JP2002228483A - 非接触型位置センサ - Google Patents
非接触型位置センサInfo
- Publication number
- JP2002228483A JP2002228483A JP2001022970A JP2001022970A JP2002228483A JP 2002228483 A JP2002228483 A JP 2002228483A JP 2001022970 A JP2001022970 A JP 2001022970A JP 2001022970 A JP2001022970 A JP 2001022970A JP 2002228483 A JP2002228483 A JP 2002228483A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic body
- magnetic
- position sensor
- magnet
- detected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
する磁力の強さが変動することのない出力特性の安定し
た非接触型位置センサを提供することを目的とするもの
である。 【解決手段】 第1の磁性体11における第1の磁気検
出部13と第2の磁性体20における第2の磁気検出部
24との間に位置して磁気検出素子27を設け、さら
に、第1の磁性体11における一端側11aおよび他端
側11bと第2の磁性体20における一端側20aおよ
び他端側20bとの間もしくは近傍に位置して被検出部
材31を設け、この被検出部材31を第1の磁性体11
における一端側11aおよび他端側11bと第2の磁性
体20における一端側20aおよび他端側20bとの間
もしくは近傍において第1の磁性体11および第2の磁
性体20の一端側から他端側に向かって直線的に往復動
作させる構成とした。
Description
直動位置を検出する非接触型位置センサに関するもので
ある。
ては、特開平5−264326号公報に開示されたもの
が知られている。
て、図面を参照しながら説明する。
である。
磁石である。2は長さ方向の位置によって幅が異なる二
等辺三角形状のパーマロイからなる磁性体で、磁石1の
上面に載置されている。3は軸で、磁石1を上面に載置
するとともに、溝部4を側面に設けている。5は摺動子
で、内側面に凸部6を設けており、この凸部6を軸3に
おける溝部4に嵌合させた状態で、軸3に摺動子5を軸
3の長手方向に摺動させている。7は磁電変換部で、摺
動子5の上面に載置されるとともに、磁性体2の幅にあ
わせた磁力の変化を検出している。また、磁電変換部7
には、リード線8を接続しており、このリード線8を相
手側コンピュータ等(図示せず)に接続している。
置センサについて、次に、その動作を説明する。
軸3が軸3の長手方向に移動すると、軸3の上面に二等
辺三角形形状の磁性体2を設けているため、磁電変換部
7に対する磁界の強さが変化する。そして、この磁界の
強さの変化を磁電変換部7により、電圧の変化に変換
し、リード線8を介して相手側コンピュータ等(図示せ
ず)に出力し、摺動子5の変位を検出するものである。
来の構成においては、軸3における溝部4に摺動子5に
おける凸部6を嵌合させた状態で、摺動子5を軸3に対
して摺動させる構成としたため、非接触型位置センサを
長期にわたって使用して、摺動子5に対して軸3を多数
回摺動させると、溝部4あるいは凸部6が磨耗すること
となり、したがって、磁電変換部7と磁性体2との距離
が変動することとなるから、磁電変換部7に対する磁力
の強さが変動することとなり、これにより、非接触型位
置センサの出力が不安定になってしまうという課題を有
していた。
で、長期にわたって使用しても、磁電変換部に対する磁
力の強さが変動することのない出力特性の安定した非接
触型位置センサを提供することを目的とするものであ
る。
に、以下の構成を有するものである。
性体における第1の磁気検出部と第2の磁性体における
第2の磁気検出部との間に位置して磁気検出素子を設
け、さらに前記第1の磁性体における一端側および他端
側と第2の磁性体における一端側および他端側との間も
しくは近傍に位置して被検出部材を設け、この被検出部
材を第1の磁性体における一端側および他端側と第2の
磁性体における一端側および他端側との間もしくは近傍
において第1の磁性体および第2の磁性体の一端側から
他端側に向かって直線的に往復動作させるようにしたも
ので、第1の磁性体における一端側および他端側と第2
の磁性体における一端側および他端側との間もしくは近
傍に位置して被検出部材を設けたため、被検出部材が非
接触型位置センサに対して全く摺接しないこととなり、
第1の磁性体および第2の磁性体と被検出部材との距離
が摺動磨耗により、変動することがないという作用を有
するものである。
ける一端側の幅を第2の磁性体における一端側の幅と略
等しくするとともに、第1の磁性体における他端側の幅
を第2の磁性体における他端側の幅と略等しくし、かつ
被検出部材の検出可能距離を第1の磁性体における一端
側の幅、第1の磁性体における他端側の幅および第1の
磁性体の一端側と他端側との間隙との和から被検出部材
における被検出部の長さを差し引いた距離としたもの
で、第1の磁性体および第2の磁性体における一端側の
被検出部材の移動方向の端部に被検出部材における被検
出部の一端が位置する部分から、第1の磁性体および第
2の磁性体における他端側の被検出部材の移動方向の端
部に被検出部材における被検出部の他端が位置する部分
まで、被検出部材が移動するため、移動距離の全域にわ
たって直線性の安定した出力特性が得られるという作用
を有するものである。
る被検出部の長さを第1の磁性体および第2の磁性体に
おける一端側および他端側の幅よりも長くしたもので、
この構成によれば、被検出部が第1の磁性体あるいは第
2の磁性体の近傍に位置する状態においても、被検出部
の直線的な微小な位置に対して、第1の磁性体および第
2の磁性体を通過する磁界が変化することとなり、出力
特性が安定するという作用を有するものである。
び第2の磁性体をコ字形状あるいはU字形状としたもの
で、この構成によれば、第1の磁性体における一端側を
第1の磁性体における他端側と幅方向に一直線上に設け
るとともに第2の磁性体における一端側を第2の磁性体
における他端側と幅方向に一直線上に設けることができ
るから、第1の磁性体および第2の磁性体における一端
側から第1の磁性体および第2の磁性体における他端側
への方向と被検出部材の移動方向を略平行に配置するこ
とができることとなり、第1の磁性体および第2の磁性
体における一端側および他端側に近傍させて被検出部材
における被検出部を移動させることができるため、非検
出位置センサの出力感度が向上するという作用を有する
ものである。
ける第1の磁気検出部に上方へ向かって突出する第1の
凸部を設けるとともに、第2の磁性体における第2の磁
気検出部に下方へ向かって突出する第2の凸部を設けた
もので、この構成によれば、第1の凸部および第2の凸
部に第1の磁石および第2の磁石により発生する磁力線
が集中するため、磁気検出素子から出力される出力の感
度が向上するという作用を有するものである。
ける第1の凸部および第2の磁性体における第2の凸部
の内側に凹部を設けたもので、この構成によれば、この
凹部に第1の磁石および第2の磁石により発生する磁力
線が通過しにくいため、第1の磁気検出部および第2の
磁気検出部に磁力線が集中することとなり、磁気検出素
子を通過する磁力線がさらに増加するから、磁気検出素
子から出力される出力の感度がさらに向上するという作
用を有するものである。
おける第1の磁気検出部の上面と第2の磁性体における
第2の磁気検出部の下面とにより磁気検出素子を挟持し
たもので、この構成によれば、磁気検出素子と第1の磁
気検出部および磁気検出素子と第2の磁気検出部とのク
リアランスがなくなるため、磁気検出素子から出力され
る出力信号の感度が向上するという作用を有するもので
ある。
ける非接触型位置センサについて、図面を参照しながら
説明する。
触型位置センサに被検出部材が配設された状態を示す斜
視図、図2は同非接触型位置センサを裏側からみた斜視
図である。
1の磁性体で、この第1の磁性体11は中間部12の上
面に第1の磁気検出部13を設けるとともに、この第1
の磁気検出部13に上方へ向かって突出する第1の突部
14を設け、さらにこの第1の凸部14の内側に間隙1
5を設けている。また、この第1の磁性体11の一端側
11aの上面に、例えばSmCoを主成分とする第1の
磁石16におけるN極17を固着するとともに、第1の
磁性体11における他端側11bにSmCoを主成分と
する第2の磁石18のS極19を固着している。20は
U字形状の第2の磁性体で、この第2の磁性体20は一
端側20aの下面に第1の磁石16におけるS極21を
固着するとともに、他端側20bの下面に第2の磁石1
8におけるN極22を固着し、かつ、中間部23の下面
に第1の磁気検出部13と対向するように第2の磁気検
出部24を設けている。また、第2の磁気検出部24に
は下方へ向かって突出する第2の凸部25を設け、さら
にこの第2の凸部25の内側に間隙26を設けている。
27は例えばホールICからなる磁気検出素子で、第1
の磁気検出部13と第2の磁気検出部24とにより挟持
されている。
2の磁気検出部24の下面とにより磁気検出素子27を
挟持したため、磁気検出素子27と第1の磁気検出部1
3および磁気検出素子27と第2の磁気検出部24との
クリアランスがなくなり、したがって、磁気検出素子2
7から出力される出力信号の感度が向上するという作用
効果を有するものである。
って突出する第1の凸部14を設けるとともに、第2の
磁気検出部24に下方へ向かって突出する第2の凸部2
5を設けたため、第1の凸部14および第2の凸部25
に第1の磁石16および第2の磁石18により発生する
磁力線が集中することとなり、したがって、磁気検出素
子27から出力される出力の感度が向上するため、非接
触型位置センサの出力特性が向上するという作用効果を
有するものである。
子28、出力端子29およびGND端子30が設けられ
ており、電源端子28は電源(図示せず)に電気的に接
続されるとともに、GND端子30はGND(図示せ
ず)に電気的に接続され、さらに出力端子29は、相手
側コンピュータ等(図示せず)に電気的に接続されてい
る。
径の大きな被検出部32を設けており、この被検出部3
2の長さを第1の磁性体11および第2の磁性体20に
おける一端側および他端側の幅よりも長くする構成とし
ている。
1aの幅を第2の磁性体20における一端側20aの幅
と略等しくするとともに、第1の磁性体11における他
端側11bの幅を第2の磁性体20における他端側20
bの幅と略等しくし、かつ被検出部材31の検出可能距
離を第1の磁性体11における一端側11aの幅、第1
の磁性体11における他端側11bの幅および第1の磁
性体11の一端側11aと他端側11bとの間隙との和
から被検出部材31における被検出部32の長さを差し
引いた距離としたもので、この構成によれば、第1の磁
性体11および第2の磁性体20における一端側の被検
出部材31の移動方向の端部に被検出部材31における
被検出部32の一端が位置する部分から、第1の磁性体
11および第2の磁性体20における他端側の被検出部
材31の移動方向の端部に被検出部材31における被検
出部32の他端が位置する部分まで、被検出部材31が
移動するため、したがって、移動距離の全域にわたって
出力特性の直線性が安定するという作用を有するもので
ある。
形態における非接触型位置センサについて、次にその組
立方法を説明する。
性体11の中間部に第1の凸部14および間隙15を形
成する。
1aの上面および他端側11bの上面に接着剤を塗布
し、一端側11aの上面に第1の磁石16のN極17を
固着した後、他端側11bの上面に第2の磁石18にお
けるS極19を固着する。
性体20の中間部23に第2の凸部25および間隙26
を形成する。
の凸部25を設け、第2の凸部25の内側に間隙26を
形成したため、この間隙26に第1の磁石16および第
2の磁石18により発生する磁力線が通過しにくくな
り、したがって、第2の磁気検出部24に磁力線が集中
するから、磁気検出素子27を通過する磁力線が増加す
ることとなり、これにより、磁気検出素子27における
出力端子29から出力される出力の感度が向上するた
め、非接触位置センサの出力特性が向上するという作用
効果を有するものである。
第2の磁性体20における一端側20aを接着剤により
固着するとともに、他端側20bを第2の磁石18にお
けるN極22に接着剤により固着する。
およびGND端子30が一体に形成された磁気検出素子
27を第1の磁性体11における第1の磁気検出部13
と第2の磁性体20における第2の磁気検出部24との
間に位置するように別部材(図示せず)により支持す
る。
た本発明の一実施の形態における非接触型位置センサに
ついて、次にその動作を図面を参照しながら説明する。
電源(図示せず)を接続するとともに、GND端子30
をGND(図示せず)に接地する。そして、被検出部3
2を設けた相手側軸からなる被検出部材31を第1の磁
性体11における一端側11aおよび他端側11bと第
2の磁性体20における一端側20aおよび他端側20
bとの間に配設した後、前記被検出部材31を直動させ
る。ここで、図3(a)に示すように、第1の磁性体1
1における一端側11aの幅をA、第1の磁性体11に
おける一端側11aと他端側11bとの間隙の幅をB、
第1の磁性体11における他端側11bの幅をC、被検
出部材31における被検出部32の長さをDとする。そ
して、磁性体11における一端側11aと他端側11b
との間隙の幅Bの中点に被検出部材31における被検出
部32の中点が位置するときを、被検出部材31の移動
位置0mmとする。まず、図3(a)に示すように、被
検出部材31の他端側の端部が第1の磁性体11におけ
る他端側11bの端部に位置する場合、すなわち、被検
出部材31の位置が−(C+B/2−D/2)の状態に
おいては、図3(a)に示すように、被検出部材31に
おける被検出部32が第2の磁石18の近傍に位置する
とともに、第1の磁石16から最も遠ざかることとなり
第2の磁石18におけるN極22から生じる磁力線が第
2の磁性体20における他端側20bから被検出部材3
1における被検出部32、第1の磁性体11における他
端側11bを介して第2の磁石18におけるS極19に
戻ることとなり、また、第1の磁石16におけるN極1
7から生じる磁力線は、第1の磁性体11における一端
側11aを介して第1の磁気検出部13から磁気検出素
子27を通過して、第2の磁性体20における第2の磁
気検出部24に到達し、さらに第2の磁性体20におけ
る一端側20aから第1の磁石16におけるS極21に
戻るものである。そして、図4に示すように、磁気抵抗
素子27における出力端子29の出力電圧は約0.7V
となる。
部32の長さDを第1の磁性体11および第2の磁性体
20における他端側の幅Cよりも長くしたため、被検出
部32が第1の磁性体11あるいは第2の磁性体20の
近傍に位置する状態においても、被検出部32の直線的
な微小な変位に対して、第1の磁性体11および第2の
磁性体20を通過する磁界が変化することとなり、した
がって、出力特性が安定するという作用効果を有するも
のである。
には、図3(b)に示すように被検出部材31における
被検出部32が、第1の磁石16および第2の磁石18
と等距離に位置することとなり、被検出部32への磁力
線が相殺されることとなり、第1の磁石16におけるN
極17から発生する磁力線が第1の磁性体11における
一端側11aから他端側11b(図示せず)に伝わり、
さらに第2の磁石18におけるS極19、N極22を介
して第2の磁性体20における他端側20bから一端側
20aに向かい、第1の磁石16におけるS極21に戻
るようにループすることとなっており、したがって、磁
気検出素子27には磁力線が通過しない状態となってい
る。そして、磁気検出素子27における出力端子29か
らの出力電圧は図4に示すように、約2.5Vになるも
のである。さらに、被検出部材31が位置(A+B/2
−D/2)mmの場合には、図3(c)に示すように、
被検出部材31が第1の磁石16の近傍に位置すること
となり、第1の磁石16におけるN極17から発生する
磁力線が第1の磁性体11における一端側11aを介し
て被検出部材31における被検出部32、さらには第2
の磁性体20における一端側20aを介して第1の磁石
16におけるS極21に戻ることとなる。また、第2の
磁石18におけるN極22から生じる磁力線は第2の磁
性体20の他端側20bから第2の磁気検出部24を介
して磁気検出素子27を上方から下方に向かって通過
し、第1の磁性体11における第1の磁気検出部13、
第1の磁性体11における他端側11bを介して第2の
磁石18におけるS極19に戻るものである。そして、
磁気検出素子27における出力端子29からの出力電圧
は図4に示すように、約4.3Vになる。すなわち、被
検出部材31における被検出部32が第2の磁石18の
近傍に位置する状態においては磁気検出素子27に対し
下方から上方に向かって磁力線が通過するのに対して、
被検出部材31における被検出部32が第1の磁石16
の近傍に位置する状態においては、磁気検出素子27に
対し上方から下方に向かって磁力線が通過するものであ
る。従って、被検出部材31の直線的な往復運動に伴
い、図3に示すように、磁気検出素子27における出力
端子29から位置に応じた出力信号が出力され、この出
力信号を相手側コンピューター(図示せず)等に入力し
て、被検出部材31における被検出部32の位置を検出
するものである。
って使用する場合を考えると、本発明の一実施の形態に
おける非接触型位置センサにおいては、第1の磁性体1
1における一端側11aおよび他端側11bと第2の磁
性体20における一端側20aおよび他端側20bとの
間もしくは近傍に位置して被検出部材31を設けたた
め、被検出部材31が非接触型位置センサに対して全く
摺接しないこととなり、したがって、第1の磁性体11
および第2の磁性体20と被検出部材との距離が摺動磨
耗により、変動することがないから、長期にわたり高精
度に位置検出可能な非接触型位置センサを提供すること
ができるという作用効果を有するものである。
体20をU字形状としたため、第1の磁性体11におけ
る一端側11aを第1の磁性体11における他端側11
bとを互いに幅方向に一直線上に設けるとともに、第2
の磁性体20における一端側20aを第2の磁性体20
における他端側20bとを互いに幅方向に一直線上に設
けることができるから、第1の磁性体11および第2の
磁性体20における一端側から第1の磁性体11および
第2の磁性体20における他端側の方向と被検出部材3
1の移動方向を略平行に配置することができることとな
り、したがって、第1の磁性体11および第2の磁性体
20における一端側および他端側に近接させて被検出部
材31における被検出部32を移動させることができる
から、被検出位置センサの出力感度が向上するという作
用効果を有するものである。
触型位置センサにおいては、第1の磁性体11および第
2の磁性体20をU字形状としたが、コ字形状としても
第1の磁石16と第2の磁石18とが互いに略平行に向
き合うこととなり、同様の効果を有するものである。
触型位置センサにおいては、第1の磁石16を固着する
一端側と第2の磁石18を固着する他端側との間を中間
部12とし、中間部12の略中央に第1の磁気検出部1
3を設ける構成としたが、中間部12における一端側あ
るいは他端側に偏った位置に第1の磁気検出部13を設
けても同様の効果を有するものである。
接触型位置センサにおいては、第1の磁性体11におけ
る第1の磁気検出部13に上方へ向かって突出する第1
の凸部14を設けるとともに、第2の磁性体20におけ
る第2の磁気検出部24に下方へ向かって突出する第2
の凸部25を設ける構成としたが、第1の磁気検出部1
3および第2の磁気検出部24を平面形状としても同様
の効果を有するものである。
接触型位置センサにおいては、相手側軸からなる被検出
部材31における被検出部32を円筒形状の構成とした
が、半円筒形状あるいは角柱形状としても同様の効果を
有するものである。
サは中間部の上面に第1の磁気検出部を設けた第1の磁
性体と、この第1の磁性体における一端側の上面にN極
を固着した第1の磁石と、前記第1の磁性体における他
端側の上面にS極を固着した第2の磁石と、一端側の下
面に前記第1の磁石におけるS極を固着するとともに他
端側の下面に前記第2の磁石におけるN極を固着しかつ
中間部の下面に前記第1の磁性体における第1の磁気検
出部と対向するように第2の磁気検出部を設けた第2の
磁性体とを備え、前記第1の磁性体における第1の磁気
検出部と第2の磁性体における第2の磁気検出部との間
に位置して磁気検出素子を設け、さらに前記第1の磁性
体における一端側および他端側と第2の磁性体における
一端側および他端側との間もしくは近傍に位置して被検
出部材を設け、この被検出部材を第1の磁性体における
一端側および他端側と第2の磁性体における一端側およ
び他端側との間もしくは近傍において第1の磁性体およ
び第2の磁性体の一端側から他端側に向かって直線的に
往復動作させるようにしたもので、この構成によれば、
第1の磁性体における一端側および他端側と第2の磁性
体における一端側および他端側との間もしくは近傍に位
置して被検出部材を設けたため、被検出部材が非接触型
位置センサに対して全く摺接しないこととなり、したが
って、第1の磁性体および第2の磁性体と被検出部材と
の距離が変動することがないから、長期にわたり高精度
に位置検出可能な非接触型位置センサを提供することが
できるという効果を有するものである。
ンサの斜視図
化する状態を示す図
Claims (7)
- 【請求項1】 中間部の上面に第1の磁気検出部を設け
た第1の磁性体と、この第1の磁性体における一端側の
上面にN極を固着した第1の磁石と、前記第1の磁性体
における他端側の上面にS極を固着した第2の磁石と、
一端側の下面に前記第1の磁石におけるS極を固着する
とともに他端側の下面に前記第2の磁石におけるN極を
固着しかつ中間部の下面に前記第1の磁性体における第
1の磁気検出部と対向するように第2の磁気検出部を設
けた第2の磁性体とを備え、前記第1の磁性体における
第1の磁気検出部と第2の磁性体における第2の磁気検
出部との間に位置して磁気検出素子を設け、さらに前記
第1の磁性体における一端側および他端側と第2の磁性
体における一端側および他端側との間もしくは近傍に位
置して被検出部材を設け、この被検出部材を第1の磁性
体における一端側および他端側と第2の磁性体における
一端側および他端側との間もしくは近傍において第1の
磁性体および第2の磁性体の一端側から他端側に向かっ
て直線的に往復動作させるようにした非接触型位置セン
サ。 - 【請求項2】 第1の磁性体における一端側の幅を第2
の磁性体における一端側の幅と略等しくするとともに、
第1の磁性体における他端側の幅を第2の磁性体におけ
る他端側の幅と略等しくし、かつ被検出部材の検出可能
距離を第1の磁性体における一端側の幅、第1の磁性体
における他端側の幅および第1の磁性体の一端側と他端
側との間隙との和から被検出部材における被検出部の長
さを差し引いた距離とした請求項1記載の非接触型位置
センサ。 - 【請求項3】 被検出部材における被検出部の長さを第
1の磁性体および第2の磁性体における一端側および他
端側の幅よりも長くした請求項2記載の非接触型位置セ
ンサ。 - 【請求項4】 第1の磁性体および第2の磁性体をコ字
形状あるいはU字形状とした請求項1記載の非接触型位
置センサ。 - 【請求項5】 第1の磁性体における第1の磁気検出部
に上方へ向かって突出する第1の凸部を設けるととも
に、第2の磁性体における第2の磁気検出部に下方へ向
かって突出する第2の凸部を設けた請求項1記載の非接
触型位置センサ。 - 【請求項6】 第1の磁性体における第1の凸部および
第2の磁性体における第2の凸部の内側に凹部を設けた
請求項5記載の非接触型位置センサ。 - 【請求項7】 第1の磁性体における第1の磁気検出部
の上面と第2の磁性体における第2の磁気検出部の下面
とにより磁気検出素子を挟持した請求項1記載の非接触
型位置センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001022970A JP4487428B2 (ja) | 2001-01-31 | 2001-01-31 | 非接触型位置センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001022970A JP4487428B2 (ja) | 2001-01-31 | 2001-01-31 | 非接触型位置センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002228483A true JP2002228483A (ja) | 2002-08-14 |
JP4487428B2 JP4487428B2 (ja) | 2010-06-23 |
Family
ID=18888308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001022970A Expired - Fee Related JP4487428B2 (ja) | 2001-01-31 | 2001-01-31 | 非接触型位置センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4487428B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007108108A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Advics:Kk | 張力センサ及び電動パーキングブレーキ |
KR101272010B1 (ko) * | 2011-06-07 | 2013-06-05 | 대성전기공업 주식회사 | 미소 변위 측정 센서 |
-
2001
- 2001-01-31 JP JP2001022970A patent/JP4487428B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007108108A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-04-26 | Advics:Kk | 張力センサ及び電動パーキングブレーキ |
KR101272010B1 (ko) * | 2011-06-07 | 2013-06-05 | 대성전기공업 주식회사 | 미소 변위 측정 센서 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4487428B2 (ja) | 2010-06-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5493216A (en) | Magnetic position detector | |
JP5535139B2 (ja) | 近接センサ | |
US6690158B2 (en) | Position sensor for electromagnetic actuator to detect a position of a shaft | |
CA2513831A1 (en) | Magnetic position sensor with integrated hall effect switch | |
JP6300506B2 (ja) | 可変磁気コレクタを使用する位置センサ | |
WO2001044757A1 (fr) | Capteur de position sans contact | |
EP1146319B1 (en) | Position transducer | |
US7573361B2 (en) | Solenoid actuator and biaxial actuator | |
JP3666441B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2002228483A (ja) | 非接触型位置センサ | |
JP2003344007A (ja) | 位置検出センサ | |
US11181394B2 (en) | Distance measuring device | |
US7026809B2 (en) | Magnetic sensor for detecting position and/or speed of a mobile target | |
JPH06229708A (ja) | 無接触式直線変位センサ | |
JP5675009B2 (ja) | 位置検出装置 | |
US20050184725A1 (en) | Magnetically operable displacement pickup | |
JP3642291B2 (ja) | 磁気ヘッド | |
JP4945886B2 (ja) | 位置検出センサ | |
JP2007071724A (ja) | 変位検出装置およびこの装置を用いた荷重検出装置 | |
WO2013054384A1 (ja) | 位置検出装置 | |
JPS594300Y2 (ja) | 磁気センサ− | |
WO2004113845A1 (ja) | 非接触ポジションセンサ | |
JPH0510336Y2 (ja) | ||
JP4487427B2 (ja) | 非接触型位置センサ | |
JPH04160315A (ja) | リニア型位置センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071213 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080115 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091119 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100309 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100322 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130409 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140409 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |