JP2002237095A - 光情報記録媒体 - Google Patents

光情報記録媒体

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JP2002237095A
JP2002237095A JP2001031499A JP2001031499A JP2002237095A JP 2002237095 A JP2002237095 A JP 2002237095A JP 2001031499 A JP2001031499 A JP 2001031499A JP 2001031499 A JP2001031499 A JP 2001031499A JP 2002237095 A JP2002237095 A JP 2002237095A
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Nobuaki Onaki
伸晃 小名木
Hiroko Tashiro
浩子 田代
Masato Harigai
眞人 針谷
Hajime Yuzurihara
肇 譲原
Kazunori Ito
和典 伊藤
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Ricoh Co Ltd
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Ricoh Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 記録層の組成を変更することなく記録線速度
を高め、記録マークの保存信頼性の悪化を防止でき、し
かも高速記録時のジッターを低く保持して、繰り返し書
き換え特性を高く保持することのできる光情報記録媒体
を提供すること。 【解決手段】 透明基板、下部誘電体保護層、相変化型
記録層、上部誘電体保護層及び反射放熱層を有する光情
報記録媒体において、該相変化型記録層を、AgInS
bTe系組成からなる溶融消去型記録層とし、該上部誘
電体保護層を、ZnOを主成分とする保護層とすること
を特徴とする光情報記録媒体。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光情報記録媒体に
関し、さらに詳しくは、相変化型光記録ディスク等、光
ビームを照射することにより記録層に光学的な変化を生
じさせ、情報の記録、再生を行い、かつ書き換えが可能
な相変化型光情報記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】レーザービームの照射による情報の記
録、再生及び消去が可能な光情報記録媒体の一つとし
て、結晶―非晶質間の転移を利用する、いわゆる相変化
型光情報記録媒体が知られている。また、書き換え型C
Dとしては、CD−RW等が実用化されている。この場
合、その記録層としては、AgInSbTe記録層をZ
nS−SiO2保護層で挟み、さらに反射放熱層とし
て、Al合金を用いた4層構成の薄膜を透明なプラスチ
ック基板の上にスパッタリング法で成膜して、ディスク
とするのが一般的である。CD−RW等の記録型ディス
クは、より高速に情報を記録することが求められてお
り、そのためには、記録層のAgInSbTe系材料の
結晶化速度を速くする必要がある。そこで、AgInS
bTe組成によって結晶化速度は変化するので、使用目
的に応じた組成設計をすることが求められる。
【0003】従来、AgInSbTe記録層の結晶化速
度を速くするためには、Inを増やす、Agを減らす等
の手法が採られている。しかし、組成のみで結晶化速度
を上げていくと、非晶質化が困難となり、記録感度が悪
化すること、このことにより繰り返し書き換え回数が悪
化するという問題があった。結晶化速度が速くなるとい
うことは、本質的に結晶性が強くなって、非晶質になり
難い組成になっていくことから、記録感度が悪化するこ
とになるのである。また、4元組成の内、特定組成のみ
が大きく変化すると、偏析を防ぐことのできる組成から
ずれていくことになり、繰り返し書き換え性が悪くなる
ことになる。このように、記録材料の組成を変化させて
結晶化速度を向上させるには限界があるのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来の問題点を解消し、記録層の組成を変更することな
く記録線速度を高め、記録マークの保存信頼性の悪化を
防止でき、しかも高速記録時のジッタを低く保持して、
繰り返し書き換え特性を高く保持することのできる光情
報記録媒体を提供することをその課題とするものであ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
を解決するために、記録層と保護層に着目して鋭意検討
を重ねた結果、本発明を完成するに到った。
【0006】すなわち、本発明によれば、透明基板、下
部誘電体保護層、相変化型記録層、上部誘電体保護層及
び反射放熱層を有する光情報記録媒体において、該相変
化型記録層を、AgInSbTe系組成からなる溶融消
去型記録層とし、該上部誘電体保護層を、ZnOを主成
分とする保護層とすることを特徴とする光情報記録媒体
が提供される。
【0007】本発明には、該相変化記録層を、ZnOを
主成分とする25nm以下の厚さの誘電体保護層で挟持
するものである光情報記録媒体、該相変化型記録層が、
Sb 3Teを主材とする溶融結晶化材料から形成され、
該材料中に、Geを2原子%以上、Ag及びInを10
原子%以下で含有するものである光記録媒体、該相変化
型記録層の結晶状態の電気伝導度が、Ag5In8Sb57
Te30よりも小さいものである光情報記録媒体及び該Z
nOを主成分とする該電体保護層中のZnOの含有率
が、50重量%以上であって、他の酸化物及び窒化物を
含み、かつSi系物質を含まないものである情報記録媒
体が含まれる。
【0008】
【発明の実施の形態】AgInSbTe系記録層に直接
触れ合うように、結晶化を促進する材料を敷設するもの
である。記録層は、記録時に600℃付近まで上昇する
ので、この温度で安定な材料、具体的には、ZnO系の
誘電体材料を用いる。ZnOがAgInSbTe系記録
層と触れ合っているように構成することにより、結晶化
速度の向上が果たせた。なお、記録層の結晶化を促進す
る層が記録層に触れ合うことによって、記録された非晶
質マークの結晶化も速くなって、記録された情報の保存
安定性が損なわれることになる。そこで、この問題を解
決するには、温度によって大きく結晶化速度が異なる性
質を有する添加物として、Geを記録層に添加すること
により防ぐことができるという知見を得た。
【0009】AgInSbTe系記録材料を用いる相変
化型光記録ディスクは、一般的に、透明基板上に、Zn
S−SiO2からなる下部誘電体保護層、AgInSb
Te系相変化型記録層、ZnO系上部誘電体保護層及び
Al合金系反射放熱層の構成となっている。レーザー光
を照射して、記録層を昇温し、レーザー光を断って急冷
することにより、非晶質化して記録マークが形成され
る。また、記録パワーの半分程度のレーザー光の照射で
昇温後、徐冷すると、溶融後結晶化して記録マークの消
去が行われる。
【0010】AgInSbTe系記録層の熱は主とし
て、上部誘電体保護層が比較的薄いことと、反射放熱層
の熱伝導率がよいことから、上部誘電体保護層側の界面
から伝わる。このため、上部誘電体保護層側の界面から
記録層は冷却され、凝固し始める。したがって、こちら
の側に結晶核になるようなものが存在すると、結晶化時
に結晶成長が膜全体としては早く終了することになる。
すなわち、高速結晶化が果たされることになる。
【0011】AgInSbTe系記録層の結晶核になり
得るためには、結晶系が近いこと、格子定数が近いこと
などが要求される。このことから、従来、一般的なZn
S−SiO2系保護層は、非晶質に近い、微細結晶であ
るといわれており、結晶核には適さないものとされてい
る。その他、窒化シリコンや窒化アルミニウム等の代表
的な透明誘電体保護膜においては、スパッタリング膜は
非晶質であって、結晶核とはなり得ない。硫化亜鉛は、
スパッタ膜が結晶質であって、結晶核になり得るが、膜
の安定性が乏しく、書き換え時の600℃程度の昇温
で、膜の結晶粒が粗大化する等の変化を生じ、繰り返し
記録回数が大幅に劣化するものである。
【0012】ZnOは、ZnSが有する不安定さがな
く、これらの欠点がないものである。同一の記録層に対
して、上部誘電体保護層をZnS−SiO2からZnO
に代えることにより、記録可能線速度が2割以上向上す
ることが確認できた。この両者の記録マークとその周辺
の透過型電子顕微鏡像を比較すると、記録層の結晶状態
の平均粒径が、ZnO保護膜の場合の方が微細であっ
た。これは、微視的に見た場合、結晶の成長速度自体は
ZnS−SiO2とZnOで変わりはないが、ZnOが
隣にあると、結晶核が多く生成して、速く膜の結晶化が
進行することを意味している。このことは、AgInS
bTe系記録層の特徴である溶融結晶化であることに由
来する高い記録マークの位置精度と、GeSbTe系材
料に代表される固相結晶化による高速結晶化が両立でき
ることを意味する。
【0013】AgInSbTe系は、結晶化するときも
非晶質化するときも、共に溶融させるのであり、記録、
消去時の温度差が小さく、熱干渉が少なくなり、記録密
度を向上させやすく、記録マークの位置精度が高いこと
になる。GeSbTe系に代表される、結晶化を固相で
行う材料系は、微細な結晶核が多く生成して結晶化が進
行するので、結晶化の本質的な速度は、遅くとも全体と
しては速く結晶化が完了する。
【0014】AgInSbTe系溶融結晶化材料に、Z
nO系の結晶核生成層を接することにより、記録膜を溶
融して徐冷すると、微細な結晶核が多数記録層に形成さ
れ、全体として結晶化速度が高速化する。
【0015】このため、記録層組成を変更せずに結晶化
を速くし、高速記録できるようになる。また、AgIn
SbTe系記録層組成を高速結晶化させれば、さらにデ
ィスクの記録速度を上げることができる。
【0016】図1に、本発明の一実施例の光情報記録媒
体の層構成の概念図を示す。図1で、図示されない案内
溝を有するポリカーボネート基板1上に、下部誘電体保
護層2、AgInSbTe系相変化記録層3、ZnO系
上部誘電体保護層4、Al合金反射放熱層5がスパッタ
リングによって形成され、この上に紫外線硬化性樹脂に
よる樹脂接着層6を介して、透明なポリカーボネート基
板からなる貼り合せ用基板7の構成となっている。
【0017】スパッタリングは、枚葉式スパッタ装置を
用いる。ターゲットは、直径200mm、成膜圧力は、
誘電体と記録層は0.2Pa、反射層は0.7Paの圧
力で成膜した。投入電力は、誘電体はRF 3kW、記
録層はDC 0.3kW、反射層はDC 4kWであ
る。記録再生は660nm、NA 0.65の光ピック
アップを用い、ランダムなデジタルデータをEFM+変
調して、記録密度0.267um/bitで行う。この
とき、再生信号のデータと、クロックとの間のジッター
が10%未満で記録できる最高の記録線速度を測定す
る。
【0018】記録パワー、消去パワー、レーザー光の記
録波形は、各ディスクごとに最適化した。記録波形(記
録レーザーのパルスパターン)を図2に示す。各種ディ
スクと、最高記録線速度の関係を表1に示す。
【0019】
【表1】 同じ記録層組成に対して、下部誘電体保護層側でも効果
はあるが、ZnO保護膜を反射層側に用いた方が、線速
度が大きく向上する。表2に、同じ膜構成に対して記録
層組成を変化させた場合を示す。ZnO保護膜を用いた
場合も、記録組成で結晶化速度を変えることができる。
【表2】
【0020】なお、高線速記録時に良好なジッターを得
るためには、記録時のレーザー光の熱がにじまないよう
にしなければならない。ZnOの熱伝導度は、ZnS−
SiO2よりもよいために、熱にじみに対しては不利に
なる。これを押さえるために、記録層自身の熱伝導度を
小さくする必要がある。記録層は、結晶状態では電気伝
導度が熱伝導と相関があるので、記録層組成設計には、
結晶状態での電気伝導が小さくなるようにしていけばよ
い。少なくとも、一般的なAgInSbTe系材料であ
るAg5In8Sb57Te30よりも電気伝導度を小さくし
なければ、良好なジッターはえられ難い。この組成の場
合、−4乗Ωcm台の電気伝導度である。
【0021】Geの添加は電気伝導度、すなわち熱伝導
率を小さくする添加物である。表2の1のような、Ag
InSbTe組成の高速媒体は、ZnO保護膜を用いる
と、記録マークの保存信頼性が若干劣るものとなる。こ
の欠点は、記録層にGeを添加することにより大きく改
善することが可能である。その例が、表2の3、4であ
る。これらは、1、2にくらべ、記録マークのアーカイ
バル保存特性が80℃で2倍以上の時間であり、問題な
い。具体的には、1000時間後もエラーが完全定性可
能な範囲であった。表3には、ZnOに他の誘電体を添
加した場合を示す。膜構成と記録層組成を固定してい
る。他の誘電体を添加すると、くり返し書き換え回数が
大きく影響されるので、これについて示したものであ
る。
【表3】
【0022】ZnOに他の誘電体を加えても、ZnOの
効果はある。したがって、熱特性の調整等のために他の
誘電体を混合してもよい。例えば、Al23、AlN、
ZnSeを混合することができる。しかし、SiO2
代表されるSi系の材料は避ける必要がある。AgIn
SbTe系材料はSiが混入すると、著しく繰り返し書
き換え特性が劣化する。そのため、直接触れ合う誘電体
保護層にSiO2が入ることは好ましくない。ただし、
ZnS−SiO2の場合だけは、混合して非晶質に近い
緻密な強い膜になるため、記録層へのSiの侵入がほと
んど生じないようである。しかし、Si34などの保護
膜では、繰り返し書き換え特性は著しく劣化するので
ZnOへのSi系材料の添加は避けるべきである。
【0023】表1のディスクに対して、ZnO保護膜に
SiO2を20原子%添加すると、くり返し書き換え回
数が30%程度低下した。この結果からも、Siを避け
る必要があることは明らかである。
【0024】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳しく
説明するが、これら実施例によって本発明はなんら限定
されるものではない。
【0025】実施例1 溝幅0.23μm、溝ピッチ0.74μm、厚さ0.6
mmのポリカーボネート基板に、スパッタリングにより
4層の薄膜を成膜した。第1層は、ZnS−20mol
%SiO2:80nm、第2層は、Ag0.5In3.
0 Sb71.0 Te23.0 Ge2.5(原子
%):16nm、第3層は、ZnO:16nm、第4層
は、Ag:150nm(純度4N)である。この膜の上
に、紫外線硬化樹脂をスピンコートし、紫外線を照射し
て硬化させた。このディスクを、0.6mmのポリカー
ボネート基板と接着剤で貼り合わせてディスクとした。
このディスクを、縦2μm、横100μm、パワー75
0mWの大口径レーザーにて、AgInSbTeGe記
録層を初期結晶化させて、ディスクを完成させた。この
ディスクに、660nm、NA0.65の光ピックアッ
プを持つドライブで記録再生を行った。記録データはE
FM+変調され、記録密度は0.267μm/bitと
した。記録時の線速度を8.5m/sとした。記録ピー
クパワーを14.5mWとして、1000回もの書き換
えを行った。このときのデータと、クロックの間のジッ
ターはTで規格化して、8%と良好であった。8.5m
/s記録は、DVDの2.5倍速であり、記録型DVD
として、高速で良好な記録速度が得られた。なお、この
記録層の結晶状態の電気伝導度は、−4乗Ωcm台以下
であった。
【0026】実施例2 溝幅0.23μm、溝ピッチ0.74μm、厚さ0.6
mmのポリカーボネート基板に、スパッタリングにより
4層の薄膜を成膜した。第1層は、ZnS−20mol
%SiO2:80nm、第2層は、Ag0.5In4.
5 Sb68.0 Te24.0 Ge3.0(原子
%):14nm、第3層は、ZnO−5重量%Al
23:18nm、第4層は、Ag:150nm(純度4
N)である。この膜の上に、紫外線硬化樹脂をスピンコ
ートし、紫外線を照射して硬化させた。このディスク
を、0.6mmのポリカーボネート基板と接着剤で貼り
合わせてディスクとした。このディスクを縦2μm、横
100μm、パワー750mWの大口径レーザーにて、
AgInSbTeGe記録層を初期結晶化させて、ディ
スクを完成させた。このディスクに、660nm、NA
0.65の光ピックアップを持つドライブで記録再生を
行った。記録データはEFM+変調され、記録密度は
0.267μm/bitとした。記録時の線速度を8.
5m/sとした。記録ピークパワーを14.0mWとし
て、1000回もの書き換えを行った。このときのデー
タと、クロックの間のジッターはTで規格化して、9%
と良好であった。8.5m/s記録は、DVDの2.5
倍速であり、記録型DVDとして、高速で良好な記録速
度が得られた。なお、この記録層の結晶状態の電気伝導
度は、−4乗Ωcm台以下であった
【0027】
【発明の効果】本発明によれば、記録層組成を変更せず
に記録線速度を高め、結晶化促進層の副作用である記録
マークの保存信頼性の悪化を防止でき、しかも高線速記
録時のジッターを低く保持して、高線速記録時の繰り返
し書き換え特性を高く保持することができる光情報記録
媒体が提供され、この記録分野に寄与するところはきわ
めて大きいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光情報記録媒体の一例を示す概念図で
ある。
【図2】記録レーザーのパルスパターンを示す図であ
る。
【符号の説明】
1 基板 2 下部誘電体保護層 3 相変化型記録層 4 上部誘電体保護層 5 反射放熱層 6 樹脂接着層 7 貼合わせ基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B41M 5/26 B41M 5/26 X (72)発明者 針谷 眞人 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 譲原 肇 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 伊藤 和典 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 Fターム(参考) 2H111 EA04 EA12 EA23 EA33 EA40 FA01 FA12 FA14 FA18 FA21 FA25 FA28 FB05 FB09 FB12 FB17 FB21 FB30 5D029 JA01 JC20 LA14 LA16 LA17 LB01 LB07 NA23

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 透明基板、下部誘電体保護層、相変化型
    記録層、上部誘電体保護層及び反射放熱層を有する光情
    報記録媒体において、該相変化型記録層を、AgInS
    bTe系組成からなる溶融消去型記録層とし、該上部誘
    電体保護層を、ZnOを主成分とする保護層とすること
    を特徴とする光情報記録媒体。
  2. 【請求項2】 該相変化記録層を、ZnOを主成分とす
    る25nm以下の厚さの誘電体保護層で挟持するもので
    ある請求項1に記載の光情報記録媒体。
  3. 【請求項3】 該相変化型記録層が、Sb3Teを主材
    とする溶融結晶化材料から形成され、該材料中に、Ge
    を2原子%以上、Ag及びInを10原子%以下で含有
    するものである請求項1又は2に記載の光情報記録媒
    体。
  4. 【請求項4】 該相変化型記録層の結晶状態の電気伝導
    度が、Ag5In8Sb57Te30よりも小さいものである
    請求項1〜3のいずれかに記載の光情報記録媒体。
  5. 【請求項5】 該ZnOを主成分とする該電体保護層中
    のZnOの含有率が、50重量%以上であって、他の酸
    化物及び窒化物を含み、かつSi系物質を含まないもの
    である請求項1〜4のいずれかに記載の光情報記録媒
    体。
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