JP2002216677A - 蛍光表示管 - Google Patents

蛍光表示管

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JP2002216677A
JP2002216677A JP2001009992A JP2001009992A JP2002216677A JP 2002216677 A JP2002216677 A JP 2002216677A JP 2001009992 A JP2001009992 A JP 2001009992A JP 2001009992 A JP2001009992 A JP 2001009992A JP 2002216677 A JP2002216677 A JP 2002216677A
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JP
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fluorescent
cold cathode
screen
display tube
cathode
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JP2001009992A
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Tomoji Shoji
友司 正治
Hitoshi Tsuji
斉 辻
Tomoji Okada
智司 岡田
Sashiro Kamimura
佐四郎 上村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Noritake Itron Corp
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Noritake Itron Corp
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  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高精細のドットピッチ部分を有する表示部分
を任意の範囲で設定でき、かつ低コストで製造できる。 【解決手段】 電界放出冷陰極から放出された電子によ
り蛍光を呈する第一蛍光面と、熱陰極から放出された電
子により蛍光を呈する第二蛍光面とが互いに分離されて
真空容器内に形成されてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は蛍光表示管に関し、
特に高精細化、大画面化、低コスト化が容易な蛍光表示
管に関する。
【0002】
【従来の技術】オーディオ、家電製品、自動車機器、計
測器、医療機器などの表示部に所定の文字、パターンあ
るいはグラフィックを表示する自発光型の表示素子とし
て蛍光表示管が多用されている。従来の蛍光表示管を図
3により説明する。図3は熱陰極型蛍光表示管の要部拡
大断面図である。蛍光表示管11は、対向された前面ガ
ラス板12と背面板13と、前面ガラス板12と背面板
13との周辺に形成される側面板14とをフリットガラ
スにて外部端子15を取り出しながら真空封止して真空
容器が構成される。前面ガラス板12の内面側には、電
極16aが形成され、さらに蛍光体層16bが被着され
て蛍光面16が形成される。また前面ガラス板12と背
面板13との空間部には、懸架支持されたフィラメント
状の熱陰極17と、この熱陰極17と蛍光面16との間
に形成されたグリット電極18とが配設されて 3 極真
空管構造を構成している。
【0003】一方、熱陰極型と異なり、低電圧駆動で高
輝度の表示が得られる高精細なドットピッチを有する蛍
光表示管として、表面に蛍光体が塗布された蛍光電極を
複数個マトリクス状に配列して単位表示部を構成し、こ
の単位表示部が一つの半導体集積基板上に形成されて真
空容器に内蔵されるCL型蛍光表示管が知られている
(特開昭60−48090号、特開昭60−48091
号、特開昭62−165841号)。
【0004】電界放出冷陰極を用いた蛍光表示管として
は、陰極素子内部の電界により生成したホットエレクト
ロンを真空中に放出する冷陰極と、少なくとも1色以上
の蛍光体膜からなる蛍光面を有し、冷陰極を形成する基
板および蛍光面を形成する前面パネルの材料を合成樹脂
とする画像表示装置が開示されている(特開平9−20
4889号)。また、発光ダイオードが作り込まれた基
板と、この基板の上面に形成された電界放出陰極と、所
定間隔を置いて基板に対面する透光性を備えた前面板
と、電界放出陰極に相対する前面板の内面に形成された
蛍光表示部を具備する複合型の蛍光表示管が開示されて
いる(特開平7−104682号)。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、実用化
されているドットピッチが 0.5mm 程度である熱陰極型
の蛍光面と、通常 0.3mm ピッチ程度の高精細なドット
ピッチを有するCL型蛍光表示管の蛍光面とを同一の表
示管内に配置して、表示品位を高めるためにCL型蛍光
表示管の蛍光面を広げようとすると、その高精細な表示
部分を拡大することができないという問題がある。その
理由は、CL型蛍光表示管に搭載されている半導体集積
基板のボンディングワイヤを一辺に集約したとしても、
2段までしか並べて配置できないため、多数桁表示がで
きないためである。また、半導体集積基板は、その大き
さが限定されており、大きな表示画面とすることができ
なく、さらに蛍光面を有する半導体集積基板は製造工数
が多くコスト高となる。その結果、多くの表示部分を高
精細のドットピッチで占めるということができないとい
う問題がある。
【0006】また、熱陰極型の蛍光面と、発光ダイオー
ドとの複合型蛍光表示管の場合、発光ダイオードによる
光の散乱などが生じ、必ずしも高精細な表示画面が得ら
れないという問題がある。
【0007】本発明は、このような問題に対処するため
になされたもので、高精細のドットピッチ部分を有する
表示部分を任意の大きさの範囲で設定でき、かつ低コス
トで製造できる高品位表示の蛍光表示管を提供すること
を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の蛍光表示管は、
電界放出冷陰極から放出された電子により蛍光を呈する
第一蛍光面と、熱陰極から放出された電子により蛍光を
呈する第二蛍光面とが互いに分離されて同一真空容器内
に形成されてなることを特徴とする。
【0009】また、上記電界放出冷陰極がMIM型冷陰
極またはMIS型冷陰極であることを特徴とする。ここ
で、MIM型冷陰極とは、金属層/絶縁層/金属層の積
層体からなる冷陰極を、MIS型冷陰極とは、金属層/
絶縁層/半導体層の積層体からなる冷陰極をそれぞれ表
す。
【0010】また、第一蛍光面のドッドピッチが第二蛍
光面のドッドピッチよりも小さいことを特徴とする。
【0011】電界放出冷陰極から放出された電子により
蛍光を呈する第一蛍光面と、熱陰極から放出された電子
により蛍光を呈する第二蛍光面とを互いに分離して同一
真空容器内に形成することにより、ドッドピッチの小さ
い第一蛍光面が任意の大きさで得られる。その結果、よ
り高精細な表示面が併存する蛍光表示管が得られる。特
に電界放出冷陰極をMIM型冷陰極またはMIS型冷陰
極とすることにより、冷陰極から放出される電子の軌跡
の直線性が高まるため、高精細性がより高まる。電子軌
跡の直線性は、電界放出冷陰極部での電子散乱が生じな
いことであり、電子散乱により生じる蛍光面の漏れ発光
を防ぐことができる。また、第一蛍光面と第二蛍光面と
は、同一の基板平面上に形成することができるので、C
L型蛍光表示管に生じやすい表示部の前後視差がなくな
る。
【0012】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図1により説
明する。図1は蛍光表示管の断面図である。蛍光表示管
1は、対向された前面ガラス板2と背面板3と、前面ガ
ラス板2と背面板3との周辺に形成される側面板4とを
フリットガラスにて外部端子5を取り出しながら真空封
止して真空容器が構成される。この真空容器内に、電界
放出冷陰極から放出された電子により蛍光を呈する第一
蛍光面6と、熱陰極から放出された電子により蛍光を呈
する第二蛍光面7とが互いに分離されて前面ガラス板2
の内面側にそれぞれ形成される。本発明において、第一
蛍光面6と第二蛍光面7とが互いに分離して配設される
とは、第二蛍光面7を発光させるための熱陰極から放出
された電子が第一蛍光面6の発光に寄与しない範囲に配
設することをいう。その結果、前面ガラス板1の内面側
に形成された第一蛍光面6は、背面板3内面に形成され
た電界放出冷陰極8より放出される電子により発光し、
また第二蛍光面7は背面板3との空間に懸架支持された
フィラメント状の熱陰極9より放出される電子により発
光する。
【0013】電界放出冷陰極8は、陰極素子内部の電界
により生成したホットエレクトロンを真空中に放出する
タイプの冷陰極、例えばMIM型冷陰極やMIS型冷陰
極、あるいは表面の仕事関数障壁に高電界を印加して電
子を放出させるタイプの冷陰極、例えばスピント型冷陰
極、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)、カーボン
ナノチューブまたはカーボンナノファイバー型冷陰極等
のいずれも使用できる。
【0014】本発明においては、冷陰極から放出される
電子の軌跡の直線性が高いMIM型冷陰極やMIS型冷
陰極などが好ましい。電子が直線的に放出されることに
より、熱陰極から放出される電子により発光する第二蛍
光面7と干渉することなく、高い放射効率で第一蛍光面
6が発光する。特にMIM型冷陰極は動作電圧を 10V程
度とすることができるので好ましい。
【0015】MIM型冷陰極やMIS型冷陰極は、公知
の成膜技術、例えばスパッタリング法、陽極酸化法、フ
ォトリソグラフィー法およびエッチング法等を組み合わ
せて形成できる。MIM型冷陰極の場合は、基板上にス
パッタリング法等によりアルミニウム膜等の金属膜8a
を成膜し、所定のマトリックス形状にフォトリソグラフ
ィー法およびエッチング法等でパターニングした後、金
属膜を酸化させて絶縁層8bを形成し、最後に上部電極
として金、白金などの金属電極8cを形成することによ
りMIM型冷陰極を形成できる。また、MIS型冷陰極
の場合は、基板上にアルミニウム膜等の金属膜を成膜し
た後、Si膜、SiOx膜を形成した後、白金電極を形
成することによりMIS型冷陰極を形成できる。
【0016】MIM型冷陰極やMIS型冷陰極は、ガラ
ス基板である背面板3の内面に直接形成してもよく、ま
た、ガラスやセラミック基板上に別個に形成されたMI
M型冷陰極やMIS型冷陰極を背面板3の内面にフリッ
トガラスを用いて貼り付けてもよい。本発明において
は、任意の大きさ、形状を作りやすいため、MIM型冷
陰極やMIS型冷陰極をガラス基板に貼り付ける方法が
好ましい。
【0017】MIM型冷陰極やMIS型冷陰極から放出
された電子により蛍光を呈する第一蛍光面6は、ITO
などの透明材料や簾状に形成された電極6aを前面ガラ
ス板の内面側2上に形成し、さらに蛍光体層6bが被着
されて得られる。
【0018】熱陰極から放出された電子により蛍光を呈
する第二蛍光面7は、第一蛍光面6と同様に、ITOな
どの透明材料や簾状に形成された電極7aを前面ガラス
板2の内面側に形成し、さらに蛍光体層7bが被着され
て得られる。第二蛍光面7と背面板3との空間部には、
懸架支持されたフィラメント状の熱陰極9と、この熱陰
極9と第二蛍光面7との間に形成されたグリット電極1
0とが配設される。第二蛍光面7は、この熱陰極9より
放出され、グリット電極10に制御される電子により発
光する。
【0019】図1において、第一蛍光面6および第二蛍
光面7は、同一の前面ガラス板1の内面側2上に形成さ
れ、各蛍光体層の発光はガラス板1を透過して見る透過
型となる。このように同一ガラス板上に蛍光面が形成さ
れるので、表示部の前後視差がなくなる。
【0020】なお、第二蛍光面7は、図2に示すよう
に、背面板3の内面側に形成してもよい。図2は第二蛍
光面7を前面ガラス板2側より見る形式の蛍光表示管の
断面図である。この場合、第二蛍光面7は不透明材料に
より形成してもよく、材料選択の幅を広げることがで
き、また製造工程によっては簡略化が図れる場合があ
る。表示部の前後視差を問題としない場合に採用でき
る。
【0021】LSI製造技術である公知の成膜技術を用
いて作製される電界放出冷陰極8を用いることにより、
第一蛍光面のドッドピッチは第二蛍光面のドッドピッチ
よりも小さくできる。通常 0.5mm ドッドピッチ以上で
ある第二蛍光面のドッドピッチに対して、第一蛍光面の
ドッドピッチは例えば 0.4mm ドッドピッチ以下、好ま
しくは 0.3mm ドッドピッチ以下、より好ましくは 0.28
mm 未満のドッドピッチと高精細化できる。高精細化さ
れた第一蛍光面は、CL型蛍光表示管に搭載されている
半導体集積基板のボンディングワイヤを使用しないの
で、任意の大きさの表示面を形成することができる。こ
のため、第二蛍光面と互いに分離して同一真空容器内に
配置することで、製造コストと表示品位とのバランスが
とれた蛍光表示管が得られる。また、蛍光表示管の小型
化が図れる。
【0022】
【発明の効果】本発明の蛍光表示管は、電界放出冷陰極
から放出された電子により蛍光を呈する第一蛍光面と、
熱陰極から放出された電子により蛍光を呈する第二蛍光
面とが互いに分離されて真空容器内に形成されてなるの
で、表面に蛍光体が塗布された蛍光電極を複数個マトリ
クス状に配列して単位表示部を構成し、いわゆるCLチ
ップを用いないので、製造コストを大幅に低減できる。
また、高精細な表示面と従来の表示面との任意な併存が
同一の基板平面上で可能となり、表示部の前後視差がな
い高品位な蛍光表示管が得られる。
【0023】特に電界放出冷陰極がMIM型冷陰極また
はMIS型冷陰極であるので、冷陰極から放出される電
子の軌跡の直線性が高まり、より高精細性で長寿命な蛍
光表示管が得られる。
【0024】第一蛍光面のドッドピッチが第二蛍光面の
ドッドピッチよりも小さいので、また、その表示範囲を
任意に設定できるので高品位なな表示面の大面積化が容
易にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】蛍光表示管の断面図である。
【図2】他の蛍光表示管の断面図である。
【図3】従来の蛍光表示管の断面図である。
【符号の説明】
1 蛍光表示管 2 前面ガラス板 3 背面板 4 側面板 5 外部端子 6 第一蛍光面 7 第二蛍光面 8 電界放出冷陰極 9 熱陰極 10 グリット電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 智司 三重県伊勢市上野町字和田700番地 伊勢 電子工業株式会社内 (72)発明者 上村 佐四郎 三重県伊勢市上野町字和田700番地 伊勢 電子工業株式会社内 Fターム(参考) 5C036 EE04 EF01 EF02 EF05 EF11 EG12 EG36 EH04

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電界放出冷陰極から放出された電子によ
    り蛍光を呈する第一蛍光面と、熱陰極から放出された電
    子により蛍光を呈する第二蛍光面とが互いに分離されて
    同一真空容器内に形成されてなることを特徴とする蛍光
    表示管。
  2. 【請求項2】 前記電界放出冷陰極がMIM型冷陰極ま
    たはMIS型冷陰極であることを特徴とする請求項1記
    載の蛍光表示管。
  3. 【請求項3】 第一蛍光面のドッドピッチが第二蛍光面
    のドッドピッチよりも小さいことを特徴とする請求項1
    または請求項2記載の蛍光表示管。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002260565A (ja) * 2001-03-01 2002-09-13 Noritake Itron Corp 蛍光表示装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002260565A (ja) * 2001-03-01 2002-09-13 Noritake Itron Corp 蛍光表示装置

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