JP2002233713A - ろ過装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボール取付用Ｏリングを必要としない耐久性
に優れたシール部を有するろ過装置を提供する。 【解決手段】 ハウジングヘッド１０と、ハウジングヘ
ッドに着脱自由に取り付けられ、カートリッジフィルタ
１を周囲から囲んで流路壁を形成するハウジングボール
１１と、ハウジングヘッドとハウジングボールとを押し
付けるように付勢して締結する締結手段１２とを備え、
ハウジングヘッドは、ハウジングボールに面する部分に
ハウジングヘッドシール部を備え、ハウジングボール
は、締結手段の付勢力によってハウジングヘッドシール
部３２，４２に直接当接することによってシール部３
３，３４を形成するハウジングボールシール部３１，４
１を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体、食品、薬
品等の各分野で用いられるろ過装置に関し、より具体的
には、精密ろ過の目的を確実に達成したうえで、ハウジ
ングボール取付用シール部に用いられるＯリングの省略
をはかった高耐久性のろ過装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電子部品、食品、薬品、純水等を製造す
る各分野では、精密ろ過を目的とするろ過装置が広範に
用いられている。例えば、電子部品の洗浄には高純度の
薬液が用いられているが、これらの薬液に不純物、特に
金属粉等が混入すると微細な半導体集積回路の配線間に
短絡等を生じ、正常な機能を期待することができない。
一方、例えば、半導体製造時の洗浄に用いられる薬液
は、繰り返し使用することが可能であり、資源保護、環
境対策、また、半導体装置の製造コスト低減の観点から
洗浄液を循環させて使用している。この循環使用に際し
て、上記のように、洗浄−薬液回収の過程で金属パーテ
ィクル等が混入するので、混入物をフィルタで除去する
ことが行われる。使用初期には、清浄であったフィルタ
も、使用期間が長くなるとろ過残滓が残留して汚れてゆ
き、やがては目詰まりを起こし、ろ過が充分行われなく
なる。このため、上記ろ過装置のフィルタは、ろ過能力
が所定レベルまで低下する期間を設定して定期的に交換
される。この交換のたびに、ろ過装置はシールを破られ
て開放され、カートリッジフィルタの交換がなされる。

【０００３】図１２は、従来のろ過装置を説明するため
の図である。このろ過装置は、入口１１４と出口１１５
とを備えるハウジングヘッド１１０と、そのハウジング
ヘッドに着脱自由に取り付けられるカートリッジ１０１
と、そのカートリッジを取り囲んで流路壁を構成するハ
ウジングボール１１１とを備えている。ハウジングヘッ
ド１１０とハウジングボール１１１とによって、ハウジ
ング１１３が構成される。カートリッジフィルタ１０１
は、取付部１０８に嵌合されたＯリング１２１を、ハウ
ジングヘッドに設けられたフィルタ取付部１２５に押し
込んで嵌め合せることにより、シールを形成しながら着
脱自在の取り付けを実現している。ハウジングボール１
１１の上端部に設けられたＯリング溝１３１に収納され
たＯリング１２２を、ハウジングヘッドから下方に突き
出ているフランジ部１３２に当て、袋ナット１１２を螺
合させて締め付ける。この螺合により、Ｏリングとフラ
ンジ先端とは互いに相手を押し付け合い、シール部が形
成される。すなわち、Ｏリング１２２とハウジングヘッ
ドのフランジ部１３２との間でシールが形成される。ハ
ウジングヘッドには、エア抜き口および圧力計接続口１
１６，１１７，１１８が設けられ、またハウジングボー
ル１１１には排液口１１９が設けられている。

【０００４】入口１１４から導入されたろ過対象の液体
は、カートリッジフィルタ１０１を通過する際にろ過さ
れて、フィルタ取付部１２５を経て出口１１５から出て
行く。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ろ過装置において、カートリッジフィルタ１０１を交換
する際、パーティクル混入防止を徹底するために、従来
は、シールを形成するＯリング１２２も交換していた。
例えば、フッ素ゴム単体で構成されるＯリング１２２は
きわめて高価であり、また、内側がゴムで、外側がフッ
素樹脂製のＯリングでも相当な価格である。高価なＯリ
ングをカートリッジフィルタ交換のたびに交換すること
は、価格競争力が低下して好ましくなく、また、廃棄物
増大につながるのでエコロジーの観点からも好ましくな
い。また、フッ素ゴムを用いないＯリングが組み込まれ
ている場合には、Ｏリング自体からパーティクル等の異
物が混入するおそれがある。このため、ハウジングヘッ
ドとハウジングボールとの間のシールを構成するＯリン
グの交換頻度が少ない、または交換を不要とするシール
構造を有するろ過装置の開発が望まれてきた。

【０００６】そこで、本発明は、ハウジングボール取付
用シールを形成するＯリングを必要とせず、しかもカー
トリッジフィルタ交換の際、またはその他の機会にパー
ティクル等の混入するおそれがない、耐久性に優れたシ
ール部を有するろ過装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のろ過装置は、入
口と出口とが設けられたハウジングヘッドと、ハウジン
グヘッドに着脱自由に取り付けられ、カートリッジフィ
ルタを囲んで流路壁を形成するハウジングボールと、ハ
ウジングヘッドとハウジングボールとを押し付けるよう
に付勢して締結する締結手段とを備え、ハウジングヘッ
ドは、ハウジングボールに面する部分に設けられたハウ
ジングヘッドシール部を備え、また、ハウジングボール
は、締結手段の付勢力によってハウジングヘッドシール
部に直接当接することによってシール部を形成するハウ
ジングボールシール部を備えている（請求項１）。

【０００８】ハウジングヘッドシール部とハウジングボ
ールシール部とが、直接当接してシール部を形成するの
で、Ｏリングを用いずに簡素な構造によりシール部を形
成することができる。このため、Ｏリングからの不純物
の混入を防止することができ、さらにＯリングを用いな
いので、部材コストを削減することができる。

【０００９】上記本発明のろ過装置では、ハウジングヘ
ッドシール部およびハウジングボールシール部は、リン
グ状に延在し、一方が突き出した凸状部であり、他方が
その凸状部と当接する凹状の溝部であり、シール部は、
少なくとも２本の円状シール部である（請求項２）。

【００１０】少なくとも２本の円状シール部を形成する
ことにより、安定性の高いシールを形成することができ
る。例えば、ろ過対象を熱硫酸等とした場合でも、安心
してろ過を行うことが可能になる。ここで、上記の２本
の「円状シール」は、円状的な部分という程度の意味
で、その線の断面は大きさを有するものであり、厳密な
意味での線ではない。すなわち、どのような材料も大小
はあるが弾性変形が可能であり、上記付勢力によりシー
ル部では弾性変形が生じ、大きさのあるシール部が形成
されている。

【００１１】上記の構成により、Ｏリングを用いること
なく、確実なシールを実現することができ、高価なＯリ
ングを交換する必要性がなくなる。また、Ｏリングから
不純物が混入する可能性をなくすことができる。この結
果、安価で、超精密ろ過に適したハウジングボール取付
用シール部を備えたろ過装置を提供することが可能とな
る。また、これらの凸状部および凹状溝は、型材を作製
しておけば押出し成形等により容易に製造することがで
きる。すなわち、従来のＯリング溝と同程度の加工コス
トで製造することができる。また、カートリッジフィル
タの交換の際の開放および組み立てにおける操作も、非
常に容易である。この結果、Ｏリングを用いることな
く、確実なシール部を構成することが可能となる。

【００１２】上記本発明のろ過装置では、凹状の溝部
は、凸状部に押し付け合うことにより、その幅を弾性的
に広げ、その復元力によって、凸状部とシール部を形成
している（請求項３）。

【００１３】凸状部を溝部に締結手段により押し込むこ
とにより、凹状部は弾性変形してその幅を広げ、その復
元力によって凸状部との間に、２本の確実なシール部を
形成することができる。上記の構成により、ろ過装置の
製造およびろ過装置の組み立てと開放との操作が、非常
に簡単なものとなる。

【００１４】本発明のろ過装置では、ハウジングヘッド
シール部およびハウジングボールシール部は、一方が突
き出した凸状部であり、他方が、その凸状部が押し付け
られ、弾性変形して凸状部とシール部を形成する受け面
である（請求項４）。

【００１５】凸状部と受け面とが押し付け合い、受け面
がその押し付け力によって、撓（しな）るように弾性的
に反り、その復元力によって、凸状部とシール部を形成
する。このシール部も完全な線状ではなく、当接部分の
弾性変形によって帯状にシール部が形成される。この帯
状部分では高い押付力によってその反力が生じ、その結
果、摩擦力がシール面に沿って生じる。このため、凸状
部と受け面との間にはすべり等は発生しない。このた
め、凸状部と受け面とは安定した相対位置関係を安定し
て維持することができる。このため、ハウジングヘッド
とハウジングボールとの間のシールにＯリングを用いる
ことなく、確実なシール部を形成することができる。こ
のため、シール部の構造が簡明になり、シール部関連部
材の加工コストが安価になる。また、カートリッジフィ
ルタ交換に伴う部品交換費用が安価になり、さらに、Ｏ
リング溝等に付着して混入するパーティクル等の異物混
入を防止することができる。廃棄物の量を減らすという
エコロジーの立場からも好ましいものとなる。

【００１６】上記本発明のろ過装置では、シール部を形
成する受け面は、凹状の面である（請求項５）。

【００１７】受け面を凹状とすることにより、凸状部と
受け面とが当たり、弾性変形を始める際の上記摩擦力が
小さい段階において、すべり等の不安定性を排除するこ
とができる。また、凸状部の先端を受け面の凹形状に適
合させることにより、弾性変形後のシール形成部の帯の
形状を上記交差する断面において弧状として、実質的な
その幅長さ、すなわち弧の長さを大きくすることができ
る。この結果、確実なシールを安定して得ることが可能
となる。

【００１８】上記本発明のろ過装置では、ろ過装置を構
成する、ハウジングヘッド、カートリッジフィルタおよ
びハウジングボールのいずれもが、フッ素樹脂で形成さ
れている（請求項６）。

【００１９】上記構成により、ろ過装置からの不純物の
混入は極力避けられ、その結果、超高純度のろ過を遂行
することができる。従来のろ過装置では、Ｏリングにフ
ッ素ゴムを用いていたので、その価格は非常に高いもの
であった。したがって、上記本発明のろ過装置は、通常
の従来のろ過装置に比べて低製造コストとすることがで
きたが、上記超高純度のろ過装置の場合、最大のコスト
低減を得ることができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。

【００２１】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１に係るろ過装置を説明する図面である。このろ過
装置は、入口１４と出口１５とを有するハウジングヘッ
ド１０と、入口から出口にいたる流路に介在してろ過す
るカートリッジフィルタ１と、カートリッジフィルタを
囲んで流路の外壁を形成するハウジングボール１１とを
備えている。ハウジングヘッド１０とハウジングボール
１１とによって、ハウジング１３が構成される。ハウジ
ングボール１１は、袋ナット１２に係合され、袋ナット
を螺合させ締め付ける際に、ハウジングボールの上端部
２８はハウジングヘッドの突出部であるフランジ部２９
に押し当てられ、シール部を形成する。ハウジングヘッ
ドシール部である、フランジ部の凸状部３２は、ハウジ
ングボールシール部である、上端部２８の凹状の溝３１
に嵌め合わされている。上記袋ナット１２は、上記のシ
ール部を形成するための付勢力を発現する締結手段であ
り、また、ハウジングボール１１をハウジングヘッド１
０に取り付け固定する役割を有する。

【００２２】上記のハウジングヘッド、ハウジングボー
ル、カートリッジフィルタの上下キャップや筒はＰＦＡ
からなり、プリーツ状フィルタはＰＴＦＥから、また袋
ナットはＰＶＤＦから構成されている。また、カートリ
ッジフィルタに嵌め合わされているＯリング２１は、２
本ともフッ素ゴムによって形成されている。上記材料は
すべてフッ素系樹脂またはフッ素ゴムであり、耐食性に
おいて最も優れた材料構成の１つとなっている。

【００２３】図２は、図１のＡ部拡大図である。ハウジ
ングボールの上端部２８に、ハウジングボールシール部
である凹状の溝３１が設けられ、この凹状の溝３１に、
ハウジングヘッドシール部である凸状部３２が嵌め合わ
されている。図２において、この凸状部３２の幅、すな
わち、上記シール線に交差する断面における厚みは、凹
状の溝３１、すなわち上記断面における溝の幅よりも少
し厚めに構成されている。このため、凸状部３２を溝３
１に押し込むと、凹状の溝３１は、少し弾性変形してそ
の上端部を広げ、復元力を生じ、図２に示すように、内
側のシール点３３および外側のシール点３４が、形成さ
れている。なお、シール点は２点でなくてもよく、例え
ば、さらに凸状部先端と溝最深部とが当接してシール点
を形成し、合計３点のシール点としてもよい。

【００２４】図３は、ハウジングヘッドにカートリッジ
フィルタを取り付けようとしている状態の図である。カ
ートリッジフィルタの取付部８にはＯリング２１が２つ
嵌め合わされており、このＯリングをハウジングヘッド
１０のフィルタ取付部２５に嵌め入れることにより、カ
ートリッジフィルタ１はろ過装置に着脱自由に組み込ま
れる。図４は、カートリッジフィルタ１が、上記のよう
に、取り付けられた後に、ハウジングボール１１をハウ
ジングヘッド１０に取り付けようとしている状態の図で
ある。袋ナット１２はハウジングボール１１の上端部２
８と係合しており、この袋ナットをハウジングヘッド１
０のフランジ部２９のねじに螺合させ締め付けることに
より、フランジ部先端の凸状部３２を、上端部２８に設
けた凹状の溝３１に嵌め合せる。この嵌め合せによって
形成されるシール部が、図２におけるシール点３３，３
４である。

【００２５】上記の構造により、少なくとも２点でシー
ル点を形成することにより、確実なシール部を安定して
得ることができる。このため、高価なフッ素ゴム製のＯ
リングを用いることなく、簡明な構造でシールを形成す
ることができ、部材コスト、加工コストを節減でき、ま
た、Ｏリング等からの不純物の混入を防止することがで
きる。さらに、廃棄物を少なくできるので、エコロジー
の立場から見ても好ましい。

【００２６】（実施の形態２）本発明の実施の形態２に
おいて示すシール部構造は、ハウジングボール上端部２
８に設けた凹状の溝（ハウジングボールシール部）の幅
よりも、フランジ部２９の凸状部３２（ハウジングヘッ
ドシール部）の厚みが、実施の形態１の場合よりも大き
い。図５（ａ）では、ハウジングボール上端部２８とフ
ランジ部２９とが離れている状態を示し、また、図５
（ｂ）では、ハウジングボール上端部２８とフランジ部
２９とが押し付けられて、２つのシール部３３，３４を
形成している。この２点３３，３４は、凸状部の厚みが
非常に厚いために、溝の上端点で接触し、この上端点に
形成されている。

【００２７】図５（ａ），（ｂ）において、内側シール
点３３の側の壁が削られている部分３５は液溜まり防止
のために削られている。内側の壁を削ると、剛性が減り
弾性的に柔らかくなり上記凸状部３２の押し込みにも比
較的小さな力で弾性変形し、復元力が生じて、シール点
３３，３４の形成が容易となる。

【００２８】上記のシール部の構造によっても、Ｏリン
グを用いることなく、確実なシールを得ることができ
る。また、部材コスト、加工コストの節減、不純物の混
入防止、エコロジー適合性等、実施の形態１と同様の効
果を得ることができる。

【００２９】（実施の形態３）図６は、本発明の実施の
形態３におけるろ過装置のシール部の断面図である。図
６において、フランジ部２９の凸状部３２は、上記交差
する断面においてナイフエッジ状に突き出ており、ナイ
フエッジの辺とハウジングボール上端部２８の溝の縁と
が押し当てられてシール部３３，３４を形成している。
このシール部３３，３４も溝の上端点に形成されてい
る。上記シール構造によって、実施の形態１および２の
ろ過装置と同様な効果を得ることができる。

【００３０】（実施の形態４）図７は、本発明の実施の
形態４におけるろ過装置のシール部の断面図である。図
７においては、溝３１の幅がフランジ部２９の凸状部３
２の幅よりも大きくされている。このような場合でも、
シール点３３，３４が形成され、Ｏリングを用いること
なく良好なシール部を得ることができる。ここで、凸状
部３２はフランジ部の巾（板厚）と同じであるが、この
ような場合でも凸状部という。なお、溝３１には、応力
集中緩和部３１ａが設けられ、応力集中によって破壊し
にくいように配慮されている。

【００３１】（実施の形態５）図８は、本発明の実施の
形態５におけるろ過装置のシール部を示す図である。こ
のシール部は、フランジ部２９の端面に凹状の溝４２
（ハウジングヘッドシール部）を設け、逆にハウジング
ボール上端部２８に凸状部４１（ハウジングボールシー
ル部）を設け、上記のフランジ部に設けた凹状の溝４２
に嵌め合せる。この構成によっても、２つのシール部３
３，３４を形成することができ、Ｏリングを用いずに、
確実なシール部を得ることができる。

【００３２】（実施の形態６）図９は、本発明の実施の
形態６におけるろ過装置のシール部を説明する図であ
る。ハウジングボール上端部２８に設けられている受け
面５１に、フランジ部２９の先端の凸状部５２が押し当
てられ、ハウジングボール上端部２８は、撓（しな）る
ように弾性的に反り、その復元力によりシール部が形成
される。この当接部は弾性変形しているので、帯状のシ
ール部が形成されている。このような、簡便な構成によ
っても、良好なシール性を有するシール部を形成するこ
とができる。上記のシール部を用いることにより、Ｏリ
ングを用いることなく、確実なシールを得ることができ
る。また、部材コスト、加工コストの節減、不純物の混
入防止、エコロジー適合性等、実施の形態１〜５と同様
の効果を得ることができる。

【００３３】（実施の形態７）図１０は、本発明の実施
の形態７におけるろ過装置のシール部を説明する図であ
る。本実施の形態では、ハウジングボール上端部２８の
外側に外向きの突起２８ａを設け、その突起部２８ａと
ハウジングヘッドのフランジ部２９とが当接する。この
当接部では、フランジ部２９が外向きに撓るように弾性
的に反り、また突起部２８ａが中心方向に押し込まれ、
その両方の反発力によってシールを強固なものにしてい
る。この当接部では、当接部の弾性変形が比較的大きい
ために、当接面の面積が広くなる。このため、簡明な構
造ではあるが、強固なシールを再現性よく得ることがで
きる。このようなのシール構造により、Ｏリングを用い
ることなく、確実なシールを得ることができる。また、
部材コスト、加工コストの節減、不純物の混入防止、エ
コロジー適合性等、実施の形態１〜６と同様の効果を得
ることができる。

【００３４】上記本発明の実施の形態７の変形例とし
て、図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示すシール部の
構造のものがある。図１１（ａ）のシール部は、フラン
ジ部のシール形成部分が球面状または凹状に窪んでお
り、ハウジングボール上端部の突起部２８ａが球面状に
突き出ている。両者を嵌め合わせるように当接させるこ
とにより、非常に強固なシールが形成される。また、図
１１（ｂ）は、フランジ部２９の端部を全体的に窪ま
せ、ハウジングボール上端部の突起部が当接する箇所は
平面的な傾斜面としている。このような平面的な傾斜面
と球面的な突起部との当接構造は、損傷を受け難く、耐
久性の高いシールを形成することができる。

【００３５】（シール部のシール性評価）上記の本発明
の実施の形態１〜７の各ろ過装置のシール部のシール性
を評価した。 評価方法：ハウジングヘッド１０とハウジングボール１
１とを所定の力で互いに押し付け合ってシール部を形成
して評価を行った。シール部の直径は１１０ｍｍで、互
いに押し付け合う力は、１２００Ｎとした。ハウジング
ヘッド１０とハウジングボール１１とを押し付け合った
状態を保って、水槽中に浸漬し、ハウジングヘッドの入
口１４から圧力０．１ＭＰａの窒素ガスを導入し、出口
１５から排出させた。このとき、各ろ過装置のシール部
から窒素洩れがないかどうかにより、評価した。 結果： 上記の評価を行ったところ、全てのろ過装置、
すなわち、実施の形態１〜７におけるいずれのろ過装置
においても、上記窒素ガスの洩れが生じていない評価を
得ることができた。

【００３６】上記において、本発明の実施の形態につい
て説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の
形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら
発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特
許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の
範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更
を含むものである。

【００３７】

【発明の効果】本発明のろ過装置を用いることにより、
Ｏリングを用いることなく、確実で耐久性のあるシール
部を形成することができる。このシール部の構造は、簡
明であるので、加工コスト、部品コストを低減し、Ｏリ
ングから不純物が混入するのを防止することができる。
また、廃棄物を減らすので、地球環境に対しても望まし
いものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１におけるろ過装置を示
す図である。

【図２】 図１のＡ部拡大図である。

【図３】 実施の形態１のろ過装置のハウジングヘッド
にカートリッジフィルタを取り付けようとする状態を示
す図である。

【図４】 図３の段階から引き続いて、ハウジングヘッ
ドにハウジングボールを取り付けようとする状態を示す
図である。

【図５】 本発明の実施の形態２におけるろ過装置のシ
ール部の構造を示す図である。（ａ）は、ハウジングボ
ール上端部とハウジングヘッドフランジ部とが離れた状
態を示す図であり、（ｂ）は、ハウジングボール上端部
とシール部とがシール部を形成した状態を示す図であ
る。

【図６】 本発明の実施の形態３におけるろ過装置のシ
ール部の構造を示す図である。

【図７】 本発明の実施の形態４におけるろ過装置のシ
ール部の構造を示す図である。

【図８】 本発明の実施の形態５におけるろ過装置のシ
ール部の構造を示す図である。

【図９】 本発明の実施の形態６におけるろ過装置のシ
ール部の構造を示す図である。

【図１０】 本発明の実施の形態７におけるろ過装置の
シール部の構造を示す図である。

【図１１】 （ａ）は、本発明の実施の形態７における
ろ過装置のシール部の変形した構造を示す図であり、ま
た（ｂ）は、同シール部のさらに別の変形構造を示す図
である。

【図１２】 従来のろ過装置のシール部の構造を示す図
である。

【符号の説明】

１ カートリッジフィルタ、８ 取付部、１０ ハウジ
ングヘッド、１１ ハウジングボール、１２ 袋ナッ
ト、１３ ハウジング、１４ 入口、１５ 出口、２１
カートリッジフィルタ取付部Ｏリング、２５ 取付
部、２８ ハウジングボール上端部、２８ａ ハウジン
グボール上端部の突起部、２９ フランジ部、３１ ハ
ウジングボール上端部の溝（ハウジングボールシール
部）、３１ａ応力集中緩和部、３２ フランジ部先端の
凸状部（ハウジングヘッドシール部）、３３ 内側シー
ル点、３４ 外側シール点、４１ ハウジングボール上
端部の凸状部（ハウジングボールシール部）、４２ フ
ランジ部先端の溝（ハウジングヘッドシール部）。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入口と出口とが設けられたハウジングヘ
   ッドと、 前記ハウジングヘッドに着脱自由に取り付けられ、カー
   トリッジフィルタを囲んで流路壁を形成するハウジング
   ボールと、 前記ハウジングヘッドとハウジングボールとを押し付け
   るように付勢して締結する締結手段とを備え、 前記ハウジングヘッドは、前記ハウジングボールに面す
   る部分に設けられたハウジングヘッドシール部を備え、
   また、 前記ハウジングボールは、前記締結手段の付勢力によっ
   て前記ハウジングヘッドシール部に直接当接することに
   よってシール部を形成するハウジングボールシール部を
   備えている、ろ過装置。
2. 【請求項２】 前記ハウジングヘッドシール部および前
   記ハウジングボールシール部は、リング状に延在し、一
   方が突き出した凸状部であり、他方がその凸状部と当接
   する凹状の溝部であり、前記シール部は、少なくとも２
   本の円状シール部である、請求項１に記載のろ過装置。
3. 【請求項３】 前記凹状の溝部は、前記凸状部と押し付
   け合うことにより、その幅を弾性的に広げ、その復元力
   によって、前記凸状部と前記シール部を形成している、
   請求項１または２に記載のろ過装置。
4. 【請求項４】 前記ハウジングヘッドシール部および前
   記ハウジングボールシール部は、一方が突き出した凸状
   部であり、他方が、その凸状部が押し付けられ、弾性変
   形して凸状部とシール部を形成する受け面である、請求
   項１に記載のろ過装置。
5. 【請求項５】 前記シール部を形成する受け面は、凹状
   の面である、請求項４に記載のろ過装置。
6. 【請求項６】 前記ろ過装置を構成する、ハウジングヘ
   ッド、カートリッジフィルタおよびハウジングボールの
   いずれもが、フッ素樹脂で形成されている、請求項１〜
   ５のいずれかに記載のろ過装置。