６】この第２の態様に係る外観検査方法は、前
記ラベリング画像の外周を形成する各ピクセルの周囲を
サブピクセル化するステップを更に備え、前記原画像の
濃淡値の総和を算出するステップは、該サブピクセル化
された画像に対応する前記原画像の濃淡値の総和を算出
するように構成できる。
【００１７】また、この第２の態様に係る外観検査方法
は、前記ラベリング画像の面積を算出し、該算出された
面積で前記原画像の濃淡値の総和を除算することにより
前記原画像の平均濃淡値を算出するステップを更に備
え、前記判定するステップは、前記算出された平均濃淡
値に基づいて前記検査対象物の合否を判定するように構
成できる。
【００１８】また、この第２の態様に係る外観検査方法
は、全てのラベリング画像に対応する原画像について算
出された前記平均濃淡値を平均して総平均濃淡値を算出
するステップを更に備え、前記判定するステップは、前
記算出された総平均濃淡値に基づいて前記検査対象物の
合否を判定するように構成できる。
【００１９】更に、この第２の態様に係る外観検査方法
では、前記判定するステップは、前記算出された平均濃
淡値と前記算出された総平均濃淡値との差又は前記算出
された総平均濃淡値に対する前記算出された平均濃淡値
の割合に基づいて前記検査対象物の合否を判定するよう
に構成できる。
【００２０】また、本発明の第３の態様に係る外観検査
方法は、上記と同様の目的で、照明された検査対象物を
上方から撮影し、該撮影により得られた原画像を２値化
し、該２値化により得られた２値化画像をラベリング
し、該ラベリングにより得られたラベリング画像の外周
を形成する複数のピクセル中の２つのピクセルの組合せ
の全てについて、２つのピクセル間の距離を算出し、該
算出された複数の距離の中の最大の距離を求め、該求め
られた最大の距離に基づいて合否を判定するように構成
されている。
【００２１】また、この第３の態様に係る外観検査方法
においては、前記最大の距離を求めるステップは、前記
最大の距離を形成する１組のピクセルの各々の周囲をサ
ブピクセル化してサブピクセル画像を生成し、該生成さ
れた一方のピクセルのサブピクセル画像の中の前記ラベ
リング画像の外周を形成する複数のサブピクセルの中の
１つと、他方のサブピクセル画像の中の前記ラベリング
画像の外周を形成する複数のサブピクセルの中の１つと
の組み合わせの全てについて、２つのサブピクセル間の
距離を算出し、該算出された複数の距離の中の最大の距
離を求めるように構成できる。
【００２２】また、この第３の態様に係る外観検査方法
においては、前記最大の距離を求めるステップは、前記
最大の距離から所定範囲の距離を形成する複数組のピク
セルの各々の周囲をサブピクセル化してサブピクセル画
像を生成し、該生成された一方のピクセルのサブピクセ
ル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複数
のサブピクセルの中の１つと、他方のサブピクセル画像
の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複数のサブ
ピクセルの中の１つとの組み合わせの全てについて、２
つのサブピクセル間の距離を算出する処理を、前記複数
組の各々について行い、該算出された複数の距離の中の
最大の距離を求めるように構成できる。
【００２３】また、この第３の態様に係る外観検査方法
は、前記ラベリング画像の中心又は重心を算出するステ
ップを更に備え、前記距離を算出するステップは、前記
算出された中心又は重心から最も遠い距離にある前記ラ
ベリング画像の外周を形成するピクセルと、該ピクセル
を除く前記外周を形成する複数のピクセルとの距離を算
出するように構成できる。
【００２４】更に、この第３の態様に係る外観検査方法
は、前記ラベリング画像をサブピクセル化するステップ
を更に備え、前記距離を算出するステップは、該サブピ
クセル化された画像の外周を形成する複数のサブピクセ
ル間の距離を算出するように構成できる。
【００２５】以上の第１〜第３の態様に係る外観検査方
法では、前記撮影により得られる原画像は、ＢＧＡを撮
影することにより得られる画像とすることができる。
【００２６】また、本発明の第４の態様に係る外観検査
装置は、検査対象物を照明する照明器と、該照明器で照
明された前記検査対象物を上方から撮影するカメラと、
該カメラで撮影された原画像を２値化する２値化部と、
該２値化部で２値化された２値化画像をラベリングする
ラベリング部と、該ラベリング部からのラベリング画像
の外周に接する外接矩形を形成する外接矩形形成部と、
該外接矩形形成部で形成された外接矩形内のラベリング
画像に基づいて検査用画像を生成する検査用画像生成部
と、該検査用画像生成部で生成された検査用画像に基づ
いて前記検査対象物の合否を判定する判定部、とを備
え、前記検査用画像生成部は、前記外接矩形形成部で形
成された外接矩形内のラベリング画像を反転する反転部
と、該反転部で反転された画像のうちの前記外接矩形と
前記外周とで形成される領域の部分を除去する除去部
と、該除去部により除去され画像を前記ラベリング画像
に加算することにより検査用画像を生成する加算部、と
を備えている。
【００２７】この第４の態様に係る外観検査装置におい
て、前記判定部は、前記加算部で生成された検査用画像
の面積、径及び面積比で表される円形度の少なくとも１
つに基づいて合否を判定するように構成できる。
【００２８】また、この第４の態様に係る外観検査装置
において、前記検査用画像生成部は、前記検査用画像の
外周を形成する各ピクセルの周囲をサブピクセル化し、
以て検査用画像を生成するサブピクセル化部を更に備え
て構成できる。
【００２９】また、本発明の第５の態様に係る外観検査
装置は、上記と同様の目的で、検査対象物を照明する照
明器と、該照明器で照明された前記検査対象物を上方か
ら撮影するカメラと、該カメラで撮影された原画像を２
値化する２値化部と、該２値化部で２値化された２値化
画像をラベリングするラベリング部と、該ラベリング部
からのラベリング画像に対応する前記原画像の濃淡値の
総和を算出する濃淡値総和算出部と、該濃淡値総和算出
部で算出された濃淡値の総和に基づいて前記検査対象物
の合否を判定する判定部とを備えている。
【００３０】この第５の態様に係る外観検査装置は、前
記ラベリング画像の外周を形成する各ピクセルの周囲を
サブピクセル化するサブピクセル部を更に備え、前記濃
淡値総和算出部は、前記サブピクセル部でサブピクセル
化された画像に対応する前記原画像の濃淡値の総和を算
出するように構成できる。
【００３１】また、この第５の態様に係る外観検査装置
は、前記ラベリング画像の面積を算出する面積算出部
と、該面積算出部で算出された面積で前記濃淡値総和算
出部で算出された原画像の濃淡値の総和を除算すること
により前記原画像の平均濃淡値を算出する平均濃淡値算
出部を更に備え、前記判定部は、前記平均濃淡値算出部
で算出された平均濃淡値に基づいて前記検査対象物の合
否を判定するように構成できる。
【００３２】また、この第５の態様に係る外観検査装置
は、全てのラベリング画像に対応する原画像について算
出された前記平均濃淡値を平均して総平均濃淡値を算出
する総平均濃淡値算出部を更に備え、前記判定部は、前
記総平均濃淡値算出部で算出された総平均濃淡値に基づ
いて前記検査対象物の合否を判定するように構成でき
る。
【００３３】更に、この第５の態様に係る外観検査装置
において、前記判定部は、前記平均濃淡値算出部で算出
された平均濃淡値と前記総平均濃淡値算出部で算出され
た総平均濃淡値との差又は前記総平均濃淡値算出部で算
出された総平均濃淡値に対する前記平均濃淡値算出部で
算出された平均濃淡値の割合に基づいて前記検査対象物
の合否を判定するように構成できる。
【００３４】更に、本発明の第６の態様に係る外観検査
装置は、上記と同様の目的で、検査対象物を照明する照
明器と、該照明器で照明された前記検査対象物を上方か
ら撮影するカメラと、該カメラで撮影された原画像を２
値化する２値化部と、該２値化部で２値化された２値化
画像をラベリングするラベリング部と、該ラベリング部
からのラベリング画像の外周を形成する複数のピクセル
中の２つのピクセルの組合せの全てについて、２つのピ
クセル間の距離を算出する距離算出部と、該距離算出部
で算出された複数の距離の中の最大の距離を求める最大
距離算出部と、該最大距離算出部で求められた最大の距
離に基づいて合否を判定する判定部、とを備えている。
【００３５】この第６の態様に係る外観検査装置におい
て、前記最大距離算出部は、前記最大の距離を形成する
１組のピクセルの各々の周囲をサブピクセル化してサブ
ピクセル画像を生成するサブピクセル化部と、前記サブ
ピクセル化部で生成された一方のピクセルのサブピクセ
ル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複数
のサブピクセルの中の１つと、他方のサブピクセル画像
の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複数のサブ
ピクセルの中の１つとの組み合わせの全てについて、２
つのサブピクセル間の距離を算出するサブピクセル距離
算出部と、該サブピクセル距離算出部で算出された複数
の距離の中の最大の距離を求めるサブピクセル最大距離
算出部とを備えて構成できる。
【００３６】また、この第６の態様に係る外観検査装置
において、前記最大距離算出部は、前記最大の距離から
所定範囲の距離を形成する複数組のピクセルの各々の周
囲をサブピクセル化してサブピクセル画像を生成するサ
ブピクセル化部と、前記サブピクセル化部で生成された
一方のピクセルのサブピクセル画像の中の前記ラベリン
グ画像の外周を形成する複数のサブピクセルの中の１つ
と、他方のサブピクセル画像の中の前記ラベリング画像
の外周を形成する複数のサブピクセルの中の１つとの組
み合わせの全てについて、２つのサブピクセル間の距離
を算出する処理を、前記複数組の各々について行うサブ
ピクセル距離算出部と、該サブピクセル距離算出部で算
出された複数の距離の中の最大の距離を求めるサブピク
セル最大距離算出部とを備えて構成できる。
【００３７】また、この第６の態様に係る外観検査装置
は、前記ラベリング画像の中心又は重心を算出する中心
算出部を更に備え、前記距離算出部は、前記中心算出部
で算出された中心又は重心から最も遠い距離にある前記
ラベリング画像の外周を形成するピクセルと、該ピクセ
ルを除く前記外周を形成する複数のピクセルとの距離を
算出するように構成できる。
【００３８】また、この第６の態様に係る外観検査装置
は、前記ラベリング画像をサブピクセル化するサブピク
セル化部を更に備え、前記距離算出部は、該サブピクセ
ル化部でサブピクセル化された画像の外周を形成する複
数のサブピクセル間の距離を算出するように構成でき
る。
【００３９】更に、上述した第１〜第６の態様に係る外
観検査装置においては、前記撮影により得られる原画像
は、ＢＧＡを撮影することにより得られる画像とするこ
とができる。
【００４０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照しながら詳細に説明する。
【００４１】図１は、本発明の各実施の形態で共通に使
用される外観検査装置の概略構成を示す図である。この
外観検査装置は、カメラ１０、Ａ／Ｄ変換器１１、画像
処理ユニット１２、リング照明器１３及びＢＧＡタイプ
のパッケージを有する集積回路（以下、単に「ＢＧＡ」
という）２０を載置するための台１５から構成されてい
る。
【００４２】カメラ１０は、検査対象物であるＢＧＡ２
０を撮影する。このカメラ１０は、ＢＧＡ２０の略真上
に位置するように配置される。このカメラ１０による撮
影によって得られたアナログ画像信号は、ピクセル（画
素）毎にＡ／Ｄ変換器１１に送られる。
【００４３】Ａ／Ｄ変換器１１は、カメラ１０からのア
ナログ画像信号をピクセル毎にデジタル画像信号に変換
する。各ピクセルは、例えば８ビットで構成されてお
り、２５６段階の濃淡値を表現できるようになってい
る。このＡ／Ｄ変換器１１からのデジタル画像信号は画
像処理ユニット１２に送られる。なお、この明細書で
は、このデジタル画像信号によって形成される画像を
「原画像」と呼ぶ。
【００４４】画像処理ユニット１２は、例えばマイクロ
コンピュータ、ワークステーションといったプロセッサ
を有するコンピュータより構成できる。この画像処理ユ
ニット１２は、入力されたデジタル画像信号を処理する
ことにより、ＢＧＡ２０の外観検査を行う。この画像処
理ユニット１２の詳細は後述する。
【００４５】リング照明器１３は、例えばリング状の蛍
光灯から構成されている。このリング照明器１３は、Ｂ
ＧＡ２０の略真上に位置するように配置され、台１５に
載置されたＢＧＡ２０に斜め上方から光を照射する。
【００４６】ＢＧＡ２０の裏面には、接続端子として機
能する複数のバンプ３０が形成されている。各バンプ３
０は、例えば半球状の半田ボールから構成されている。
【００４７】上記のように構成される外観検査装置で
は、リング照明器１３によって光が照射されＢＧＡ２０
の裏面がカメラ１０で撮影される。これにより、カメラ
１０からバンプ３０が複数並んだ画像が得られる。この
場合、得られた各バンプ３０の画像はドーナツ形状を有
する。このようなドーナツ形状の画像が得られる原理
は、例えば特開平８−２０３９７２号公報に説明されて
いるので必要に応じて参照されたい。
【００４８】このカメラ１０から得られたアナログ画像
信号は、Ａ／Ｄ変換器１１でデジタル画像信号に変換さ
れて画像処理ユニット１２に供給される。画像処理ユニ
ット１２は、ドーナツ形状を有するバンプが複数並んだ
画像を処理することにより、バンプ３０の外観を検査
し、その合否を判定する。
【００４９】以下、本発明の実施の形態を、画像処理ユ
ニット１２の構成及び動作を中心に説明する。
【００５０】（実施の形態１）図２は、本発明の実施の
形態１に係る外観検査装置に適用される画像処理ユニッ
ト１２の構成を示すブロック図である。
【００５１】画像処理ユニット１２は、メモリ１２０、
２値化部１２１、ラベリング部１２２、外接矩形形成部
１２３、検査用画像生成部１２４及び判定部１２５から
構成されている。
【００５２】メモリ１２０は、Ａ／Ｄ変換器１１からの
デジタル画像信号をデジタル画像データとして格納す
る。このメモリ１２０に格納されたデジタル画像データ
は原画像を構成する。このメモリ１２０に格納されたデ
ジタル画像データは２値化部１２１に送られる。なお、
このメモリ１２０は、デジタル画像データを格納する他
に、２値化部１２１、ラベリング部１２２、外接矩形形
成部１２３、検査用画像生成部１２４及び判定部１２５
のテンポラリバッファとしても使用される。
【００５３】２値化部１２１は、メモリ１２０に格納さ
れているデジタル画像データを２値化する。２値化は、
デジタル画像データを構成する各ピクセルの濃淡値が所
定の閾値以上であるかどうかを調べ、閾値以上であれば
「１」に、閾値より小さければ「０」にそれぞれ変換す
ることにより行われる。この２値化部１２１で２値化さ
れた２値化画像データは、ラベリング部１２２に送られ
る。
【００５４】ラベリング部１２２は、２値化部１２１か
ら送られてきた２値化画像データ中の「１」の値を有す
るピクセルが連続している領域を抽出する。この処理を
「ラベリング」と言い、ラベリングされた各画像をラベ
リング画像と呼ぶ。ラベリング部１２２は、ラベリング
により得られたラベリング画像を外接矩形形成部１２３
に送る。
【００５５】外接矩形形成部１２３は、ラベリング部１
２２から送られてきたのラベリング画像の外周に接する
矩形（以下、「外接矩形」という）を形成する。この形
成された外接矩形の内部が、この外観検査装置における
処理単位になる。この外接矩形形成部１２３で形成され
た外接矩形を規定する外接矩形データは検査用画像生成
部１２４に送られる。
【００５６】検査用画像生成部１２４は、外接矩形形成
部１２３から送られてきた外接矩形データによって規定
される外接矩形内のラベリング画像を反転し、この反転
により得られた画像のうちの外接矩形とラベリング画像
の外周とで形成される領域の部分を除去し、この除去に
より得られた画像をラベリング画像に加算することによ
り検査用画像を生成する。
【００５７】この検査用画像生成部１２４は、より具体
的には、反転部１３０、除去部１３１及び加算部１３２
から構成されている。
【００５８】反転部１３０は、外接矩形内のラベリング
画像を反転する。即ち、ラベリング画像を構成するピク
セルが「０」であれば「１」に、「１」であれば「０」
にそれぞれ変換する。この反転部１３０でラベリング画
像を反転することにより得られた反転画像は、除去部１
３１に送られる。
【００５９】除去部１３１は、反転部１３０から送られ
てきた反転画像の外接矩形に接している部分を除去す
る。具体的には、外接矩形の各角とラベリング画像の外
周とで形成される領域の各ピクセルが「０」にセットさ
れる。この除去部１３１で除去処理が済んだ画像は、加
算部１３２に送られる。
【００６０】加算部１３２は、ラベリング部１２２でラ
ベリングされた外接矩形内のラベリング画像と、除去部
１３１で除去処理が行われた画像とを加算する。この加
算により、ラベリング画像の中空部が「１」で埋め込ま
れた検査用画像が生成される。この加算部１３２で生成
された検査用画像は判定部１２５に送られる。
【００６１】判定部１２５は、検査用画像生成部１２４
の加算部１３２から送られてくる検査用画像を検査し、
ＢＧＡ２０の合否を判定する。この判定部１２５による
検査は、検査用画像の面積を計算し、計算結果が所定範
囲にあるかどうかを調べることにより行われる。面積の
計算は、ラベリング画像中の「１」の値を有するピクセ
ルの数を計数することにより行われる。この判定部１２
５での判定結果は、例えば外部のディスプレイ装置（図
示しない）に送られる。
【００６２】なお、判定部１２５による合否の判定は、
検査用画像の径が所定範囲内にあるかどうか、又は検査
用画像の円形度が所定範囲内にあるかどうかを調べるこ
とによって行うこともできる。或いはまた、この合否の
判定は、検査用画像の面積、径及び円形度の少なくとも
１つが所定範囲内にあるかどうかを調べることにより行
うこともできる。
【００６３】なお、本明細書において「円形度」とは、
検査用画像の形状の中の２値化のためのスレッショルド
値以上を有するドット数から得られる面積と「（検査用
画像の形状の最大径／２）2×円周率」により算出され
る面積との比を用いて円形に近い度合いを表したものを
言う。円形度は、一般的には、検査用画像の形状の外周
部を形成するドット数から得られる長さと「検査用画像
の形状の最大径×円周率」により算出される長さとの比
で表されるが、検査用画像の形状がゆがむと円形の度合
いが正しく表せないという欠点を有する。これに対し、
本明細書における円形度は、検査用画像の形状のゆがみ
があっても円形の度合いを正しく表すことができる。更
に、潰れが生じたバンプ３０の画像は、高輝度のドット
が少なくなり円形度が低下するので、潰れが生じたバン
プ３０を検出するためにも有効である。
【００６４】また、検査用画像生成部１２４は、必ずし
も、反転部１３０、除去部１３１及び加算部１３２から
構成されている必要はない。この検査用画像生成部１２
４はは、ラベリング画像の中空部を「１」で埋め込むこ
とができる種々の構成を採ることができる。例えば、単
純に、ラベリング画像の外周内の全てのピクセルを
「１」に変換するように構成することができる。
【００６５】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２が適用された本発明の実施の形態１に係る外観
検査装置の動作を、図３に示したフローチャート及び図
４に示した説明図を参照しながら説明する。
【００６６】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を台１
５に載置し、リング照明器１３を点灯する。これによ
り、台１５に載置されたＢＧＡ２０に斜め上方から光が
照射される。この状態で、カメラ１０を作動させ、ＢＧ
Ａ２０の全体を撮影する。この撮影により得られたアナ
ログ画像信号は、上述したように、Ａ／Ｄ変換器１１で
デジタル画像信号に変換され、デジタル画像データとし
て画像処理ユニット１２内のメモリ１２０に格納され
る。この状態で、画像処理ユニット１２は動作を開始す
る。
【００６７】先ず、２値化部１２１は、メモリ１２０か
らデジタル画像データを読み出し（ステップＳ１０）、
２値化する（ステップＳ１１）。この２値化の結果、ド
ーナツ形状を有する複数のバンプ３０が並んだ２値化画
像データが得られる。この２値化画像データはラベリン
グ部１２２に送られる。
【００６８】次いで、ラベリング部１２２は、２値化画
像データをラベリングする（ステップＳ１２）。これに
より、ラベリングされた複数のバンプ３０の画像が得ら
れる。各バンプ３０のラベリング画像は、バンプ３０が
著しく変形していない限り、図４（Ａ）に示すようなド
ーナツ形状を有している。なお、図４（Ａ）において、
斜線部は「１」の値を有するピクセル、それ以外の部分
は「０」の値を有するピクセルであり、以下においても
同じである。
【００６９】このラベリングの処理か終了すると、以下
では、複数のバンプ３０のラベリング画像が１つずつ処
理される。即ち、先ず、外接矩形形成部１２３は、図４
（Ｂ）に示すように、ラベリング部１２２からの複数の
ラベリング画像の中から１つを選択し、そのラベリング
画像の外接矩形４０を形成する（ステップＳ１３）。こ
の外接矩形４０を規定する外接矩形データは検査用画像
生成部１２４内の反転部１３０に送られる。
【００７０】次いで、反転部は１３０、外接矩形形成部
１２３からの外接矩形データによって規定される外接矩
形内のラベリング画像を反転する（ステップＳ１４）。
これにより、図４（Ｃ）に示すような反転画像が得られ
る。
【００７１】次いで、除去部１３１は、反転部１３０か
ら送られてくる反転画像の外接矩形４０に接している部
分４１を除去する（ステップＳ１５）。これにより、図
４（Ｄ）に示すような、ドーナツ形状の中空部の画像が
得られる。
【００７２】次いで、加算部１３２は、図４（Ｂ）に示
す、ラベリング部１２２で得られたラベリング画像と、
図４（Ｄ）に示す、除去部１３１で得られた画像とを加
算する（ステップＳ１６）。これにより、図４（Ｅ）に
示すような、ラベリング画像の外周の内部の全てが
「１」にセットされた検査用画像が得られる。
【００７３】次いで、検査対象物であるバンプ３０の合
否の判定が行われる（ステップＳ１７）。このステップ
Ｓ１７では、検査用画像の面積が所定範囲にあるかどう
かを調べられ、合否が判定される。この判定部１２５に
おける判定の結果は、例えば外部のディスプレイ装置
（図示しない）に送られて表示される。
【００７４】次いで、全てのバンプ３０の検査が完了し
たかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了してい
ないことが判断されると、ステップＳ１３に戻って、上
述したと同様の処理が行われる。そして、ステップＳ１
８で全てのバンプ３０の検査が完了したことが判断され
ると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了する。
【００７５】以上のように構成される本発明の実施の形
態１に係る外観検査装置と従来の外観検査装置との相違
を比較して説明する。
【００７６】外観検査装置において得られるラベリング
画像は、バンプ３０の外観の相違によって異なる。今、
図５（Ａ）に示すラベリング画像を正常、図５（Ｂ）及
び図５（Ｃ）に示すラベリング画像を異常とする。この
場合、ラベリング画像の面積の大きさで検査の合否を決
定する従来の外観検査装置では、図５（Ａ）、図５
（Ｂ）及び図５（Ｃ）に示すラベリング画像の形状は異
なるにも拘わらず、何れのラベリング画像も同一面積に
なる。その結果、異常なバンプも正常と判断されるので
バンプの合否の判定を正確に行うことができない。
【００７７】これに対し、この実施の形態１に係る外観
検査装置における検査用画像は、バンプ３０のラベリン
グ画像の中空部を埋めた形状として得られるので、面積
の大きさで検査の合否を決定する場合であっても正常と
異常とを区別することができ、正確な合否判定を行うこ
とができる。従って、ＢＧＡ２０の外観検査の精度が向
上する。
【００７８】（実施の形態２）本発明の実施の形態２に
係る外観検査装置は、実施の形態１に係る外観検査装置
において、検査用画像の外周をサブピクセル化したもの
である。なお、以下の各実施の形態では、実施の形態１
と同じ又は相当部分には実施の形態１と同じ符号を付
し、相違する部分を中心に説明する。
【００７９】この実施の形態２に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ａの構成を図６のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態１のそれに、サブ
ピクセル化部１２６が追加されて構成されている。ま
た、ラベリング部１２２ａ及び判定部１２５ａの機能が
実施の形態１のラベリング部１２２及び判定部１２５と
それぞれ異なる。
【００８０】ラベリング部１２２ａは、２値化部１２１
からの２値化画像データをラベリングしてラベリング画
像を生成すると共に、ラベリング画像の外周を形成する
ピクセルの座標をメモリ１２０に順次格納する。なお、
ラベリング画像の外周を形成するピクセルは、検査用画
像の外周を形成するピクセルに等しいので、これらを
「外周ピクセル」と総称する。
【００８１】サブピクセル化部１２６は、ラベリング部
１２２ａでメモリ１２０に格納された外周ピクセルの座
標に基づいてサブピクセルを生成する。サブピクセル化
は、例えば、１つのピクセルの縦及び横を各々１０個に
分割して１００個のサブピクセルを生成することにより
行うことができる。
【００８２】サブピクセル化の対象となるピクセルの範
囲は、外周ピクセル及びこれを囲む所定範囲のピクセ
ル、例えば外周ピクセル及びこれを囲む８個のピクセル
とすることができる。また、サブピクセル化には、例え
ば三次元的な曲線補間等といった周知の技術を用いるこ
とができる。
【００８３】判定部１２５ａは、加算部１３２から送ら
れてくる検査用画像を検査し、ＢＧＡ２０の合否を判定
する。検査は、検査用画像の面積を計算し、計算結果が
所定範囲にあるかどうかを調べることにより行われる。
面積の計算は、検査用画像中の「１」の値を有するピク
セル及びサブピクセルの総数を計数することにより行わ
れる。この判定部１２５ａでの判定結果は、例えば外部
のディスプレイ装置（図示しない）に送られる。
【００８４】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ａが適用された本発明の実施の形態２に係る外
観検査装置の動作を、図７に示したフローチャートを参
照しながら説明する。
【００８５】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、このメモリ１２０からデジタル画像データを読み出
して２値化する（ステップＳ１０及びＳ１１）するまで
の動作は、実施の形態１のそれと同じである。２値化に
より得られた２値化画像データはラベリング部１２２に
送られる。
【００８６】次いで、ラベリング部１２２ａは、２値化
画像データをラベリングする（ステップＳ１２ａ）。こ
の際、ラベリング部１２２ａは、外周ピクセルの座標を
図示しないメモリに順次格納する。
【００８７】次いで、実施の形態１と同様にして、外接
矩形形成（ステップＳ１３）、反転（ステップＳ１
４）、除去（ステップＳ１５）及び加算（ステップＳ１
６）が順次行われる。これにより、図４（Ｅ）に示すよ
うな、検査用画像が得られる。
【００８８】次いで、サブピクセル化が行われる（ステ
ップＳ２０）。即ち、サブピクセル化部１２６は、上記
ラベリング部１２２ａでメモリ１２０に格納された外周
ピクセルの座標に基づいて、外周ピクセル及びこれを囲
む所定範囲のピクセルのサブピクセルを生成する。
【００８９】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ａ）。即ち、このステップＳ１７ａ
では、検査用画像の面積を計算し、計算結果が所定範囲
にあるかどうかを調べることにより合否が判定される。
面積の計算は、検査用画像中の「１」の値を有するピク
セル及び「１」の値を有するサブピクセルの総数数を計
数することにより行われる。この判定部１２５における
判定の結果は、例えば外部のディスプレイ装置（図示し
ない）に送られて表示される。
【００９０】次いで、全てのバンプ３０の検査が完了し
たかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了してい
ないことが判断されると、ステップＳ１３に戻って、上
述したと同様の処理が行われる。そして、ステップＳ１
８で全てのバンプ３０の検査が完了したことが判断され
ると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了する。
【００９１】以上説明したように、この実施の形態２に
係る外観検査装置によれば、検査用画像の外周をサブピ
クセル化し、サブピクセル化された外周を有する検査用
画像の面積を計算する。従って、上記実施の形態１に比
べて面積計算の精度が向上するので、ＢＧＡ２０の検査
精度を更に向上させることができる。
【００９２】また、サブピクセル化する範囲は、検査用
画像の全体ではなく、その外周だけであるので、サブピ
クセル化に要する時間を短くすることができる。なお、
サブピクセル化する範囲は、検査用画像の全体とするこ
ともできる。この場合、サブピクセル化の処理が簡単に
なるという利点がある。
【００９３】（実施の形態３）本発明の実施の形態３に
係る外観検査装置は、ＢＧＡの合否の判定を、原画像の
濃淡値の総和に基づいて行うようにしたものである。
【００９４】この実施の形態３に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｂの構成を図８のブロック図に示
す。この外観検査装置では、実施の形態１の検査用画像
生成部１２４の代わりに、濃淡値総和算出部１４０が設
けられている。また、判定部１２５ｂの機能が実施の形
態１の判定部１２５と異なる。
【００９５】濃淡値総和算出部１４０は、外接矩形生成
部１２３からの外接矩形データによって規定される外接
矩形に対応するデジタル画像データをメモリ１２０から
取り出す。そして、このデジタル画像データを構成する
全てのピクセルが有する濃淡値を加算し、以て濃淡値総
和を計算する。この濃淡値総和算出部１４０で生成され
た濃淡値総和は判定部１２５ｂに送られる。
【００９６】判定部１２５ｂは、濃淡値総和算出部１４
０から送られてくる濃淡値総和に基づいて検査を行い、
ＢＧＡ２０の合否を判定する。検査は、濃淡値総和が予
め定められた範囲内にあるかどうかを調べることにより
行われる。この判定部１２５ｂでの判定結果は、例えば
外部のディスプレイ装置（図示しない）に送られる。
【００９７】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｂが適用された本発明の実施の形態３に係る外
観検査装置の動作を、図９に示したフローチャートを参
照しながら説明する。
【００９８】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、このメモリ１２０からデジタル画像データを読み出
して２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する
（ステップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態
１のそれと同じである。
【００９９】次いで、濃淡値の総和が計算される（ステ
ップＳ１４０）。即ち、濃淡値総和算出部１４０は、外
接矩形形成部１２３からの外接矩形データによって規定
される外接矩形に対応するデジタル画像データをメモリ
１２０から取り出し、この取り出したデジタル画像デー
タを構成する全てのピクセルが有する濃淡値を加算す
る。これにより、１つのバンプ３０の濃淡値総和が算出
される。
【０１００】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｂ）。即ち、このステップＳ１７ｂ
では、上記ステップＳ１４０で得られた濃淡値の総和が
所定範囲内にあるかどうかを調べられる。そして、所定
範囲内であれば合格、そうでなければ不合格であると判
定される。この判定部１２５ｂにおける判定の結果は、
例えば外部のディスプレイ装置（図示しない）に送られ
て表示される。
【０１０１】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１０２】以上説明したように、この実施の形態３に
係る外観検査装置によれば、原画像の濃淡値に基づいて
ＢＧＡ２０の合否を判定するようにしたので、２値化に
伴う量子化誤差を排除することができ、ＢＧＡ２０の検
査精度を向上させることができる。
【０１０３】（実施の形態４）本発明の実施の形態４に
係る外観検査装置は、実施の形態３に係る外観検査装置
において、検査用画像の外周をサブピクセル化した後に
濃淡値の総和を計算するようにしたものである。以下で
は、実施の形態３と同じ又は相当部分には実施の形態３
と同じ符号を付し、相違する部分を中心に説明する。
【０１０４】この実施の形態４に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｃの構成を図１０のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態３のそれに、サブ
ピクセル化部１２６が追加されて構成されている。ま
た、ラベリング部１２２ｃの機能は実施の形態１のそれ
と同じであり、及び濃淡値総和算出部１４０ｃの機能は
実施の形態３の濃淡値総和算出部１４０と異なる。
【０１０５】ラベリング部１２２ａは、２値化部１２１
から送られてくる２値化画像データをラベリングしてラ
ベリング画像を生成する際、外周ピクセルの座標をメモ
リ１２０に順次格納する。
【０１０６】サブピクセル化部１２６は、上記ラベリン
グ部１２２ａでメモリ１２０に格納された外周ピクセル
の座標に基づいてサブピクセルを生成する。サブピクセ
ル化の生成は、実施の形態２と同様にして行うことがで
きる。
【０１０７】濃淡値総和算出部１４０ａは、外接矩形生
成部１２３からの外接矩形データによって規定される外
接矩形に対応するデジタル画像データをメモリ１２０か
ら取り出し、このデジタル画像データを構成する全ての
ピクセルのうち、サブピクセル化部１２６でサブピクセ
ル化された部分は、全てのサブピクセルの濃淡値の総和
を計算し、それ以外の部分は全てのピクセルの総和を計
算し、これらを加算してて濃淡値の総和を計算する。こ
の濃淡値総和算出部１４０ａで計算された濃淡値の総和
は判定部１２５ｂに送られる。
【０１０８】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｃが適用された本発明の実施の形態４に係る外
観検査装置の動作を、図１１に示したフローチャートを
参照しながら説明する。
【０１０９】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１１０】次いで、サブピクセル化が行われる（ステ
ップＳ１２６）。即ち、サブピクセル化部１２６は、上
記ラベリング部１２２ａでメモリ１２０に格納された外
周ピクセルの座標に基づいて、この外周ピクセル及びこ
れを囲む所定範囲のピクセルのサブピクセルを生成す
る。
【０１１１】次いで、濃淡値の総和が計算される（ステ
ップＳ１４０ｃ）。即ち、濃淡値総和算出部１４０ｃ
は、上述したようにして、サブピクセル化された部分を
含む原画像の濃淡値を計算する。これにより、１つのバ
ンプ３０の濃淡値の総和が算出される。
【０１１２】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｂ）。即ち、このステップＳ１７ｂ
では、上記ステップＳ１４０ｃで得られた濃淡値の総和
が所定範囲内にあるかどうかを調べられる。そして、所
定範囲内であれば合格、そうでなければ不合格であると
判定される。この判定の結果は、例えば外部のディスプ
レイ装置（図示しない）に送られて表示される。
【０１１３】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１１４】以上説明したように、この実施の形態３に
係る外観検査装置によれば、原画像の外周をサブピクセ
ル化し、このサブピクセル化された原画像の濃淡値に基
づいてＢＧＡの合否を判定するようにしたので、ＢＧＡ
２０の検査精度を、上記実施の形態４に係る外観検査装
置より向上させることができる。
【０１１５】（実施の形態５）本発明の実施の形態５に
係る外観検査装置は、ＢＧＡの合否の判定を、原画像の
濃淡値の平均値に基づいて行うようにしたものである。
【０１１６】この実施の形態５に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｄの構成を図１２のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態３のそれに、面積
算出部１４１及び平均濃淡値算出部１４２が追加されて
構成されている。
【０１１７】面積算出部１４１は、ラベリング画像の面
積を算出する。面積の計算は、ラベリング画像中の
「１」の値を有するピクセルの数を計数することにより
行われる。この面積算出部１４１で算出された面積は平
均濃淡値算出部１４２に送られる。
【０１１８】平均濃淡値算出部１４２は、濃淡値総和算
出部１４０で算出された濃淡値の総和を、面積算出部１
４１で算出された面積で除すことにより、平均濃淡値を
算出する。この平均濃淡値算出部１４２で算出された平
均濃淡値は判定部１２５ｂに送られる。
【０１１９】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｄが適用された本発明の実施の形態５に係る外
観検査装置の動作を、図１３に示したフローチャートを
参照しながら説明する。
【０１２０】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１２１】次いで、濃淡値の総和が計算される（ステ
ップＳ１４０）。即ち、濃淡値総和算出部１４０は、外
接矩形形成部１２３からの外接矩形データによって規定
される外接矩形に対応するデジタル画像データをメモリ
１２０から取り出し、この取り出したデジタル画像デー
タを構成する全てのピクセルの濃淡値を加算する。これ
により、１つのバンプ３０の濃淡値の総和が算出され
る。
【０１２２】次いで、面積計算が行われる（ステップＳ
１４１）。即ち、面積算出部１４１によって、上述した
方法でラベリング画像の面積を算出する。次いで、平均
濃淡値が計算される（ステップＳ１４２）。即ち、ステ
ップＳ１４０で算出された濃淡値総和を、ステップＳ１
４１で算出された面積で除すことにより、平均濃淡値が
算出される。
【０１２３】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｂ）。即ち、上記ステップＳ１４２
で得られた平均濃淡値が所定範囲内にあるかどうかを調
べられる。そして、所定範囲内であれば合格、そうでな
ければ不合格であると判定される。この判定部１２５ｂ
における判定の結果は、例えば外部のディスプレイ装置
（図示しない）に送られて表示される。
【０１２４】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１２５】以上説明したように、この実施の形態５に
係る外観検査装置によれば、原画像の濃淡値の平均値に
基づいてＢＧＡの合否を判定するようにしたので、２値
化に伴う量子化誤差を排除することができ、ＢＧＡ２０
の検査精度を向上させることができる。
【０１２６】なお、この実施の形態５においても、実施
の形態４と同様に、ラベリング画像の外周をサブピクセ
ル化して濃淡値総和の計算及び面積計算を行うように構
成できる。この構成によれば、ＢＧＡ２０の検査精度を
更に向上させることができる。
【０１２７】（実施の形態６）本発明の実施の形態６に
係る外観検査装置は、ＢＧＡの合否の判定を、原画像の
平均濃淡値の総和（以下、「総平均濃淡値」という）に
基づいて行うようにしたものである。
【０１２８】この実施の形態６に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｅの構成を図１４のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態５のそれに、総平
均濃淡値算出部１４３が追加されて構成されている。
【０１２９】総平均濃淡値算出部１４３は、ＢＧＡ２０
の全バンプの平均濃淡値を算出する。これは、平均濃淡
値算出部１４２で算出された各バンプの平均濃淡値を加
算し、ＢＧＡ２０のバンプ３０の数で除すことにより求
められる。
【０１３０】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｅが適用された本発明の実施の形態６に係る外
観検査装置の動作を、図１５に示したフローチャートを
参照しながら説明する。
【０１３１】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１３２】次いで、実施の形態５と同様にして、濃淡
値の総和の計算（ステップＳ１４０ｃ）、面積計算（ス
テップＳ１４１）及び平均濃淡値計算（ステップＳ１４
２）が順次行われる。次いで、総平均濃淡値計算が行わ
れる（ステップＳ１４３）。この総平均濃淡値計算は、
前回の計算によりメモリ１２０に格納されている総平均
濃淡値にステップＳ１４２で計算された平均濃淡値を加
算して１／２にすることにより行われる。
【０１３３】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、次いで、バンプ３０の合否の判定が
行われる（ステップＳ１７ｂ）。
【０１３４】即ち、全てのバンプ３０についての処理が
完了した時点では、メモリ１２０には全バンプに対する
総平均濃淡値が格納されているので、判定部１２５ｂ
は、メモリ１２０内の総平均濃淡値が所定範囲内にある
かどうかを調べる。そして、所定範囲内であれば合格、
そうでなければ不合格であると判定するる。この判定部
１２５ｂにおける判定の結果は、例えば外部のディスプ
レイ装置（図示しない）に送られて表示される。以上に
より、ＢＧＡ２０の検査を終了する。
【０１３５】以上説明したように、この実施の形態６に
係る外観検査装置によれば、原画像の濃淡値の平均値に
基づいてＢＧＡの合否を判定するようにしたので、２値
化に伴う量子化誤差を排除することができ、ＢＧＡ２０
の検査精度を向上させることができる。
【０１３６】なお、上記判定部１２５ｂでの判定は、平
均濃淡値算出部１４２で算出された平均濃淡値と総平均
濃淡値算出部１４３で算出された総平均濃淡値との差又
は総平均濃淡値算出部１４３で算出された総平均濃淡値
に対する平均濃淡値算出部１４２で算出された平均濃淡
値の割合に基づいてＢＧＡ２０の合否を判定するように
構成できる。
【０１３７】また、上記総平均濃淡値は、全バンプ３０
の平均濃淡値を算出し、この算出された平均濃淡値を更
に平均することにより算出するように構成したが、全バ
ンプ３０の総濃淡値を算出し、この算出された総濃淡値
を全バンプ３０の面積で除すことにより算出してもよ
い。この構成によれば、各バンプ３０についての平均濃
淡値の計算が不要になるので、処理の高速化が図れる。
【０１３８】また、この実施の形態６においても、実施
の形態４と同様に、ラベリング画像の外周をサブピクセ
ル化して濃淡値総和の計算及び面積計算を行うように構
成できる。この構成によれば、ＢＧＡ２０の検査精度を
更に向上させることができる。
【０１３９】（実施の形態７）本発明の実施の形態７に
係る外観検査装置は、ＢＧＡの合否の判定を、外周ピク
セル間の距離に基づいて行うようにしたものである。
【０１４０】この実施の形態７に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｆの構成を図１６のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態１の検査用画像生
成部１２４の代わりに、距離算出部１５０及び最大距離
算出部１５１が設けられて構成されている。また、判定
部１２５ｃの機能が、実施の形態１のそれと異なる。
【０１４１】距離算出部１５０は、複数の外周ピクセル
中の２つの外周ピクセルの組合せの全てについて、２つ
の外周ピクセル間の距離を算出する。この距離算出部１
５０で算出された複数の距離は、最大距離算出部１５１
に送られる。
【０１４２】最大距離算出部１５１は、距離算出部１５
０で算出された距離の中から最大のものを求める。そし
て、求められた最大の距離を判定部１２５ｃに送る。
【０１４３】判定部１２５ｃは、最大距離算出部１５１
から送られてくる最大距離が所定範囲内にあるかどうか
に基づいてＢＧＡ２０の合否を判定する。この判定部１
２５ｃでの判定結果は、例えば外部のディスプレイ装置
（図示しない）に送られる。
【０１４４】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｆが適用された本発明の実施の形態５に係る外
観検査装置の動作を、図１３に示したフローチャートを
参照しながら説明する。
【０１４５】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１４６】次いで、距離の算出が行われる（ステップ
Ｓ１５０）。即ち、距離算出部１５０は、上述したよう
に、複数の外周ピクセル中の２つのピクセルの組合せの
全てについて、２つの外周ピクセル間の距離を算出す
る。
【０１４７】次いで、最大距離の算出が行われる（ステ
ップＳ１５１）。即ち、最大距離算出部１５１は、ステ
ップＳ１５１で算出された複数の距離の中から最大のも
のを求める。
【０１４８】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｃ）。即ち、上記ステップＳ１５１
で得られた最大距離が所定範囲内にあるかどうかが調べ
られる。そして、所定範囲内であれば合格、そうでなけ
れば不合格であると判定される。この判定の結果は、例
えば外部のディスプレイ装置（図示しない）に送られて
表示される。
【０１４９】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１５０】以上説明したように、この実施の形態７に
係る外観検査装置によれば、外周ピクセル間の距離に基
づいてＢＧＡの合否を判定するようにしたので、バンプ
の画像の面積からは判断できないバンプ３０の外形の異
常を排除することができ、ＢＧＡ２０の検査精度を向上
させることができる。
【０１５１】（実施の形態８）本発明の実施の形態８に
係る外観検査装置は、実施の形態７に係る外観検査装置
において、ラベリング画像の外周をサブピクセル化した
ものである。
【０１５２】この実施の形態８に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｇの構成を図１８のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態７のそれに、サブ
ピクセル化部１２６、サブピクセル距離算出部１５２及
びサブピクセル最大距離算出部１５３が追加されて構成
されている。また、ラベリング部１２２ａは実施の形態
２のそれと同じである。
【０１５３】サブピクセル化部１２６は、上記最大距離
を形成する１組の外周ピクセル、即ち、第１ピクセルと
第２ピクセルの各々の周囲をサブピクセル化し、第１サ
ブピクセル画像及び第２サブピクセル画像をそれぞれ生
成する。サブピクセル化は、実施の形態２のそれと同様
にして行うことができる。
【０１５４】サブピクセル距離算出部１５２は、第１サ
ブピクセル画像の外周を形成する複数のサブピクセル
と、第２サブピクセル画像の外周を形成する複数のサブ
ピクセルとの組合せの全てについて、２つのサブピクセ
ル間の距離を算出する。このサブピクセル距離算出部１
５２で算出された複数の距離は、サブピクセル最大距離
算出部１５３に送られる。
【０１５５】サブピクセル最大距離算出部１５３は、サ
ブピクセル距離算出部１５２で算出された距離の中から
最大のものを求めて判定部１２５ｂに送る。
【０１５６】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｇが適用された本発明の実施の形態８に係る外
観検査装置の動作を、図１９に示したフローチャート及
び図２０に示した説明図を参照しながら説明する。
【０１５７】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１５８】次いで、実施の形態７と同様にして、距離
の算出（ステップＳ１５０）及び最大距離の算出（ステ
ップＳ１５１）が行われる。これにより、図２０（Ａ）
に示すような、最大距離を構成する第１ピクセル及び第
２ピクセルが求められる。
【０１５９】次いで、サブピクセル化が行われる（ステ
ップＳ１２６）。このサブピクセル化は、図２０（Ｂ）
に示すように、ステップＳ１５１で算出された最大距離
を構成する第１ピクセル及び第２ピクセルの周囲に対し
て行われる。
【０１６０】次いで、サブピクセル間の距離の算出が行
われる（ステップＳ１５２）。即ち、サブピクセル距離
算出部１５２は、第１サブピクセル画像の外周を形成す
る複数のサブピクセルと、第２サブピクセル画像の外周
を形成する複数のサブピクセルとの組合せの全てについ
て、２つのサブピクセル間の距離を算出する。
【０１６１】次いで、サブピクセル間の最大距離の算出
が行われる（ステップＳ１５３）。即ち、サブピクセル
最大距離算出部１５３は、サブピクセル距離算出部１５
２で算出された距離の中から最大のものを求める。
【０１６２】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｂ）。即ち、上記ステップＳ１５３
で得られたサブピクセル間の最大距離が所定範囲内にあ
るかどうかが調べられる。そして、所定範囲内であれば
合格、そうでなければ不合格であると判定される。この
判定部１２５ｂにおける判定の結果は、例えば外部のデ
ィスプレイ装置（図示しない）に送られて表示される。
【０１６３】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１６４】以上説明したように、この実施の形態８に
係る外観検査装置によれば、ラベリング画像の外周を形
成するサブピクセル間の距離に基づいてＢＧＡの合否を
判定するようにしたので、距離の精度が上記実施の形態
７より向上する。その結果、バンプの外形の異常を高精
度で排除することができ、ＢＧＡ２０の検査精度を向上
させることができる。
【０１６５】また、最大距離を構成する２つのピクセル
の周囲だけサブピクセル化するようにしたので、サブピ
クセル化に要する時間を短くすることができる。なお、
サブピクセル化する範囲は、第１ピクセル及び第２ピク
セルの周だけに限らず、検査用画像の全体とすることも
できる。この場合、サブピクセル化の処理が簡単にな
る。
【０１６６】この実施の形態８に係る外観検査装置は、
以下のように変形できる。即ち、最大距離算出部１５１
は、最大距離のみならず、最大距離から所定範囲の距離
を形成する複数組のピクセル間の距離を算出する。そし
て、サブピクセル化部１２６は、距離を構成する２つの
ピクセルの周囲を、全ての組についてサブピクセル化す
る。
【０１６７】サブピクセル距離算出部１５２は、サブピ
クセル化部１２６で生成された一方のピクセルのサブピ
クセル画像の中の、ラベリング画像の外周を形成する複
数のサブピクセルの中の１つと、他方のサブピクセル画
像の中のラベリング画像の外周を形成する複数のサブピ
クセルの中の１つとの組み合わせの全てについて、２つ
のサブピクセル間の距離を算出する処理を、複数組の各
々について行う。
【０１６８】そして、サブピクセル最大距離算出部１５
３は、サブピクセル最大距離算出部１５３で算出された
複数の距離の中の最大の距離を求め、判定部１２５ｂに
送る。
【０１６９】この構成によれば、ピクセル間の距離は最
大であっても、実際の距離は最大でないという事態の発
生を回避できるので、ラベリング画像におけるバンプ３
０の真の最大距離を求めることができる。
【０１７０】（実施の形態９）本発明の実施の形態９に
係る外観検査装置は、ＢＧＡの合否の判定を、ラベリン
グ画像の中心又は重心から、その外周ピクセルまでの距
離に基づいて行うようにしたものである。
【０１７１】この実施の形態９に係る外観検査装置の画
像処理ユニット１２ｈの構成を図２１のブロック図に示
す。この外観検査装置は、実施の形態１の検査用画像生
成部１２４の代わりに、重心算出部１６０及び最大距離
算出部１６１が設けられて構成されている。ラベリング
部１２２ａは、実施の形態２のそれと同じである。判定
部１２５ｃは、実施の形態７のそれと同じである。
【０１７２】重心算出部１６０は、ラベリング画像の重
心を算出する。重心の算出には周知の種々の方法を用い
ることができる。
【０１７３】最大距離算出部１６１は、重心からの最も
遠い位置にある外周ピクセルの位置を求め、この求めら
れた位置か最も遠い位置にある外周ピクセルを算出す
る。そして、求められた最大の距離を判定部１２５ｃに
送る。
【０１７４】次に、上記ように構成される画像処理ユニ
ット１２ｈが適用された本発明の実施の形態５に係る外
観検査装置の動作を、図２２に示したフローチャートを
参照しながら説明する。
【０１７５】先ず、検査対象物であるＢＧＡ２０を撮影
し、得られたデジタル画像データをメモリ１２０に格納
し、メモリ１２０からデジタル画像データを読み出して
２値化し、ラベリングし、更に外接矩形を形成する（ス
テップＳ１０〜Ｓ１３）までの動作は、実施の形態１の
それと同じである。
【０１７６】次いで、重心の算出が行われる（ステップ
Ｓ１６０）。即ち、重心算出部１６０は、上述したよう
に、ラベリング画像の重心を算出する。
【０１７７】次いで、最大距離の算出が行われる（ステ
ップＳ１６１）。即ち、最大距離算出部１６１は、重心
からの最も遠い位置にある外周ピクセルの位置を求め、
この求められた位置か最も遠い位置にある外周を形成す
るピクセルを算出する。
【０１７８】次いで、バンプ３０の合否の判定が行われ
る（ステップＳ１７ｂ）。即ち、上記ステップＳ１５１
で得られた最大距離が所定範囲内にあるかどうかが調べ
られる。そして、所定範囲内であれば合格、そうでなけ
れば不合格であると判定される。この判定の結果は、例
えば外部のディスプレイ装置（図示しない）に送られて
表示される。
【０１７９】次いで、全てのバンプ３０について処理が
完了したかどうかが調べられ（ステップＳ１８）、完了
していないことが判断されると、ステップＳ１３に戻っ
て、上述したと同様の処理が行われる。そして、ステッ
プＳ１８で全てのバンプ３０について処理が完了したこ
とが判断されると、１つのＢＧＡ２０の検査が完了す
る。
【０１８０】以上説明したように、この実施の形態９に
係る外観検査装置によれば、実施の形態７のように、ラ
ベリング画像の外周を形成する複数のピクセル中の２つ
のピクセルの組合せの全てについて、２つのピクセル間
の距離を算出する必要がないので、高速な処理が可能に
なる。この場合、実施の形態７のように、真の最大距離
を求めることができないが、最大距離に近いピクセルの
組を求めることができるので実用に十分に耐え得る。
【０１８１】また、上述した重心算出部１６０は、ラベ
リング画像の中心を算出する中心算出部に変更すること
ができる。中心の算出には周知の種々の方法を用いるこ
とができる。この構成によっても、上記と略同様の効果
を奏する。
【０１８２】なお、上述した各実施の形態のうち、実施
の形態１及び２からなるグループの外観検査装置の機
能、実施の形態３〜６からなるグループの外観検査装置
の機能、及び実施の形態７〜９からなるグループの外観
検査装置の機能を任意に組み合わせて新たな外観検査装
置を構成できる。この構成によれば、上記各グループの
外観検査装置の特徴を含む高い検査精度を有する外観検
査装置を構成できる。
【０１８３】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
安価であるにも拘わらず高精度で外観検査を行うことの
できる外観検査方法及び外観検査装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の各実施の形態に係る外観検査装置の概
略構成を示す図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置の画
像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図３】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置の動
作を示すフローチャートである。
【図４】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置の動
作を説明するための図である。
【図５】本発明の実施の形態１に係る外観検査装置によ
る処理結果を従来の外観検査装置と比較して説明するた
めの図である。
【図６】本発明の実施の形態２に係る外観検査装置の画
像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る外観検査装置の動
作を示すフローチャートである。
【図８】本発明の実施の形態３に係る外観検査装置の画
像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図９】本発明の実施の形態３に係る外観検査装置の動
作を示すフローチャートである。
【図１０】本発明の実施の形態４に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１１】本発明の実施の形態４に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【図１２】本発明の実施の形態５に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施の形態５に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【図１４】本発明の実施の形態６に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１５】本発明の実施の形態６に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【図１６】本発明の実施の形態７に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１７】本発明の実施の形態７に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【図１８】本発明の実施の形態８に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１９】本発明の実施の形態８に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【図２０】本発明の実施の形態８に係る外観検査装置の
動作を説明するための図である。
【図２１】本発明の実施の形態９に係る外観検査装置の
画像処理ユニットの構成を示すブロック図である。
【図２２】本発明の実施の形態９に係る外観検査装置の
動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
１０ カメラ １１ Ａ／Ｄ変換器 １２ 画像処理ユニット １３ リング照明器 ２０ ＢＧＡ ３０ バンプ １２０ メモリ １２１ ２値化部 １２２ ラベリング部 １２３ 外接矩形形成部 １２４ 検査用画像生成部 １２５ 判定部 １２５ サブピクセル化部 １３０ 反転部 １３１ 除去部 １３２ 加算部 １４０ 濃淡値総和算出部 １４１ 面積算出部 １４２ 平均濃淡値算出部 １４３ 総平均濃淡値算出部 １５０ 距離算出部 １５１ 最大距離算出部 １５２ サブピクセル距離算出部 １５３ サブピクセル最大距離算出部 １６０ 重心算出部 １６１ 最大距離算出部
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 23/12 ５０１ Ｇ０１Ｂ 11/24 Ｋ Ｆターム(参考） 2F065 AA22 AA23 AA54 AA58 BB05 CC00 CC26 DD03 FF42 GG17 HH02 JJ03 JJ26 QQ04 QQ21 QQ23 QQ27 QQ32 2G051 AA62 AB20 CA04 EA08 EA11 EC03 ED01 ED23 5B057 AA03 BA02 CA06 CA12 CA16 DA03 DB02 DB08 DC04 DC14 5L096 AA07 BA03 CA02 FA59 GA28 GA34

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 照明された検査対象物を上方から撮影
    し、 該撮影により得られた原画像を２値化し、 該２値化により得られた２値化画像をラベリングし、 該ラベリングにより得られたラベリング画像の外周に接
    する外接矩形を形成し、 該形成された外接矩形内のラベリング画像を反転し、 該反転により得られた画像のうちの前記外接矩形と前記
    外周とで形成される領域の部分を除去し、 該除去により得られた画像を前記ラベリング画像に加算
    することにより検査用画像を生成し、 該生成された検査用画像に基づいて前記検査対象物の合
    否を判定する、外観検査方法。
  2. 【請求項２】 前記判定するステップは、 前記加算によって生成された検査用画像の面積、径及び
    面積比で表される円形度の少なくとも１つに基づいて前
    記検査対象物の合否を判定する、請求項1に記載の外観
    検査方法。
  3. 【請求項３】 前記検査用画像を生成するステップは、 前記検査用画像の外周を形成する複数のピクセルの各々
    の周囲をサブピクセル化し、以て検査用画像を生成する
    ステップ、を更に備えた、請求項１又は２に記載の外観
    検査方法。
  4. 【請求項４】 照明された検査対象物を上方から撮影
    し、 該撮影により得られた原画像を２値化し、 該２値化により得られた２値化画像をラベリングし、 該ラベリングにより得られたラベリング画像に対応する
    前記原画像の濃淡値の総和を算出し、 該算出された濃淡値の総和に基づいて前記検査対象物の
    合否を判定する、 外観検査方法。
  5. 【請求項５】 前記ラベリング画像の外周を形成する各
    ピクセルの周囲をサブピクセル化するステップ、を更に
    備え、 前記原画像の濃淡値の総和を算出するステップは、 該サブピクセル化された画像に対応する前記原画像の濃
    淡値の総和を算出する、請求項４に記載の外観検査方
    法。
  6. 【請求項６】 前記ラベリング画像の面積を算出し、 該算出された面積で前記原画像の濃淡値の総和を除算す
    ることにより前記原画像の平均濃淡値を算出するステッ
    プ、を更に備え、 前記判定するステップは、 前記算出された平均濃淡値に基づいて前記検査対象物の
    合否を判定する、請求項４又は５に記載の外観検査方
    法。
  7. 【請求項７】 全てのラベリング画像に対応する原画像
    について算出された前記平均濃淡値を平均して総平均濃
    淡値を算出するステップ、を更に備え、 前記判定するステップは、 前記算出された総平均濃淡値に基づいて前記検査対象物
    の合否を判定する、請求項６に記載の外観検査方法。
  8. 【請求項８】 前記判定するステップは、 前記算出された平均濃淡値と前記算出された総平均濃淡
    値との差又は前記算出された総平均濃淡値に対する前記
    算出された平均濃淡値の割合に基づいて前記検査対象物
    の合否を判定する、請求項７に記載の外観検査方法。
  9. 【請求項９】 照明された検査対象物を上方から撮影
    し、 該撮影により得られた原画像を２値化し、 該２値化により得られた２値化画像をラベリングし、 該ラベリングにより得られたラベリング画像の外周を形
    成する複数のピクセル中の２つのピクセルの組合せの全
    てについて、２つのピクセル間の距離を算出し、 該算出された複数の距離の中の最大の距離を求め、 該求められた最大の距離に基づいて合否を判定する、請
    求項８に記載の外観検査方法。
  10. 【請求項１０】 前記最大の距離を求めるステップは、 前記最大の距離を形成する１組のピクセルの各々の周囲
    をサブピクセル化してサブピクセル画像を生成し、 該生成された一方のピクセルのサブピクセル画像の中の
    前記ラベリング画像の外周を形成する複数のサブピクセ
    ルの中の１つと、他方のサブピクセル画像の中の前記ラ
    ベリング画像の外周を形成する複数のサブピクセルの中
    の１つとの組み合わせの全てについて、２つのサブピク
    セル間の距離を算出し、 該算出された複数の距離の中の最大の距離を求める、請
    求項９に記載の外観検査方法。
  11. 【請求項１１】 前記最大の距離を求めるステップは、 前記最大の距離から所定範囲の距離を形成する複数組の
    ピクセルの各々の周囲をサブピクセル化してサブピクセ
    ル画像を生成し、 該生成された一方のピクセルのサブピクセル画像の中の
    前記ラベリング画像の外周を形成する複数のサブピクセ
    ルの中の１つと、他方のサブピクセル画像の中の前記ラ
    ベリング画像の外周を形成する複数のサブピクセルの中
    の１つとの組み合わせの全てについて、２つのサブピク
    セル間の距離を算出する処理を、前記複数組の各々につ
    いて行い、 該算出された複数の距離の中の最大の距離を求める、請
    求項９に記載の外観検査方法。
  12. 【請求項１２】 前記ラベリング画像の中心又は重心を
    算出するステップ、を更に備え、 前記距離を算出するステップは、前記算出された中心又
    は重心から最も遠い距離にある前記ラベリング画像の外
    周を形成するピクセルと、該ピクセルを除く前記外周を
    形成する複数のピクセルとの距離を算出する、請求項９
    に記載の外観検査方法。
  13. 【請求項１３】 前記ラベリング画像をサブピクセル化
    するステップ、を更に備え、 前記距離を算出するステップは、該サブピクセル化され
    た画像の外周を形成する複数のサブピクセル間の距離を
    算出する、請求項９に記載の外観検査方法。
  14. 【請求項１４】 前記撮影により得られる原画像は、Ｂ
    ＧＡを撮影することにより得られる画像である、請求項
    １乃至１３の何れか１項に記載の外観検査方法。
  15. 【請求項１５】 検査対象物を照明する照明器と、 該照明器で照明された前記検査対象物を上方から撮影す
    るカメラと、 該カメラで撮影された原画像を２値化する２値化部と、 該２値化部で２値化された２値化画像をラベリングする
    ラベリング部と、 該ラベリング部からのラベリング画像の外周に接する外
    接矩形を形成する外接矩形形成部と、 該外接矩形形成部で形成された外接矩形内のラベリング
    画像に基づいて検査用画像を生成する検査用画像生成部
    と、 該検査用画像生成部で生成された検査用画像に基づいて
    前記検査対象物の合否を判定する判定部、とを備え、 前記検査用画像生成部は、 前記外接矩形形成部で形成された外接矩形内のラベリン
    グ画像を反転する反転部と、 該反転部で反転された画像のうちの前記外接矩形と前記
    外周とで形成される領域の部分を除去する除去部と、 該除去部により除去され画像を前記ラベリング画像に加
    算することにより検査用画像を生成する加算部、とを備
    えた外観検査装置。
  16. 【請求項１６】 前記判定部は、 前記加算部で生成された検査用画像の面積、径及び面積
    比で表される円形度の少なくとも１つに基づいて合否を
    判定する、請求項１５に記載の外観検査装置。
  17. 【請求項１７】 前記検査用画像生成部は、 前記検査用画像の外周を形成する各ピクセルの周囲をサ
    ブピクセル化し、以て検査用画像を生成するサブピクセ
    ル化部、を更に備えた、請求項１５乃至１６の何れか１
    項に記載の外観検査装置。
  18. 【請求項１８】 検査対象物を照明する照明器と、 該照明器で照明された前記検査対象物を上方から撮影す
    るカメラと、 該カメラで撮影された原画像を２値化する２値化部と、 該２値化部で２値化された２値化画像をラベリングする
    ラベリング部と、 該ラベリング部からのラベリング画像に対応する前記原
    画像の濃淡値の総和を算出する濃淡値総和算出部と、 該濃淡値総和算出部で算出された濃淡値の総和に基づい
    て前記検査対象物の合否を判定する判定部、とを備えた
    外観検査装置。
  19. 【請求項１９】 前記ラベリング画像の外周を形成する
    各ピクセルの周囲をサブピクセル化するサブピクセル
    部、を更に備え、 前記濃淡値総和算出部は、 前記サブピクセル部でサブピクセル化された画像に対応
    する前記原画像の濃淡値の総和を算出する、請求項１８
    に記載の外観検査装置。
  20. 【請求項２０】 前記ラベリング画像の面積を算出する
    面積算出部と、 該面積算出部で算出された面積で前記濃淡値総和算出部
    で算出された原画像の濃淡値の総和を除算することによ
    り前記原画像の平均濃淡値を算出する平均濃淡値算出
    部、を更に備え、 前記判定部は、 前記平均濃淡値算出部で算出された平均濃淡値に基づい
    て前記検査対象物の合否を判定する、請求項１８又は１
    ９に記載の外観検査装置。
  21. 【請求項２１】 全てのラベリング画像に対応する原画
    像について算出された前記平均濃淡値を平均して総平均
    濃淡値を算出する総平均濃淡値算出部、を更に備え、 前記判定部は、 前記総平均濃淡値算出部で算出された総平均濃淡値に基
    づいて前記検査対象物の合否を判定する、請求項２０に
    記載の外観検査装置。
  22. 【請求項２２】 前記判定部は、 前記平均濃淡値算出部で算出された平均濃淡値と前記総
    平均濃淡値算出部で算出された総平均濃淡値との差又は
    前記総平均濃淡値算出部で算出された総平均濃淡値に対
    する前記平均濃淡値算出部で算出された平均濃淡値の割
    合に基づいて前記検査対象物の合否を判定する、請求項
    ２１に記載の外観検査装置。
  23. 【請求項２３】 検査対象物を照明する照明器と、 該照明器で照明された前記検査対象物を上方から撮影す
    るカメラと、 該カメラで撮影された原画像を２値化する２値化部と、 該２値化部で２値化された２値化画像をラベリングする
    ラベリング部と、 該ラベリング部からのラベリング画像の外周を形成する
    複数のピクセル中の２つのピクセルの組合せの全てにつ
    いて、２つのピクセル間の距離を算出する距離算出部
    と、 該距離算出部で算出された複数の距離の中の最大の距離
    を求める最大距離算出部と、 該最大距離算出部で求められた最大の距離に基づいて合
    否を判定する判定部、とを備えた外観検査装置。
  24. 【請求項２４】 前記最大距離算出部は、 前記最大の距離を形成する１組のピクセルの各々の周囲
    をサブピクセル化してサブピクセル画像を生成するサブ
    ピクセル化部と、 前記サブピクセル化部で生成された一方のピクセルのサ
    ブピクセル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成
    する複数のサブピクセルの中の１つと、他方のサブピク
    セル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複
    数のサブピクセルの中の１つとの組み合わせの全てにつ
    いて、２つのサブピクセル間の距離を算出するサブピク
    セル距離算出部と、 該サブピクセル距離算出部で算出された複数の距離の中
    の最大の距離を求めるサブピクセル最大距離算出部、と
    を備えた請求項２３に記載の外観検査装置。
  25. 【請求項２５】 前記最大距離算出部は、 前記最大の距離から所定範囲の距離を形成する複数組の
    ピクセルの各々の周囲をサブピクセル化してサブピクセ
    ル画像を生成するサブピクセル化部と、 前記サブピクセル化部で生成された一方のピクセルのサ
    ブピクセル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成
    する複数のサブピクセルの中の１つと、他方のサブピク
    セル画像の中の前記ラベリング画像の外周を形成する複
    数のサブピクセルの中の１つとの組み合わせの全てにつ
    いて、２つのサブピクセル間の距離を算出する処理を、
    前記複数組の各々について行うサブピクセル距離算出部
    と、 該サブピクセル距離算出部で算出された複数の距離の中
    の最大の距離を求めるサブピクセル最大距離算出部、と
    を備えた請求項２３に記載の外観検査装置。
  26. 【請求項２６】 前記ラベリング画像の中心又は重心を
    算出する中心算出部、を更に備え、 前記距離算出部は、前記中心算出部で算出された中心又
    は重心から最も遠い距離にある前記ラベリング画像の外
    周を形成するピクセルと、該ピクセルを除く前記外周を
    形成する複数のピクセルとの距離を算出する、請求項２
    ３に記載の外観検査装置。
  27. 【請求項２７】 前記ラベリング画像をサブピクセル化
    するサブピクセル化部、を更に備え、 前記距離算出部は、該サブピクセル化部でサブピクセル
    化された画像の外周を形成する複数のサブピクセル間の
    距離を算出する、請求項２３に記載の外観検査装置。
  28. 【請求項２８】 前記撮影により得られる原画像は、Ｂ
    ＧＡを撮影することにより得られる画像である、請求項
    １５乃至２７の何れか１項に記載の外観検査装置。
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