JP2002222903A - 半導体パッケージ及び半導体装置 - Google Patents

半導体パッケージ及び半導体装置

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JP2002222903A
JP2002222903A JP2001019241A JP2001019241A JP2002222903A JP 2002222903 A JP2002222903 A JP 2002222903A JP 2001019241 A JP2001019241 A JP 2001019241A JP 2001019241 A JP2001019241 A JP 2001019241A JP 2002222903 A JP2002222903 A JP 2002222903A
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sealing member
outer lead
semiconductor
die
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Yasuhito Suzuki
康仁 鈴木
Haruo Shimamoto
晴夫 島本
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、半導体パッケージを比較的簡易な
構造にて基板上に積層可能として、なおかつ、半導体パ
ッケージの下面におけるダイパッドに蓄積される熱を効
果的に放熱することにより、信頼性の高い高密度実装が
可能な半導体パッケージ及び半導体装置を提供すること
にある。 【解決手段】 ダイ6と、ダイパッド2と、複数のアウ
ターリード1と、アウターリード1に電気接続されたボ
ンディングワイヤ4とを、ダイ6側に上面3aを形成し
ダイパッド2側に下面3bを形成する封止部材3により
封止した半導体パッケージ10であって、アウターリー
ド1は、封止部材3の上下面3a、3bと同じ面方向に
それぞれ電気的接続面1a、1bを有し、アウターリー
ド1の高さを、封止部材3の上面3aの高さより高くな
るように形成したものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体パッケー
ジ及び半導体装置に関するものであり、特に、QFNパ
ッケージ(プラスチック極薄型クワッド・フラット・ノ
ンリード・パッケージ)と呼ばれる半導体パッケージ及
び半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図9(A)は、従来のQFNパッケージ
としての半導体パッケージを示す概略図である。図9
(A)において、1はアウターリード、3は封止部材と
しての樹脂部材、3aは封止部材上面、10は半導体パ
ッケージを示す。一方、図9(B)は、同図(A)のX
Z平面又はYZ平面における概略断面図である。図9
(B)において、1はアウターリード、1bはアウター
リード下接続面、2はダイ6を固定するダイパッド、3
は封止部材としての樹脂部材、3aは封止部材上面、3
bは封止部材下面、4はダイ6とアウターリード1とを
電気的に接続するためのボンディングワイヤ、5はダイ
6とダイパッド2とを接合する接合材としてのはんだ、
6はダイ(シリコンチップ)、10は半導体パッケージ
を示す。そして、半導体パッケージ10におけるアウタ
ーリード1のアウターリード下接続面1bを、図示せぬ
実装基板の表面に対向させて、さらに、それらの接触部
分にはんだ等の接合材を介在させることで、半導体パッ
ケージ10を実装基板上に実装している。
【0003】また、特開平5-183103号公報等に
おいては、図示を省略するが、高密度実装を目的とし
て、メモリチップが実装された実装基板の裏側に凹部を
設けて実装基板自体を積層する技術等が開示されてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術におい
ては、既に述べたように、半導体パッケージのアウター
リードの接続面が、パッケージの下面側一方にのみしか
設けられていなかった。そのため、半導体パッケージを
積層するには、わざわざそのための別の部材を設けなけ
ればならず、高密度化が要求される昨今の半導体装置に
おいては、そのことが一つの障壁となっていた。
【0005】また、アウターリードの接続面はパッケー
ジの下面側のみに設けられているために、実装基板への
実装方向は限定されていた。すなわち、半導体パッケー
ジの下面を、常に実装基板表面に対向させて実装させて
いた。したがって、半導体パッケージの下面に露呈する
ダイパッドは、常に実装基板に当接又は近接した状態と
なっていた。しかし、ダイパッドは、一般的に銅等の熱
伝導率の高い金属材料にて形成されており、ダイにて生
じる熱の大半はダイパッドに伝導される。ところが、そ
の熱は、当接又は近接した実装基板によって封じ込めら
れることになり、いき場を失った熱はそのままダイパッ
ドやダイに蓄積されることになる。このように外部へ放
出されずに蓄積される熱は、半導体装置の使用環境等に
よっては、無視できないものとなり、やがてダイ等が高
温に達して半導体装置の誤作動を生じさせることにな
る。
【0006】この発明は、上述のような課題を解決する
ためになされたもので、半導体パッケージを比較的簡易
な構造にて実装基板上に積層可能として、なおかつ、半
導体パッケージの下面におけるダイパッドに蓄積される
熱を効果的に放熱することにより、信頼性の高い高密度
実装が可能な半導体パッケージ及び半導体装置を提供す
ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1記載
の発明にかかる半導体パッケージは、ダイと、ダイパッ
ドと、複数のアウターリードと、該アウターリードに電
気接続されたボンディングワイヤとを、前記ダイ側に上
面を形成し前記ダイパッド側に下面を形成する封止部材
により封止した半導体パッケージであって、前記アウタ
ーリードは、前記封止部材の前記上下面と同じ面方向に
それぞれ電気的接続面を有し、前記アウターリードの高
さを、前記封止部材の前記上面の高さより高くなるよう
に形成したものである。
【0008】また、請求項2記載の発明にかかる半導体
パッケージは、上記請求項1記載の発明において、前記
封止部材の前記上面と同じ面方向の前記電気的接続面
を、前記封止部材の前記上面の投影領域外に形成したも
のである。
【0009】また、請求項3記載の発明にかかる半導体
パッケージは、上記請求項1又は請求項2に記載の発明
において、前記封止部材が4側面を有し、前記アウター
リードを前記封止部材の4側面方向にそれぞれ形成した
ものである。
【0010】また、請求項4記載の発明にかかる半導体
パッケージは、上記請求項1〜請求項3のいずれかに記
載の発明において、前記アウターリードを、前記封止部
材の側断面においてL字状に形成したものである。
【0011】また、この発明の請求項5記載の発明にか
かる半導体装置は、請求項1〜請求項4のいずれかに記
載の半導体パッケージを、実装基板の上に積層して前記
アウターリードにより実装したものである。
【0012】また、この発明の請求項6記載の発明にか
かる半導体装置は、請求項1〜請求項4のいずれかに記
載の半導体パッケージを、前記封止部材の前記上面を実
装基板に対向させて前記アウターリードにより前記実装
基板に実装したものである。
【0013】この発明の請求項7記載の発明にかかる半
導体装置は、上記請求項6記載の発明において、前記ダ
イパッドが露呈している面に、放熱フィンを設けたもの
である。
【0014】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
実施の形態1を図面に基づいて詳細に説明する。図1
は、この発明の実施の形態1を示す半導体パッケージの
概略図である。図1において、1はアウターリード、1
aはアウターリード上接続面、3は封止部材、3aは封
止部材上面、10は半導体パッケージを示す。この半導
体パッケージ10は、複数のアウターリード1を4側面
方向のすべてに有する、いわゆるQFNパッケージであ
る。図2は、図1に示す半導体パッケージのXZ平面又
はYZ平面における概略断面図である。図2において、
1はアウターリード、1aはアウターリード上接続面、
1bはアウターリード下接続面、2はダイパッド、3は
封止部材、3aは封止部材3のダイ6側に形成された封
止部材上面、3bは封止部材3のダイパッド2側に形成
された封止部材下面、4はアウターリード1に電気接続
されたボンディングワイヤ、5は接合材、6はダイ、1
0は半導体パッケージ、L1は封止部材上面3aの投影
領域を示す。
【0015】ここで、アウターリード1は、封止部材3
の上下面と同じ面方向にそれぞれ電気的接続面を有して
いる。すなわち、封止部材上面3aと同じ面方向にはア
ウターリード上接続面1aが設けられ、他方、封止部材
下面3bと同じ面方向にはアウターリード下接続面1b
が設けられている。そして、アウターリード上接続面1
aとアウターリード下接続面1bとは、いずれも、実装
基板上の接続面や、他の半導体パッケージのアウターリ
ード接続面に対して、はんだ等の接合材を介して接合可
能に形成されている。そして、後述するように、実装基
板や他の半導体パッケージ10等との電気的接続が可能
になる。
【0016】さらに、アウターリード1の高さは、封止
部材上面3aの高さより高くなるように形成されてい
る。すなわち、アウターリード上接続面1aのZ方向の
位置は、封止部材上面3aのZ方向の位置よりプラス方
向にある。また、アウターリード1は、封止部材3の側
断面、すなわち、XZ平面と平行な断面及びYZ平面と
平行な断面からみて、L字状に形成されている。そし
て、そのアウターリード上接続面1aは、封止部材上面
3aの投影領域L1の領域外に形成されている。
【0017】また、封止部材3は、ダイパッド2やアウ
ターリード1等の材質に対して接合性がある、例えば樹
脂材料等からなり、ダイ6を外力等から保護する機能を
有する。そして、封止部材3は、例えば、次のような工
程を経て形成される。すなわち、まず、図示せぬフレー
ム上にて、ダイ6をボンディングしたダイパッド2と、
アウターリード1に対応したボンディングワイヤ4とを
ボンディングする。その後、フレーム上に上面側から金
型を合わせて、そこに上述の樹脂材料を注入する。そし
て、金型に熱を加えて樹脂を硬化させ、封止部材3を成
形する。その後、アウターリード1を切断してL字状に
曲げることで、所望の形状の半導体パッケージ10が製
造されることになる。
【0018】さらに、アウターリード1は、上述のよう
に構成された、アウターリード上接続面1aとアウター
リード下接続面1bとを備えているので、これらの内の
どちらかを、又は、双方を、実際の接続面として選択す
ることができる。すなわち、半導体パッケージ10を、
上下方向について任意の向きに実装基板上に実装するこ
とができるし、また、同等に構成された複数の半導体パ
ッケージ10を積層することもできることとなる。な
お、本実施の形態1による半導体パッケージ10につい
ての実装基板への実装の形態については、後述の実施の
形態において詳述する。
【0019】以上説明したように、本実施の形態1のよ
うに構成された半導体パッケージ10においては、比較
的簡易な構造にて、実装基板に対して上下双方向の実装
が可能となり、さらに積層も可能となるために、レイア
ウトの自由度が大きく、高密度かつ小型の実装基板を達
成する半導体パッケージ10を提供することができる。
特に、半導体パッケージ10のアウターリード上接続面
1aを、実装基板の表面に対向させて実装させた場合に
は、ダイパッド2が直接実装基板と当接することを避け
られるために、ダイパッド2に蓄積される熱を容易に放
熱することができる。
【0020】なお、本実施の形態1においては、封止部
材3を成形した後に、アウターリード1に曲げ加工を施
しL字形状とした。しかし、最終的なアウターリード1
の形状はL字形状に限定されず、コの字形状等とするこ
ともできる。すなわち、アウターリード上接続面1a
を、投影領域L1内部に設けることも可能となる。
【0021】実施の形態2.以下、この発明の実施の形
態2を図面に基づいて詳細に説明する。図3は、この発
明の実施の形態2を示す半導体装置の概略図である。図
3において、1はアウターリード、1aはアウターリー
ド上接続面、3は封止部材、3aは封止部材上面、10
a、10b、10cはいずれも半導体パッケージ、15
は実装基板を示す。これらの半導体パッケージ10a、
10b、10cは、前記実施の形態1で示したL字形状
のアウターリード1を備えた半導体パッケージである。
そして、実装基板15上に半導体パッケージ10aが、
半導体パッケージ10a上に半導体パッケージ10b
が、半導体パッケージ10b上に半導体パッケージ10
cが、それぞれ搭載されている。
【0022】図4は、図3に示す半導体装置のXZ平面
又はYZ平面における概略断面図である。図4におい
て、1はアウターリード、1aはアウターリード上接続
面、1bはアウターリード下接続面、2はダイパッド、
3は封止部材、3aは封止部材上面、3bは封止部材下
面、4はボンディングワイヤ、5は接合材、6はダイ、
10a、10b、10cは半導体パッケージ、12は接
合材、15は実装基板を示す。
【0023】そして、上述した実装基板15上への1段
目の半導体パッケージ10aの実装については、実装基
板15上の所定位置とアウターリード下接続面1bとの
間に接合材12を介することでなす。さらに、1段目の
半導体パッケージ10a上への2段目の半導体パッケー
ジ10bの実装については、1段目の半導体パッケージ
10aのアウターリード上接続面1aと、2段目の半導
体パッケージ10bのアウターリード下接続面1bとの
間に、接合材12を介することでなす。同様に、2段目
の半導体パッケージ10b上への3段目の半導体パッケ
ージ10cの実装についても、2段目の半導体パッケー
ジ10bのアウターリード上接続面1aと、3段目の半
導体パッケージ10cのアウターリード下接続面1bと
の間に、接合材12を介することでなす。
【0024】ここで、アウターリード1は半導体パッケ
ージ10a、10b、10cを積層しても変形すること
がないように充分な剛性をもっており、しかも、上段の
半導体パッケージ10b、10cは4側面のすべての方
向において支持されているために、半導体パッケージ1
0a、10b、10cは安定的に積層されることにな
る。また、上述したような構成により、積層された半導
体パッケージ10a、10b、10c間の空隙を4側面
方向にて充分に確保することができるため、ダイパッド
2に蓄積される熱を容易に放熱することができる。
【0025】以上説明したように、本実施の形態2のよ
うに構成された半導体パッケージ10a、10b、10
cの実装基板においては、比較的簡易な半導体パッケー
ジ10a、10b、10cの構造にて、実装基板15に
対して積層が可能となるために、高密度かつ小型であ
り、ダイパッド2の放熱性に優れた信頼性の高い半導体
パッケージ10a、10b、10cの実装基板を提供す
ることができる。
【0026】また、本実施の形態2においては、半導体
パッケージ10a、10b、10cを、すべて封止部材
上面3aを上側として実装基板15上に積層したが、こ
れに限定されることなく、それぞれ任意の向きに積層す
ることもできる。特に、半導体パッケージ10a、10
b、10cを、すべて封止部材下面3bを上向きにして
実装基板15上に積層した場合には、すべての半導体パ
ッケージ10aのダイパッド2に蓄積される熱の放熱を
容易に行うことができる。
【0027】実施の形態3.以下、この発明の実施の形
態3を図面に基づいて詳細に説明する。図5は、この発
明の実施の形態3を示す半導体装置の概略断面図であ
る。本実施の形態3に示す半導体装置は、複数の半導体
パッケージ10a、10bが実装基板15を間に挟んで
間接的に積層されている点が、複数の半導体パッケージ
10a、10b、10cが実装基板15上に直接的に積
層されている前記実施の形態2と相違する。すなわち、
図5において、実装基板上面15aの所定位置とアウタ
ーリード下接続面1bとの間に接合材12を介すること
で、実装基板上面15aに上面側の半導体パッケージ1
0aが実装されている。さらに、実装基板下面15bの
所定位置とアウターリード上接続面1aとの間に接合材
12を介することで、実装基板下面15bに下面側の半
導体パッケージ10bが実装されている。なお、実装基
板上面15aと実装基板下面15bとには、それぞれ、
実装される半導体パッケージ10a、10bに対応した
電気回路が形成されている。
【0028】以上説明したように、本実施の形態3のよ
うに構成された半導体パッケージ10a、10bの実装
基板においても、前記実施の形態2と同様に、比較的簡
易な半導体パッケージ10a、10bの構造にて、実装
基板15に対して積層が可能となるために、高密度かつ
小型の半導体装置を提供することができる。
【0029】実施の形態4.以下、この発明の実施の形
態4を図面に基づいて詳細に説明する。図6は、この発
明の実施の形態4を示す半導体装置の概略断面図であ
る。本実施の形態4に示す半導体装置は、前記実施の形
態1に示した半導体パッケージ10が実装基板15上に
単層で実装されたものである。そして、アウターリード
上接続面1aを実装基板15に対向させて、半導体パッ
ケージ10を実装基板15上に実装している。すなわ
ち、図6において、実装基板15上の所定位置とアウタ
ーリード上接続面1aとの間に接合材12を介すること
で、半導体パッケージ10が実装基板15上に実装され
ている。
【0030】以上説明したように、本実施の形態4のよ
うに構成された半導体装置においては、ダイパッド2の
露呈面を実装基板15に対向させることなく、半導体パ
ッケージ10を実装基板15上に実装している。これに
より、ダイパッド2は常に外部に開放された状態にあ
り、そこに蓄積される熱を効果的に外部に放出すること
ができ、信頼性の高い半導体装置を提供することができ
る。
【0031】実施の形態5.以下、この発明の実施の形
態5を図面に基づいて詳細に説明する。図7は、この発
明の実施の形態5を示す半導体装置の概略断面図であ
る。本実施の形態5に示す半導体装置は、実装基板15
の上下面の双方に半導体パッケージ10a、10bが実
装されている点のみが、前記実施の形態4の実装基板と
異なる。
【0032】すなわち、図7において、実装基板上面1
5aの所定位置とアウターリード上接続面1aとの間に
接合材12を介することで、実装基板上面15aに上面
側の半導体パッケージ10aが実装されている。他方、
実装基板下面15bの所定位置とアウターリード上接続
面1aとの間に接合材12を介することで、実装基板下
面15bに下面側の半導体パッケージ10bが実装され
ている。
【0033】以上説明したように、本実施の形態5のよ
うに構成された半導体装置においては、ダイパッド2の
露呈面を実装基板15に対向させることなく、半導体パ
ッケージ10を実装基板15の上下面双方に実装してい
る。これにより、双方のダイパッド2はともに常に外気
に開放された状態にあり、そこに蓄積される熱を効果的
に放熱することができ、信頼性が高く、高密度の半導体
装置を提供することができる。
【0034】実施の形態6.以下、この発明の実施の形
態6を図面に基づいて詳細に説明する。図8は、この発
明の実施の形態6を示す半導体装置の概略断面図であ
る。本実施の形態6に示す半導体装置は、半導体パッケ
ージ10の下面に露呈するダイパッド2表面に放熱フィ
ン13が設けられている点のみが、前記実施の形態4の
実装基板と相違する。
【0035】ここで、放熱フィン13は、ダイパッド2
に蓄積された熱を放熱フィン13側に効率よく伝導させ
るために、例えば、アルミ合金等の比較的熱伝導率の高
い材質で形成されている。また、放熱フィン13は、放
熱フィン13に蓄積された熱を効率よく外気に放出でき
るように、例えば、複数の円盤を連ねた形状のように、
表面積が大きくなるような形状となっている。これによ
り、ダイ1で生じる熱を、前記実施の形態4にも増して
低減することができる。
【0036】以上説明したように、本実施の形態6のよ
うに構成された半導体装置においては、ダイパッド2に
蓄積される熱を、放熱フィン13によって積極的に放熱
しているので、より信頼性が高い半導体装置を提供する
ことができる。
【0037】なお、本発明が上記各実施の形態に限定さ
れず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施の形
態の中で示唆した以外にも、各実施の形態は適宜変更さ
れ得ることは明らかである。特に、QFNパッケージ以
外の半導体パッケージの形態についても、本発明は適用
可能である。また、上記構成部材の数、位置、形状等は
上記実施の形態に限定されず、本発明を実施する上で好
適な数、位置、形状等にすることができる。また、各図
において、同一構成要素には同一符号を付している。
【0038】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されているの
で、請求項1〜5に対応した効果としては、半導体パッ
ケージを比較的簡易な構造にて実装基板上に任意の方向
にて積層することが可能となり、なおかつ、半導体パッ
ケージの下面に露呈するダイパッドに蓄積される熱を効
果的に放熱することも可能となり、信頼性の高い高密度
かつ小型の半導体パッケージ及び半導体装置を提供する
ことができる。
【0039】また、請求項6〜7に対応した効果として
は、ダイにて生じた熱をダイパッドを介して外気に効率
的に放出することができるために、熱による誤作動のな
い信頼性の高い半導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1を示す半導体パッケ
ージの概略図である。
【図2】 図1に示す半導体パッケージのXZ平面又は
YZ平面における概略断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2を示す半導体装置の
概略図である。
【図4】 図3に示す半導体装置のXZ平面又はYZ平
面における概略断面図である。
【図5】 この発明の実施の形態3を示す半導体装置の
概略断面図である。
【図6】 この発明の実施の形態4を示す半導体装置の
概略断面図である。
【図7】 この発明の実施の形態5を示す半導体装置の
概略断面図である。
【図8】 この発明の実施の形態6を示す半導体装置の
概略断面図である。
【図9】 従来の半導体パッケージを示す(A)概略図
と、(B)そのXZ平面又はYZ平面における概略断面
図である。
【符号の説明】 1 アウターリード、 1a アウターリード上接続
面、1b アウターリード下接続面、 2 ダイパッ
ド、 3 封止部材、3a 封止部材上面、 3b 封
止部材下面、 4 ボンディングワイヤ、5、12 接
合材、 6 ダイ、10、10a、10b、10c 半
導体パッケージ、 13 放熱フィン、15 実装基
板、 15a 実装基板上面、 15b 実装基板下
面。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 25/07 25/18

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ダイと、ダイパッドと、複数のアウター
    リードと、該アウターリードに電気接続されたボンディ
    ングワイヤとを、前記ダイ側に上面を形成し前記ダイパ
    ッド側に下面を形成する封止部材により封止した半導体
    パッケージであって、 前記アウターリードは、前記封止部材の前記上下面と同
    じ面方向にそれぞれ電気的接続面を有し、 前記アウターリードの高さを、前記封止部材の前記上面
    の高さより高くなるように形成したことを特徴とする半
    導体パッケージ。
  2. 【請求項2】 前記封止部材の前記上面と同じ面方向の
    前記電気的接続面は、前記封止部材の前記上面の投影領
    域外に形成されたことを特徴とする請求項1に記載の半
    導体パッケージ。
  3. 【請求項3】 前記封止部材が4側面を有し、前記アウ
    ターリードが前記封止部材の4側面方向にそれぞれ形成
    されたことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の
    半導体パッケージ。
  4. 【請求項4】 前記アウターリードは、前記封止部材の
    側断面においてL字状に形成されたことを特徴とする請
    求項1〜請求項3のいずれかに記載の半導体パッケー
    ジ。
  5. 【請求項5】 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の
    半導体パッケージを、実装基板の上に積層して前記アウ
    ターリードにより実装したことを特徴とする半導体装
    置。
  6. 【請求項6】 請求項1〜請求項4のいずれかに記載の
    半導体パッケージを、前記封止部材の前記上面を実装基
    板に対向させて前記アウターリードにより前記実装基板
    に実装したことを特徴とする半導体装置。
  7. 【請求項7】 前記ダイパッドが露呈している面に、放
    熱フィンを設けたことを特徴とする請求項6に記載の半
    導体装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007516616A (ja) * 2003-12-17 2007-06-21 チップパック,インク. ダイの上にスタックされたインバーテッドパッケージを有するマルチチップパッケージモジュール
KR100830574B1 (ko) * 2006-09-21 2008-05-21 삼성전자주식회사 반도체 소자 패키지

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100344927B1 (ko) * 1999-09-27 2002-07-19 삼성전자 주식회사 적층 패키지 및 그의 제조 방법
KR100426494B1 (ko) * 1999-12-20 2004-04-13 앰코 테크놀로지 코리아 주식회사 반도체 패키지 및 이것의 제조방법
TWI297938B (en) * 2003-07-15 2008-06-11 Advanced Semiconductor Eng Semiconductor package
TWI228303B (en) * 2003-10-29 2005-02-21 Advanced Semiconductor Eng Semiconductor package, method for manufacturing the same and lead frame for use in the same
US7981702B2 (en) * 2006-03-08 2011-07-19 Stats Chippac Ltd. Integrated circuit package in package system
KR100809702B1 (ko) * 2006-09-21 2008-03-06 삼성전자주식회사 반도체 패키지
US7893545B2 (en) * 2007-07-18 2011-02-22 Infineon Technologies Ag Semiconductor device
ITMI20130654A1 (it) * 2013-04-22 2014-10-23 St Microelectronics Srl Assieme elettronico per montaggio su scheda elettronica
US9666557B2 (en) * 2013-05-30 2017-05-30 Infineon Technologies Ag Small footprint semiconductor package
CN105405823A (zh) * 2014-08-20 2016-03-16 飞思卡尔半导体公司 具有可检查的焊接点的半导体装置
US10679929B2 (en) * 2017-07-28 2020-06-09 Advanced Semiconductor Engineering Korea, Inc. Semiconductor package device and method of manufacturing the same
IT202000008269A1 (it) 2020-04-17 2021-10-17 St Microelectronics Srl Dispositivo elettronico di potenza incapsulato impilabile per montaggio superficiale e disposizione circuitale

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07221218A (ja) * 1994-02-03 1995-08-18 Toshiba Corp 半導体装置
KR100242393B1 (ko) * 1996-11-22 2000-02-01 김영환 반도체 패키지 및 제조방법
US5986209A (en) * 1997-07-09 1999-11-16 Micron Technology, Inc. Package stack via bottom leaded plastic (BLP) packaging
JP3842444B2 (ja) * 1998-07-24 2006-11-08 富士通株式会社 半導体装置の製造方法
US6518659B1 (en) * 2000-05-08 2003-02-11 Amkor Technology, Inc. Stackable package having a cavity and a lid for an electronic device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007516616A (ja) * 2003-12-17 2007-06-21 チップパック,インク. ダイの上にスタックされたインバーテッドパッケージを有するマルチチップパッケージモジュール
US8970049B2 (en) 2003-12-17 2015-03-03 Chippac, Inc. Multiple chip package module having inverted package stacked over die
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