JP2002240437A - 薄膜形成用ドナーシートの製造方法、薄膜形成用ドナーシート及び有機エレクトロルミネッセンス素子 - Google Patents

薄膜形成用ドナーシートの製造方法、薄膜形成用ドナーシート及び有機エレクトロルミネッセンス素子

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JP2002240437A JP2001042033A JP2001042033A JP2002240437A JP 2002240437 A JP2002240437 A JP 2002240437A JP 2001042033 A JP2001042033 A JP 2001042033A JP 2001042033 A JP2001042033 A JP 2001042033A JP 2002240437 A JP2002240437 A JP 2002240437A
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Noritaka Kawase
徳隆 川瀬
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 省スペースで効率よくドナーシートを製造す
ることを課題とする。 【解決手段】 シート上に少なくとも光−熱変換層と転
写層とがこの順で積層されてなる薄膜形成用ドナーシー
トを製造するにあたり、予め光−熱変換層が形成された
シートに、該シートを搬送させながら転写層を形成し、
続いて転写層を乾燥することを特徴とする薄膜形成用ド
ナーシートの製造方法により、上記の課題を解決する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シート上に光−熱
変換層と転写層とをこの順で積層してなる薄膜形成用ド
ナーシートの製造方法、この方法により製造される薄膜
形成用ドナーシート及びこのドナーシートを用いること
により製造される有機エレクトロルミネッセンス素子に
関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
薄膜の製造方法の一つとして熱転写法が知られている。
この方法は、基材となるシート上に光−熱変換層と、転
写層とをこの順で形成してなる薄膜形成用ドナーシート
を、基板に密着させてドナーシートの裏面からレーザー
を照射することにより転写層を基板に転写した後、ドナ
ーシートを取り除くことで基板上に薄膜を形成するとい
うものである。
【０００３】このドナーシートは、表面に薄い転写層を
形成するため、転写層に欠陥を生じさせない状態で搬送
するには、転写層を形成する前に基材シートを小切りに
しておいて、基材シートに転写層を形成し、得られたド
ナーシート小片を各々乾燥させた後に搬送する方法が考
えられている。しかしながら、このような方法では、転
写層を形成する前に基材シートを小切りにするという煩
雑な工程を必要とし、また、ドナーシートを形成する過
程において転写層を乾燥させるには時間がかかり、乾燥
装置も大型化してしまうため生産効率が低いという問題
があった。また、ドナーシートを小切りにすることで、
各ドナーシート少片が反ってしまい、転写層を均一な厚
さに形成できないという問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記の問題を
解決することを課題とするものであり、基材シートを搬
送しながら、転写層を形成し、続いて転写層を乾燥して
ドナーシートを形成する方法が提供される。
【０００５】したがって、本発明の方法によれば、基材
シートを小切りにするというような煩雑な工程を含まな
いので、生産効率がよく、簡易にドナーシートを製造で
きる。また、ドナーシートが反りや歪みのない状態で搬
送、乾燥されるので均質で均一な厚さを有する転写層を
形成することができる。また、ローラーで搬送しながら
ドナーシートを製造するので、狭いスペースでも転写層
の形成・乾燥を行うことができる。これにより、ドナー
シートの製造・乾燥装置の小型化を計ることができると
いう優れた効果を奏する。
【０００６】かくして本発明によれば、シート上に少な
くとも光−熱変換層と転写層とがこの順で積層されてな
る薄膜形成用ドナーシートを製造するにあたり、予め光
−熱変換層が形成されたシートに、該シートを搬送させ
ながら転写層を形成し、続いて転写層を乾燥することを
特徴とする薄膜形成用ドナーシートの製造方法が提供さ
れる。また、本発明によれば、上記の方法により製造さ
れる薄膜形成用ドナーシートが提供される。また、本発
明によれば、上記のドナーシートを用いて製造される有
機エレクトロルミネッセンス素子が提供される。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。本発明の方法で得られるドナーシートは、
図７に示すように、基材シート１の表面に少なくとも光
−熱変換層２と転写層３とが順次積層されている構造を
有している。
【０００８】本発明の方法で用いられる基材シートを構
成する材料としては、ドナーシート全体を支持する働き
を有するものであり、望ましくはレーザー光を透過する
ものであれば特に限定されないが、例えば透明性高分子
等を用いることができる。このような高分子としては、
例えばポリエチレンテレフタレートのようなポリエステ
ル、ポリアクリル、ポリエポキシ、ポリエチレン、ポリ
スチレン、ポリカーボネート、ポリサルホン等が挙げら
れる。基材シートの形状は、連続的に転写層を形成し、
乾燥するためにも長い帯状のものが好ましい。具体的に
は、膜厚０．１〜１．０ｍｍ、幅１００〜１０００ｍ
ｍ、長さ１０００ｍｍ以上（例えば、１０００〜５００
０ｍｍ）程度のものが好適に用いられる。
【０００９】本発明の方法で用いられる光−熱変換層を
構成する材料としては、レーザー光を効率よく熱に変換
できる材料であれば特に限定されないが、例えば、アル
ミニウム、その酸化物及び／又はその硫化物よりなる金
属層や、カーボンブラック、黒鉛又は赤外線吸収染料等
が添加された高分子よりなる有機層等が挙げられる。光
−熱変換層は、公知の方法で形成することができ、その
膜厚は特に限定されず、通常、１０ｎｍ〜１０μｍ程度
である。
【００１０】本発明の方法で用いられる転写層を構成す
る材料としては、特に限定されないが、例えば通常の有
機エレクトロルミネッセンス材料を用いることができ
る。有機エレクトロルミネッセンス材料として、有機エ
レクトロルミネッセンス素子の発光層を形成する目的で
発光材料を用いることができる。発光材料としては、例
えば、共役系高分子有機化合物又はその前駆体等を用い
ることができ、具体的にはＰＰＶやＰＰＶ誘導体又はそ
れらの前駆体、ポリフルオレン誘導体等が挙げられる。
【００１１】ＰＰＶやＰＰＶ誘導体又はそれらの前駆体
としては、例えばＰＰＶ（ポリ（パラ−フェニレンビニ
レン））及びその前駆体、ＭＯ−ＰＰＶ（ポリ（２，５
−ジメトキシ−１，４−フェニレンビニレン））及びそ
の前駆体、ＣＮ−ＰＰＶ（ポリ（２，５−ビスヘキシル
オキシ−１，４−フェニレン−（１−シアノビニレ
ン）））、ＭＥＨ−ＰＰＶ（ポリ（２−メトキシ−５−
（２’エチルヘキシルオキシ））−パラ−フェニレンビ
ニレン）等が挙げられる。
【００１２】ポリフルオレン誘導体としては、例えばポ
リ（２，７−（９，９−ジ−ｎ−オクチルフルオレ
ン））等が挙げられる。中でもＰＰＶ誘導体は、強い蛍
光をもち、また二重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極
在化している導電性高分子でもある。また置換基の導入
による分子構造の変更によって、π−π*エネルギーギ
ャップを変えることができる。つまり発光色も変えるこ
とができ、高性能の有機エレクトロルミネッセンス素子
を得ることができるので好ましい。
【００１３】また、有機エレクトロルミネッセンス材料
としては、上記以外の発光材料やドーパント材料を用い
ることができ、例えば金属オキシノイド化合物（８−ヒ
ドロキシキノリン金属錯体）、ブタジエン誘導体、クマ
リン誘導体、ジシアノメチレンピラン誘導体、フルオレ
ッセイン誘導体、ペリレン誘導体、ペリノン誘導体、ア
ミノピレン誘導体、ベンズオキサゾール誘導体、オキサ
ジアゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアジアゾー
ル誘導体、スチリルアミン誘導体、ビススチリルベンゼ
ン誘導体、トリススチリルベンゼン誘導体等が挙げられ
る。
【００１４】また、有機エレクトロルミネッセンス材料
としては、有機エレクトロルミネッセンス素子の正孔注
入輸送層を形成する目的で正孔注入輸送材料を用いるこ
とができる。正孔注入輸送材料としては、従来光伝導材
料において正孔の電荷輸送材料として慣用されているも
のや、電界発光素子の正孔輸送材料に使用される公知の
ものの中から任意のものを選択して用いることができ
る。そのような材料としては、特に限定されないが、例
えばポリビニルカルバゾール、ポリシラン、ポリチオフ
ェン誘導体、ＰＰＶ（ポリ（パラ−フェニレンビニレ
ン））誘導体等の高分子有機化合物の他、トリアゾール
誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導
体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラリゾン誘導体、
ピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、ビフェ
ニレンジアミン誘導体、ビナフチレンジアミン誘導体、
アリールアミン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリル
アントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン
誘導体、スチルベン誘導体等の低分子化合物が挙げられ
る。
【００１５】なお、これらの正孔注入輸送材料には、正
孔注入輸送機能を増加させる働きを有する添加物を加え
てもよい。また、有機エレクトロルミネッセンス材料と
しては、有機エレクトロルミネッセンス素子の電子注入
輸送層を形成する目的で電子注入輸送材料が用いること
ができる。電子注入輸送材料としては、従来光伝導材料
において電子の電荷輸送材料として慣用されているもの
や、電界発光素子の電子輸送材料に使用される公知のも
のの中から任意のものを選択して用いることができる。
そのような材料としては、特に限定されないが、例えば
ＰＰＶ（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））誘導体な
どの高分子有機化合物の他、オキサジアゾール誘導体、
トリアゾール誘導体、ベンゾキノン誘導体、ナフトキノ
ン誘導体、アントラキノン誘導体、テトラシアノアント
ラキノジメタン誘導体、ジフェノキノン誘導体、フルオ
レノン誘導体、金属オキシノイド化合物等が挙げられ
る。
【００１６】なお、これらの電子注入輸送材料には、電
子注入輸送機能を増加させる働きを有する添加物を加え
てもよい。以上の有機エレクトロルミネッセンス材料
は、単独で用いても、他の化合物と混合して用いてもよ
い。なかでも、高分子有機化合物を主成分とする高分子
材料が好ましい。有機エレクトロルミネッセンス材料は
溶剤に溶かすことにより、転写層形成用の塗液にするこ
とができる。
【００１７】有機エレクトロルミネッセンス材料を溶か
す溶剤としては、用いる材料により適宜選択され、特に
限定されないが、例えばメタノール、エタノール等のア
ルコールやトルエン、キシレン等のこの分野で通常用い
られる有機溶剤や、水などが挙げられる。転写層形成用
の塗液には添加剤が含まれていてもよく、添加剤として
は、例えば光安定剤、酸化防止材、ｐＨ調製剤、防腐
剤、構造安定剤等が挙げられる。このような添加剤を加
えることにより、例えば、転写層自体の耐久性を高める
ことができるので好ましい。
【００１８】転写層は、一般的なフィルムコーティング
方法、例えば、押出コーター、スピンコーター、グラビ
アコーター、リバースロールコーター、ロッドコータ
ー、マイクログラビアコーターなどにより、基材シート
上に形成することができる。これらの転写層のコーティ
ング方法においては、基材シートの表面に帯電した静電
気を除電して転写層形成用塗液を均一に基材シートに形
成するのが好ましく、各方法に用いられる装置には除電
装置が取り付けてあるのが好ましい。転写層は、特に限
定されないが、通常、１０ｎｍ〜１０μｍ程度の厚さに
形成される。
【００１９】本発明の方法においては、公知の方法によ
り、光−熱変換層と転写層との間に熱伝播層や剥離層を
形成してもよい。熱伝播層や剥離層を構成する材料とし
ては、例えばポリαメチルスチレン酸等が挙げられる。
また、熱伝播層及び剥離層は、特に限定されないが、そ
れぞれ１μｍ程度に形成される。本発明の方法によれ
ば、基材シートは、小切りの状態ではなく長い帯状のま
まで搬送されながら転写層が形成される。
【００２０】本発明の方法においては、ドナーシートの
搬送は、例えば、ドナーシートに接触するローラーを回
転することにより行ってもよいし、ベルトコンベアーの
ような搬送装置等を用いて行ってもよい。中でも構造が
簡単で、転写層を乾燥させやすいことからローラーを用
いるのが好ましい（図３）。
【００２１】具体的には、図２（ａ）に示すように、ド
ナーシートの両端を各々２つのローラーでシートの上下
を挟持して搬送方向に回転させる方法や、図２（ｂ）に
示すように、ドナーシートの両端を各々、２つのローラ
ーでシートの上若しくは下に密着して搬送方向に回転さ
せる方法や、又は図２（ｃ）に示すように、ドナーシー
トの両端又は一端に一定間隔で穴を開けておき、この穴
に噛み合うように形成された突起物を有するローラー
を、ドナーシートの両端又は一端に、上下又は上若しく
は下に接触させ、ローラーの突起物をドナーシートの穴
と噛み合わせ、ローラーを搬送方向に回転させる方法に
より、ドナーシートを搬送することができる。
【００２２】また、図２（ｄ）に示すように、例えば、
ローラー両端部が最も大きい直径を有し、その両端部表
面に突起物を設けたローラーを用いると、ドナーシート
の両端を各々２つのローラーで搬送することなく、１つ
のローラーで搬送することができ、しかもドナーシート
の転写層表面をローラー表面で摩擦して傷つけることな
く搬送できるので好ましい。
【００２３】なお、ローラーの数は、特に制限されず、
例えば、後述する転写層の乾燥状況にあわせて適宜調節
することができる。本発明の方法では、ドナーシートに
形成された転写層を、例えば、加熱することによって転
写層内の溶媒を除去・乾燥する。転写層は、溶液状態に
ある塗液を塗工して形成されるため、通常、層内に溶媒
が残存している。従って、転写層をヒーターなどの加熱
源を用いて乾燥することにより、溶媒の除去を行う。
【００２４】転写層の乾燥は、ドナーシートの搬送途中
で行ってもよいし、ドナーシートを筒状に巻き取った後
に行ってもよいが、乾燥させやすく、早く乾燥できるこ
とから搬送途中に行うのが好ましい。転写層の乾燥は、
転写層に含まれる材料が空気成分や水分に弱い場合、空
気中で乾燥させると本来の特性を阻害されてしまうのを
防ぐために、不活性ガス雰囲気中で行うのが好ましい。
不活性ガスとしては、例えば希ガスや窒素ガス等が挙げ
られる。
【００２５】転写層を乾燥するために用いられる加熱手
段としては、例えば電熱ヒーター等を用いることがで
き、これらの加熱手段は、図１（ｂ）に示すように、搬
送されるドナーシートに沿って、ドナーシートの転写層
側に設けられるのが好ましい。
【００２６】本発明の方法において用いられるドナーシ
ートの搬送用ローラーは、加熱手段を持ち合わせるもの
であってもよい。搬送用ローラーが加熱手段を持ち合わ
せる場合には、シートを搬送する過程で効率的に乾燥さ
せることができるので、搬送距離をより短くすることが
でき、ドナーシートの製造・乾燥装置をさらに小型化で
きるので好ましい。なお、加熱手段を持ち合わせるロー
ラーは、軸方向全体に均一な温度であることが好まし
い。また、ローラーが放つ熱をドナーシートに伝えるこ
とができるものであれば、ローラーの軸表面はシートと
接触してもしていなくてもよい。
【００２７】上記の加熱手段の設定温度としては、溶媒
の沸点により異なり、特に限定されないが、通常、１０
０℃〜２００℃程度である。本発明の方法においては、
ドナーシートの搬送時にドナーシートをローラーに吸着
させながら搬送するのが好ましい。例えば、ドナーシー
トの裏面からコンプレッサーなどの吸引装置を用いてド
ナーシートをローラーに吸着させる、又は吸着剤（例え
ば接着剤、合成樹脂を発泡加工処理したもの等）をドナ
ーシートの裏面若しくはローラーの表面に形成すること
により、ドナーシートをローラーに吸着させながらドナ
ーシートを搬送させる。ドナーシートをローラーに吸着
させながら搬送すると、ドナーシート全面に歪みやしわ
が無い状態で搬送することができ、精度よく搬送できる
ので好ましい。本発明の方法により、転写層を乾燥させ
たドナーシートは、さらに搬送されてローラーにより巻
き取られて保存されるか、又は必要に応じて次の工程に
搬送される。
【００２８】本発明では、上記の方法で製造されたドナ
ーシートを用いることにより、有機エレクトロルミネッ
センス素子を製造することができる。具体的には、基板
上に、第１電極を構成する材料を堆積し、所望の形状に
パターニングすることにより第１電極を形成した後、レ
ーザー転写法により、第１電極を形成した基板上に、有
機エレクトロルミネッセンス材料からなる薄膜を形成
し、次いで第２電極を所望のパターンに形成することに
より、有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するこ
とができる。なお、レーザー転写法とは、図７（ｂ）に
示すように、ドナーシートの転写層３とは反対の基材シ
ート１側からレーザー５を照射することにより、光−熱
変換層２で光−熱変換を行って転写層３をドナーシート
から基板６に熱転写するという方法である。
【００２９】基板を構成する材料としては、可視光を透
過（すなわち透明）するものが望ましく、具体的には、
例えばホウケイ酸ガラス等のガラス、石英、透明プラス
チック等が挙げられる。
【００３０】第１電極を構成する材料としては、例えば
ＣｕＩ、ＩＴＯ、ＳｎＯ2、ＺｎＯ等の透明導電膜が挙
げられる。なお、単純マトリックス型ディスプレイパネ
ルとするには、シート抵抗値が５〜２０Ω／□程度、具
体的には１０Ω／□程度のＩＴＯを用いるのが好まし
い。第１電極は公知の方法、例えばフォトリソグラフィ
ー法により形成し、所望の形状にパターニングすること
ができる。
【００３１】ドナーシートにより形成される転写層とし
ては、少なくとも発光層を含み、好ましくは正孔注入輸
送層及び／又は電子注入輸送層が積層してなるものであ
る。なお、発光層、正孔注入輸送層及び電子注入輸送層
を構成するそれぞれの材料は上記の通りである。
【００３２】発光層は、単層又は２層以上からなる積層
層であってもよく、その膜厚は、通常、１ｎｍ〜１μｍ
程度であるのが好ましい。正孔注入輸送層は、単層又は
２層以上からなる積層層であってもよく、その膜厚は、
通常、１ｎｍ〜１μｍ程度であるのが好ましい。
【００３３】電子注入輸送層の膜厚は、単層又は２層以
上からなる積層層であってもよく、その膜厚は、通常、
１ｎｍ〜１μｍ程度であるのが好ましい。第２電極を構
成する材料としては、有機物層に電荷を注入できるもの
であれば特に規定はないが、例えば、マグネシウム、ア
ルミニウム、アルミニウム：リチウム合金などが挙げら
れる。第２電極は公知の方法、例えば蒸着により形成す
ることができる。
【００３４】本発明のドナーシートを用いて製造される
有機エレクトロルミネッセンス素子の具体例として、有
機電界発光パネルの画素の断面模式図を、図４、５及び
６に示す。図４の構造における正孔輸送層９は、第１電
極８より注入された正孔を発光層１０に伝達する機能を
有する。この構造により、正孔輸送層９から発光層１０
への正孔注入効率が向上して、発光輝度や発光効率を増
加させることができるので好ましい。
【００３５】また、図５においては、正孔輸送層９が二
層の積層層である構成を示している。これは正孔を第１
電極８より注入する層（正孔注入層）と、正孔を輸送す
る層（正孔輸送層）とを有することにより、正孔を発光
層１０に効率よく伝達することができる。
【００３６】図６においては、正孔輸送層９に加えて電
子輸送層１１を有する構造を示している。電子輸送層１
１は、第２電極１２より注入された電子を発光層１０に
伝達する機能を有する。この構造により、電子輸送層１
１から発光層への電子注入効率が向上して、発光輝度や
発光効率を増加させることができる。
【００３７】このように、有機エレクトロルミネッセン
ス素子を多層構造にすることにより、クエンチングによ
る輝度や寿命の低下を防ぐことができる。本発明の薄膜
形成用ドナーシートは、有機エレクトロルミネッセンス
素子の製造以外にも、例えば有機ＬＥＤディスプレイの
有機層形成や、液晶ディスプレイのカラーフィルタの形
成などの薄膜形成手段として用いることができる。これ
により薄膜デバイスが生産効率よく製造できるようにな
る。
【００３８】
【実施例】以下、実施例により、本発明の方法を用いた
有機薄膜形成方法の一実施例を説明するが、本発明はこ
れにより限定されない。
【００３９】実施例１ 図１（ａ）はドナーシートを搬送及び乾燥する装置の主
要部の概略構成図であり、図１（ｂ）は基材シートを搬
送しながら転写層を形成し、乾燥する装置の主要部の概
略構成図である。本実施例を、図１（ｂ）を参照しなが
ら詳しく説明する。ドナーシートは、基材シートとして
の膜厚０．２ｍｍ、幅３００ｍｍ、長さ２０００ｍｍ程
度のポリエチレンテレフタレートフィルム上に、レーザ
ー光を熱に変換する層（光−熱変換層）としてのカーボ
ンブラックを混合した熱硬化型エポキシ樹脂を膜厚５μ
ｍ程度にコーティングして硬化させ、光−熱変換層上
に、熱伝播層及び剥離層としてのポリαメチルスチレン
酸を膜厚１μｍ程度にコーティングし、ポリαメチルス
チレン酸膜上に、転写層形成用の塗液ｂ４を塗布するこ
とにより形成される。
【００４０】図１（ｂ）には、基材シートＡに転写層を
形成するための液塗布手段Ｂが示されている。この液塗
布手段Ｂにより、塗液槽ｂ５に予め溜めてある塗液ｂ４
が、ローラーｂ１、塗液ｂ４に浸されたローラーｂ２及
びローラーｂ３を回転させることによって、基材シート
Ａに塗布され、転写層が形成される。この実施例では、
このようなマイクログラビア方式で塗布が行われる。塗
液ｂ４としては、シアノポリフェニレンビニレン（ＣＮ
−ＰＰＶ［化１］に示す）５ｇをキシレン１Ｌに溶かし
た溶液が用いられる。
【００４１】
【化１】
【００４２】塗膜の厚さは前記ローラーｂ１、ｂ２及び
ｂ３の回転数を調節することにより適宜調製することが
でき、転写層の厚さを１０ｎｍ〜１０μｍ程度の範囲で
調節することができる。
【００４３】次に、転写層が形成されたドナーシート
は、ローラーｂ１、ｂ２及びｂ３の回転に併せて液塗布
手段Ｂから搬出され、続いてローラーＥの回転に併せて
所定の搬送スピードで搬送される。搬送経路は窒素ガス
供給排出管Ｃによって一定の流量で窒素ガスが流され
る。また、搬送経路には、ドナーシート上の転写層を乾
燥させる目的で加熱手段Ｄが設置される。転写層を乾燥
させたドナーシートＧはさらに搬送されてドナーシート
巻き取り手段Ｆによって巻き取られる。
【００４４】なお、転写層が形成されたドナーシート両
端には一定間隔で穴があけられてあり、ローラーＥは、
この穴に噛み合うような突起物を両端表面に有する［図
２（ｄ）］。また、転写層を早く乾燥させ、転写層形成
後のドナーシートの搬送距離を短くするために、ローラ
ーEにはヒーターが内臓されている。搬送の途中でヒー
ターＤとローラーＥに内蔵されたヒーターの温度を１５
０℃程度に保ち、槽内に乾燥窒素ガスを循環させること
により転写層を乾燥させる。巻き取られたドナーシート
を段差計で測定したところ、全面に渡って厚さむらのな
い良好な転写層が連続的に得られていることが分かっ
た。
【００４５】実施例２ ドナーシートを効率よく搬送するために、ドナーシート
転写層裏面側に位置するローラーＥとして、ローラーの
表面にアクリル樹脂を発泡処理した層をコーティングし
たものを用いた以外は、実施例１と同様にして、ドナー
シートを製造した。巻き取られたドナーシートを段差計
で測定したところ、全面に渡って厚さむらのない良好な
転写層が連続的に形成されていることが分かった。
【００４６】実施例３ （基板上の透明電極の洗浄）ガラス基板上に、シート抵
抗１５Ω／□のＩＴＯ（インジウム錫酸化物）を膜厚１
６００Å程度に７５μｍの幅でストライプ状にパターニ
ングして透明電極を形成する。透明電極が形成されたガ
ラス基板を、界面活性剤、水、イソプロパノールで超音
波洗浄し、乾燥させ、さらに紫外線照射装置［エキシマ
ランプ１７２ｎｍ（Ｘｅ2 *）放射照度１０ｍＷ／ｃ
ｍ2］を用いて３０分間洗浄する。
【００４７】（ドナーシートの製造）塗液ｂ４として、
固形分１．２ｗｔ％のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ（ポリスチレ
ンスルホン酸をドープしたポリエチレンジオキシチオフ
ェン：［化２］に示す）水溶液を用いて、転写層として
のＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ層を膜厚１００ｎｍ程度に形成し
た以外は、実施例１と同様にしてドナーシートを製造し
た。
【００４８】
【化２】
【００４９】（有機エレクトロルミネッセンス素子の製
造）得られたドナーシートを、ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ層
（転写層）が接するように透明電極に密着させ、基材シ
ートの転写層が形成された反対側から、ＩＴＯストライ
プと平行にレーザー光を照射することにより、透明電極
上にＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ層を形成する。次いで、同様に
実施例１で得られたドナーシートを用いて、ＰＥＤＯＴ
／ＰＳＳ層上に、膜厚１００ｎｍ程度のＣＮ−ＰＰＶ層
（発光層）を形成する。なお、レーザー光としては、ビ
ームの大きさが約１００μｍ（１／ｅ2）のＮｄ−ＹＡ
Ｇ８Ｗレーザーを用いる。ＣＮ−ＰＰＶ層（発光層）上
にＩＴＯ電極と直交するようにＣａを４０ｎｍ程度、次
いでＡｇを１５０ｎｍ程度に蒸着して第２電極を形成す
ることにより有機エレクトロルミネッセンス素子を製造
する。なお、Ｃａ及びＡｇの蒸着の条件は、到達真空
度：３×１０-6Ｔｏｒｒ、基材温度：室温、蒸着速度：
Ｃａ ２〜３Å／ｓｅｃ、Ａｇ ４〜５Å／ｓｅｃで行
う。
【００５０】得られた有機エレクトロルミネッセンス素
子の透明電極を陽極、第２電極を陰極として、室温、大
気中で両電極間に直流電圧を印加して発光層を発光さ
せ、その発光輝度を、輝度計を用いて測定したところ、
８Ｖの駆動電圧で約１００ｃｄ／ｍ2の赤色発光が観測
された。
【００５１】
【発明の効果】本発明の方法によれば、シートを搬送し
ながら、転写層を形成し、転写層を乾燥するので、均一
な転写層を形成することができ、しかも煩雑な工程を含
まず、効率よく薄膜形成用ドナーシートを製造すること
ができる。また、この方法により得られるドナーシート
を用いることにより、簡易な方法で均一な有機層を有す
る有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるドナーシートの搬送及び乾燥工程
を示す模式図である。
【図２】本発明のドナーシートの搬送ローラーを説明す
る図である。
【図３】本発明のドナーシート搬送の概略構成図であ
る。
【図４】本発明の有機ＥＬ素子の模式断面図である。
【図５】本発明の有機ＥＬ素子の模式断面図である。
【図６】本発明の有機ＥＬ素子の模式断面図である。
【図７】本発明の有機ＥＬ素子の製造プロセスを説明す
る模式断面図である。
【符号の説明】
１ 基材シート ２ 光−熱変換層 ３ 転写層 ４ ドナーシート ５ レーザー ６、７ 基板 ８ 第１電極 ９ 正孔輸送層 １０ 発光層 １１ 電子輸送層 １２ 第２電極 １３ 有機層 Ａ 基材シート Ｂ 液塗布手段 Ｃ 窒素ガス供給排出管 Ｄ 加熱手段 Ｅ、ｂ１、ｂ２、ｂ３ ローラー ｂ４ 塗液 ｂ５ 塗液層 Ｆ ドナーシート巻取り手段 Ｇ 転写層乾燥済ドナーシート

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 シート上に少なくとも光−熱変換層と転
    写層とがこの順で積層されてなる薄膜形成用ドナーシー
    トを製造するにあたり、 予め光−熱変換層が形成されたシートに、該シートを搬
    送させながら転写層を形成し、続いて転写層を乾燥する
    ことを特徴とする薄膜形成用ドナーシートの製造方法。
  2. 【請求項２】 シートに接触させたローラーを回転させ
    ることによりシートを搬送する請求項１に記載のドナー
    シートの製造方法。
  3. 【請求項３】 転写層を乾燥した後、シートをローラー
    で巻き取る請求項１又は２に記載のドナーシートの製造
    方法。
  4. 【請求項４】 不活性ガス雰囲気下で転写層を乾燥する
    請求項１〜３のいずれかに記載のドナーシートの製造方
    法。
  5. 【請求項５】 シートの搬送に用いられるローラーがヒ
    ーターを内蔵する請求項２〜４のいずれかに記載のドナ
    ーシートの製造方法。
  6. 【請求項６】 シートの両端に一定間隔の穴を設け、こ
    の穴に噛み合うような突起物を有するローラーによりシ
    ートを搬送する請求項２〜５のいずれかに記載のドナー
    シートの製造方法。
  7. 【請求項７】 ドナーシートをローラーに吸着させなが
    ら搬送する請求項２〜６のいずれかに記載のドナーシー
    トの製造方法。
  8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載の方法に
    より製造されることを特徴とする薄膜形成用ドナーシー
    ト。
  9. 【請求項９】 転写層が有機エレクトロルミネッセンス
    材料を含んでいる請求項８に記載のドナーシート。
  10. 【請求項１０】 有機エレクトロルミネッセンス材料が
    高分子材料である請求項９に記載のドナーシート。
  11. 【請求項１１】 請求項９又は１０に記載のドナーシー
    トを用いて製造されることを特徴とする有機エレクトロ
    ルミネッセンス素子。
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