JP2002239856A - 防振装置およびこの防振装置を用いたパンチ・レーザ複合加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安定した加工を行うことができる防振装置お
よびパンチング時の振動の影響を受けないパンチ・レー
ザ複合加工機を提供する。 【解決手段】 移動手段５７により第１と第２ハウジン
グ４３，４９のいずれか一方を相対的に移動させること
により、前記第１嵌合穴部４１が球体４５を介して第２
嵌合穴部４７に相対的に押圧して位置決めしクランプさ
れるので、第１ハウジング４３および第２ハウジング４
９は固定側に高い剛性で位置決め固定される。一方、第
１と第２ハウジング４３，４９のアンクランプ時には、
位置決め移動手段５７により第１と第２ハウジング４
３，４９のいずれか一方を反対方向へ移動せしめ、加工
工具側は付勢手段５３を介して第１ハウジング４３およ
び第２ハウジング４９により支持されるので、発生する
振動が付勢手段５３により吸収され防振され、防振時に
ベースプレートに発生する回転モーメントを相殺するこ
とができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、パンチ・レーザ
複合加工機におけるレーザ加工へッドを支持するのに好
適な防振装置およびこの防振装置を用いたパンチ・レー
ザ複合加工機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、光軸固定方式ワーク移動のレ
ーザとパンチングの複合加工機において、光学系を含め
たＺ軸とレーザ加工ヘッドは、パンチング加工時の振動
から守るために、フレームの上面の水平面上にエアーバ
ネを置き、その上にＺ軸の支持ブラケットを設けて防振
し、パンチング加工が終了したら平面内の位置決めピン
により位置決めされる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の防振装置にあっては、位置決めスペースを取
りすぎるという問題点があった。

【０００４】また、レーザ加工ヘッドの移動（光軸移
動）式の防振装置として利用された場合に防振位置がレ
ーザ加工ヘッドより離れているために、位置決め後の振
動に弱いという問題点があった。

【０００５】上記の理由により、レーザ加工ヘッドとパ
ンチ加工ヘッド移動の１軸加工ヘッド移動式複合機等の
１軸光軸光移動式の移動機構に対する防振装置には適さ
ないという問題点があった。

【０００６】何故ならば、１軸光軸移動式においては、
Ｙ軸と共に移動しながらＺ軸に搭載されたレーザ加工ヘ
ッドと、このレーザ加工ヘッドに光を導くためのベンド
ミラーとの両者を振動から保護する必要がある。その理
由としては、光移動式のパンチ複合加工機において、パ
ンチング加工時の振動により、ズレや緩みが発生してア
ライメントの狂い等が光軸固定式よりも更に起こり易い
ためである。

【０００７】また、パンチング加工後、防振していたＺ
軸・レーザ加工ヘッドは、レーザ加工時にＹ軸に位置決
め固定される必要がある。そして、この固定には繰り返
し復元精度が必要となる。しかも、防振装置としては剛
性がないと、レーザ加工ヘッドは振動して集光レンズの
位置が安定せず、集光スポット位置がずれることになる
ので、レーザ加工ヘッドのＹ軸移動時に発生する加速度
に対抗できる剛性を持たねばならない。

【０００８】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、その目的は、レーザ加工時に安定した加工
を行うことができる位置決め機構を備えた防振装置およ
びパンチング時の振動の影響を受けないパンチ・レーザ
複合加工機を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１によるこの発明の防振装置は、固定側と加工
工具側の間に設けられて、振動の伝達を防止する防振装
置であって、前記固定側に設けられて一端に第１嵌合穴
部を備えた第１ハウジングと、前記第１嵌合穴部に当接
する球体と、加工工具側に設けられて前記球体を介して
前記第１嵌合穴部に対向して前記球体に当接可能な第２
嵌合穴部を備えた第２ハウジングと、前記第１と第２嵌
合穴部のいずれか一方を前記球体から常時離反する方向
に付勢する付勢手段と、前記第１嵌合穴部に球体を介し
て第２嵌合穴部を相対的に押圧して位置決めすべく前記
第１と第２ハウジングのいずれか一方を移動せしめる位
置決め移動手段と、防振時に重量によって発生する回転
モーメントを相殺する弾機と、からなることを特徴とす
るものである。

【００１０】したがって、位置決め移動手段により第１
と第２ハウジングのいずれか一方を相対的に移動させる
ことにより、前記第１嵌合穴部が球体を介して第２嵌合
穴部に相対的に押圧して位置決めしクランプされるの
で、第１ハウジングおよび第２ハウジングは固定側に高
い剛性で位置決め固定される。また、第１と第２ハウジ
ングのアンクランプ時には、位置決め移動手段により第
１と第２ハウジングのいずれか一方を反対方向へ移動せ
しめ、加工工具側は付勢手段を介して第１ハウジングお
よび第２ハウジングにより支持されるので、発生する振
動は付勢手段により吸収され、コンパクトで軽量に防振
される。さらには、防振時に発生する加工工具側に重量
による回転モーメントをキャンセルするように作用す
る。

【００１１】請求項２によるこの発明の防振装置は、請
求項１記載の防振装置において、前記第１嵌合穴部及び
第２嵌合穴部が、前記球体を当接可能な円錐部分又は球
面部分を有していることを特徴とするものである。

【００１２】したがって、第１嵌合穴部及び第２嵌合穴
部が円錐部分を有している場合は、接触が点のみで支え
ることになるが、４点であるので問題なく、しかも円錐
部分の加工は容易である。第１嵌合穴部及び第２嵌合穴
部が球面部分を有している場合は、第１ハウジングおよ
び第２ハウジングがクランプされるときに更に確実に第
１嵌合穴部及び第２嵌合穴部の中心に位置決めされる。

【００１３】請求項３によるこの発明の防振装置は、請
求項１又は２記載の防振装置において、前記第１と第２
ハウジングの組合せが、垂直方向の振動方向に対して防
振すべく第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部を上下方向に配
置して構成してなることを特徴とするものである。

【００１４】したがって、第１嵌合穴部及び第２嵌合穴
部を上下方向に配置しているので、前記第１と第２ハウ
ジング間の付勢手段により垂直方向の振動方向に対して
防振される。

【００１５】請求項４によるこの発明の防振装置は、請
求項１、２又は３記載の防振装置において、前記第１と
第２ハウジングの組合せが、垂直方向の振動方向に対し
て防振すべく第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部を上下方向
に配置して構成したものと、水平方向の振動方向に対し
て防振すべく第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部を水平方向
に配置して構成したものと、からなることを特徴とする
ものである。

【００１６】したがって、第１嵌合穴部及び第２嵌合穴
部を上下方向に配置しているので、前記第１と第２ハウ
ジング間の付勢手段により垂直方向の振動方向に対して
防振されると共に、第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部を水
平方向に配置しているので、前記第１と第２ハウジング
間の付勢手段により水平方向の振動方向に対して防振さ
れる。パンチング加工時の振動に対して、万全の備えが
可能となる。

【００１７】請求項５によるこの発明の防振装置は、請
求項１〜４のうちのいずれか一つに記載の防振装置にお
いて、前記第１と第２ハウジングの周囲に、球体と第１
嵌合穴部及び第２嵌合穴部との当たり面を防塵すべく被
覆するシール材を設けてなることを特徴とするものであ
る。

【００１８】したがって、位置決め時の球体と第１嵌合
穴部及び第２嵌合穴部との当たり面がシール材により防
塵されているので、例えば当たり面を損傷することな
く、長期間にわたってレーザ加工装置では安定した位置
決めが行われる。

【００１９】請求項６によるこの発明の防振装置は、請
求項１〜５のうちのいずれか一つに記載の防振装置にお
いて、前記位置決め移動手段に前記第１と第２ハウジン
グのいずれか一方を押圧して移動せしめる押圧部を設
け、この押圧部に防振材を介設してなることを特徴とす
るものである。

【００２０】したがって、第１と第２ハウジングのクラ
ンプ時もアンクランプ時のいずれの場合でも、防振材に
より何らかの振動に対する防振となり、位置決め移動が
確実なものとなる。

【００２１】請求項７によるこの発明のパンチ・レーザ
複合加工機は、パンチ加工へッドおよびレーザ加工ヘツ
ドを備えたＹ軸キャレッジをＹ軸方向へ移動・位置決め
して、パンチング加工またはレーザ加工を行うパンチ・
レーザ複合加工機であって、前記Ｙ軸キャレッジ側に設
けられて一端に第１嵌合穴部を備えた第１ハウジング
と、前記第１嵌合穴部に当接する球体と、レーザ加工ヘ
ツド側に設けられて前記球体を介して前記第１嵌合穴部
に対向して前記球体に当接可能な第２嵌合穴部を備えた
第２ハウジングと、前記第１と第２嵌合穴部のいずれか
一方を前記球体から常時離反する方向に付勢する付勢手
段と、前記第１嵌合穴部に球体を介して第２嵌合穴部を
相対的に押圧して位置決めすべく前記第１と第２ハウジ
ングのいずれか一方を移動せしめる位置決め移動手段
と、からなることを特徴とするものである。

【００２２】したがって、位置決め移動手段により第１
と第２ハウジングのいずれか一方を相対的に移動させる
ことにより、前記第１嵌合穴部が球体を介して第２嵌合
穴部に相対的に押圧して位置決めしクランプされるの
で、第１ハウジングおよび第２ハウジングはＹ軸キャレ
ッジ側に位置決め固定される。また、第１と第２ハウジ
ングのアンクランプ時には、位置決め移動手段により第
１と第２ハウジングのいずれか一方を反対方向へ移動せ
しめ、レーザ加工ヘツド側は付勢手段を介して第１ハウ
ジングおよび第２ハウジングにより支持されるので、発
生する振動は付勢手段により吸収され、コンパクトで軽
量に防振される。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。

【００２４】図１〜図４を参照するに、本実施の形態に
係わる防振装置１は、例えば構造物であるパンチ・レー
ザ複合加工機のフレーム３の側面に、Ｙ軸方向（図１に
おいて左右方向）に移動自在に設けられている移動機構
５に適用されている。

【００２５】この移動機構５では、フレーム３の側面に
上下一対のＹ軸ガイド７Ｕ、７Ｌがフレーム３に沿って
水平に設けられている。また、上下のＹ軸ガイド７Ｕ、
７Ｌの間には、Ｙ軸ボールネジ９が水平に設けられてお
り、図示省略の軸受けにより回転自在に設けられてい
る。なお、図示はしないが、Ｙ軸ボールネジ９はＹ軸駆
動モータにより回転駆動される。

【００２６】前記上下のＹ軸ガイド７Ｕ、７Ｌに沿って
移動自在のスライダ１１により、図２に示されているよ
うに断面略Ｕ字状のＹ軸キャレッジ１３が水平方向（図
１において左右方向）に移動自在に設けられている。こ
のＹ軸キャレッジ１３の中央部の凹部に突出して、前述
したＹ軸ボールネジ９に螺合するナット部材１５が取り
付けられている。

【００２７】固定側としてのＹ軸キャレッジ１３の前面
（図２及び図３において右側面）には、防振装置１を介
して、加工工具側であるベースプレート１７が取り付け
られており、このベースプレート１７の前面にはレーザ
加工へッド１９と図示省略のパンチ加工ヘツドが設けら
れている。

【００２８】レーザ加工ヘッド１９は、ベースプレート
１７の前面に上下方向に設けられているガイド２１に沿
ってＺ軸キャレッジ２３を介してＺ軸方向（図２及び図
３において上下方向）ヘ移動・位置決め自在に設けられ
ている。図４に示されているようにＺ軸昇降駆動装置２
５により上下移動・位置決めするようになっている。

【００２９】すなわちＺ軸昇降駆動装置２５としては、
ベースプレート１７の前面にＺ軸駆動モータ２７が設け
られており、このＺ軸駆動モータ２７により駆動される
Ｚ軸ボールネジ２９が上下方向に延伸して設けられてお
り、Ｚ軸軸受け３１により回転自在に設けられている。
前記Ｚ軸キャレッジ２３の図４において左側縁には前述
したＺ軸ボールネジ２９に螺合するナット部材３３がＺ
軸ブラケット３５を介して取り付けられている。

【００３０】また、レーザ加工ヘッド１９の上方には、
図示省略のレーザ発振器から送られているレーザ光ＬＢ
をレーザ加工へッドに導くＺ軸ミラー３７がベンドミラ
ーブラケット３９を介してベースプレート１７の前面に
設けられている。なお、レーザ加工ヘッド１９は通常用
いられているものなので、詳細な説明は省略する。

【００３１】従って、図示省略のＹ軸駆動モータにより
Ｙ軸ボールネジ９を回転駆動すると、このＹ軸ボールネ
ジ９に螺合したナット部材１５が移動するので、Ｙ軸キ
ャレッジ１３がＹ軸ガイド７Ｕ、７Ｌに沿ってＹ軸方向
へ移動して、レーザ加工ヘッド１９がＹ軸方向に位置決
めされる。

【００３２】また、Ｚ軸駆動モータ２７によりＺ軸ボー
ルネジ２９を回転駆動すると、このＺ軸ボールネジ２９
に螺合したナット部材３３が移動するので、Ｚ軸キャレ
ッジ２３がガイド２１に沿ってＺ軸方向へ移動して、レ
ーザ加工ヘッド１９がＺ軸方向に位置決めされる。

【００３３】本発明の実施の形態の主要部を構成する防
振装置１においては、図５を併せて参照するに、Ｙ軸キ
ャレッジ１３の左右（図１において左右）両側に、図５
に示されているように上部部分に第１嵌合穴部としての
例えば上方へ広がる第１円錐穴部４１を有する第１ハウ
ジング４３Ｌ、４３ＲがボルトＢＴによりＹ軸キャレッ
ジ１３に取り付けられている。

【００３４】第１円錐穴部４１には球体４５が当接可能
に設けられており、球体４５を介して前記第１円錐穴部
４１に対向する位置に前記球体４５に当接可能な第２嵌
合穴部としての例えば第２円錐穴部４７を有する第２ハ
ウジング４９Ｌ、４９ＲがボルトＢＴによりベースプレ
ート１７の上部フランジ５１に取り付けられている。

【００３５】なお、第２ハウジング４９Ｌ、４９Ｒは、
第１円錐穴部４１と第２円錐穴部４７が常時互いに離反
する方向に付勢する付勢手段としての例えばスプリング
５３を介して本実施の形態では第２円錐穴部４７が球体
４５から離反するように上方向へ付勢されている。な
お、スプリング５３は第１ハウジング４３Ｌ、４３Ｒと
第２ハウジング４９Ｌ、４９Ｒとの間に設けられてい
る。

【００３６】また、第１ハウジング４３Ｌ、４３Ｒと第
２ハウジング４９Ｌ、４９Ｒの周囲は第１円錐穴部４１
と第２円錐穴部４７と球体４５との当たり面を防塵する
ためのシール材としての例えば円筒ゴム体５５により被
覆されている。

【００３７】また、図６を併せて参照するに、Ｙ軸キャ
レッジ１３のほぼ中央（図１においてほぼ中央）に、図
３に示されているように上部部分に位置決めシリンダ５
７がボルトＢＴによりＹ軸キャレッジ１３に取り付けら
れている。位置決めシリンダ５７のピストンロッド５９
がベースプレート１７の上部フランジ５１に設けた穴部
６１を通過して上方に突出され、この突出されたロッド
エンドには上部フランジ５１を下方へ引くために係合す
る係止部６３が設けられている。

【００３８】さらに、ロッドエンドの周囲には係止部６
３の上方にダンパ部材としての例えば防振用ゴム材６５
が嵌挿され、防振用ゴム材６５はロッドエンドの上部に
ボルトＢＴにて固定された押え板６７と上記の係止部６
３との間に挟み込むように構成されている。

【００３９】また、図３を参照するに、Ｙ軸キャレッジ
１３の上部には図３において右方に突設されたボルトシ
ャフト６９がベースプレート１７に設けた穴部７１を通
過して右方に突出されており、ボルトシャフト６９の突
出部分にはボルトシャフト６９のヘッド部とＹ軸キャレ
ッジ１３に当接する支持金具７３を介してスプリング７
５によりＹ軸キャレッジ１３とベースプレート１７との
位置が保持されるように構成されている。すなわち、単
なる位置決め固定のみならずスプリング７５は、Ｙ軸キ
ャレッジ１３に対して防振されるときに重量が発生する
ベースプレート１７の回転モーメントをキャンセルする
ように作用する。

【００４０】次に、動作説明をする。まず、レーザ加工
へッド１９によるレーザ加工時には、図６（Ａ）に示さ
れているように位置決めシリンダ５７のピストンロッド
５９を引き込んで、ベースプレート１７の上部フランジ
５１を下降せしめると、図５（Ａ）に示されているよう
に第２ハウジング４９Ｌ、４９Ｒがスプリング５３の付
勢力に抗して下降され、第２円錐穴部４７が球体４５に
嵌合してこの球体４５を下方へ押圧し、第１ハウジング
４３Ｌ、４３Ｒの第１円錐穴部４１に球体４５が嵌合し
て押圧されてクサビ効果を発生して位置決めが行われ、
ベースプレート１７がＹ軸キャレッジ１３にクランプさ
れた状態になる。

【００４１】続いて、パンチ加工時には、パンチング加
工に伴う振動がレーザ加工ヘッド１９に及ぼさないよう
にする。すなわち、位置決めシリンダ５７のピストンロ
ッド５９が図６（Ｂ）に示されているように上昇するこ
とにより、ベースプレート１７は図５（Ｂ）に示されて
いるようにスプリング５３の付勢力により浮上量Ａだけ
上昇すると、第２円錐穴部４７が球体４５から離反して
球体４５によるクサビ効果が解かれ、クランプが解除さ
れる。これによりベースプレート１７は自由となり、自
重はスプリング５３によって支持されるので、第１と第
２ハウジング４３，４９間に隙間ができるようになる。
したがって、パンチング加工時に発生する振動はスプリ
ング５３により吸収されるので、ベースプレート１７へ
の影響が伝わらない。

【００４２】また、Ｙ軸キャレッジ１３の左右（図１に
おいて左右）両側の下部部分には、水平方向の振動を吸
収するように構成された防振装置１が設けられており、
上述した防振装置１と同様の形態のものである。

【００４３】すなわち、図２に示されているように前述
した実施の形態と同じ形態の第１円錐穴部４１を有する
第１ハウジング４３Ｌ、４３ＲがボルトＢＴによりＹ軸
キャレッジ１３に取り付けられている。この場合は第１
円錐穴部４１が図２において右方へ拡がる方向に取り付
けられている。この第１円錐穴部４１に嵌合する球体４
５を介して対向して前記球体４５に嵌合可能な前述した
実施の形態と同じ形態の第２円錐穴部４７を有する第２
ハウジング４９Ｌ、４９Ｒがベースプレート１７の図２
において左面にボルトＢＴにより取り付けられている。
この第１ハウジング４３Ｌ、４３Ｒと第２ハウジング４
９Ｌ、４９Ｒとの組合せは前述した実施の形態と同様で
あるので、詳細な説明は省略する。

【００４４】さらに、図６を参照するに、Ｙ軸キャレッ
ジ１３のほぼ中央（図１においてほぼ中央）の下部部分
には、上部部分の位置決めシリンダ５７と同様の形態の
位置決めシリンダ５７が設けられているので、詳細な説
明は省略する。なお、上部部分の防振装置１は垂直方向
の振動を吸収するように構成されているのに対して、下
部部分の防振装置１は水平方向の振動を吸収するように
構成されており、この防振装置１の動作も同様である。

【００４５】以上の結果から、位置決め時には防振装置
１を固定することによりＸ軸、Ｙ軸方向の剛性を高める
ことができるため、軸パンチ・レーザ移動の移動式キャ
レッジに搭載して大きな加速度で使用することができ
る。また、構造がコンパクトなので、一種の加工ヘッド
のＸ軸オフセット量を小さくすることができると共にコ
ストダウンを図ることができる。

【００４６】また、パンチング加工時には、レーザ加工
へッド１９を防振装置１により固定せずにスプリング５
３を介して支持されるので、パンチング加工に伴う衝撃
を和らげることができ、Ｚ軸ミラー３７や集光レンズ等
がずれるのを防止することができるし、レーザ加工時に
はレーザ加工ヘッド１９を確実に位置決めするので、正
確な加工を行うことができる。

【００４７】なお、この発明は前述した実施の形態に限
定されることなく、適宜な変更を行うことによりその他
の態様で実施し得るものである。

【００４８】例えば、前述した実施の形態では、第１及
び第２ハウジング４３，４９の第１及び第２嵌合穴部と
しては円錐穴部であるが、その他に球体４５に嵌合可能
な球面部分を有しているものであっても構わない。

【００４９】また、前述した実施の形態では、垂直方向
の振動を吸収する防振装置と水平方向の振動を吸収する
防振装置との組合せであるが、垂直方向の防振装置のみ
の組合せであっても構わない。但し、両方向に対応する
効果は期待できないが、一応の機能は果たすことは、本
発明の説明から明瞭である。

【００５０】

【発明の効果】以上のごとき発明の実施の形態の説明か
ら理解されるように、請求項１の発明によれば、移動手
段により第１と第２ハウジングのいずれか一方を相対的
に移動させて第１嵌合穴部を球体を介して第２嵌合穴部
に相対的に押圧して位置決めしクランプするので、第１
ハウジングおよび第２ハウジングを固定側に高い剛性で
位置決め固定できる。また、第１と第２ハウジングのア
ンクランプ時には、位置決め移動手段により第１と第２
ハウジングのいずれか一方を反対方向へ移動せしめ、加
工工具側を付勢手段を介して第１ハウジングおよび第２
ハウジングにより支持することにより、振動は付勢手段
により吸収してコンパクトで軽量に防振できる。さらに
防振時に重量によって生じる回転モーメントを相殺する
ことができ、確実な防振を期待できる。

【００５１】請求項２の発明によれば、第１嵌合穴部及
び第２嵌合穴部が円錐部分を有している場合は、円錐部
分を容易に加工できる。第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部
が円錐部分と球面部分のいずれを有している場合も、第
１ハウジングおよび第２ハウジングをクランプするとき
は確実に第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部の中心に位置決
めできる。

【００５２】請求項３の発明によれば、第１嵌合穴部及
び第２嵌合穴部を上下方向に配置しているので、第１と
第２ハウジング間の付勢手段により垂直方向の振動方向
に対して防振できる。

【００５３】請求項４の発明によれば、第１嵌合穴部及
び第２嵌合穴部を上下方向に配置しているので、前記第
１と第２ハウジング間の付勢手段により垂直方向の振動
方向に対して防振でき、且つ第１嵌合穴部及び第２嵌合
穴部を水平方向に配置しているので、前記第１と第２ハ
ウジング間の付勢手段により水平方向の振動方向に対し
て防振できる。

【００５４】請求項５の発明によれば、位置決め時の球
体と第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部との当たり面をシー
ル材により防塵しているので、例えばレーザ加工装置で
は安定した位置決めを行うことができる。

【００５５】請求項６の発明によれば、第１と第２ハウ
ジングのクランプ時もアンクランプ時も、防振材により
何らかの振動に対して防振できる。

【００５６】請求項７の発明によれば、移動手段により
第１と第２ハウジングのいずれか一方を相対的に移動さ
せて第１嵌合穴部を球体を介して第２嵌合穴部に相対的
に押圧して位置決めしクランプするので、第１ハウジン
グおよび第２ハウジングをＹ軸キャレッジ側に高い剛性
で位置決め固定できる。また、第１と第２ハウジングの
アンクランプ時には、移動手段により第１と第２ハウジ
ングのいずれか一方を反対方向へ移動せしめ、レーザ加
工ヘッド側を付勢手段を介して第１ハウジングおよび第
２ハウジングにより支持することにより、振動は付勢手
段により吸収してさらには防振時に重量により発生する
ベースプレートの回転モーメントをキャンセルしてコン
パクトで軽量に防振できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る防振装置を用いたパンチ・レーザ
加工ヘツドを取り付けるＹ軸キャレッジから視た正面図
である。

【図２】図１の矢視ＩＩ−ＩＩ線の断面図である。

【図３】図１の矢視ＩＩＩ−ＩＩＩ線の断面図である。

【図４】本発明に係る防振装置を用いたレーザ加工ヘツ
ドを取り付けるＺ軸キャレッジから視た正面図である。

【図５】図２のＶ部の拡大詳細図で、（Ａ）はクランプ
時の状態図で、（Ｂ）はアンクランプ時の状態図であ
る。

【図６】図３のＶＩ部の拡大詳細図で、（Ａ）はクラン
プ時の状態図で、（Ｂ）はアンクランプ時の状態図であ
る。

【符号の説明】

１ 防振装置 ５ 移動機構 １３ Ｙ軸キャレッジ １７ ベースプレート １９ レーザ加工ヘッド ２３ Ｚ軸キャレッジ ２７ Ｚ軸駆動モータ ３７ Ｚ軸ミラー ４１ 第１円錐穴部（第１嵌合穴部） ４３ 第１ハウジング ４５ 球体 ４７ 第２円錐穴部（第２嵌合穴部） ４９ 第２ハウジング ５３ スプリング（付勢手段） ５５ 円筒ゴム体（シール材） ５７ 位置決めシリンダ（移動手段） ５９ ピストンロッド ６３ 係止部 ６５ 防振用ゴム材（防振材） ６７ 押え板

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定側と加工工具側の間に設けられて、
   振動の伝達を防止する防振装置であって、前記固定側に
   設けられて一端に第１嵌合穴部を備えた第１ハウジング
   と、前記第１嵌合穴部に当接する球体と、加工工具側に
   設けられて前記球体を介して前記第１嵌合穴部に対向し
   て前記球体に当接可能な第２嵌合穴部を備えた第２ハウ
   ジングと、前記第１と第２嵌合穴部のいずれか一方を前
   記球体から常時離反する方向に付勢する付勢手段と、前
   記第１嵌合穴部に球体を介して第２嵌合穴部を相対的に
   押圧して位置決めすべく前記第１と第２ハウジングのい
   ずれか一方を移動せしめる位置決め移動手段と、防振時
   に重量によって生じる回転モーメントを相殺する弾機
   と、からなることを特徴とする防振装置。
2. 【請求項２】 前記第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部が、
   前記球体を当接可能な円錐部分又は球面部分を有してい
   ることを特徴とする請求項１記載の防振装置。
3. 【請求項３】 前記第１と第２ハウジングの組合せが、
   垂直方向の振動方向に対して防振すべく第１嵌合穴部及
   び第２嵌合穴部を上下方向に配置して構成してなること
   を特徴とする請求項１又は２記載の防振装置。
4. 【請求項４】 前記第１と第２ハウジングの組合せが、
   垂直方向の振動方向に対して防振すべく第１嵌合穴部及
   び第２嵌合穴部を上下方向に配置して構成したものと、
   水平方向の振動方向に対して防振すべく第１嵌合穴部及
   び第２嵌合穴部を水平方向に配置して構成したものと、
   からなることを特徴とする請求項１、２又は３記載の防
   振装置。
5. 【請求項５】 前記第１と第２ハウジングの周囲に、球
   体と第１嵌合穴部及び第２嵌合穴部との当たり面を防塵
   すべく被覆するシール材を設けてなることを特徴とする
   請求項１〜４のうちのいずれか一つに記載の防振装置。
6. 【請求項６】 前記位置決め移動手段に前記第１と第２
   ハウジングのいずれか一方を押圧して移動せしめる押圧
   部を設け、この押圧部に防振材を介設してなることを特
   徴とする請求項１〜５のうちのいずれか一つに記載の防
   振装置。
7. 【請求項７】 パンチ加工へッドおよびレーザ加工ヘツ
   ドを備えたＹ軸キャレッジをＹ軸方向へ移動・位置決め
   して、パンチング加工またはレーザ加工を行うパンチ・
   レーザ複合加工機であって、前記Ｙ軸キャレッジ側に設
   けられて一端に第１嵌合穴部を備えた第１ハウジング
   と、前記第１嵌合穴部に当接する球体と、レーザ加工ヘ
   ツド側に設けられて前記球体を介して前記第１嵌合穴部
   に対向して前記球体に当接可能な第２嵌合穴部を備えた
   第２ハウジングと、前記第１と第２嵌合穴部のいずれか
   一方を前記球体から常時離反する方向に付勢する付勢手
   段と、前記第１嵌合穴部に球体を介して第２嵌合穴部を
   相対的に押圧して位置決めすべく前記第１と第２ハウジ
   ングのいずれか一方を移動せしめる位置決め移動手段
   と、Ｙ軸キャリッジに対しての防振時に重量によって発
   生する回転モーメントを相殺する弾機と、からなること
   を特徴とするパンチ・レーザ複合加工機。